JPH0822636A - ガルバノミラーの組立て装置および組立て方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】剛性の低い板ばねを用いながら、自動的に、か
つ精度よく組立て得るガルバノミラーの組立て装置およ
び組立て方法を提供する。 【構成】ガルバノミラーの組立て装置は、その中空部１
ａに板ばね２を設けたヨーク１を位置決め支持し、かつ
ヨークの中空部に連通する開口部１２を備えた支持台１
０と、上記開口部を経由してミラー３を板ばねの一方の
主面側に当接させるミラー接着機構１５と、このミラー
接着と同期してボイスコイル４を板ばねの他方の主面側
に当接させるボイスコイル接着機構３０とを具備したこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば光ディスクド
ライバに用いられるガルバノミラーに係り、特にその組
立て装置および組立て方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報機器の小型化が促進され、た
とえばコンピュータ装置における外部記憶装置として用
いられる光ディスクドライバ等にも、小型化の要望が極
めて大きい。

【０００３】したがって、この光ディスクドライバを構
成する部品としてのガルバノミラーにおいても、いわゆ
る軽薄短小化が進んでいる。上記ガルバノミラーは、ガ
ルバノメータの原理を応用して得られる。すなわち、磁
界中の可動コイルに電流を流すことにより電磁力を発生
させ、電流に比例した回転力を生じさせる。このトルク
によって指針を振らせ電流の有無や大小を調べる計器を
ガルバノメータという。

【０００４】ガルバノミラーは、可動コイルの軸に小さ
なミラーを取り付けることで、電流に比例したトルクと
制御ばねによる制御トルクとがつり合う角度まで上記ミ
ラーを揺動する。また、このようなミラーにレーザ光を
入射させると、ミラーの回転角θに対してレーザ光は回
転角θの２倍の角度２θをもって偏向され、反射するこ
ととなる。

【０００５】光ディスクドライバに用いられるガルバノ
ミラーは、図８および図９に示すように構成される。図
中１は、固定鉄片であり、その外径寸法が約２０mm×１
０mm角程度の矩形枠状のヨークである。すなわちヨーク
１は中空部１ａを有していて、対向する内周辺に剛性の
低いねじりばねである板ばね２の両端に形成される固定
部２ａ，２ｂが取付け固定される。

【０００６】この板ばね２は、たとえばベリリウム銅
（ＢｅＣｕ）材からなり、１２０μm程度の極く薄い板
厚のものが用いられる。また、それぞれの固定部２ａ，
２ｂには板厚程度の幅寸法をもったねじり部２ｃ，２ｄ
が連設され、ヨーク中空部１ａに延出される。

【０００７】これらねじり部２ｃ，２ｄの相互間は、た
とえば７mm×６mm角程度の可動部２ｅが一体に形成され
ている。この可動部２ｅの一方の主面側である図におけ
る上面に、その鏡面を上側に向けたミラー３が接着され
る。また可動部２ｅの他方の主面側である下面にはボイ
スコイル４が接着される。

【０００８】上記ボイスコイル４は、下面が開口する断
面逆凹字状に形成されていて、ヨーク１の中空部１ａ内
に位置する。そして、ボイスコイル４の下面開口部から
この内部に図示しない電磁石が挿入され、かつ適宜な手
段で支持される。

【０００９】このようにして構成されるガルバノミラー
であり、ボイスコイル４に電流を流して電磁石とヨーク
１との間に磁気回路を形成し、板ばね２のねじり部２
ｃ，２ｄにおいて可動部２ｅの揺動運動を生じさせ、こ
れと一体のミラー３の偏向運動に繋げることとなる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
光ディスクドライバに用いられるガルバノミラーにおい
ては、その作用は何らの不具合もなくなされるが、組立
て方法については従来、人手に頼っているため問題が多
い。

【００１１】すなわち、上記板ばね２は箔状と呼んでも
よいほど板厚の極く薄いものであり、しかも板厚とほぼ
同等の幅寸法をもったねじり部２ｃ，２ｄを介して可動
部２ｅと連設される。上記可動部２ｅもまた、面積が極
めて小さく、この両面に同一面積のミラー３とボイスコ
イル４を接着しなければならない。

【００１２】実際の接着作業は、板ばね２の片面づつ、
順に行われる。このとき、板ばね２に対する接着力を均
一に保持するには高度の熟練を要し、変形を生じさせる
ことが多い。

【００１３】そのまま用いれば、ガルバノミラーの初期
位置にオフセットが存在し、レーザ光の反射作用を行う
と、所定の偏向角度が得られない。製品が完成した状態
でのテストの際に、板ばねの変形を修正することも可能
であるが、作業時間が長く、コストに悪影響を与える。

【００１４】本発明は、上述した事情に鑑みなされたも
のであり、その目的とするところは、剛性の低い板ばね
を用いながら、自動的に、かつ精度よく組立て得るガル
バノミラーの組立て装置および組立て方法を提供するこ
とにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を満足するた
め、第１の発明におけるガルバノミラーの組立て装置
は、請求項１として、中空部を有するヨークと、上記中
空部に端部を固定された板ばねと、上記板ばねの一方の
主面側に固着されたミラーと、上記板ばねの他方の主面
側に固着されたボイスコイルとを有するガルバノミラー
の組立て装置において、上記板ばねが固定されたヨーク
を保持するとともに上記ヨークの中空部に連通する開口
部が設けられた支持台と、上記開口部を経由して上記ミ
ラーを上記板ばねの一方の主面側に当接させるミラー接
着手段と、このミラー接着手段に対向して配設され、か
つ上記ミラー接着手段と同期して上記ボイスコイルを上
記板ばねの他方の主面側に当接させるボイスコイル接着
手段とを具備したことを特徴とする。

【００１６】請求項２として、請求項１記載の上記支持
台は、上記板ばねを設けたヨークを支持する基準面を備
え、上記板ばねの一方の主面側にミラーを当接する手段
は、上記支持台の下部に配置され、ミラーを真空吸着す
るミラー吸着部を有するとともにこのミラー吸着部を移
載するＹステージおよびＺステージを備え、上記板ばね
の他方の主面側にボイスコイルを当接する手段は、ボイ
スコイルを真空吸着するボイスコイル吸着部を有すると
ともにこのボイスコイル吸着部を移載するＸＹステージ
およびＺステージを備えたことを特徴とする。

【００１７】請求項３として、請求項１記載の上記支持
台の基準面は、ヨークを真空吸着する吸着孔が開口する
とともに、ヨークに設けられるピン孔に係合してその位
置を規制する基準ピンが立設されることを特徴とする。

【００１８】請求項４として、請求項２記載の上記板ば
ねの一方の主面側にミラーを当接する手段は、上記ミラ
ー吸着部に吸着したミラーの位置を検出する変位計と、
この変位計の検出信号に応じてミラーを突き当ててミラ
ーの位置を調整する突き当て体を備え、上記板ばねの他
方の主面側にボイスコイルを当接する手段は、ボイスコ
イル吸着部に吸着したボイスコイルの位置を検出する変
位計と、この変位計の検出信号に応じて上記ＸＹステー
ジの位置を調整する手段を備えたことを特徴とする。

【００１９】請求項５として、請求項２記載の上記板ば
ねの一方の主面側にミラーを当接する手段は、上記ミラ
ー吸着部がミラーの非鏡面に塗布されたＵＶ接着剤を介
して板ばねを支持し、上記板ばねの他方の主面側にボイ
スコイルを当接する手段は、上記ボイスコイル吸着部が
ボイスコイルを真空吸着するとともに弾性的にボイスコ
イルを支持し、板ばねの他面に塗布された嫌気性接着剤
を介してボイスコイルを弾性的に押圧付勢することを特
徴とする。

【００２０】上記目的を満足するため、第２の発明であ
るガルバノミラーの組立て方法は、請求項６として、中
空部を有するヨークと、上記中空部に端部を固定された
板ばねと、上記板ばねの一方の主面側に固着されたミラ
ーと、上記板ばねの他方の主面側に固着されたボイスコ
イルとを有するガルバノミラーの組立て方法において、
基準面が設けられた支持台に、上記板ばねが固定された
ヨークを位置決め固定する工程と、上記ミラーを上記板
ばねの一方の主面側に接着剤を介して当接させるととも
に上記ボイスコイルを板ばねの他方の主面側に接着剤を
介して当接させ上記ミラーと上記ボイスコイルとにより
上記板ばねを挟持することにより上記ミラーと上記ボイ
スコイルとを同時に接着する工程とを具備したことを特
徴とする。請求項７として、請求項６記載の上記接着剤
は、紫外線硬化接着剤または嫌気性接着剤であることを
特徴とする。

【００２１】

【作用】第１の発明において、支持台に板ばねを設けた
ヨークを位置決め支持し、この支持台の一方の主面側か
ら支持台の開口部を介して板ばねにミラーを接着し、上
記支持台の他方の主面側からミラーの接着と同期して板
ばねの他面にボイスコイルを接着する。

【００２２】第２の発明において、支持台に設けられる
基準面に、板ばねを取付けたヨークを位置決め支持し、
上記板ばねの一方の主面側にミラーを接着し、このミラ
ーの接着と同期して板ばねの他方の主面側にボイスコイ
ルを接着し、上記板ばねの両面をミラーとボイスコイル
とで挟持して、板ばねにミラーとボイスコイルを同時接
着する。

【００２３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面にもとづい
て説明する。図１に示すように、ガルバノミラーの組立
て装置が構成される。図中１０は、その四隅を支柱１１
…で支持される支持台である。この支持台１０の上面は
ガルバノミラー組立て作業における基準面Ｓとなってい
る。

【００２４】この基準面Ｓには支持台１０の中央部長手
方向に沿って設定される基準線Ｙと、支持台の中央部幅
方向に沿って設定される基準線Ｘとの交差位置に上記ヨ
ーク１が支持される。

【００２５】なお説明すれば、図２に示すように、上記
支持台１０の所定位置には矩形状の開口部１２が設けら
れていて、この開口部１２の対向する一対の辺部で、か
つ基準線Ｙ上に吸着孔１３，１３が開口するとともに、
この近傍位置に基準ピン１４，１４が立設される。

【００２６】上記吸着孔１３は、支持台１０に設けられ
る真空通路と、この通路の端部に接続されるホースを介
して真空源である真空ポンプに連通する。（以上、いず
れも図示しない）このような支持台１０の基準面Ｓに、
先に説明したヨーク１が支持される。上記ヨーク１に形
成される中空部１ａ寸法は、支持台の上記開口部１２寸
法と一致する。

【００２７】そして、ヨーク中空部１ａの対向する一対
の辺部にピン孔５，５が設けられていて、支持台１０に
立設される上記基準ピン１４，１４に嵌挿するようにな
っている。しかも、吸着孔１３に真空圧がかかって、ヨ
ーク１は支持台基準面Ｓに正確な位置決めをなした状態
で支持される。

【００２８】再び図１に示すように、上記支持台１０の
下部にミラー接着機構１５が配設される。すなわち、支
持台１０の下面で、上記基準線Ｙの下方で、かつこの線
と並行な位置にレール部１６が敷設される。

【００２９】上記レール部１６にはＹステージ１７が跨
設されていて、レール部上に移動自在である。上記Ｙス
テージ１７にはＬ字状の受け台１８が載設されていて、
この垂直片部に垂直方向にガイドレール部１９が設けら
れる。そして、ガイドレール部１９にはＺステージ２０
が上下方向に移動自在に跨設される。

【００３０】上記Ｚステージ２０の側面部には、後述す
るミラー吸着部２１が設けられる。このミラー吸着部２
１がＹステージ１７の移動によって支持台１０下面から
外方へ出た位置、すなわち基準線Ｘ，Ｙの交差位置から
Ｙ方向に距離Ｌのところにミラー吸着部２１と対向して
変位計２２が配置されている。

【００３１】上記変位計２２は、上記ミラー吸着部２１
に吸着されるミラー３の位置を上方部位から検出する。
そして、ここから検出信号が図示しない制御回路へ送ら
れ、さらに突き当て体である突き当て杆２３，２４へ送
られるようになっている。

【００３２】上記突き当て杆２３，２４は、上記距離Ｌ
の位置におけるミラー吸着部２１に真空吸着されたミラ
ー３に対してＹ軸方向と、Ｘ軸方向にそれぞれミラー３
を突き当て、その位置を微調整するものである。

【００３３】上記ミラー吸着部２１は、図４に示すよう
に、上下端面に窓孔２５が貫通して設けられ、下端開口
部のみガラス板である窓２６で閉塞される。そして、こ
の窓２６の下方部位には、ＵＶ光（紫外線）照射源であ
るＵＶランプ２７が配置されていて、窓孔に向かってＵ
Ｖ光を照射するようになっている。

【００３４】ミラー吸着部２１の側部には、上記窓孔２
５の中途部に連通する横孔２８が開口し、ここに図示し
ないホースが接続され上記真空ポンプに連通される。し
たがって、ミラー吸着部２１上にミラー３を載置すれ
ば、ミラーを真空吸着でき、かつＹステージ１７とＺス
テージ２０の作動で所定位置への搬送が可能である。

【００３５】再び図１に示すように、上記ミラー接着機
構１５とは対称位置である上記支持台１０上方部位に、
ボイスコイル接着機構３０が設けられる。すなわち、図
示しない基台上にＸＹステージ３１が載設される。上記
ＸＹステージ３１上には、Ｌ字状の受け台３２が載設さ
れ、この垂直片部に垂直方向にガイドレール部３３が設
けられていて、ここにＺステージ３４が上下方向に移動
自在に跨設される。

【００３６】上記Ｚステージ３４もＬ字状に形成されて
いて、この水平片部の下面に後述するボイスコイル吸着
部３５が設けられる。図３に示すように、上記ボイスコ
イル吸着部３５は、Ｚステージ３４に一体に設けられる
外套体３６を備えている。この外套体３６内には、吸着
ノズル３７の頭部３７ａとスプリング３８が収容され
る。

【００３７】上記吸着ノズル３７はスプリング３８によ
って下方へ向けて弾性的に押圧付勢されており、外套体
３６下面に設けられる開口部３６ａから下方へ突出する
本体部３７ｂと、この下端部のみ細径化された細径部３
７ｃが一体に形成される。

【００３８】上記細径部３７ｃ下面から頭部３７ａ上端
面に亘って吸着孔３９が設けられていて、図示しないホ
ースを介して外套体３６外部に配置される上記真空ポン
プに連通される。

【００３９】したがって、吸着ノズル３７の細径部３７
ｃ先端に上記ボイスコイル４を真空吸着できるようにな
っている。再び図１に示すように、上記支持台基準面Ｓ
から所定高さＨ1 の位置に、吸着ノズル３７に吸着され
たボイスコイル４位置をＸ方向とＹ方向とから検出する
２組の変位計４０，４１が設けられる。

【００４０】これら変位計４０，４１の検出信号は、全
て上記制御回路に送信され、ここで予め記憶されるボイ
スコイル４の基準位置と比較し、その制御信号をＸＹス
テージ３１へ送って吸着したボイスコイル４の位置調整
を行うようになっている。

【００４１】つぎに、ガルバノミラーの組み立て作用を
順に説明する。はじめ、図４に示すように、予め板ばね
２の固定部２ａ，２ｂを取付け固定したヨーク１を支持
台１０の基準面Ｓに載置する。先に説明したように、ヨ
ーク１に設けられるピン孔５，５を基準面Ｓに立設され
る基準ピン１４，１４に挿嵌すればよい。同時に、ヨー
ク１に真空圧をかけて、この位置を固定する。

【００４２】一方、ミラー吸着機構１５においては、先
きに図１で説明した支持台１０の基準位置から距離Ｌの
ところにミラー吸着部２１を移動しておき、ここに接着
すべきミラー３を載置して真空吸着する。

【００４３】このとき、ミラー３の鏡面を下面側にして
真空吸着し、非鏡面を上面側にしてこの面にＵＶ接着剤
４２を供給する。上記ＵＶ接着剤４２は、ＵＶ光（紫外
線）の照射を所定時間以上受けた状態で、はじめて硬化
するものである。

【００４４】このようにしてミラー吸着部２１に載置し
たミラー３の位置を変位計２２で検出し、その検出信号
を制御回路へ送って突き当て杆２３，２４を自動制御
し、ミラーを基準位置に移動調整する。

【００４５】一方、ボイスコイル吸着部３５にボイスコ
イル４を真空吸着する。そして、ＸＹステージ３１とＺ
ステージ３４を作動して、支持台基準面Ｓから高さＨ1
のところにボイスコイル４を移動し、２組の変位計４
０，４１によって位置を検出し、ＸＹステージ３１がボ
イスコイルを基準位置に移動調整する。

【００４６】つぎに図５に示すように、ミラー吸着部２
１を高さＨ3 だけ降下し、レール部１６に沿って距離Ｌ
だけ移動してから、高さＨ4 だけ上昇させる。その結
果、上記ミラー３は板ばね可動部２ｅとの間に、上記Ｕ
Ｖ接着剤４２を圧潰して当接する。

【００４７】距離Ｈ4 の設定は、ＵＶ接着剤４２の特性
および塗布量等の条件から、板ばね２とミラー３の接着
面との間隔が適当となるように設定され、板ばね２をＵ
Ｖ接着剤４２を介してミラー３およびミラー吸着部２１
が支持する。

【００４８】たとえ上記ヨーク１に寸法誤差があって
も、この板ばね取付け面が基準面Ｓに吸着されているた
め、板ばね可動部２ｅ面とミラー３接着面との間隔は高
精度に再現され、互いの接着面が離れ過ぎたり、互いの
接着面が接近し過ぎて衝突するようなことがない。

【００４９】一方、ヨーク１の上方から、ここに形成さ
れる中空部１ａを介して板ばね可動部２ｅの上面に嫌気
性接着剤４３が供給される。この嫌気性接着剤４３は、
接着物相互を所定時間以上押圧状態においたとき、硬化
して互いの接着物を接着固定するものである。

【００５０】つぎに、図６に示すように、ミラー吸着部
２１の位置をそのままにして、すなわちミラー３とミラ
ー吸着部２１による板ばね３の支持状態を継続して、Ｕ
Ｖランプ２７を点灯する。

【００５１】ここから照射されるＵＶ光は窓２６を透過
し、窓孔２５端部に位置するミラー３に塗布されたＵＶ
接着剤４２を硬化させる。したがって、ミラー３は板ば
ね可動部２ｅの一方の主面側に接着固定される。

【００５２】一方、ボイスコイル吸着部３５を降下し、
この細径部３７ｃ先端と基準面Ｓとの間隔がＨ2 の位置
にきたら吸着部の降下を停止する。ボイスコイル４の下
面である接着面は板ばね可動部２ｅとの間に嫌気性接着
剤４３を圧潰する。

【００５３】このとき上記間隔寸法Ｈ2 の設定によりボ
イスコイル４と板ばね可動部２ｅとは間隔を開けてもよ
いし、上記外套体３６内のスプリング３８により一定圧
で押圧してもよい。

【００５４】仮に、成形された上記ボイスコイル４に寸
法誤差があって、ボイスコイル４の接着面が板ばね可動
部２ｅの接着面に加圧接触したとしても、上記スプリン
グ３８が圧縮されてボイスコイル４が上方へ移動すると
ともに、板ばね可動部２ｅはその下面をミラー３および
ミラー吸着部２１に支持されているため、板ばね２の変
形がない。

【００５５】このような状態を所定時間継続することに
より、板ばね可動部２ｅとボイスコイル４間の嫌気性接
着剤４３は硬化する。したがって、ボイスコイル４は板
ばね可動部２ｅの他方の主面側に接着固定される。

【００５６】ついで、図７に示すように、ミラー吸着部
２１とボイスコイル吸着部３５における真空圧の付与を
停止し、ミラー吸着部２１のＺステージ２０を下方へ、
かつボイスコイル吸着部３５のＺステージ３４を上方
へ、それぞれ移動させる。

【００５７】最後に、支持台１０上のヨーク１に対する
真空圧の付与を停止し、ヨーク１を基準ピン１４から取
外しする。すなわち、先に図８および図９で説明したガ
ルバノミラーの組立てが完了することとなる。

【００５８】以上説明したように、板ばね２の固定部２
ａ，２ｂをヨーク１に取付け固定した状態で、この両面
にミラー３とボイスコイル４を同時的に取付けするた
め、板ばね２を単体でハンドリングすることがなく、板
ばね２に与えるダメージがほとんど無い。

【００５９】また、ヨーク１、ミラー３およびボイスコ
イル４に寸法誤差があっても、板ばね２を変形させるこ
となく組立てが可能であり、しかも各部品の相対位置を
再現させ得る構成であり、よって組立て精度の向上を得
られるものである。そして、板ばね２の変形阻止と組立
て精度の向上から、従来のような組立て後の修正が不要
となり、組立て時間の短縮に繋がる。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように第１の発明のガルバ
ノミラーの組立て装置は、支持台の開口部をヨークの中
空部に連通して支持台にヨークを保持し、支持台開口部
を経由してミラーを板ばねの一方の主面側に当接接着さ
せ、これと同期してボイスコイルを板ばねの他方の主面
側に当接接着させるようにしから、板ばねに与えるダメ
ージがほとんど無く、たとえヨーク、ミラーおよびボイ
スコイルに寸法誤差があっても、板ばねを変形させるこ
となく組立てが可能であり、しかも各部品の相対位置を
再現させ得る構成で、組立て精度の向上を得られる。従
来のような組立て後の修正が不要で、組立て時間の短縮
化が得られ、剛性の低い板ばねを用いながら、自動的
に、かつ精度よく組立て得る効果を奏する。

【００６１】第２の発明のガルバノミラーの組立て方法
は、基準面が設けられた支持台に、板ばねが固定された
ヨークを位置決め固定し、ミラーを板ばねの一方の主面
側に接着剤を介して当接させ，ボイスコイルを板ばねの
他方の主面側に接着剤を介して当接させ、ミラーとボイ
スコイルとにより板ばねを挟持することにより、ミラー
とボイスコイルとを同時に接着するようにしたから、板
ばねに与えるダメージがほとんど無く、組立て精度の向
上を得られ、従来のような組立て後の修正が不要となっ
て組立て時間の短縮化が得られ、剛性の低い板ばねを用
いながら、自動的に、かつ精度よく組立て得る効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す、ガルバノミラーの組
立て装置の概略斜視図。

【図２】同実施例の、支持台基準面からヨークを分解し
た状態の斜視図。

【図３】同実施例の、ボイスコイル吸着部の縦断面図。

【図４】同実施例の、ガルバノミラーの組立ての最初の
工程を説明する図。

【図５】同実施例の、ガルバノミラーの組立ての次の工
程を説明する図。

【図６】同実施例の、ガルバノミラーの組立てのさらに
次の工程を説明する図。

【図７】同実施例の、ガルバノミラーの組立ての最終の
工程を説明する図。

【図８】組み立てられたガルバノミラーの一部を切欠し
た斜視図。

【図９】ガルバノミラーを分解した斜視図。

【符号の説明】

１ａ…中空部、２…板ばね、１…ヨーク、１２…開口
部、１０…支持台、３…ミラー、１５…ミラー接着機
構、４…ボイスコイル、３０…ボイスコイル接着機構、
Ｓ…基準面、２１…ミラー吸着部、１７…Ｙステージ、
２０…Ｚステージ、３５…ボイスコイル吸着部、３１…
ＸＹステージ、３４…Ｚステージ、１３…吸着孔、５…
ピン孔、１４…基準ピン、２２…（ミラー）変位計、２
３，２４…突き当て体、４２…ＵＶ接着剤、３７…吸着
ノズル、４３…嫌気性接着剤。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】中空部を有するヨークと、上記中空部に端
   部を固定された板ばねと、上記板ばねの一方の主面側に
   固着されたミラーと、上記板ばねの他方の主面側に固着
   されたボイスコイルとを有するガルバノミラーの組立て
   装置において、 上記板ばねが固定されたヨークを保持するとともに上記
   ヨークの中空部に連通する開口部が設けられた支持台
   と、 上記開口部を経由して上記ミラーを上記板ばねの一方の
   主面側に当接させるミラー接着手段と、 このミラー接着手段に対向して配設され、かつ上記ミラ
   ー接着手段と同期して上記ボイスコイルを上記板ばねの
   他方の主面側に当接させるボイスコイル接着手段とを具
   備したことを特徴とするガルバノミラーの組立て装置。
2. 【請求項２】上記支持台は、上記板ばねを設けたヨーク
   を支持する基準面を備え、 上記板ばねの一方の主面側にミラーを当接する手段は、
   上記支持台の下部に配置され、ミラーを真空吸着するミ
   ラー吸着部を有するとともにこのミラー吸着部を移載す
   るＹステージおよびＺステージを備え、 上記板ばねの他方の主面側にボイスコイルを当接する手
   段は、ボイスコイルを真空吸着するボイスコイル吸着部
   を有するとともにこのボイスコイル吸着部を移載するＸ
   ＹステージおよびＺステージを備えたことを特徴とする
   請求項１記載のガルバノミラーの組立て装置。
3. 【請求項３】上記支持台の基準面は、ヨークを真空吸着
   する吸着孔が開口するとともに、ヨークに設けられるピ
   ン孔に係合してその位置を規制する基準ピンが立設され
   ることを特徴とする請求項１記載のガルバノミラーの組
   立て装置。
4. 【請求項４】上記板ばねの一方の主面側にミラーを当接
   する手段は、上記ミラー吸着部に吸着したミラーの位置
   を検出する変位計と、この変位計の検出信号に応じてミ
   ラーを突き当ててミラーの位置を調整する突き当て体を
   備え、 上記板ばねの他方の主面側にボイスコイルを当接する手
   段は、ボイスコイル吸着部に吸着したボイスコイルの位
   置を検出する変位計と、この変位計の検出信号に応じて
   上記ＸＹステージの位置を調整する手段を備えたことを
   特徴とする請求項２記載のガルバノミラーの組立て装
   置。
5. 【請求項５】上記板ばねの一方の主面側にミラーを当接
   する手段は、上記ミラー吸着部がミラーの非鏡面に塗布
   されたＵＶ接着剤を介して板ばねを支持し、 上記板ばねの他方の主面側にボイスコイルを当接する手
   段は、上記ボイスコイル吸着部がボイスコイルを真空吸
   着するとともに弾性的にボイスコイルを支持し、板ばね
   の他面に塗布された嫌気性接着剤を介してボイスコイル
   を弾性的に押圧付勢することを特徴とする請求項２記載
   のガルバノミラーの組立て装置。
6. 【請求項６】中空部を有するヨークと、上記中空部に端
   部を固定された板ばねと、上記板ばねの一方の主面側に
   固着されたミラーと、上記板ばねの他方の主面側に固着
   されたボイスコイルとを有するガルバノミラーの組立て
   装置において、 基準面が設けられた支持台に、上記板ばねが固定された
   ヨークを位置決め固定する工程と、 上記ミラーを上記板ばねの一方の主面側に接着剤を介し
   て当接させるとともに上記ボイスコイルを板ばねの他方
   の主面側に接着剤を介して当接させ上記ミラーと上記ボ
   イスコイルとにより上記板ばねを挟持することにより上
   記ミラーと上記ボイスコイルとを同時に接着する工程と
   を具備したことを特徴とするガルバノミラーの組立て方
   法。
7. 【請求項７】上記接着剤は、紫外線硬化接着剤または嫌
   気性接着剤であることを特徴とする請求項６記載のガル
   バノミラーの組立て方法。