JPH08224555A - マルチ高周波数洗浄装置 - Google Patents
マルチ高周波数洗浄装置Info
- Publication number
- JPH08224555A JPH08224555A JP5502195A JP5502195A JPH08224555A JP H08224555 A JPH08224555 A JP H08224555A JP 5502195 A JP5502195 A JP 5502195A JP 5502195 A JP5502195 A JP 5502195A JP H08224555 A JPH08224555 A JP H08224555A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、複数個の超音波振動子から周波数
の異なる超音波を発生して洗浄物に付着する粒径の異な
るパーティクルを除去するようにしたマルチ高周波数洗
浄装置を提供するものである。 【構成】 カバー１の側面に液体流入口２が設けられ、
カバー１の他端に絞られた液体噴出口１ｂが形成され、
カバー１の拡大された一端１ａに支持部材７がＯリング
８、９で機密に支持され、さらに、支持部材７に３つの
超音波振動子１０、１１、１２が同心円状に接着され、
超音波振動子１０、１１、１２からそれぞれ１ＭＨｚ、
２ＭＨｚ、３ＭＨｚの超音波が照射されるように構成さ
れ、超音波振動子１０、１１、１２にそれぞれ発振器が
接続されている。このように構成されたマルチ高周波数
洗浄装置では、液体流入口２から洗浄液を流入し、超音
波振動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的に作動し
て液体噴出口１ｂから洗浄液と異なった周波数の超音波
を噴出して洗浄物を洗浄すると、異なった粒径のパーテ
ィクルが洗浄物から洗浄される。
の異なる超音波を発生して洗浄物に付着する粒径の異な
るパーティクルを除去するようにしたマルチ高周波数洗
浄装置を提供するものである。 【構成】 カバー１の側面に液体流入口２が設けられ、
カバー１の他端に絞られた液体噴出口１ｂが形成され、
カバー１の拡大された一端１ａに支持部材７がＯリング
８、９で機密に支持され、さらに、支持部材７に３つの
超音波振動子１０、１１、１２が同心円状に接着され、
超音波振動子１０、１１、１２からそれぞれ１ＭＨｚ、
２ＭＨｚ、３ＭＨｚの超音波が照射されるように構成さ
れ、超音波振動子１０、１１、１２にそれぞれ発振器が
接続されている。このように構成されたマルチ高周波数
洗浄装置では、液体流入口２から洗浄液を流入し、超音
波振動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的に作動し
て液体噴出口１ｂから洗浄液と異なった周波数の超音波
を噴出して洗浄物を洗浄すると、異なった粒径のパーテ
ィクルが洗浄物から洗浄される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数個の超音波振動子
から周波数の異なる超音波を発生して、洗浄物に付着す
る粒径の異なるパーティクルを除去するようにしたマル
チ高周波数洗浄装置に関するものである。
から周波数の異なる超音波を発生して、洗浄物に付着す
る粒径の異なるパーティクルを除去するようにしたマル
チ高周波数洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】流水式の超音波洗浄装置としては、図５に
示すように、カバー１の側面に洗浄液を流入する液体流
入口２を設け、カバー１の拡大した一端１ａに超音波振
動子３を装着し、この超音波振動子３に発振器４をコー
ドに接続し、カバー１の他端に細く絞って噴出口１ｂを
設け、この噴出口１ｂの前面に設けた被洗浄物５に液体
流入口２からカバー１内の超音波振動子３の前面に流入
する洗浄液６を超音波とともに噴出するものを本出願人
が提案している（特願昭６１−２５０４７７号参照）。
示すように、カバー１の側面に洗浄液を流入する液体流
入口２を設け、カバー１の拡大した一端１ａに超音波振
動子３を装着し、この超音波振動子３に発振器４をコー
ドに接続し、カバー１の他端に細く絞って噴出口１ｂを
設け、この噴出口１ｂの前面に設けた被洗浄物５に液体
流入口２からカバー１内の超音波振動子３の前面に流入
する洗浄液６を超音波とともに噴出するものを本出願人
が提案している（特願昭６１−２５０４７７号参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
超音波洗浄装置によって洗浄物５に付着しているパーテ
ィクルを洗浄する場合、パーティクルの洗浄される粒径
は超音波の周波数に依存しているので、上記本出願人が
提案した超音波洗浄装置では、カバー１の超音波振動子
３から１つの周波数の超音波しか発生できないため、粒
径の異なるパーティクルは除去することができないとい
う問題があった。
超音波洗浄装置によって洗浄物５に付着しているパーテ
ィクルを洗浄する場合、パーティクルの洗浄される粒径
は超音波の周波数に依存しているので、上記本出願人が
提案した超音波洗浄装置では、カバー１の超音波振動子
３から１つの周波数の超音波しか発生できないため、粒
径の異なるパーティクルは除去することができないとい
う問題があった。
【０００４】
【問題点を解決するための手段】本発明は、拡大された
カバーの一端に装着した支持部材に超音波振動子を設
け、前記カバーの他端に細く絞った液体噴出口を設け、
上記カバーの側面からカバー内に洗浄液を流入する液体
流入口を設け、上記超音波振動子で発生する超音波とと
もに洗浄液を上記液体噴出口を通して噴出するようにし
た超音波洗浄装置において、上記カバーの一端に設けた
支持部材に複数個の周波数が異なる超音波振動子を装着
したものである。
カバーの一端に装着した支持部材に超音波振動子を設
け、前記カバーの他端に細く絞った液体噴出口を設け、
上記カバーの側面からカバー内に洗浄液を流入する液体
流入口を設け、上記超音波振動子で発生する超音波とと
もに洗浄液を上記液体噴出口を通して噴出するようにし
た超音波洗浄装置において、上記カバーの一端に設けた
支持部材に複数個の周波数が異なる超音波振動子を装着
したものである。
【０００５】
【作用】本発明によれば、カバーの一端に設けた支持部
材に装着した超音波振動子から周波数の異なる超音波を
発生することにより、カバーの噴出口より洗浄液ととも
に異なる周波数の超音波が噴出されるので、洗浄物に付
着した粒径の異なるパーティクルを効率よく洗浄するこ
とができるという利点がある。
材に装着した超音波振動子から周波数の異なる超音波を
発生することにより、カバーの噴出口より洗浄液ととも
に異なる周波数の超音波が噴出されるので、洗浄物に付
着した粒径の異なるパーティクルを効率よく洗浄するこ
とができるという利点がある。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の実施例のマルチ高周波数洗
浄装置の断面図で、カバー１の側面に液体流入口２が設
けられ、カバー１の他端に絞られた液体噴出口１ｂが形
成され、カバー１の拡大された一端１ａに支持部材７が
Ｏリング８、９で機密に支持されている。
浄装置の断面図で、カバー１の側面に液体流入口２が設
けられ、カバー１の他端に絞られた液体噴出口１ｂが形
成され、カバー１の拡大された一端１ａに支持部材７が
Ｏリング８、９で機密に支持されている。
【０００７】この支持部材７には、図２に示すように、
３つの超音波振動子１０、１１、１２が同心円状に接着
され、これらの超音波振動子１０、１１、１２からそれ
ぞれ１ＭＨｚ、２ＭＨｚ、３ＭＨｚの超音波が照射され
るように構成され、超音波振動子１０、１１、１２にそ
れぞれの発振器（図示せず）が接続されている。
３つの超音波振動子１０、１１、１２が同心円状に接着
され、これらの超音波振動子１０、１１、１２からそれ
ぞれ１ＭＨｚ、２ＭＨｚ、３ＭＨｚの超音波が照射され
るように構成され、超音波振動子１０、１１、１２にそ
れぞれの発振器（図示せず）が接続されている。
【０００８】このように構成された本実施例のマルチ高
周波数洗浄装置では、液体流入口２から洗浄液を流入
し、超音波振動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的
に作動して、液体噴出口１ｂから洗浄液と異なった周波
数の超音波を噴出して洗浄物を洗浄すると、洗浄物に付
着した異なった粒径のパーティクルを洗浄することがで
きるばかりでなく、異なった周波数の超音波が重畳され
るので、設定された超音波の周波数による以外の粒径の
パーティクルも洗浄することができる。
周波数洗浄装置では、液体流入口２から洗浄液を流入
し、超音波振動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的
に作動して、液体噴出口１ｂから洗浄液と異なった周波
数の超音波を噴出して洗浄物を洗浄すると、洗浄物に付
着した異なった粒径のパーティクルを洗浄することがで
きるばかりでなく、異なった周波数の超音波が重畳され
るので、設定された超音波の周波数による以外の粒径の
パーティクルも洗浄することができる。
【０００９】図２は、本発明の他の実施例のマルチ高周
波数洗浄装置の支持部材の斜視図で、支持部材７に円盤
状の３つの超音波振動子１０、１１、１２が接着されて
おり、この支持部材７は上記実施例と同様にカバー１の
拡大された一端１ａにＯリング８、９によって機密に装
着される。
波数洗浄装置の支持部材の斜視図で、支持部材７に円盤
状の３つの超音波振動子１０、１１、１２が接着されて
おり、この支持部材７は上記実施例と同様にカバー１の
拡大された一端１ａにＯリング８、９によって機密に装
着される。
【００１０】このように構成された実施例においても、
カバー１の液体流入口から洗浄液を流入して、超音波振
動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的に作動し、液
体噴出口１ｂから洗浄液と超音波を洗浄物に噴出させて
洗浄することにより、洗浄物に付着したパーティクルの
粒径にかかわらず異なった粒径のパーティクルを洗浄す
ることができる。
カバー１の液体流入口から洗浄液を流入して、超音波振
動子１０、１１、１２を間欠的又は連続的に作動し、液
体噴出口１ｂから洗浄液と超音波を洗浄物に噴出させて
洗浄することにより、洗浄物に付着したパーティクルの
粒径にかかわらず異なった粒径のパーティクルを洗浄す
ることができる。
【００１１】なお、上記実施例では、超音波振動子１
０、１１、１２を同心円状及び円盤状に形成したものを
支持部材７に接着したが、図４に示すように支持部材７
に超音波振動子１０、１１、１２を積層してもよいし、
これらの超音波振動子を短冊場のものや円弧状のもので
形成することができ、さらに、超音波振動子の数は３つ
に限らず、２個でも、４個以上でも接着することができ
る。
０、１１、１２を同心円状及び円盤状に形成したものを
支持部材７に接着したが、図４に示すように支持部材７
に超音波振動子１０、１１、１２を積層してもよいし、
これらの超音波振動子を短冊場のものや円弧状のもので
形成することができ、さらに、超音波振動子の数は３つ
に限らず、２個でも、４個以上でも接着することができ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のマルチ高周波数洗浄装置では、カバーの拡大された一
端に設けた支持部材に周波数の異なった超音波振動子を
接着して、これらの超音波振動子を間欠的又は連続的に
作動してカバーの噴出口より洗浄液とともに異なった超
音波を噴出することにより、異なった周波数の超音波が
重畳されて、洗浄物に付着した粒径の異なったパーティ
クルを広範囲に洗浄することができるという利点があ
る。
のマルチ高周波数洗浄装置では、カバーの拡大された一
端に設けた支持部材に周波数の異なった超音波振動子を
接着して、これらの超音波振動子を間欠的又は連続的に
作動してカバーの噴出口より洗浄液とともに異なった超
音波を噴出することにより、異なった周波数の超音波が
重畳されて、洗浄物に付着した粒径の異なったパーティ
クルを広範囲に洗浄することができるという利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例のマルチ高周波数洗浄装置の断
面図である。
面図である。
【図２】図１の装置に装着した支持部材と超音波振動子
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】本発明の他の実施例のマルチ高周波数洗浄装置
に装着した支持部材と超音波振動子の斜視図である。
に装着した支持部材と超音波振動子の斜視図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例のマルチ高周波数洗
浄装置に装着した支持部材と超音波振動子の斜視図であ
る。
浄装置に装着した支持部材と超音波振動子の斜視図であ
る。
【図５】従来の超音洗浄装置の側面図である。
１ カバー ２ 液体流入口 ７ 支持部材 ８、９ Ｏリング １０、１１、１２ 超音波振動子
Claims (5)
- 【請求項１】 拡大されたカバーの一端に装着した支持
部材に超音波振動子を設け、前記カバーの他端に細く絞
った液体噴出口を設け、上記カバーの側面からカバー内
に洗浄液を流入する液体流入口を設け、上記超音波振動
子で発生する超音波とともに洗浄液を上記液体噴出口を
通して噴出するようにした超音波洗浄装置において、上
記カバーの一端に設けた支持部材に複数個の周波数が異
なる超音波振動子を装着したことを特徴とするマルチ高
周波数洗浄装置。 - 【請求項２】 前記超音波振動子は微小時間毎に順次作
動することを特徴とする請求項１記載のマルチ高周波数
洗浄装置。 - 【請求項３】 前記超音波振動子は全てを同時に作動す
ることを特徴とする請求項１記載のマルチ高周波数洗浄
装置。 - 【請求項４】 前記複数個のの超音波振動子は同心円で
あることを特徴とする請求項１記載のマルチ高周波数洗
浄装置。 - 【請求項５】 前記複数個の超音波振動子は支持部材に
積層したことを特徴とする請求項１記載のマルチ高周波
数洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5502195A JPH08224555A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | マルチ高周波数洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5502195A JPH08224555A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | マルチ高周波数洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08224555A true JPH08224555A (ja) | 1996-09-03 |
Family
ID=12987023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5502195A Pending JPH08224555A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | マルチ高周波数洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08224555A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079198A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-19 | Toshiba Corp | 超音波洗浄方法とその装置 |
| JP2010253012A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | 食器洗い機 |
| CN102725825A (zh) * | 2010-05-31 | 2012-10-10 | 韩国机械研究院 | 超声精密清洁装置 |
| US20160218022A1 (en) * | 2015-01-28 | 2016-07-28 | Semes Co., Ltd | Substrate treating apparatus and treatment liquid nozzle |
| JP2022028313A (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-16 | 株式会社ディスコ | 超音波洗浄ノズル |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP5502195A patent/JPH08224555A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002079198A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-19 | Toshiba Corp | 超音波洗浄方法とその装置 |
| JP2010253012A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | 食器洗い機 |
| CN102725825A (zh) * | 2010-05-31 | 2012-10-10 | 韩国机械研究院 | 超声精密清洁装置 |
| JP2013516797A (ja) * | 2010-05-31 | 2013-05-13 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | 超音波精密洗浄装置 |
| CN102725825B (zh) * | 2010-05-31 | 2015-11-25 | 韩国机械研究院 | 超声精密清洁装置 |
| US20160218022A1 (en) * | 2015-01-28 | 2016-07-28 | Semes Co., Ltd | Substrate treating apparatus and treatment liquid nozzle |
| US10211074B2 (en) * | 2015-01-28 | 2019-02-19 | Semes Co., Ltd. | Substrate treating apparatus and treatment liquid nozzle |
| JP2022028313A (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-16 | 株式会社ディスコ | 超音波洗浄ノズル |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040212 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040224 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |