JPH08239227A - ガラス光学素子プレス成形用型及びそれを用いたプレス成形方法 - Google Patents

ガラス光学素子プレス成形用型及びそれを用いたプレス成形方法

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JPH08239227A
JPH08239227A JP4544295A JP4544295A JPH08239227A JP H08239227 A JPH08239227 A JP H08239227A JP 4544295 A JP4544295 A JP 4544295A JP 4544295 A JP4544295 A JP 4544295A JP H08239227 A JPH08239227 A JP H08239227A
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glass
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graphite
press molding
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JP4544295A
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Masaki Omori
正樹 大森
Tetsuo Kuwabara
鉄夫 桑原
Sunao Miyazaki
直 宮崎
Yasuyuki Nakai
靖行 中居
Seiichi Aragaki
誠一 新垣
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Canon Inc
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    • C03B11/08Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス成形素材の種類によらず、離型性及び
曇耐久性に優れたガラス光学素子プレス成形用型、及び
この型を用いたプレス成形方法を提供する。 【構成】 軟化状態にあるガラス素材を成形用型を用い
てプレスすることにより、該型のガラス接触部となる型
機能面に対応して、該ガラス素材に光学機能面を形成す
るようにした光学素子のプレス成形方法に用いる成形用
型において、該型の少なくとも型機能面が、結晶方位の
揃ったグラファイトからなるガラス光学素子プレス成形
用型、及びこの型を用いたプレス成形方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プレス成形用型及びプ
レス成形方法に関し、特に非球面レンズなどの高精度な
ガラス光学素子を、プレス成形することができるプレス
成形用型及びプレス成形方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、研磨工程を経ずに所定の表面精度
を有する成形用型内に光学素子材料を収容してプレス成
形することにより、光学機器などに使用されるガラスレ
ンズを製造する方法が提唱された。この方法は、例えば
特公昭61−32263号公報に記載されているよう
に、ガラス素材と成形用型をガラスの粘度で108 〜1
12dPa・sに相当する温度においてプレス成形する
ものである。
【0003】このようなガラス光学素子のプレス成形に
使用される型材には硬度、強度、耐熱性、離型性、鏡面
性などに優れていることが要求される。これらの条件を
満たす型材が多数提案されているが、その中で離型性に
優れていると考えられている炭素系型材としては、以下
のようなものが挙げられる。 1.特開昭49−081419号公報:ガラス状炭素型 2.特公平02−047411号公報:ダイヤモンド、
ダイヤモンド状炭素薄膜 3.特開昭64−083529号公報:硬質炭素膜ある
いはi−C膜 4.特開平02−080330号公報:水素化アモルフ
ァス炭素膜 5.特開平04−037615号公報:グラファイト結
晶とアモルファス炭素の炭素分子膜
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】しかし、上記従来
技術には以下の問題点がある。
【0005】炭素系材料の中でも安定性に優れガラスと
の反応性が小さく、炭素間の結合力の強い材料は離型性
が良くない。これは、離型が図5に示すようにガラスと
型の界面で起きるため、サブミクロンオーダーの転写条
件においてはガラスと型の密着力が大きくなり、強度の
小さいガラスでは冷却時の膨張係数の差による力のため
に層状破壊し、いわゆる融着を起こしてしまう。従っ
て、ダイヤモンドやガラス状炭素は離型性が悪い。図5
において6はガラス、7は型、A−A′は剥離面であ
る。
【0006】これに対して、硬質炭素膜、i−C膜や水
素化アモルファス炭素膜はプレス成形条件の温度下では
一部がグラファイト化し、ガラスとの反応性に富むと共
に炭素間の結合力が弱くなるため、離型性はダイヤモン
ドに比べて良くなる。これは、図6(a)〜(d)に示
すように、ガラスと型の間に介在する反応層あるいは型
の表面強度が小さい場合にそこで離型するためである。
図6で8、11、14、17はガラス、9、12、1
5、18は反応層、10、13、16、19は型であ
り、B−B′〜E〜E′は剥離面であり、反応層は説明
のために拡大して示してある。しかし、これらグラファ
イト構造を多く含む型の場合、反応あるいは表面破壊に
より型の表面粗さが劣化し、これが成形されたガラスの
曇の原因となるため、耐久性に欠ける。これは、含まれ
るグラファイトの結晶方位がランダムなため、反応ある
いは表面破壊が、起こり易い方向で選択的に起きるため
である。
【0007】逆にグラファイト構造が少ないダイヤモン
ド状炭素では、先に述べたように離型性が悪い。
【0008】以上のようにこれまで提案された炭素系型
材では離型性と曇耐久性の双方を満たすことはできな
い。
【0009】そこで、本発明の第1の目的は、離型性と
曇耐久性に優れたプレス成形用型を提供することであ
る。
【0010】本発明の第2の目的は、特に離型性の悪い
ガラス及び強度の小さいガラスに対しても、離型性と曇
耐久性に優れたプレス成形用型を提供することである。
【0011】本発明の第3の目的は、プレス成形された
レンズの表面粗さをRmax で0.05μm以下にするこ
とである。
【0012】本発明の第4の目的は、本発明の第3の目
的に好適な型母材を明らかにすることである。
【0013】本発明の第5の目的は、本発明の第3の目
的に好適で、かつ型母材からの剥離が防止されたグラフ
ァイト膜の膜厚を明らかにすることである。
【0014】本発明の第6の目的は、ガラス光学素子の
プレス成形方法におけるコストダウンである。
【0015】
【課題を解決するための手段】第1の本発明は、軟化状
態にあるガラス素材を成形用型を用いてプレスすること
により、該型のガラス接触部となる型機能面に対応し
て、該ガラス素材に光学機能面を形成するようにした光
学素子のプレス成形方法に用いる成形用型において、該
型の少なくとも型機能面が、結晶方位の揃ったグラファ
イトからなることを特徴とするガラス光学素子プレス成
形用型である。結晶方位の揃ったグラファイトを用いる
ことにより、プレス成形の際にガラス−型間で生ずる反
応あるいは表面破壊を均一にし、表面粗さの低下を防い
でいる。ここで、型機能面と結晶方位との角度は型機能
面全面では同じではなくある程度の分布をもつが、サブ
ミクロンオーダーの表面粗さの劣化を引き起こすような
局所的な結晶方位の不均一はない。
【0016】第2の本発明は、第1の本発明において、
グラファイトの六方網面が型機能面に平行な場合であ
る。結晶方位として、グラファイト構造の六方網面が型
機能面に平行なグラファイトを用いることにより、型機
能面表面の結合力を最小にし、特に離型性の悪いガラス
あるいは、強度が小さく融着あるいはワレやすいガラス
に対して優れた離型性を提供している。
【0017】第3の本発明は、第1あるいは第2の本発
明において、型機能面が、表面粗さがRmax で0.03
μm以下の型母材上に形成されたグラファイトからなる
場合である。結晶方位の揃ったグラファイトをある型母
材に成膜により形成する場合、その型母材として表面粗
さがRmax で0.03μm以下に研磨されたものを用い
ることにより、プレス成形後のガラスの表面粗さを0.
05μm以下とし、透過率の良い、曇の無いガラス光学
素子を得ることができる。
【0018】第4の本発明は、第3の本発明において、
型母材がSiCあるいはガラス状炭素からなる場合であ
る。型母材としてSiCあるいはガラス状炭素を用いる
ことは、第3の本発明に特に適している。
【0019】第5の本発明は、第3の本発明において、
グラファイトの膜厚が10μm以下の場合である。結晶
方位の揃ったグラファイトの膜厚を10μm以下にする
ことは、第3の本発明に特に適し、かつ成膜後の膜内の
内部応力が低下させグラファイト膜の剥離が防止され
る。
【0020】第6の本発明は、上記第1〜第5の本発明
のガラス光学素子プレス成形用型を用いて成形を行うガ
ラス光学素子のプレス成形方法である。これらの型は耐
久性が優れるため、成形のコストダウンが図れる。
【0021】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0022】結晶方位の揃ったグラファイトとしては、
例えば、メタン、プロパンなどの炭化水素ガスを気相熱
分解によってグラファイト基板に堆積させる際、熱分解
炭素を30〜50MPa加圧下で2000℃以上の高温
に加熱する方法などにより得られる、グラファイト基板
表面を基準面とした高い配向度を有するグラファイト材
料、いわゆる「高配向性熱分解炭素」(highly
oriented pylolytic graphi
te、以下HOPGと称す)がある。実施例において
は、結晶方位の揃ったグラファイトとしてこのHOPG
を用いた。
【0023】(実施例1、比較例1,2)まず、図1に
本発明に用いたプレス成形型を示す。図中、点線はグラ
ファイトの六方網面方向を示す。これは、直径30m
m、厚さ1mmの等方性黒鉛上に熱CVD法で堆積させ
て得られた直径30mm、厚さ10mmのHOPGを切
り出し、六方網面が型のR加工を施した中心において接
線方向となるように加工したものである。ここで、この
型のR加工部の曲率半径は12.5mm、径は15mm
である。この型を2個用いて、表1に示す組成のガラス
Aを、球状の素材から図2中2で示すレンズ形状にプレ
ス成形した。また、比較例1,2としてそれぞれ、型母
材にSi3 4 を用い、その上にダイヤモンドを1μm
成膜し、その後研磨した型と、型母材にバインダレス超
硬合金(TJ−05、フジダイス製)を用い、その上に
TiNを1μm、更にその上にi−Cを100nm成膜
した同形状の型とについても成形を行った。
【0024】
【表1】
【0025】成形は非酸化性雰囲気下で行い、プレス温
度614℃、荷重300kgf、プレス時間1分とし、
冷却速度50℃/minで冷却し、480℃で型から取
り出した。その結果を表2に示す。
【0026】
【表2】
【0027】離型性については、比較例1のダイヤモン
ドでは1shot目に融着を起こしたが、実施例1及び
比較例2のi−Cについては良好で融着は発生しなかっ
た。しかし、型の表面粗さについては、本実施例では1
000shot後において0.04μmと変化しなかっ
たのに対し、i−Cでは0.10μmと劣化し、成形品
に曇が発生した。
【0028】このことから、グラファイトの六方網面が
型のR加工を施した中心において接線方向となるように
加工した型を用いることにより、グラファイト構造の結
晶方位がランダムなものと比較し、型の耐久性が著しく
向上することが分る。
【0029】(実施例2)図3に示すように、実施例1
と同様な方法で20mm角の立方体形状のHOPGを作
製し、これを六方網面が型のR加工を施した中心におい
て垂直方向となるように加工した。この型を用いる他
は、実施例1と同様な検討を行った。その結果、100
0shot後において融着もなく、表面粗さも型、成形
品共にRmaxで0.04μmで、離型性、曇耐久性共に
良好であった。
【0030】このことから、グラファイトの六方網面が
型のR加工を施した中心において垂直方向となるように
加工した型を用いることにより、グラファイト構造の結
晶方位がランダムなものと比較し、型の耐久性が著しく
向上することが分った。
【0031】(実施例3、比較例3,4)図4に示すよ
うに、直径30mm、厚さ10mmのガラス状炭素に実
施例1と同形状のR加工を施し、その上にHOPGを1
μm成膜した型を作製した。図中、4はガラス状炭素で
5はHOPG膜、点線はグラファイトの六方網面方向を
示す。ここで、ガラス状炭素のR加工部は表面粗さがR
max で0.01μmに研磨されているが、HOPGを成
膜した後には0.05μmになっている。この型を2個
用いて、表3に示す組成のガラスBを球状の素材から図
2中2で示すレンズ形状にプレス成形した。また、比較
例3,4としてそれぞれ、型母材にSi3 4 を用い、
その上にダイヤモンドを1μm成膜し、その後研磨した
型と、母材にバインダレス超硬合金(TJ−05、フジ
ダイス製)を用い、その上にTiNを1μm、更にその
上にi−Cを100nm成膜した同形状の型とについて
も成形を行った。
【0032】
【表3】
【0033】成形は非酸化性雰囲気で行い、プレス温度
607℃、荷重300kgf、プレス時間1分とし、冷
却速度50℃/minで冷却し、480℃で型から取り
出した。その結果を表4に示す。
【0034】
【表4】
【0035】離型性はダイヤモンドでは1shotめ、
i−Cでは120shotめに融着を起こし、実施例2
の型では550shotめに成形品にワレが発生した
が、本実施例については良好で、融着、ワレは発生しな
かった。また、型の表面粗さも本実施例では1000s
hot後においても0.05μmと変化せず、離型性、
曇耐久性共に良好であった。
【0036】また、型母材としてガラス状炭素の代わり
にSiCを用いて同様の検討を行なったが、これも離型
性、曇耐久性共に良好であった。
【0037】このことから、グラファイト膜の六方網面
方向が型機能面に平行な型を用いることにより、離型性
が悪く、融着やワレの発生し易いガラスに対しても良好
な離型性を実現できると共に曇耐久性の向上が図れるこ
とが分る。
【0038】(実施例4)実施例3と同様に、ガラス状
炭素を母材としてHOPG膜を20μm成膜した。作製
されたHOPG膜は部分的に母材からの剥離が見られ
た。そこで、膜厚をそれぞれ5μm、10μm、11μ
mにして型を作製したところ、11μmのものには部分
的な剥離が見られたが、5μm、10μmのものには剥
離は見られず、これらの型を用いて実施例3のガラスB
をプレス成形した。その結果、1000shot後にお
いて融着もなく、表面粗さも型、成形品共にRmax
0.05μmで、離型性、曇耐久共に良好であった。
【0039】このことから、膜厚を10μm以下にする
ことにより、HOPG膜の母材からの剥離を容易に防げ
ることが分る。
【0040】
【発明の効果】以上説明したように、第1の本発明によ
れば、プレス成形に用いる型のガラス接触部に結晶方位
の揃ったグラファイトを用いることにより、局所的な結
晶方位の不均一による表面粗さの劣化を防ぎ、型の曇耐
久性の向上が図れる。
【0041】第2の本発明によれば、プレス成形に用い
る型のガラス接触部に、グラファイトの六方網面がその
型機能面に平行なものを用いることにより、曇耐久性の
向上し、しかも離型性が向上し融着や成形品のワレの防
止が可能になる。
【0042】第3の本発明によれば、型母材にグラファ
イトを成膜して第1あるいは第2の本発明の型を作製す
る場合、型母材の表面粗さをRmax で0.03μm以下
にすることにより、プレス成形後のガラス表面粗さを曇
の無い程度にできる。
【0043】第4の本発明によれば、型母材としてSi
Cあるいはガラス状炭素を用いることにより、容易に表
面粗さをRmax で0.03μm以下に研磨でき、その上
に結晶方位の揃ったグラファイト膜の形成が容易にな
る。
【0044】第5の本発明によれば、結晶方位の揃った
グラファイトの膜厚を10μm以下にすることにより、
グラファイト膜の剥離を防止できる。
【0045】第6の本発明によれば、第1〜第5の本発
明の型を用いて成形することにより、曇耐久性の向上が
図れ、成形のコストダウンが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の型の概略図である。
【図2】実施例で成形したガラスの形状を表した図であ
る。
【図3】実施例2の型の概略図である。
【図4】実施例3及び4の型の概略図である。
【図5】反応性の小さい型とガラスの剥離面を表した図
である。
【図6】反応性の大きい型とガラスの剥離面を表した図
である。
【符号の説明】
1、3 HOPG型 2 成形されたレンズ 4 型母材 5 HOPG膜 6、8、11、14、17 ガラス 7、10、13、16、19 型 9、12、15、18 反応層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中居 靖行 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 新垣 誠一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軟化状態にあるガラス素材を成形用型を
    用いてプレスすることにより、該型のガラス接触部とな
    る型機能面に対応して、該ガラス素材に光学機能面を形
    成するようにした光学素子のプレス成形方法に用いる成
    形用型において、該型の少なくとも型機能面が、結晶方
    位の揃ったグラファイトからなることを特徴とするガラ
    ス光学素子プレス成形用型。
  2. 【請求項2】 グラファイトの六方網面が型機能面に平
    行である請求項1記載のガラス光学素子プレス成形用
    型。
  3. 【請求項3】 型機能面が、表面粗さがRmax で0.0
    3μm以下の型母材の上に成膜されたグラファイトから
    なる請求項1あるいは2記載のガラス光学素子プレス成
    形用型。
  4. 【請求項4】 型母材がSiCあるいはガラス状炭素か
    らなる請求項3記載のガラス光学素子プレス成形用型。
  5. 【請求項5】 グラファイトの膜厚が10μm以下であ
    る請求項3記載のガラス光学素子プレス成形用型。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし6記載のガラス光学素子
    プレス成形用型を用いて成形することを特徴とするガラ
    ス光学素子のプレス成形方法。
JP4544295A 1995-03-06 1995-03-06 ガラス光学素子プレス成形用型及びそれを用いたプレス成形方法 Pending JPH08239227A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000010097A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Advanced Display Inc 液晶表示装置およびその製法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000010097A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Advanced Display Inc 液晶表示装置およびその製法

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