JPH08236598A - ピックアップ装置 - Google Patents
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- JPH08236598A JPH08236598A JP3541495A JP3541495A JPH08236598A JP H08236598 A JPH08236598 A JP H08236598A JP 3541495 A JP3541495 A JP 3541495A JP 3541495 A JP3541495 A JP 3541495A JP H08236598 A JPH08236598 A JP H08236598A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/74—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H10P72/7412—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H10P72/7414—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support the auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 突き上げ針６の不具合(摩耗、変形、折れ等)
による半導体ペレット１１の破損を防止する。 【構成】 粘着シート１１に貼り付けられた半導体ペレ
ット１０の貼付面に少なくとも２本の突き上げ針６の夫
々の先端を当接し、この２本の突き上げ針６の夫々で半
導体ペレット１１をその上方に突き上げるペレット突き
上げ機構２を備えたピックアップ装置において、２本の
突き上げ針６間に電圧を印加する電源部３と、２本の突
き上げ針６間に印加された電圧を測定する電圧測定器４
又は印加された電圧によって流れる電流を測定する電流
測定器９とを備える。
による半導体ペレット１１の破損を防止する。 【構成】 粘着シート１１に貼り付けられた半導体ペレ
ット１０の貼付面に少なくとも２本の突き上げ針６の夫
々の先端を当接し、この２本の突き上げ針６の夫々で半
導体ペレット１１をその上方に突き上げるペレット突き
上げ機構２を備えたピックアップ装置において、２本の
突き上げ針６間に電圧を印加する電源部３と、２本の突
き上げ針６間に印加された電圧を測定する電圧測定器４
又は印加された電圧によって流れる電流を測定する電流
測定器９とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ピックアップ装置に関
し、特に、粘着シートに貼り付けられた半導体ペレット
の貼付面に複数本の突き上げ針の夫々の先端を当接し、
この複数本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペレットを
その上方に突き上げるペレット突き上げ機構を備えたピ
ックアップ装置に適用して有効な技術に関するものであ
る。
し、特に、粘着シートに貼り付けられた半導体ペレット
の貼付面に複数本の突き上げ針の夫々の先端を当接し、
この複数本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペレットを
その上方に突き上げるペレット突き上げ機構を備えたピ
ックアップ装置に適用して有効な技術に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】実質的に同一の回路システムを塔載する
半導体ペレット形成領域が複数個行列状に形成された半
導体ウエーハは、粘着シート(ウエーハシート)に貼り付
けられ後、ダイシング工程において複数個の半導体ペレ
ットに分割される。複数個に分割された半導体ペレット
の夫々は、粘着シートに貼り付けられた状態でピックア
ップ装置に搬送される。ピックアップ装置は、粘着シー
トに貼り付けられた複数の半導体ペレットのうち、良品
の半導体ペレットを１個ずつコレットでピックアップ
し、半導体ペレットを収納トレイに再配列する。
半導体ペレット形成領域が複数個行列状に形成された半
導体ウエーハは、粘着シート(ウエーハシート)に貼り付
けられ後、ダイシング工程において複数個の半導体ペレ
ットに分割される。複数個に分割された半導体ペレット
の夫々は、粘着シートに貼り付けられた状態でピックア
ップ装置に搬送される。ピックアップ装置は、粘着シー
トに貼り付けられた複数の半導体ペレットのうち、良品
の半導体ペレットを１個ずつコレットでピックアップ
し、半導体ペレットを収納トレイに再配列する。
【０００３】前記ピックアップ装置はペレット突き上げ
機構を備えている。ペレット突き上げ機構は、粘着シー
トに貼り付けられた半導体ペレットの貼付面に突き上げ
針の先端を当接し、この突き上げ針で前記半導体ペレッ
トをその上方に突き上げる。つまり、ピックアップ装置
は、ペレット突き上げ機構で突き上げられた半導体ペレ
ットを１個ずつコレットでピックアップし、収納トレイ
に再配列する。
機構を備えている。ペレット突き上げ機構は、粘着シー
トに貼り付けられた半導体ペレットの貼付面に突き上げ
針の先端を当接し、この突き上げ針で前記半導体ペレッ
トをその上方に突き上げる。つまり、ピックアップ装置
は、ペレット突き上げ機構で突き上げられた半導体ペレ
ットを１個ずつコレットでピックアップし、収納トレイ
に再配列する。
【０００４】前記突き上げ針は、半導体ペレットの外形
サイズによって異なるが、突き上げ時の平行度を保つた
め、通常、３〜４本使用される。
サイズによって異なるが、突き上げ時の平行度を保つた
め、通常、３〜４本使用される。
【０００５】なお、ペレット突き上げ機構を備えたピッ
クアップ装置については、例えば株式会社工業調査会発
行の電子材料〔１９９０年、１０月号別冊（超ＬＳＩ製
造・試験装置ガイドブック）、９４頁乃至９８頁〕に記
載されている。
クアップ装置については、例えば株式会社工業調査会発
行の電子材料〔１９９０年、１０月号別冊（超ＬＳＩ製
造・試験装置ガイドブック）、９４頁乃至９８頁〕に記
載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記ピックアップ装置
のペレット突き上げ機構において、突き上げ針の先端は
粘着シートに貼り付けられた半導体ペレットの貼付面に
当接されるため、摩耗、変形、折れ等の不具合が発生す
る。この突き上げ針の不具合は突き上げる半導体ペレッ
トの平行度を低下させる。このため、突き上げる半導体
ペレットとそれに隣接する半導体ペレットとが接触し、
半導体ペレットに欠け、亀裂等の破損が生じる問題があ
った。
のペレット突き上げ機構において、突き上げ針の先端は
粘着シートに貼り付けられた半導体ペレットの貼付面に
当接されるため、摩耗、変形、折れ等の不具合が発生す
る。この突き上げ針の不具合は突き上げる半導体ペレッ
トの平行度を低下させる。このため、突き上げる半導体
ペレットとそれに隣接する半導体ペレットとが接触し、
半導体ペレットに欠け、亀裂等の破損が生じる問題があ
った。
【０００７】そこで、突き上げ針の不具合による半導体
ペレットの破損を防止するため、突き上げ針の交換を定
期的に行っている。しかしながら、突き上げ針の不具合
は突然発生するため、突き上げ針の定期的な交換だけで
は半導体ペレットの破損を防止することができない。
ペレットの破損を防止するため、突き上げ針の交換を定
期的に行っている。しかしながら、突き上げ針の不具合
は突然発生するため、突き上げ針の定期的な交換だけで
は半導体ペレットの破損を防止することができない。
【０００８】本発明の目的は、突き上げ針の不具合によ
る半導体ペレットの破損を防止することが可能な技術を
提供することにある。
る半導体ペレットの破損を防止することが可能な技術を
提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１１】粘着シートに貼り付けられた半導体ペレッ
トの貼付面に少なくとも２本の突き上げ針の夫々の先端
を当接し、この２本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペ
レットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構を
備えたピックアップ装置において、前記２本の突き上げ
針間に電圧を印加する電源部と、前記２本の突き上げ針
間に印加された電圧を測定する電圧測定器又は印加され
た電圧によって流れる電流を測定する電流測定器とを備
える。
トの貼付面に少なくとも２本の突き上げ針の夫々の先端
を当接し、この２本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペ
レットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構を
備えたピックアップ装置において、前記２本の突き上げ
針間に電圧を印加する電源部と、前記２本の突き上げ針
間に印加された電圧を測定する電圧測定器又は印加され
た電圧によって流れる電流を測定する電流測定器とを備
える。
【００１２】
【作用】上述した手段によれば、粘着シートに張り付け
られた半導体ペレットの貼付面(裏面)に２本の突き上げ
針の夫々の先端を当接する原点位置において、２本の突
き上げ針の一方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合
が生じ、２本の突き上げ針の一方又は両方の先端が半導
体ペレットの貼付面に当接しない場合、電圧測定器又は
電流測定器は動作しないので、半導体ペレットを突き上
げる前に２本の突き上げ針の不具合（摩耗、変形、折れ
等）を確認することができる。この結果、突き上げ針の
不具合による半導体ペレットの破損を防止できる。
られた半導体ペレットの貼付面(裏面)に２本の突き上げ
針の夫々の先端を当接する原点位置において、２本の突
き上げ針の一方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合
が生じ、２本の突き上げ針の一方又は両方の先端が半導
体ペレットの貼付面に当接しない場合、電圧測定器又は
電流測定器は動作しないので、半導体ペレットを突き上
げる前に２本の突き上げ針の不具合（摩耗、変形、折れ
等）を確認することができる。この結果、突き上げ針の
不具合による半導体ペレットの破損を防止できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の構成について、ピックアップ
装置に本発明を適用した、本発明の一実施例とともに説
明する。なお、実施例を説明するための全図において、
同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。
装置に本発明を適用した、本発明の一実施例とともに説
明する。なお、実施例を説明するための全図において、
同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。
【００１４】本発明の一実施例であるピックアップ装置
の概略構成を図１(要部ブロック図)に示す。
の概略構成を図１(要部ブロック図)に示す。
【００１５】図１に示すように、ピックアップ装置は、
コレット１、ペレット突き上げ機構２を備えている。こ
のピックアップ装置は、粘着シート(ウエーハシート)１
０に貼り付けられた複数の半導体ペレット１１のうち、
良品の半導体ペレット１１を１個ずつコレット１でピッ
クアップし、収納トレイに半導体ペレット１１を再配列
する。
コレット１、ペレット突き上げ機構２を備えている。こ
のピックアップ装置は、粘着シート(ウエーハシート)１
０に貼り付けられた複数の半導体ペレット１１のうち、
良品の半導体ペレット１１を１個ずつコレット１でピッ
クアップし、収納トレイに半導体ペレット１１を再配列
する。
【００１６】前記ペレット突き上げ機構２は、粘着シー
ト１０に貼り付けられた半導体ペレット１１の貼付面に
先端が当接される突き上げ針６、突き上げ針６を保持す
るホルダ７、粘着シート１０に貼り付けられた半導体ペ
レット１１の貼付面に対して垂直方向にホルダ７を上下
移動させる移動部材８等で構成される。このペレット突
き上げ機構２は、粘着シート１０に貼り付けられた半導
体ペレット１１の貼付面に突き上げ針６の先端を当接
し、この突き上げ針６で半導体ペレット１１をその上方
に突き上げる。つまり、ピックアップ装置は、ペレット
突き上げ機構２で突き上げられた半導体ペレット１１を
１個ずつコレット１でピックアップし、収納トレイに半
導体ペレット１１を再配列する。
ト１０に貼り付けられた半導体ペレット１１の貼付面に
先端が当接される突き上げ針６、突き上げ針６を保持す
るホルダ７、粘着シート１０に貼り付けられた半導体ペ
レット１１の貼付面に対して垂直方向にホルダ７を上下
移動させる移動部材８等で構成される。このペレット突
き上げ機構２は、粘着シート１０に貼り付けられた半導
体ペレット１１の貼付面に突き上げ針６の先端を当接
し、この突き上げ針６で半導体ペレット１１をその上方
に突き上げる。つまり、ピックアップ装置は、ペレット
突き上げ機構２で突き上げられた半導体ペレット１１を
１個ずつコレット１でピックアップし、収納トレイに半
導体ペレット１１を再配列する。
【００１７】前記ペレット突き上げ機構２に使用される
突き上げ針６の本数は半導体ペレット１１の外形サイズ
によって異なるが、図２(要部ブロック図)に示すよう
に、本実施例においては４本の突き上げ針６を使用す
る。
突き上げ針６の本数は半導体ペレット１１の外形サイズ
によって異なるが、図２(要部ブロック図)に示すよう
に、本実施例においては４本の突き上げ針６を使用す
る。
【００１８】前記ピックアップ装置は２つの電源部３を
備えている。２つの電源部３のうち、一方の電源部３Ａ
は、４本の突き上げ針６のうち、２本の突き上げ針６Ａ
間に電圧を印加する。また、２つの電源部３のうち、他
方の電源部３Ｂは、４本の突き上げ針６のうち、２本の
突き上げ針６Ｂ間に電圧を印加する。
備えている。２つの電源部３のうち、一方の電源部３Ａ
は、４本の突き上げ針６のうち、２本の突き上げ針６Ａ
間に電圧を印加する。また、２つの電源部３のうち、他
方の電源部３Ｂは、４本の突き上げ針６のうち、２本の
突き上げ針６Ｂ間に電圧を印加する。
【００１９】前記ピックアップ装置は２つの電圧測定器
４を備えている。２つの電圧測定器４のうち、一方の電
圧測定器４Ａは、２本の突き上げ針６Ａ間に印加された
電圧を測定する。また、２つの電圧測定器４のうち、他
方の電圧測定器４Ｂは、２本の突き上げ針６Ｂ間に印加
された電圧を測定する。
４を備えている。２つの電圧測定器４のうち、一方の電
圧測定器４Ａは、２本の突き上げ針６Ａ間に印加された
電圧を測定する。また、２つの電圧測定器４のうち、他
方の電圧測定器４Ｂは、２本の突き上げ針６Ｂ間に印加
された電圧を測定する。
【００２０】前記ピックアップ装置は制御回路部５を備
えている。この制御回路部５は、２つの電圧測定器４の
夫々の測定信号に基づいて移動部材８の動作を制御す
る。
えている。この制御回路部５は、２つの電圧測定器４の
夫々の測定信号に基づいて移動部材８の動作を制御す
る。
【００２１】次に、前記ピックアップ装置の動作につい
て説明する。
て説明する。
【００２２】まず、図１に示すように、粘着シート１０
に貼り付けられた半導体ペレット１１のうち、所定の半
導体ペレット１１下に移動部材１２を移動機構(図示せ
ず)で移動させる。
に貼り付けられた半導体ペレット１１のうち、所定の半
導体ペレット１１下に移動部材１２を移動機構(図示せ
ず)で移動させる。
【００２３】次に、図３(要部ブロック図)に示すよう
に、所定の半導体ペレット１１の貼付面に４本の突き上
げ針６の夫々の先端が当接する原点位置までホルダ７を
移動部材８で上昇させ、所定の半導体ペレット１１の貼
付面に４本の突き上げ針６の夫々の先端を当接する。こ
の原点位置において、２本の突き上げ針６Ａの一方又は
両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生じ、２本の突き
上げ針６Ａの一方又は両方の先端が半導体ペレット１１
の貼付面に当接していない場合、電圧測定器４Ａは動作
(電圧を測定)しない。また、２本の突き上げ針６Ｂの一
方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生じ、２本
の突き上げ針６Ｂの一方又は両方の先端が半導体ペレッ
ト１１の貼付面に当接していない場合、電圧測定器４Ｂ
は動作（電圧を測定）しない。つまり、２本の突き上げ
針６Ａの不具合を電圧測定器４Ａで確認することができ
ると共に、２本の突き上げ針６Ｂの不具合を電圧測定器
４Ｂで確認することができる。
に、所定の半導体ペレット１１の貼付面に４本の突き上
げ針６の夫々の先端が当接する原点位置までホルダ７を
移動部材８で上昇させ、所定の半導体ペレット１１の貼
付面に４本の突き上げ針６の夫々の先端を当接する。こ
の原点位置において、２本の突き上げ針６Ａの一方又は
両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生じ、２本の突き
上げ針６Ａの一方又は両方の先端が半導体ペレット１１
の貼付面に当接していない場合、電圧測定器４Ａは動作
(電圧を測定)しない。また、２本の突き上げ針６Ｂの一
方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生じ、２本
の突き上げ針６Ｂの一方又は両方の先端が半導体ペレッ
ト１１の貼付面に当接していない場合、電圧測定器４Ｂ
は動作（電圧を測定）しない。つまり、２本の突き上げ
針６Ａの不具合を電圧測定器４Ａで確認することができ
ると共に、２本の突き上げ針６Ｂの不具合を電圧測定器
４Ｂで確認することができる。
【００２４】次に、ホルダ７を移動部材８で上昇させ、
４本の突き上げ針６の夫々で半導体ペレット１１をその
上方に突き上げる。この突き上げ時のホルダ７の上昇
は、電圧測定器４Ａ、電圧測定器４Ｂの夫々の測定信号
に基づく制御回路部５によって制御される。
４本の突き上げ針６の夫々で半導体ペレット１１をその
上方に突き上げる。この突き上げ時のホルダ７の上昇
は、電圧測定器４Ａ、電圧測定器４Ｂの夫々の測定信号
に基づく制御回路部５によって制御される。
【００２５】次に、図４(要部ブロック図)に示すよう
に、４本の突き上げ針６の夫々で突き上げられた半導体
ペレット１１をコレット１でピックアップし、収納トレ
イに搬送する。
に、４本の突き上げ針６の夫々で突き上げられた半導体
ペレット１１をコレット１でピックアップし、収納トレ
イに搬送する。
【００２６】次に、ホルダ７を降下させ、他の半導体ペ
レット１１の下にホルダ７を移動させる。
レット１１の下にホルダ７を移動させる。
【００２７】以上の動作を繰り返すことにより、粘着シ
ート１０に貼付られた複数の半導体ペレット１１の夫々
は、収納トレイに搬送され、再配列される。
ート１０に貼付られた複数の半導体ペレット１１の夫々
は、収納トレイに搬送され、再配列される。
【００２８】なお、突き上げ針６の本数は半導体ペレッ
ト１１の外形サイズによって異なるので、電源部３、電
圧測定器４の夫々の個数は突き上げ針６の本数に応じて
設定する。
ト１１の外形サイズによって異なるので、電源部３、電
圧測定器４の夫々の個数は突き上げ針６の本数に応じて
設定する。
【００２９】また、突き上げ針６の不具合は、印加され
た電圧によって流れる電流を測定することによって確認
することができるので、図５(ブロック図)に示すよう
に、電圧測定器４に変えて電流測定器９を使用してもよ
い。
た電圧によって流れる電流を測定することによって確認
することができるので、図５(ブロック図)に示すよう
に、電圧測定器４に変えて電流測定器９を使用してもよ
い。
【００３０】このように、粘着シート１０に貼り付けら
れた半導体ペレット１１の貼付面に少なくとも２本の突
き上げ針６の夫々の先端を当接し、この２本の突き上げ
針６の夫々で前記半導体ペレット１１をその上方に突き
上げるペレット突き上げ機構２を備えたピックアップ装
置において、前記２本の突き上げ針６間に電圧を印加す
る電源部３と、前記２本の突き上げ針６間に印加された
電圧を測定する電圧測定器４又は印加された電圧によっ
て流れる電流を測定する電流測定器９とを備える。この
構成により、粘着シート１０に張り付けられた半導体ペ
レット１１の貼付面(裏面)に２本の突き上げ針６の夫々
の先端を当接する原点位置において、２本の突き上げ針
６の一方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生
じ、２本の突き上げ針６の一方又は両方の先端が半導体
ペレット１１の貼付面に当接しない場合、電圧測定器４
又は電流測定器９は動作しないので、半導体ペレット１
１を突き上げる前に２本の突き上げ針６の不具合(摩
耗、変形、折れ等)を確認することができる。この結
果、突き上げ針６の不具合による半導体ペレット１１の
破損を防止できる。
れた半導体ペレット１１の貼付面に少なくとも２本の突
き上げ針６の夫々の先端を当接し、この２本の突き上げ
針６の夫々で前記半導体ペレット１１をその上方に突き
上げるペレット突き上げ機構２を備えたピックアップ装
置において、前記２本の突き上げ針６間に電圧を印加す
る電源部３と、前記２本の突き上げ針６間に印加された
電圧を測定する電圧測定器４又は印加された電圧によっ
て流れる電流を測定する電流測定器９とを備える。この
構成により、粘着シート１０に張り付けられた半導体ペ
レット１１の貼付面(裏面)に２本の突き上げ針６の夫々
の先端を当接する原点位置において、２本の突き上げ針
６の一方又は両方に摩耗、変形、折れ等の不具合が生
じ、２本の突き上げ針６の一方又は両方の先端が半導体
ペレット１１の貼付面に当接しない場合、電圧測定器４
又は電流測定器９は動作しないので、半導体ペレット１
１を突き上げる前に２本の突き上げ針６の不具合(摩
耗、変形、折れ等)を確認することができる。この結
果、突き上げ針６の不具合による半導体ペレット１１の
破損を防止できる。
【００３１】また、電圧測定器４又は電流測定器９の測
定信号に基づいてペレット突き上げ機構２の動作を制御
する制御回路部５を備えることにより、電圧測定器４又
は電流測定器９の測定信号に基づいてペレット突き上げ
機構２を制御することができるので、突き上げ針６に不
具合が発生した時、自動的に装置を停止することができ
る。
定信号に基づいてペレット突き上げ機構２の動作を制御
する制御回路部５を備えることにより、電圧測定器４又
は電流測定器９の測定信号に基づいてペレット突き上げ
機構２を制御することができるので、突き上げ針６に不
具合が発生した時、自動的に装置を停止することができ
る。
【００３２】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
【００３３】例えば、本発明は、ペレット突き上げ機構
で突き上げられた半導体ペレットをコレットによってリ
ートフレーム又は配線基板に直接搬送するダイレクトピ
ックアップ装置に適用できる。
で突き上げられた半導体ペレットをコレットによってリ
ートフレーム又は配線基板に直接搬送するダイレクトピ
ックアップ装置に適用できる。
【００３４】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００３５】粘着シートに貼り付けられた半導体ペレッ
トの貼付面に少なくとも２本の突き上げ針の夫々の先端
を当接し、この２本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペ
レットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構を
備えたピックアップ装置において、突き上げ針の不具合
(摩耗、変形、折れ等)による半導体ペレットの破損を防
止することができる。
トの貼付面に少なくとも２本の突き上げ針の夫々の先端
を当接し、この２本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペ
レットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構を
備えたピックアップ装置において、突き上げ針の不具合
(摩耗、変形、折れ等)による半導体ペレットの破損を防
止することができる。
【図１】本発明の一実施例であるピックアップ装置の要
部ブロック図。
部ブロック図。
【図２】前記ピックアップ装置の要部ブロック図。
【図３】前記ピックアップ装置の動作を説明するための
要部ブロック図。
要部ブロック図。
【図４】前記ピックアップ装置の動作を説明するための
要部ブロック図。
要部ブロック図。
【図５】本発明の他の実施例であるピックアップ装置の
要部ブロック図。
要部ブロック図。
１…コレット、２…ペレット突き上げ機構、３…電源
部、４…電圧測定器、５…制御回路部、６…突き上げ
針、７…ホルダ、８…移動部材、９…電流測定器、１０
…粘着シート(ウエーハシート)、１１…半導体ペレッ
ト。
部、４…電圧測定器、５…制御回路部、６…突き上げ
針、７…ホルダ、８…移動部材、９…電流測定器、１０
…粘着シート(ウエーハシート)、１１…半導体ペレッ
ト。
Claims (3)
- 【請求項１】 粘着シートに貼り付けられた半導体ペレ
ットの貼付面に少なくとも２本の突き上げ針の夫々の先
端を当接し、この２本の突き上げ針の夫々で前記半導体
ペレットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構
を備えたピックアップ装置において、前記２本の突き上
げ針間に電圧を印加する電源部と、前記２本の突き上げ
針間に印加された電圧を測定する電圧測定器又は印加さ
れた電圧によって流れる電流を測定する電流測定器とを
備えたことを特徴とするピックアップ装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のピックアップ装置にお
いて、前記電圧測定器又は電流測定器の測定信号に基づ
いて前記ペレット突き上げ機構の動作を制御する制御回
路部を備えたことを特徴とするピックアップ装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のピックア
ップ装置において、前記ペレット突き上げ機構で突き上
げられた半導体ペレットをピックアップするするコレッ
トを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3541495A JPH08236598A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3541495A JPH08236598A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08236598A true JPH08236598A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12441225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3541495A Pending JPH08236598A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08236598A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6555418B2 (en) * | 1995-12-05 | 2003-04-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for separating a semiconductor element in a semiconductor element pushing-up device |
| WO2005093790A3 (en) * | 2004-03-24 | 2006-04-13 | E2V Tech Uk Ltd | Method of, and apparatus for manufacturing semiconductor elements |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP3541495A patent/JPH08236598A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6555418B2 (en) * | 1995-12-05 | 2003-04-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for separating a semiconductor element in a semiconductor element pushing-up device |
| WO2005093790A3 (en) * | 2004-03-24 | 2006-04-13 | E2V Tech Uk Ltd | Method of, and apparatus for manufacturing semiconductor elements |
| GB2427757A (en) * | 2004-03-24 | 2007-01-03 | E2V Tech | Method of, and apparatus for manufacturing elements |
| JP2007531990A (ja) * | 2004-03-24 | 2007-11-08 | イー２ヴイ テクノロジーズ （ユーケイ） リミテッド | 素子を製造する方法及びそのための装置 |
| GB2427757B (en) * | 2004-03-24 | 2009-06-24 | E2V Tech | Method of, and apparatus for manufacturing elements |
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