JPH08248645A - レジスト硬化膜の剥離液 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 剥離時間が短くて、硬化膜の厚みが薄い場合
においても剥離片の細分化が可能であって、金属網等の
目詰まりが少ない剥離液を提供する。 【構成】 アルカリ水溶液現像型の光重合性組成物を基
体上に保持し、活性光線によってこの組成物を硬化させ
て得られる硬化膜を基体上から剥離するための剥離液で
あって、水、アルカリ金属水酸化物及び水混和性有機溶
剤を含有する剥離液。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレジスト硬化膜の剥離液
に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板の製造方法として銅張積
層板などの基体上にアルカリ水溶液現像タイプのフォト
レジスト組成物を保持し、その一部を光硬化させてパタ
−ン形成し、未露光部を除去する方法が採用されてい
る。このフォトレジスト組成物としては例えば、水性ア
ルカリに可溶なアクリル系線状共重合体、末端エチレン
性不飽和単量体及び光開始剤を含有する光重合性組成物
が使用される。フォトレジスト組成物は基体上に塗布あ
るいはラミネートされ、活性光線により画像的に露光を
行って硬化膜とされる。その際未硬化部分は炭酸ソーダ
水溶液などにより除去され、基体に対しては必要に応じ
塩化第二鉄水溶液等でエッチング処理等が行われた後
に、剥離液を用いて基体から硬化膜を除去する工程がと
られている。

【０００３】また近年では、同様の工程を用いてフォト
エッチング法により金属微細加工をすることも試みられ
ている。

【０００４】このような硬化膜の剥離液としては、従来
から苛性ソーダ、苛性カリなどのアルカリ金属水酸化物
の水溶液が使用されている。また水、水混和性有機溶剤
及びアミン化合物を組み合わせた剥離液が提案されてい
る（特開昭６４ー５６９５号公報）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】剥離液は剥離能力が低
下するまで何度でも使用されるが、作業性を低下させな
いためには剥離液中の剥離片を除去することが必要であ
り、通常は金網等を用いて剥離片が除去される。ところ
で剥離液としてアルカリ金属水酸化物の水溶液を用いる
場合は、生成した剥離片がほぼ元の硬化膜の形状を保っ
ているために金網を目詰まりさせ、濾過作業性を低下さ
せる点が問題である。また剥離片が剥離装置の配管パイ
プに詰まりやすいという点も問題である。

【０００６】一方、水、水混和性有機溶剤及びアミン化
合物を組み合わせた剥離液を用いる場合は剥離片は小さ
くなるもののアミン化合物を使用しているため臭気があ
り作業上の問題がある。

【０００７】更に光重合性組成物の硬化膜厚が薄い場合
は、剥離時間は短くなるものの剥離片は元の硬化膜の形
状を保ちがちなために金網の目詰まりの問題が避けがた
い。本発明の目的は、剥離時間が短くて、硬化膜の厚み
が薄い場合においても剥離片の細分化が可能であって、
金属網等の目詰まりが少ない剥離液を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、アルカ
リ水溶液現像型の光重合性組成物を基体上に保持し、活
性光線によってこの組成物を硬化させて得られる硬化膜
を基体上から剥離するための剥離液であって、水、アル
カリ金属水酸化物及び水混和性有機溶剤を含有する剥離
液にある。

【０００９】本発明の剥離液において水の種類は特に限
定されず、水道水、蒸留水、イオン交換水、工業用水等
を単独でもしくは混合して使用することができる。アル
カリ金属水酸化物としては、苛性ソーダ、苛性カリ等が
使用される。

【００１０】剥離液中のアルカリ金属水酸化物／水の重
量比率は０．５／９９．５〜５／９５程度の範囲である
ことが好ましい。剥離片を小さくするため及び剥離液コ
ストを低く抑えるためにはアルカリ金属水酸化物の含有
量は少ない方が好ましい。また、剥離時間を短くするた
めにはアルカリ金属水酸化物の含有量は多い方が好まし
い。

【００１１】水混和性有機溶剤としてはエチレングリコ
ールモノエーテル、ジエチレングリコールモノエーテル
およびトリエチレングリコールモノエーテル等が単独で
もしくは混合して使用される。

【００１２】エチレングリコールモノエーテルとして
は、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモ
ノ−ｎ−ブチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ
−プロピルエーテル、エチレングリコールイソプロピル
エーテル、エチレングリコールイソブチルエーテル、エ
チレングリコールモノターシャリブチルエーテル等が用
いられる。

【００１３】ジエチレングリコールモノエーテルとして
は、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ール−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコール−
ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールイソブチル
エーテル、ジエチレングリコールターシャリブチルエー
テル等が用いられる。

【００１４】トリエチレングリコールモノエーテルとし
ては、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ト
リエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレ
ングリコール−ｎ−プロピルエーテル、トリエチレング
リコールイソプロピルエーテル、トリエチレングリコー
ル−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールイソ
ブチルエーテル、トリエチレングリコールターシャリブ
チルエーテル等が用いられる。

【００１５】これらの中でも剥離時間が短く剥離片が小
片化し易い点を考慮するとエチレングリコールモノブチ
ルエーテルが特に好ましい。

【００１６】剥離液中の水混和性有機溶剤の量は水とア
ルカリ金属水酸化物の合計１００重量部に対して２〜１
０重量部程度の範囲であることが好ましく、より好まし
くは３〜７重量部の範囲であり、さらに好ましくは５〜
６重量部の範囲である。剥離液のコストを考慮すると水
混和性有機溶剤の量は少ない方が好ましく、剥離時間を
短くしかつ剥離片を小さくするためには水混和性有機溶
剤の量は多い方が好ましい。

【００１７】本発明の剥離液には必要に応じて上記の成
分以外に消泡剤や界面活性剤等を含有させることができ
る。

【００１８】本発明の剥離液を用いて基体表面上に保持
された硬化膜を剥離する方法としては、剥離液に前記基
体を浸漬する方法、前記基体を剥離液に浸漬し、エアー
バブリング、攪拌羽根、超音波振動等の攪拌によって、
剥離液を揺動する方法、前記基体表面上に剥離液を流下
させる方法、前記基体表面上に剥離液をスプレーする方
法等が挙げられる。

【００１９】剥離液の温度は３０〜７０℃程度の範囲で
あることが好ましく、４０〜６０℃であることが特に好
ましい。剥離時間を短くするためには剥離液の温度は高
い方が好ましい。また、水混和性有機溶剤の揮発を防ぐ
ためには剥離液の温度は低い方が好ましい。

【００２０】以下、実施例により本発明を説明する。

【００２１】

【実施例】

実施例１並びに比較例１及び２ 銅面を研磨し、清浄化した縦１００ｍｍ、横１００ｍ
ｍ、厚み１．６ｍｍの銅張り積層板の銅面に、保護フィ
ルムを剥離して支持フィルムを上側にして感性フィルム
を温度１２０℃で積層した。感光性フィルムとしては、
縦８０ｍｍ、横８０ｍｍ、厚み１０μｍのアルカリ水溶
液現像タイプの感光性フィルムである三菱レイヨン株式
会社製のダイヤロン（ＤＩＡＬＯＮ）−ＦＲＡ０６３を
用いた。

【００２２】積層板の全面を水銀ランプを用いて露光
（ダイヤロン２５段ステップタブレット１７段残り相
当）して試験板を製造した。一方、表１に示す組成の剥
離液を調製し、それらをスプレー式剥離機に移液し、液
温を４５℃にした後、スプレー圧力１．３ｋｇ／ｃｍ²
にて、支持フィルムを除去した前記試験板に対してスプ
レーし、基体からの剥離時間および大きさを観察した。
得られた結果を表１に示した。

【００２３】実施例１では剥離時間が短く、剥離片の大
きさは２ｍｍ角以下と小さく、また金網の目詰まりはな
く良好な結果を示した。

【００２４】

【表１】

【００２５】

【発明の効果】本発明の剥離液は、硬化膜の厚みが薄い
場合においても剥離片の細分化が可能であって、金属網
等の目詰まりが少なく、剥離時間の短縮化を図ることが
できる。本発明の剥離液を使用すれば、プリント配線板
の製造、印刷用製版、金属微細加工等において歩留まり
の向上、工程時間の短縮等が達成できる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アルカリ水溶液現像型の光重合性組成物
   を基体上に保持し、活性光線によってこの組成物を硬化
   させて得られる硬化膜を基体上から剥離するための剥離
   液であって、水、アルカリ金属水酸化物及び水混和性有
   機溶剤を含有する剥離液。