JPH08249431A - 音響的または磁気的問合わせを行う磁気タグ - Google Patents

音響的または磁気的問合わせを行う磁気タグ

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JPH08249431A
JPH08249431A JP7301824A JP30182495A JPH08249431A JP H08249431 A JPH08249431 A JP H08249431A JP 7301824 A JP7301824 A JP 7301824A JP 30182495 A JP30182495 A JP 30182495A JP H08249431 A JPH08249431 A JP H08249431A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単で安価な磁気タグを提供すること。 【解決手段】 対象物への取り付けに適するタグ構造体
は、硬質磁性体材料の小さい薄板から僅かなスペースだ
け分離された軟質磁性体の薄いストリップを有する。共
鳴周波数がストリップの基本周波数に同調されたヘルム
ホルツ共鳴空胴内にストリップが好ましく取り付けられ
た場合、システムは、ストリップの共鳴に同調された音
響を利用して励起される。この励起がストリップの機械
的振動を生じさせ、システムの磁束変化が起きる。磁束
変化を検出する手段、及びその出力をデコードし、対象
物を識別する手段が備えられる。長さが異なる複数のス
トリップにより、それぞれの共振周波数に対応する一組
の磁気信号が得られる。複数のストリップは、コード化
されたマルチビット磁気タグを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は一般にカンチレバー
の配列を有し、対象物の識別に有用なマルチビット・タ
グに関する。特に好ましくは軟質磁性体材料の薄いスト
リップから作られたカンチレバーの新規な形態を有する
タグに関する。軟質磁性体材料にはメトグラス(商
標)、その他があり、硬質磁性体材料の小さな薄板から
狭い空間によって離隔されている。
【0002】更に本発明は、両端が固定又は非固定であ
る、軟質磁性体材料で作られた1つ以上のストリップに
よる音響励起を利用するタグに関する。
【0003】関連出願:ここに開示された本発明は、同
時係属中の米国特許出願第344196号、同第344
771号、同第344805号及び同第344808号
に関連している。
【0004】
【従来の技術】小売り用のタグ付け、陸路/空路の貨物
運送パッケージ産業でのタグ付け、及び製作プロセスに
おけるパレットのタグ付けは、製品を詳細に識別できる
タグが必要である。十分なビット数を有するタグを検査
することにより、製品名、製造日、価格、並びに製品が
チェックアウト・カウンタ或いは売店を正しく通過した
ものであるかどうかを決定することができる。タグはま
た個人及び他の様々な生物や無生物の識別に役立つ。
【0005】このように、タグは小売業、発送処理、製
造及び多数の他の業務において役立つ。多数の異なる磁
気タグの形態は、在庫、盗難防止及び個人識別用として
現在、関心が高い。音響励起が魅力的なのは従来使用さ
れていた電磁励起よりも指向性が低いことである。従来
のセンサの多くはまた、構造体の1部に電力源を必要と
し、センサによっては低温でのみ動作するものもある。
【0006】従来のタグにおける振動センサは、所定の
周波数で共振するように同調された1つ以上のカンチレ
バーを有する。カンチレバーの振動によりギャップが閉
じ、カンチレバーを通ってマイクロチップ及び装置のベ
ース上に搭載された集積回路に電流が流れる。このよう
に、この装置は電力源、配線、検知するための装置を流
れる電流、及び集積回路を必要とし、これらは全てタグ
構造体の1部である。
【0007】他の従来のタグは複数のカンチレバーを有
し、各々のカンチレバーは小さいカンチレバーに近接し
て取り付けられた独自の超伝導量子干渉デバイス(SQ
UID)検知器を持つ。電流はカンチレバーを通って流
れなければならない。この電流により磁界が発生し、そ
の磁束はカンチレバーが振動すると変化する。SQUI
Dは少なくとも液体窒素程度の低温、好ましくは4゜K
の液体ヘリウムの装置で作動する。この装置では遠隔か
らの検知ができず、更に電源の搭載を必要とする。その
上、装置の検知コイルは低温でのみ作動する。
【0008】既知の他の検知素子では、タイミングを調
節してノッキングを減らすフィードバック・メカニズム
においてエンジン・ノッキングが検出される。磁気また
は圧電タイプの振動カンチレバー素子が使用される。圧
電素子による検知は共振周波数での電流出力で得られ
る。磁気素子による検知では、磁気抵抗経路の変化が装
置を構成する磁気回路のコアを巻いたコイルによって検
出される。検知部は装置の1部であって遠隔からは検知
できない。装置がエンジン・ブロックに固定されている
ので、励起はカンチレバーの共振となる機械的振動であ
る。
【0009】更に共振素子が磁歪薄膜から成る共振器構
造体と一体構造である、単一"ビット"の共振器が知られ
ている。遠隔から検出できる音響信号を引き起こすのに
は磁気励起が必要である。
【0010】このように本発明は磁歪効果に依存し、磁
気的に問合わせするタグとは異なり、安価のマルチビッ
ト・タグを提供する。磁気タグは一般に集積回路を持つ
従来の無線周波(RF)タグよりも安価である。以上の
ように、磁気タグは盗難防止、識別或いは小売アプリケ
ーションなどの様々な異なるアプリケーションで使用さ
れる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、簡単
で安価な磁気タグを提供することにある。
【0012】本発明の別の目的は、軟質磁性体材料の薄
いストリップから製作されたカンチレバーの新規な形態
を提供することにある。軟質磁性体材料にはメトグラス
(商標)、パーマロイなどがあり、硬質磁性体材料の小
さい薄板から僅かなスペースで分離されてマルチビット
・タグのカンチレバーを形成する。
【0013】本発明の別の目的は、第1及び第2の端部
が固定させられたメトグラスなどから作られた1つ以上
のストリップでの音響励起を利用するタグを提供するこ
とにある。
【0014】本発明の別の目的は、磁気マルチビット・
タグで音響励起を利用するシステム及び方法を提供する
ことにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様とし
て、軟質磁性体材料から作られた少なくとも1つの素子
と、上記素子周辺に不均一な磁界を作り出す手段とを有
する遠隔から検知できる磁気タグが提供される。各磁気
素子は、音響励起によって励起されたときに、少なくと
も1つの磁気素子の共振に応答して、それらの共振に対
応する固有の時間変動磁界を作り出すために、好ましく
はヘルムホルツ共鳴器内に取り付けられる。ここにおい
て、共振は本質的に機械的であり、素子の面に垂直な方
向における振動モードに対応する。
【0016】本発明の第2の態様では、振動モードを強
めるために好ましくはヘルムホルツ共鳴器に取り付けら
れる磁気タグは、第1及び第2の端部を有する少なくと
も1つの軟質磁性体素子と、該素子の近くに配置され、
その周辺に不均一な磁界を供給する硬質磁石または他の
手段とを有する。上記第1及び第2の端部は両方が固定
されていないか、または第1及び第2の端部のどちらか
が固定されてカンチレバーのアセンブリを形成する。
【0017】
【発明の実施の形態】一般に本発明は、単一または複数
の磁気タグの新しいタイプを生み出す幾つかの概念を含
む。前述のように本発明のタグは在庫管理、対象物の識
別、人物識別、並びに盗難防止のために有用である。
【0018】詳細は後で説明されるが、装置はメトグラ
ス(商標)のような軟質磁性体材料(例えばFe−Co
ベースの非結晶の金属リボン)として知られている高透
磁性であるが低飽和保磁力を有する強磁性体の薄い断片
から作られたカンチレバーを有する。メトグラス(商
標)は、アライド・シグナル社から入手できる。この材
料は従来のほとんどの磁気タグが必要とした磁歪タイプ
でなくてもよい。
【0019】図1は本発明の磁気タグ1が利用される典
型的なシステムを示す。システムは所定の周波数(例え
ば約20Hz乃至20KHz)を有する複数の音響エネ
ルギー波を生成するためにスピーカ配列3を駆動する周
波数発生器2を有する。周波数の範囲は任意でよい。音
響エネルギーは、一般に識別すべきオブジェクトに取り
付けたタグの1つ以上の素子をそれぞれの共振周波数で
共振させることにより問合わせする。1つ以上の素子か
らの出力は、ピックアップ(受信)コイル4によって受
けられる。受信後、ピックアップ・コイル4からの出力
は陰極線管(CRT)5などの出力/表示装置、チャー
ト式記録計6(ロックイン装置経由)、周波数分析器
7、デコーダ8などに入力される。本発明ではタグから
の検出周波数コードにもとづいて、デコーダ8がコード
を復号する。デコーダ8の構成は従来技術において既知
であり、例えばピックアップ・コイル4と適切な処理装
置との間のインタフェースを含む。この処理装置にはA
/Dコンバータ、適切な信号条件/処理回路、ルックア
ップ・テーブル及び論理回路などの既知の回路が含まれ
る。このように、タグ1によってコード化された所定の
コードが検出される。
【0020】ここで図2乃至図4で詳細に示されるタグ
の構成を参照すると、タグは長さまたは厚さがそれぞれ
異なる複数のカンチレバー20を有する。各カンチレバ
ーは所定の共振周波数で共振するように構成される。
【0021】カンチレバーは上記1つ以上の素子のまわ
りに不均一な磁界H(x)を供給する手段の近くに位置
付けされ組立てられる。磁界供給手段は硬質磁性材料か
ら作られ、図2及び図4で示すようにコバルトまたは鉄
のような磁化された強磁性体21から成る。一般に、硬
質磁石近辺にあるカンチレバーの振動を妨げない限り何
れの構成でもよい。図2はカンチレバーが、互いに反対
方向に磁化された2つの硬質磁石の間に位置決めされた
好ましい実施例を示す。このアセンブリはカンチレバー
20の厚さに比例、及び長さの2乗に反比例した周波数
で共振する。結果として生ずる共振振動は、カンチレバ
ー内に時間変動磁界(B)を発生する(図3)。時間
(t)による磁束(φ)の正味の変化dφ/dtは、図
1で示されたピックアップ・コイル4によって容易に検
知できる。カンチレバーはその磁気モーメントが検出可
能な磁気信号を発生できないほど小さくならないよう
に、所定の寸法(例えば、長さ0.2cm乃至2cm、
幅0.1cm乃至0.5cm、厚さ1mil乃至20m
il)を持つ必要がある。しかし現在、入手可能なメト
グラス(商標)は厚さがほとんど一定のため、それを使
用したカンチレバーはその長さを変えることにより調節
できるだけである。しかしながらパーマロイ或いはミュ
ーメタルにはこの制限はない。
【0022】磁気信号の大きさは図5で示されるよう
に、カンチレバー20の素子をヘルムホルツ共鳴器30
の内部に置くことにより高められる。一組のカンチレバ
ーに対するヘルムホルツ共鳴器の大きさは、共鳴器の空
胴共振がカンチレバー配列の平均共振周波数と等しくな
るように選択するのが好ましい。カンチレバーを共鳴器
の空胴壁の一方に対向するように取り付けると、カンチ
レバーの振動振幅は空洞の共鳴によって実質的に高めら
れる。
【0023】実験ではカンチレバーの共振は、0.25
KHz乃至2.5KHzの範囲内で観測された。しかし
これらの範囲は上限、下限を制限するものではない。
【0024】図6は、カンチレバーの共振周波数を示
し、特に共鳴振動数υ0を有するヘルムホルツ共鳴器3
0の内部に取り付けられたカンチレバーの配列(例4
本)での応答を測定したグラフである。図7は異なる周
波数で同時に4個のスピーカ3から出された音響に対す
るタグの応答を示す周波数分析器7(図1参照)の出力
を示す。
【0025】本発明の以上の説明にもとづいて複数のカ
ンチレバーを組立てると、予測通りに作動可能である。
周波数はカンチレバーの長さによって決められ、音響励
起によって生じる磁気相互作用の強さは、共鳴器(例、
ヘルムホルツ共鳴器)の使用により強められる。更に、
単一の共鳴空胴内に取り付けられた複数の異なるカンチ
レバーを有するマルチビット・タグにおけるそれぞれの
周波数は個々に励起され、検出される。
【0026】ヘルムホルツ共鳴空胴はカンチレバーより
かなり低いQ因子を持っているので効果的である。この
Q因子はυ0/Δυで表され、υ0は中心振動数、Δυは
最大音響振幅の半分での振動数の広がりである。このよ
うに1つの空胴で複数のカンチレバーの振動を強めるこ
とができる。カンチレバーの配列が大きい場合、幾つか
の分離された空胴が使われる。ビット数を3或いは4以
上に増すことができるのは明らかであり、例えば単純に
カンチレバー数を増し、それらを共振させる音響源を加
えることにより達成できる。
【0027】カンチレバーの磁性材料のヒステリシス曲
線による非直線性からだけでなく、変位の大きさによ
り、高調波(例、第2高調波)が個々の振動アームから
生成される。タグからの情報すなわちコードは、ピック
アップ・コイル(受信コイル)によって基本周波数また
は既知の高調波周波数の有無を検出することによって検
知される。このようなコイルは従来技術で既知であるの
でここでは詳細に述べない。前述のように、配列されて
いるアーム/カンチレバーの数は、関連するオブジェク
トの情報をもたらす記憶可能な情報ビット数を決める。
【0028】本発明の他の実施例において、音響磁気タ
グの周波数の上限(例えば、2.5KHz)は、カンチ
レバー構成とは異なった境界条件を共振ストリップ(通
常、Ni-Co-B−Siなどの"軟質"磁性材料)に適用
することによって拡大できることがわかった。図8に示
されるような両端部を固定された薄いストリップ(バ
ー)における基本共振周波数に対する微分方程式の解
は、両端部を固定されない場合(図9)と同じであり、
長さ及び厚さがそのようなストリップと同じであるカン
チレバーの約6.4倍である。両端部が固定されていな
い場合において、軟質磁性体ストリップ61は動きが自
由か、または緩く保持されたバーであり、例えば各端部
を単純な支持構造体のみぞ或いはスロットに置くことに
よって保持できる。
【0029】このように端部の境界条件によって構造体
は容易に人間の可聴範囲を越える周波数を持つことがで
き、いかなる対人環境でも使用できるという利点があ
る。同時に比較的に長いストリップは、かなり大きい磁
気信号を保証する。
【0030】前述のカンチレバー構造同様に、ストリッ
プ/バーの構造はまた、一定の磁気バイアスを得るため
に周囲に不均一な磁界を要する。これらの磁界は、好ま
しくは共振するストリップまたはバーのいずれかの側に
取り付けられた高透磁率の薄いストリップによってもた
らすことができる。
【0031】本発明のこの特徴に従うタグ50は、高周
波数で使用できるように図8のように組立てられるのが
好ましい。便宜上、タグ50は単一ビットとして示され
ている。軟質磁気ストリップ51は両端部を2つの支持
体52によって固定される。支持体52はまた、ストリ
ップを硬質磁石ストリップ53から分離するスペーサの
役をする。好ましい実施例では第2の硬質磁石55を図
示のように位置付けるために一組の付加の支持体/スペ
ーサ54が使用される。硬質磁石55の極性は53と逆
になっているのが好ましい。
【0032】両端部が固定されない実施例では、軟質磁
気ストリップ61は、スペーサによって支持されるが、
固定(すなわち、機械的取り付け)はされない。これ
は、図9で示されるようなみぞ付きのスペーサ64の使
用によって実現される。相互に逆の極性を与えられた2
つの硬質磁石62及び63が好ましい実施例として示さ
れている。軟質磁性体材料の代表的な大きさは、例とし
てメトグラス(商標)の場合、長さ1cm、幅3mm及
び厚さ25μmである。硬質磁石は厚さ約200μmの
鉄箔でよい。固有の一組の基本周波数及び上音周波数を
与えるように長さや幅が異なっている複数の平行ストリ
ップにより、複数ビットの情報を含むタグ、すなわちマ
ルチビット・タグを構成することができる。マルチビッ
ト・タグの製造には、このようなストリップを複数用い
るのが好ましい。
【0033】全体のアセンブリは既知の装置から出る音
響波で励起できる。その周波数の範囲は5KHz乃至5
0KHzが適当である。この範囲の上限は装置によるも
のでなく、現在利用できるスピーカの励起能力による。
磁気信号は、0.2KHz乃至3KHzなどの低周波数
ではヘルムホルツ共鳴器の使用によってある程度改良で
きる。
【0034】人の可聴範囲外の音響周波数の使用は、タ
グの励起領域内の人々に迷惑をかけないので特に適して
いる。また高い周波数への拡張により帯域幅を拡げる
と、軟質磁気ストリップの数、従って固有周波数すなわ
ちビットの数を増やすことができる。
【0035】マルチビット・タグの場合、そのデジタル
・コードを検出するように論理回路をプログラムするこ
とができる。2進コードの場合、カンチレバー配列の特
定の共振周波数が検知されると一方の2進値(例えば"
1")が割当てられ、検知されない場合は他方の2進値
(例えば"0")が割当てられる。"0"を生成する1つの
方法は、求められる周波数に対応するカンチレバーを取
り外すか、備えないことである。他の方法は、カンチレ
バーの磁気的特性または機械的特性を無くすことであ
る。固有のデジタル・コード(例、2進コード)をマル
チビット・タグに持たせることを、タグをプログラムす
る、または個別化するという。
【0036】タグに問合わせを行う他の方法は、共振周
波数に対応する一組の音響波を多重化方式で与え、タグ
内に在る各共振器を一定順序で振動させるものである。
代わりに励起フィールドを電磁的性質のものすなわち交
流磁界とし、検出は音響的または磁気的に行うことがで
きる。励起信号を供給するスピーカ、AC励起コイル、
AC及びDC励起コイルなどの励起装置は周波数発生器
によって駆動される。何れの形態の励起においても、磁
性材料は強い不均一なバイアス磁界内で振動する。
【0037】まとめとして、本発明構成に関して以下の
事項を開示する。
【0038】(1)不均一な磁界内で励起されるように
取り付けられた少なくとも1つの軟質磁性体素子を有
し、上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は、上記励起
に応答して、それぞれの共振周波数に対応する固有の時
間変動磁界を作り出す、磁気タグ。 (2)ヘルムホルツ共鳴器に取り付けられた、前記
(1)記載の磁気タグ。 (3)上記励起が磁気的または音響的である、前記
(1)記載の磁気タグ。 (4)上記不均一な磁界は上記少なくとも1つの素子に
近接する硬質磁性体材料の少なくとも1つの素子によっ
て与えられる、前記(1)記載の磁気タグ。 (5)上記不均一な磁界は当該磁気タグの外部の磁界に
よって与えられる、前記(1)記載の磁気タグ。 (6)所定の共振周波数の有無によりコードを設定す
る、前記(1)記載の磁気タグ。 (7)上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は第1及び
第2の端部を有し、該端部の何れかが固定されてカンチ
レバーを形成する、前記(1)または(2)記載の磁気
タグ。 (8)上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は第1及び
第2の端部を有し、該端部の両方が固定される、前記
(1)または(2)記載の磁気タグ。 (9)上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は長さ、
幅、厚さ及び端部の境界条件によって決まる所定の基本
周波数及び上音周波数を有する非結晶の材料から作ら
れ、その機械的振動により上記少なくとも1つの軟質磁
性体素子の磁化変化を生じさせ、該変化がピックアップ
・コイルで磁気信号として検出される、前記(1)また
は(2)記載の磁気タグ。 (10)軟質磁性体材料から作られ、所定の基本周波数
及び上音周波数を有する少なくとも1つの素子を含む識
別用磁気タグと、上記少なくとも1つの素子を励起して
機械的に振動させるための手段と、上記素子の機械的振
動を検出する手段とを有する、識別システム。 (11)上記検出手段からの出力をデコードして上記タ
グが取り付けられている対象物を識別する手段を含む、
前記(10)記載のシステム。 (12)上記励起は磁気的であり、上記検出手段は音響
的または磁気的検出手段である、前記(10)記載のシ
ステム。 (13)上記励起は音響的であり、上記検出手段は音響
手段または上記機械的振動によって生じた磁束変化を検
出する手段を有する、前記(10)記載のシステム。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従うタグを使用した典型的な検出/問
合わせシステムである。
【図2】不均一の磁界領域で振動するカンチレバーを示
す図である。
【図3】硬質磁石との距離変化による、カンチレバーに
おける磁気誘導変化を示す図である。
【図4】硬質磁石によってバイアスされるカンチレバー
の配列を有する、本発明によるタグの透視図を示す図で
ある。
【図5】ヘルムホルツ共鳴器内に置かれたカンチレバー
・アセンブリを示す図である。
【図6】共鳴振動数υ0 を持つヘルムホルツ共鳴器内に
取り付けられたカンチレバーの配列(例、4本)の予測
される応答を示すグラフである。
【図7】異なる周波数の音響波を同時に発生する4個の
スピーカに対する多素子カンチレバー・タグの応答を示
す周波数分析器の出力を示す図である。
【図8】第1及び第2の端部が固定され、音響エネルギ
による励起を受ける、軟質磁性体材料から作られた素子
を有する、本発明の他の特徴によるタグを示す図であ
る。
【図9】両端部が固定されていない、図8のタグの変形
例を示す図である。
【符号の説明】
1 磁気タグ 2 周波数発生器 3 スピーカ 4 ピックアップ・コイル 5 陰極線管(CRT) 6 チャート式記録計 7 周波数分析器 8 デコーダ 20 カンチレバー 21 強磁性体 30 ヘルムホルツ共鳴器 50 タグ 51 軟質磁気ストリップ 52 支持体 53 硬質磁気ストリップ 54 支持体/スペーサ 55、62、63 硬質磁石 61 軟質磁気ストリップ 64 みぞ付きスペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アレジャンドロ・ガブリエル・スカロット アメリカ合衆国10011、ニューヨーク州ニ ューヨーク、アパートメント 9−ビィ、 ウエスト・トウエンティーンス・ストリー ト 175 (72)発明者 ロバート・ヤコブ・ボン・ガットフェルド アメリカ合衆国10025、ニューヨーク州ニ ューヨーク、ウエスト・ワン・ハンドレッ ド・フィフティーンス・ストリート 600

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】不均一な磁界内で励起されるように取り付
    けられた少なくとも1つの軟質磁性体素子を有し、 上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は、上記励起に応
    答して、それぞれの共振周波数に対応する固有の時間変
    動磁界を作り出す、 磁気タグ。
  2. 【請求項2】ヘルムホルツ共鳴器に取り付けられた、請
    求項1記載の磁気タグ。
  3. 【請求項3】上記励起が磁気的または音響的である、請
    求項1記載の磁気タグ。
  4. 【請求項4】上記不均一な磁界は上記少なくとも1つの
    素子に近接する硬質磁性体材料の少なくとも1つの素子
    によって与えられる、請求項1記載の磁気タグ。
  5. 【請求項5】上記不均一な磁界は当該磁気タグの外部の
    磁界によって与えられる、請求項1記載の磁気タグ。
  6. 【請求項6】所定の共振周波数の有無によりコードを設
    定する、請求項1記載の磁気タグ。
  7. 【請求項7】上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は第
    1及び第2の端部を有し、該端部の何れかが固定されて
    カンチレバーを形成する、請求項1または2記載の磁気
    タグ。
  8. 【請求項8】上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は第
    1及び第2の端部を有し、該端部の両方が固定される、
    請求項1または2記載の磁気タグ。
  9. 【請求項9】上記少なくとも1つの軟質磁性体素子は長
    さ、幅、厚さ及び端部の境界条件によって決まる所定の
    基本周波数及び上音周波数を有する非結晶の材料から作
    られ、その機械的振動により上記少なくとも1つの軟質
    磁性体素子の磁化変化を生じさせ、該変化がピックアッ
    プ・コイルで磁気信号として検出される、請求項1また
    は2記載の磁気タグ。
  10. 【請求項10】軟質磁性体材料から作られ、所定の基本
    周波数及び上音周波数を有する少なくとも1つの素子を
    含む識別用磁気タグと、上記少なくとも1つの素子を励
    起して機械的に振動させるための手段と、上記素子の機
    械的振動を検出する手段とを有する、識別システム。
  11. 【請求項11】上記検出手段からの出力をデコードして
    上記タグが取り付けられている対象物を識別する手段を
    含む、請求項10記載のシステム。
  12. 【請求項12】上記励起は磁気的であり、上記検出手段
    は音響的または磁気的検出手段である、請求項10記載
    のシステム。
  13. 【請求項13】上記励起は音響的であり、上記検出手段
    は音響手段または上記機械的振動によって生じた磁束変
    化を検出する手段を有する、請求項10記載のシステ
    ム。
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