JPH08247512A

JPH08247512A - クリーンルーム

Info

Publication number: JPH08247512A
Application number: JP5399395A
Authority: JP
Inventors: Takashi Amo; 隆天羽; Hiroaki Tomita; 弘明富田
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 1995-03-14
Filing date: 1995-03-14
Publication date: 1996-09-27

Abstract

(57)【要約】【目的】生産装置又は機器の上部側で発生する熱気流
や上方吹出気流に起因する気流の乱れを抑制すること、
汚染物質を捕捉すること、周辺への温度影響を防止する
ことができるクリーンルームを提供することにある。【構成】室と、この室の上部側に配設されたフィルタ
ユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置
又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィルタ
ユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に空気
流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを有す
るクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側
のフィルタユニットには、生産装置又は機器の上部側の
空気を吸引する吸気手段が配設され、生産装置又は機器
の周囲の上部側のフィルタユニットには、生産装置又は
機器の周囲に空気を圧送する送気手段が配設されている
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場、ＬＣ
Ｄ製造工場、精密機械工場、薬品製造工場等の無塵室或
いは無菌室に適用されるクリーンルームに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のクリーンルームとして
は、例えば、実公平５ー３８８２１号公報の第３図に示
されている全面ラミナーフロー方式や型式は異なるが同
じく第４図に示されているコンベンショナル方式が知ら
れている。特に、半導体製造工場、ＬＣＤ製造工場で
は、高清浄度を必要とする部分では、垂直層流型クリー
ンルームを採用するのが一般的である。

【０００３】図３は、従来のクリーンルームを示す。こ
のクリーンルームでは、室１の天井にフィルタ２が敷設
され天井空間３が形成され、又、室１の床４には、空気
流通穴５が形成され、床４の下方に床下空間６が形成さ
れている。床５上には、生産装置又は機器１０が配置さ
れている。そして、床下空間６内の空気を、冷温水コイ
ル８及びファン９を備えた空調機７に導いた後、空調さ
れた空気を天井空間３に供給し、フィルタ２から室１内
に吹き出させることにより室１内の空気の空調及び浄化
が行われている。

【０００４】従って、生産装置又は機器１０での作業領
域においては、清浄な空気が例えば０．２５〜０．５ｍ
／ｓ程度の流速で天井側から床下空間６側への一方向性
の清浄空気流により送られ、汚染物質、塵埃等１１がワ
ークに付着しないようにされている。これによって、清
浄空間の確保と汚染拡散防止効果が期待できる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、このような
従来のクリーンルームでは、室１に対してフィルタ２か
ら床下空間６に向かう均一な流速で清浄空気を供給する
ため、図４に示すように、生産装置又は機器１０からの
発熱や上方吹出気流１２によって、生産装置又は機器１
０の上部側で清浄空気流が矢印ａで示すように乱され、
生産装置又は機器１０或いはその周辺で発生した塵埃や
化学物質等の汚染物質が点線１３で示すように広範囲に
拡散し、周辺の装置や清浄環境に悪影響を及ぼす虞があ
った。

【０００６】そこで、生産装置又は機器１０からの発熱
に対しては、生産装置又は機器１０の上部側のフィルタ
２にファンを設け、生産装置又は機器１０が配置された
領域のフィルタ２からの流速を、生産装置又は機器１０
が配置されていない領域のフィルタ２からの流速よりも
早くすることによって、強制的に清浄空気を生産装置又
は機器１０に送ることが考えられるが、生産装置又は機
器１０の上部側で発生する熱気流による対流現象を確実
に防止することはできなかった。

【０００７】又、生産装置又は機器１０からの上方吹出
気流に対しては、生産装置又は機器１０の上部側のフィ
ルタ２にファンを設け、生産装置又は機器１０が配置さ
れた領域のフィルタ２からの流速を、生産装置又は機器
１０が配置されていない領域のフィルタ２からの流速よ
りも早くすることによって、強制的に清浄空気を生産装
置又は機器１０に送る方法では、生産装置又は機器１０
或いはその周辺で発生した塵埃や化学物質等の汚染物質
がさらに広範囲に拡散し、周辺の装置や清浄環境に悪影
響を及ぼすこととなり好ましくない。

【０００８】本発明は斯かる従来の問題点を解決するた
めに為されたもので、その目的は、生産装置又は機器の
上部側で発生する熱気流や上方吹出気流に起因する気流
の乱れを抑制することができるクリーンルームを提供す
ることにある。本発明の別の目的は、汚染物質を捕捉す
ることができるクリーンルームを提供することにある。

【０００９】本発明の更に別の目的は、周辺への温度影
響を防止することができるクリーンルームを提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、室
と、この室の上部側に配設されたフィルタユニットと、
室の下部側を仕切ると共に上面に生産装置又は機器を配
置する空気流通穴を備えた床と、フィルタユニットを介
して清浄空気を室内に供給すると共に空気流通孔を介し
て室内の空気を吸引する空調装置とを有するクリーンル
ームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユ
ニットには、生産装置又は機器の上部側の空気を吸引す
る吸気手段が配設され、生産装置又は機器の周囲の上部
側のフィルタユニットには、生産装置又は機器の周囲に
空気を圧送する送気手段が配設されていることを特徴と
するものである。

【００１１】請求項２の発明は、室と、この室の上部側
に配設されたフィルタユニットと、室の下部側を仕切る
と共に上面に生産装置又は機器を配置する空気流通穴を
備えた床と、フィルタユニットを介して清浄空気を室内
に供給すると共に空気流通孔を介して室内の空気を吸引
する空調装置とを有するクリーンルームにおいて、生産
装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生産装
置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配設さ
れ、吸気手段には、吸い込まれた室内空気を冷却する冷
却手段が連絡し、冷却手段には、冷却された室内空気を
生産装置又は機器の周囲に圧送する送気手段が配設され
ていることを特徴とするものである。

【００１２】請求項３の発明は、生産装置又は機器が配
置された上部側のフィルタユニットは、汚染物質除去フ
ィルタで構成されていることを特徴とするものである。
請求項４の発明は、エアガイドを設けたフィルタユニッ
トからの流速は、生産装置又は機器が配置されていない
領域のフィルタユニットからの流速よりも早く設定され
ていることを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】請求項１乃至請求項４の発明においては、空調
装置から送られてくる清浄空気は、フィルタユニットを
介して室内へ供給され、床の空気流通穴を介して再び空
調装置へ戻される循環経路を流れる。

【００１４】そして、吸気手段によって、生産装置又は
機器が配置された上部側のフィルタユニットから生産装
置又は機器の上部側の空気を吸引すると共に、生産装置
又は機器の周囲のフィルタユニットから空気を圧送する
ので、上方への定常的な気流を確保し、周辺の気流の乱
れを防止できる。請求項２の発明においては、吸気手段
によって吸い込まれた気流の温度が周辺温度に比し高温
の場合、冷却手段によって冷却されてから、送気手段を
介して、生産装置又は機器の周辺に吹き出し、生産装置
又は機器の周辺への温度影響を防止できる。

【００１５】請求項３の発明においては、上昇気流に汚
染物資が含まれる場合、汚染物質除去フィルタによって
これを捕捉し、生産装置又は機器の周辺への汚染物資の
拡散を防止することができる。請求項４の発明において
は、生産装置又は機器の周辺にエアカーテンを形成する
ことができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
説明する。図１は、請求項１に係るクリーンルームの一
実施例を示しており、２０は室を表す。３０はこの室２
０の上部側に配設されたフィルタユニットを表す。フィ
ルタユニット３０は、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィ
ルタ等の高性能フィルタ３１を天井側に敷設することに
よって構成されている。このフィルタユニット３０は、
公知の全面ラミナーフロー方式に用いられているものと
同様である。

【００１７】このフィルタユニット３０は、生産装置又
は機器４０の上部側の高性能フィルタ３１Ａにおいて、
エアガイド３３を介して軸流型ファン、多翼型ファン等
の吸気ファン（吸気手段）３２が取り付けられている。
吸気ファン３２には、配管３４を介してエアガイド（送
気手段）３６が連絡している。

【００１８】このエアガイド３６は、生産装置又は機器
４０が配置された上部側の高性能フィルタ３１Ａと隣接
するフィルタユニット３０を構成する高性能フィルタ３
１Ｂ上に位置している。そして、このエアガイド３６か
らは、高性能フィルタ３１Ｂと隣接するフィルタユニッ
ト３０を構成する高性能フィルタ３１Ｃの流速（例え
ば、０．２５ｍ／ｓ）よりも早い流速（例えば、０．４
５ｍ／ｓ）で、吹き出されている（請求項４）。

【００１９】この高性能フィルタ３１Ｂからの吹出によ
ってエアカーテンが形成され、汚染の拡散範囲を小さく
することができる。生産装置又は機器４０は、空気流通
穴５１を備えた床５０上に配置されている。床５０は、
公知のクリーンルームと同様に室２０の下部側を仕切
り、床下空間５５を形成するものである。

【００２０】そして、天井空間３５と床下空間５５と
は、ダクト６１，６２を介して空調装置６０と連絡して
いる。この空調装置６０は、公知のクリーンルームに用
いられているものと同様に、ファン６３及び冷温水コイ
ル６４を備えている。次に、本実施例の作用を説明す
る。先ず、空調装置６０から送られてくる清浄空気は、
天井空間３５内に導かれ、例えば０．２５〜０．５ｍ／
ｓの流速でフィルタユニット３０を介して室２０内へ供
給され、床５０の空気流通穴５１を介して再び空調装置
６０へ戻される循環経路を流れる。

【００２１】一方、生産装置又は機器４０の上部側に配
置された吸気ファン３２を備えた高性能フィルタ３１Ａ
からは、０．３〜０．６ｍ／ｓの流速で生産装置又は機
器４０の上部側の空気を吸い込んで、上方への定常的な
気流４３を確保する。吸引された空気は、配管３４を介
してエアガイド３６へ送られ、エアガイド３６上に設置
された高性能フィルタ３１Ｂから室２内へ圧送される。

【００２２】従って、生産装置又は機器４０の上部で
は、上方への定常的な気流４３が確保されると共に、生
産装置又は機器４０の周囲には高性能フィルタ３１Ｃか
らの吹出速度よりも早い速度で清浄空気が吹き出されて
いるので、周辺からの汚染物の巻き込みが防止される。
生産装置又は機器４０では、その性質上、例えば、発熱
や吹出気流４１を伴うものがある。その場合、生産装置
又は機器４０の上部側で空気流に乱れが起ころうとする
が、生産装置又は機器４０が配置された上部側の高性能
フィルタ３１Ａには、生産装置又は機器４０の上部側の
空気を吸引する吸気ファン３２が配設されているから、
その強制的な気流によって、気流の乱れを防止すること
ができる。

【００２３】以上のように、本実施例では、生産装置又
は機器４０が配置された上部側の高性能フィルタ３１Ａ
には、生産装置又は機器４０の上部側の空気を吸引する
吸気ファン３２が配設されているから、生産装置又は機
器４０からの発熱、或いは生産装置又は機器４０からの
上方吹出気流があっても、これらに起因する気流の乱れ
を抑制し、生産装置又は機器４０の周辺の気流の乱れを
防止することができる。

【００２４】尚、この実施例において、生産装置又は機
器４０からの上昇気流に汚染物質が含まれる場合には、
高性能フィルタ３１Ａを公知の汚染物質除去フィルタと
する（請求項３）。汚染物質除去フィルタとしては、例えば、化学吸着、物
理吸着作用を利用したケミカルフィルタと通称されるも
ので、有機溶剤を吸着する活性炭からなるフィルタ、Ｎ
Ｏ_XやＳＯ_Xを還元するフィルタ、ＳｉＯ₂を吸着するＳ
ｉＯ₂フィルタ、或いは塩化物を吸着するフィルタ等が
ある。

【００２５】この汚染物質除去フィルタによって、汚染
物質を捕捉し、周辺への汚染を防止することができる。
図２は、請求項２に係るクリーンルームの一実施例を示
すものである。

【００２６】この実施例では、図１に示すクリーンルー
ムの吸気ファン３２に、冷却コイル７０を設けたもので
ある。この実施例は、生産装置又は機器４０からの発熱
が大きい場合に適用される。生産装置又は機器４０で
は、その性質上、例えば、表面温度が４０℃のような熱
を伴うものがある。その場合、生産装置又は機器４０か
ら発生する熱によって、生産装置又は機器４０の上部側
で熱気流４１′による対流現象が起ころうとしても、生
産装置又は機器４０が配置された上部側の高性能フィル
タ３１Ａには、生産装置又は機器４０の上部側の空気を
吸引する吸気ファン３２が配設されているから、その強
制的な気流によって、対流現象を破壊することができ
る。

【００２７】例えば、生産装置又は機器４０の表面温度
が４０℃、生産装置又は機器４０の周辺の温度が２３℃
の場合、周囲の温度雰囲気を壊さないように２３℃程度
の温度に冷却して高性能フィルタ３１Ｂから吹き出され
る。この実施例によれば、周辺への温度影響を防止する
ことができる。この実施例においても、上記図１に示す
実施例と同様の効果を奏することができる。

【００２８】又、この実施例において、生産装置又は機
器４０からの上昇気流に汚染物質が含まれる場合には、
高性能フィルタ３１Ａを公知の汚染物質除去フィルタと
する（請求項３）。尚、上記実施例では、生産装置又は機器４０の上部側の
フィルタユニット３０に軸流型ファン等の吸気ファン３
２を取り付けた場合について説明したが、その箇所を吸
気ファンと一体になった公知のファンフィルタユニット
に置き換えても良い。

【００２９】又、吸気ファン３２によって吸引された空
気を、強制循環させる場合について説明したが、吸気フ
ァン３２によって吸引された空気を室２外へ放出し、エ
アガイド３６から圧送される空気を専用の送気ファンを
設けても良い。

【００３０】更に、一台の生産装置又は機器４０を例に
とって説明したが、生産装置又は機器４０の台数は任意
である。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１乃至４のク
リーンルームでは、生産装置又は機器からの発熱、生産
装置又は機器の吹出気流に起因する気流の乱れを抑制
し、汚染の拡散範囲を小さくできる。

【００３２】請求項２のクリーンルームでは、生産装置
又は機器の周辺への温度影響を防止することができる。
請求項３のクリーンルームでは、汚染物質の捕捉を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１に係るクリーンルームの一実施例を示
す説明図である。

【図２】請求項２に係るクリーンルームの一実施例を示
す説明図である。

【図３】従来のクリーンルームを示す説明図である。

【図４】従来のクリーンルームを示す説明図である。

【符号の説明】

２０室３０フィルタユニット３１，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ高性能フィルタ３２吸気ファン３５天井空間３６エアガイド４０生産装置又は機器５０床５１空気流通穴５５床下空間６０空調装置７０冷却コイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】室と、この室の上部側に配設されたフィ
ルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産
装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィ
ルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に
空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを
有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生
産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配
設され、生産装置又は機器の周囲の上部側のフィルタユニットに
は、生産装置又は機器の周囲に空気を圧送する送気手段
が配設されていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】室と、この室の上部側に配設されたフィ
ルタユニットと、室の下部側を仕切ると共に上面に生産
装置又は機器を配置する空気流通穴を備えた床と、フィ
ルタユニットを介して清浄空気を室内に供給すると共に
空気流通孔を介して室内の空気を吸引する空調装置とを
有するクリーンルームにおいて、生産装置又は機器の上部側のフィルタユニットには、生
産装置又は機器の上部側の空気を吸引する吸気手段が配
設され、吸気手段には、吸い込まれた室内空気を冷却する冷却手
段が連絡し、冷却手段には、冷却された室内空気を生産装置又は機器
の周囲に圧送する送気手段が配設されていることを特徴
とするクリーンルーム。
【請求項３】生産装置又は機器が配置された上部側の
フィルタユニットは、汚染物質除去フィルタで構成され
ていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリー
ンルーム。
【請求項４】エアガイドを設けたフィルタユニットか
らの流速は、生産装置又は機器が配置されていない領域
のフィルタユニットからの流速よりも早く設定されてい
ることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のク
リーンルーム。