JPH08249642A - 磁気記録媒体および磁性膜形成用ターゲット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 近年の高密度記録に十分対応することのでき
る程度に高い保磁力を有すると共に、角型性にも優れ、
しかも高密度記録媒体として必要な低ノイズ特性をも兼
ね備えた磁気記録媒体を提供する。また上記のような磁
気記録媒体を実現するために有用な磁性膜形成用ターゲ
ットを提供する。 【構成】 非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層、磁性膜、および保護潤滑膜を順次形成してなる磁
気記録媒体において、前記磁性膜は、Ｃｒ：８〜１８原
子％、Ｗ：３〜１０原子％（但し、ＣｒとＷの合計が２
４原子％以下）を夫々含有する他、Ｐｔ：０．５〜２０
原子％を含有し、残部がＣｏおよび不可避不純物である
Ｃｏ基合金からなるものである。また上記の様な合金組
成のＣｏ基合金を溶製後熱間圧延したものであり、且つ
透磁率が１００以下の磁性膜形成用ターゲットである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータやデータ
プロセッサ等における各種磁気記録装置用として有用な
強磁性金属薄膜型磁気記録媒体、および該磁気記録媒体
における磁性膜を形成するために用いられるターゲット
等に関するものであり、殊に高密度記録を達成するのに
必要な高保磁と低ノイズ性を兼ね備えた新しい磁気記録
媒体、およびそのような磁気記録媒体を実現するための
前記磁性膜形成用ターゲットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報量の急速な増大と情報処理速
度の向上に伴い、コンピュータやデータプロセッサ等に
おける外部記録装置として用いられている各種磁気記録
装置に対して記録容量の大容量化が求められており、そ
れと共に磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体に対す
る高密度記録化への要求がますます高まっている。

【０００３】現在、上記のような磁気記録媒体として
は、非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下地層、
磁性膜（強磁性金属薄膜）および保護潤滑膜をスパッタ
リング等によって順次形成した強磁性金属薄膜型磁気記
録媒体が主流になっている。この強磁性金属薄膜型磁気
記録媒体における強磁性金属薄膜（磁性膜）の組成は、
磁気的性質、記録再生特性、耐候性（耐食性）およびス
パッタリング等によって形成が可能であること等を総合
的に評価して決定されている。こうした観点から、上記
強磁性金属薄膜としては、通常Ｃｏを主成分とする最密
六方格子の結晶構造からなるＣｏ基合金が使用されてい
る。

【０００４】尚上記Ｃｏ基合金膜を磁気記録媒体の磁性
膜として使用する場合には、磁性膜の配向性制御や基板
との密着性向上という観点から、上記の如く、基板上に
純Ｃｒ等の非磁性金属下地層が形成されると共に、磁性
膜保護、耐候性や耐摩耗性の向上という観点から、磁性
膜の表面にＣ（カーボン）等の保護潤滑膜が形成される
のが一般的である。

【０００５】上記磁性膜として使用されるＣｏ基合金
は、以前はＣｏ−Ｎｉ系合金やＣｏ−Ｃｒ−Ｎｉ系合金
が使用されてきたが、最近では磁気異方性の大きいＣｏ
−Ｃｒ−Ｐｔ系合金やＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（例え
ば、「IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS」 VOL27,NO6,N
OVEMBER 1991,P4736-4738 ）、或は情報の記録再生時に
発生する媒体ノイズが小さいＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金
（但し、Ｃｏ−１２Ｃｒ−２Ｔａに代表される低Ｔａ含
有合金）等が用いられるようになってきている。また、
磁気異方性が大きくかつ媒体ノイズが小さいＣｏ−Ｃｒ
−Ｔａ−Ｐｔ合金（例えば、特開平１−２５６０１７
号）についても研究されている。

【０００６】上記のように磁気記録装置は高記録密度化
の傾向にあり、それに対応して磁気記録媒体においても
高記録密度化に適した特性が要求される。こうした特性
としては、媒体ノイズが小さいこと、角型性に優れ
ていること、高い保磁力Ｈｃが得られること、等が挙
げられる。しかしながら、従来用いられてきたＣｏ基合
金には、夫々次に示すような欠点がある。

【０００７】Ｃｏ−Ｎｉ系合金やＣｏ−Ｃｒ−Ｎｉ系合
金は、結晶粒間の磁気的分離度が小さいために、情報の
記録再生時に問題となる媒体ノイズが大きく、また磁気
異方性が小さいために高い保磁力が得られない。Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｐｔ系合金やＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ系合金等の様
に、Ｃｏ−Ｃｒ系合金にＰｔやＢ等を添加し、磁気異方
性を高めた合金は、記録密度増加に寄与する保磁力Ｈｃ
の増加には適している。しかしながら、結晶粒間の磁気
的分離度が小さいために、前記媒体ノイズを小さくでき
ない。

【０００８】一方、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金は、結晶粒
間の磁気的分離度が大きいので、記録再生時の媒体ノイ
ズが小さいという特徴がある。しかしながら、磁気異方
性が小さいために保磁力Ｈｃを増加させるのには限界が
ある。またＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金は、静磁気特性の角
形性が悪く、ノイズ特性の指標である記録再生時のＳ／
Ｎ比を低下させている。特に、膜厚が２５０Å以下にな
ると、角型性が急激に悪化するため、磁気抵抗効果ヘッ
ド（ＭＲヘッド）を用いた磁気記録装置に使用される場
合には、Ｓ／Ｎ比を極端に低下させてしまうことにな
る。

【０００９】またＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金の磁気異方性
を向上させるためにＰｔ添加したＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐ
ｔ系合金は、磁気異方性が非常に大きいので高い保磁力
Ｈｃが達成できるという点では高記録密度化に適してい
るものの、Ｔａを含有しているために静磁気特性の角型
性が悪く、前記Ｓ／Ｎ比を低下させている。この点につ
いては、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ−Ｂ合金も同じであ
る。

【００１０】ところで上記の様な強磁性金属薄膜を形成
する際に用いられるターゲット材に要求される特性は、
様々存在するが、特に使用効率の向上が不可欠である。
一般に、Ｃｏ基合金の成膜では、膜生成形速度を改善す
るために、マグネトロンスパッタと称される方法が採用
されるが、この方法ではターゲット材の表面に平行な漏
洩磁場成分が大きく、垂直方向成分が最小の場所におい
てターゲット材のエロージョンが最大になる。即ち、こ
のような場所がスパッタガスイオンの衝撃が最も受けて
削られるのである。このような漏洩磁場の水平成分を均
一にすることは装置の構成上困難であり、ターゲットの
局所的な消耗は避けられない。特に、Ｃｏ基合金のよう
な強磁性体ターゲットでは、一度局所的なエロージョン
が発生すれば、ターゲット内部に閉じ込められていた磁
束がエロージョン部から漏れるため、局所的なエロージ
ョンが一層強調されて進展することになり、非常に低い
使用効率に留まる原因になっていた。そこで透磁率が低
く、局所的なエロージョンの発生しない、使用効率の改
善された高密度記録に可能にするための磁性膜形成用タ
ーゲットの実現が望まれている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
情況のしたでなされたものであり、その目的は、近年の
高密度記録に十分対応することのできる程度に高い保磁
力を有すると共に、角型性にも優れ、しかも高密度記録
媒体として必要な低ノイズ特性をも兼ね備えた磁気記録
媒体を提供することにある。また本発明の他の目的は、
上記のような磁気記録媒体を実現するために有用な磁性
膜形成用ターゲットを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明とは、非磁性材料からなる基板上に、非磁性金属下
地層、磁性膜、および保護潤滑膜を順次形成してなる磁
気記録媒体において、前記磁性膜は、Ｃｒ：８〜１８原
子％、Ｗ：３〜１０原子％（但し、ＣｒとＷの合計が２
４原子％以下）を夫々含有する他、Ｐｔ：０．５〜２０
原子％を含有し、残部がＣｏおよび不可避不純物である
Ｃｏ基合金からなるものである点に要旨を有する磁気記
録媒体である。

【００１３】一方、本発明に係る磁性膜形成用ターゲッ
トは、Ｃｒ：８〜１８原子％、Ｗ：３〜１０原子％（但
し、ＣｒとＷの合計が２４原子％以下）を夫々含有する
他、Ｐｔ：０．５〜２０原子％を含有し、残部がＣｏお
よび不可避不純物であるＣｒ基合金を溶製後熱間圧延し
たものであり、且つ透磁率が１００以下である点に要旨
を有するものである。

【００１４】

【作用】上記のような強磁性金属薄膜型磁気記録媒体で
は、結晶粒間の磁気的相互作用によって数百個の結晶粒
が磁気的なクラスターを形成し、そのクラスターが磁化
反転の単位となって、記録ビット間の磁化遷移領域に不
規則なジグザグ遷移を生じ、媒体ノイズの主な原因にな
ることが知られている。従って、媒体ノイズの低減のた
めには、結晶粒間の磁気的相互作用を断ち切り、個々の
結晶粒を磁気的に分離させること、即ち前記磁気的分離
度を高めてやることが有効であることが知られている。
即ち媒体ノイズの低減は、強磁性結晶粒間に非磁性相を
介在させて結晶粒間の磁気的相互作用を断ち切ることに
よって達成できると言われている。

【００１５】本発明者らは、こうした観点から、高性能
な磁気記録媒体を実現すべく、特に磁性膜の化学成分組
成や結晶組織構造が磁気特性に与える影響について、予
てより検討を重ねてきた。そして化学成分組成を厳密に
規定したＣｏ−Ｃｒ−Ｗ系合金では、結晶粒界に十分な
非磁性相を形成することができ、結晶粒間の磁気的分離
度を向上させることができ、ノイズ特性の指標であるＳ
／Ｎ比を高くして媒体ノイズを低減でき、しかも良好な
角型性や、低膜厚化に伴う角型性の低下が小さいので前
記Ｓ／Ｎ比を高く維持できることを見い出した。そして
その技術的意義が認められたので、同一出願人によって
先に出願している（特願平６−９２１７１号）。

【００１６】本発明者らは、上記発明が完成された後も
高性能な磁気記録媒体の実現を図るべく、鋭意研究を重
ねてきた。そして、本発明者らが先に提案した磁気記録
媒体では、従来の磁気記録媒体に比べて遥かに高い性能
が発揮されたのであるが、合金自体の磁気異方性が十分
でないこともあり、保磁力増加の点で若干の改善すべき
余地があることがわかった。

【００１７】そこで本発明者らは、上記の点を克服する
べく更に検討を重ねたところ、上記Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗ系合
金に、所定量のＰｔを添加したＣｏ合金、換言すればＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系合金やＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ系合金に
所定量のＷを添加したＣｏ基合金では、希望する諸特性
が十分に発揮されることを見い出し、本発明を完成し
た。

【００１８】Ｃｏ基合金をＣｒ下地膜上に形成した場
合、Ｃｏ結晶はＣｒ柱状結晶上に六方晶Ｃ軸を膜面内に
配向させた状態でエピタキシャル成長する。本発明に係
るＣｏ基合金では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金やＣｏ−Ｃ
ｒ−Ｗ系合金と同様に、Ｃｏ微結晶の粒界にＣｒリッチ
相が析出する。そしてこのＣｒリッチ相は非磁性である
ために、各Ｃｏ微結晶粒間の磁気的分離度が大きくな
り、その結果として媒体ノイズの小さい膜が得られるの
である。また本発明に係るＣｏ基合金は、Ｐｔを含有し
ているので、磁気異方性が大きくなり、これと磁気的分
離度が大きいことと相挨って結果的に高保磁力となるの
である。

【００１９】Ｃｏ微結晶の粒界にＣｒリッチ相を析出さ
せ、微結晶粒間の磁気的相互作用を小さくすることによ
って、媒体ノイズを小さくしたＣｏ基合金として、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｔａ系合金が使用されていた。この合金はＣｒ
下地膜との格子定数が不整合とあるために、Ｃｏ結晶の
Ｃ軸の面内配向性が悪くなり、静磁気特性の一つである
角型性を低下させている。またこのＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系
合金の磁気異方性を向上させるためにＰｔを添加したＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金においても、Ｃｒ下地膜と
の格子定数の整合性は改善することはできず、角型性の
改善は、磁気異方性が向上してＣｏ微結晶間の磁気相互
作用が強まったことによるわずかな改善しか認められな
かった。

【００２０】本発明に係るＣｏ基合金では、Ｃｒ下地膜
との整合性が非常に良いために、Ｃｏ結晶のＣ軸の面内
配向性が高くなり、前記角型性が非常に良好になる。ま
たこのＣｏ基合金では、粒界にＣｒリッチの非磁性層が
十分に形成されるために、角型性の良い材料に一般に認
められるような磁気的相互作用の増加は観測されず、媒
体ノイズが小さいものとなる。

【００２１】本発明に係るＣｏ基合金における上記角型
性の特徴は、磁性膜が薄い場合、特に２５０Å以下の場
合に顕著となる。これは、本発明に係るＣｏ基合金が、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金と比較して、特に膜の初
期成長段階における結晶性に優れるからであると考えら
れる。

【００２２】本発明において、微結晶粒間の磁気的相互
作用の小さいＣｏＣｒＷに、磁気異方性を向上させるた
めにＰｔを添加したり、更に必要によってＢを添加した
場合において、これらの添加が微結晶粒間の磁気的相互
作用にほとんど影響を及ぼさないことは、これまでにな
い全く新しい事実である。またＣｏ−Ｃｒ−Ｗ系合金の
持つ磁気的分離性や配向性に優れることによる良好な角
型性と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系合金等の持つ高い磁気異方
性の両方を兼ね備えた特徴は、本発明で規定する化学成
分組成において始めて実現されたものである。

【００２３】次に、本発明の磁気記録媒体を構成する磁
性膜の化学成分組成について説明する。本発明の磁気記
録媒体においては、磁性膜を、Ｃｒ：８〜１８原子％、
Ｗ：３〜１０原子％を夫々含有する他、Ｐｔ：０．５〜
２０原子％を含有し、残部がＣｏおよび不可避不純物で
あるＣｏ基合金とする必要がある。

【００２４】まずＣｒを８原子％以上含んだＣｏ基合金
に対しては、Ｗを３原子％以上含有させることによっ
て、粒界部にＣｏとＷの微細な金属間化合物を含んだ非
晶質相を主体とする、十分な厚みの非磁性粒界相を形成
させることが可能となる。またＣｒの含有量が１８原子
％を超えたり、Ｗの添加量が１０原子％を超えると、飽
和磁束密度Ｂｓの減少が生じ、再生出力の低下を招くの
で、実質的に磁気記録媒体として使用できなくなる。但
し、Ｃｒの含有量が１８原子％以下で、Ｗの含有量が１
０原子％以下であっても、ＣｒとＷの合計が２４原子％
を超えると、上記と同様に飽和磁束密度Ｂｓの減少が生
じるので、ＣｒとＷの合計を２４原子％以下とする必要
がある。

【００２５】一方、磁気異方性を向上させるために、Ｐ
ｔについては０．５原子％以上含有させる必要がある。
しかしながら、Ｐｔは２０原子％を超えて含有させて
も、残留磁束密度Ｂｒが小さくなり非実用的となる。

【００２６】上記のような磁性膜を形成するには、基本
的にはスパッタリング法を採用すれば良いが、スパッタ
膜で粒界相に非晶質相を形成させるためには、非晶質形
成元素を優先的に柱状結晶粒の粒界に偏析させる必要が
ある。このような偏析を起こさせる成膜条件としては、
基板上に飛来する原子の易動度が大きいことが必要であ
る。こうした観点からすれば、成膜時に基板を加熱した
り、基板に負のバイアス電圧を付与するすることも有効
である。特に結晶粒界の非磁性相の形成を促進するため
のＷの添加量が３〜５原子％未満と少ない場合には、成
膜時の基板温度を高めてやることが重要である。また上
記の様な基板の加熱は、非磁性金属下地層としてＣｒを
用いた場合に、その粒界拡散を促進する上で有効に作用
する。この様に磁性膜を形成するときの成膜条件を選定
することによって、より高い保磁力と低い媒体ノイズを
有する磁気記録媒体が得られる。

【００２７】成膜時に基板を加熱するときの温度は、１
００〜２５０℃程度（Ａｌ系基板）が好ましく、特にＷ
の添加量３〜５原子％未満の場合には、２５０℃程度が
最適である。また基板に負のバイアス電圧と付与する時
の電圧は、−５０〜−２００Ｖ程度が最適である。但
し、上記基板温度は、Ａｌ系基板を採用した時の温度で
あり、例えばカーボンやガラス等を基板として用いた場
合には、基板温度の上限は４００℃程度まで高めること
ができる。

【００２８】尚上記の様な磁性膜をスパッタリング法に
よって形成する場合には、磁性膜と同じ化学成分組成の
Ｃｏ基合金からなるスパッタリング用ターゲットを用い
れば良い。この様なＣｏ基合金ターゲットを用いれば、
各元素を個別的に含有するターゲットを用いて複合的に
スパッタリングする場合に比べ、形成される磁性膜のＣ
ｏ基合金組成が安定し易いので好ましい。また上記ター
ゲットを溶製後熱間圧延を施す様にすれば、上記ターゲ
ットの透磁率を１００以下にすることができ、これによ
ってターゲットの局部的エロージョンが緩和され、使用
効率が上がる等の利点を有するものとなる。

【００２９】本発明の磁気記録媒体は、上記の様な磁性
膜を、非磁性材料からなる基板上に前記非磁性金属下地
層を介して形成されるが、このとき用いる基板の材質と
しては、例えばＡｌ合金（Ｎｉ−Ｐめっきをしたものも
含む），Ｓｉ，カーボン，ガラス等が挙げられる。また
この基板の表面処理として、角型性を向上させるために
テクスチャー処理が行なわれることがあるが、本発明に
おいてもその様な処理を行なわなくても優れた角型性が
得られるが、その工程を省略または簡素化できるという
利点もある。但し、上記の趣旨からテクスチャー処理を
施しても良いのは勿論である。

【００３０】以下本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、下記実施例は本発明を限定する性質のもので
はなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することはい
ずれも本発明の技術的範囲に含まれるものである。

【００３１】

【実施例】Ａｌ合金基板表面にＮｉ−Ｐ合金を無電界メ
ッキで成膜し、更に表面を鏡面研磨した非磁性基板上
に、Ｃｒ下地膜（１０００Å）、各種化学成分組成のＣ
ｏ基合金からなる磁性膜、カーボン保護膜をマグネトロ
ンスパッタ法にて成膜し、保磁力Ｈｃ、角型性および磁
気的分離度( Hp／Hkgrain)について比較検討した。

【００３２】このときスパッタ用ガスとしては、Ａｒを
用い、ガス圧は１ｍＴｏｒｒとした。また基板温度は２
５０℃，基板バイアス電圧は−２００Ｖとした。尚磁気
記録媒体の特性は、基板の一部を切り出した後、振動試
料型磁力計（ＶＳＭ）により評価した。また各成分の定
量はＩＣＰ発光分析法により行った。各特性の評価結果
を、下記実施例において図面を用いて説明する。

【００３３】図１〜３に、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗ−Ｐｔ系合金
のＰｔ含有量に対する、保磁力Ｈｃ，角型性，磁気分離
度の変化を夫々示す。このとき単位面積当たりの残留磁
束密度は１５０Ｇμｍの一定とした。またＣｒを１２原
子％，Ｗを６原子％，残部Ｃｏからなる合金製ターゲッ
トを用い、成膜を行った。Ｐｔ含有量については、合金
ターゲット上に乗せたＰｔチップ数を加減することによ
り実施した。従って、Ｐｔ含有量０％以外の点では、Ｃ
ｏ，ＣｒおよびＷの含有量は変化している。またこのと
き、比較例として、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金（Ｃ
ｒを１２原子％，Ｔａを６原子％，Ｐｔを６原子％含有
し、残部ＣｏからなるＣｏ基合金）ターゲットを用いた
場合、およびＰｔチップを乗せてＰｔ含有量を９原子
％，１２原子％と変化させた場合の測定値についても示
した。尚角型性（図２）については、残留磁束密度Ｂｒ
と飽和磁束密度Ｂｓの比（Ｂｒ／Ｂｓ）で表わされる角
型比Ｓによって評価した。

【００３４】これらの結果から明らかな様に、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−Ｗ−Ｐｔ系合金において、Ｐｔの添加量が０．５〜
１２原子％において、保磁力Ｈｃと角型比Ｓは徐々に増
加し（図１および図２）、その後減少に転じ、２０原子
％ではＰｔ無添加と比較して保磁力Ｈｃが低下している
ことがわかる。また磁気的分離度（図３）はほとんど変
化していないことがわかる。一方、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−
Ｐｔ合金では、Ｐｔ含有量が増加するにつれて磁気的分
離度が低下している。

【００３５】図４は、Ｃｒを６原子％，Ｗを３原子％，
Ｐｔを６原子％夫々含有し、残部がＣｏからなるターゲ
ットを使用し、ターゲット上に乗せたＣｒチップの添加
量を変化させることにより、Ｃｒ含有量を変化させた場
合の磁気的分離度の変化を示したものである。

【００３６】この結果から明らかな様に、Ｗ含有量が本
発明で規定する下限の場合にはＣｒ含有量が８原子％よ
り少なくなると、粒界へのＣｒ偏析が低下し、磁気的分
離度が低下することがわかる。

【００３７】図５は、Ｃｒを１２原子％，Ｗを１０原子
％，Ｐｔを２０原子％夫々含有し、残部がＣｏからなる
ターゲットを使用し、ターゲット上に乗せたＣｒチップ
の添加量を変化させることにより、Ｃｒ含有量を変化さ
せた場合の残留磁束密度の変化を示したものである。こ
の結果から明らかな様に、Ｃｒ含有量が１８原子％より
多くなると、合金の残留磁束密度が急激に低下するの
で、実用的でなくなることがわかる。

【００３８】図６は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔ系合金
と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗ−Ｐｔ系合金について、ＴａやＷの
含有量に対する磁気的分離度の変化を示したものであ
る。いずれの場合も、Ｃｒを１２原子％、Ｐｔを６原子
％夫々含有し、残部がＣｏからなるターゲットを使用
し、ターゲット上に乗せたＴａまたはＷチップにより夫
々の含有量を変化させた。

【００３９】この結果から明らかな様に、Ｗ含有量が３
原子％より多くなると、Ｔａ添加の場合と比較して磁気
的分離度に対する優位性が見られることがわかる。尚Ｗ
の添加量が１０原子％を超えると、保磁力Ｈｃ、角型比
等が急激に低下していた。

【００４０】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、近年の
高密度記録に十分対応できる程度に高い保磁力を有する
と共に、角型性にも優れ、しかも高密度記録媒体として
必要な低ノイズ特性をも兼ね備えた磁気記録媒体が実現
できた。また本発明に係るスパッタリングターゲット
は、上記のような磁気記録媒体の磁性膜の形成を、スパ
ッタリング法によって行なう場合に好適に使用でき、形
成される磁性膜の組成が安定し易く、使用効率も高くな
るという利点を有し、より安定した磁性膜が得られると
いう効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の磁気記録媒体におけるＰｔ含有量と保
磁力Ｈｃの関係を示すグラフである。

【図２】実施例の磁気記録媒体におけるＰｔ含有量と角
型比Ｓの関係を示すグラフである。

【図３】実施例の磁気記録媒体におけるＰｔ含有量と磁
気的分離度の関係を示すグラフである。

【図４】実施例の磁気記録媒体におけるＣｒ含有量と磁
気的分離度の関係を示すグラフである。

【図５】実施例の磁気記録媒体におけるＣｒ含有量と残
留磁束密度の関係を示すグラフである。

【図６】実施例の磁気記録媒体におけるＴａやＷの含有
量と磁気的分離度の関係を示すグラフである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉川 一男 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性材料からなる基板上に、非磁性金
   属下地層、磁性膜、および保護潤滑膜を順次形成してな
   る磁気記録媒体において、前記磁性膜は、Ｃｒ：８〜１
   ８原子％、Ｗ：３〜１０原子％（但し、ＣｒとＷの合計
   が２４原子％以下）を夫々含有する他、Ｐｔ：０．５〜
   ２０原子％を含有し、残部がＣｏおよび不可避不純物で
   あるＣｏ基合金からなるものであることを特徴とする磁
   気記録媒体。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の磁気記録媒体における
   磁性膜を形成するために用いられるスパッタリングター
   ゲットであって、Ｃｒ：８〜１８原子％、Ｗ：３〜１０
   原子％（但し、ＣｒとＷの合計が２４原子％以下）を夫
   々含有する他、Ｐｔ：０．５〜２０原子％を含有し、残
   部がＣｏおよび不可避不純物であるＣｏ基合金を溶製後
   熱間圧延したものであり、且つ透磁率が１００以下であ
   ることを特徴とする磁性膜形成用ターゲット。