JPH08233536A - 被測定物の測定装置及びその測定方法 - Google Patents
被測定物の測定装置及びその測定方法Info
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- JPH08233536A JPH08233536A JP4065095A JP4065095A JPH08233536A JP H08233536 A JPH08233536 A JP H08233536A JP 4065095 A JP4065095 A JP 4065095A JP 4065095 A JP4065095 A JP 4065095A JP H08233536 A JPH08233536 A JP H08233536A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】比較的に簡単な構成によって外径，長さ，同軸
度などを精度よく、しかも能率的に測定できる被測定物
の測定装置及びその測定方法を提供すること。 【構成】本発明装置は、主として入力部Ａと制御部Ｂと
出力部Ｃと駆動部Ｄとから構成されている。入力部Ａ
は、第１センサ部６（第１センサ手段６２）と第２セン
サ部７（第１センサ手段７２）と原点復帰確認用の第３
センサ手段８とキ−ボ−ドなどの入力手段９とから構成
されている。制御部Ｂは、概略的に入力インタ−フェ−
スＢａと制御手段Ｂｂと出力インタ−フェ−スＢｃとか
ら構成されている。出力部Ｃは、ＣＲＴディスプレ−な
どの表示手段１０によって構成されている。さらに駆動
部Ｄは、縦軸駆動部に配置された第１駆動手段３３及び
第３駆動手段５と横軸駆動部に配置された第２駆動手段
４５とから構成されている。
度などを精度よく、しかも能率的に測定できる被測定物
の測定装置及びその測定方法を提供すること。 【構成】本発明装置は、主として入力部Ａと制御部Ｂと
出力部Ｃと駆動部Ｄとから構成されている。入力部Ａ
は、第１センサ部６（第１センサ手段６２）と第２セン
サ部７（第１センサ手段７２）と原点復帰確認用の第３
センサ手段８とキ−ボ−ドなどの入力手段９とから構成
されている。制御部Ｂは、概略的に入力インタ−フェ−
スＢａと制御手段Ｂｂと出力インタ−フェ−スＢｃとか
ら構成されている。出力部Ｃは、ＣＲＴディスプレ−な
どの表示手段１０によって構成されている。さらに駆動
部Ｄは、縦軸駆動部に配置された第１駆動手段３３及び
第３駆動手段５と横軸駆動部に配置された第２駆動手段
４５とから構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は被測定物の測定装置及
びその測定方法に関し、特に精密切削軸の外径，長さ，
同軸度を能率よく連続的に測定できる測定装置及びその
測定方法に関する。
びその測定方法に関し、特に精密切削軸の外径，長さ，
同軸度を能率よく連続的に測定できる測定装置及びその
測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、切削加工された切削機能部品に
は、例えばプリンタ用のシャフト，自動車のＡＢＳアク
チュエ−タ部品，燃料噴出装置部品などのように種々の
形態のものが存在しているが、その用途によってはその
外径，長さ，同軸度などに高い精度が要求されることが
ある。例えば、精密切削軸にあっては、ミクロンオ−ダ
−の精度を要求されることから、製造部品の品質管理に
は細心の注意が払われている。
は、例えばプリンタ用のシャフト，自動車のＡＢＳアク
チュエ−タ部品，燃料噴出装置部品などのように種々の
形態のものが存在しているが、その用途によってはその
外径，長さ，同軸度などに高い精度が要求されることが
ある。例えば、精密切削軸にあっては、ミクロンオ−ダ
−の精度を要求されることから、製造部品の品質管理に
は細心の注意が払われている。
【０００３】従って、従来においては、精密切削軸の各
部サイズは拡大投影装置や特開平７−１９８４０号公報
に開示された方法などを用いて測定・管理されている。
例えば拡大投影装置を利用する場合には、まず載置台に
精密切削軸を載置し、それを光学系を利用して４倍，８
倍など適宜の倍率で拡大された切削軸像を投影面に投影
する。次に、マニュピレ−タにより投影像の被測定部分
の基準位置を投影面に付設された基準線に合わせると共
に、基準線より延びるスケ−ルによって外径，長さなど
を測定する。
部サイズは拡大投影装置や特開平７−１９８４０号公報
に開示された方法などを用いて測定・管理されている。
例えば拡大投影装置を利用する場合には、まず載置台に
精密切削軸を載置し、それを光学系を利用して４倍，８
倍など適宜の倍率で拡大された切削軸像を投影面に投影
する。次に、マニュピレ−タにより投影像の被測定部分
の基準位置を投影面に付設された基準線に合わせると共
に、基準線より延びるスケ−ルによって外径，長さなど
を測定する。
【０００４】又、特開平７−１９８４０号公報には、真
円度の測定方法が開示されている。これは、被測定物に
レ−ザ−光線を照射しながら、被測定物を軸中心に回転
させることによって真円度を測定するものである。
円度の測定方法が開示されている。これは、被測定物に
レ−ザ−光線を照射しながら、被測定物を軸中心に回転
させることによって真円度を測定するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
場合、切削軸が丸棒状に構成されていると、切削軸を載
置台に載置し、マニュピレ−タによって測定操作を行う
時に切削軸が動き易く安定性に欠けるために、基準位置
合わせに長い時間を要する。従って、一本当りの測定時
間が長くなる上、基準位置を基準線に合わせる際の合わ
せ方によってはミクロンオ−ダ−での誤差が生じてしま
う関係で測定精度が低いという問題がある。
場合、切削軸が丸棒状に構成されていると、切削軸を載
置台に載置し、マニュピレ−タによって測定操作を行う
時に切削軸が動き易く安定性に欠けるために、基準位置
合わせに長い時間を要する。従って、一本当りの測定時
間が長くなる上、基準位置を基準線に合わせる際の合わ
せ方によってはミクロンオ−ダ−での誤差が生じてしま
う関係で測定精度が低いという問題がある。
【０００６】又、後者の場合、被測定物の軸方向の１点
づつの真円度の測定は精度よく能率的に行うことができ
るものの、測定点間の同軸性については測定することが
できず、上述の測定装置を利用しなければならない。こ
のために、測定が二度になり、測定効率が損なわれると
いう問題がある。
づつの真円度の測定は精度よく能率的に行うことができ
るものの、測定点間の同軸性については測定することが
できず、上述の測定装置を利用しなければならない。こ
のために、測定が二度になり、測定効率が損なわれると
いう問題がある。
【０００７】それ故に、本発明の目的は、比較的に簡単
な構成によって外径，長さ，同軸度などを精度よく、し
かも能率的に測定できる被測定物の測定装置及びその測
定方法を提供することにある。
な構成によって外径，長さ，同軸度などを精度よく、し
かも能率的に測定できる被測定物の測定装置及びその測
定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、上述
の目的を達成するために、被測定物を載置する載置台
と、載置台を縦軸方向に所定のピッチで間欠的に移動さ
せる第１駆動手段と、載置台の移動軌跡の両側に固定・
配置した発光部と受光部を有する第１センサ手段と、載
置台の移動軌跡の両側で、かつ第１センサ手段とは異な
る高さ位置に配置した発光部と受光部を有する第２セン
サ手段と、第２センサ手段を横軸方向に移動させる第２
駆動手段と、載置台に連結され、載置台を軸中心に回転
させる第３駆動手段と、適宜に選択された第１，第２，
第３駆動手段の駆動に伴って得られる第１センサ手段及
び／又は第２センサ手段からの出力信号に基づいて演算
することにより被測定物の被測定量を計測する制御手段
と、制御手段での算出デ−タを出力する出力手段とを具
備したものであり、本発明の第２の発明は、前記出力手
段が、液晶ディスプレ−，ＣＲＴディスプレ−などの表
示装置及び／又は印刷装置であることを特徴とする。
の目的を達成するために、被測定物を載置する載置台
と、載置台を縦軸方向に所定のピッチで間欠的に移動さ
せる第１駆動手段と、載置台の移動軌跡の両側に固定・
配置した発光部と受光部を有する第１センサ手段と、載
置台の移動軌跡の両側で、かつ第１センサ手段とは異な
る高さ位置に配置した発光部と受光部を有する第２セン
サ手段と、第２センサ手段を横軸方向に移動させる第２
駆動手段と、載置台に連結され、載置台を軸中心に回転
させる第３駆動手段と、適宜に選択された第１，第２，
第３駆動手段の駆動に伴って得られる第１センサ手段及
び／又は第２センサ手段からの出力信号に基づいて演算
することにより被測定物の被測定量を計測する制御手段
と、制御手段での算出デ−タを出力する出力手段とを具
備したものであり、本発明の第２の発明は、前記出力手
段が、液晶ディスプレ−，ＣＲＴディスプレ−などの表
示装置及び／又は印刷装置であることを特徴とする。
【０００９】又、本発明の第３の発明は、被測定物を載
置する載置台と、載置台を縦軸方向に所定のピッチで間
欠的に移動させる第１駆動手段と、載置台の移動軌跡の
両側に配置した発光部と受光部を有する第１センサ手段
と、第１センサ手段からの出力に基づいて外径を演算・
計測する制御手段とを具備し、前記第１センサ手段にお
ける発光部から受光部に送る光は実質的に被測定物の外
径より広くなるように設定したものであり、第４の発明
は、前記発光部から受光部に送る光をビ−ム状とし、被
測定物の外径より広い範囲でスキャニングすることを特
徴とする。
置する載置台と、載置台を縦軸方向に所定のピッチで間
欠的に移動させる第１駆動手段と、載置台の移動軌跡の
両側に配置した発光部と受光部を有する第１センサ手段
と、第１センサ手段からの出力に基づいて外径を演算・
計測する制御手段とを具備し、前記第１センサ手段にお
ける発光部から受光部に送る光は実質的に被測定物の外
径より広くなるように設定したものであり、第４の発明
は、前記発光部から受光部に送る光をビ−ム状とし、被
測定物の外径より広い範囲でスキャニングすることを特
徴とする。
【００１０】又、本発明の第５の発明は、載置台に被測
定物をセットするステップと、第１駆動手段により載置
台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるステ
ップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被測
定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算することにより外
径を計測するステップと、この計測デ−タを出力するス
テップとを含むことを特徴とし、第６の発明は、前記載
置台の間欠動に関連して第１センサ手段から出力される
第１の被測定物の外径サンプリング信号に基づいて演算
・計測した外径デ−タをマスタ−デ−タとし、第２の被
測定物の外径を測定するに際し、前記マスタ−デ−タに
おける外径の変化量の少ない部位の測定点を第１の被測
定物の外径測定点に比べて粗く設定することを特徴と
し、第７の発明は、前記マスタ−デ−タに基づいて設定
された設定測定点の測定実行に先立って、規格幅を設定
しておくことにより、第２の被測定物の外径測定結果が
規格幅に入っているか否かを判定することを特徴とす
る。
定物をセットするステップと、第１駆動手段により載置
台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるステ
ップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被測
定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算することにより外
径を計測するステップと、この計測デ−タを出力するス
テップとを含むことを特徴とし、第６の発明は、前記載
置台の間欠動に関連して第１センサ手段から出力される
第１の被測定物の外径サンプリング信号に基づいて演算
・計測した外径デ−タをマスタ−デ−タとし、第２の被
測定物の外径を測定するに際し、前記マスタ−デ−タに
おける外径の変化量の少ない部位の測定点を第１の被測
定物の外径測定点に比べて粗く設定することを特徴と
し、第７の発明は、前記マスタ−デ−タに基づいて設定
された設定測定点の測定実行に先立って、規格幅を設定
しておくことにより、第２の被測定物の外径測定結果が
規格幅に入っているか否かを判定することを特徴とす
る。
【００１１】又、本発明の第８の発明は、載置台に被測
定物をセットするステップと、第１駆動手段により載置
台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるステ
ップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被測
定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算し、演算結果から
外径の変化部位を決定するステップと、第２駆動手段に
て第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に位
置させるステップと、第１駆動手段により載置台を所定
のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させると共に、この
間欠動に関連して第２センサ手段から被測定物の長さ
（外径の変化部位間の幅）サンプリング信号を出力する
ステップと、このサンプリングデ−タに基づいて演算す
ることにより長さを計測するステップとを含むことを特
徴とし、第９の発明は、前記載置台の間欠動に関連して
第２センサ手段から出力される第１の被測定物の長さサ
ンプリングデ−タに基づいて演算・計測した長さデ−タ
をマスタ−デ−タとし、第２の被測定物の長さを測定す
るに際し、前記マスタ−デ−タにおける外径の変化量の
少ない部位の測定点を第１の被測定物の長さ測定点に比
べて粗く設定することを特徴とし、第１０の発明は、前
記長さマスタ−デ−タに基づいて設定された設定測定点
の測実行に先立って、規格幅を設定しておくことによ
り、第２の被測定物の長さ測定結果が規格幅に入ってい
るか否かを判定することを特徴とする。
定物をセットするステップと、第１駆動手段により載置
台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるステ
ップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被測
定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算し、演算結果から
外径の変化部位を決定するステップと、第２駆動手段に
て第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に位
置させるステップと、第１駆動手段により載置台を所定
のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させると共に、この
間欠動に関連して第２センサ手段から被測定物の長さ
（外径の変化部位間の幅）サンプリング信号を出力する
ステップと、このサンプリングデ−タに基づいて演算す
ることにより長さを計測するステップとを含むことを特
徴とし、第９の発明は、前記載置台の間欠動に関連して
第２センサ手段から出力される第１の被測定物の長さサ
ンプリングデ−タに基づいて演算・計測した長さデ−タ
をマスタ−デ−タとし、第２の被測定物の長さを測定す
るに際し、前記マスタ−デ−タにおける外径の変化量の
少ない部位の測定点を第１の被測定物の長さ測定点に比
べて粗く設定することを特徴とし、第１０の発明は、前
記長さマスタ−デ−タに基づいて設定された設定測定点
の測実行に先立って、規格幅を設定しておくことによ
り、第２の被測定物の長さ測定結果が規格幅に入ってい
るか否かを判定することを特徴とする。
【００１２】又、本発明の第１１の発明は、載置台に被
測定物をセットするステップと、第１駆動手段により載
置台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるス
テップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被
測定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、
このサンプリングデ−タに基づいて演算し、外径を計測
するステップと、この演算結果に基づいて外径の変化部
位を決定するステップと、第２駆動手段にて第２センサ
手段を外径の変化部位に対応する部分に位置させるステ
ップと、第１駆動手段により載置台を所定のピッチで間
欠的に縦軸方向に移動させると共に、この間欠動に関連
して第２センサ手段から被測定物の長さ（外径の変化部
位間の幅）サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算し、長さを計測す
るステップと、計測された外径及び長さデ−タを出力す
るステップとを含み、被測定物の外径と長さとを順次に
測定することを特徴とする。
測定物をセットするステップと、第１駆動手段により載
置台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させるス
テップと、この間欠動に関連して第１センサ手段から被
測定物の外径サンプリング信号を出力するステップと、
このサンプリングデ−タに基づいて演算し、外径を計測
するステップと、この演算結果に基づいて外径の変化部
位を決定するステップと、第２駆動手段にて第２センサ
手段を外径の変化部位に対応する部分に位置させるステ
ップと、第１駆動手段により載置台を所定のピッチで間
欠的に縦軸方向に移動させると共に、この間欠動に関連
して第２センサ手段から被測定物の長さ（外径の変化部
位間の幅）サンプリング信号を出力するステップと、こ
のサンプリングデ−タに基づいて演算し、長さを計測す
るステップと、計測された外径及び長さデ−タを出力す
るステップとを含み、被測定物の外径と長さとを順次に
測定することを特徴とする。
【００１３】さらに、本発明の第１２の発明は、載置台
に被測定物をセットするステップと、被測定物の外径を
測定するための第１，第２の測定位置を決定するステッ
プと、第１駆動手段により載置台を、被測定物の第１の
測定位置に第１センサ手段が位置するように移動させる
ステップと、この状態において、第３駆動手段により載
置台を間欠的に１回転させるステップと、この間欠回転
に関連して第１センサ手段から出力される第１の測定位
置における外径サンプリング信号に基づいて演算し外径
を計測するステップと、第１駆動手段により載置台を縦
軸方向に移動させることにより、前記外径計測デ−タと
同一又は所定の範囲内の外径部分を検索するステップ
と、検索した部位（第３の測定位置）の外径を測定する
と共に、第１及び第３の測定位置における中心を求める
ステップと、第１駆動手段により載置台を、被測定物の
第２の測定位置に第１センサ手段が位置するように、縦
軸方向に移動させるステップと、この状態において第３
駆動手段により載置台を間欠的に１回転させるステップ
と、この間欠回転に関連して第１センサ手段から出力さ
れる第２の測定位置における外径サンプリング信号に基
づいて外径及び中心を計測するステップと、第１及び第
３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測定位置の
中心のずれ量を演算し計測するステップとを含むことを
特徴とする。
に被測定物をセットするステップと、被測定物の外径を
測定するための第１，第２の測定位置を決定するステッ
プと、第１駆動手段により載置台を、被測定物の第１の
測定位置に第１センサ手段が位置するように移動させる
ステップと、この状態において、第３駆動手段により載
置台を間欠的に１回転させるステップと、この間欠回転
に関連して第１センサ手段から出力される第１の測定位
置における外径サンプリング信号に基づいて演算し外径
を計測するステップと、第１駆動手段により載置台を縦
軸方向に移動させることにより、前記外径計測デ−タと
同一又は所定の範囲内の外径部分を検索するステップ
と、検索した部位（第３の測定位置）の外径を測定する
と共に、第１及び第３の測定位置における中心を求める
ステップと、第１駆動手段により載置台を、被測定物の
第２の測定位置に第１センサ手段が位置するように、縦
軸方向に移動させるステップと、この状態において第３
駆動手段により載置台を間欠的に１回転させるステップ
と、この間欠回転に関連して第１センサ手段から出力さ
れる第２の測定位置における外径サンプリング信号に基
づいて外径及び中心を計測するステップと、第１及び第
３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測定位置の
中心のずれ量を演算し計測するステップとを含むことを
特徴とする。
【００１４】
【作用】上述の構成によれば、被測定物をセットした載
置台を第１駆動手段により所定のピッチで間欠的に縦軸
方向に移動させ、この間欠動に関連して第１センサ手段
から被測定物の外径サンプリング信号を出力させ、この
サンプリングデ−タに基づいて演算することにより外径
が計測され、この計測デ−タは出力手段に出力される。
特に、この外径デ−タをマスタ−デ−タとし、第２の被
測定物の外径を測定するに際し、前記マスタ−デ−タに
おける外径の変化量の少ない部位の測定点を第１の被測
定物の外径測定点に比べて粗く設定することにより、第
２の被測定物の外径測定を能率的に遂行できる。その
上、マスタ−デ−タに基づいて設定された設定測定点の
測定実行に先立って、規格幅を設定しておくことによ
り、第２の被測定物の外径測定結果が規格幅に入ってい
るか否かを自動的に判定することができる。
置台を第１駆動手段により所定のピッチで間欠的に縦軸
方向に移動させ、この間欠動に関連して第１センサ手段
から被測定物の外径サンプリング信号を出力させ、この
サンプリングデ−タに基づいて演算することにより外径
が計測され、この計測デ−タは出力手段に出力される。
特に、この外径デ−タをマスタ−デ−タとし、第２の被
測定物の外径を測定するに際し、前記マスタ−デ−タに
おける外径の変化量の少ない部位の測定点を第１の被測
定物の外径測定点に比べて粗く設定することにより、第
２の被測定物の外径測定を能率的に遂行できる。その
上、マスタ−デ−タに基づいて設定された設定測定点の
測定実行に先立って、規格幅を設定しておくことによ
り、第２の被測定物の外径測定結果が規格幅に入ってい
るか否かを自動的に判定することができる。
【００１５】又、上述の外径サンプリングデ−タに基づ
く演算結果から外径の変化部位を決定し、第２駆動手段
にて第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に
位置させた後、第１駆動手段により載置台を所定のピッ
チで間欠的に縦軸方向に移動させると共に、この間欠動
に関連して第２センサ手段から被測定物の長さ（外径の
変化部位間の幅）サンプリング信号を出力し、このサン
プリングデ−タに基づいて演算することにより長さを計
測することができる。特に、外径測定と長さ測定とをド
ッキングさせれば、初期デ−タを有効に活用できる。
く演算結果から外径の変化部位を決定し、第２駆動手段
にて第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に
位置させた後、第１駆動手段により載置台を所定のピッ
チで間欠的に縦軸方向に移動させると共に、この間欠動
に関連して第２センサ手段から被測定物の長さ（外径の
変化部位間の幅）サンプリング信号を出力し、このサン
プリングデ−タに基づいて演算することにより長さを計
測することができる。特に、外径測定と長さ測定とをド
ッキングさせれば、初期デ−タを有効に活用できる。
【００１６】さらに、載置台にセットした被測定物の外
径を測定するための第１，第２の測定位置を決定した
後、被測定物の第１の測定位置に第１センサ手段を位置
させ、この状態において、第３駆動手段により載置台を
１回転させると共に第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて演算して外径を計測し、引
き続いて前記外径計測デ−タと同一又は所定の範囲内の
外径部分を検索しその部位（第３の測定位置）の外径を
測定すると共に第１及び第３の測定位置における中心を
求め、さらに第２の測定位置に第１センサ手段を位置さ
せ、回転に関連して第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて外径及び中心を計測し、第
１及び第３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測
定位置の中心のずれ量を演算することにより同軸度を計
測できる。
径を測定するための第１，第２の測定位置を決定した
後、被測定物の第１の測定位置に第１センサ手段を位置
させ、この状態において、第３駆動手段により載置台を
１回転させると共に第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて演算して外径を計測し、引
き続いて前記外径計測デ−タと同一又は所定の範囲内の
外径部分を検索しその部位（第３の測定位置）の外径を
測定すると共に第１及び第３の測定位置における中心を
求め、さらに第２の測定位置に第１センサ手段を位置さ
せ、回転に関連して第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて外径及び中心を計測し、第
１及び第３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測
定位置の中心のずれ量を演算することにより同軸度を計
測できる。
【００１７】
【実施例】次に、本発明の１実施例について図１〜図４
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１８】同図において、本発明装置は、例えば入力
部Ａと、この入力部Ａからの入力信号に基づいて各種の
演算・記憶・命令などの制御が行われる制御部Ｂと、こ
の制御部Ｂの出力デ−タを表示する出力部Ｃと、制御部
Ｂからの制御信号に基づいて駆動する駆動部Ｄとから構
成されている。それぞれについては詳細に後述するが、
入力部Ａは第１センサ部（第１センサ手段）６と第２セ
ンサ部（第２センサ手段）７と原点復帰確認用の第３セ
ンサ手段８とキ−ボ−ドなどの入力手段９とから構成さ
れている。制御部Ｂは入力インタ−フェ−スＢａと制御
手段Ｂｂと出力インタ−フェ−スＢｃとから構成されて
いる。出力部Ｃは液晶ディスプレ−，ＣＲＴディスプレ
−などの表示手段１０にて構成されているが、印刷装置
などに置換したり、併用したりすることもできる。駆動
部Ｄは第１駆動手段３３と第２駆動手段４５と第３駆動
手段５とから構成されている。
部Ａと、この入力部Ａからの入力信号に基づいて各種の
演算・記憶・命令などの制御が行われる制御部Ｂと、こ
の制御部Ｂの出力デ−タを表示する出力部Ｃと、制御部
Ｂからの制御信号に基づいて駆動する駆動部Ｄとから構
成されている。それぞれについては詳細に後述するが、
入力部Ａは第１センサ部（第１センサ手段）６と第２セ
ンサ部（第２センサ手段）７と原点復帰確認用の第３セ
ンサ手段８とキ−ボ−ドなどの入力手段９とから構成さ
れている。制御部Ｂは入力インタ−フェ−スＢａと制御
手段Ｂｂと出力インタ−フェ−スＢｃとから構成されて
いる。出力部Ｃは液晶ディスプレ−，ＣＲＴディスプレ
−などの表示手段１０にて構成されているが、印刷装置
などに置換したり、併用したりすることもできる。駆動
部Ｄは第１駆動手段３３と第２駆動手段４５と第３駆動
手段５とから構成されている。
【００１９】１は、主として上述測定装置における入力
部Ａ，駆動部Ｄを含む機構部であって、例えばボックス
状のベ−ス部２と、縦軸駆動部３と、横軸駆動部４と、
回転駆動部５と、第１センサ部６と、第２センサ部７と
から構成されており、それぞれの構成部はベ−ス部２に
配置されている。
部Ａ，駆動部Ｄを含む機構部であって、例えばボックス
状のベ−ス部２と、縦軸駆動部３と、横軸駆動部４と、
回転駆動部５と、第１センサ部６と、第２センサ部７と
から構成されており、それぞれの構成部はベ−ス部２に
配置されている。
【００２０】具体的には、縦軸駆動部３はベ−ス部２に
立設されており、ベ−ス部２に立設されたハウジング３
１と、このハウジング３１の内部に縦方向に回転自在な
るように配置されたスクリュ−ネジ３２と、このスクリ
ュ−ネジ３２の下端に連結されたステッピングモ−タな
どの第１駆動手段３３と、上記スクリュ−ネジ３２に螺
合され、それの回転に基づいて縦軸方向に適宜に移動す
る可動ブロック３４と、この可動ブロック３４の移動を
円滑化するためにハウジング３１の前面に配置された一
対のレ−ル３５と、上記可動ブロック３４に結合された
支持具３６と、この支持具３６に回転可能に支持された
載置台３７とから構成されている。尚、載置台３７に
は、磁性体よりなる被測定物Ｗを吸着・固定するために
マグネット（図示せず）が配置されている。又、載置台
３７の下端にはステッピングモ−タなどの回転駆動部
（第３駆動手段）５が連結されている。
立設されており、ベ−ス部２に立設されたハウジング３
１と、このハウジング３１の内部に縦方向に回転自在な
るように配置されたスクリュ−ネジ３２と、このスクリ
ュ−ネジ３２の下端に連結されたステッピングモ−タな
どの第１駆動手段３３と、上記スクリュ−ネジ３２に螺
合され、それの回転に基づいて縦軸方向に適宜に移動す
る可動ブロック３４と、この可動ブロック３４の移動を
円滑化するためにハウジング３１の前面に配置された一
対のレ−ル３５と、上記可動ブロック３４に結合された
支持具３６と、この支持具３６に回転可能に支持された
載置台３７とから構成されている。尚、載置台３７に
は、磁性体よりなる被測定物Ｗを吸着・固定するために
マグネット（図示せず）が配置されている。又、載置台
３７の下端にはステッピングモ−タなどの回転駆動部
（第３駆動手段）５が連結されている。
【００２１】又、横軸駆動部４はベ−ス部２に載置され
ており、ベ−ス部２の上部に固定されたベ−ス４１と、
ベ−ス４１の上部に離隔して配置された一対のレ−ル４
２と、このレ−ル４２に移動可能に載置された可動ブロ
ック４３と、この可動ブロック４３の一部に螺合するス
クリュ−ネジ４４と、このスクリュ−ネジ４４の一端に
連結されたステッピングモ−タなどの第２駆動手段４５
とから構成されている。
ており、ベ−ス部２の上部に固定されたベ−ス４１と、
ベ−ス４１の上部に離隔して配置された一対のレ−ル４
２と、このレ−ル４２に移動可能に載置された可動ブロ
ック４３と、この可動ブロック４３の一部に螺合するス
クリュ−ネジ４４と、このスクリュ−ネジ４４の一端に
連結されたステッピングモ−タなどの第２駆動手段４５
とから構成されている。
【００２２】さらに、第１センサ部６は縦軸駆動部３に
固定されており、例えばハウジング３１のそれぞれの側
面に固定された一対の支持台６１と、載置台３７の移動
軌跡の両側部分に位置する支持台６１に配置された第１
センサ手段６２とから構成されている。尚、この第１セ
ンサ手段６２はレ−ザ−ダイオ−ドなどの発光部６３Ａ
と受光部６３Ｂとからなり、発光部６３Ａからの光はポ
リゴンミラ−などを利用して被測定物の径方向全体に照
射されるように構成されている。又、第２センサ部７は
可動ブロック４３の上部に固定されたＵ形状の支持具７
１と、載置台３７の移動軌跡の両側部分に位置する支持
具７１に配置された第２センサ手段７２とから構成され
ている。尚、この第２センサ手段７２は発光部７３Ａと
受光部７３Ｂとから構成されており、受光部７３Ｂには
例えば直径が０．５ｍｍの穴を通して光が入射される。
固定されており、例えばハウジング３１のそれぞれの側
面に固定された一対の支持台６１と、載置台３７の移動
軌跡の両側部分に位置する支持台６１に配置された第１
センサ手段６２とから構成されている。尚、この第１セ
ンサ手段６２はレ−ザ−ダイオ−ドなどの発光部６３Ａ
と受光部６３Ｂとからなり、発光部６３Ａからの光はポ
リゴンミラ−などを利用して被測定物の径方向全体に照
射されるように構成されている。又、第２センサ部７は
可動ブロック４３の上部に固定されたＵ形状の支持具７
１と、載置台３７の移動軌跡の両側部分に位置する支持
具７１に配置された第２センサ手段７２とから構成され
ている。尚、この第２センサ手段７２は発光部７３Ａと
受光部７３Ｂとから構成されており、受光部７３Ｂには
例えば直径が０．５ｍｍの穴を通して光が入射される。
【００２３】次に、被測定物Ｗの外径の測定方法につい
て図５〜図６を参照して説明する。まず、図６に示すよ
うに、載置台３７に第１の被測定物Ｗを磁気吸着により
固定する。そして、測定開始すると、載置台３７は原点
位置に向けて移動すると共に、リミットスイッチなどの
第３センサ手段８の作動により原点位置への復帰を完了
する（ステップＳ１）。原点復帰の完了後、第１駆動手
段３３により載置台３７が縦軸方向（図６に示す矢印方
向）に０．０５ｍｍピッチで間欠的に移動する。その停
止毎に、第１センサ手段６２から第１の被測定物Ｗの外
径サンプリング信号が制御部（制御手段Ｂｂ）Ｂに入力
される（ステップＳ２）。このサンプリングデ−タは制
御部Ｂで演算され、外径の変化量の大きい部分，少ない
部分などが整理されると共に、これらに基づいて第２の
被測定物Ｗについてはどの位置を測定するかの決定がな
される（ステップＳ３）。尚、外径の変化量の少ない部
分は０．０５ｍｍピッチより粗いピッチ例えば２ｍｍピ
ッチで測定すれば、測定能率が向上する。次に、制御部
Ｂからの計測デ−タは表示手段１０に入力され、表示さ
れる（ステップＳ４）。次に、第２の被測定物Ｗに対し
てステップＳ３で決定した設定点の計測を行うか否かを
判断する（ステップＳ５）。このステップで設定点計測
を行う場合には、ステップＳ６に進み計測結果が制御部
Ｂのメモリに保存され、行わない場合には測定終了とな
る。次に、引き続いて測定する第２の被測定物Ｗの検査
・選別基準として規格幅（公差）を設定するか否かを判
断する（ステップＳ７）。規格幅を設定する場合にはス
テップＳ８に進み入力手段９により例えば±２ｍμを入
力する。規格幅を設定しない場合には直ちにステップＳ
９に進んで設定点計測を実行する。即ち、載置台３７は
第１駆動手段３３によりステップＳ３で決定された測定
のための設定点にまで順次間欠的に移動して外径が測定
される。そして、第２の被測定物Ｗの計測デ−タは、ス
テップＳ７で設定された規格幅に入っているか否かの判
定が行われる（ステップＳ１０）。この判定結果は出力
手段１０に表示され（ステップＳ１１）、これにより第
２の被測定物Ｗの良否を簡単に選別できる。尚、外径の
測定に当たって、ステップＳ３の計測デ−タをマスタ−
デ−タとしてその後の測定に活用する他、ステップＳ９
のデ−タをマスタ−デ−タとして活用することもでき
る。
て図５〜図６を参照して説明する。まず、図６に示すよ
うに、載置台３７に第１の被測定物Ｗを磁気吸着により
固定する。そして、測定開始すると、載置台３７は原点
位置に向けて移動すると共に、リミットスイッチなどの
第３センサ手段８の作動により原点位置への復帰を完了
する（ステップＳ１）。原点復帰の完了後、第１駆動手
段３３により載置台３７が縦軸方向（図６に示す矢印方
向）に０．０５ｍｍピッチで間欠的に移動する。その停
止毎に、第１センサ手段６２から第１の被測定物Ｗの外
径サンプリング信号が制御部（制御手段Ｂｂ）Ｂに入力
される（ステップＳ２）。このサンプリングデ−タは制
御部Ｂで演算され、外径の変化量の大きい部分，少ない
部分などが整理されると共に、これらに基づいて第２の
被測定物Ｗについてはどの位置を測定するかの決定がな
される（ステップＳ３）。尚、外径の変化量の少ない部
分は０．０５ｍｍピッチより粗いピッチ例えば２ｍｍピ
ッチで測定すれば、測定能率が向上する。次に、制御部
Ｂからの計測デ−タは表示手段１０に入力され、表示さ
れる（ステップＳ４）。次に、第２の被測定物Ｗに対し
てステップＳ３で決定した設定点の計測を行うか否かを
判断する（ステップＳ５）。このステップで設定点計測
を行う場合には、ステップＳ６に進み計測結果が制御部
Ｂのメモリに保存され、行わない場合には測定終了とな
る。次に、引き続いて測定する第２の被測定物Ｗの検査
・選別基準として規格幅（公差）を設定するか否かを判
断する（ステップＳ７）。規格幅を設定する場合にはス
テップＳ８に進み入力手段９により例えば±２ｍμを入
力する。規格幅を設定しない場合には直ちにステップＳ
９に進んで設定点計測を実行する。即ち、載置台３７は
第１駆動手段３３によりステップＳ３で決定された測定
のための設定点にまで順次間欠的に移動して外径が測定
される。そして、第２の被測定物Ｗの計測デ−タは、ス
テップＳ７で設定された規格幅に入っているか否かの判
定が行われる（ステップＳ１０）。この判定結果は出力
手段１０に表示され（ステップＳ１１）、これにより第
２の被測定物Ｗの良否を簡単に選別できる。尚、外径の
測定に当たって、ステップＳ３の計測デ−タをマスタ−
デ−タとしてその後の測定に活用する他、ステップＳ９
のデ−タをマスタ−デ−タとして活用することもでき
る。
【００２４】次に、被測定物Ｗの長さ（幅）の測定方法
について図６〜図８を参照して説明する。まず、図６に
示すように、載置台３７に第１の被測定物Ｗを磁気吸着
により固定する。そして、測定開始すると、載置台３７
は原点位置に向けて移動すると共に、リミットスイッチ
などの第３センサ手段８の作動により原点位置への復帰
を完了する（ステップＳ３１）。原点復帰の完了後、第
１駆動手段３３により載置台３７が縦軸方向（図６に示
す矢印方向）に０．０５ｍｍピッチで間欠的に移動す
る。その停止毎に、第１センサ手段６２から第１の被測
定物Ｗの外径サンプリング信号が制御部（制御手段Ｂ
ｂ）Ｂに入力される（ステップＳ３２）。このサンプリ
ングデ−タは制御部Ｂで演算され、外径の変化量の大き
い部分（図６のａ），少ない部分（図６のｂ，ｃ，ｄ）
などが整理されると共に、これらに基づいて第２の被測
定物Ｗについてはどの位置を測定するかの決定及び長さ
測定位置の決定がなされる（ステップＳ３３）。尚、長
さの変化量の少ない部分は０．０５ｍｍピッチより粗い
ピッチ例えば２ｍｍピッチで測定すれば、測定能率が向
上する。次に、原点復帰させた後、第２駆動手段４５に
より第２センサ手段７２を図６に示す位置まで移動させ
て停止する。この状態において、第１駆動手段３３によ
り載置台３７を図６に示す矢印方向に０．０５ｍｍピッ
チで間欠的に移動させる。この際に、第２センサ手段７
２からは図６に示す第１の被測定物Ｗのａ，ｂ，ｃ，ｄ
部分の長さサンプリング信号が制御部Ｂに入力され演算
される（ステップＳ３４）。尚、第２センサ手段７２か
らは図８に示す出力信号が出力される。そして、第１の
被測定物Ｗの全計測点について測定が終了したか否かの
判断が行われ（ステップＳ３５）、終了した場合にはス
テップＳ３６に進み、終了していない場合にはステップ
Ｓ３４に戻る。次に、第２の被測定物Ｗに対してステッ
プＳ３３で決定した設定点の計測を行うか否かを判断す
る（ステップＳ３６）。このステップで設定点計測を行
う場合には、ステップＳ３７に進み計測結果が制御部Ｂ
のメモリに保存され、行わない場合には測定終了とな
る。次に、引き続いて測定する第２の被測定物Ｗの検査
・選別基準として規格幅（公差）を設定するか否かを判
断する（ステップＳ３８）。規格幅を設定する場合には
ステップＳ３９に進み入力手段９により例えば±２ｍμ
を制御部Ｂに入力する。規格幅を設定しない場合には直
ちにステップＳ４０に進んで設定点計測を実行する。即
ち、載置台３７は第１駆動手段３３によりステップＳ３
３で決定された測定のための設定点にまで順次間欠的に
移動して図６に示すａ，ｂ，ｃ，ｄ部分の長さを測定す
る。そして、第２の被測定物Ｗの計測デ−タは、ステッ
プＳ３８で設定された規格幅に入っているか否かの判定
が行われる（ステップＳ４１）。この判定結果は出力手
段１０に表示され（ステップＳ４２）、これにより第２
の被測定物Ｗの良否を簡単に選別できる。尚、長さの測
定に当たって、ステップＳ３３の計測デ−タをマスタ−
デ−タとしてその後の測定に活用する他、ステップＳ４
０のデ−タをマスタ−デ−タとして活用することもでき
る。又、外径の測定に連続して長さを測定するように構
成すれば、測定作業が効率的に遂行できる。
について図６〜図８を参照して説明する。まず、図６に
示すように、載置台３７に第１の被測定物Ｗを磁気吸着
により固定する。そして、測定開始すると、載置台３７
は原点位置に向けて移動すると共に、リミットスイッチ
などの第３センサ手段８の作動により原点位置への復帰
を完了する（ステップＳ３１）。原点復帰の完了後、第
１駆動手段３３により載置台３７が縦軸方向（図６に示
す矢印方向）に０．０５ｍｍピッチで間欠的に移動す
る。その停止毎に、第１センサ手段６２から第１の被測
定物Ｗの外径サンプリング信号が制御部（制御手段Ｂ
ｂ）Ｂに入力される（ステップＳ３２）。このサンプリ
ングデ−タは制御部Ｂで演算され、外径の変化量の大き
い部分（図６のａ），少ない部分（図６のｂ，ｃ，ｄ）
などが整理されると共に、これらに基づいて第２の被測
定物Ｗについてはどの位置を測定するかの決定及び長さ
測定位置の決定がなされる（ステップＳ３３）。尚、長
さの変化量の少ない部分は０．０５ｍｍピッチより粗い
ピッチ例えば２ｍｍピッチで測定すれば、測定能率が向
上する。次に、原点復帰させた後、第２駆動手段４５に
より第２センサ手段７２を図６に示す位置まで移動させ
て停止する。この状態において、第１駆動手段３３によ
り載置台３７を図６に示す矢印方向に０．０５ｍｍピッ
チで間欠的に移動させる。この際に、第２センサ手段７
２からは図６に示す第１の被測定物Ｗのａ，ｂ，ｃ，ｄ
部分の長さサンプリング信号が制御部Ｂに入力され演算
される（ステップＳ３４）。尚、第２センサ手段７２か
らは図８に示す出力信号が出力される。そして、第１の
被測定物Ｗの全計測点について測定が終了したか否かの
判断が行われ（ステップＳ３５）、終了した場合にはス
テップＳ３６に進み、終了していない場合にはステップ
Ｓ３４に戻る。次に、第２の被測定物Ｗに対してステッ
プＳ３３で決定した設定点の計測を行うか否かを判断す
る（ステップＳ３６）。このステップで設定点計測を行
う場合には、ステップＳ３７に進み計測結果が制御部Ｂ
のメモリに保存され、行わない場合には測定終了とな
る。次に、引き続いて測定する第２の被測定物Ｗの検査
・選別基準として規格幅（公差）を設定するか否かを判
断する（ステップＳ３８）。規格幅を設定する場合には
ステップＳ３９に進み入力手段９により例えば±２ｍμ
を制御部Ｂに入力する。規格幅を設定しない場合には直
ちにステップＳ４０に進んで設定点計測を実行する。即
ち、載置台３７は第１駆動手段３３によりステップＳ３
３で決定された測定のための設定点にまで順次間欠的に
移動して図６に示すａ，ｂ，ｃ，ｄ部分の長さを測定す
る。そして、第２の被測定物Ｗの計測デ−タは、ステッ
プＳ３８で設定された規格幅に入っているか否かの判定
が行われる（ステップＳ４１）。この判定結果は出力手
段１０に表示され（ステップＳ４２）、これにより第２
の被測定物Ｗの良否を簡単に選別できる。尚、長さの測
定に当たって、ステップＳ３３の計測デ−タをマスタ−
デ−タとしてその後の測定に活用する他、ステップＳ４
０のデ−タをマスタ−デ−タとして活用することもでき
る。又、外径の測定に連続して長さを測定するように構
成すれば、測定作業が効率的に遂行できる。
【００２５】次に、被測定物Ｗの同軸度の測定方法につ
いて図６〜図８を参照して説明する。固定する。そし
て、測定開始すると、載置台３７は原点位置に向けて移
動すると共に、リミットスイッチなどの第３センサ手段
８の作動により原点位置への復帰を完了する（ステップ
Ｓ５１）。原点復帰の完了後、図１０に示すように同軸
度を測定するための測定位置（第１の測定位置Ｎ−Ｎ，
第２の測定位置Ｐ−Ｐ）を制御部Ｂに入力したか否かの
判断が行われる（ステップＳ５２）。入力が終了すると
ステップ５３に進み、入力が終了していない場合にはス
テップＳ５２に戻る。入力が終了すると第１駆動手段３
３により載置台３７を縦軸方向に移動させ、第１の被測
定物Ｗの第１の測定位置Ｎ−Ｎの部分に第１センサ手段
６２を位置させる。この状態において、第３駆動手段５
により載置台３７を微小等角度で例えば１０００回間欠
的に回転させて３６０度（１回転）回転させる。この際
に、第１センサ手段６２からは例えば１０００個の外径
サンプリング信号が出力され、制御部Ｂで演算されて外
径及び中心が計測される（ステップ５３）。引き続い
て、この計測デ−タと同外径部分を検索し（ステップＳ
５４）、例えば±２ｍμ以下の位置があったかを判断す
る（ステップＳ５５）。±２ｍμ以下の位置がある場合
にはステップＳ５６に進み、ない場合にはステップＳ６
１に進む。図１０に示すように、Ｍ−Ｍ部分（第３の測
定位置）において±２ｍμ以下であった場合、その位置
でステップＳ５３と同様に１０００個の外径サンプリン
グデ−タを得、これに基づいて演算し外径及び中心が計
測される（ステップＳ５６）。次に、第１の測定位置Ｎ
−Ｎと第３の測定位置Ｍ−Ｍとの外径及び中心デ−タか
ら被測定物Ｗの倒れ角の補正係数を求めて補正・換算す
る（ステップＳ５７）。次に、第１駆動手段３３により
第２の測定位置Ｐ−Ｐに第１センサ手段６２が位置する
ように縦軸方向に移動させ停止させる。この状態におい
て、第３駆動手段５により載置台３７をステップＳ５３
と同様に間欠的に回転されると共に、第１センサ手段６
２から外径サンプリング信号が出力され制御部Ｂに入力
される（ステップＳ５８）。この外径サンプリングデ−
タは制御部Ｂで演算され外径及び中心が計測され、第１
の測定位置Ｎ−Ｎと第３の測定位置Ｍ−Ｍの中心を結ぶ
延長線（Ｑ−Ｑ）上からの第２の測定位置Ｐ−Ｐの中心
のずれ量を解析する（ステップＳ５９）。解析結果は表
示手段１０に表示される（ステップＳ６０）。一方、ス
テップＳ５５で±２ｍμ以下の位置がない場合には第１
駆動手段３３により被測定物Ｗを縦軸方向に例えば０．
１ｍｍ移動させる（ステップＳ６１）。そして、被測定
物Ｗの全域について検索したか否かを判断する（ステッ
プＳ６２）。全域の検索ができていない場合にはステッ
プＳ５４に戻り、できている場合にはステップＳ６３に
進む。そして、倒れ補正なしで同軸度の計測を強行する
か否かを判断する（ステップＳ６３）。強行する場合に
はステップＳ５８に進み、強行しない場合には測定終了
となる。尚、以上の方法は同軸度の測定方法に関するも
のであるが、ステップＳ５３，ステップＳ５６，ステッ
プＳ５８などの外径サンプリングデ−タに基づく演算結
果から真円度（最大直径から最小直径を減算したもの）
を計測することもできる。又、外径，長さの測定に連続
して同軸度（及び真円度）を測定するように構成するこ
ともできる。
いて図６〜図８を参照して説明する。固定する。そし
て、測定開始すると、載置台３７は原点位置に向けて移
動すると共に、リミットスイッチなどの第３センサ手段
８の作動により原点位置への復帰を完了する（ステップ
Ｓ５１）。原点復帰の完了後、図１０に示すように同軸
度を測定するための測定位置（第１の測定位置Ｎ−Ｎ，
第２の測定位置Ｐ−Ｐ）を制御部Ｂに入力したか否かの
判断が行われる（ステップＳ５２）。入力が終了すると
ステップ５３に進み、入力が終了していない場合にはス
テップＳ５２に戻る。入力が終了すると第１駆動手段３
３により載置台３７を縦軸方向に移動させ、第１の被測
定物Ｗの第１の測定位置Ｎ−Ｎの部分に第１センサ手段
６２を位置させる。この状態において、第３駆動手段５
により載置台３７を微小等角度で例えば１０００回間欠
的に回転させて３６０度（１回転）回転させる。この際
に、第１センサ手段６２からは例えば１０００個の外径
サンプリング信号が出力され、制御部Ｂで演算されて外
径及び中心が計測される（ステップ５３）。引き続い
て、この計測デ−タと同外径部分を検索し（ステップＳ
５４）、例えば±２ｍμ以下の位置があったかを判断す
る（ステップＳ５５）。±２ｍμ以下の位置がある場合
にはステップＳ５６に進み、ない場合にはステップＳ６
１に進む。図１０に示すように、Ｍ−Ｍ部分（第３の測
定位置）において±２ｍμ以下であった場合、その位置
でステップＳ５３と同様に１０００個の外径サンプリン
グデ−タを得、これに基づいて演算し外径及び中心が計
測される（ステップＳ５６）。次に、第１の測定位置Ｎ
−Ｎと第３の測定位置Ｍ−Ｍとの外径及び中心デ−タか
ら被測定物Ｗの倒れ角の補正係数を求めて補正・換算す
る（ステップＳ５７）。次に、第１駆動手段３３により
第２の測定位置Ｐ−Ｐに第１センサ手段６２が位置する
ように縦軸方向に移動させ停止させる。この状態におい
て、第３駆動手段５により載置台３７をステップＳ５３
と同様に間欠的に回転されると共に、第１センサ手段６
２から外径サンプリング信号が出力され制御部Ｂに入力
される（ステップＳ５８）。この外径サンプリングデ−
タは制御部Ｂで演算され外径及び中心が計測され、第１
の測定位置Ｎ−Ｎと第３の測定位置Ｍ−Ｍの中心を結ぶ
延長線（Ｑ−Ｑ）上からの第２の測定位置Ｐ−Ｐの中心
のずれ量を解析する（ステップＳ５９）。解析結果は表
示手段１０に表示される（ステップＳ６０）。一方、ス
テップＳ５５で±２ｍμ以下の位置がない場合には第１
駆動手段３３により被測定物Ｗを縦軸方向に例えば０．
１ｍｍ移動させる（ステップＳ６１）。そして、被測定
物Ｗの全域について検索したか否かを判断する（ステッ
プＳ６２）。全域の検索ができていない場合にはステッ
プＳ５４に戻り、できている場合にはステップＳ６３に
進む。そして、倒れ補正なしで同軸度の計測を強行する
か否かを判断する（ステップＳ６３）。強行する場合に
はステップＳ５８に進み、強行しない場合には測定終了
となる。尚、以上の方法は同軸度の測定方法に関するも
のであるが、ステップＳ５３，ステップＳ５６，ステッ
プＳ５８などの外径サンプリングデ−タに基づく演算結
果から真円度（最大直径から最小直径を減算したもの）
を計測することもできる。又、外径，長さの測定に連続
して同軸度（及び真円度）を測定するように構成するこ
ともできる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、縦軸方
向に間欠的に移動する載置台の移動軌跡の両側に第１セ
ンサ手段を配置すると共に、第１センサ手段の出力側に
制御部を接続して構成されているために、被測定物を載
置台に固定した状態で得られた外径サンプリング信号を
制御部で演算することによって外径を迅速かつ正確に計
測することができる。
向に間欠的に移動する載置台の移動軌跡の両側に第１セ
ンサ手段を配置すると共に、第１センサ手段の出力側に
制御部を接続して構成されているために、被測定物を載
置台に固定した状態で得られた外径サンプリング信号を
制御部で演算することによって外径を迅速かつ正確に計
測することができる。
【００２７】特に、第１の被測定物に対するこの外径デ
−タをマスタ−デ−タとし、第２の被測定物の外径を測
定するに際し、前記マスタ−デ−タにおける外径の変化
量の少ない部位の測定点を第１の被測定物の外径測定点
に比べて粗く設定することにより、第２の被測定物の外
径測定を一層能率的に遂行することができる。その上、
幅を設定しておくことにより、第２の被測定物の外径測
定結果が規格幅に入っているか否かを自動的に判定する
ことができるために、測定の迅速化を図ることができる
のみならず、適切な品質管理も可能となる。
−タをマスタ−デ−タとし、第２の被測定物の外径を測
定するに際し、前記マスタ−デ−タにおける外径の変化
量の少ない部位の測定点を第１の被測定物の外径測定点
に比べて粗く設定することにより、第２の被測定物の外
径測定を一層能率的に遂行することができる。その上、
幅を設定しておくことにより、第２の被測定物の外径測
定結果が規格幅に入っているか否かを自動的に判定する
ことができるために、測定の迅速化を図ることができる
のみならず、適切な品質管理も可能となる。
【００２８】又、上述の外径サンプリングデ−タに基づ
く演算結果から外径の変化部位を決定し、第２駆動手段
にて第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に
位置させた後、共に、この間欠動に関連して第２センサ
手段から被測定物の長さ（外径の変化部位間の幅）サン
プリング信号を出力し、このサンプリングデ−タに基づ
いて演算することにより正確に長さを計測することがで
きる。特に、外径測定と長さ測定とをドッキングさせれ
ば、初期デ−タを有効に活用できる上、複数の測定項目
について能率的な測定が可能となる。
く演算結果から外径の変化部位を決定し、第２駆動手段
にて第２センサ手段を外径の変化部位に対応する部分に
位置させた後、共に、この間欠動に関連して第２センサ
手段から被測定物の長さ（外径の変化部位間の幅）サン
プリング信号を出力し、このサンプリングデ−タに基づ
いて演算することにより正確に長さを計測することがで
きる。特に、外径測定と長さ測定とをドッキングさせれ
ば、初期デ−タを有効に活用できる上、複数の測定項目
について能率的な測定が可能となる。
【００２９】さらに、載置台にセットした被測定物の外
径を測定するための第１，第２の測定位置を決定した
後、被測定物の第１の測定位置に第１センサ手段を位置
させ、この状態において、第３駆動手段により載置台を
１回転させると共に第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて演算して外径を計測し、引
き続いて前記外径計測デ−タと同一又は所定の範囲内の
外径部分を検索しその部位（第３の測定位置）の外径を
測定すると共に第１及び第３の測定位置における中心を
求め、さらに第２の測定位置に第１センサ手段を位置さ
せ、回転に関連して第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて外径及び中心を計測し、第
１及び第３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測
定位置の中心のずれ量を演算することにより同軸度を正
確かつ能率的に計測できる。
径を測定するための第１，第２の測定位置を決定した
後、被測定物の第１の測定位置に第１センサ手段を位置
させ、この状態において、第３駆動手段により載置台を
１回転させると共に第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて演算して外径を計測し、引
き続いて前記外径計測デ−タと同一又は所定の範囲内の
外径部分を検索しその部位（第３の測定位置）の外径を
測定すると共に第１及び第３の測定位置における中心を
求め、さらに第２の測定位置に第１センサ手段を位置さ
せ、回転に関連して第１センサ手段から出力される外径
サンプリング信号に基づいて外径及び中心を計測し、第
１及び第３の測定位置の中心を結ぶ軸線上から第２の測
定位置の中心のずれ量を演算することにより同軸度を正
確かつ能率的に計測できる。
【図１】本発明の１実施例を示す基本ブロック構成図。
【図２】図１の概略ブロック構成図。
【図３】本発明装置の平面図。
【図４】図３の側面図。
【図５】外径測定のためのフロ−チャ−ト。
【図６】外径及び長さ測定のために被測定物を載置台に
載置した状態を示す側面図。
載置した状態を示す側面図。
【図７】長さ測定のためのフロ−チャ−ト。
【図８】長さ測定時における第１センサ手段の出力信号
図。
図。
【図９】同軸度測定のためのフロ−チャ−ト。
【図１０】同軸度測定のために被測定物を載置台に載置
した状態を示す側面図。
した状態を示す側面図。
【符号の説明】 Ａ 入力部 Ｂ 制御部 Ｂｂ 制御手段 Ｃ 出力部 Ｄ 駆動部 Ｗ 被測定物 １ 機構部 ３ 縦軸駆動部 ３２ スクリュ−ネジ ３３ 第１駆動手段 ３４ 可動ブロック ３６ 支持具 ３７ 載置台 ４ 横軸駆動部 ４１ ベ−ス ４３ 可動ブロック ４４ スクリュ−ネジ ４５ 第２駆動手段 ５ 第３駆動手段 ６２ 第１センサ手段 ６３Ａ 発光部 ６３Ｂ 受光部 ７２ 第２センサ手段 ７３Ａ 発光部 ７３Ｂ 受光部 ８ 第３センサ手段 ９ 入力手段 １０ 表示手段
Claims (12)
- 【請求項１】 被測定物を載置する載置台と、載置台を
縦軸方向に所定のピッチで間欠的に移動させる第１駆動
手段と、載置台の移動軌跡の両側に固定・配置した発光
部と受光部を有する第１センサ手段と、載置台の移動軌
跡の両側で、かつ第１センサ手段とは異なる高さ位置に
配置した発光部と受光部を有する第２センサ手段と、第
２センサ手段を横軸方向に移動させる第２駆動手段と、
載置台に連結され、載置台を軸中心に回転させる第３駆
動手段と、適宜に選択された第１，第２，第３駆動手段
の駆動に伴って得られる第１センサ手段及び／又は第２
センサ手段からの出力信号に基づいて演算することによ
り被測定物の被測定量を計測する制御手段と、制御手段
での計測デ−タを出力する出力手段とを具備したことを
特徴とする被測定物の測定装置。 - 【請求項２】 前記出力手段が、液晶ディスプレ−，Ｃ
ＲＴディスプレ−などの表示装置及び／又は印刷装置で
あることを特徴とする請求項１記載の被測定物の測定装
置。 - 【請求項３】 被測定物を載置する載置台と、載置台を
縦軸方向に所定のピッチで間欠的に移動させる第１駆動
手段と、載置台の移動軌跡の両側に配置した発光部と受
光部を有する第１センサ手段と、第１センサ手段からの
出力に基づいて外径を演算・計測する制御手段とを具備
し、前記第１センサ手段における発光部から受光部に送
る光は実質的に被測定物の外径より広くなるように設定
したことを特徴とする被測定物の測定装置。 - 【請求項４】 前記発光部から受光部に送る光をビ−ム
状とし、被測定物の外径より広い範囲でスキャニングす
ることを特徴とする請求項３記載の被測定物の測定装
置。 - 【請求項５】 載置台に被測定物をセットするステップ
と、第１駆動手段により載置台を所定のピッチで間欠的
に縦軸方向に移動させるステップと、この間欠動に関連
して第１センサ手段から被測定物の外径サンプリング信
号を出力するステップと、このサンプリングデ−タに基
づいて演算することにより外径を計測するステップと、
この計測デ−タを出力するステップとを含むことを特徴
とする被測定物の測定方法。 - 【請求項６】 前記載置台の間欠動に関連して第１セン
サ手段から出力される第１の被測定物の外径サンプリン
グ信号に基づいて演算・計測した外径デ−タをマスタ−
デ−タとし、第２の被測定物の外径を測定するに際し、
前記マスタ−デ−タにおける外径の変化量の少ない部位
の測定点を第１の被測定物の外径測定点に比べて粗く設
定することを特徴とする請求項５記載の被測定物の測定
方法。 - 【請求項７】 前記マスタ−デ−タに基づいて設定され
た設定測定点の測定実行に先立って、規格幅を設定して
おくことにより、第２の被測定物の外径測定結果が規格
幅に入っているか否かを判定することを特徴とする請求
項６記載の被測定物の測定方法。 - 【請求項８】 載置台に被測定物をセットするステップ
と、第１駆動手段により載置台を所定のピッチで間欠的
に縦軸方向に移動させるステップと、この間欠動に関連
して第１センサ手段から被測定物の外径サンプリング信
号を出力するステップと、このサンプリングデ−タに基
づいて演算し、演算結果から外径の変化部位を決定する
ステップと、第２駆動手段にて第２センサ手段を外径の
変化部位に対応する部分に位置させるステップと、第１
駆動手段により載置台を所定のピッチで間欠的に縦軸方
向に移動させると共に、この間欠動に関連して第２セン
サ手段から被測定物の長さ（外径の変化部位間の幅）サ
ンプリング信号を出力するステップと、このサンプリン
グデ−タに基づいて演算することにより長さを計測する
ステップとを含むことを特徴とする被測定物の測定方
法。 - 【請求項９】 前記載置台の間欠動に関連して第２セン
サ手段から出力される第１の被測定物の長さサンプリン
グデ−タに基づいて演算・計測した長さデ−タをマスタ
−デ−タとし、第２の被測定物の長さを測定するに際
し、前記マスタ−デ−タにおける外径の変化量の少ない
部位の測定点を第１の被測定物の長さ測定点に比べて粗
く設定することを特徴とする請求項８記載の被測定物の
測定方法。 - 【請求項１０】 前記長さマスタ−デ−タに基づいて設
定された設定測定点の測定実行に先立って、規格幅を設
定しておくことにより、第２の被測定物の長さ測定結果
が規格幅に入っているか否かを判定することを特徴とす
る請求項９記載の被測定物の測定方法。 - 【請求項１１】 載置台に被測定物をセットするステッ
プと、第１駆動手段により載置台を所定のピッチで間欠
的に縦軸方向に移動させるステップと、この間欠動に関
連して第１センサ手段から被測定物の外径サンプリング
信号を出力するステップと、このサンプリングデ−タに
基づいて演算し、外径を計測するステップと、この演算
結果に基づいて外径の変化部位を決定するステップと、
第２駆動手段にて第２センサ手段を外径の変化部位に対
応する部分に位置させるステップと、第１駆動手段によ
り載置台を所定のピッチで間欠的に縦軸方向に移動させ
ると共に、この間欠動に関連して第２センサ手段から被
測定物の長さ（外径の変化部位間の幅）サンプリング信
号を出力するステップと、このサンプリングデ−タに基
づいて演算し、長さを計測するステップと、計測された
外径及び長さデ−タを出力するステップとを含み、被測
定物の外径と長さとを順次に測定することを特徴とする
被測定物の測定方法。 - 【請求項１２】 載置台に被測定物をセットするステッ
プと、被測定物の外径を測定するための第１，第２の測
定位置を決定するステップと、第１駆動手段により載置
台を、被測定物の第１の測定位置に第１センサ手段が位
置するように移動させるステップと、この状態におい
て、第３駆動手段により載置台を間欠的に１回転させる
ステップと、この間欠回転に関連して第１センサ手段か
ら出力される第１の測定位置における外径サンプリング
信号に基づいて演算し外径を計測するステップと、第１
駆動手段により載置台を縦軸方向に移動させることによ
り、前記外径計測デ−タと同一又は所定の範囲内の外径
部分を検索するステップと、検索した部位（第３の測定
位置）の外径を測定すると共に、第１及び第３の測定位
置における中心を求めるステップと、第１駆動手段によ
り載置台を、被測定物の第２の測定位置に第１センサ手
段が位置するように、縦軸方向に移動させるステップ
と、この状態において第３駆動手段により載置台を間欠
的に１回転させるステップと、この間欠回転に関連して
第１センサ手段から出力される第２の測定位置における
外径サンプリング信号に基づいて外径及び中心を計測す
るステップと、第１及び第３の測定位置の中心を結ぶ軸
線上から第２の測定位置の中心のずれ量を演算し計測す
るステップとを含むことを特徴とする被測定物の測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7040650A JP2979498B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 被測定物の測定装置及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7040650A JP2979498B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 被測定物の測定装置及びその測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233536A true JPH08233536A (ja) | 1996-09-13 |
| JP2979498B2 JP2979498B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=12586434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7040650A Expired - Fee Related JP2979498B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 被測定物の測定装置及びその測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979498B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009192474A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Takao Nemoto | 雄螺子の測定装置及び判定装置 |
| CN109211124A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-01-15 | 浙江德清龙立红旗制药机械有限公司 | 冲模尺寸激光检测机构 |
-
1995
- 1995-02-28 JP JP7040650A patent/JP2979498B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009192474A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Takao Nemoto | 雄螺子の測定装置及び判定装置 |
| CN109211124A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-01-15 | 浙江德清龙立红旗制药机械有限公司 | 冲模尺寸激光检测机构 |
| CN109211124B (zh) * | 2018-10-31 | 2023-11-21 | 浙江德清龙立红旗制药机械有限公司 | 冲模尺寸激光检测机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2979498B2 (ja) | 1999-11-15 |
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