JPH08240631A - プローブユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】リード補圧用の弾性絶縁板によって絶縁基板の
縁部から突出するリード部分をバックアップしてリード
の弾力不足を補完し液晶版の電極に対する適正な接触圧
を確保すると同時に、リードの接触レベルの不揃いとピ
ッチのバラツキと捩れを是正し、接触対象との相対位置
を保って均一に接触させることができるようにし、リー
ドの微細化狭小ピッチ化に有効に対処し得るようにした
プローブユニットを提供する。 【構成】絶縁基板４の表面に多数のリード２が並列して
延在し、該リードの一端２ａを絶縁基板４の縁部から突
出し、該リード突出部を絶縁基板４に固定されたリード
補圧用弾性絶縁板３でバックアップし加圧接触に供する
構成としたプローブユニット。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は液晶パネルの検査等に
使用されるプローブユニットの如き、リードを微小ピッ
チで並列配置し弾性接片を付有せねばならない場合に適
したプローブユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルを形成するガラス板端縁に並
列配置される電極層は益々微小ピッチ化する傾向にあ
り、これら液晶パネルの検査においては、検査装置側に
おいて、これら微小ピッチの電極層に対応するピッチの
プローブユニットの提供が必要となる。現状では上記電
極層のピッチは〇．１ｍｍ以下であり、これら液晶パネ
ルの電極層に接触する検査側のリードをフープ材から機
械的に打抜き加工して形成することは困難となってきて
いる。

【０００３】このため、エッチング法やマスクを通して
光照射して形成された蝕刻溝に金属をメッキ成長させる
アディティブ法等を使用して微小ピッチのリードユニッ
トを形成する方法が採られている。この方法を使用した
最新の技術が特願平４−２９７５７８号及び特願平４−
３８２８９号である。

【０００４】現在はエッチング法によって形成されたリ
−ドユニットをガラス板等の絶縁基板の表面に全巾に亘
り接着し、各リードの先端側を絶縁ベースの表面縁部か
ら延出しこの延出部先端を上記液晶パネルの電極層との
接触に供すると共に、絶縁ベースの表面に接着された各
リードの基端側表面に検査装置側のＩＣ等のリードを重
ねてハンダ付け等する構成のものが広く実用されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする問題点】上記先行発明は絶縁
基板の縁部から突出したリード部分をバネとして機能さ
せているが、リードの微細化に伴いバネ機能が減殺さ
れ、所要の接触圧が確保し難くなって来ている。又リー
ド突出部分に捩れや上下の不揃い（接触レベルの不均一
化）が生じ、これが接触の信頼性を損なう問題を有して
いる。又外力によりリード突出部分が変形する問題を内
在している。

【０００６】又上記先行発明は絶縁基板にリード群の各
リードピッチを正確に保ちながら接着剤で固定しなけれ
ばならないが、接着剤の収縮、接着に際してのリード押
え圧によりリードピッチが変化する。又接着剤が毛細管
現象により絶縁ベース板の端部から延出したリード部に
流出して、上記接着剤の収縮によりリード先端ピッチに
バラツキが出る欠点がある。

【０００７】又リード先端側端末の捩れがあるから液晶
パネル電極端子との接触点がリードのセンターから外
れ、上記電極端子との接触点の位置ズレに対する許容が
小さくなる欠点があった。

【０００８】

【問題点を解決するための手段】この発明は上記問題点
を有効に解決する構成を持ったプローブユニットを提供
するものでる。

【０００９】このプローブユニットは、絶縁基板の表面
に多数のリードが並列して延在し、該リードの一端を絶
縁基板の縁部から突出しつつ、該リード突出部を絶縁基
板に固定されたリード補圧用弾性絶縁板でバックアップ
して加圧接触に供する構成としたものである。

【００１０】上記リード突出部はその全体をリード補圧
用弾性絶縁板でバックアップするか、又はリード突出部
の先端部を該リード補圧用弾性絶縁板の縁部から突出し
て加圧接触に供する構成とする。。

【００１１】又他の手段として上記プローブユニット
は、上記リードを絶縁フィルムの表面に並列して延在さ
せると共に、補圧用の弾性絶縁板でバックアップする。

【００１２】そして上記リードの一端を上記絶縁フィル
ムに延在された状態でリード補圧用弾性絶縁板の縁部か
ら突出し加圧接触に供する構成とする。

【００１３】上記リード補圧用弾性絶縁板は上記絶縁フ
ィルムのリードが延在する側の表面に接着するか、又は
リードが延在する側と反対側の表面に接着する。

【００１４】更に上記各プローブユニットにおけるリー
ドはメッキ成長にて形成し、その並列間隔と尖った先端
形状等を与える。

【００１５】

【作用】上記リード補圧用の弾性絶縁板は絶縁基板の縁
部より突出するリード部分をバックアップしてリードの
弾力不足を補完し適正な接触圧を確保すると同時に、リ
ードの接触レベルの不揃い（上下の不揃い）とピッチの
バラツキ（左右の不揃い）と捩れを是正し、接触対象と
の相対位置を保って均一に接触させることができ、リー
ドの微細化狭小ピッチ化に有効に対処し得る。

【００１６】又リード補圧用弾性絶縁板はリードの接触
部を保護し変形防止に寄与する。

【００１７】同様に、絶縁フィルムはその可撓性により
リードの加圧接触部として機能する部位の撓み弾性を損
なわずに上下、左右の不揃いと捩れを解消する機能を有
し、又上記弾性絶縁板と協働してリード個々との接触面
を確保する。

【００１８】更には、メッキ成長によってリードピッチ
と先端接触部の形状を付与することにより、リードを接
着剤によってガラス板に接着させる場合のような接着剤
の収縮に起因するリードのピッチ変化の問題を併せて解
決できる。

【００１９】以下、この発明の実施例を図面に基いて詳
述する。

【００２０】

【実施例】

第１実施例（図１、図３乃至図７） 図３乃至図６はこの実施例に係るプローブユニットの製
造法と構造を開示している。

【００２１】先ず、図３に示すように、導電性転写板１
の表面に並列して延在する多数のリード２をメッキ成長
により形成する。

【００２２】リード２の材質は弾性を富有し且つメッキ
特性に優れたニッケル合金、銅合金等の中から選択され
る。

【００２３】又転写板１はステンレス等の金属板、又は
合成樹脂板やセラミック板の表面に導電性を付写したも
のを用いる。そしてこの転写板１の表面に上記リード２
の剥離を助ける剥離層を形成し、この剥離層の表面に上
記リード２をメッキにより成長せしめる。図示しない
が、このメッキ成長によるリード２は既知のアディティ
ブ法を用い、リードパターンと同一パターンの絶縁隔壁
を転写板上に形成し、この絶縁隔壁間の溝内においてメ
ッキ金属を成長させ、次で上記絶縁隔壁を除去すること
によって形成できる。

【００２４】次に、図４に示すように上記リード２の表
面にリード補圧用弾性絶縁３を重ね接着する。この時弾
性絶縁板３は全リード２の中間延在領域においてその表
面を覆うように接着し、同絶縁板３の対向する一方の縁
部から、リード２の一端が夫々所定寸法だけ突出し且つ
同他端が他方の縁部から夫々所定寸法だけ突出するよう
に接着する。

【００２５】即ち、リード２は中間延在領域において上
記リード補圧用弾性絶縁板３が重ね付けされ、リード両
端は弾性絶縁板３から露出し転写板１の表面を延在す
る。

【００２６】上記リード補圧用弾性絶縁板３としては例
えば、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂等を用いる。

【００２７】又接着剤はシリコーン系接着剤等、上記リ
ード補圧用弾性絶縁板３及びリード２とは接着するが転
写板１とは接着しない接着剤か、相対的に剥離性の良い
接着剤を用いる。

【００２８】而して図５に示すように、上記リード補圧
用の弾性絶縁板３とリード２とが完全に接着した後、即
ち接着剤が固化するまでリード２を転写板１に固定して
おき、接着剤が収縮を止めた後に、上記リード２を弾性
絶縁３と一緒に転写板１から剥離する。

【００２９】斯くして図５に示す弾性絶縁板３を担体と
して、リード２が等ピッチで並列配置された単位リード
群を得、この単位リード群を図６に示すように、合成樹
脂、ガラス、セラミック等から成る比較的剛性が高い絶
縁基板４の表面に接着しプローブユニットを形成する。

【００３０】上記絶縁基板４は図６に示すようにリード
補圧用の弾性絶縁板３が接着されたリード２の反対側の
表面に接着し、リード２の一端が絶縁基板４の縁部から
所定寸法だけ突出した状態とする。

【００３１】即ち、絶縁基板４はリード２の突出しろを
除いた部位において全リードと接着し、上記絶縁基板４
の縁部から突出するリード部分で加圧接触片２ａを形成
する。

【００３２】換言すると絶縁基板４は加圧接触片として
予定するリード２の一端長を除いた他端側全長に亘り接
着してリード全体を担持すると共に上記弾性絶縁板３を
担持する。

【００３３】即ち、上記リード補圧用の弾性絶縁板３は
上記絶縁基板４のリード接着面側の表面に接着固定され
ると共に、絶縁基板４の縁部から張り出されてリード２
をバックアックする。

【００３４】絶縁基板４の縁部から突出されたリード部
分（加圧接触片２ａ）は更にその端部を上記リード補圧
用の弾性絶縁板３の縁部から突出し、その端末を接触対
象との加圧接触に供する。

【００３５】この加圧接触に供されるリード２の端末は
尖鋭にし、この尖鋭部は前記メッキ成長により付形す
る。

【００３６】又上記弾性絶縁板３のリードの一端（先端
側）が突出する側と反対側の縁部からはリードの他端
（基端側）が露出して絶縁基板４の表面に延在し、この
延在部分にて検査装置側との接続２ｂを形成する。

【００３７】従って上記リード補圧用の弾性絶縁板３は
そのリード延在方向の一端を絶縁基板４の縁部から突出
する加圧接触片の基部をバックアップし、同他端を絶縁
基板４の表面に延在するリード部分の一端部表面に接着
し、上記リードの他端部分（基端部分）を露出状態にす
ると共に、弾性絶縁板３を絶縁基板４に固定する。

【００３８】斯くして形成されたプローブユニットは図
１に示すように、ホルダー６に取付け、例えば液晶５の
電極５ａとの加圧接触に供する。

【００３９】プローブユニットは前下りの傾斜角度とな
るようにホルダー６に取付けリード２の加圧接触片の端
末を電極５ａの表面に加圧接触せしめる。

【００４０】上記ホルダー６には上記リード補圧用の弾
性絶縁板３を嵌合する凹所７を形成し、絶縁基板１をリ
ード延在側表面においてホルダー６の下面に添設すると
共に、上記凹所７に弾性絶縁板３を受け入れて凹所内面
で位置規制し、ホルダー６と一体構造とする。上記ホル
ダー６を前傾することによってリード２の加圧接触片２
ａの端末が電極５ａに押し付けられ、この時加圧接触片
２ａは自らの弾性で上反りするのであるが、上記リード
補圧用の弾性絶縁板３はホルダー６に支持されながら、
リードの加圧接触片２によって圧縮され、その反作用と
して加圧接触片２に補圧を圧える。

【００４１】図７は上記第１実施例における変形例を示
す。

【００４２】図６においては、弾性絶縁板３を絶縁基板
４を接着した側と反対側の表面に接着した場合、即ち弾
性絶縁板３と絶縁基板４間にリード２を介在する構成の
プローブユニットを示したが、図７においては弾性絶縁
３を絶縁基板１を接着した側のリード表面においてこれ
をバックアップするように配した例を示している。

【００４３】即ち、絶縁基板４の表面にリード２を並列
状態で延在し、このリード２の一端部を基板４の縁部か
ら所定長だけ突出すると共に、この絶縁基板４の縁部表
面に接着し固定した弾性絶縁板３によって基板４の縁部
から突出する加圧接触片２ａの基部を基板４と同一側に
おいてバックアップする。

【００４４】この場合、リード２の加圧接触片２ａはこ
れをバックアップする弾性絶縁板３とは反対側の端末表
面を受圧端とする。

【００４５】図３乃至図７はリード２一端の加圧接触片
２ａを弾性絶縁板３の縁部より突出させ接触対象との加
圧接触に供する例を示したが、本発明は弾性絶縁板３
が、絶縁基板４の縁部より突出する加圧接触片２ａの各
全長をカバーするようにバックアップする場合を含む。

【００４６】第２実施例（図２、図８乃至図１２） 第１実施例と同様、図８乃至図１１に基いて製造法と構
造を開示する。

【００４７】図８に示す工程は図３に示す工程と全く同
一であり、その説明を援用する。

【００４８】即ち、図３に示すように導電性転写板１の
表面に等ピッチで並列状態に延在する多数のリード２を
メッキ成長させて形成する。

【００４９】次で上記転写板１の表面に延在する全リー
ド２の表面を可撓性を有する絶縁フィルムで覆い同表面
に接着する。

【００５０】この接着は接着剤によるか又は接着剤を使
用せずに熱圧着してフィルムのリードと接する表面を溶
融し接着する。

【００５１】上記絶縁フィルム８は全リード２の略全長
に亘り略全表面を覆うように接着する。又はリード２の
加圧接触片２ａを形成する一端部の端末側を一部分だけ
フィルムの縁部から露出するようにリード表面を覆うよ
うに重ね接着する。

【００５２】このフィルム８の接着は第１実施例と同様
シリコーン系接着剤等の接着剤を用いるか、又は熱圧着
による。

【００５３】この時リード２の他端部の端末側を絶縁フ
ィルムの対向する縁部から露出させることを妨げない。

【００５４】次に、図１０に示すように上記絶縁フィル
ム８の表面にリード補圧用弾性絶縁板３を重ねて接着し
一体とする。このとき弾性絶縁板３は全リード２の中間
延在領域においてその表面を覆うように接着し、同絶縁
板３の対向する一方の縁部から、リード２の一端が絶縁
フィルム８と共に夫々所定寸法だけ突出し且つ同他端が
他方の縁部から絶縁フィルム８と共に夫々所定寸法だけ
突出するように接着する。

【００５５】即ち、リード２の中間延在領域において上
記リード補圧用弾性絶縁板３がフィル８の表面に重ね付
けされ、リード両端はこの弾性絶縁板３の対向する縁部
から絶縁フィルム８と共に露出する。

【００５６】次に図１１に示すように、上記リード２を
絶縁フィルム８及び弾性絶縁板３と一緒に転写板８から
剥離してプローブユニットを形成する。

【００５７】第１実施例に述べた合成樹脂、ガラス、セ
ラミック等から成る絶縁基板４の表面に上記フィルム８
に担持されたリード群を接着しプローブユニットを形成
することができる。

【００５８】又上記弾性絶縁板３はフィルム８の表面に
直接接着せずに、図１２に示すように絶縁フィルム８が
接着されたリード２の反対側の表面に接着し、リード２
の一端が弾性絶縁板３の縁部から絶縁フィルム８と共に
所定寸法だけ突出した状態とし上記弾性絶縁板３でバッ
クアップされた部分と絶縁板３の縁部から突出するリー
ド部分で加圧接触片２ａを形成する。即ち加圧接触片２
ａはその基部をフィルム８と一体なるリード補圧用の弾
性絶縁板３でバックアップされ、図１１とは反対側にお
いてリード端末を接触対象に加圧接触せしめる。

【００５９】即ち、弾性絶縁板３を接着した側と反対側
において加圧接触片２ａの端末を接触対象に加圧接触せ
しめる。

【００６０】従って図１２においては絶縁フィルム８の
端縁から少なくともリード端末を突出させている。

【００６１】適例として上記第２実施例に示す絶縁フィ
ルム８は透視可能な透明若しくは半透明のフィルムを用
いる。

【００６２】リード２は液晶板５の電極５ａの相対関係
を上部より検視する作業があり、上記絶縁フィルム８を
通してその検視を容易にし、フィルム８はリード引き揃
え手段となる。

【００６３】斯くして形成されたプローブユニットは、
例えば図１１に示すプローブユニットは図２に示すよう
に、ホルダー６に取付け、例えば液晶５の電極５ａとの
加圧接触に供する。

【００６４】プローブユニットは前下りの傾斜角度とな
るようにホルダー６に取付けリード２の加圧接触片の端
末を電極５ａの表面に加圧接触せしめる。

【００６５】前記と同様、上記ホルダー６には上記リー
ド補圧用の弾性絶縁板３を嵌合する凹所７を形成し、絶
縁フィルム８をホルダー６の下面に添設すると共に、上
記凹所７に弾性絶縁板３を受け入れて凹所内面で位置規
制し、ホルダー６と一体構造とする。

【００６６】上記ホルダー６を前傾することによってリ
ード２の加圧接触片２ａの端末が電極５ａに押し付けら
れ、この時リード２ａは自らの弾性で上反りするのであ
るが、上記リード補圧用の弾性絶縁板３はホルダー６に
支持されながら、リードの加圧接触片２によって圧縮さ
れ、その反作用として加圧接触片２に補圧を圧える。

【００６７】第３実施例（図１３乃至図１７） 第２実施例においては転写板１の表面においてメッキ成
長させたリード２を可撓性を有する絶縁フィルム８の表
面に転写（接着）する方法を採ったが、第３実施例にお
いては、上記リード２を絶縁フィルム８の表面において
直接メッキ成長させ並列状態に延在せしめる構成として
いる。

【００６８】詳述すると図１３にしめすように、絶縁フ
ィルム８の表面に金属層９を蒸着して導電性を付与し、
この絶縁フィルム８の蒸着金属層９をリード下地とし、
その表面に前記リード２をメッキ成長させる。

【００６９】リード２を等ピッチで並列状態にメッキ成
長させる方法として、図３に基いて説明した既知のアデ
ィティブ法等が適切である。

【００７０】上記リード２を形成した後、リード２間の
蒸着金属層をエッチングで除去し、前記リード補圧用の
弾性絶縁板３を絶縁フィルム８の表面に重ね接着するこ
とによりプローブユニットを形成する。弾性絶縁板３は
リード２を接着した側と反対側のフィルム表面に被着し
フィルム８と一体とするか、又はリード２を接着した側
のフィルム表面にリード２を挟むように被着する。

【００７１】上記弾性絶縁板３の接着領域やリードとの
関係配置は図１０に基いて詳細に説明した通りである。

【００７２】

【発明の効果】この発明によれば、絶縁基板の表面にリ
ードを並列して延在しリード端を基板縁部から突出させ
て加圧接触片を形成するようにしたプローブユニットに
おいて、上記加圧接触片を絶縁基板に固定した弾性絶縁
板でバックアップするように構成したから、リードのバ
ネ定数の不足を上記バックアップによって補い、充分な
接触圧を確保できると共に、加圧接触片の上下のレベ
ル、左右のピッチずれ、捩れ等を有効に防止しで適正な
る加圧接触を確保し信頼性を向上できる。

【００７３】又本来絶縁基板の縁部に加わる加圧接触片
の曲げ負荷を弾性絶縁板で吸収して変形を防止し、又衝
撃を吸収してリードを保護する効果も期待できる。

【００７４】同様に可撓性の絶縁フィルムの表面にリー
ドを並列して延在せしめた場合には、絶縁フィルムはそ
の可撓性によってリードの弾性変位に追随するから、リ
ードの略全長を覆い整列することができ、上記リード端
の加圧接触片の上下、左右の不揃い、捩れ等の解消に極
めて有効である。

【００７５】又絶縁フィルムはリード補圧用弾性絶縁板
と協働してリードの加圧接触力を補完し、微細なリード
であっても加圧接触片による充分な接触圧が確保でき
る。

【００７６】又リードピッチと加圧接触部位の先端形状
等はメッキ成長により与えてピッチ誤差や有害なバリの
発生を解消でき、且つ狭小ピッチ化も容易に達成でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係るプローブユニットによって検査
ユニットを形成した一例を示す断面図である。

【図２】この発明に係るプローブユニットによって検査
ユニットを形成した他例を示す断面図である。

【図３】図３乃至図６はこの発明に係るプローブユニッ
ト（第１実施例）の製造工程を示し、図３は転写板表面
にメッキ成長により形成されたリード群の斜視図であ
る。

【図４】図３のリード群にリード補圧用弾性絶縁板を付
設した転写板の斜視図である。

【図５】図４の転写板から剥離された単位リード群の斜
視図である。

【図６】図５の単位リード群を絶縁基板に取り付けたプ
ローブユニットの斜視図である。

【図７】図６のプローブユニットの変形例を示す断面図
である。

【図８】図８乃至図１１はこの発明に係るプローブユニ
ット（第２実施例）の製造行程を示し、図８は転写板表
面にメッキ成長により形成されたリード群の斜視図であ
る。

【図９】図３のリード群に絶縁フィルムを付設した状態
を一部切欠して示す転写板斜視図である。

【図１０】上記絶縁フィルムにリード補圧用の弾性絶縁
板を付設した状態を一部切欠して示す転写板斜視図であ
る。

【図１１】上記転写板から剥離したプローブユニットを
一部切欠して示す斜視図である。

【図１２】図１１のプローブユニットの変形例を一部切
欠して示す斜視図である。

【図１３】図１３乃至図１７はこの発明に係るプローブ
ユニット（第３実施例）の製造工程を示し、図１３は絶
縁フィルムに金属層を蒸着した状態を示す断面図であ
る。

【図１４】図１３の絶縁フィルム上にリード群をメッキ
成長により形成した状態を示す斜視図である。

【図１５】図１４のリードを施した絶縁フィルムの断面
図である。

【図１６】図１４のリード群にリード補圧用弾性絶縁板
を付設したプローブユニットの斜視図である。

【図１７】図１６のプローブユニットの断面図である。

【符号の説明】

２ リード ３ リード補圧用の弾性絶縁板 ４ 絶縁基板 ８ フィルム

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年２月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】上記リード突出部はその全体をリード補圧
用弾性絶縁板でバックアップするか、又はリード突出部
の先端部を該リード補圧用弾性絶縁板の縁部から突出し
て加圧接触に供する構成とする。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】次に、図４に示すように上記リード２の表
面にリード補圧用弾性絶縁板３を重ね接着する。この時
弾性絶縁板３は全リード２の中間延在領域においてその
表面を覆うように接着し、同絶縁板３の対向する一方の
縁部から、リード２の一端が夫々所定寸法だけ突出し且
つ同他端が他方の縁部から夫々所定寸法だけ突出するよ
うに接着する。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】又上記弾性絶縁板３のリードの一端（先端
側）が突出する側と反対側の縁部からはリードの他端
（基端側）が露出して絶縁基板４の表面に延在し、この
延在部分にて検査装置側との接続片２ｂを形成する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４０】上記ホルダー６には上記リード補圧用の弾
性絶縁板３を嵌合する凹所７を形成し、絶縁基板１をリ
ード延在側表面においてホルダー６の下面に添設すると
共に、上記凹所７に弾性絶縁板３を受け入れて凹所内面
で位置規制し、ホルダー６と一体構造とする。上記ホル
ダー６を前傾することによってリード２の加圧接触片２
ａの端末が電極５ａに押し付けられ、この時加圧接触片
２ａは自らの弾性で上反りするのであるが、上記リード
補圧用の弾性絶縁板３はホルダー６に支持されながら、
リードの加圧接触片２ａによって圧縮され、その反作用
として加圧接触片２ａに補圧を与える。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４２】図６においては、弾性絶縁板３を絶縁基板
４を接着した側と反対側の表面に接着した場合、即ち弾
性絶縁板３と絶縁基板４間にリード２を介在する構成の
プローブユニットを示したが、図７においては弾性絶縁
板３を絶縁基板１を接着した側のリード表面においてこ
れをバックアップするように配した例を示している。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】この場合、リード２の加圧接触片２ａはこ
れをバックアップする弾性絶縁板３とは反対側の端末表
面を加圧端とする。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４８】即ち、図８に示すように導電性転写板１の
表面に等ピッチで並列状態に延在する多数のリード２を
メッキ成長させて形成する。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４９】次で図９に示すように上記転写板１の表面
に延在する全リード２の表面を可撓性を有する絶縁フィ
ルム８で覆い同表面に接着する。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】この接着は接着剤によるか又は接着剤を使
用せずに熱圧着してフィルム８のリードと接する表面を
溶融し接着する。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５６】次に図１１に示すように、上記リード２を
絶縁フィルム８及び弾性絶縁板３と一緒に転写板１から
剥離してプローブユニットを形成する。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５９】即ち、弾性絶縁板３を接着した側と同一側
において加圧接触片２ａの端末を接触対象に加圧接触せ
しめる。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６０

【補正方法】削除

【手続補正１３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６３】斯くして形成されたプローブユニットは、
例えば図１１に示すプローブユニットは図２に示すよう
に、ホルダー６に取付け、例えば液晶板５の電極５ａと
の加圧接触に供する。

【手続補正１４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７２】

【発明の効果】この発明によれば、絶縁基板の表面にリ
ードを並列して延在しリード端を基板縁部から突出させ
て加圧接触片を形成するようにしたプローブユニットに
おいて、上記加圧接触片を絶縁基板に固定した弾性絶縁
板でバックアップするように構成したから、リードのバ
ネ定数の不足を上記バックアップによって補い、充分な
接触圧を確保できると共に、加圧接触片の上下のレベ
ル、左右のピッチずれ、捩れ等を有効に防止して適正な
る加圧接触を確保し信頼性を向上できる。

【手続補正１５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】図８乃至図１１はこの発明に係るプローブユニ
ット（第２実施例）の製造工程を示し、図８は転写板表
面にメッキ成長により形成されたリード群の斜視図であ
る。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁基板の表面に多数のリードが並列して
   延在し、該リードの一端を絶縁基板の縁部から突出し、
   該リード突出部を絶縁基板に固定されたリード補圧用弾
   性絶縁板でバックアップし加圧接触に供する構成とした
   ことを特徴とするプローブユニット。
2. 【請求項２】上記リード突出部の端部を該リード補圧用
   弾性絶縁板の縁部から突出して上記加圧接触に供する構
   成としたことを特徴とする請求項１記載のプローブユニ
   ット。
3. 【請求項３】絶縁フィルムの表面に並列して延在する多
   数のリードを、該絶縁フィルムと一体なリード補圧用弾
   性絶縁板でバックアップし、上記リードの一端を上記絶
   縁フィルムと共にリード補圧用弾性絶縁板の縁部から突
   出し加圧接触に供する構成としたことを特徴とするプロ
   ーブユニット。
4. 【請求項４】上記リード補圧用弾性絶縁板が上記絶縁フ
   ィルムのリードを延在する側と反対側の表面に接着され
   ていることを特徴とする請求項２記載のプローブユニッ
   ト。
5. 【請求項５】上記リードがメッキ成長にて形成されてい
   ることを特徴とする請求項１、３項記載のプローブユニ
   ット。