JPH08230182A - インクジェットプリントヘッド、およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】エッチング処理などの煩雑な作業工程を要する
ことなく、簡易な製造手段によって効率良く、かつ安価
に、インクジェットプリントヘッドを製造できるように
する。 【構成】一側面が開口した凹溝状のインク流路４を少な
くとも一側面に形成しているヘッド基板１と、上記イン
ク流路４の開口面部４ａを閉塞するように上記ヘッド基
板１に取付けられる振動板２とを具備するインクジェッ
トプリントヘッドであって、上記ヘッド基板１は、この
ヘッド基板１に上記凹溝状のインク流路４が同時成形さ
れるように金型により樹脂成形されたものである一方、
上記振動板２は、合成樹脂製の可撓性板の表面に金属導
電層２１が設けられて形成されており、上記振動板２の
上記金属導電層２１には、圧電素子２２が取付けられて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本願発明は、プリンタ、ファクシ
ミリ装置、プロッタなどの印字部に用いられるインクジ
ェットプリントヘッド、およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のインクジェットプリント
ヘッドとしては、たとえば図７に示すようなものがあ
る。この従来のものは、ヘッド基板となるガラス板１ｅ
の裏面（下面）に、エッチング処理によって下面開口状
の凹溝状のインク流路４８を形成し、このインク流路４
８の下面の開口面部４８ａを振動板２ｅによって閉塞し
た基本構造をもつ。上記振動板２ｅは、薄肉状とするこ
とによって可撓性を与えたガラス板２０ｅの片面に、た
とえばＩＴＯ膜（微量の添加物品を含む酸化スズ膜、あ
るいは酸化スズを含む酸化インジウム膜）２１ｅからな
る導電層を介して圧電素子２２を実装し、この圧電素子
２２に電圧印加を行うと上記薄肉ガラス板２０ｅが撓み
変形を行うように構成されている。このような構成によ
れば、上記インク流路４８内にインクを充填させた状態
において、振動板２ｅの薄肉ガラス板２０ｅを矢印ａ方
向に撓み変形させ、インク流路４８内の容積を瞬間的に
減少させることにより、このインク流路４８内のインク
をノズル口４９から吐出させることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものは、ヘッド基板を、振動板２ｅと同様にガラス
板１ｅを用いて構成し、凹溝状のインク流路４８をエッ
チング処理によって形成している。そのために、このエ
ッチング処理が非常に煩雑な作業となっていた。

【０００４】また、ガラス板１ｅを所望の外形寸法に仕
上げるためには、サンドブラスト加工など、後工程とし
て慎重なクリーニング処理を必要とする加工を施す必要
もある。さらに、ガラス板１ｅは、割れなどの損傷がお
こりやすく、その取扱いを慎重に行う必要もある。この
ことは、薄肉ガラス板２０ｅを用いて構成される振動板
２ｅについても同様である。

【０００５】したがって、従来のこの種のプリントヘッ
ドの製造作業が煩雑となっており、その生産効率が低
く、その結果、製造コストが高価になるという難点があ
った。

【０００６】なお、従来のこの種のプリントヘッドの中
には、ヘッド基板をガラス板ではなく、感光性樹脂によ
って構成したものもあるが、この従来のものも、最終的
には、フォトエッチング処理によって上記の凹溝状のイ
ンク流路を形成するという製造過程を踏むのであり、や
はりその生産効率は悪く、高コストとなる問題があっ
た。

【０００７】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、エッチング処理やクリーニング
処理といった煩雑な作業工程を要することなく、簡易な
製造手法によって効率良く、かつ安価にインクジェット
プリントヘッドを製造できるようにすることをその課題
としている。

【０００８】

【発明の開示】本願発明の第１の側面によれば、一側面
が開口した凹溝状のインク流路を少なくとも一側面に形
成しているヘッド基板と、上記インク流路の開口面部を
閉塞するように上記ヘッド基板に取付けられる振動板と
を具備するインクジェットプリントヘッドであって、上
記ヘッド基板は、このヘッド基板に上記凹溝状のインク
流路が同時成形されるように金型により樹脂成形された
ものである一方、上記振動板は、合成樹脂製の可撓性板
の表面に金属導電層が設けられて形成されており、上記
振動板の上記金属導電層には、圧電素子が取付けられて
いることを特徴としている。

【０００９】本願発明の第２の側面によれば、一側面が
開口した凹溝状のインク流路を少なくとも一側面に形成
しているヘッド基板を製造した後に、上記インク流路の
開口面部を閉塞するように上記ヘッド基板に振動板を取
付け、かつ上記振動板に圧電素子を取付けるインクジェ
ットプリントヘッドの製造方法であって、上記ヘッド基
板は、上記凹溝状のインク流路を同時成形するように樹
脂成形することによって作成するとともに、上記振動板
は、合成樹脂製の可撓性板の表面に金属導電層を設ける
ことによって作成することを特徴としている。

【００１０】本願発明においては、まず、ヘッド基板が
金型を用いて樹脂成形され、凹溝状の流路が、このヘッ
ド基板と同時成形されているために、このヘッド基板を
成形した後に、エッチング等の煩雑な作業工程によって
凹溝状のインク流路を別途形成する必要をなくすことが
できる。一方、ヘッド基板に凹溝状のインク流路を形成
する樹脂成形作業は、ヘッド基板を成形するために金型
内面に凹溝状のインク流路に対応する凸状部を形成して
おくことによって行うことができ、ヘッド基板の樹脂成
形作業それ自体は、一般の樹脂成形作業と基本的に代わ
るところはなく、この樹脂成形作業が煩雑化するという
ような不具合はない。

【００１１】次に、本願発明においては、上記凹溝状の
インク流路を閉塞するように取付けられる振動板をも、
合成樹脂製の可撓性板を用いて形成している。この合成
樹脂製の可撓性板は、一定の大きさの可撓性板から所定
外形に打ち抜いて作成したり、あるいはまた、上記ヘッ
ド基板と同様、金型による成形によっても安価かつ簡便
に得ることができる。

【００１２】したがって、本願発明では、ヘッド基板お
よび振動板の双方の作成において、一連の作業工程が著
しく簡略化され、その結果、プリントヘッドの生産効率
をおおいに高めることができ、その製造コストを低減す
ることができるという効果が得られる。もちろん、合成
樹脂製のヘッド基板および合成樹脂製の振動板であれ
ば、従来のように、これらをガラス製とする場合と異な
り、衝撃による破損等の心配もなく、あるいは外形を仕
上げる場合にサンドブラストのような煩雑な作業を行う
必要もなくなるので、製造工程をいっそう簡略化するこ
とができる。また、製造工程におけるこれらヘッド基板
および振動板の取扱いが便利になるという利点も得られ
る。

【００１３】上記振動板の表面に設けられる金属導電層
の形成手法は、特に問われるものではないが、本願発明
の好ましい実施例では、上記の導電層は、合成樹脂製の
可撓性板の表面に導電性金属のメッキ処理を施すことに
よって形成することができる。このような構成にすれば
ＩＴＯ膜によって導電層を生成する場合よりも、振動板
の製造コストを安価にすることができる。また、透明な
ＩＴＯ膜の導電層では、可撓性板の表裏両面のうち、い
ずれの面に導電層が形成されているのかの判別が困難な
場合があるが、たとえば、金属メッキであれば、このよ
うな不具合もなく、取扱いに便利となる。

【００１４】さらに 他の好ましい実施例では、上記圧
電素子の片面に設けられている第１の端子は、上記振動
板の導電層に導電接着されるとともに、上記圧電素子の
反対面にはこの圧電素子に駆動用電力の供給を行うため
のフレキシブルケーブルが重ね合わされて、このフレキ
シブルケーブルの電極と上記圧電素子の反対面に設けら
れている第２の端子とが導電接着されている構成とする
ことができる。

【００１５】このような構成にすれば、圧電素子への配
線が容易となる他、圧電素子への配線がフレキシブルケ
ーブルによってなされていることにより、１本のフレキ
シブルケーブルによって複数個のプリントヘッドへの電
力供給を行わせるといったことも可能となる。

【００１６】さらに、本願発明の他の好ましい実施例で
は、上記フレキシブルケーブルの電極と上記圧電素子の
第２の電極との間の導電接着を、上記フレキシブルケー
ブルと上記圧電素子との間に介在させた異方性導電シー
トによって行っている。この異方性導電シートとは、金
属粒子を含んだシートであって、加圧した部分に限って
表裏面間の導電性を得るものである。したがって、上記
圧電素子が複数個並んで配置されており、これらの各圧
電素子の第２の電極に、上記フレキシブルケーブルにお
ける対応する電極を各個別的に導電接続する場合であっ
ても、プリントヘッドの側面と、フレキシブルケーブル
との間に所定の大きさの導電シートを介在させ、外方か
らフレキシブルケーブル側の電極を圧電素子に向けて所
定の力で押圧するだけで、上述のような各圧電素子とフ
レキシブルケーブルの電極間の個別導電接続を達成する
ことができる。

【００１７】このような構成にすれば、印字密度が高い
プリントヘッドを形成する場合において、各インク流路
の間隔ピッチないしは上記各圧電素子の配置ピッチが小
さくなっても、簡単な操作によって、各圧電素子とフレ
キシブルケーブル間の適正な導電接着を行うことがで
き、このことも、全体として、インクジェットプリント
ヘッドの製造を簡略化することに大きく寄与し、製造コ
ストを低減することができる。

【００１８】

【実施例の説明】以下、本願発明の好ましい実施例を、
図面を参照しつつ具体的に説明する。

【００１９】図１は、本願発明に係るインクジェットプ
リントヘッドの一例を示す断面図、図２はその分解断面
図、図３は図２のＸ１−Ｘ１矢視の平面図である。

【００２０】図１において、このインクジェットプリン
トヘッドは、たとえばＰＥＳ樹脂（ポリエーテルサルホ
ン）などの熱可塑性合成樹脂製のヘッド基板１、このヘ
ッド基板１の両面に接着された、例えばＰＥＳ樹脂等の
熱硬化性合成樹脂製の一対の振動板２，２、およびノズ
ル板３などを具備して基本的に構成される。

【００２１】上記ヘッド基板１の上下両面には、図２に
示すように、上面開口状または下面開口状の凹溝状のイ
ンク流路４が複数条形成されている。これらの個別イン
ク流路４は、たとえば図３に示すように、ヘッド基板１
の前後方向に延び、互いに平行となるように設けられて
おり、幅寸法が４０μｍ程度の幅狭なインク流入路４０
と、このインク流入路４０よりも幅広な圧力室４１とを
つなげた形態となっている。

【００２２】上記ヘッド基板１の後面部１ｂには、イン
クタンク（図示略）との接続を図るためのインク流入口
１０が設けられており、このインク流入口１０は、ヘッ
ド基板１の上面または下面に設けられている凹部１１お
よびこの凹部１１の形成箇所に設けられた貫通孔１２を
介して、上記各個別インク流路４の後端部と連通させら
れている。また、上記各個別インク流路４の前端部に
は、各個別インク流路４の他の部位よりも深く形成され
た段落ち部４２が形成されている。インク吐出用のノズ
ル導孔４３は、ヘッド基板１の前面部１ａから上記段落
ち部４２に貫通して設けられており、これにより、各ノ
ズル導孔４３は、個々に対応する個別インク流路４と連
通している。

【００２３】なお、図３において、各個別インク流路４
の後端部には、小突起部４２がヘッド基板の一般側面と
同一高さに形成されており、これによって、上記個別イ
ンク流路４の流路を狭くした部分Ａが設けられる。これ
は、個別インク流路４内では、そのインク流入路４０と
圧力室４１との境界部分の内壁面に気泡が最も残存付着
し易いことに鑑み、この部分のインク流路を狭くし、個
別インク流路４の幅方向両側面に沿ったインク流れをつ
くりだすことにより、上記気泡を強制的にノズル導孔４
３側へ押し流してしまうための構成である。

【００２４】上記ヘッド基板１は、たとえば図４に示す
ように、四方向に抜く金型６ａ〜６ｄを用いて成形する
ことができ、しかも、その際に上記各個別インク流路４
やその他の部位を同時成形することができる。すなわ
ち、成形用の金型６ａ〜６ｄの一例としては、インク流
入口１０を形成するためのピン６０を備えた金型６ａ、
ヘッド基板１の両側面の個別インク流路４、凹部１１、
ならびに貫通孔１２をそれぞれ形成するための凸状部６
１〜６３などを備えた金型６ｂ，６ｃ、およびノズル導
孔４３を形成するための複数本のピン６４を備えた金型
６ｄを用いることができる。このような金型６ａ〜６ｄ
を型締めし、射出成形をおこなえば、上記図１ないし図
３について説明した個別インク流路４やその他の各部を
備えたヘッド基板１が得られる。

【００２５】また、上記ヘッド基板１は、耐薬品性に優
れるＰＥＳ樹脂などである場合には、撥水性の傾向が見
られ、インクが個別インク流路４内において馴染み難く
なる場合がある。そこで、このような場合には、個別イ
ンク流路４の内壁面に親水処理を施す。この親水処理
は、たとえば個別インク流路４が形成されているヘッド
基板１の両面に、いわゆるＵＶ処理（紫外線照射による
表面改質処理）を施した後に、親水性の物質（たとえば
親水性の高分子樹脂）のコーティング処理を施すなどし
て行う。また、このような手段に代えて、エチレングリ
コールやジエチレングリコールを用いた薬液処理によっ
ても親水処理を行うことができる。このような親水処理
は、個別インク流路４の内壁面など、インクが直接接触
する部分に限らず、ヘッド基板１の他の部位になされて
も悪影響はない。したがって、個別インク流路４などに
親水処理を施す場合に、ヘッド基板１にマスキングを施
すことは必ずしも必要ではない。

【００２６】図５（ａ）は、上記振動板２に圧電素子２
２を実装した状態の側面図であり、同図（ｂ）は、その
Ｘ２−Ｘ２線要部拡大断面図である。この振動板２は、
たとえば厚みが０．１〜０．２ｍｍ程度の薄肉状の合成
樹脂製可撓性板２０の表面に、銅などの単層で形成さ
れ、あるいは、銅、ニッケル、および金などの層を積層
して形成された金属導電層２１が形成されている。この
金属導電層２１はスパッタリングあるいはメッキ処理な
ど、使用する金属材料に適した方法によって形成するこ
とができる。スパッタリングによってこの金属導電層２
１を形成する場合、ＩＴＯ膜として形成することが可能
である。

【００２７】また、上記振動板２の基材となる合成樹脂
製可撓性板２０は、所定の大きさの可撓性板からプレス
打ち抜きによって所望の外形としたものを得てもよい
し、ヘッド基板１と同様、金型を用いた樹脂成形によっ
て得ることもできる。また、上記金属導電層２１をメッ
キ処理によって形成する場合、この金属導電層２１が可
撓性板２０の表裏両面に形成されることになるが、なん
ら支障はない。

【００２８】上記圧電素子２２は、電圧印加がなされる
と変形を生じるものであり、その片面側に設けられてい
る第１の端子２２ａが上記振動板２の導電層２１の表面
に導電性接着剤などを用いて導電接着される。このよう
にして、圧電素子２２が可撓性板２０に接着されている
結果、上記振動板２は、圧電素子２２に電圧印加がなさ
れてこの圧電素子２２が変形すると、それに伴って可撓
性板２０が湾曲変形する。なお、この振動板２の裏面の
親水性が劣る場合には、上記ヘッド基板１と同様に、親
水性処理を施すことが好ましい。

【００２９】上記振動板２は、図１および図２に示すよ
うに、上記ヘッド基板１の上下両面にそれぞれ接着等に
よって取付けられる。これにより、ヘッド基板１の凹溝
状の個別インク流路４の開口面部４ａや、この個別イン
ク流路４に連通する凹部１１の開口面部１１ａを振動板
２によって閉塞することができる。そして、各振動板２
の圧電素子２２を、個別インク流路４の圧力室４１の形
成位置に対応させて配置させることができる。なお、上
記振動板２の接着作業は、たとえばエポキシ系の接着
剤、あるいはドープセメント（溶剤に樹脂を溶かし込ん
だもの）を用いて行えばよい。ドープセメントは粘性が
大きく、接着部位からのいわゆるはみ出しを生じ難い特
性があり、また接着対象部材を不当に溶かすおそれも少
ないため、好都合である。

【００３０】なお、上記振動板２に設けられる圧電素子
２２の実装は、振動板２を上記のようにヘッド基板１の
上下両面に取付ける前に行ってもよいし、振動板をヘッ
ド基板１の上下両面に取付けた後に行ってもよい。

【００３１】上記振動板２に取付けられた圧電素子２２
への電気配線は、たとえば図５（ｂ）および図６に示す
ような構成で行うことができる。すなわち、これら各図
に示す構成では、圧電素子２２の表面に、駆動用電力を
供給するためのフレキシブルケーブル５が、異方性導電
シート６を介して重ね合わされており、このフレキシブ
ルケーブル５の少なくとも片面に設けられている複数の
電極５ａと上記圧電素子２２の各表面に設けられている
第２の端子２２ｂとが上記異方性導電シート６を介して
それぞれ導電接着されている。また、フレキシブルケー
ブル５のアース用電極５ｂは、振動板２の導電層２１に
異方性導電シート６を介して導電接着されている。上記
異方性導電シート６は、加圧部分のみに導電性をもたせ
て２つの接着対象部材を相互に接着（圧着）させること
ができるものである。したがって、振動板２に対するフ
レキシブルケーブル５の導電接着は、圧電素子２２の表
面に異方性導電シート６およびフレキシブルケーブル５
を重ね合わせてから、所定の部位を加圧するだけの簡易
な作業によって行うことが可能である。

【００３２】図１および図２において、上記ノズル板３
は、金属製または合成樹脂製などのプレートに、エキシ
マレーザなどの精密加工手法によって所望の寸法径のノ
ズル孔３０を複数箇所設けたものである。このノズル板
３は、各ノズル孔３０がヘッド基板１側のノズル導孔４
３と対応した配置とされているが、そのノズル孔の径お
よび位置の精度は、上記ヘッド基板一側のノズル導孔４
３のそれとは格段に高められている。このノズル板３
は、たとえばドープセメント等を用いることによって、
上記ヘッド基板１の前面部１ａに接着される。なお、こ
のノズル板３についても、その親水性が低い場合には、
上記ヘッド基板１や振動板２と同様に、予め親水処理を
施しておくことができる。

【００３３】上記構成のインクジェットプリントヘッド
においては、各個別インク流路４内にインクが充填され
た状態において、振動板２の圧電素子２２に駆動電力を
供給して電圧を印加することにより、この振動板２を個
別インク流路４の圧力室４１の内側へ瞬間的に撓み変形
させることができる。そして、この振動板２の撓み変形
によって圧力室４１の容積が減少する結果、この圧力室
４１内のインク圧を高め、個別インク流路４内のインク
をノズル導孔４３ないしこれに連通するノズル板３のノ
ズル孔３０から外部へ吐出、飛翔させることができる。
上記ノズル導孔４３には、ノズル板３のノズル孔３０が
連通しているために、上記ノズル導孔４３の口径を所定
の寸法よりも若干大きめにしておけば、前述したように
正確な位置および口径に形成されている上記ノズル板３
のノズル孔３０によって、ヘッド基板側のノズル導孔４
３の口径や形成位置の寸法誤差を解消させることができ
る。

【００３４】前述したように、上記構成のインクジェッ
トプリントヘッドの製造作業工程では、ヘッド基板１の
全体を樹脂成形した際に、個別インク流路４なども同時
成形されている。したがって、ヘッド基板１の成形後
に、別の作業工程によって個別インク流路４を形成する
必要がなくなり、その製造作業が簡略化される。特に、
本実施例では、ノズル導孔４３についても同時成形して
いるために、ヘッド基板１の全体の製造が一層容易とな
る。ただし、本願発明では、必ずしもノズル導孔４３を
同時成形する必要はなく、ヘッド基板１の成形後におい
て、たとえば、エキシマレーザなどを用いてノズル導孔
４３を設ける工程作業を行ってもよい。この場合であっ
ても、煩雑なエッチング処理を施す必要はなく、ヘッド
基板１の製造が従来よりも容易化される。

【００３５】また、振動板２の製造作業工程において
も、この振動板２は、基本的に合成樹脂板によって形成
しているために、その製造作業が容易であり、製造コス
トを安価にすることができる。

【００３６】このように、ヘッド基板１と振動板２をい
ずれも基本的に合成樹脂製で構成されるから、その原料
費は安価であり、さらには破損なども生じ難く、取扱い
にも便利である。

【００３７】さらに、実施例では、振動板２の圧電素子
２２に対して異方性導電シート６を用いてフレキシブル
ケーブル５を導電接着させる方法を採用しているため
に、圧電素子２２に対する配線接続作業も容易化され
る。フレキシブルケーブル５は任意に折り曲げ可能であ
るから、たとえば、本実施例に係るインクジェットプリ
ントヘッドを複数個並べて用いるような場合において、
各プリントヘッドに対する電力供給を１本のフレキシブ
ルケーブル５によって行わせることも可能である。

【００３８】また、上記実施例では、ヘッド基板の両面
にインク流路を設けた場合を一例として説明したが、本
願発明はこれに限定されない。本願発明では、ヘッド基
板の片面のみにインク流路を設けた構成としてもよい。
したがって、従来例として説明した図７に示すような構
造のインクジェットプリントヘッドにも本願発明が適用
できることは言うまでもない。また、本願発明にいうヘ
ッド基板は、ブロック状や偏平な板状の他、種々の形状
に形成することも可能である。

【００３９】その他、本願発明に係るインクジェットプ
リントヘッドの各部の具体的な構成は種々に設計変更自
在であり、また、本願発明に係るインクジェットプリン
トヘッドの製造方法における各作業工程の具体的内容も
種々に変更可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明に係るインクジェットプリントヘッド
の一例を示す断面図。

【図２】図１に示すインクジェットプリントヘッドの分
解断面図。

【図３】図２のＸ１−Ｘ１矢視平面図。

【図４】図１に示すインクジェットプリントヘッドを樹
脂成形する場合の一例を示す説明図。

【図５】（ａ）は振動板の一例を示す正面図、（ｂ）は
（ａ）のＸ２−Ｘ２線要部拡大断面図。

【図６】振動板の圧電素子にフレキシブルケーブルを接
続させる場合の一例を示す説明図。

【図７】従来のインクジェットプリントヘッドの一例を
示す断面図。

【符号の説明】

１ ヘッド基板 ２ 振動板 ３ ノズル板 ４ 個別インク流路（凹溝状のインク流路） ４ａ 開口面部 ５ フレキシブルケーブル ５ａ 電極 ６ 陽性導電シート ６ａ〜６ｄ 金型 ２１ 金属導電層 ２２ 圧電素子 ２２ａ （圧電素子）第１の端子 ２２ｂ （圧電素子）第２の端子 ３０ ノズル孔 ４３ ノズル導孔

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側面が開口した凹溝状のインク流路を
   少なくとも一側面に形成しているヘッド基板と、上記イ
   ンク流路の開口面部を閉塞するように上記ヘッド基板に
   取付けられる振動板とを具備するインクジェットプリン
   トヘッドであって、 上記ヘッド基板は、このヘッド基板に上記凹溝状のイン
   ク流路が同時成形されるように金型により樹脂成形され
   たものである一方、 上記振動板は、合成樹脂製の可撓性板の表面に金属導電
   層が設けられて形成されており、 上記振動板の上記金属導電層には、圧電素子が取付けら
   れていることを特徴とする、インクジェットプリントヘ
   ッド。
2. 【請求項２】 上記振動板は、金型により樹脂成形され
   たものであり、上記金属導電層は金属メッキ処理によっ
   て形成されたものである、請求項１に記載のインクジェ
   ットプリントヘッド。
3. 【請求項３】 上記圧電素子の片面に設けられている第
   １の端子は、上記振動板の導電層に導電接着されている
   とともに、上記圧電素子の反対面にはこの圧電素子に駆
   動用電力の供給を行うためのフレキシブルケーブルが重
   ね合わされて、このフレキシブルケーブルの電極と上記
   圧電素子の反対面に設けられている第２の端子とが導電
   接着されている、請求項１に記載のインクジェットプリ
   ントヘッド。
4. 【請求項４】 上記フレキシブルケーブルの電極と上記
   圧電素子の第２の電極との間の導電接着は、上記フレキ
   シブルケーブルと上記圧電素子との間に介在させた異方
   性導電シートによって行われている、請求項３に記載の
   インクジェットプリントヘッド。
5. 【請求項５】 一側面が開口した凹溝状のインク流路を
   少なくとも一側面に形成しているヘッド基板を製造した
   後に、上記インク流路の開口面部を閉塞するように上記
   ヘッド基板に振動板を取付け、かつ上記振動板に圧電素
   子を取付けるインクジェットプリントヘッドの製造方法
   であって、 上記ヘッド基板は、上記凹溝状のインク流路を同時成形
   するように樹脂成形することによって作成するととも
   に、 上記振動板は、合成樹脂製の可撓性板の表面に金属導電
   層を設けることによって作成することを特徴とする、イ
   ンクジェットプリントヘッドの製造方法。