JPH08242070A - 半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置 - Google Patents
半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置Info
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- JPH08242070A JPH08242070A JP7045349A JP4534995A JPH08242070A JP H08242070 A JPH08242070 A JP H08242070A JP 7045349 A JP7045349 A JP 7045349A JP 4534995 A JP4534995 A JP 4534995A JP H08242070 A JPH08242070 A JP H08242070A
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- H05K3/3465—Application of solder
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
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- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置運転中の半田ボールの補充を可能にする
と共に、単純な構造で、半田ボールを確実に整列させか
つパッケージに確実に装着することができる半田ボール
搭載装置およびその半田ボール供給装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 上側から供給された端子用の半田ボールＢを
吸着によりアレイ状に整列させる整列テーブル２５と、
整列テーブル２５を反転させ、整列テーブル２５上に吸
着した半田ボールＢをプリント基板Ｐａに装着する反転
機構２１と、整列テーブル２５の上側に配設され、貯留
している半田ボールＢを落下により整列テーブル２５に
供給する供給容器４１と、整列テーブル２５の下側に配
設され、整列テーブル２５から溢れ落ちた余剰の半田ボ
ールＢを受ける回収容器４２と、半田ボールＢを回収容
器４２から供給容器４１に搬送する搬送手段４３とを備
えたものである。
と共に、単純な構造で、半田ボールを確実に整列させか
つパッケージに確実に装着することができる半田ボール
搭載装置およびその半田ボール供給装置を提供すること
を目的とする。 【構成】 上側から供給された端子用の半田ボールＢを
吸着によりアレイ状に整列させる整列テーブル２５と、
整列テーブル２５を反転させ、整列テーブル２５上に吸
着した半田ボールＢをプリント基板Ｐａに装着する反転
機構２１と、整列テーブル２５の上側に配設され、貯留
している半田ボールＢを落下により整列テーブル２５に
供給する供給容器４１と、整列テーブル２５の下側に配
設され、整列テーブル２５から溢れ落ちた余剰の半田ボ
ールＢを受ける回収容器４２と、半田ボールＢを回収容
器４２から供給容器４１に搬送する搬送手段４３とを備
えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半田ボールでバンプを
形成する為の半田ボール搭載装置およびその半田ボール
供給装置に関するものである。
形成する為の半田ボール搭載装置およびその半田ボール
供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の半田ボール搭載装置とし
て、例えば図５に示すものが知られている。同図に示す
ように、この半田ボール搭載装置１０１は、半田ボール
Ｂを整列供給する整列ユニット１０２と、整列ユニット
１０２から整列供給された半田ボールＢをパッケージＰ
に装着（搭載）する装着ユニット１０３とで構成されて
いる。装着ユニット１０３は、基台上に進退自在に設け
たスライドベース１１１と、スライドベース１１１上に
固定した反転機構１１２と、スライドベース１１１上に
昇降自在に設けられたパッケージ載置台１１３とを備え
ている。反転機構１１２は、支持台１１４と、支持台１
１４に回動自在に取り付けられた反転アーム１１５と、
反転アーム１１５の先端に固定された整列テーブル１１
６とで構成されており、整列テーブル１１６には、パッ
ケージＰの半田ボール実装パターン（一般的にはマトリ
クス状）に合致する吸着孔１１６ａが多数形成されてい
る。整列ユニット１０２から供給された半田ボールＢ
は、多数の吸着孔１１６ａに漏れなく吸着され、反転ア
ーム１１５の回動により、パッケージ載置台１１３にセ
ットされたパッケージＰまで反転移送され、吸着を解い
てその基板面に装着される。
て、例えば図５に示すものが知られている。同図に示す
ように、この半田ボール搭載装置１０１は、半田ボール
Ｂを整列供給する整列ユニット１０２と、整列ユニット
１０２から整列供給された半田ボールＢをパッケージＰ
に装着（搭載）する装着ユニット１０３とで構成されて
いる。装着ユニット１０３は、基台上に進退自在に設け
たスライドベース１１１と、スライドベース１１１上に
固定した反転機構１１２と、スライドベース１１１上に
昇降自在に設けられたパッケージ載置台１１３とを備え
ている。反転機構１１２は、支持台１１４と、支持台１
１４に回動自在に取り付けられた反転アーム１１５と、
反転アーム１１５の先端に固定された整列テーブル１１
６とで構成されており、整列テーブル１１６には、パッ
ケージＰの半田ボール実装パターン（一般的にはマトリ
クス状）に合致する吸着孔１１６ａが多数形成されてい
る。整列ユニット１０２から供給された半田ボールＢ
は、多数の吸着孔１１６ａに漏れなく吸着され、反転ア
ーム１１５の回動により、パッケージ載置台１１３にセ
ットされたパッケージＰまで反転移送され、吸着を解い
てその基板面に装着される。
【０００３】一方、整列ユニット１０２は、半田ボール
Ｂを保留する保留容器１２１と、保留容器１２１内の半
田ボールＢを上記の整列テーブル１１６に搬送すると共
に余剰の半田ボールＢを整列テーブル１１６から回収す
るための各種の搬送装置１２７，１２８，１２９と、保
留容器１２１から供給された半田ボールＢを整列テーブ
ル１１６上に整列させる整列ヘッド１２２とを備えてい
る。保留容器１２１は、下部に半田ボールＢを保留する
ストック部１２３が、中間部に定量カップ１２４を備え
た供給部１２５が、そして上部に整列ヘッド１２２から
回収した余剰の半田ボールＢとストック部１２３から供
給した半田ボールＢとを舞上げながら定量カップ１２４
に送る回収部１２６が、それぞれ設けられている。
Ｂを保留する保留容器１２１と、保留容器１２１内の半
田ボールＢを上記の整列テーブル１１６に搬送すると共
に余剰の半田ボールＢを整列テーブル１１６から回収す
るための各種の搬送装置１２７，１２８，１２９と、保
留容器１２１から供給された半田ボールＢを整列テーブ
ル１１６上に整列させる整列ヘッド１２２とを備えてい
る。保留容器１２１は、下部に半田ボールＢを保留する
ストック部１２３が、中間部に定量カップ１２４を備え
た供給部１２５が、そして上部に整列ヘッド１２２から
回収した余剰の半田ボールＢとストック部１２３から供
給した半田ボールＢとを舞上げながら定量カップ１２４
に送る回収部１２６が、それぞれ設けられている。
【０００４】ストック部１２３の半田ボールＢは、外部
から吹き込まれたエアーにより舞上げられ、この状態で
内部搬送装置１２７により、ストック部１２３から回収
部１２６に送られる。回収部１２６では、ストック部１
２３から送り込まれた半田ボールＢと回収された半田ボ
ールＢとが、吹き上げられるようにして合流し、更に落
下して、供給部１２５の定量カップ１２４に送られる。
定量カップ１２４に集積した半田ボールＢは、外部から
吹き込まれたエアーにより舞上げられ、この状態で外部
搬送装置１２８により、整列ヘッド１２２にエアー搬送
される。整列ヘッド１２２には、整列テーブル１１６に
密着して整列室１２２ａが設けられており、半田ボール
Ｂは、整列室１２２ａに吹き込んだエアーにより攪拌さ
れながら、整列テーブル１１６の各吸着孔１１６ａにエ
アー吸着される。整列検査により、半田ボールＢが全て
の吸着孔１１６ａに吸着されたことが確認されると、再
度、余剰の半田ボールＢが吹き上げられ、今度は回収搬
送装置１２９により、保留容器１２１の回収部１２６に
エアー搬送される。
から吹き込まれたエアーにより舞上げられ、この状態で
内部搬送装置１２７により、ストック部１２３から回収
部１２６に送られる。回収部１２６では、ストック部１
２３から送り込まれた半田ボールＢと回収された半田ボ
ールＢとが、吹き上げられるようにして合流し、更に落
下して、供給部１２５の定量カップ１２４に送られる。
定量カップ１２４に集積した半田ボールＢは、外部から
吹き込まれたエアーにより舞上げられ、この状態で外部
搬送装置１２８により、整列ヘッド１２２にエアー搬送
される。整列ヘッド１２２には、整列テーブル１１６に
密着して整列室１２２ａが設けられており、半田ボール
Ｂは、整列室１２２ａに吹き込んだエアーにより攪拌さ
れながら、整列テーブル１１６の各吸着孔１１６ａにエ
アー吸着される。整列検査により、半田ボールＢが全て
の吸着孔１１６ａに吸着されたことが確認されると、再
度、余剰の半田ボールＢが吹き上げられ、今度は回収搬
送装置１２９により、保留容器１２１の回収部１２６に
エアー搬送される。
【０００５】一方、半田ボールＢは、搬送に基づく摩擦
により帯電し（静電気）、保留容器１２１の内壁や各種
の搬送用ホースの内面に付着してしまい、これが搬送に
おける大きな障害となる。そこで、上記の整列ユニット
１０２では、保留容器１２１を金属容器で構成すると共
に、半田ボールＢの搬送に伴い、半田ボールＢを吹き上
げるようにしている。
により帯電し（静電気）、保留容器１２１の内壁や各種
の搬送用ホースの内面に付着してしまい、これが搬送に
おける大きな障害となる。そこで、上記の整列ユニット
１０２では、保留容器１２１を金属容器で構成すると共
に、半田ボールＢの搬送に伴い、半田ボールＢを吹き上
げるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の半田
ボール搭載装置では、半田ボールＢを整列テーブル１１
６に供給すると共に、余剰の半田ボールＢを回収するた
めに、整列ユニット１０２が極めて複雑な構成になって
おり、コストアップになる問題があった。また、整列ユ
ニット１０２の供給・回収系が閉回路構成となっている
ため、装置の運転中に半田ボールＢを補充することがで
きない不具合があった。さらに、半田ボールＢは搬送中
に帯電し易いため、保留容器１２１を金属容器で構成し
ても、静電気対策が十分ではなかった。
ボール搭載装置では、半田ボールＢを整列テーブル１１
６に供給すると共に、余剰の半田ボールＢを回収するた
めに、整列ユニット１０２が極めて複雑な構成になって
おり、コストアップになる問題があった。また、整列ユ
ニット１０２の供給・回収系が閉回路構成となっている
ため、装置の運転中に半田ボールＢを補充することがで
きない不具合があった。さらに、半田ボールＢは搬送中
に帯電し易いため、保留容器１２１を金属容器で構成し
ても、静電気対策が十分ではなかった。
【０００７】本発明は、装置運転中の半田ボールの補充
を可能にすると共に、単純な構造で、半田ボールを確実
に整列させかつパッケージに確実に装着することができ
る半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置を
提供することをその目的としている。
を可能にすると共に、単純な構造で、半田ボールを確実
に整列させかつパッケージに確実に装着することができ
る半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置を
提供することをその目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１の本発明は、略水平に配設され、上側から供給さ
れた端子用の半田ボールを吸着によりアレイ状に整列さ
せる整列テーブルと、整列テーブルを反転させ、整列テ
ーブル上に吸着した半田ボールをプリント基板に装着す
る反転機構と、整列テーブルの上側に配設され、貯留し
ている半田ボールを落下により整列テーブルに供給する
供給容器と、整列テーブルの下側に配設され、整列テー
ブルから溢れ落ちた余剰の半田ボールを受ける回収容器
と、半田ボールを回収容器から供給容器に搬送する搬送
手段とを備えたことを特徴とする。
求項１の本発明は、略水平に配設され、上側から供給さ
れた端子用の半田ボールを吸着によりアレイ状に整列さ
せる整列テーブルと、整列テーブルを反転させ、整列テ
ーブル上に吸着した半田ボールをプリント基板に装着す
る反転機構と、整列テーブルの上側に配設され、貯留し
ている半田ボールを落下により整列テーブルに供給する
供給容器と、整列テーブルの下側に配設され、整列テー
ブルから溢れ落ちた余剰の半田ボールを受ける回収容器
と、半田ボールを回収容器から供給容器に搬送する搬送
手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】請求項１において、供給容器から整列テー
ブルへの半田ボールの落下が、自由落下であることが、
好ましい。
ブルへの半田ボールの落下が、自由落下であることが、
好ましい。
【００１０】請求項１または２において、供給容器は密
封容器であり、搬送手段は、真空吸引装置と、一端が真
空吸引装置に接続され他端が供給容器に接続された真空
用ホースと、一端が回収容器に接続され他端が供給容器
内に差し込まれた搬送用ホースとを有することが、好ま
しい。
封容器であり、搬送手段は、真空吸引装置と、一端が真
空吸引装置に接続され他端が供給容器に接続された真空
用ホースと、一端が回収容器に接続され他端が供給容器
内に差し込まれた搬送用ホースとを有することが、好ま
しい。
【００１１】請求項３において、真空用ホースの他端は
供給容器の上端部に接続され、搬送用ホースの一端は回
収容器の底部に接続されていることが、好ましい。
供給容器の上端部に接続され、搬送用ホースの一端は回
収容器の底部に接続されていることが、好ましい。
【００１２】請求項１ないし４のいずれか１項におい
て、回収容器および供給容器を含んで回収容器から供給
容器に至る半田ボールの搬送経路に、静電気を除電する
静電気除去手段を、更に備えることが好ましい。
て、回収容器および供給容器を含んで回収容器から供給
容器に至る半田ボールの搬送経路に、静電気を除電する
静電気除去手段を、更に備えることが好ましい。
【００１３】請求項６において、静電気除去手段は、半
田ボールの搬送経路を構成する回収容器、搬送用ホース
および供給容器のうちの少なくとも搬送用ホースに内在
させたアース線であることが、好ましい。
田ボールの搬送経路を構成する回収容器、搬送用ホース
および供給容器のうちの少なくとも搬送用ホースに内在
させたアース線であることが、好ましい。
【００１４】請求項１ないし７のいずれか１項におい
て、少なくとも供給容器の一部が、貯留している半田ボ
ールを外部から視認可能な透明な材料で構成されている
ことが、好ましい。
て、少なくとも供給容器の一部が、貯留している半田ボ
ールを外部から視認可能な透明な材料で構成されている
ことが、好ましい。
【００１５】請求項３、４、６、７または８において、
供給容器は、その下部がロート状に形成されると共にそ
の下端部に半田ボールを払い出す開閉ゲートを有してお
り、開閉ゲートの開放動作に先立ち、かつこれに続く閉
塞動作に先立ち、真空吸引装置を駆動させる制御手段を
更に備えることが、好ましい。
供給容器は、その下部がロート状に形成されると共にそ
の下端部に半田ボールを払い出す開閉ゲートを有してお
り、開閉ゲートの開放動作に先立ち、かつこれに続く閉
塞動作に先立ち、真空吸引装置を駆動させる制御手段を
更に備えることが、好ましい。
【００１６】請求項１ないし９のいずれか１項におい
て、整列テーブルを傾動させる傾動機構を、更に備える
ことが好ましい。
て、整列テーブルを傾動させる傾動機構を、更に備える
ことが好ましい。
【００１７】請求項１ないし１０のいずれか１項におい
て、吸着されていない余剰の半田ボールを整列テーブル
上から吹き落とす吹落し手段を、更に備えることが好ま
しい。
て、吸着されていない余剰の半田ボールを整列テーブル
上から吹き落とす吹落し手段を、更に備えることが好ま
しい。
【００１８】請求項１ないし１１のいずれか１項におい
て、回収容器の縁部が、整列テーブルの上方まで立ち上
がっていることが、好ましい。
て、回収容器の縁部が、整列テーブルの上方まで立ち上
がっていることが、好ましい。
【００１９】また、請求項１３の発明は、貯留している
半田ボールを落下により所定量、整列テーブル上に供給
する半田ボール搭載装置の半田ボール供給装置におい
て、半田ボールを貯留すると共に、下部がロート状に形
成された供給容器と、供給容器の上部に連結され、供給
容器内のエアーを吸引して半田ボールの自由落下を阻止
可能な真空吸引手段と、真空吸引手段の駆動をＯＮ−Ｏ
ＦＦする制御手段とを備えたことを特徴とする。
半田ボールを落下により所定量、整列テーブル上に供給
する半田ボール搭載装置の半田ボール供給装置におい
て、半田ボールを貯留すると共に、下部がロート状に形
成された供給容器と、供給容器の上部に連結され、供給
容器内のエアーを吸引して半田ボールの自由落下を阻止
可能な真空吸引手段と、真空吸引手段の駆動をＯＮ−Ｏ
ＦＦする制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００２０】請求項１４において、真空吸引手段が、供
給容器の上部のうちの上端部に連結されていることが、
好ましい。
給容器の上部のうちの上端部に連結されていることが、
好ましい。
【００２１】
【作用】請求項１の半田ボール搭載装置によれば、供給
容器に貯留されている半田ボールは、適宜、整列テーブ
ルに供給され、整列テーブルでアレイ状に整列される。
その際、余剰の半田ボールは、整列テーブルから溢れ落
ちて回収容器に受けられ、搬送手段により回収容器から
供給容器に搬送（回収）される。一方、半田ボールを整
列状態で吸着した整列テーブルは、反転機構により反転
され、これにより、半田ボールはプリント基板に整列し
た状態で装着される。この場合、半田ボールは、供給容
器から整列テーブルに上側から落下により供給されると
共に、その際の余剰の半田ボールは、整列テーブルの下
側で回収容器に受けられるため、供給および回収系を単
純な構造にすることができる。また、この供給・回収系
は、大気に開放された開放回路構造になっているため、
単に回収容器に半田ボールを投入するだけで、装置全体
の運転を停止することなく、半田ボールを補充すること
ができる。
容器に貯留されている半田ボールは、適宜、整列テーブ
ルに供給され、整列テーブルでアレイ状に整列される。
その際、余剰の半田ボールは、整列テーブルから溢れ落
ちて回収容器に受けられ、搬送手段により回収容器から
供給容器に搬送（回収）される。一方、半田ボールを整
列状態で吸着した整列テーブルは、反転機構により反転
され、これにより、半田ボールはプリント基板に整列し
た状態で装着される。この場合、半田ボールは、供給容
器から整列テーブルに上側から落下により供給されると
共に、その際の余剰の半田ボールは、整列テーブルの下
側で回収容器に受けられるため、供給および回収系を単
純な構造にすることができる。また、この供給・回収系
は、大気に開放された開放回路構造になっているため、
単に回収容器に半田ボールを投入するだけで、装置全体
の運転を停止することなく、半田ボールを補充すること
ができる。
【００２２】請求項２の半田ボール搭載装置によれば、
供給容器から整列テーブルへの半田ボールの落下が、自
由落下であることにより、強制落下のものに比してより
一層、構造を単純化することができる。
供給容器から整列テーブルへの半田ボールの落下が、自
由落下であることにより、強制落下のものに比してより
一層、構造を単純化することができる。
【００２３】請求項３の半田ボール搭載装置によれば、
搬送手段を、真空吸引装置と、一端が真空吸引装置に接
続され他端が供給容器に接続された真空用ホースと、一
端が回収容器に接続され他端が供給容器内に差し込まれ
た搬送用ホースとで構成することにより、真空用ホース
を介して、真空吸引装置により供給容器内のエアーを抜
くことで、搬送用ホースを介して半田ボールを、詰まり
を生ずることなく、回収容器から供給容器に搬送するこ
とができる。また、回収容器の上部は開放されているた
め、ここから半田ボールを投入すれば、供給容器に半田
ボールを簡単に補充することができる。
搬送手段を、真空吸引装置と、一端が真空吸引装置に接
続され他端が供給容器に接続された真空用ホースと、一
端が回収容器に接続され他端が供給容器内に差し込まれ
た搬送用ホースとで構成することにより、真空用ホース
を介して、真空吸引装置により供給容器内のエアーを抜
くことで、搬送用ホースを介して半田ボールを、詰まり
を生ずることなく、回収容器から供給容器に搬送するこ
とができる。また、回収容器の上部は開放されているた
め、ここから半田ボールを投入すれば、供給容器に半田
ボールを簡単に補充することができる。
【００２４】請求項４の半田ボール搭載装置によれば、
真空用ホースの他端が供給容器の上端部に接続され、搬
送用ホースの一端が回収容器の底部に接続されているこ
とにより、供給容器内の半田ボールを、真空用ホースが
吸い上げてしまうのを有効に防止することができると共
に、回収容器の半田ボールを、搬送用ホースにより効率
よく吸い上げる（搬送する）ことができる。
真空用ホースの他端が供給容器の上端部に接続され、搬
送用ホースの一端が回収容器の底部に接続されているこ
とにより、供給容器内の半田ボールを、真空用ホースが
吸い上げてしまうのを有効に防止することができると共
に、回収容器の半田ボールを、搬送用ホースにより効率
よく吸い上げる（搬送する）ことができる。
【００２５】請求項５および６の半田ボール搭載装置に
よれば、回収容器および供給容器を含んで回収容器から
供給容器に至る半田ボールの搬送経路に、静電気を除電
する静電気除去手段を備えることにより、帯電した半田
ボールを除電することができ、搬送経路内における半田
ボールの詰まり、搬送不良、供給不良等を、簡単に解消
することができる。
よれば、回収容器および供給容器を含んで回収容器から
供給容器に至る半田ボールの搬送経路に、静電気を除電
する静電気除去手段を備えることにより、帯電した半田
ボールを除電することができ、搬送経路内における半田
ボールの詰まり、搬送不良、供給不良等を、簡単に解消
することができる。
【００２６】請求項７の半田ボール搭載装置によれば、
静電気除去手段を、半田ボールの搬送経路を構成する回
収容器、搬送用ホースおよび供給容器のうちの少なくと
も搬送用ホースに内在させたアース線で構成することに
より、最も帯電し易い搬送用ホース内での半田ボールの
除電が可能となり、半田ボールの除電を効率よくかつ確
実に行うことができる。しかも、この静電気除去手段を
極めて簡単な構造で達成することができる。また、アー
ス線の先端を供給容器内の半田ボールにたらし込むよう
にすれば、あえて供給容器を金属容器にする必要がなく
なる。
静電気除去手段を、半田ボールの搬送経路を構成する回
収容器、搬送用ホースおよび供給容器のうちの少なくと
も搬送用ホースに内在させたアース線で構成することに
より、最も帯電し易い搬送用ホース内での半田ボールの
除電が可能となり、半田ボールの除電を効率よくかつ確
実に行うことができる。しかも、この静電気除去手段を
極めて簡単な構造で達成することができる。また、アー
ス線の先端を供給容器内の半田ボールにたらし込むよう
にすれば、あえて供給容器を金属容器にする必要がなく
なる。
【００２７】請求項８の半田ボール搭載装置によれば、
少なくとも供給容器の一部が、貯留している半田ボール
を外部から視認可能な透明な材料で構成されていること
により、供給容器内の半田ボールの残量が目視でき、半
田ボールを安定して補充することができる。このこと
は、装置の運転中に半田ボールを補充することができる
ことと相俟って、極めて有効に機能する。
少なくとも供給容器の一部が、貯留している半田ボール
を外部から視認可能な透明な材料で構成されていること
により、供給容器内の半田ボールの残量が目視でき、半
田ボールを安定して補充することができる。このこと
は、装置の運転中に半田ボールを補充することができる
ことと相俟って、極めて有効に機能する。
【００２８】請求項９の半田ボール搭載装置によれば、
供給容器の開閉ゲートの開弁動作に先立ち、かつ続く閉
弁動作に先立ち、真空吸引装置を駆動させる制御手段を
備えることにより、開閉ゲートの開放動作および閉塞動
作の際に、供給容器内の半田ボールを、重力に抗してわ
ずかに浮かせることができ、開閉ゲートに半田ボールが
噛む等の、開閉ゲートと半田ボールとの干渉を防止する
ことができる。これにより、開閉ゲートの開閉動作に支
障生ずることなく、かつ変形した不良な半田ボールが整
列テーブルに供給されるなどの不具合が解消される。ま
た、開閉ゲートが開放しても半田ボールが落下しないよ
うにすれば、真空吸引装置のＯＮ−ＯＦＦにより、半田
ボールの払出しを制御することができ、真空吸引装置を
主ゲートとして機能させることができる。すなわち、定
常時において、開閉ゲートを閉塞しておいて真空吸引装
置のＯＮすれば、請求項２に如く半田ボールの回収およ
び補充が可能になり、開閉ゲートの開閉に連動して真空
吸引装置のＯＮ−ＯＦＦすれば、堰板の無い半田ボール
供給用の開閉ゲートを構成することができる。なお、こ
の場合の開閉ゲートは開閉弁および開閉コック等を含む
ものである。
供給容器の開閉ゲートの開弁動作に先立ち、かつ続く閉
弁動作に先立ち、真空吸引装置を駆動させる制御手段を
備えることにより、開閉ゲートの開放動作および閉塞動
作の際に、供給容器内の半田ボールを、重力に抗してわ
ずかに浮かせることができ、開閉ゲートに半田ボールが
噛む等の、開閉ゲートと半田ボールとの干渉を防止する
ことができる。これにより、開閉ゲートの開閉動作に支
障生ずることなく、かつ変形した不良な半田ボールが整
列テーブルに供給されるなどの不具合が解消される。ま
た、開閉ゲートが開放しても半田ボールが落下しないよ
うにすれば、真空吸引装置のＯＮ−ＯＦＦにより、半田
ボールの払出しを制御することができ、真空吸引装置を
主ゲートとして機能させることができる。すなわち、定
常時において、開閉ゲートを閉塞しておいて真空吸引装
置のＯＮすれば、請求項２に如く半田ボールの回収およ
び補充が可能になり、開閉ゲートの開閉に連動して真空
吸引装置のＯＮ−ＯＦＦすれば、堰板の無い半田ボール
供給用の開閉ゲートを構成することができる。なお、こ
の場合の開閉ゲートは開閉弁および開閉コック等を含む
ものである。
【００２９】請求項１０の半田ボール搭載装置によれ
ば、整列テーブルを傾動させる傾動機構を備えることに
より、整列テーブルに供給された半田ボールのうち、整
列テーブルに吸着された半田ボール以外の余剰の半田ボ
ールのみを回収容器に簡単に落下させることができる。
ば、整列テーブルを傾動させる傾動機構を備えることに
より、整列テーブルに供給された半田ボールのうち、整
列テーブルに吸着された半田ボール以外の余剰の半田ボ
ールのみを回収容器に簡単に落下させることができる。
【００３０】請求項１１の半田ボール搭載装置によれ
ば、吸着されていない余剰の半田ボールを整列テーブル
上から吹き落とす吹落し手段を備えることにより、整列
テーブル上の余剰の半田ボールを回収容器に簡単に落下
させることができる。また、上記傾動機構を併用すれ
ば、整列テーブル上の余剰の半田ボールのみを回収容器
に確実に落下させることができる。
ば、吸着されていない余剰の半田ボールを整列テーブル
上から吹き落とす吹落し手段を備えることにより、整列
テーブル上の余剰の半田ボールを回収容器に簡単に落下
させることができる。また、上記傾動機構を併用すれ
ば、整列テーブル上の余剰の半田ボールのみを回収容器
に確実に落下させることができる。
【００３１】請求項１２の半田ボール搭載装置によれ
ば、回収容器の縁部が、整列テーブルの上方まで立ち上
がっていることにより、自由落下による供給の際に、整
列テーブル上でバウンドした半田ボールが回収容器の外
に落下することがなく、かつ上記の吹落としの際にも、
半田ボールが回収容器の外に落下することがなく、半田
ボールを漏れなく回収することができる。
ば、回収容器の縁部が、整列テーブルの上方まで立ち上
がっていることにより、自由落下による供給の際に、整
列テーブル上でバウンドした半田ボールが回収容器の外
に落下することがなく、かつ上記の吹落としの際にも、
半田ボールが回収容器の外に落下することがなく、半田
ボールを漏れなく回収することができる。
【００３２】請求項１３の半田ボール供給装置によれ
ば、制御手段により真空吸引手段の駆動をＯＮして供給
容器内のエアーを吸引すると、半田ボールは重力に抗し
てその落下を阻止される。一方、この状態から真空吸引
手段の駆動をＯＦＦすると、半田ボールはその重みで供
給容器から整列テーブル上に落下する。すなわち、真空
吸引手段のＯＮ−ＯＦＦが、半田ボールの供給を制御す
るゲート、弁、コック等として機能する。これにより、
堰板の無いゲート（弁座の無い弁、コック）を構成する
ことができ、半田ボールを円滑に供給することができる
と共に、半田ボールの損傷を防止することができる。
ば、制御手段により真空吸引手段の駆動をＯＮして供給
容器内のエアーを吸引すると、半田ボールは重力に抗し
てその落下を阻止される。一方、この状態から真空吸引
手段の駆動をＯＦＦすると、半田ボールはその重みで供
給容器から整列テーブル上に落下する。すなわち、真空
吸引手段のＯＮ−ＯＦＦが、半田ボールの供給を制御す
るゲート、弁、コック等として機能する。これにより、
堰板の無いゲート（弁座の無い弁、コック）を構成する
ことができ、半田ボールを円滑に供給することができる
と共に、半田ボールの損傷を防止することができる。
【００３３】請求項１４の半田ボール供給装置によれ
ば、真空吸引手段が、供給容器の上部のうちの上端部に
連結されていることにより、真空吸引手段の吸引力が強
くても、真空吸引手段が、供給容器内の半田ボールを吸
い上げてしまうのを有効に防止することができる。
ば、真空吸引手段が、供給容器の上部のうちの上端部に
連結されていることにより、真空吸引手段の吸引力が強
くても、真空吸引手段が、供給容器内の半田ボールを吸
い上げてしまうのを有効に防止することができる。
【００３４】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の一実施
例に係る半田ボール搭載装置について説明する。なお、
理解を容易にするため、本装置により半田ボールが搭載
されるパッケージ（デバイス）の好適な一例を、先に説
明することとする。図３はこのパッケージの断面図であ
り、図４はその裏面図である。両図に示すように、この
パッケージＰは、表面実装形のＢＧＡパッケージであ
り、プリント基板Ｐａの表面には、ＩＣチップＰｂがモ
ールド樹脂Ｐｃにより封止されている。プリント基板Ｐ
ａの裏面には、端子を構成する多数の半田バンプＰｄが
マトリクス状に実装されたおり、この半田バンプＰｄ
は、プリント基板Ｐａの各ランドに塗布したフラックス
に半田ボールＢを搭載し、これをリフローすることによ
り構成される。
例に係る半田ボール搭載装置について説明する。なお、
理解を容易にするため、本装置により半田ボールが搭載
されるパッケージ（デバイス）の好適な一例を、先に説
明することとする。図３はこのパッケージの断面図であ
り、図４はその裏面図である。両図に示すように、この
パッケージＰは、表面実装形のＢＧＡパッケージであ
り、プリント基板Ｐａの表面には、ＩＣチップＰｂがモ
ールド樹脂Ｐｃにより封止されている。プリント基板Ｐ
ａの裏面には、端子を構成する多数の半田バンプＰｄが
マトリクス状に実装されたおり、この半田バンプＰｄ
は、プリント基板Ｐａの各ランドに塗布したフラックス
に半田ボールＢを搭載し、これをリフローすることによ
り構成される。
【００３５】半田バンプＰｄをアレイ状に実装する実装
パターンは、上記のマトリクス（格子）タイプおよびス
テッガ（千鳥）タイプがあり、いずれも多端子・広ピッ
チが可能であり、いわゆる近年の多ピン化において、Ｑ
ＦＰ（Ｑｕａｄ ＦｌａｔＰａｃｋａｇｅ）に比して優
れたものとなっている。また、半田バンプＰｄの実装領
域は、図４のようにプリント基板Ｐａの全域に配列する
ものと、プリント基板Ｐａの周縁部に配列するものとが
あり、後者は、特にキャビティダウンタイプのパッケー
ジに採用されている。なお、本説明ではプラスチックＢ
ＧＡを一例としたが、他のパッケージ構造を採るＢＧ
Ａ、例えばセラミックＢＧＡやＴＡＢフィルムをベース
としたＢＧＡ等、多種にわたるものがあることは、いう
までもない。
パターンは、上記のマトリクス（格子）タイプおよびス
テッガ（千鳥）タイプがあり、いずれも多端子・広ピッ
チが可能であり、いわゆる近年の多ピン化において、Ｑ
ＦＰ（Ｑｕａｄ ＦｌａｔＰａｃｋａｇｅ）に比して優
れたものとなっている。また、半田バンプＰｄの実装領
域は、図４のようにプリント基板Ｐａの全域に配列する
ものと、プリント基板Ｐａの周縁部に配列するものとが
あり、後者は、特にキャビティダウンタイプのパッケー
ジに採用されている。なお、本説明ではプラスチックＢ
ＧＡを一例としたが、他のパッケージ構造を採るＢＧ
Ａ、例えばセラミックＢＧＡやＴＡＢフィルムをベース
としたＢＧＡ等、多種にわたるものがあることは、いう
までもない。
【００３６】実施例の半田ボール搭載装置は、上記の半
田バンプＰｄを構成する半田ボールＢを、フラックスが
塗布されたプリント基板（実際にはこの時点でデバイス
として作り込まれている）Ｐａに装着（搭載）するもの
であり、所定のピン数（端子数）の半田ボールＢを、予
めアレイ状（マトリクス状）に整列させておいて、これ
を一括してプリント基板Ｐａに装着するものである。図
１は実施例の半田ボール搭載装置の全体構成を表した側
面図であり、図２はその要部の拡大図である。
田バンプＰｄを構成する半田ボールＢを、フラックスが
塗布されたプリント基板（実際にはこの時点でデバイス
として作り込まれている）Ｐａに装着（搭載）するもの
であり、所定のピン数（端子数）の半田ボールＢを、予
めアレイ状（マトリクス状）に整列させておいて、これ
を一括してプリント基板Ｐａに装着するものである。図
１は実施例の半田ボール搭載装置の全体構成を表した側
面図であり、図２はその要部の拡大図である。
【００３７】両図に示すように、この半田ボール搭載装
置１は、半田ボールＢを整列供給する整列ユニット２
と、整列ユニット２から整列供給された半田ボールＢを
パッケージＰのプリント基板Ｐａに装着する装着ユニッ
ト３と、これら整列ユニット２および装着ユニット３に
適宜接続された真空吸引ユニット（真空吸引装置）４
と、装着ユニット３に接続された圧縮空気供給ユニット
（圧縮空気供給装置）５と、これら真空吸引ユニット４
および圧縮空気供給ユニット５を制御するコントローラ
（制御手段）６とを備え、これに、画像認識用のカメラ
ユニット７、フラックス供給用のシリンジ８、フラック
スのスキージとワーク送りとを兼ねるワーク送りシリン
ダ９およびワーク移送用の吸着シリンダ１０を搭載し
て、構成されている。
置１は、半田ボールＢを整列供給する整列ユニット２
と、整列ユニット２から整列供給された半田ボールＢを
パッケージＰのプリント基板Ｐａに装着する装着ユニッ
ト３と、これら整列ユニット２および装着ユニット３に
適宜接続された真空吸引ユニット（真空吸引装置）４
と、装着ユニット３に接続された圧縮空気供給ユニット
（圧縮空気供給装置）５と、これら真空吸引ユニット４
および圧縮空気供給ユニット５を制御するコントローラ
（制御手段）６とを備え、これに、画像認識用のカメラ
ユニット７、フラックス供給用のシリンジ８、フラック
スのスキージとワーク送りとを兼ねるワーク送りシリン
ダ９およびワーク移送用の吸着シリンダ１０を搭載し
て、構成されている。
【００３８】そして、整列ユニット２、カメラユニット
７、シリンジ８、ワーク送りシリンダ９および吸着シリ
ンダ１０は、直行型の３軸ロボット１１の支持プレート
１２に横並びに取り付けられており、この３軸ロボット
１１により、Ｘ軸方向（図示の紙面に対し前後）、Ｙ軸
方向（図示の左右）およびＺ軸方向（図示の上下）に移
動可能に構成されている。なお、コントローラ（制御手
段）６による真空吸引ユニット４および圧縮空気供給ユ
ニット５の制御は、具体的には、真空吸引ユニット４お
よび圧縮空気供給ユニット５と各装置とを接続するホー
スに設けた、電磁弁１３のＯＮ−ＯＦＦにより行われ
る。
７、シリンジ８、ワーク送りシリンダ９および吸着シリ
ンダ１０は、直行型の３軸ロボット１１の支持プレート
１２に横並びに取り付けられており、この３軸ロボット
１１により、Ｘ軸方向（図示の紙面に対し前後）、Ｙ軸
方向（図示の左右）およびＺ軸方向（図示の上下）に移
動可能に構成されている。なお、コントローラ（制御手
段）６による真空吸引ユニット４および圧縮空気供給ユ
ニット５の制御は、具体的には、真空吸引ユニット４お
よび圧縮空気供給ユニット５と各装置とを接続するホー
スに設けた、電磁弁１３のＯＮ−ＯＦＦにより行われ
る。
【００３９】実施例では、ＩＣチップＰｂ実装済みの数
個（３〜４個）のパッケージＰがキャリア（図示省略）
に搭載され、このキャリアがマガジン（図示省略）に収
容されて半田ボール搭載装置１に供給される。半田ボー
ル搭載装置１では、３軸ロボット１１により移動する吸
着シリンダ１０が、このパッケージＰを搭載したキャリ
アを、マガジンから装着ユニット３に移送する。ここ
で、図外のマスクがキャリア上にセットされ、これにシ
リンジ８からフラックスが供給される。次いで、３軸ロ
ボット１１により、ワーク送りシリンダ９がスキージ動
作を行い、マスクを介してキャリアに搭載した全てのパ
ッケージＰに、同時にフラックスが塗布される。
個（３〜４個）のパッケージＰがキャリア（図示省略）
に搭載され、このキャリアがマガジン（図示省略）に収
容されて半田ボール搭載装置１に供給される。半田ボー
ル搭載装置１では、３軸ロボット１１により移動する吸
着シリンダ１０が、このパッケージＰを搭載したキャリ
アを、マガジンから装着ユニット３に移送する。ここ
で、図外のマスクがキャリア上にセットされ、これにシ
リンジ８からフラックスが供給される。次いで、３軸ロ
ボット１１により、ワーク送りシリンダ９がスキージ動
作を行い、マスクを介してキャリアに搭載した全てのパ
ッケージＰに、同時にフラックスが塗布される。
【００４０】フラックスの塗布が完了すると、ワーク送
りシリンダ９が、キャリアを介して最初のパッケージＰ
を適切な位置に位置決めする。次に、整列ユニット２の
供給容器４１から装着ユニット３の整列テーブル２５に
半田ボールＢが供給される。整列テーブル２５上におけ
る半田ボールＢの整列が、カメラユニット７により画像
認識されると、整列テーブル２５が反転して、半田ボー
ルＢをパッケージＰに装着する。パッケージＰに装着し
た半田ボールＢは、再度カメラユニット７により画像認
識され、ここで最初のパッケージＰに対する半田ボール
Ｂの搭載が完了する。次に、ワーク送りシリンダ９が、
キャリアを介して次のパッケージＰを適切な位置に移動
させ、上記と全く同様の動作が行われる。このようにし
て、キャリアに搭載した全てのパッケージＰについて半
田ボールＢが搭載されると、吸着シリンダ１０が作動し
て、キャリアをリフロー側の搬送装置に移送する。
りシリンダ９が、キャリアを介して最初のパッケージＰ
を適切な位置に位置決めする。次に、整列ユニット２の
供給容器４１から装着ユニット３の整列テーブル２５に
半田ボールＢが供給される。整列テーブル２５上におけ
る半田ボールＢの整列が、カメラユニット７により画像
認識されると、整列テーブル２５が反転して、半田ボー
ルＢをパッケージＰに装着する。パッケージＰに装着し
た半田ボールＢは、再度カメラユニット７により画像認
識され、ここで最初のパッケージＰに対する半田ボール
Ｂの搭載が完了する。次に、ワーク送りシリンダ９が、
キャリアを介して次のパッケージＰを適切な位置に移動
させ、上記と全く同様の動作が行われる。このようにし
て、キャリアに搭載した全てのパッケージＰについて半
田ボールＢが搭載されると、吸着シリンダ１０が作動し
て、キャリアをリフロー側の搬送装置に移送する。
【００４１】次に、本実施例の要部について詳細に説明
する。
する。
【００４２】装着ユニット３は、基台１４上に固定され
た反転機構２１と、基台１４上に反転機構２１に並べて
配設したワーク載置台２２とで構成されている。また反
転機構２１は、支持台２３と、支持台２３に回動自在に
取り付けられた反転アーム２４と、反転アーム２４の先
端に着脱自在に取り付けた整列テーブル２５とで構成さ
れている。ワーク載置台２２の上部には、パッケージＰ
を搭載したキャリアを吸着する（セットする）ワークテ
ーブル２８が設けられており、ワークテーブル２８は、
反転アーム２４により反転した、整列テーブル２５が臨
む位置に配設されている。ワークテーブル２８にはガイ
ド溝が形成され、キャリアおよびパッケージＰの送りを
案内できるようになっている。
た反転機構２１と、基台１４上に反転機構２１に並べて
配設したワーク載置台２２とで構成されている。また反
転機構２１は、支持台２３と、支持台２３に回動自在に
取り付けられた反転アーム２４と、反転アーム２４の先
端に着脱自在に取り付けた整列テーブル２５とで構成さ
れている。ワーク載置台２２の上部には、パッケージＰ
を搭載したキャリアを吸着する（セットする）ワークテ
ーブル２８が設けられており、ワークテーブル２８は、
反転アーム２４により反転した、整列テーブル２５が臨
む位置に配設されている。ワークテーブル２８にはガイ
ド溝が形成され、キャリアおよびパッケージＰの送りを
案内できるようになっている。
【００４３】整列テーブル２５には、半田ボール装着パ
ターンに合致する（図４参照）アレイ状の吸着孔２６が
多数形成されており、整列テーブル２５の下側には、真
空吸引ユニット４に連なる吸引口２７が臨んでいる。供
給容器４１からばらまくように落下した半田ボールＢ
が、各吸着孔２６に吸着されることにより、アレイ状に
整列される。整列テーブル２５の上面は、供給された半
田ボールＢが転がって吸着孔２６に吸着され易いよう
に、また余剰の半田ボールＢを落下させる場合、例えば
整列テーブル２５を回収容器４２内部に傾斜させる場
合、半田ボールＢが落下し易いように、平坦に形成され
ている。
ターンに合致する（図４参照）アレイ状の吸着孔２６が
多数形成されており、整列テーブル２５の下側には、真
空吸引ユニット４に連なる吸引口２７が臨んでいる。供
給容器４１からばらまくように落下した半田ボールＢ
が、各吸着孔２６に吸着されることにより、アレイ状に
整列される。整列テーブル２５の上面は、供給された半
田ボールＢが転がって吸着孔２６に吸着され易いよう
に、また余剰の半田ボールＢを落下させる場合、例えば
整列テーブル２５を回収容器４２内部に傾斜させる場
合、半田ボールＢが落下し易いように、平坦に形成され
ている。
【００４４】反転アーム２４は、装着ユニット３の内部
装置（傾動機構）により、供給容器４１に水平に臨む基
準位置と、上側に角度１８０度回動してワークテーブル
２８に水平に臨む装着位置と、基準位置からわずかに下
方に回動する傾動位置との間で、回動される。反転アー
ム２４の中間位置には、障壁板２９が立設されており、
整列テーブル２５上に落下した半田ボールＢが、バウン
ドして支持台２３側に落ちるのを防止している。また、
障壁板２９の前面には、圧縮空気供給ユニット（吹落し
手段）５に連なる吹出口（吹落し手段）３０が形成され
ており、整列テーブル２５上の余剰の半田ボールＢは、
反転アーム２４の傾動位置への回動と、この吹出口３０
からのエアーにより、吹き飛ばされるようにして、整列
テーブル２５から確実に吹き落とされる。
装置（傾動機構）により、供給容器４１に水平に臨む基
準位置と、上側に角度１８０度回動してワークテーブル
２８に水平に臨む装着位置と、基準位置からわずかに下
方に回動する傾動位置との間で、回動される。反転アー
ム２４の中間位置には、障壁板２９が立設されており、
整列テーブル２５上に落下した半田ボールＢが、バウン
ドして支持台２３側に落ちるのを防止している。また、
障壁板２９の前面には、圧縮空気供給ユニット（吹落し
手段）５に連なる吹出口（吹落し手段）３０が形成され
ており、整列テーブル２５上の余剰の半田ボールＢは、
反転アーム２４の傾動位置への回動と、この吹出口３０
からのエアーにより、吹き飛ばされるようにして、整列
テーブル２５から確実に吹き落とされる。
【００４５】一方、整列ユニット２は、半田ボールＢを
貯留すると共にこの半田ボールＢを装着ユニット３の整
列テーブル２５に供給する供給容器４１と、余剰の半田
ボールＢを整列テーブル２５の下側で受ける回収容器４
２と、半田ボールＢを回収容器４２から供給容器４１に
搬送する搬送手段４３とで、構成されている。また搬送
手段４３は、上記の真空吸引ユニット４と、一端を真空
吸引ユニット４に接続され他端を供給容器４１に接続し
た真空用ホース４４と、一端を回収容器４２に接続し他
端を供給容器４１内に差し込んだ搬送用ホース４５とで
構成されている。なお、真空用ホース４４の供給容器４
１への接続位置と、搬送用ホース４５の回収容器４２へ
の接続位置とは、それぞれ上端部および底部が好適であ
るが、これに限定されるものではない。すなわち、真空
用ホース４４にあっては、供給容器４１内の半田ボール
Ｂを吸い込むことがなく、また搬送用ホース４５にあっ
ては、回収容器４２内の半田ボールＢを適切に吸い込む
ことができれば、それぞれの接続位置を問うものではな
い。そして、供給容器４１、回収容器４２および搬送用
ホース４５は、３軸ロボット１１の支持プレート１２に
取り付けられ、Ｘ・Ｙ・Ｚ方向に移動可能に構成されて
いる。
貯留すると共にこの半田ボールＢを装着ユニット３の整
列テーブル２５に供給する供給容器４１と、余剰の半田
ボールＢを整列テーブル２５の下側で受ける回収容器４
２と、半田ボールＢを回収容器４２から供給容器４１に
搬送する搬送手段４３とで、構成されている。また搬送
手段４３は、上記の真空吸引ユニット４と、一端を真空
吸引ユニット４に接続され他端を供給容器４１に接続し
た真空用ホース４４と、一端を回収容器４２に接続し他
端を供給容器４１内に差し込んだ搬送用ホース４５とで
構成されている。なお、真空用ホース４４の供給容器４
１への接続位置と、搬送用ホース４５の回収容器４２へ
の接続位置とは、それぞれ上端部および底部が好適であ
るが、これに限定されるものではない。すなわち、真空
用ホース４４にあっては、供給容器４１内の半田ボール
Ｂを吸い込むことがなく、また搬送用ホース４５にあっ
ては、回収容器４２内の半田ボールＢを適切に吸い込む
ことができれば、それぞれの接続位置を問うものではな
い。そして、供給容器４１、回収容器４２および搬送用
ホース４５は、３軸ロボット１１の支持プレート１２に
取り付けられ、Ｘ・Ｙ・Ｚ方向に移動可能に構成されて
いる。
【００４６】供給容器４１は、下半部をロート状に形成
したガラス製の容器本体５１と、容器本体５１の上端部
を封止するキャップ５２と、容器本体５１の下部に接続
した供給ノズル５３と、供給ノズル５３の途中に介在さ
せたコック（開閉ゲート）５４と、コック５４を開閉す
るエアーシリンダ５５とで構成されている。キャップ５
２には、上記の真空用ホース４４の他端が貫通するよう
に接続され、また上記の搬送用ホース４５の他端が貫通
するように、かつ深く差し込まれるように接続されてい
る。これにより、コック５４が閉塞状態において、真空
吸引ユニット４が駆動し容器本体５１内のエアーが吸引
されると、搬送用ホース４５を介して、回収容器４２か
ら容器本体５１にエアーが勢い良くながれ、回収容器４
２内の半田ボールＢが容器本体５１内に搬送される。
したガラス製の容器本体５１と、容器本体５１の上端部
を封止するキャップ５２と、容器本体５１の下部に接続
した供給ノズル５３と、供給ノズル５３の途中に介在さ
せたコック（開閉ゲート）５４と、コック５４を開閉す
るエアーシリンダ５５とで構成されている。キャップ５
２には、上記の真空用ホース４４の他端が貫通するよう
に接続され、また上記の搬送用ホース４５の他端が貫通
するように、かつ深く差し込まれるように接続されてい
る。これにより、コック５４が閉塞状態において、真空
吸引ユニット４が駆動し容器本体５１内のエアーが吸引
されると、搬送用ホース４５を介して、回収容器４２か
ら容器本体５１にエアーが勢い良くながれ、回収容器４
２内の半田ボールＢが容器本体５１内に搬送される。
【００４７】エアーシリンダ５５は、真空吸引ユニット
４に接続され、真空吸引ユニット４を駆動源として往復
動される。このエアーシリンダ５５とコック５４のハン
ドル５４ａとは、リンク５６を介して連結されており、
コック５４は、エアーシリンダ５５の往復動により開閉
される。この場合、コック５４の開弁により、容器本体
５１の半田ボールＢが整列テーブル２５に供給（落とし
込み）されるが、実際には、上記のコントローラ６によ
り、コック５４の開閉と容器本体５１内のエアーの吸引
・吸引停止とが連動して、半田ボールＢが供給される。
具体的には、エアーの吸引が開始され（真空吸引ユニッ
ト４の駆動がＯＮ）た後コック５４が開弁され、続いて
エアーの吸引が停止して（真空吸引ユニット４の駆動が
ＯＦＦ）半田ボールＢが払い出されて行く。所定量の半
田ボールＢが払い出されると、再度、エアーの吸引が開
され、続いてコック５４が閉弁され、さらにエアーの吸
引が停止する。
４に接続され、真空吸引ユニット４を駆動源として往復
動される。このエアーシリンダ５５とコック５４のハン
ドル５４ａとは、リンク５６を介して連結されており、
コック５４は、エアーシリンダ５５の往復動により開閉
される。この場合、コック５４の開弁により、容器本体
５１の半田ボールＢが整列テーブル２５に供給（落とし
込み）されるが、実際には、上記のコントローラ６によ
り、コック５４の開閉と容器本体５１内のエアーの吸引
・吸引停止とが連動して、半田ボールＢが供給される。
具体的には、エアーの吸引が開始され（真空吸引ユニッ
ト４の駆動がＯＮ）た後コック５４が開弁され、続いて
エアーの吸引が停止して（真空吸引ユニット４の駆動が
ＯＦＦ）半田ボールＢが払い出されて行く。所定量の半
田ボールＢが払い出されると、再度、エアーの吸引が開
され、続いてコック５４が閉弁され、さらにエアーの吸
引が停止する。
【００４８】すなわち、エアーの吸引が開始しコック５
４を開弁してゆくと、供給ノズル５３の先端からエアー
が流入し、半田ボールＢが重力に抗して浮いた状態にな
る。コック５４が全開した後エアーの吸引を停止する
と、半田ボールＢはその重さで供給ノズル５３から払い
出されてゆく。そして、再度、エアーの吸引を開始する
と、半田ボールＢは供給ノズル５３から流入するエアー
に吹き上げられ、その落下を阻止される。このように、
コック５４の開閉動作の際に、半田ボールＢがコック５
４の弁座から浮いた状態になるため、弁座に半田ボール
Ｂが噛むのを防止することができる。したがって、コッ
ク５４の開閉不良を防止することができると共に、半田
ボールＢの特に機械的損傷を防止することができ、装置
の故障や半田ボールＢの実装不良を確実に防止すること
ができる。
４を開弁してゆくと、供給ノズル５３の先端からエアー
が流入し、半田ボールＢが重力に抗して浮いた状態にな
る。コック５４が全開した後エアーの吸引を停止する
と、半田ボールＢはその重さで供給ノズル５３から払い
出されてゆく。そして、再度、エアーの吸引を開始する
と、半田ボールＢは供給ノズル５３から流入するエアー
に吹き上げられ、その落下を阻止される。このように、
コック５４の開閉動作の際に、半田ボールＢがコック５
４の弁座から浮いた状態になるため、弁座に半田ボール
Ｂが噛むのを防止することができる。したがって、コッ
ク５４の開閉不良を防止することができると共に、半田
ボールＢの特に機械的損傷を防止することができ、装置
の故障や半田ボールＢの実装不良を確実に防止すること
ができる。
【００４９】回収容器４２は、上部が開放した、いわゆ
るホッパー形状のものであり、ステンレスやアルミニウ
ム等の金属で構成されている。回収容器４２の底部は深
溝となっており、深溝の部位には上記の搬送用ホース４
５が接続されている。回収容器４２の上縁部は、整列テ
ーブル２５より高い位置に配設されており、供給容器４
１から落下して整列テーブル２５でバウンドした半田ボ
ールＢが、回収容器４２の外に飛び出すのを防止してい
る。また、図示では省略されているが、回収容器４２の
上端開放部分には、供給ノズル５３や整列テーブル２５
に干渉しないように、網が張られており、余剰の半田ボ
ールＢを漏れなく回収容器４２に捕捉できるようになっ
ている。なお、供給容器４１への半田ボールＢの補充
は、搬送手段４３を作動させておいて、この回収容器４
２から補充する。
るホッパー形状のものであり、ステンレスやアルミニウ
ム等の金属で構成されている。回収容器４２の底部は深
溝となっており、深溝の部位には上記の搬送用ホース４
５が接続されている。回収容器４２の上縁部は、整列テ
ーブル２５より高い位置に配設されており、供給容器４
１から落下して整列テーブル２５でバウンドした半田ボ
ールＢが、回収容器４２の外に飛び出すのを防止してい
る。また、図示では省略されているが、回収容器４２の
上端開放部分には、供給ノズル５３や整列テーブル２５
に干渉しないように、網が張られており、余剰の半田ボ
ールＢを漏れなく回収容器４２に捕捉できるようになっ
ている。なお、供給容器４１への半田ボールＢの補充
は、搬送手段４３を作動させておいて、この回収容器４
２から補充する。
【００５０】一方、搬送用ホース４５には、静電気除去
手段を構成するアース線（金属線）４６が内在されてお
り、アース線４６の一端は回収容器４２に接続され、他
端は搬送用ホース４５から垂らされ、供給容器４１内の
半田ボールＢ内に埋没している。この場合、搬送用ホー
ス４５を柔軟性のある樹脂（例えばシリコンホース）で
構成し、アース線４６は、銅の裸線で構成することが好
ましいが、搬送用ホース４５は、柔軟性を有する限り導
電性部材・非導電性部材を問うものではなく、また、ア
ース線４６も、導電性を有する限りその材質や断面形状
等を問うものではない。例えば、搬送用ホース４５の内
面の一部または全部に導電性部材を内貼りしてもよい
し、これとアース線４６を併用してもよい。
手段を構成するアース線（金属線）４６が内在されてお
り、アース線４６の一端は回収容器４２に接続され、他
端は搬送用ホース４５から垂らされ、供給容器４１内の
半田ボールＢ内に埋没している。この場合、搬送用ホー
ス４５を柔軟性のある樹脂（例えばシリコンホース）で
構成し、アース線４６は、銅の裸線で構成することが好
ましいが、搬送用ホース４５は、柔軟性を有する限り導
電性部材・非導電性部材を問うものではなく、また、ア
ース線４６も、導電性を有する限りその材質や断面形状
等を問うものではない。例えば、搬送用ホース４５の内
面の一部または全部に導電性部材を内貼りしてもよい
し、これとアース線４６を併用してもよい。
【００５１】なお、本実施例では、搬送用ホース４５に
１本のアース線４６を挿通した構成を採るが、この場
合、半田ボールＢを真空搬送することを考慮すると、以
下の諸条件を満たすことが好ましい。ホースの内径
が、半田ボール径＋アース線径を越えていること。ホ
ースの内径が、半田ボールの径の１．５倍〜２．０倍程
度であること。ホースの内径が、半田ボール径＋アー
ス線径＋０．３ｍｍ程度であること。これを具体的数値
で示すと、半田ボールＢの径が０．５〜１．０ｍｍであ
る場合に、搬送用ホース４５の内径が１．５〜２．０ｍ
ｍ程度、そしてアース線径が０．２ｍｍ程度となる。
１本のアース線４６を挿通した構成を採るが、この場
合、半田ボールＢを真空搬送することを考慮すると、以
下の諸条件を満たすことが好ましい。ホースの内径
が、半田ボール径＋アース線径を越えていること。ホ
ースの内径が、半田ボールの径の１．５倍〜２．０倍程
度であること。ホースの内径が、半田ボール径＋アー
ス線径＋０．３ｍｍ程度であること。これを具体的数値
で示すと、半田ボールＢの径が０．５〜１．０ｍｍであ
る場合に、搬送用ホース４５の内径が１．５〜２．０ｍ
ｍ程度、そしてアース線径が０．２ｍｍ程度となる。
【００５２】このような構成を採ることにより、半田ボ
ールＢを円滑に搬送することができると共に、半田ボー
ルＢが帯電しても、回収容器４２、支持プレート１２、
３軸ロボット１１、基台１４の順でアースされ、半田ボ
ールＢが静電気により、搬送用ホース４５の内面や、供
給容器４１および回収容器４２の内壁に付着するのを防
止することができる。これにより、半田ボールＢの詰ま
りや、供給不良などが有効に防止され、半田ボールＢの
自由落下による供給に支障を生ずることがない。また、
供給容器４１自体も、内部視認できるガラス容器（プラ
スチックでも可）などで構成でき、金属容器にする必要
がない。
ールＢを円滑に搬送することができると共に、半田ボー
ルＢが帯電しても、回収容器４２、支持プレート１２、
３軸ロボット１１、基台１４の順でアースされ、半田ボ
ールＢが静電気により、搬送用ホース４５の内面や、供
給容器４１および回収容器４２の内壁に付着するのを防
止することができる。これにより、半田ボールＢの詰ま
りや、供給不良などが有効に防止され、半田ボールＢの
自由落下による供給に支障を生ずることがない。また、
供給容器４１自体も、内部視認できるガラス容器（プラ
スチックでも可）などで構成でき、金属容器にする必要
がない。
【００５３】ここで、図１を参照して、半田ボールＢの
装着動作を簡単に説明する。回動アーム２４を基準位置
に回動させ、パッケージＰのフラックス塗布が完了した
状態から、整列テーブル２５のエアー吸引を開始すると
共に、搬送手段４３を作動（供給容器４１のエアー吸
引）させる。次に、エアーシリンダ５５によりコック５
４を開放すると共に、搬送手段４３を停止させ、半田ボ
ールＢを整列テーブル２５上に落下させる。その際、３
軸ロボット１１により供給容器４１を前後左右に微小移
動させ、半田ボールＢを整列テーブル２５上にまんべん
なく落下させる（ばらまくようにする）。次に、搬送手
段４３を再度作動させた後、コック５４を閉塞する。
装着動作を簡単に説明する。回動アーム２４を基準位置
に回動させ、パッケージＰのフラックス塗布が完了した
状態から、整列テーブル２５のエアー吸引を開始すると
共に、搬送手段４３を作動（供給容器４１のエアー吸
引）させる。次に、エアーシリンダ５５によりコック５
４を開放すると共に、搬送手段４３を停止させ、半田ボ
ールＢを整列テーブル２５上に落下させる。その際、３
軸ロボット１１により供給容器４１を前後左右に微小移
動させ、半田ボールＢを整列テーブル２５上にまんべん
なく落下させる（ばらまくようにする）。次に、搬送手
段４３を再度作動させた後、コック５４を閉塞する。
【００５４】ここで、整列テーブル２５を傾動位置に回
動させ、更に障壁板２９の吹出口３０からエアーを吹い
て、整列テーブル２５上の余剰の半田ボールＢを回収容
器４２に落とし込む。次に、基準位置に戻った整列テー
ブル２５に、カメラユニット７が臨み、半田ボールＢが
整列しているか否かが確認される。一方、これと相前後
して搬送手段４３が作動し、回収容器４２に回収された
半田ボールＢが、搬送用ホース４５を介して供給容器４
１に搬送される。半田ボールＢの整列が確認されると、
３軸ロボット１１により、供給容器４１やカメラユニッ
ト７が、反転アーム２４の位置から逃げ、反転アーム２
４が装着位置に回動する。ここで、整列テーブル２５の
吸引を停止することにより、半田ボールＢがフラックス
に付着するようにして、パッケージＰに装着される。そ
して、これらの動作の繰り返しの中で、供給容器４１内
の半田ボールＢが少なくなってきたら、回収容器４２に
半田ボールＢを補充する。
動させ、更に障壁板２９の吹出口３０からエアーを吹い
て、整列テーブル２５上の余剰の半田ボールＢを回収容
器４２に落とし込む。次に、基準位置に戻った整列テー
ブル２５に、カメラユニット７が臨み、半田ボールＢが
整列しているか否かが確認される。一方、これと相前後
して搬送手段４３が作動し、回収容器４２に回収された
半田ボールＢが、搬送用ホース４５を介して供給容器４
１に搬送される。半田ボールＢの整列が確認されると、
３軸ロボット１１により、供給容器４１やカメラユニッ
ト７が、反転アーム２４の位置から逃げ、反転アーム２
４が装着位置に回動する。ここで、整列テーブル２５の
吸引を停止することにより、半田ボールＢがフラックス
に付着するようにして、パッケージＰに装着される。そ
して、これらの動作の繰り返しの中で、供給容器４１内
の半田ボールＢが少なくなってきたら、回収容器４２に
半田ボールＢを補充する。
【００５５】以上のように本実施例によれば、半田ボー
ルＢを自由落下により供給容器４１から整列テーブル２
５に供給するようにしているので、整列ユニット２を極
めて単純な構造にすることができる。また、半田ボール
Ｂの補充も、回収容器４２に半田ボールＢを投入するだ
けでよく、装置の運転を停止させることなく、簡単に補
充を行うことができる。さらに、簡単な構造で帯電した
半田ボールＢを除電することができる。しかも、半田ボ
ールＢの搬送手段４３と、供給容器４１の実質的な供給
ゲートとを兼ねることができ、半田ボールＢの損傷を防
止できると共に、この点でも装置構成を単純化すること
ができる。したがって、故障の少なく、かつ歩留まりの
良好な装置を、低コストで構成することができる。
ルＢを自由落下により供給容器４１から整列テーブル２
５に供給するようにしているので、整列ユニット２を極
めて単純な構造にすることができる。また、半田ボール
Ｂの補充も、回収容器４２に半田ボールＢを投入するだ
けでよく、装置の運転を停止させることなく、簡単に補
充を行うことができる。さらに、簡単な構造で帯電した
半田ボールＢを除電することができる。しかも、半田ボ
ールＢの搬送手段４３と、供給容器４１の実質的な供給
ゲートとを兼ねることができ、半田ボールＢの損傷を防
止できると共に、この点でも装置構成を単純化すること
ができる。したがって、故障の少なく、かつ歩留まりの
良好な装置を、低コストで構成することができる。
【００５６】なお、本実施例では、供給容器としてガラ
ス容器を用いているが、内部が視認できかつ半田ボール
を落下させることができる限り、その材質および構造を
問うものではない。また、本装置は、ＢＧＡの他、フリ
ップチップなどの半田バンプ形成の際にも適用できるこ
とは、いうまでもない。
ス容器を用いているが、内部が視認できかつ半田ボール
を落下させることができる限り、その材質および構造を
問うものではない。また、本装置は、ＢＧＡの他、フリ
ップチップなどの半田バンプ形成の際にも適用できるこ
とは、いうまでもない。
【００５７】
【発明の効果】以上のように本発明の半田ボール搭載装
置によれば、半田ボールを自由落下により整列テーブル
に供給するようにしているので、装置を極めて単純化す
ることができると共に、運転中に半田ボールを補充する
ことができ、取扱いが良好になると共に、コストを低減
することができる。また供給容器内の半田ボールを視認
できるので、この点でも取扱いが良好になる。さらに、
静電気除去手段により、半田ボールの搬送を円滑にする
ことができ、装置の信頼性を向上させることができる。
置によれば、半田ボールを自由落下により整列テーブル
に供給するようにしているので、装置を極めて単純化す
ることができると共に、運転中に半田ボールを補充する
ことができ、取扱いが良好になると共に、コストを低減
することができる。また供給容器内の半田ボールを視認
できるので、この点でも取扱いが良好になる。さらに、
静電気除去手段により、半田ボールの搬送を円滑にする
ことができ、装置の信頼性を向上させることができる。
【００５８】また、本発明の半田ボール供給装置によれ
ば、半田ボールを損傷するすることなく、半田ボールを
整列テーブルに円滑に供給することができるので、半田
ボールを確実に整列させかつパッケージに確実に装着す
ることができると共に、パッケージの歩留まりを向上さ
せることができる。
ば、半田ボールを損傷するすることなく、半田ボールを
整列テーブルに円滑に供給することができるので、半田
ボールを確実に整列させかつパッケージに確実に装着す
ることができると共に、パッケージの歩留まりを向上さ
せることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る半田ボール搭載装置の
全体構成を表した側面図である。
全体構成を表した側面図である。
【図２】実施例に係る半田ボール搭載装置の供給容器廻
りの拡大側面図である。
りの拡大側面図である。
【図３】ＢＧＡパッケージを備えた半導体デバイスの断
面図である。
面図である。
【図４】ＢＧＡパッケージを備えた半導体デバイスの裏
面図である。
面図である。
【図５】従来の半田ボール搭載装置の全体構成を表した
側面図である。
側面図である。
１ 半田ボール搭載装置 ２ 整列ユニット ３ 装着ユニット ４ 真空吸引ユニット ５ 圧縮空気供給ユニット ６ コントローラ ２１ 反転機構 ２４ 反転アーム ２５ 整列テーブル ３０ 吹出口 ４１ 供給容器 ４２ 回収容器 ４３ 搬送手段 ４４ 真空用ホース ４５ 搬送用ホース ４６ アース線 ５４ コック Ｂ 半田ボール Ｐ パッケージ
Claims (14)
- 【請求項１】 略水平に配設され、上側から供給された
端子用の半田ボールを吸着によりアレイ状に整列させる
整列テーブルと、 当該整列テーブルを反転させ、当該整列テーブル上に吸
着した半田ボールをプリント基板に装着する反転機構
と、 前記整列テーブルの上側に配設され、貯留している半田
ボールを落下により当該整列テーブルに供給する供給容
器と、 前記整列テーブルの下側に配設され、前記整列テーブル
から溢れ落ちた余剰の半田ボールを受ける回収容器と、 半田ボールを当該回収容器から前記供給容器に搬送する
搬送手段とを備えたことを特徴とする半田ボール搭載装
置。 - 【請求項２】 前記供給容器から前記整列テーブルへの
半田ボールの落下が、自由落下であることを特徴とする
請求項１に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項３】 前記供給容器は密封容器であり、 前記搬送手段は、真空吸引装置と、一端が真空吸引装置
に接続され他端が前記供給容器に接続された真空用ホー
スと、一端が前記回収容器に接続され他端が前記供給容
器内に差し込まれた搬送用ホースとを、有することを特
徴とする請求項１または２に記載の半田ボール搭載装
置。 - 【請求項４】 前記真空用ホースの他端は前記供給容器
の上端部に接続され、前記搬送用ホースの一端は前記回
収容器の底部に接続されていることを特徴とする請求項
３に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項５】 前記回収容器および前記供給容器を含ん
で当該回収容器から当該供給容器に至る半田ボールの搬
送経路に、静電気を除電する静電気除去手段を、更に備
えたことを特徴とする請求項１または２に記載の半田ボ
ール搭載装置。 - 【請求項６】 前記回収容器および前記供給容器を含ん
で当該回収容器から当該供給容器に至る半田ボールの搬
送経路に、静電気を除電する静電気除去手段を、更に備
えたことを特徴とする請求項３または４に記載の半田ボ
ール搭載装置。 - 【請求項７】 前記静電気除去手段は、半田ボールの搬
送経路を構成する当該回収容器、当該搬送用ホースおよ
び当該供給容器のうちの少なくとも前記搬送用ホースに
内在させたアース線であることを特徴とする請求項６に
記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項８】 少なくとも前記供給容器の一部が、貯留
している半田ボールを外部から視認可能な透明な材料で
構成されていることを特徴とする請求項１ないし７のい
ずれか１項に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項９】 前記供給容器は、その下部がロート状に
形成されると共にその下端部に半田ボールを払い出す開
閉ゲートを有しており、 当該開閉ゲートの開放動作に先立ち、かつこれに続く閉
塞動作に先立ち、前記真空吸引装置を駆動させる制御手
段を、更に備えることを特徴とする請求項３、４、６、
７または８に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項１０】 前記整列テーブルを傾動させる傾動機
構を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし９の
いずれか１項に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項１１】 吸着されていない余剰の半田ボールを
当該整列テーブル上から吹き落とす吹落し手段を、更に
備えたことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか
１項に記載の半田ボール搭載装置。 - 【請求項１２】 前記回収容器の縁部が、前記整列テー
ブルの上方まで立ち上がっていることを特徴とする請求
項１ないし１１のいずれか１項に記載の半田ボール搭載
装置。 - 【請求項１３】 貯留している半田ボールを落下により
所定量、整列テーブル上に供給する半田ボール搭載装置
の半田ボール供給装置において、 半田ボールを貯留すると共に、下部がロート状に形成さ
れた供給容器と、 当該供給容器の上部に連結され、当該供給容器内のエア
ーを吸引して半田ボールの落下を阻止可能な真空吸引手
段と、 当該真空吸引手段の駆動をＯＮ−ＯＦＦする制御手段と
を備えたことを特徴とする半田ボール搭載装置の半田ボ
ール供給装置。 - 【請求項１４】 前記真空吸引手段が、前記供給容器の
上部のうちの上端部に連結されていることを特徴とする
請求項１３に記載の半田ボール搭載装置の半田ボール供
給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04534995A JP3724003B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04534995A JP3724003B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08242070A true JPH08242070A (ja) | 1996-09-17 |
| JP3724003B2 JP3724003B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=12716810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04534995A Expired - Lifetime JP3724003B2 (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | 半田ボール搭載装置およびその半田ボール供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3724003B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6056190A (en) * | 1997-02-06 | 2000-05-02 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement apparatus |
| US6170737B1 (en) | 1997-02-06 | 2001-01-09 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement method |
| US6234382B1 (en) * | 1997-06-20 | 2001-05-22 | Meco Equipment Engineers B.V. | Method and device for bonding solder balls to a substrate |
| JP2002231746A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 粒状体搭載方法および粒状体搭載装置 |
| JP2008130960A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Minami Kk | ボール供給カートリッジ |
| CN102122606A (zh) * | 2010-11-16 | 2011-07-13 | 上海微松工业自动化有限公司 | 一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备 |
| JP2013093555A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-16 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ハンダボール印刷装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114559125A (zh) * | 2020-11-27 | 2022-05-31 | 东莞市鸿骐电子科技有限公司 | 一种单头锡球植球喷射头 |
| KR20250039049A (ko) * | 2023-09-13 | 2025-03-20 | 삼성전자주식회사 | 볼 어태치 툴 |
-
1995
- 1995-03-06 JP JP04534995A patent/JP3724003B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US6170737B1 (en) | 1997-02-06 | 2001-01-09 | Speedline Technologies, Inc. | Solder ball placement method |
| US6234382B1 (en) * | 1997-06-20 | 2001-05-22 | Meco Equipment Engineers B.V. | Method and device for bonding solder balls to a substrate |
| JP2002231746A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 粒状体搭載方法および粒状体搭載装置 |
| JP2008130960A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Minami Kk | ボール供給カートリッジ |
| CN102122606A (zh) * | 2010-11-16 | 2011-07-13 | 上海微松工业自动化有限公司 | 一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备 |
| CN102122606B (zh) | 2010-11-16 | 2012-07-18 | 上海微松工业自动化有限公司 | 一种晶圆级封装微球自动收集及供球循环设备 |
| JP2013093555A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-16 | Hitachi Plant Technologies Ltd | ハンダボール印刷装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3724003B2 (ja) | 2005-12-07 |
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