JPH08247771A - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH08247771A JPH08247771A JP7083294A JP8329495A JPH08247771A JP H08247771 A JPH08247771 A JP H08247771A JP 7083294 A JP7083294 A JP 7083294A JP 8329495 A JP8329495 A JP 8329495A JP H08247771 A JPH08247771 A JP H08247771A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 無回転時のドリフト信号が少ない振動ジャイ
ロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、たとえば正3角柱状の
振動体12を含む。振動体12の1つの側面の中央部
に、駆動用の圧電素子14を形成する。振動体12の他
の2つの側面の中央部に、検出用の圧電素子16a,1
6bを形成する。駆動用圧電素子14の幅は、検出用圧
電素子16a,16bの幅より大きくなるように形成す
る。駆動用圧電素子14の幅は、振動体12の側面の幅
とほぼ同じとなるように形成することが望ましい。
ロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、たとえば正3角柱状の
振動体12を含む。振動体12の1つの側面の中央部
に、駆動用の圧電素子14を形成する。振動体12の他
の2つの側面の中央部に、検出用の圧電素子16a,1
6bを形成する。駆動用圧電素子14の幅は、検出用圧
電素子16a,16bの幅より大きくなるように形成す
る。駆動用圧電素子14の幅は、振動体12の側面の幅
とほぼ同じとなるように形成することが望ましい。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、振動体の屈曲振動を利用して回転角速度
を検出するための振動ジャイロに関する。
特にたとえば、振動体の屈曲振動を利用して回転角速度
を検出するための振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図7は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図であり、図8はその断面図である。振動ジャイロ
1は、たとえば正3角柱状の振動体2を含む。振動体2
の3つの側面には、それぞれ圧電素子3a,3b,3c
が形成される。圧電素子3a,3bは、回転角速度に対
応した信号を出力させるための検出用として用いられ
る。また、圧電素子3cは、振動体2を屈曲振動させる
ための駆動用として用いられる。この振動ジャイロ1で
は、図9に示すように、圧電素子3a,3bと圧電素子
3cとの間に、発振回路4が接続される。この発振回路
4からの信号が、駆動信号として圧電素子3cに与えら
れる。この駆動信号によって、振動体2は、圧電素子3
c形成面に直交する方向に屈曲振動する。振動体2の屈
曲振動によって圧電素子3a,3bに発生する信号は、
発振回路4に帰還される。
斜視図であり、図8はその断面図である。振動ジャイロ
1は、たとえば正3角柱状の振動体2を含む。振動体2
の3つの側面には、それぞれ圧電素子3a,3b,3c
が形成される。圧電素子3a,3bは、回転角速度に対
応した信号を出力させるための検出用として用いられ
る。また、圧電素子3cは、振動体2を屈曲振動させる
ための駆動用として用いられる。この振動ジャイロ1で
は、図9に示すように、圧電素子3a,3bと圧電素子
3cとの間に、発振回路4が接続される。この発振回路
4からの信号が、駆動信号として圧電素子3cに与えら
れる。この駆動信号によって、振動体2は、圧電素子3
c形成面に直交する方向に屈曲振動する。振動体2の屈
曲振動によって圧電素子3a,3bに発生する信号は、
発振回路4に帰還される。
【0003】圧電素子3a,3bは、差動回路5に接続
される。差動回路5は検波回路6に接続され、さらに検
波回路6は平滑回路7に接続される。無回転時において
は、圧電素子3a,3bは振動体の振動方向に対して対
称となるように配置されているため、それらの屈曲状態
は同じとなる。そのため、圧電素子3a,3bからの出
力信号は同じであり、差動回路5からは信号が出力され
ない。振動体2の軸を中心として回転すると、無回転時
の振動方向に対して直交する方向にコリオリ力が働く。
このコリオリ力によって、振動体2の振動方向が変わ
る。そのため、圧電素子3a,3bの屈曲状態に差が生
じ、異なる信号が出力される。したがって、差動回路5
からは、圧電素子3a,3bの出力信号の差が得られ
る。差動回路5の出力信号は検波回路6で検波され、さ
らに平滑回路7で平滑される。この平滑回路7の出力信
号は、コリオリ力に対応した信号である。したがって、
平滑回路7の出力信号を測定することにより、振動ジャ
イロ1に加わった回転角速度が検出される。
される。差動回路5は検波回路6に接続され、さらに検
波回路6は平滑回路7に接続される。無回転時において
は、圧電素子3a,3bは振動体の振動方向に対して対
称となるように配置されているため、それらの屈曲状態
は同じとなる。そのため、圧電素子3a,3bからの出
力信号は同じであり、差動回路5からは信号が出力され
ない。振動体2の軸を中心として回転すると、無回転時
の振動方向に対して直交する方向にコリオリ力が働く。
このコリオリ力によって、振動体2の振動方向が変わ
る。そのため、圧電素子3a,3bの屈曲状態に差が生
じ、異なる信号が出力される。したがって、差動回路5
からは、圧電素子3a,3bの出力信号の差が得られ
る。差動回路5の出力信号は検波回路6で検波され、さ
らに平滑回路7で平滑される。この平滑回路7の出力信
号は、コリオリ力に対応した信号である。したがって、
平滑回路7の出力信号を測定することにより、振動ジャ
イロ1に加わった回転角速度が検出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロ1では、雰囲気温度の変化などによ
り、振動体2に反りが生じる場合がある。特に、図10
に示すように、無回転時の振動方向に対して直交する方
向に振動体2が反った場合、検出用の圧電素子3a,3
bが反ってしまうため、無回転時においても屈曲状態に
差が生じる。そのため、無回転時においても、圧電素子
3a,3bの出力信号に差が生じ、差動回路5から信号
が出力される。そのため、回転していないにもかかわら
ず、回転角速度が加わっているように誤検知してしま
う。
うな振動ジャイロ1では、雰囲気温度の変化などによ
り、振動体2に反りが生じる場合がある。特に、図10
に示すように、無回転時の振動方向に対して直交する方
向に振動体2が反った場合、検出用の圧電素子3a,3
bが反ってしまうため、無回転時においても屈曲状態に
差が生じる。そのため、無回転時においても、圧電素子
3a,3bの出力信号に差が生じ、差動回路5から信号
が出力される。そのため、回転していないにもかかわら
ず、回転角速度が加わっているように誤検知してしま
う。
【0005】このようなドリフト信号を補正するため
に、検出回路の中に補正回路を組み込むことが行われて
いる。しかしながら、このような方法では、補正を行う
ためのコストが増加し、また回路が複雑になるなどの問
題があった。
に、検出回路の中に補正回路を組み込むことが行われて
いる。しかしながら、このような方法では、補正を行う
ためのコストが増加し、また回路が複雑になるなどの問
題があった。
【0006】それゆえに、この発明の主たる目的は、無
回転時のドリフト信号が少ない振動ジャイロを提供する
ことである。
回転時のドリフト信号が少ない振動ジャイロを提供する
ことである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体と、振動体の側面に形成される複数の圧電素子とを含
み、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる圧電素子の幅が、回転角速度に対応し
た信号を出力させるための圧電素子の幅よりも大きくな
るようにした、振動ジャイロである。この振動ジャイロ
において、振動体を振動させるための駆動用または帰還
用としてのみ用いられる圧電素子の幅が、振動体の側面
の幅とほぼ同じとなるように形成されることが望まし
い。また、この発明は、圧電材料で形成された柱状の振
動体と、振動体の側面に形成される複数の電極とを含
み、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる電極の幅が、回転角速度に対応した信
号を出力させるための電極の幅よりも大きくなるように
した、振動ジャイロである。この振動ジャイロにおい
て、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる電極の幅が、振動体の側面の幅とほぼ
同じとなるように形成されることが望ましい。
体と、振動体の側面に形成される複数の圧電素子とを含
み、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる圧電素子の幅が、回転角速度に対応し
た信号を出力させるための圧電素子の幅よりも大きくな
るようにした、振動ジャイロである。この振動ジャイロ
において、振動体を振動させるための駆動用または帰還
用としてのみ用いられる圧電素子の幅が、振動体の側面
の幅とほぼ同じとなるように形成されることが望まし
い。また、この発明は、圧電材料で形成された柱状の振
動体と、振動体の側面に形成される複数の電極とを含
み、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる電極の幅が、回転角速度に対応した信
号を出力させるための電極の幅よりも大きくなるように
した、振動ジャイロである。この振動ジャイロにおい
て、振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる電極の幅が、振動体の側面の幅とほぼ
同じとなるように形成されることが望ましい。
【0008】
【作用】振動体は、駆動用または帰還用としてのみ用い
られる圧電素子に直交する方向に屈曲振動する。雰囲気
温度の変化などにより、無回転時の屈曲振動に対して直
交する方向に振動体が反った場合、駆動用または帰還用
としてのみ用いられる圧電素子は、振動体の側面の中央
線を境として、延びと縮みとが逆となるように変形す
る。
られる圧電素子に直交する方向に屈曲振動する。雰囲気
温度の変化などにより、無回転時の屈曲振動に対して直
交する方向に振動体が反った場合、駆動用または帰還用
としてのみ用いられる圧電素子は、振動体の側面の中央
線を境として、延びと縮みとが逆となるように変形す
る。
【0009】圧電素子が変形すると、延びた部分と縮ん
だ部分とで、逆極性の電荷が発生する。それぞれの電荷
が、圧電素子の延びた部分および縮んだ部分を復元させ
るように働く。駆動用または帰還用としてのみ用いられ
る圧電素子の幅を大きくすると、振動体の反りによって
発生した電荷による圧電素子の復元力が大きくなる。こ
の圧電素子の復元力により、振動体の反りが矯正され
る。圧電材料で形成された振動体に電極を形成した振動
ジャイロにおいても、駆動用または帰還用としてのみ用
いられる電極の幅を大きくすることによって、その電極
下の圧電体に発生する電荷が同様に働く。
だ部分とで、逆極性の電荷が発生する。それぞれの電荷
が、圧電素子の延びた部分および縮んだ部分を復元させ
るように働く。駆動用または帰還用としてのみ用いられ
る圧電素子の幅を大きくすると、振動体の反りによって
発生した電荷による圧電素子の復元力が大きくなる。こ
の圧電素子の復元力により、振動体の反りが矯正され
る。圧電材料で形成された振動体に電極を形成した振動
ジャイロにおいても、駆動用または帰還用としてのみ用
いられる電極の幅を大きくすることによって、その電極
下の圧電体に発生する電荷が同様に働く。
【0010】
【発明の効果】この発明によれば、雰囲気温度の変化な
どによって振動体に反りが発生しても、それを矯正する
力が働くため、無回転時におけるドリフト信号を抑える
ことができる。そのため、検出回路に補正回路などを組
み込む必要がなく、正確に回転角速度を検出することが
できる。
どによって振動体に反りが発生しても、それを矯正する
力が働くため、無回転時におけるドリフト信号を抑える
ことができる。そのため、検出回路に補正回路などを組
み込む必要がなく、正確に回転角速度を検出することが
できる。
【0011】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0012】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図2はその断面図である。振動ジャイロ10は、た
とえば正3角柱状の振動体12を含む。振動体12は、
たとえばエリンバ,鉄−ニッケル合金,石英,ガラス,
水晶,セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる
材料で形成される。
り、図2はその断面図である。振動ジャイロ10は、た
とえば正3角柱状の振動体12を含む。振動体12は、
たとえばエリンバ,鉄−ニッケル合金,石英,ガラス,
水晶,セラミックなど、一般的に機械的な振動を生じる
材料で形成される。
【0013】振動体12の1つの側面の中央部には、振
動体12を屈曲振動させるために用いられる駆動用の圧
電素子14が形成される。また、振動体12の他の2つ
の側面の中央部には、回転角速度に対応する信号を出力
させるための検出用の圧電素子16a,16bが形成さ
れる。駆動用の圧電素子14は、たとえば圧電セラミッ
クなどで形成される圧電層18を含み、この圧電層18
の両面に電極20a,20bが形成される。そして、一
方の電極20bが、振動体12に接着される。同様に、
検出用の圧電素子16a,16bは圧電層22a,22
bを含み、それらの両面に電極24a,24bおよび電
極26a,26bが形成される。そして、圧電素子16
a,16bの一方の電極24b,26bが、振動体12
に接着される。駆動用の圧電素子14は、検出用の圧電
素子16a,16bに比べて、大きい幅となるように形
成される。この実施例では、駆動用の圧電素子14は、
振動体12の側面とほぼ同じ幅となるように形成されて
いる。
動体12を屈曲振動させるために用いられる駆動用の圧
電素子14が形成される。また、振動体12の他の2つ
の側面の中央部には、回転角速度に対応する信号を出力
させるための検出用の圧電素子16a,16bが形成さ
れる。駆動用の圧電素子14は、たとえば圧電セラミッ
クなどで形成される圧電層18を含み、この圧電層18
の両面に電極20a,20bが形成される。そして、一
方の電極20bが、振動体12に接着される。同様に、
検出用の圧電素子16a,16bは圧電層22a,22
bを含み、それらの両面に電極24a,24bおよび電
極26a,26bが形成される。そして、圧電素子16
a,16bの一方の電極24b,26bが、振動体12
に接着される。駆動用の圧電素子14は、検出用の圧電
素子16a,16bに比べて、大きい幅となるように形
成される。この実施例では、駆動用の圧電素子14は、
振動体12の側面とほぼ同じ幅となるように形成されて
いる。
【0014】この振動ジャイロ10を使用する場合、図
3に示すように、検出用の圧電素子16a,16bに抵
抗28a,28bが接続される。これらの抵抗28a,
28bと駆動用の圧電素子14との間に、発振回路30
が接続される。この発振回路30の出力信号が、駆動信
号として圧電素子14に与えられる。この駆動信号によ
って、振動体12は、圧電素子14形成面に直交する方
向に屈曲振動する。振動体12の屈曲振動によって、圧
電素子16a,16bから信号が出力され、この信号が
発振回路30に帰還される。
3に示すように、検出用の圧電素子16a,16bに抵
抗28a,28bが接続される。これらの抵抗28a,
28bと駆動用の圧電素子14との間に、発振回路30
が接続される。この発振回路30の出力信号が、駆動信
号として圧電素子14に与えられる。この駆動信号によ
って、振動体12は、圧電素子14形成面に直交する方
向に屈曲振動する。振動体12の屈曲振動によって、圧
電素子16a,16bから信号が出力され、この信号が
発振回路30に帰還される。
【0015】さらに、検出用の圧電素子16a,16b
は、差動回路32に接続される。この差動回路32は検
波回路34に接続され、さらに検波回路34は平滑回路
36に接続される。無回転時には、振動体12は、圧電
素子14形成面に直交する方向に屈曲振動する。このと
き、検出用の圧電素子16a,16bは、振動方向に対
して対称となるように配置されているため、これらの圧
電素子16a,16bの屈曲状態は同じになる。そのた
め、圧電素子16a,16bから同じ信号が出力され、
差動回路32からは信号が出力されない。
は、差動回路32に接続される。この差動回路32は検
波回路34に接続され、さらに検波回路34は平滑回路
36に接続される。無回転時には、振動体12は、圧電
素子14形成面に直交する方向に屈曲振動する。このと
き、検出用の圧電素子16a,16bは、振動方向に対
して対称となるように配置されているため、これらの圧
電素子16a,16bの屈曲状態は同じになる。そのた
め、圧電素子16a,16bから同じ信号が出力され、
差動回路32からは信号が出力されない。
【0016】振動体12の軸を中心として回転すると、
無回転時の屈曲振動と直交する方向にコリオリ力が働
く。このコリオリ力によって、振動体12の屈曲振動の
方向が変わる。そのため、圧電素子16a,16bの屈
曲状態に差が生じ、異なる信号が出力される。これらの
圧電素子16a,16bは、無回転時の振動方向に対し
て対称に配置されているため、コリオリ力が加わること
による圧電素子16a,16bの屈曲状態は逆向きとな
り、互いに逆極性の信号が出力される。そのため、差動
回路32からは、コリオリ力に対応した大きい出力信号
が得られる。差動回路32の出力信号は検波回路34で
検波され、さらに平滑回路36で平滑される。平滑回路
36の出力信号はコリオリ力に対応した信号であり、こ
の信号を測定することにより、振動ジャイロ10に加わ
った回転角速度を検出することができる。
無回転時の屈曲振動と直交する方向にコリオリ力が働
く。このコリオリ力によって、振動体12の屈曲振動の
方向が変わる。そのため、圧電素子16a,16bの屈
曲状態に差が生じ、異なる信号が出力される。これらの
圧電素子16a,16bは、無回転時の振動方向に対し
て対称に配置されているため、コリオリ力が加わること
による圧電素子16a,16bの屈曲状態は逆向きとな
り、互いに逆極性の信号が出力される。そのため、差動
回路32からは、コリオリ力に対応した大きい出力信号
が得られる。差動回路32の出力信号は検波回路34で
検波され、さらに平滑回路36で平滑される。平滑回路
36の出力信号はコリオリ力に対応した信号であり、こ
の信号を測定することにより、振動ジャイロ10に加わ
った回転角速度を検出することができる。
【0017】雰囲気温度などが変化した場合、振動体1
2に反りが発生する場合がある。振動体12が、圧電素
子14形成面に直交する方向に反った場合、検出用の圧
電素子16a,16bは、同じ状態で変形する。そのた
め、振動体12の反りによる出力信号はほぼ同じとな
り、圧電素子16a,16bの出力信号の差をとれば、
振動体12の反りによる影響は小さくなる。
2に反りが発生する場合がある。振動体12が、圧電素
子14形成面に直交する方向に反った場合、検出用の圧
電素子16a,16bは、同じ状態で変形する。そのた
め、振動体12の反りによる出力信号はほぼ同じとな
り、圧電素子16a,16bの出力信号の差をとれば、
振動体12の反りによる影響は小さくなる。
【0018】振動体12が、無回転時の振動に直交する
方向に反った場合、2つの圧電素子16a,16bの変
形は異なるため、異なる信号が出力される。そのため、
このような振動体12の変形によるドリフト信号を抑え
る必要がある。このように振動体12が反った場合、駆
動用の圧電素子14は、図4に示すように、一点鎖線で
示す振動体12の側面の中心線を境として、一方が延び
た状態となり、他方が縮んだ状態となる。そのため、圧
電素子14の延びた部分と縮んだ部分とで、逆極性の電
荷が発生する。これらの電荷が、圧電素子14の延びお
よび縮みを矯正するように、圧電素子14を復元させ
る。このような圧電素子14の復元力により、振動体1
2の反りが矯正される。したがって、振動体12の反り
によるドリフト信号を抑えることができ、正確に回転角
速度を検出することができる。
方向に反った場合、2つの圧電素子16a,16bの変
形は異なるため、異なる信号が出力される。そのため、
このような振動体12の変形によるドリフト信号を抑え
る必要がある。このように振動体12が反った場合、駆
動用の圧電素子14は、図4に示すように、一点鎖線で
示す振動体12の側面の中心線を境として、一方が延び
た状態となり、他方が縮んだ状態となる。そのため、圧
電素子14の延びた部分と縮んだ部分とで、逆極性の電
荷が発生する。これらの電荷が、圧電素子14の延びお
よび縮みを矯正するように、圧電素子14を復元させ
る。このような圧電素子14の復元力により、振動体1
2の反りが矯正される。したがって、振動体12の反り
によるドリフト信号を抑えることができ、正確に回転角
速度を検出することができる。
【0019】このような効果は、従来の振動ジャイロで
も得ることができるが、圧電素子の幅が狭いと、電荷に
よる復元力が弱く振動体の反りを十分に矯正することが
できない。また、圧電素子の幅が狭いと、その取付け位
置などにより、矯正効果にばらつきが生じる。極端な場
合として、振動体の側面の中央線の一方側にのみ圧電素
子が形成されると、振動体の反りによって、圧電素子は
延びまたは縮みの一方のみが発生し、反りの矯正効果が
なくなる。それに対して、この発明の振動ジャイロ10
では、駆動用の圧電素子14の幅が大きいため、電荷に
よる矯正力が大きく、また圧電素子の取付け位置のばら
つきも少なくすることができる。特に、圧電素子14と
振動体12の側面とをほぼ同じ幅にしておけば、取付け
位置のばらつきが最も少なく、しかも反りの矯正力も最
大になる。
も得ることができるが、圧電素子の幅が狭いと、電荷に
よる復元力が弱く振動体の反りを十分に矯正することが
できない。また、圧電素子の幅が狭いと、その取付け位
置などにより、矯正効果にばらつきが生じる。極端な場
合として、振動体の側面の中央線の一方側にのみ圧電素
子が形成されると、振動体の反りによって、圧電素子は
延びまたは縮みの一方のみが発生し、反りの矯正効果が
なくなる。それに対して、この発明の振動ジャイロ10
では、駆動用の圧電素子14の幅が大きいため、電荷に
よる矯正力が大きく、また圧電素子の取付け位置のばら
つきも少なくすることができる。特に、圧電素子14と
振動体12の側面とをほぼ同じ幅にしておけば、取付け
位置のばらつきが最も少なく、しかも反りの矯正力も最
大になる。
【0020】さらに、図5に示すように、振動体12を
圧電材料で形成してもよく、その場合、図1および図2
に示す振動ジャイロの圧電素子14,16a,16bを
形成した位置に、電極40および電極42a,42bが
形成される。このような振動ジャイロ10でも、図3に
示す回路を用いることによって、回転角速度を検出する
ことができる。さらに、駆動用として用いられる電極4
0の幅を大きくすることによって、電極40の下の圧電
体に電荷が発生し、振動体12の反りを矯正することが
できる。
圧電材料で形成してもよく、その場合、図1および図2
に示す振動ジャイロの圧電素子14,16a,16bを
形成した位置に、電極40および電極42a,42bが
形成される。このような振動ジャイロ10でも、図3に
示す回路を用いることによって、回転角速度を検出する
ことができる。さらに、駆動用として用いられる電極4
0の幅を大きくすることによって、電極40の下の圧電
体に電荷が発生し、振動体12の反りを矯正することが
できる。
【0021】なお、上述の実施例では、圧電素子14ま
たは電極40を駆動用として用いたが、これらの圧電素
子14または電極40を帰還用として用いてもよい。こ
の場合、発振回路30の信号は、圧電素子16a,16
bまたは電極42a,42bに与えられる。この場合で
も、駆動信号によって、振動体12は圧電素子14形成
面または電極40形成面に直交する方向に屈曲振動す
る。このとき、駆動信号は差動回路32で相殺され、差
動回路32からは駆動信号成分が出力されない。このよ
うな振動ジャイロ20においても、無回転時の屈曲振動
に対して直交する方向の振動体12の反りが、圧電素子
14または電極40部分の変形によって生じる電荷によ
って矯正される。
たは電極40を駆動用として用いたが、これらの圧電素
子14または電極40を帰還用として用いてもよい。こ
の場合、発振回路30の信号は、圧電素子16a,16
bまたは電極42a,42bに与えられる。この場合で
も、駆動信号によって、振動体12は圧電素子14形成
面または電極40形成面に直交する方向に屈曲振動す
る。このとき、駆動信号は差動回路32で相殺され、差
動回路32からは駆動信号成分が出力されない。このよ
うな振動ジャイロ20においても、無回転時の屈曲振動
に対して直交する方向の振動体12の反りが、圧電素子
14または電極40部分の変形によって生じる電荷によ
って矯正される。
【0022】また、振動体12の形状は正3角柱状に限
らず、図6に示すように4角柱状であってもよい。この
場合、振動体12の4つの側面に圧電素子44a,44
b,46a,46bが形成される。そして、駆動用また
は帰還用としてのみ用いられる圧電素子44a,44b
が、検出用の圧電素子46a,46bより広い幅となる
ように形成される。
らず、図6に示すように4角柱状であってもよい。この
場合、振動体12の4つの側面に圧電素子44a,44
b,46a,46bが形成される。そして、駆動用また
は帰還用としてのみ用いられる圧電素子44a,44b
が、検出用の圧電素子46a,46bより広い幅となる
ように形成される。
【0023】また、正方形の断面を有する振動体の対角
線方向に屈曲振動させてもよい。この場合、振動体の隣
接する側面に、連結された圧電素子が形成される。この
連結された圧電素子が、駆動用または帰還用として用い
られる。そして、この連結された圧電素子は、振動体の
側面とほぼ同じ幅に形成される。また、振動体の他の2
つの側面には、検出用の圧電素子が形成され、これらの
検出用圧電素子が差動回路に接続される。さらに、円柱
状の振動体を用いてもよい。この場合、通常、振動体は
圧電材料で形成され、その側面に3つの電極が形成され
る。そして、駆動用または帰還用として用いられる電極
の幅が、検出用として用いられる電極の幅より大きくな
るように形成される。
線方向に屈曲振動させてもよい。この場合、振動体の隣
接する側面に、連結された圧電素子が形成される。この
連結された圧電素子が、駆動用または帰還用として用い
られる。そして、この連結された圧電素子は、振動体の
側面とほぼ同じ幅に形成される。また、振動体の他の2
つの側面には、検出用の圧電素子が形成され、これらの
検出用圧電素子が差動回路に接続される。さらに、円柱
状の振動体を用いてもよい。この場合、通常、振動体は
圧電材料で形成され、その側面に3つの電極が形成され
る。そして、駆動用または帰還用として用いられる電極
の幅が、検出用として用いられる電極の幅より大きくな
るように形成される。
【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1に示す振動ジャイロに断面図である。
【図3】図1に示す振動ジャイロを使用するための回路
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図4】図1に示す振動ジャイロが反った状態を示す斜
視図である。
視図である。
【図5】この発明の他の実施例を示す断面図である。
【図6】この発明のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。
る。
【図7】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図8】図7に示す従来の振動ジャイロの断面図であ
る。
る。
【図9】図7に示す従来の振動ジャイロを使用するため
の回路を示すブロック図である。
の回路を示すブロック図である。
【図10】図7に示す従来の振動ジャイロが反った状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
10 振動ジャイロ 12 振動体 14 駆動用圧電素子 16a,16b 検出用圧電素子 40 駆動用電極 42a,42b 検出用電極
Claims (4)
- 【請求項1】 柱状の振動体と、前記振動体の側面に形
成される複数の圧電素子とを含み、 前記振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる前記圧電素子の幅が、回転角速度に対
応した信号を出力させるための前記圧電素子の幅よりも
大きくなるようにした、振動ジャイロ。 - 【請求項2】 前記振動体を振動させるための駆動用ま
たは帰還用としてのみ用いられる前記圧電素子の幅が、
前記振動体の側面の幅とほぼ同じとなるように形成され
た、請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 【請求項3】 圧電材料で形成された柱状の振動体と、
前記振動体の側面に形成される複数の電極とを含み、 前記振動体を振動させるための駆動用または帰還用とし
てのみ用いられる前記電極の幅が、回転角速度に対応し
た信号を出力させるための前記電極の幅よりも大きくな
るようにした、振動ジャイロ。 - 【請求項4】 前記振動体を振動させるための駆動用ま
たは帰還用としてのみ用いられる前記電極の幅が、前記
振動体の側面の幅とほぼ同じとなるように形成された、
請求項3に記載の振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7083294A JPH08247771A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7083294A JPH08247771A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 振動ジャイロ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247771A true JPH08247771A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=13798385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7083294A Pending JPH08247771A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247771A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104551510A (zh) * | 2013-10-12 | 2015-04-29 | 深圳先进技术研究院 | 大角度压电陶瓷片点焊加工治具 |
-
1995
- 1995-03-14 JP JP7083294A patent/JPH08247771A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104551510A (zh) * | 2013-10-12 | 2015-04-29 | 深圳先进技术研究院 | 大角度压电陶瓷片点焊加工治具 |
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