JPH08233723A

JPH08233723A - 粒子検出装置

Info

Publication number: JPH08233723A
Application number: JP7037041A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Sakata; 雅一坂田; Masayuki Fujita; 政行藤田; Yoshitaka Nishio; 佳高西尾; Kenichi Shibata; 賢一柴田; Kazuhiko Kuroki; 和彦黒木
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1995-02-24
Filing date: 1995-02-24
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【目的】所定粒子径の粒子を簡単な光検出手段を用
いて選択性よく検出可能な粒子検出装置を提供すること
を目的とする。【構成】粒子に光を照射するための半導体レーザ１
と、透光状態と光遮蔽状態の切り換え可能な複数の光取
出部が同心円上に配置された液晶素子５と、液晶素子５
を透過した回折光を検出する光検出手段７と、を備え、
上記複数の光取出部の透光状態と光遮蔽状態の切り換え
により、光検出手段７で少なくとも所定の２つの光取出
部からの光を光検出手段７で独立に検出し、独立に検出
した上記少なくとも２つの光取出部からの光強度を用い
て粒子を判別するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、花粉等の粒子を検出す
る粒子検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、杉、ヒノキ等の植物の花粉に起因
する花粉症をはじめとして、空気中の花粉などの粒子に
よるアレルギー症に悩む人の数は増加の傾向にあり、大
きな社会問題となっている。

【０００３】このアレルギー症の人にとっては、症状が
出るのを防止するため、環境雰囲気中のその症状を引き
起こす特定の花粉などの粒子濃度を知ることが重要であ
る。

【０００４】この雰囲気中の粒子を検出する方法とし
て、発光ダイオード（ＬＥＤ）から出力される光を照射
し、空気中の粒子による散乱光を受光素子で検出して粒
子を特定することなく検出する方法が知られている。

【０００５】また、特開昭６２−１００６３７号（Ｇ０
１Ｎ１５／０２）や特開平２−２０３２４６号（Ｇ０
１Ｎ１５／０２）には、フラウンホーファー回折を利
用した粒子群の粒度分布を測定する方法が開示されてい
る。この方法は、粒子群にレーザ光を照射し回折された
光をレンズで集光することにより得られるリング状の回
折像における半径方向の光強度分布（フラウンホーファ
ー回折光強度分布）と、粒子群の粒度分布と、の相関関
係を用いている。

【０００６】上記公報では、リング状の光強度分布を検
出するために、同心円状に配置された複数のフォトダイ
オードからなるリングデテクタや半径方向に向かって受
光面積が大きい複数のフォトダイオードからなる扇状デ
テクタを使用することが記載されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｌ
ＥＤを使用した散乱光を検出する方法では、粒子を選択
的に検出できなかった。

【０００８】また、上記複数のフォトダイオードを用い
る方法では、光検出手段が複雑で装置が高価であるとい
った問題があった。

【０００９】従って、本発明は上述の問題点を鑑みなさ
れたものであり、粒子を簡単な光検出手段を用いて選択
性よく検出可能な粒子検出装置を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の粒子検出装置
は、粒子に光を照射するための光源手段と、透光状態と
光遮蔽状態の切り換え可能な複数の光取出部が同心円上
に配置された遮蔽手段と、該遮蔽手段を透過した回折光
を検出する光検出手段と、を備え、上記複数の光取出部
の透光状態と光遮蔽状態の選択により、上記光検出手段
で少なくとも所定の２つの光取出部からの光強度を独立
に検出し、該独立に検出した上記少なくとも２つの光取
出部からの光強度を用いて粒子を検出するようにしたこ
とを特徴とする。

【００１１】特に、上記遮蔽手段は、互いに対向する一
対の偏光板と、該一対の偏光板の間に設けられた液晶層
と、該液晶層を挟むように対向配置された該液晶層の液
晶配向を偏向させるための一対の透明電極と、からな
り、上記光取出部は上記透明電極が同心円上に配置され
ることにより形成されることを特徴とする。

【００１２】更に、上記２つの光取出部は、それぞれ所
定粒子径に係る回折光の副極大ピークと、該所定粒子径
に係る回折光の他の副極大ピーク又は極小ピークに対応
するように設けられていることを特徴とする。

【００１３】

【作用】本発明によれば、遮蔽手段に同心円上に所定配
置された少なくとも所定の２つの光取出部を透光状態と
光遮蔽状態に切り換えることにより、粒子に光が照射さ
れて生じた所定粒子径に関するフラウンホーファー回折
光強度分布を有するフラウンホーファー回折光の副極大
ピークに対応する光取出部と他の副極大又は極小ピーク
に対応する光取出部を独立に透光状態にできるので、所
定粒子径の２つの副極大ピーク、又は副極大ピークと極
小ピークに対応する光取出部からの光量を独立に検出で
き、これら光量から所望粒子径の粒子を選択性よく検出
できる。しかも、本発明の装置は、複雑な光検出手段を
使用せずに検出可能であるので、安価にできる。

【００１４】特に、液晶を用いた遮蔽手段の場合、上記
光透過状態と光遮蔽状態を電気的制御により殆ど瞬時且
つ容易に切り換えできるので、装置が複雑化しない。

【００１５】

【実施例】本発明の第１実施例に係る粒子検出装置を図
面を用いて説明する。図１は本実施例装置の概略構成
図、図２はその装置の概略断面図、図３はその装置に用
いられる遮蔽手段の概略断面図、及び図４は遮蔽手段の
透明電極の概略上面図である。

【００１６】図１及び図２中、１はレーザ光を出力する
半導体レーザ（光源手段）、２は半導体レーザ１の前方
に位置し、上記レーザ光を略平行光（平行レーザ光）に
変換するコリメータレンズ、３は図示しない吸気ポンプ
に連結され、内部に一定流量、例えば３リットル／分の
外部空気が図中矢印方向に流れる表面黒塗りの金属製又
は樹脂製フローセルである。

【００１７】このセル３には、コリメータレンズ２にて
変換された平行レーザ光が入射する入射開口３ａと、該
平行レーザ光が上記外部空気に含まれる花粉等の略球形
粒子によって回折され、粒子径に応じたフラウンホーフ
ァー回折強度分布を有する回折光が出射する上記入射開
口３ａに対向した位置に設けられた出射開口３ｂと、が
設けられている。これら入射開口３ａ、出射開口３ｂ
は、セル３中に迷光が入射するのを防止するためにそれ
ぞれ円筒状、円錐状の遮蔽部材３ｃ、３ｄが設けられて
いる。

【００１８】また、セル３は、吸引した花粉等の略球形
粒子に平行レーザ光を効率よく照射するためと、吸引し
た外部空気が入射開口３ａ及び出射開口３ｂから漏れ出
るのを防止するために、入射開口３ａ及び出射開口３ｂ
の設けられた狭い部分（照射部：φ３ｍｍ）と、その両
側を円錐状に拡がる形状から構成されている。尚、斯る
狭い部分の吸引した外部空気の線速度は７ｍ／秒であ
る。

【００１９】４はセル３に導入される外部空気の中に含
まれるある粒子径以上（本実施例では１００μｍ以上）
の粒子等を除去するフィルターである。

【００２０】５は透光状態と光遮蔽状態が切り換え可能
な各光取出部を同心円上に有する遮蔽手段としての液晶
素子であり、上記同心円の中心は前記入射平行レーザ光
の中心光軸に位置すると共に、該光軸と光取出部面は直
交している。

【００２１】図３はこの液晶素子５の模式構造断面図で
あり、この図から判るように、液晶素子５は、電界に対
する応答速度の速い強誘電性液晶、例えばデシルオキシ
ベンジリデン−アミノ−メチルブチルエステル（ＤＯＢ
ＡＮＢＣ）からなる厚み２〜３μｍの液晶液（液晶層）
５ａが一対の対向した厚み５００μｍの透明ガラス板５
ｂ、５ｂ間に充填され、液晶層５ａを挟むように透明ガ
ラス板５ｂ、５ｂの外側に一対の対向した厚み１００μ
ｍの偏光板５ｃ、５ｃが配置されると共に、上記各透明
ガラス板５ｂ、５ｂの内側側壁には一対の対向した厚み
０．２μｍのＩＴＯ（ＩｎとＳｎを含む合金）からなる
透明電極５ｄ、５ｄがそれぞれ被着形成されている。
尚、図示しないが、透明電極５ｄ上を覆うように透明ガ
ラス板５ｂの内側側壁上には、無電界において液晶層５
ａ中の液晶を所定方向に配向するためのポリイミドから
なる配向層が形成されている。

【００２２】図４に示すように、上記各透明電極５ｄは
同心円状に配置された第１、第２、第３電極パターン部
５１ｄ、５２ｄ、５３ｄを有し、第１、第２、第３電極
パターン部５１ｄ、５２ｄ、５３ｄはそれぞれ独立に通
電できるように図示しないＳｉＯ₂からなる絶縁膜によ
り対応しない電極パターン部等と絶縁分離されたＩＴＯ
からなる各導線を介して制御電源Ｖに電気的に接続され
ている。

【００２３】この液晶素子５は、透明電極５ｄ、５ｄに
電界が印加されない場合、回折光を遮蔽し、透明電極５
ｄ、５ｄの対向する第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄ
間、第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄ間、又は第３電
極パターン部５３ｄ、５３ｄ間に電界が印加された場
合、対応する電極パターン部間の液晶層５ａの液晶配向
が変化し、第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄ、第２電
極パターン部５２ｄ、５２ｄ、又は第３電極パターン部
５３ｄ、５３ｄに対応する部分を介して回折光を透過す
る。即ち、斯る液晶素子５は、各対向する電極パターン
部に対応する部分が電圧印加により遮光状態から透光状
態に変わる光取出部に当る。

【００２４】上記第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄ
は、所定粒子径に応じたフラウンホーファー回折光強度
分布を有するフラウンホーファー回折光の副極大ピーク
に対応する部分に、第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄ
は、同極小ピークに対応する部分に設定配置されてい
る。

【００２５】６は遮蔽手段５の前方に配置された集光手
段で、第１、第２のレンズ６ａ、６ｂで構成されてい
る。

【００２６】７は集光手段６で集光された光取出部から
出射された光を受光し、その受光量に応じた電気信号に
変換するフォトダイオード等からなる光検出手段であ
る。

【００２７】８は光検出手段７にて得られた電気信号か
ら所定積算流量（単位体積）中の所望粒子径を有する略
球形粒子の個数についての信号に変換する信号検出回
路、９は信号検出回路８で出力される信号に応じて空気
中の所望粒子径を有する略球形粒子の濃度を表示する表
示部、１０は半導体レーザを駆動するための発振回路、
１１は容器であって、その内壁は迷光が乱反射しないよ
うに黒塗りされている。

【００２８】尚、本実施例では、半導体レーザ１は、後
方側に出力されるモニター用レーザ光を図示しない受光
手段で検出し、該検出信号を用いてＡＰＣ（自動出力制
御）駆動回路にて駆動され、上記前方側に出力されるレ
ーザ光の出力を一定にするように制御される。また、上
記レーザ光の波長は７９０ｎｍ、上記遮蔽手段５と照射
部の距離Ｘは４０ｍｍと設定されている。

【００２９】以下、本実施例装置の原理について詳細に
説明する。

【００３０】粒子に平行光をなすコヒーレント光（レー
ザ光）が照射され生じる回折光は、所謂フラウンホーフ
ァー回折光と呼ばれ、粒子が球形粒子である場合、例え
ば図５〜図７に示すような同心円状を有するフラウンホ
ーファー回折光強度分布を生じる。尚、図５〜図７はそ
れぞれ粒子径が１５μｍ、３０μｍ、５０μｍである。

【００３１】上記図５〜図７から判るように、球形粒子
によるフラウンホーファー回折光強度分布には、主極大
の周りに極小を介して同心円状に第１の副極大、第２の
副極大、第３の副極大、・・・が存在し、しかもこれら
副極大、極小は粒子径が異なれば、異なる回折角度に生
じる。尚、このフラウンホーファ回折光強度分布は略球
形粒子でも略同様であると共に、粒子が略球形でない場
合には同心円状の強度分布を示さない。

【００３２】本実施例装置では、上述したように一対の
第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄが所定粒子径に関す
るフラウンホーファー回折光強度分布の副極大に対応す
るように配置されると共に、一対の第２電極パターン部
５２ｄ、５２ｄが所定粒子径に関するフラウンホーファ
ー回折光強度分布を有する極小に対応するように配置さ
れている。よって、第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄ
と第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄとを独立に通電し
て、透光状態となった各電極パターン部からの光検出強
度を比較することにより、所望粒子径の粒子を精度よく
検出できる。

【００３３】しかも、本実施例装置では、回折光をリン
グ状の光取出部を有する遮蔽手段５を介して取り出して
検出するので、略球形でない粒子による回折光を殆ど検
出することがなく、且つ遮蔽手段５により直進光及び回
折角の小さい光が光検出手段７に入射するのを防止でき
る。よって、本装置は高感度である。

【００３４】以下、環境雰囲気中の花粉症を引き起こす
杉の花粉を選択的に検出する場合について説明する。こ
れら杉花粉の平均粒子径は３０μｍ程度である。従っ
て、杉花粉を検出する場合、例えば第１電極パターン部
５１ｄ、５１ｄは第３の副極大に対応した直径７．５ｍ
ｍ、幅０．３ｍｍ、第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄ
は第３の極小に対応した直径６．７ｍｍ、幅０．３ｍｍ
を有するように形成されている。

【００３５】まず、図示しない吸気ポンプを動作してフ
ローセル３内にフィルタ４で１００μｍ以上の粒子等を
除去した外部空気を上記一定流量で流すと共に、透明電
極５ｄ、５ｄに電圧を印加しない状態（無印加状態
Ａ）、第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄのみに電圧を
印加する状態（印加状態Ｂ）、第２電極パターン部５２
ｄ、５２ｄのみに電圧を印加する状態（印加状態Ｃ）を
短時間間隔、例えばそれぞれ１００μｓｅｃ、５０μｓ
ｅｃ、５０μｓｅｃ間隔で繰り返す。

【００３６】この結果、図８に示すように、光検出手段
７から各状態Ａ、Ｂ、Ｃに対応した受光量Ｉ_A、Ｉ_B、Ｉ
_Cが得られる。尚、図８は、縦軸は受光量、横軸は経過
時間を示す。

【００３７】そして、信号検出回路８にて、（Ｉ_B−
Ｉ_A）−（Ｉ_C−Ｉ_A）の演算処理を行い、この演算処理
値が所定水準以上の場合に杉花粉と判定・カウントし、
所定積算流量内におけるそのカウント数を積算する。こ
のカウント数に係る信号が表示部９に送られて表示部９
に空気中の杉花粉の濃度として表示される。尚、本実施
例の場合、同一粒子による重複カウントをさけるため、
所定期間０．００１秒以内の複数のカウントは１カウン
トとした。

【００３８】本実施例装置では、所定粒子径のフラウン
ホーファー回折光強度分布の副極大、極小に設定して検
出・比較するので、副極大のみに設定して検出した場合
に起こる所望粒子径以外の粒子をカウントする恐れを低
減でき、所望粒子径の粒子を高精度に検出できる。しか
も、光検出手段は従来の簡単なフォトダイオード等を使
用でき、且つ遮蔽手段としての液晶素子は簡単に形成で
きるので、安価である。

【００３９】尚、上述では、所定粒子径のフラウンホー
ファー回折光強度分布の副極大、極小に設定して検出す
るようにしたが、所定粒子径のフラウンホーファー回折
光強度分布の異なる２つの副極大に設定して検出するこ
とにより、好ましくはその強度比から所望粒子径の粒子
を検出するようにもできる。

【００４０】勿論、所定粒子径のフラウンホーファー回
折光強度分布の複数の副極大、極小に設定して検出する
ようにしてもよい。例えば、上記装置を用いた杉花粉検
出の場合、第３電極パターン部５３ｄ、５３ｄを杉花粉
に係る他の極小に対応するように設置し、これに対応し
た受光量をＩ_Dを用いて、（Ｉ_B−Ｉ_A）−（Ｉ_C−Ｉ_A）
の他、（Ｉ_B−Ｉ_A）−（Ｉ_D−Ｉ_A）の両方がそれぞれの
所定水準値以上の場合に杉花粉と判定するようにして更
に高精度化してもよく、また第３電極パターン部５３
ｄ、５３ｄを杉花粉に係る他の副極大に対応するように
設置し、これに対応した受光量をＩ_Eを用いて、（Ｉ_B−
Ｉ_A）−（Ｉ_C−Ｉ_A）の他、（Ｉ_E−Ｉ_A）／（Ｉ_C−
Ｉ_A）がそれぞれの所定水準値以上の場合に杉花粉と判
定するようにして更に高精度化してもよい。

【００４１】また、上述では、杉花粉について説明した
が、他の花粉も選択性よく検出可能である。

【００４２】例えば、稲花粉の平均粒子径は５０μｍ程
度であるので、例えば第１電極パターン部５１ｄ、５１
ｄは第５の副極大に対応した直径７．３ｍｍ、幅０．３
ｍｍ、第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄは第５の極小
に対応した直径６．７ｍｍ、幅０．３ｍｍを有するよう
に形成され、ブタクサ花粉の平均粒子径は１５μｍ程度
であるので、例えば第１電極パターン部５１ｄ、５１ｄ
は第１の副極大に対応した直径６．８ｍｍ、幅０．３ｍ
ｍ、第２電極パターン部５２ｄ、５２ｄは第１の極小に
対応した直径５．０ｍｍ、幅０．３ｍｍを有するように
形成されされる。

【００４３】更に、液晶素子５の透明電極５ｄが、複数
の所定粒子径に対応するように電極パターン部を有する
ようにしてもよい。

【００４４】図９は、複数の所定粒子径に対応する複数
の電極パターン部を有する透明電極５ｄの概略上面図で
ある。

【００４５】第１〜第４電極パターン部１５１ｄ〜１５
４ｄは、それぞれ直径７．６ｍｍ、７．２ｍｍ、６．７
５ｍｍ、５．００ｍｍであり、これらは共に幅０．３ｍ
ｍである。従って、この液晶素子５では、杉花粉の検出
には第１及び第３電極パターン部、稲花粉の検出には第
２及び第３電極パターン部、ブタクサ花粉の検出には第
３及び第４電極パターン部を使用することにより検出で
きるので、複数の花粉を１つの装置で検出することが可
能となる。

【００４６】次に、斯る装置を組み込んだ空調装置の一
種である空気清浄機を図面を用いて説明する。図１０は
この空気清浄機を模式的に示す概略斜視図、図１１はこ
の空気清浄機の構成を模式的に示す構造断面図である。
この清浄機では、内部に組み込まれた粒子検出装置に空
気清浄機の吸気機構を用いて外部空気が導入され、また
清浄機の表示部が表示部９を兼ねる。

【００４７】図中、２１は空気清浄機本体、２２、２３
はこの本体２１前面に設けられた第１、第２の吸気口、
２４は第１の吸気口２２の後方に設けれた空気中の花粉
や塵を集塵する集塵フィルター、２５は第２の吸気口２
３の後方に設けられた上記粒子検出装置である。

【００４８】２６は、第１、第２の吸気口２２、２３の
後方に配置された吸気手段としての吸気ファン、２７は
本体２１の上面側に設けられた排気口である。

【００４９】２８は上記粒子検出装置２５及び前記吸気
ファン２６を制御する制御手段、２９は本体２１上面に
設けられた操作部、３０は上記粒子検出装置２５で得ら
れた粒子濃度を表示する表示部である。

【００５０】この構成において、操作部２９にてスイッ
チをオン状態にすると制御手段２８が作動し、前記粒子
検出装置２５が動作すると共に吸気ファン２６が適宜動
作する。この結果、前記第１、第２の吸気口２２、２３
から外部空気が適宜吸い込れ、上記粒子検出装置２５の
フローセル３内に外部空気が適宜導入されると共に、集
塵フィルター２４にて花粉や塵が捕捉される。この空気
清浄機では、吸気ファン２６の回転数の情報信号が粒子
検出装置２５の信号処理回路８に送られ、該回転数から
所定積算流量が算出されて、該所定積算流量内での所望
粒子径の粒子の濃度が上記信号検出回路８にて算出され
て、表示部３０に表示される。

【００５１】また、上述では、粒子検出装置を空気清浄
機に組み込んだが、空気清浄機の他の空調装置に組み込
んでもよい。

【００５２】また、本発明に係るリング状とは、上述し
たように完全なリングを形成しないものも含み、また本
発明に係る平行光とは、略平行光であるものも含む。勿
論、副極大、極小に対応するとは、完全一致の他、略一
致の場合も含む。

【００５３】また、照射する光の波長を変える場合、回
折角度が変わるので、透明電極のパターンなどを適宜変
更する必要がある。

【００５４】更に、半導体レーザの代わりにガスレーザ
等を用いる場合には、コリメータレンズを用いなくとも
よい。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、遮蔽手段に同心円上に
所定配置された少なくとも所定の２つの光取出部を透光
状態と光遮蔽状態に切り換えることにより、粒子に光が
照射されて生じた所定粒子径に関するフラウンホーファ
ー回折光強度分布を有するフラウンホーファー回折光の
副極大ピークに対応する光取出部と他の副極大又は極小
ピークに対応する光取出部を独立に透光状態にできるの
で、所定粒子径の２つの副極大ピーク、又は副極大ピー
クと極小ピークに対応する光取出部からの光量を独立に
検出でき、これら光量から所望粒子径の粒子を選択性よ
く検出できる。しかも、本発明の装置は、複雑な光検出
手段を使用せずに検出可能であるので、安価にできる。

【００５６】特に、液晶を用いた遮蔽手段の場合、上記
光透過状態と光遮蔽状態を電気的制御により殆ど瞬時且
つ容易に切り換えできるので、装置が複雑化しない。よ
って、より安価にできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る粒子検出装置の模式
概略構成図である。

【図２】上記実施例の粒子検出装置の模式概略断面図で
ある。

【図３】上記実施例で用いた液晶素子の模式概略断面図
である。

【図４】上記実施例で用いた液晶素子の透明電極の模式
概略上面図である。

【図５】粒子径が１５μｍの粒子に係るフラウンホファ
ー回折光強度分布を示す図である。

【図６】粒子径が３０μｍの粒子に係るフラウンホファ
ー回折光強度分布を示す図である。

【図７】粒子径が５０μｍの粒子に係るフラウンホファ
ー回折光強度分布を示す図である。

【図８】上記装置を用いて杉花粉を検出した場合の受光
量と時間の関係を示す図である。

【図９】上記装置に使用する液晶素子の他の透明電極を
示す模式概略上面図である。

【図１０】上記粒子検出装置を組み込んだ空気清浄機の
模式概略斜視図である。

【図１１】上記空気清浄機の模式概略断面図である。

【符号の説明】

１半導体レーザ（光源手段）５液晶素子（遮蔽手段）５ａ液晶層５ｃ偏光板５ｄ透明電極７光検出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者柴田賢一大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号三洋電機株式会社内 (72)発明者黒木和彦大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号三洋電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粒子に光を照射するための光源手段と、
透光状態と光遮蔽状態の切り換え可能な複数の光取出部
が同心円上に配置された遮蔽手段と、該遮蔽手段を透過
した回折光を検出する光検出手段と、を備え、上記複数
の光取出部の透光状態と光遮蔽状態の選択により、上記
光検出手段で少なくとも所定の２つの光取出部からの光
強度を独立に検出し、該独立に検出した上記少なくとも
２つの光取出部からの光強度を用いて粒子を検出するよ
うにしたことを特徴とする粒子検出装置。
【請求項２】上記遮蔽手段は、互いに対向する一対の
偏光板と、該一対の偏光板の間に設けられた液晶層と、
該液晶層を挟むように対向配置された該液晶層の液晶配
向を偏向させるための一対の透明電極と、からなり、上
記光取出部は上記透明電極が同心円上に配置されること
により形成されたことを特徴とする請求項１記載の粒子
検出装置。
【請求項３】上記２つの光取出部は、それぞれ所定粒
子径に係る回折光の副極大ピークと、該所定粒子径に係
る回折光の他の副極大ピーク又は極小ピークに対応する
ように設けられていることを特徴とする請求項１又は２
記載の粒子検出装置。