JPH08240460A - 流量計及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 通常の長さの直線流路部を必要とせずに短い
流路で定常流を得ることができる整流機能を備えた流量
計及びその製造方法を提供することである。 【構成】 本発明の流量計は、流路断面のほぼ全体にわ
たり、かつ、所定長さでケース１０内に設置された複数
本の分割流路２３を備える整流体２０と、ケース内周面
１０ａと分割流路２３との間及び／または各分割流路間
の隙間を埋めるシール手段２０ｂ，２８と、整流体２０
の各分割流路２３内にそれぞれ設置された複数個の流量
センサ２４と、これらの流量センサ２４をそれぞれ電源
及び処理回路に接続するための配線設備２５，２６，２
７とを含み、またその製造方法は、個々の分割流路内に
流量センサを設置した整流体２０を形成する工程と、該
整流体２０をシール手段を介してケース１０内に装着す
る工程とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は流量計に関し、特に通常
の長さの直線流路部を必要としないで定常流を得ること
ができる整流機能を備えた流量計及びその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】１つの流量計を用いて導管等の流路内を
流れる流体の流量を正確に測定するためには、流れを十
分に発達させて安定した流速分布形を有する流れになる
ように、流量計の上流側に流路の内径の２０倍またはそ
れ以上の長さを有する直線流路部（助走路）を設けると
共に、その下流側にもほぼ同じ長さの直線流路部を設け
る必要がある。（日刊工業新聞社発行の”流量計測ハン
ドブック”参照） 定常流における安定した流速分布を有する流体の流れ
は”ハーゲン・ポアズイユ（Hagen-Poiseuille）の流
れ”と呼ばれ、流路の中心を頂点とし、半径方向両側の
内周面に向かって流速を減じる放物線形状の流速分布を
有している。従って、流路内の１か所で測定された流量
（流速）をこの流速分布に当てはめれば、流路内全体の
流量が容易に算出され得る。

【０００３】しかし、上記したような助走路を含む直線
流路部を設けるスペースを確保することは一般的には難
しい。例えば、機器の配管内に流量計を設置する場合に
は、直線流路部を確保することによって機器の小型化や
低価格化が妨げられる。また、都市におけるガス整圧設
備に流量計を設ける場合には、設置スペースが取れない
とか、たとえ設置スペースが取れたとしても土地代が高
価であるとかの制約を受ける。

【０００４】流量分布が定常的でない状態において直線
流路部を設けずに流量を測定する手段として図９に示さ
れている体積式流量計が従来から知られている。

【０００５】更に、この体積式流量計を用いることがで
きない場合には、流量の多点計測を行い、平均流量を求
めるという簡易流量計測が行われる。特公昭６０−７２
０７号公報には図１０に示されるような複数個の測定孔
を有するピトー管式流量計が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の通常の流量計を
用いる流量測定では、定常流を作るために、流量計を設
置する場所の前後それぞれに流路の直径の２０倍または
それ以上の直線流路部を必要とし、乱流状態にある流体
ではその流量を正確に測定することができない。また、
体積式流量計の場合には、応答速度が遅い上に、流量計
を設置するための特別なスペースを必要とする不具合が
ある。さらに、ピトー管式流量計の場合、流量測定範囲
が２桁以下と狭く、応答速度も遅く、その上に電気的な
出力信号を得るのに高価な差圧変換機を必要とするなど
の不具合がある。

【０００７】本発明は従来技術における上記問題点を解
決するために為されたもので、その目的とするところ
は、通常の直線流路部を必要とせずに短い流路で定常流
を得ることができる整流機能を備えた流量計及びその製
造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の基本的態様によれば、流路断面のほ
ぼ全体にわたり、かつ、所定の長さでケース内に設置さ
れた複数本の分割流路を備える整流体と、ケース内周面
と分割流路との間及び／または各分割流路間の隙間を埋
めるシール手段と、整流体の各分割流路内にそれぞれ設
置された複数個の流量センサと、これらの流量センサを
それぞれ電源および処理回路に接続するための配線設備
とを含む流量計が提供される。

【０００９】上記第１の基本的態様における整流体はそ
の外周を覆う枠を有し、またシール手段はケースの内周
形状に一致する外周形状と整流体の外周形状に一致する
形状の穴とを有し、整流体の軸線方向の少なくとも一側
端部に装着されるシール板及び／または整流体と枠との
間及び分割流路間に詰め込まれたシール材からなる。

【００１０】流量センサの各々は、分割流路各々の一側
内壁面の中央部に装着される場合と、各分割流路の中心
を通るように流れに直交して設けられたセンサシートに
装着されることによって、分割流路各々の中心部に設置
される場合とがある。

【００１１】分割流路の各々の横断面形状は、四角形を
含む多角形及び円形の中から適宜選ばれ得る。

【００１２】また、配線設備は、分割流路を形成するた
めの分割流路壁に形成されたプリント配線と、これらの
プリント配線をまとめる配線集合板と、該配線集合板と
電源及び処理回路との間を接続するように設けられた配
線シートとを含む。

【００１３】更に、各分割流路内には、流量センサのほ
かに圧力センサ及び温度センサが設置される場合もあ
る。

【００１４】本発明の第２の基本的態様によれば、プリ
ント配線が施され、該プリント配線にそれぞれ接続され
るように複数個の流量センサが縦方向に等間隔でかつ長
手方向のほぼ中央位置に固着され、更に一端側から長手
方向に沿ってほぼ中央位置まで伸びるように等間隔で切
り込まれた複数本のスリットを有する所定長の複数枚の
縦シートを等間隔で縦列配置することと、一端側から長
手方向に沿ってほぼ中央位置まで伸びるように等間隔で
切り込まれた複数本のスリットを有し、縦シートと同じ
長さの複数枚の横シートを、それぞれのスリットを互い
に噛み合わせながら、縦列配置された複数枚の縦シート
にそれぞれ横方向に装着することによって多数の四角形
分割流路を有する整流体を形成することと、整流体の各
プリント配線をまとめるための配線集合板を整流体の適
所に設けることと、流量センサの各々を電源及び処理回
路に接続するように、配線集合板に配線シートを設ける
ことと、整流体を支持体を兼ねるシール板を介してほぼ
同じ長さを有するケース内に挿入することの各工程を含
む流量計の製造方法が提供される。

【００１５】本発明の第３の基本的態様によれば、所定
長の半分の長さを有する複数本の分割流路管がそれぞれ
の開口端面をそろえた状態で縦方向一列に並ぶ第１分割
流路ユニットになるように、複数本の分割流路管のそれ
ぞれの外側面を互いに固着することと、第１分割流路ユ
ニットの一側端面の縦方向に沿った中央部に該端面から
管軸方向に沿ってスリットを切り込むことと、複数個の
流量センサが第１分割流路ユニットの各分割流路の開口
幅と同じ間隔で縦方向一列に固着され、各流量センサに
接続するプリント配線を有するセンサシートをスリット
内に挿入し、かつ固定することによって半割センサユニ
ットを形成することと、第１分割流路ユニットと同じ本
数の分割流路管を縦方向一列に固着した第２分割流路ユ
ニットを形成することと、該第２分割流路ユニットの一
側端面と第１分割流路ユニットのセンサシートを有する
端面とを突き合わせ、固着することによって縦列センサ
ユニットを形成することと、同本数及び／または異なる
本数の分割流路管をそれぞれ有する複数個の縦列センサ
ユニットを所定幅になるまで横方向に配列し、それらの
縦列センサユニットを互いに接続させることによって多
数の分割流路を備える整流体を形成することと、整流体
の各プリント配線をまとめるための配線集合板を整流体
の適所に設けることと、流量センサの各々を電源及び処
理回路に接続するように、配線集合板に配線シートを設
けることと、整流体を支持体を兼ねるシール板を介して
ほぼ同じ長さを有するケース内に挿入することの各工程
を含む流量計の製造方法が提供される。

【００１６】上記第３の基本的態様による製造方法にお
いて、分割流路管の各々は、円管または横断面において
多角形を有する管であって、これらの円管または多角形
を有する管が最密充填形態で互いに密着されている。

【００１７】

【作用】整流機能を有する分割流路内を流通させること
によって、例えば、曲管を通過した直後の流れでも各分
割流路内では直ちに定常流が得られるので、分割流路内
の一点で測定された流量に基づいて所定の計算式から分
割流路内全体の流量を正確に算出することができる。従
って、流路全体の流量は各分割流路内の流量を積算する
ことによって容易にかつほぼ正確に算出され得る。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を添付の図面に示した幾つかの
好ましい実施例に関連してさらに詳細に説明する。

【００１９】まず、図１から図４までを参照して本発明
の第１実施例が説明される。図１には第１実施例の概略
斜視図が示されており、複数枚の、例えば薄いプラスチ
ック製の、縦シート２１及び横シート２２をそれぞれ互
いに直交する方向に組み合わせて、複数個の四角形の分
割流路２３を備える整流体２０がケース１０内に挿入さ
れている。各シートには適所にプリント配線２５が施さ
れており、これらのプリント配線２５は配線集合板２６
にまとめられ、そこから配線シート２７を介して図示し
ない電源及び処理回路に接続されている。

【００２０】整流体２０における各分割流路２３内に
は、例えば図２の断面図に示されているように、縦シー
ト２１の一側内壁面に例えば接着剤を介して固着された
小型の流量センサ２４が設置されている。これらの流量
センサ２４は、図４に示されているように、それぞれプ
リント配線２５に接続されている。

【００２１】図３には、整流体２０をケース１０内に挿
入し、かつそこに固定するための支持体を兼ねたシール
板２８が斜視図で示されている。このシール板２８はケ
ース１０の内径に一致した外径を有し、その内側には整
流体２０の外周形状に一致した穴２８ａが形成されてい
る。

【００２２】なお、図示されていないが、ケース１０の
両端部には配管等への接続に好適なようにフランジが形
成されている。

【００２３】次に、図４を参照しながら第１実施例の製
造方法を説明する。

【００２４】適所にプリント配線２５が施され、該プリ
ント配線２５にそれぞれ接続されるように複数個の流量
センサ２４が接着剤を介して縦方向に等間隔でかつ長手
方向のほぼ中央位置に固着され、更に一端側から長手方
向に沿ってほぼ中央位置まで伸びるように等間隔で切り
込まれた複数本のスリットを有する所定長の複数枚の縦
シート２１がまず等間隔で縦方向に配列される。

【００２５】縦配列された複数枚の縦シート２１に対
し、一端側から長手方向に沿ってほぼ中央位置まで伸び
るように等間隔で切り込まれた複数本のスリットを有
し、縦シート２１と同じ長さの複数枚の横シート２２
を、それぞれのスリットが互いに噛み合うように、それ
ぞれ直交する状態で横方向に装着する。これによって複
数個の四角形の分割流路２３を有する整流体２０が形成
される。

【００２６】続いて、各プリント配線２５をまとめるた
めの配線集合板２６が整流体２０の適所に設けられると
共に、流量センサ２４の各々を電源及び処理回路に接続
するために、配線集合板２６に配線シート２７が設けら
れる。

【００２７】最後に、整流体２０の少なくとも一端部、
好ましくは両端部に支持体を兼ねるシール板２８が設け
られ、この組み立て体がほぼ同じ長さを有するケース１
０内に挿入されて、本発明の第１実施例としての流量計
が製造される。

【００２８】次に、本発明の第２実施例を図５に従って
説明する。第２実施例は横断面円形の分割流路２３を有
する点で前述の第１実施例と異なる。すなわち、第１実
施例の整流体２０の外周形状と同じ形の枠２０ａの内側
に、横断面円形の分割流路管２９をそれぞれ所定本数だ
け縦一列に並べた流路ユニットを横方向に順次挿入して
整流体２０を形成している。枠２０ａと各分割流路管２
９との間及び隣接する分割流路管２９の間に空間にはシ
ール材２０ｂが詰め込まれている。このシール材２０ｂ
は整流体の長手方向の少なくとも一側端面に詰め込まれ
れば良い。

【００２９】また、各分割流路２３内に設置される流量
センサ２４は、図８に詳細に示されているように、プリ
ント配線が施された薄い帯状の、例えばプラスチックま
たはガラス製の、センサシート２４ａを介して分割流路
２３の横断面の中心部に設置されている。

【００３０】第２実施例のように分割流路２３を横断面
において円形にすることにより、分割流路２３内での流
れの状態は既知の流速分布を有する定常流が得られ、従
ってより正確な流量測定を行うことができる。

【００３１】ここで、図８を参照しながら第２実施例の
製造方法を説明する。

【００３２】まず、半分の長さを有する複数本の分割流
路管２９がそれぞれの開口端面をそろえた状態で縦方向
一列に並ぶ第１分割流路ユニット２９ａになるように、
前記複数本の分割流路管２９のそれぞれの外側面が接着
剤を介して互いに固着されると共に、この第１分割流路
ユニット２９ａの一側端面の縦方向に沿った中央部に該
端面から管軸方向に沿ってスリット２９ｃが切り込まれ
る。

【００３３】続いて、複数個の流量センサ２４が、各流
量センサに接続するプリント配線を有する帯状のセンサ
シート２４ａに、第１分割流路ユニット２９ａの各分割
流路管２９の開口幅と同じ間隔で縦方向一列に接着剤を
介して固着される。このセンサシート２４ａは、各流量
センサ２４が各分割流路の横断面中心に位置するよう
に、前記スリット内に挿入され、シールを兼ねた接着剤
で固定される。これによって半割の縦列センサユニット
が形成される。

【００３４】更に、前記第１分割流路ユニット２９ａと
同じ本数の分割流路管２９を接着剤を介して縦方向一列
に固着した第２分割流路ユニット２９ｂが形成されると
共に、この第２分割流路ユニット２９ｂの一側端面と第
１分割流路ユニット２９ａのセンサシート２４ａを有す
る端面とを突き合わせ、接着剤を介して接合することに
よって１つの縦列センサユニットが形成される。

【００３５】続いて、同本数及び／または異なる本数の
分割流路管２９をそれぞれ有する複数個の縦列センサユ
ニットが所定幅になるまで横方向に配列され、それらの
縦列センサユニットを接着剤を介して互いに接続するこ
とによって多数の分割流路２３を備える整流体２０が形
成される。

【００３６】この様にして形成された整流体２０の適所
に、各プリント配線をまとめるための配線集合板２６
と、流量センサの各々を電源及び処理回路にそれぞれ接
続するための配線シート２７とが設けられる。

【００３７】最後に、支持体を兼ねるシール板２８を整
流体２０の少なくとも一端側に装着した後、この組立体
をほぼ同じ長さを有するケース１０内に挿入することに
よって第２実施例の流量計が製造される。

【００３８】なお、好適には、整流体２０は枠２０ａ内
に挿入されると共に、この枠２０ａと整流体２０との間
の空間並びに隣接する各分割流路管２９の間の各空間に
はシール材２０ｂが詰め込まれる。

【００３９】図６及び図７には、本発明の第３及び第４
実施例がそれぞれ断面図で示されている。

【００４０】図６に示されている第３実施例は、図から
明らかなように、第２実施例で説明した横断面円形の分
割流路管２９を最密充填形態で配列しており、このよう
な配列形態を採用することによって、流れの状態を向上
させると共に、分割流路２３の形成によるケース１０内
での圧力損失を軽減することができる。

【００４１】図７に示されている第４実施例は、横断面
形状において六角形を有する分割流路管２９をハニカム
（蜂の巣）状に配列したものであり、横断面六角形以外
の多角形を有する分割流路管の配列も可能である。

【００４２】第３及び第４実施例の構成及びその製造方
法は、前述の第２実施例とほぼ同様であるので、重複を
避けるために、それらに関する詳細な説明は省略する。

【００４３】図５から図７までに示した実施例２ないし
４において、枠２０ａは必ずしも必要ではなく、各流路
ユニットの側面を接着剤で互いに固着しながら横方向に
並べてもよい。この場合、整流体２０の少なくとも一端
部に設けられるシール板２９の穴２９ａの内周面は、各
分割流路管２９の外周面に一致するように、波形または
歯形に形成される。

【００４４】上記第１ないし第４実施例の流量計に共通
して言えることは、分割流路２３の数がＮ本の場合、各
分割流路における流れの状態が定常流になるまでの各分
割流路の助走距離は、流路全体の助走距離のほぼ１／
（Ｎ）^1/2 とすることができる。そして、分割流路２３
の長さは助走距離の２倍またはそれ以上とされ、流量セ
ンサ２４は分割流路２３の両端から助走距離分またはそ
れ以上離れた位置に設置される。例えば、直径１００ミ
リメートルの導管の場合、従来の助走距離は少なくとも
２メートル（１００ｍｍ×２０倍）の長さが必要であ
り、流量計を設置するために必要な直線導管の長さは少
なくとも４メートルになるが、この直線導管内に１００
個の分割流路を有する整流体が設けられた場合、各分割
流路の助走距離は０．２メートル（２ｍ×１／１０）で
よい。従って、必要な導管の長さは０．４メートルとな
り、従来の１／１０の長さに短縮することができる。

【００４５】また、すべての流量センサ２４は流れに垂
直な方向の同一断面上に設置される点も共通であり、特
に好適には、すべての流量センサ２４は各分割流路の横
断面の中心に設置される。

【００４６】更に、必要に応じて、整流体２０の上流側
にフィルタが設置され得る。

【００４７】なお、本発明で用いられる流量センサとし
ては、小型で応答性能に優れ、電気信号出力が得やす
く、しかも安価なコストで製造され得る、熱線式半導体
流量センサが最適であり、熱線材料には測定レンジを広
く取ることができるポリシリコン製の熱線が好適に用い
られる。一方、これとは別に、カルマン渦流量計の渦発
生体を流量センサとして各分割流路内に挿入することが
可能である。

【００４８】熱線式半導体流量センサを用いて、温度及
び圧力が不均一である流れを測定対象にする場合には、
流量センサ２４だけの測定では正確な流量計測を行うこ
とができない。何故なら、温度及び圧力が不均一な流れ
においては、各分割流路中の温度及び圧力もそれぞれ異
なっている可能性が大いにある。そこで、このような場
合には、各流量センサ２４の出力は各分割流路内の温度
及び圧力に応じて補正される必要がある。そのために、
各分割流路内には流量センサ２４に加えて、図４図示の
ように温度センサ３１及び圧力センサ３２の設置が必要
になる。温度センサ３１としては半導体温度センサが、
また圧力センサ３２としては半導体ダイヤフラム型圧力
センサが好適に用いられ得る。これらの各センサは、個
々に製作され、個々に設置され得るが、同一基板上に一
体形成されたものを１チップとして設置することも可能
である。

【００４９】以上の説明は単に本発明の好適な実施例の
例証であり、本発明の範囲はこれに限定されることはな
い。本発明に関する更に多くの変形例や改造例が本発明
の範囲を逸脱することなく当該技術の熟達者にとってみ
れば容易に思い当たるであろう。

【００５０】

【発明の効果】本発明の流量計によれば、以下に記述す
る効果を得ることができる。 １．既知の流速分布を有する層流を得るための長い直線
流路部（助走路）が不要になり、各種機器のダウンサイ
ズ化に貢献することができる ２．乱流状態にある流体の流量を正確に測定することが
できる。 ３．各種機器内の流路中に流量計を内蔵させることがで
きるので、流量計専用の設置スペースを必要とせず、機
器の小型化及び低価格化を実現する。 ４．流量計を内蔵する個々の分割流路が整流器としての
機能を有しているので、整流効果を発揮することができ
る。 ５．流量センサとして熱線式小型流量センサを用いるこ
とにより、素早い応答速度が得られ、流量変動を正確に
測定することができる。 ６．熱線式小型流量センサの熱線をポリシリコン製の熱
線とすることにより、３桁にわたる広範囲な流量測定レ
ンジを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す概略斜視図である。

【図２】図１図示の第１実施例の要部を示す断面図であ
る。

【図３】図１図示の第１実施例に用いられるシール板を
示す斜視図である。

【図４】図１図示の第１実施例に用いられる整流体を構
成する縦シート及び横シートの装着工程を示す説明図で
ある。

【図５】本発明の第２実施例の要部を示す断面図であ
る。

【図６】本発明の第３実施例の要部を示す断面図であ
る。

【図７】本発明の第４実施例の要部を示す断面図であ
る。

【図８】図５ないし図７にそれぞれ示される第２ないし
第４実施例に用いられる整流体を構成する縦列センサユ
ニットの製造工程を示す説明図である。

【図９】従来の体積式流量計の一例を示す概略断面図で
ある。

【図１０】従来のピトー管式流量計の一例を用いた流量
計測の説明図である。

【符号の説明】

１０ ケース １０ａ ケース内周面 ２０ 整流体 ２０ａ 枠 ２０ｂ シール材 ２１ 縦シート ２２ 横シート ２３ 分割流路 ２４ 流量センサ ２４ａ センサシート ２５ プリント配線 ２６ 配線集合板 ２７ 配線シート ２８ シール板 ２８ａ 穴 ２９ 分割流路管 ２９ａ 第１分割流路ユニット ２９ｂ 第２分割流路ユニット ２９ｃ スリット ３０ 縦列センサユニット ３１ 温度センサ ３２ 圧力センサ

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路断面のほぼ全体にわたり、かつ、所
   定の長さでケース内に設置された複数本の分割流路を備
   える整流体と、前記ケース内周面と前記分割流路との間
   及び／または各分割流路間の隙間を埋めるシール手段
   と、前記整流体の各分割流路内にそれぞれ設置された複
   数個の流量センサと、これらの流量センサをそれぞれ電
   源および処理回路に接続するための配線設備とを含むこ
   とを特徴とする流量計。
2. 【請求項２】 前記整流体がその外周を覆う枠を有する
   ことを特徴とする請求項１に記載の流量計。
3. 【請求項３】 各分割流路内には、前記流量センサのほ
   かに圧力センサ及び温度センサが更に設置されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載の流量計。
4. 【請求項４】 前記シール手段が、前記ケースの内周形
   状に一致する外周形状と前記整流体の外周形状に一致す
   る形状の穴とを有し、前記整流体の軸線方向の少なくと
   も一側端部に装着されるシール板及び／または前記整流
   体と前記枠との間及び前記分割流路各々の外周面間に詰
   め込まれたシール材からなることを特徴とする請求項２
   記載の流量計。
5. 【請求項５】 前記流量センサの各々が、前記分割流路
   の各々の一側内壁面の中央部に装着されたことを特徴と
   する請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の
   流量計。
6. 【請求項６】 前記流量センサの各々が、各分割流路の
   中心を通るように流れに直交して設けられたセンサシー
   トに装着されることによって、前記分割流路の各々の中
   心部に設置されたことを特徴とする請求項１から請求項
   ３までのいずれか一項に記載の流量計。
7. 【請求項７】 前記分割流路の各々の横断面形状が多角
   形であることを特徴とする請求項１から請求項６までの
   いずれか一項に記載の流量計。
8. 【請求項８】 前記分割流路の各々の横断面形状が円形
   であることを特徴とする請求項１から６までのいずれか
   一項に記載の流量計。
9. 【請求項９】 前記分割流路の各々の横断面形状が四角
   形であることを特徴とする請求項７に記載の流量計。
10. 【請求項１０】 前記配線設備が、前記分割流路を形成
    するための分割流路壁に形成されたプリント配線と、こ
    れらのプリント配線をまとめる配線集合板と、該配線集
    合板と前記電源及び前記処理回路との間を接続するよう
    に設けられた配線シートとを含むことを特徴とする請求
    項１から請求項９までのいずれか一項に記載の流量計。
11. 【請求項１１】 プリント配線が施され、該プリント配
    線にそれぞれ接続されるように複数個の流量センサが縦
    方向に等間隔でかつ長手方向のほぼ中央位置に固着さ
    れ、更に一端側から長手方向に沿ってほぼ中央位置まで
    伸びるように等間隔で切り込まれた複数本のスリットを
    有する所定長の複数枚の縦シートを等間隔で縦列配置す
    ることと、 一端側から長手方向に沿ってほぼ中央位置まで伸びるよ
    うに等間隔で切り込まれた複数本のスリットを有し、前
    記縦シートと同じ長さの複数枚の横シートを、それぞれ
    のスリットを互いに噛み合わせながら、前記縦列配置さ
    れた複数枚の縦シートにそれぞれ横方向に装着すること
    によって多数の四角形分割流路を有する整流体を形成す
    ることと、 前記整流体の各プリント配線をまとめるための配線集合
    板を整流体の適所に設けることと、 前記流量センサの各々を電源及び処理回路に接続するよ
    うに、前記配線集合板に配線シートを設けることと、 前記整流体を支持体を兼ねるシール板を介してほぼ同じ
    長さを有するケース内に挿入することの各工程を含む流
    量計の製造方法。
12. 【請求項１２】 所定長の半分の長さを有する複数本の
    分割流路管がそれぞれの開口端面をそろえた状態で縦方
    向一列に並ぶ第１分割流路ユニットになるように、前記
    複数本の分割流路管のそれぞれの外側面を互いに固着す
    ることと、 前記第１分割流路ユニットの一側端面の縦方向に沿った
    中央部に該端面から管軸方向に沿ってスリットを切り込
    むことと、 複数個の流量センサが前記第１分割流路ユニットの各分
    割流路の開口幅と同じ間隔で縦方向一列に固着され、各
    流量センサに接続するプリント配線を有するセンサシー
    トを前記スリット内に挿入し、かつ固定することによっ
    て半割センサユニットを形成することと、 前記第１分割流路ユニットと同じ本数の分割流路管を縦
    方向一列に固着した第２分割流路ユニットを形成するこ
    とと、 該第２分割流路ユニットの一側端面と前記第１分割流路
    ユニットのセンサシートを有する端面とを突き合わせて
    固着することによって縦列センサユニットを形成するこ
    とと、 同本数及び／または異なる本数の分割流路管をそれぞれ
    有する複数個の前記縦列センサユニットを所定幅になる
    まで横方向に配列し、それらの縦列センサユニットを互
    いに接続させることによって多数の分割流路を備える整
    流体を形成することと、 前記整流体の各プリント配線をまとめるための配線集合
    板を整流体の適所に設けることと、 前記流量センサの各々を電源及び処理回路に接続するよ
    うに、前記配線集合板に配線シートを設けることと、 前記整流体を支持体を兼ねるシール板を介してほぼ同じ
    長さを有するケース内に挿入することの各工程を含む流
    量計の製造方法。
13. 【請求項１３】 前記分割流路管の各々が円管または横
    断面において多角形を有する管であって、これらの円管
    または多角形を有する管が最密充填形態で互いに密着さ
    れていることを特徴とする請求項１２に記載の流量計の
    製造方法。