JPH082384Y2 - シリンダーボックスの開閉扉 - Google Patents
シリンダーボックスの開閉扉Info
- Publication number
- JPH082384Y2 JPH082384Y2 JP10334889U JP10334889U JPH082384Y2 JP H082384 Y2 JPH082384 Y2 JP H082384Y2 JP 10334889 U JP10334889 U JP 10334889U JP 10334889 U JP10334889 U JP 10334889U JP H082384 Y2 JPH082384 Y2 JP H082384Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- opening
- doors
- cylinder box
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 244000144985 peep Species 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)
- Securing Of Glass Panes Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、シリンダーボツクスの開閉扉に関するも
のである。
のである。
〔従来の技術〕 シリンダーボツクスは、半導体の製造ライン等に材料
ガスを供給するために用いられるもので、一般に、材料
ガスを充填したボンベを格納する格納空間と、上記ボン
ベからボツクス外に延びて半導体の製造ライン等に材料
ガスを供給するガス供給配管と、ボンベ変換時に配管内
に残留する材料ガスをパージするパージ配管と、上記配
管内のパージガスを真空吸引して排気する真空排気配管
とを備えている。そして、ボツクス内に設けられた複数
の弁等を開閉することにより、所定の材料ガスを目的と
する製造ラインに所定量だけ供給することができるよう
になつている。
ガスを供給するために用いられるもので、一般に、材料
ガスを充填したボンベを格納する格納空間と、上記ボン
ベからボツクス外に延びて半導体の製造ライン等に材料
ガスを供給するガス供給配管と、ボンベ変換時に配管内
に残留する材料ガスをパージするパージ配管と、上記配
管内のパージガスを真空吸引して排気する真空排気配管
とを備えている。そして、ボツクス内に設けられた複数
の弁等を開閉することにより、所定の材料ガスを目的と
する製造ラインに所定量だけ供給することができるよう
になつている。
このようなシリンダーボツクスは、通常、第4図に示
すように、正面に、観音開きする左右一対の扉1,2を有
しており、この扉1,2の中央に取り付けられた把手3
を、鎖線で示すように左右に回動することにより扉1,2
を開けて、中のボンベ交換を行つたり、弁の開閉作業を
行うようになつている。なお、4は、ボツクス内の換気
を行うための吸気口、5はボツクス内の計器等を覗くこ
とのできる覗き窓である。
すように、正面に、観音開きする左右一対の扉1,2を有
しており、この扉1,2の中央に取り付けられた把手3
を、鎖線で示すように左右に回動することにより扉1,2
を開けて、中のボンベ交換を行つたり、弁の開閉作業を
行うようになつている。なお、4は、ボツクス内の換気
を行うための吸気口、5はボツクス内の計器等を覗くこ
とのできる覗き窓である。
しかしながら、このようなシリンダーボツクスでは、
扉1,2の前面に、把手3が突出しているため、作業者が
シリンダーボツクスの前を通過する場合や、シリンダー
ボツクス周辺で作業を行う場合等に、作業者の衣類や運
搬品等がこの把手3に引つ掛かりやすい。また、扉1,2
の把手3に無理な力が加わるため、把手3自体が歪んで
正しい開閉動作を行うことができなくなる場合もある。
さらに、扉1,2の下部に吸気口4が設けられているもの
の、ボツクスの最下端部まで開口が設けられていないた
め、第4図において斜線で示すボツクス内の底部に、重
いガスが常時溜まつた状態となり、危険な場合がある。
扉1,2の前面に、把手3が突出しているため、作業者が
シリンダーボツクスの前を通過する場合や、シリンダー
ボツクス周辺で作業を行う場合等に、作業者の衣類や運
搬品等がこの把手3に引つ掛かりやすい。また、扉1,2
の把手3に無理な力が加わるため、把手3自体が歪んで
正しい開閉動作を行うことができなくなる場合もある。
さらに、扉1,2の下部に吸気口4が設けられているもの
の、ボツクスの最下端部まで開口が設けられていないた
め、第4図において斜線で示すボツクス内の底部に、重
いガスが常時溜まつた状態となり、危険な場合がある。
この考案は、このような事情に鑑みなされたもので、
作業性,耐久性および安全性を兼ね備えたシリンダーボ
ツクスの開閉扉の提供をその目的とする。
作業性,耐久性および安全性を兼ね備えたシリンダーボ
ツクスの開閉扉の提供をその目的とする。
上記の目的を達成するため、この考案のシリンダーボ
ツクスの開閉扉は、シリンダーボツクスの正面に、観音
開きするように取り付けられた左右一対の開閉扉であつ
て、上記左右の扉の閉じ合わせる側の縁部に、上下方向
に延びる陥没溝に折り曲げ形成され、上記陥没溝の中心
側端縁が、扉面と同一平面となるよう、さらに溝側に折
り返されているとともに、上記左右の扉の下端縁がそれ
ぞれ直角に内側に折り返され、この折り返し部分に吸気
口となる切欠き開口が形成されているという構成をと
る。
ツクスの開閉扉は、シリンダーボツクスの正面に、観音
開きするように取り付けられた左右一対の開閉扉であつ
て、上記左右の扉の閉じ合わせる側の縁部に、上下方向
に延びる陥没溝に折り曲げ形成され、上記陥没溝の中心
側端縁が、扉面と同一平面となるよう、さらに溝側に折
り返されているとともに、上記左右の扉の下端縁がそれ
ぞれ直角に内側に折り返され、この折り返し部分に吸気
口となる切欠き開口が形成されているという構成をと
る。
すなわち、この考案のシリンダーボツクスの開閉扉
は、従来のように開閉用の把手を前面に突出させて取り
付けるのではなく、扉の閉じ合わせ側の縁部に、上下方
向に延びる陥没溝を折り曲げ形成し、さらにその陥没溝
の中心側端縁を、扉面と同一平面となるよう折り返した
ものである。したがつて、上記陥没溝に手を入れ、折り
返し部に手を掛ければ扉を開くことができ、突出した把
手を設ける必要がない。このため、この開閉扉は、突出
部分ががなく、作業者や運搬品等が引つ掛かる等のトラ
ブルが生じない。しかも、扉の閉じ合わせ側の縁部を何
回も折り曲げ形成しているため、この折り曲げ部分が扉
を上下方向に補強していることになり、衝撃を受けても
扉が変形せず、耐久性に優れている。さらに、この考案
の開閉扉は、扉の正面ではなく、下端縁の折り返し部分
に吸気口となる切欠き開口を形成しているため、この開
閉口から吸気を行うと、シリンダーボツクス内の底部に
空気が流入してゆきわたる。したがつて、ボツクス内の
底部に溜まるガスを一掃することができ、安全が確保さ
れるという利点を有する。
は、従来のように開閉用の把手を前面に突出させて取り
付けるのではなく、扉の閉じ合わせ側の縁部に、上下方
向に延びる陥没溝を折り曲げ形成し、さらにその陥没溝
の中心側端縁を、扉面と同一平面となるよう折り返した
ものである。したがつて、上記陥没溝に手を入れ、折り
返し部に手を掛ければ扉を開くことができ、突出した把
手を設ける必要がない。このため、この開閉扉は、突出
部分ががなく、作業者や運搬品等が引つ掛かる等のトラ
ブルが生じない。しかも、扉の閉じ合わせ側の縁部を何
回も折り曲げ形成しているため、この折り曲げ部分が扉
を上下方向に補強していることになり、衝撃を受けても
扉が変形せず、耐久性に優れている。さらに、この考案
の開閉扉は、扉の正面ではなく、下端縁の折り返し部分
に吸気口となる切欠き開口を形成しているため、この開
閉口から吸気を行うと、シリンダーボツクス内の底部に
空気が流入してゆきわたる。したがつて、ボツクス内の
底部に溜まるガスを一掃することができ、安全が確保さ
れるという利点を有する。
つぎに、この考案を実施例にもとづいて詳細に説明す
る。
る。
第1図は、この考案の一実施例を示している。このシ
リンダーボツクスは、従来のボンベ格納部10の右側に、
操作手順を視覚的に表示するCRT(モニタテレビ)11
と、このCRT11の画面に対する作業者の応答(タツチキ
ーによる入力)にしたがつてシリンダーボツクス内のガ
ス供給を適正に制御する制御装置12とを、縦1列に配置
させたものである。
リンダーボツクスは、従来のボンベ格納部10の右側に、
操作手順を視覚的に表示するCRT(モニタテレビ)11
と、このCRT11の画面に対する作業者の応答(タツチキ
ーによる入力)にしたがつてシリンダーボツクス内のガ
ス供給を適正に制御する制御装置12とを、縦1列に配置
させたものである。
上記ボンベ格納部10の正面には、観音開きする左右一
対の開閉扉14,15が取り付けられており、上記CRT11およ
び制御装置12の配置部には、それぞれ右に開く片開き扉
16,17が取り付けられている。
対の開閉扉14,15が取り付けられており、上記CRT11およ
び制御装置12の配置部には、それぞれ右に開く片開き扉
16,17が取り付けられている。
上記開閉扉14,15の正面のやや上部には、ボツクス内
の計器等を覗くことのできる覗き窓18がそれぞれ取り付
けられている。また、開閉扉14,15の下縁部は、第1図
の部分的な底面図である第2図に示すように、内側に直
角に折り返されており、この折り返し部分に、細長い長
方形の切欠き開口19がそれぞれ形成されている。この切
欠き開口19が吸気口の役割を果たすようになつている。
さらに、開閉扉14,15の閉じ合わせ縁部は、第1図のA
−A′断面図である第3図に示すように、断面略コ字状
に折り曲げ形成されて一旦陥没し、その折り曲げ端縁14
a,15aがさらに折り返されて扉面と同一平面を形成する
ようになつている。したがつて、上記陥没部14b,15bに
手を入れ、折り曲げ端縁14a,15aに手を掛けて左右に開
くことにより、開閉扉14,15を開くことができるように
なつている。なお、20は、扉14に溶接で一体的に取り付
けられる延長板で、先端部にゴム製パツキン21が取り付
けられており、扉14,15の閉じ合わせ部の気密性を高め
る働きをする。22は、扉14,15の内側の、閉じ合わせ縁
部以外の縁部に沿つて取り付けられるパツキンで、同じ
く扉14,15を閉じた場合の気密性を高める働きをする。2
3はボツクスの底板である。
の計器等を覗くことのできる覗き窓18がそれぞれ取り付
けられている。また、開閉扉14,15の下縁部は、第1図
の部分的な底面図である第2図に示すように、内側に直
角に折り返されており、この折り返し部分に、細長い長
方形の切欠き開口19がそれぞれ形成されている。この切
欠き開口19が吸気口の役割を果たすようになつている。
さらに、開閉扉14,15の閉じ合わせ縁部は、第1図のA
−A′断面図である第3図に示すように、断面略コ字状
に折り曲げ形成されて一旦陥没し、その折り曲げ端縁14
a,15aがさらに折り返されて扉面と同一平面を形成する
ようになつている。したがつて、上記陥没部14b,15bに
手を入れ、折り曲げ端縁14a,15aに手を掛けて左右に開
くことにより、開閉扉14,15を開くことができるように
なつている。なお、20は、扉14に溶接で一体的に取り付
けられる延長板で、先端部にゴム製パツキン21が取り付
けられており、扉14,15の閉じ合わせ部の気密性を高め
る働きをする。22は、扉14,15の内側の、閉じ合わせ縁
部以外の縁部に沿つて取り付けられるパツキンで、同じ
く扉14,15を閉じた場合の気密性を高める働きをする。2
3はボツクスの底板である。
なお、上記扉14,15は、閉じ合わせ側の上下内側に取
り付けられた市販品のローラキヤツチもしくはマグネツ
トキヤツチ等(図示せず)によつて、閉じ合わせが保持
されるようになつている。
り付けられた市販品のローラキヤツチもしくはマグネツ
トキヤツチ等(図示せず)によつて、閉じ合わせが保持
されるようになつている。
したがつて、このシリンダーボツクスは、正面の開閉
扉14,15に、前面に突出する把手がついていないため、
この周辺を通る作業者や運搬品が扉の把手に引つ掛かる
ようなことがない。また、上下方向に延びる陥没部14b,
15bおよび折り返された折り曲げ端縁14a,15aが、扉面を
補強する作用を果たすため、扉面が長期に使用によつて
反つたり歪んだりすることがなく、耐久性に優れてい
る。しかも、扉正面がすつきりして美観もよい。さら
に、吸気用の開口が、扉14,15の正面ではなく、下縁部
の折り返し部に形成されているため、ボツクス内の最下
部から空気が吸入されることとなり、ボツクス底部に危
険なガスが溜まるようなこともない。このため、シリン
ダーボツクス内の安全性が高い。
扉14,15に、前面に突出する把手がついていないため、
この周辺を通る作業者や運搬品が扉の把手に引つ掛かる
ようなことがない。また、上下方向に延びる陥没部14b,
15bおよび折り返された折り曲げ端縁14a,15aが、扉面を
補強する作用を果たすため、扉面が長期に使用によつて
反つたり歪んだりすることがなく、耐久性に優れてい
る。しかも、扉正面がすつきりして美観もよい。さら
に、吸気用の開口が、扉14,15の正面ではなく、下縁部
の折り返し部に形成されているため、ボツクス内の最下
部から空気が吸入されることとなり、ボツクス底部に危
険なガスが溜まるようなこともない。このため、シリン
ダーボツクス内の安全性が高い。
なお、上記実施例では、この考案の開閉扉を、CRTを
備えた特殊なシリンダーボツクスに適用しているが、も
ちろん、CRTを備えないタイプのシリンダーボツクスに
適用しても差し支えない。
備えた特殊なシリンダーボツクスに適用しているが、も
ちろん、CRTを備えないタイプのシリンダーボツクスに
適用しても差し支えない。
以上のように、この考案のシリンダーボツクスの開閉
扉によれば、扉の閉じ合わせ側の縁部を、陥没溝に折り
曲げ形成し、さらにその折り曲げ縁部を扉面と同一平面
に折り返しているため、この部分自体が把手となる。し
たがつて、把手部分が前面に突出していず、把手に引つ
掛かる等のトラブルが生じない。しかも、扉の閉じ合わ
せ側の縁部を、何度も折り曲げているため、扉が上下方
向に補強されていることになり、衝撃を受けても扉が変
形せず、耐久性に優れている。さらに、この考案の開閉
扉は、扉の正面ではなく、下縁部の折り返し部分に吸気
口となる切欠き開口を形成しているため、この開口から
吸気を行うと、シリンダーボツクス内の底部に空気が流
入してゆきわたり、ボツクス内の底部に溜まるガスを一
掃することができる。したがつて、安全が確保されると
いう利点を有する。
扉によれば、扉の閉じ合わせ側の縁部を、陥没溝に折り
曲げ形成し、さらにその折り曲げ縁部を扉面と同一平面
に折り返しているため、この部分自体が把手となる。し
たがつて、把手部分が前面に突出していず、把手に引つ
掛かる等のトラブルが生じない。しかも、扉の閉じ合わ
せ側の縁部を、何度も折り曲げているため、扉が上下方
向に補強されていることになり、衝撃を受けても扉が変
形せず、耐久性に優れている。さらに、この考案の開閉
扉は、扉の正面ではなく、下縁部の折り返し部分に吸気
口となる切欠き開口を形成しているため、この開口から
吸気を行うと、シリンダーボツクス内の底部に空気が流
入してゆきわたり、ボツクス内の底部に溜まるガスを一
掃することができる。したがつて、安全が確保されると
いう利点を有する。
第1図はこの考案の一実施例を示す正面図、第2図はそ
の部分的な底面図、第3図は第1図のA−A′断面図、
第4図は従来のシリンダーボツクスの開閉扉を示す正面
図である。 14,15……扉、14a,15a……折り曲げ端縁、14b,15b……
陥没部、19……切欠き開口
の部分的な底面図、第3図は第1図のA−A′断面図、
第4図は従来のシリンダーボツクスの開閉扉を示す正面
図である。 14,15……扉、14a,15a……折り曲げ端縁、14b,15b……
陥没部、19……切欠き開口
Claims (1)
- 【請求項1】シリンダーボツクスの正面に、観音開きす
るよう取り付けられた左右一対の開閉扉であつて、上記
左右の扉の閉じ合わせる側の縁部に、上下方向に延びる
陥没溝に折り曲げ形成され、上記陥没溝の中心側端縁
が、扉面と同一平面となるよう、さらに溝側に折り返さ
れているとともに、上記左右の扉の下端縁がそれぞれ直
角に内側に折り返され、この折り返し部分に吸気口とな
る切欠き開口が形成されていることを特徴とするシリン
ダーボツクスの開閉扉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334889U JPH082384Y2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | シリンダーボックスの開閉扉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334889U JPH082384Y2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | シリンダーボックスの開閉扉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0346686U JPH0346686U (ja) | 1991-04-30 |
| JPH082384Y2 true JPH082384Y2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=31652190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10334889U Expired - Lifetime JPH082384Y2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | シリンダーボックスの開閉扉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH082384Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10334889U patent/JPH082384Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0346686U (ja) | 1991-04-30 |
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