JPH08236049A - Ｘ線管 - Google Patents
Ｘ線管Info
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- JPH08236049A JPH08236049A JP6706595A JP6706595A JPH08236049A JP H08236049 A JPH08236049 A JP H08236049A JP 6706595 A JP6706595 A JP 6706595A JP 6706595 A JP6706595 A JP 6706595A JP H08236049 A JPH08236049 A JP H08236049A
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- Japan
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- ray tube
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線管動作中にスパッタすることが殆どな
く、高電圧及び高温に対しても溶接不良等が生じること
がなく且つ寸法精度も確保することのできるＸ線管を提
供する。 【構成】 電極本体１陰極側に形成した凹部１ａに、フ
ィラメント５を固定したフィラメントアンカ６をインシ
ュレ−タ７で保持させて固定したフィラメント固定具４
を嵌め入れ、電極本体１に設けたセットスクリュ２によ
り該フィラメント固定具４を移動調整して固定するよう
に構成してある。電極本体１の陰極部周囲は高融点金属
のＴａやＭｏやＴｉやＷ等の合金で製作し、フィラメン
ト固定具４はＮｉやＦｅ等の合金で製作する。
く、高電圧及び高温に対しても溶接不良等が生じること
がなく且つ寸法精度も確保することのできるＸ線管を提
供する。 【構成】 電極本体１陰極側に形成した凹部１ａに、フ
ィラメント５を固定したフィラメントアンカ６をインシ
ュレ−タ７で保持させて固定したフィラメント固定具４
を嵌め入れ、電極本体１に設けたセットスクリュ２によ
り該フィラメント固定具４を移動調整して固定するよう
に構成してある。電極本体１の陰極部周囲は高融点金属
のＴａやＭｏやＴｉやＷ等の合金で製作し、フィラメン
ト固定具４はＮｉやＦｅ等の合金で製作する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線管、特に陰極部
材のスパッタリングを防止することのできる陰極線管に
関する。
材のスパッタリングを防止することのできる陰極線管に
関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管の陰極は、図３に示すように、端
部に切り込みを設けた電極本体１の斜面部に凹部１ａが
形成され、更に該凹部１ａの底部に溝１ｂを設け、ここ
に図４に示すようなフィラメント５を配置するようにな
っている。そしてフィラメント５はそれぞれフィラメン
トアンカ６により保持され、このフィラメントアンカ６
は前記溝１ｂに達するように穿設された孔１１に挿入さ
れて配置されインシュレ−タ７により保持される。陰極
は、その形状及びフィラメント５の取り付け位置の精度
により焦点の大きさが大きく左右されるため、高精度に
加工されている。また、Ｘ線管には高電圧が印加される
ため誘導された電子・イオン等が電極に衝突するが、陽
極側には特に電子・イオン等が衝突するためタングステ
ン或いはモリブデン等の金属が使用される。この場合、
陰極は陽極ほど温度があがらないため真空特性や他の部
材との溶接性等を考慮してニッケル（Ｎｉ）またはその
合金若しくは鉄（Ｆｅ）又はその合金で製作されるのが
通常である。
部に切り込みを設けた電極本体１の斜面部に凹部１ａが
形成され、更に該凹部１ａの底部に溝１ｂを設け、ここ
に図４に示すようなフィラメント５を配置するようにな
っている。そしてフィラメント５はそれぞれフィラメン
トアンカ６により保持され、このフィラメントアンカ６
は前記溝１ｂに達するように穿設された孔１１に挿入さ
れて配置されインシュレ−タ７により保持される。陰極
は、その形状及びフィラメント５の取り付け位置の精度
により焦点の大きさが大きく左右されるため、高精度に
加工されている。また、Ｘ線管には高電圧が印加される
ため誘導された電子・イオン等が電極に衝突するが、陽
極側には特に電子・イオン等が衝突するためタングステ
ン或いはモリブデン等の金属が使用される。この場合、
陰極は陽極ほど温度があがらないため真空特性や他の部
材との溶接性等を考慮してニッケル（Ｎｉ）またはその
合金若しくは鉄（Ｆｅ）又はその合金で製作されるのが
通常である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記するように、陰極
線管で使用されるニッケル（Ｎｉ）或いは鉄（Ｆｅ）等
の金属は構造材料としては蒸気圧が低く、また電子・イ
オンによるスパッタ収率も低い部類ではあるが、Ｘ線管
内、特に陰極にも高エネルギ−の電子・イオンが衝突す
るためニッケル（Ｎｉ）或いは鉄（Ｆｅ）等の金属であ
ってもスパッタされることがある。即ち、Ｘ線管の動作
時陰極も陽極の輻射熱或いはフィラメントの熱により高
温となりスパッタリングとあいまって融点以下の温度で
も溶け出すという現象が生じることがあった。このため
近年、更に蒸気圧の高い、またスパッタ収率の低いモリ
ブデン（Ｍｏ）やその合金を用いる試みがなされている
が、この場合、加工性或いは溶接性が悪く形状や他部材
との接合が難しいという難点があった。そして実際に使
用している間に溶接が外れたり、或いは寸法精度が出な
いために焦点寸法不良を生じることがあった。
線管で使用されるニッケル（Ｎｉ）或いは鉄（Ｆｅ）等
の金属は構造材料としては蒸気圧が低く、また電子・イ
オンによるスパッタ収率も低い部類ではあるが、Ｘ線管
内、特に陰極にも高エネルギ−の電子・イオンが衝突す
るためニッケル（Ｎｉ）或いは鉄（Ｆｅ）等の金属であ
ってもスパッタされることがある。即ち、Ｘ線管の動作
時陰極も陽極の輻射熱或いはフィラメントの熱により高
温となりスパッタリングとあいまって融点以下の温度で
も溶け出すという現象が生じることがあった。このため
近年、更に蒸気圧の高い、またスパッタ収率の低いモリ
ブデン（Ｍｏ）やその合金を用いる試みがなされている
が、この場合、加工性或いは溶接性が悪く形状や他部材
との接合が難しいという難点があった。そして実際に使
用している間に溶接が外れたり、或いは寸法精度が出な
いために焦点寸法不良を生じることがあった。
【０００４】この発明は上記する課題に着目してなされ
たものであり、Ｘ線管動作中にスパッタすることが殆ど
なく、高電圧及び高温に対しても溶接不良等が生じるこ
とがなく且つ寸法精度も確保することのできるＸ線管を
提供することを目的とする。
たものであり、Ｘ線管動作中にスパッタすることが殆ど
なく、高電圧及び高温に対しても溶接不良等が生じるこ
とがなく且つ寸法精度も確保することのできるＸ線管を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するために、Ｘ線管が、電極本体陰極側
に形成した凹部に、フィラメントを固定したフィラメン
トアンカをインシュレ−タで保持させて固定したフィラ
メント固定具をスライド可能に嵌め入れ、該電極本体に
設けたセットスクリュにより該フィラメント固定具を移
動調整して固定するようにしてなることを特徴とする。
また、前記電極本体の陰極部周囲は高融点金属のタン
タル若しくはモリブデン若しくはチタン若しくはタング
ステン或いはこれらの合金を用いて製作すると共に前記
フィラメント固定具はニッケル若しくは鉄或いはこれら
の合金で製作したことを特徴とする。
る課題を解決するために、Ｘ線管が、電極本体陰極側
に形成した凹部に、フィラメントを固定したフィラメン
トアンカをインシュレ−タで保持させて固定したフィラ
メント固定具をスライド可能に嵌め入れ、該電極本体に
設けたセットスクリュにより該フィラメント固定具を移
動調整して固定するようにしてなることを特徴とする。
また、前記電極本体の陰極部周囲は高融点金属のタン
タル若しくはモリブデン若しくはチタン若しくはタング
ステン或いはこれらの合金を用いて製作すると共に前記
フィラメント固定具はニッケル若しくは鉄或いはこれら
の合金で製作したことを特徴とする。
【０００６】
【作用】Ｘ線管を上記手段としたときの作用について説
明する。の手段によれば、フィラメント固定具４は裏
面中央部と側方のセットスクリュ３により微調整可能と
して安定的に固定することができるためフィラメント５
の深さも容易に微調整可能となり、焦点形成に必要な精
度を維持することができる。また、フィラメント固定具
４の各部の接合或いは固定も容易である。また、の手
段によれば、電極本体１の陰極部周囲は、タンタル（Ｔ
ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングス
テン（Ｗ）或いはこれらの合金等の高融点金属が用いら
れているため電子・イオン等によるスパッタリングは生
じにくい。そして該電極本体１の陰極部の凹部１ａ内に
設置されるフィラメント固定具４はニッケル（Ｎｉ）ま
たはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金で製作
されるが、スパッタリングの生じにくい材料により製作
された該電極本体１により保護されることになる。
明する。の手段によれば、フィラメント固定具４は裏
面中央部と側方のセットスクリュ３により微調整可能と
して安定的に固定することができるためフィラメント５
の深さも容易に微調整可能となり、焦点形成に必要な精
度を維持することができる。また、フィラメント固定具
４の各部の接合或いは固定も容易である。また、の手
段によれば、電極本体１の陰極部周囲は、タンタル（Ｔ
ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングス
テン（Ｗ）或いはこれらの合金等の高融点金属が用いら
れているため電子・イオン等によるスパッタリングは生
じにくい。そして該電極本体１の陰極部の凹部１ａ内に
設置されるフィラメント固定具４はニッケル（Ｎｉ）ま
たはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金で製作
されるが、スパッタリングの生じにくい材料により製作
された該電極本体１により保護されることになる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例について図面
を参照して説明する。図１はこの発明のＸ線管の陰極部
分を示す一部断面図、図２は図１のＱ矢視図（図１は図
２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図）である。尚、重複を避ける
ため同一構成要素には従来例で説明した符号と同一の符
号を使用する。電極本体１の陰極側には凹部１ａを形成
し、更に該凹部１ａには裏側から該凹部１ａに達する穴
１ｂが穿設され、更に該電極本体１の側面１ｃ及び底面
１ｄ中央部にはねじ穴１ｅ、１ｆが設けられここにセッ
トスクリュ２、３が螺合させてある。
を参照して説明する。図１はこの発明のＸ線管の陰極部
分を示す一部断面図、図２は図１のＱ矢視図（図１は図
２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図）である。尚、重複を避ける
ため同一構成要素には従来例で説明した符号と同一の符
号を使用する。電極本体１の陰極側には凹部１ａを形成
し、更に該凹部１ａには裏側から該凹部１ａに達する穴
１ｂが穿設され、更に該電極本体１の側面１ｃ及び底面
１ｄ中央部にはねじ穴１ｅ、１ｆが設けられここにセッ
トスクリュ２、３が螺合させてある。
【０００８】図１に示すように、フィラメント固定具４
の上端部に溝４ａが形成されると共に裏側にはインシュ
レ−タ（絶縁体）用の孔４ｂと該孔４ｂから溝４ａに通
じるようにフィラメントアンカ６用の孔４ｃが穿設され
ている。そして該フィラメント固定具４には、フィラメ
ント５が溝４ａに位置するように固定される。この場
合、該フィラメント５を固定して取り付けたフィラメン
トアンカ６をフィラメント固定具４に穿設した孔４ｃに
通して嵌め入れ、裏側からインシュレ−タ７で該フィラ
メントアンカ６を保持させ絶縁して固定する。従ってフ
ィラメント５はフィラメントアンカ６に固定され、該フ
ィラメントアンカ６はインシュレ−タ７によりフィラメ
ント固定具４に固定されて保持されることになる。
の上端部に溝４ａが形成されると共に裏側にはインシュ
レ−タ（絶縁体）用の孔４ｂと該孔４ｂから溝４ａに通
じるようにフィラメントアンカ６用の孔４ｃが穿設され
ている。そして該フィラメント固定具４には、フィラメ
ント５が溝４ａに位置するように固定される。この場
合、該フィラメント５を固定して取り付けたフィラメン
トアンカ６をフィラメント固定具４に穿設した孔４ｃに
通して嵌め入れ、裏側からインシュレ−タ７で該フィラ
メントアンカ６を保持させ絶縁して固定する。従ってフ
ィラメント５はフィラメントアンカ６に固定され、該フ
ィラメントアンカ６はインシュレ−タ７によりフィラメ
ント固定具４に固定されて保持されることになる。
【０００９】前記電極本体１の陰極部周囲は高融点金
属、例えばタンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チ
タン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）或いはこれらの合金
が用いられるが、好適例としてはモリブデン（Ｍｏ）或
いはＭｏ合金のＴＺＭ（登録商標）が用いられる。この
ようなＭｏ合金やタンタル（Ｔａ）等の金属は真空中で
の蒸気圧が低いのみならず電子・イオン等によるスパッ
タリングも少ない。
属、例えばタンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チ
タン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）或いはこれらの合金
が用いられるが、好適例としてはモリブデン（Ｍｏ）或
いはＭｏ合金のＴＺＭ（登録商標）が用いられる。この
ようなＭｏ合金やタンタル（Ｔａ）等の金属は真空中で
の蒸気圧が低いのみならず電子・イオン等によるスパッ
タリングも少ない。
【００１０】前記フィラメント固定具４はニッケル（Ｎ
ｉ）またはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金
で製作される。前記フィラメント５とフィラメントアン
カ６との固定はカシメや鑞接等により接合固定し、フィ
ラメントアンカ６とインシュレ−タ７との固定はスポッ
ト溶接やプラズマ溶接等の方法により接合固定する。ま
た、インシュレ−タ７はフィラメント固定具４に対して
スポット溶接やプラズマ溶接或いはカシメ等の方法によ
り固定されるが、フィラメント固定具４はニッケル（Ｎ
ｉ）またはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金
であるため固定は容易である。
ｉ）またはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金
で製作される。前記フィラメント５とフィラメントアン
カ６との固定はカシメや鑞接等により接合固定し、フィ
ラメントアンカ６とインシュレ−タ７との固定はスポッ
ト溶接やプラズマ溶接等の方法により接合固定する。ま
た、インシュレ−タ７はフィラメント固定具４に対して
スポット溶接やプラズマ溶接或いはカシメ等の方法によ
り固定されるが、フィラメント固定具４はニッケル（Ｎ
ｉ）またはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金
であるため固定は容易である。
【００１１】前記電極本体１に形成した凹部１ａには、
フィラメント固定具４が配置されるが、該フィラメント
固定具４はねじ穴１ｆに螺合させたセットスクリュ３で
適度な深さで止めてから前記ねじ穴１ｅに螺合させたセ
ットスクリュ２で押さえ付けて固定する。即ち、フィラ
メント５の電極本体１表面からの深さ（Ｌ）は焦点の大
きさに密接に関係があり且つＸ線管の性能を大きく左右
するため精度が要求される。このため電極本体１に嵌め
入れた該フィラメント５を固定設置するフィラメント固
定具４をセットスクリュ２、３により微調整可能として
フィラメント深さ（Ｌ）を調整し、最適位置として固定
することができる。
フィラメント固定具４が配置されるが、該フィラメント
固定具４はねじ穴１ｆに螺合させたセットスクリュ３で
適度な深さで止めてから前記ねじ穴１ｅに螺合させたセ
ットスクリュ２で押さえ付けて固定する。即ち、フィラ
メント５の電極本体１表面からの深さ（Ｌ）は焦点の大
きさに密接に関係があり且つＸ線管の性能を大きく左右
するため精度が要求される。このため電極本体１に嵌め
入れた該フィラメント５を固定設置するフィラメント固
定具４をセットスクリュ２、３により微調整可能として
フィラメント深さ（Ｌ）を調整し、最適位置として固定
することができる。
【００１２】このＸ線管の構成は以上のようであるが、
次にその動作について説明する。前記フィラメント固定
具４は裏面中央部と側方のセットスクリュ３により微調
整可能として安定的に固定することができるためフィラ
メント５の深さも容易に微調整可能となり、焦点形成に
必要な精度を維持することができる。また、フィラメン
ト固定具４の各部の接合或いは固定も容易である。ま
た、前記電極本体１の陰極部周囲は、タンタル（Ｔ
ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングス
テン（Ｗ）或いはこれらの合金等の高融点金属が用いら
れているため電子・イオン等によるスパッタリングは生
じにくい。そして該電極本体１の陰極部の凹部１ａ内に
設置されるフィラメント固定具４はニッケル（Ｎｉ）ま
たはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金で製作
されるが、スパッタリングの生じにくい材料により製作
された該電極本体１により保護されることになる。
次にその動作について説明する。前記フィラメント固定
具４は裏面中央部と側方のセットスクリュ３により微調
整可能として安定的に固定することができるためフィラ
メント５の深さも容易に微調整可能となり、焦点形成に
必要な精度を維持することができる。また、フィラメン
ト固定具４の各部の接合或いは固定も容易である。ま
た、前記電極本体１の陰極部周囲は、タンタル（Ｔ
ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、チタン（Ｔｉ）、タングス
テン（Ｗ）或いはこれらの合金等の高融点金属が用いら
れているため電子・イオン等によるスパッタリングは生
じにくい。そして該電極本体１の陰極部の凹部１ａ内に
設置されるフィラメント固定具４はニッケル（Ｎｉ）ま
たはその合金若しくは鉄（Ｆｅ）またはその合金で製作
されるが、スパッタリングの生じにくい材料により製作
された該電極本体１により保護されることになる。
【００１３】
【発明の効果】以上詳述したような構成としたこの発明
のＸ線管によれば、動作中に陰極部を構成する各部材が
スパッタされることは殆どなくなり、高電圧や高温に対
しても安定性を確保することができる。また、フィラメ
ント深さの微調整が可能となるので高精度の焦点形成が
容易となり性能も大幅に向上させることができる。
のＸ線管によれば、動作中に陰極部を構成する各部材が
スパッタされることは殆どなくなり、高電圧や高温に対
しても安定性を確保することができる。また、フィラメ
ント深さの微調整が可能となるので高精度の焦点形成が
容易となり性能も大幅に向上させることができる。
【図１】この発明のＸ線管の陰極部分を示す一部断面図
であり、図２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図である。
であり、図２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図である。
【図２】図１のＱ矢視図である。
【図３】従来のＸ線管の電極部分を示す断面図である。
【図４】Ｘ線管で用いられるフィラメントとフィラメン
トアンカ部分の図である。
トアンカ部分の図である。
【図５】従来のＸ線管の電極部分を示す斜視図である。
１ 電極本体 １ａ 凹部 ２、３ セットスクリュ ４ フィラメント固定具 ５ フィラメント ６ フィラメントアンカ ７ インシュレ−タ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年７月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のＸ線管の陰極部分を示す一部断面図
であり、図２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図である。
であり、図２のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ矢視図である。
【図２】図１のＱ矢視図である。
【図３】従来のＸ線管の電極部分を示す断面図である。
【図４】Ｘ線管で用いられるフィラメントとフィラメン
トアンカ部分の図である。
トアンカ部分の図である。
【符号の説明】 １ 電極本体 １ａ 凹部 ２、３ セットスクリュ ４ フィラメント固定具 ５ フィラメント ６ フィラメントアンカ ７ インシュレ−タ
Claims (2)
- 【請求項１】 電極本体陰極側に形成した凹部に、フィ
ラメントを固定したフィラメントアンカをインシュレ−
タで保持させて固定したフィラメント固定具をスライド
可能に嵌め入れ、該電極本体に設けたセットスクリュに
より該フィラメント固定具を移動調整して固定するよう
にしてなるＸ線管。 - 【請求項２】 電極本体の陰極部周囲は高融点金属のタ
ンタル若しくはモリブデン若しくはチタン若しくはタン
グステン或いはこれらの合金を用いて製作すると共にフ
ィラメント固定具はニッケル若しくは鉄或いはこれらの
合金で製作したことを特徴とする請求項第１項記載のＸ
線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06706595A JP3629747B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06706595A JP3629747B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Ｘ線管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08236049A true JPH08236049A (ja) | 1996-09-13 |
| JP3629747B2 JP3629747B2 (ja) | 2005-03-16 |
Family
ID=13334080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06706595A Expired - Fee Related JP3629747B2 (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | Ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3629747B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017027832A (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線発生装置 |
| CN110676144A (zh) * | 2019-09-17 | 2020-01-10 | 中国科学院国家空间科学中心 | 一种x射线管阴极结构 |
-
1995
- 1995-02-28 JP JP06706595A patent/JP3629747B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017027832A (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線発生装置 |
| CN110676144A (zh) * | 2019-09-17 | 2020-01-10 | 中国科学院国家空间科学中心 | 一种x射线管阴极结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3629747B2 (ja) | 2005-03-16 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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