JPH08224518A - 塗布部材を有するダイコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 所定幅の弾性及び可撓性を有する通液性を有
するシート１５からなる塗布部材３を２つに折り曲げ状
に屈曲させてシート１５の間に空間部１６を形成すると
ともに、シート１５の重なりあった端部１８を、ダイコ
ータ１のスリット９に挾着固定した。 【効果】 塗布部材３が処理材料１９の表面状態に対応
して弾性変形するので、「厚みむら」、「そり」、およ
び「うねり」を有する可撓性あるいは剛性体の処理材料
に塗布膜ｄの厚さが均一になるように塗布を行うことが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、「厚みむら」、「そ
り」、及び「うねり」を有する処理材料に、塗布膜の厚
さが均一となるように塗液を塗布する塗布部材を有する
ダイコータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイコータを使用して「うねり」
や「そり」を有する処理材料に塗液を塗布するには、処
理材料が可撓性の長尺材である場合、バックアップロー
ルで上記処理材料を支持することにより、また、処理材
料が可撓性の短尺材である場合には、上記処理材料の被
塗布面の裏面を吸引し、「うねり」や「そり」を矯正し
て、処理材料とダイコータのノズル部分との距離を一定
に保持することで処理材料に塗液を均一な厚みで塗布し
ていた。

【０００３】しかしながら、精度の高いバックアップロ
ールで上記処理材料を支持したり、処理材料の被塗布面
の裏面を吸引しても、処理材料の表面に数μｍ程度の
「厚みむら」は矯正されることなく存在する。この「厚
みむら」は、塗布膜の厚みが２０μｍ以上であれば塗布
膜に濃淡が現れにくいので問題となりにくいが、塗布膜
の厚みが１０μｍ以下の場合、塗布膜に濃淡が発生する
という問題があった。

【０００４】また、処理材料が剛性体である場合（例え
ば厚みのあるガラス板）には、バックアップロールで支
持したり、被塗布面の裏面を吸引して「うねり」や「そ
り」を矯正することができないので、処理材料は「厚み
むら」、「そり」、および「うねり」を有したままとな
り、処理材料とダイコータのノズルとの距離を一定に保
持することができず、均一な厚みに塗液を塗布すること
ができないという問題点があった。

【０００５】上記問題点を解決する手段として、特公昭
５１−１６２１４号公報に記載されたダイコータがあ
る。上記ダイコータのノズル近傍には塗布部材が設けて
あり、塗液は上記塗布部材の内部に充填された後、該塗
布部材から吐出され、該塗布部材の下方に配置した処理
材料に塗液を塗布するようになっている。上記ダイコー
タにおいては、剛性体からなる処理材料の「そり」、
「うねり」及び処理材料自体の有する「厚みむら」があ
る場合、上記塗布部材が自重により「厚みむら」等に添
って変形して常に処理材料に塗液を均一に塗布できると
されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成のダイコータでは、塗布部材の内部に塗液が充填され
るので塗布部材の重量に塗液の重量が加わり、塗液の吐
出圧力では塗布部材を処理材料の「厚みむら」等に対応
して弾性変形させることができない。したがって、処理
材料に均一に塗液を塗布することができず、塗布膜の濃
淡の発生を防止することができないという問題点があっ
た。

【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、「厚みむら」、「そり」、および「うねり」を有
する可撓性あるいは剛性体の処理材料に塗布膜の厚さが
均一となるように塗布を行うダイコータを提供すること
を目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、弾性及び可撓性を有する所定幅の通液性を有するシ
ートからなる塗布部材を２つに折り曲げ状に屈曲させて
該シートの間に空間部を形成するとともに、上記シート
の重なりあった端部を、ダイコータのスリットに挾着固
定したことを特徴としている。

【０００９】

【作用】上記構成の塗布部材を有するダイコータでは、
上記挾着固定された端部と反対側の屈曲部を、搬送され
る処理材料に接触して配置する。上記ダイコータに所定
圧力で供給された塗液は、スリットを通過して通液性を
有するシートの端部から毛管現象により該シートの微細
な隙間を伝わり、上記空間部に充填されることなく屈曲
部から吐出する。

【００１０】「厚みむら」、「そり」、および「うね
り」を有する可撓性あるいは剛性体の処理材料に塗液を
塗布する場合、上記塗布部材は空間部の存在により弾性
を有するので、処理材料の厚みの増減（厚みむら）、
「そり」、「うねり」による処理材料の表面形状の変化
に対応して弾性変形し、塗布部材を支持する塗液と塗布
部材との圧力バランスが保たれる。

【００１１】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例に
ついて説明する。図１は本発明に係る塗布部材を有する
ダイコータ１を示している。上記ダイコータ１は、ダイ
本体２と塗布部材３とから構成してある。上記ダイ本体
２は、左右に分割できるブロック４と５を図示しないボ
ルトで一体的に連結したもので、左右のブロック４と５
の当接面６には、塗布幅方向に沿ってマニホールド７が
形成してある。また、マニホールド７からリップ８の先
端部までの上記当接面６にはスリット９が形成してあ
る。

【００１２】上記右側のブロック５の幅方向の略中心部
には、マニホールド７に連通する塗液供給孔１０が形成
してある。この塗液供給孔１０は、塗液タンク１１にパ
イプ１２を介して接続してあり、上記パイプ１２に設け
たマイクロセラミックポンプ１３によって、塗液１４を
上記塗液タンク１１からマニホールド７に供給するよう
になっている。なお、ダイコータ１に塗液を定量供給す
るにはマイクロセラミックポンプ１３に限るものでな
く、ギヤポンプ、または一般的に使用されるポンプにバ
ルブを接続して流量制御を行ってもよい。

【００１３】ここで、本発明の特徴部分である塗布部材
３について説明する。図２に示すように、塗布部材３
は、上記スリット９と略等しい幅の弾性及び可撓性のあ
る通液性のシート１５を円弧を描くように２つに折り曲
げ状に屈曲させ、該シート１５の間に空間部１６を形成
し、上記シート１５の重なり合った端部１８を上記スリ
ット９の先端部に、左右のブロック４と５で挾着固定し
たものである。

【００１４】上記シート１５は、塗布膜厚によって適宜
最適なものを選択すればよく、例えば、塗布膜厚みが１
０μｍ以下の薄膜塗布の場合、表１に示すような規格を
有する布から作成したシートを使用することで、塗膜表
面に筋の無い美観に優れた平滑な塗布面が得られる。

【００１５】

【表１】

【００１６】また、上記空間部１６の直径は３．０ｍｍ
程度に設け、先端リップ部８と処理材料１９との隙間α
を２．０〜２．５ｍｍ程度とすることが好ましい。上記
のように、隙間αを空間部１６よりも小さく設ければ、
屈曲部１７から吐出した塗液により空間部１６が容易に
弾性変形し、上記塗液で塗布部材３を安定して支持する
だけでなく、処理材料１９の厚みが増減等しても、空間
部１６が処理材料１９の表面形状に対応して弾性変形
し、圧力バランスを一定に保ち、吐出する塗液の量を一
定に維持することができる。

【００１７】次に、上記塗布部材を有するダイコータ１
を使用して、ガラス板からなる処理材料１９にフォトレ
ジスト液１４を塗布する動作について説明する。水平方
向（矢印ａ方向）に所定速度で搬送される処理材料１９
と直交する鉛直線上にダイコータ１が配置され、塗布部
材３の屈曲部１７は処理材料１９に上方から接触させて
ある。

【００１８】上記ダイコータ１には、マイクロセラミッ
クポンプ１３により塗液タンク１１からフォトレジスト
液１４を一定圧力で定量的に供給する。上記フォトレジ
スト液１４は、マニホールド７の内部に広がり、スリッ
ト９を通過して塗布部材３のシートの端部１８から毛管
現象により該シートの微細な隙間を伝わり、空間部１６
に充填されることなく屈曲部１７から吐出する。

【００１９】このように、空間部１６にはフォトレジス
ト液１４が充填されることはないので、塗布部材３の重
量は軽い。したがって、塗布部材３は容易に処理材料１
９の表面形状に対応して上下方向（矢印ｂ方向）に弾性
変形して追従するため、処理材料１９の「厚みむら」を
有する部分２０が搬送されてきた場合であっても塗布膜
ｄの厚さは常に均一になる。なお、フォトレジスト液１
４の供給量と吐出量とが等しくなるようにマイクロセラ
ミックポンプ１３を調節すれば、フォトレジスト液１４
が空間部１６に貯溜するのを完全に防止できる。また、
ダイコータ１に供給されるフォトレジスト液１４と、処
理材料１９の搬送速度を適宜組み合わせれば、所望の厚
みの塗布膜を得ることができる。

【００２０】同様に、処理材料１９が「うねり」、また
は「そり」を有している場合であっても、空間部１６が
処理材料１９の表面形状に対応して弾性変形し、常に塗
布膜の厚さが均一になるようにフォトレジスト液１４が
塗布される。

【００２１】なお、通液性を有する上記シート１５の空
間部１６側の面（シート１５の処理材料１９に接してい
ない面）に樹脂材料等の弾性材料をコーティングすれ
ば、フォトレジスト液１４の供給量と吐出量とに拘わら
ず、空間部１６へのフォトレジスト液１４の侵入を完全
に防止することができるので、塗布速度やフォトレジス
ト液１４の供給量の制限が無くなり、塗布条件の幅が広
がる。また、塗布部材３は、コーティングされることに
よって耐久性が向上する。さらに、コーティングする樹
脂の量を調節して通液性を有するシート１５の弾性率を
変更すれば、塗布条件の幅をさらに広げることができ
る。

【００２２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る塗布部材を有するダイコータでは、塗布部材の空
間部には塗液が充填されることはないので、塗布部材は
塗液の重量により弾性を失わない。したがって、処理材
料が「厚みむら」、「うねり」、および「そり」を有す
る場合であっても、塗布部材の空間部が上記処理材料の
表面状態に対応して弾性変形するので、塗布膜の厚さが
均一になるように塗液が塗布される。

【００２３】このように、「厚みむら」、「うねり」お
よび「そり」を有する可撓性あるいは剛性体の処理材料
に、塗布膜の厚さが均一になるように塗液を塗布するこ
とができる。したがって、塗布膜の厚みが１０μｍ以下
のように非常に薄い場合であっても、濃淡が発生するこ
とのない美観に優れた塗布膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る塗布部材を有するダイコータの
使用状態を示す断面図である。

【図２】 図１の部分拡大図である。

【符号の説明】

１…ダイコータ、３…塗布部材、７…マニホールド、８
…リップ、９…スリット、１０…塗液供給孔、１１…塗
液タンク、１３…マイクロセラミックポンプ、１４…塗
液（フォトレジスト液）、１５…シート、１６…空間
部、１７…屈曲部、１８…端部、１９…処理材料、ｄ…
塗布膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性及び可撓性を有する所定幅の通液性
   を有するシートからなる塗布部材を２つに折り曲げ状に
   屈曲させて該シートの間に空間部を形成するとともに、
   上記シートの重なりあった端部を、ダイコータのスリッ
   トに挾着固定したことを特徴とする塗布部材を有するダ
   イコータ。