JPH08251875A - エンコーダ付モータ - Google Patents
エンコーダ付モータInfo
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- JPH08251875A JPH08251875A JP7077432A JP7743295A JPH08251875A JP H08251875 A JPH08251875 A JP H08251875A JP 7077432 A JP7077432 A JP 7077432A JP 7743295 A JP7743295 A JP 7743295A JP H08251875 A JPH08251875 A JP H08251875A
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- Japan
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- encoder
- motor
- attachment
- elastic member
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 適切に設定した連結機構によりエンコーダを
モータの一部に装置全体の小型化を図りつつ、高精度に
安定的に連結することができるエンコーダ付モータを得
ること。 【構成】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方に突
起部を設け、該突起部を円環状のアタッチメント部材で
嵌合し、弾性部材の一端と該アタッチメント部材とをバ
ネ部材で連結し、該弾性部材の他端を該モータ又はエン
コーダで連結して、該エンコーダとモータとを一体構成
としたこと。
モータの一部に装置全体の小型化を図りつつ、高精度に
安定的に連結することができるエンコーダ付モータを得
ること。 【構成】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方に突
起部を設け、該突起部を円環状のアタッチメント部材で
嵌合し、弾性部材の一端と該アタッチメント部材とをバ
ネ部材で連結し、該弾性部材の他端を該モータ又はエン
コーダで連結して、該エンコーダとモータとを一体構成
としたこと。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はエンコーダ付モータに関
し、特にモータ等の相対回転物体の回転軸に放射状の回
折格子を設けたスケールディスク(ディスク)を取着し
た回転軸を結合し、該スケールディスクに光源手段から
の光束を照射し、該回折格子から生じる位相変調信号光
を検出することにより該ディスク、即ち回転軸の回転位
置,回転位置ずれ量,回転位置ずれ方向,回転速度,回
転加速度等の回転情報を検出するエンコーダ付モータに
関するものである。
し、特にモータ等の相対回転物体の回転軸に放射状の回
折格子を設けたスケールディスク(ディスク)を取着し
た回転軸を結合し、該スケールディスクに光源手段から
の光束を照射し、該回折格子から生じる位相変調信号光
を検出することにより該ディスク、即ち回転軸の回転位
置,回転位置ずれ量,回転位置ずれ方向,回転速度,回
転加速度等の回転情報を検出するエンコーダ付モータに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりモータ等の回転機構の回転情報
を高精度に検出する装置の1つとしてロータリーエンコ
ーダがある。このうち格子干渉方式を用いたロータリー
エンコーダは高精度な回転情報を得ることができる為に
多くの分野で利用されている。
を高精度に検出する装置の1つとしてロータリーエンコ
ーダがある。このうち格子干渉方式を用いたロータリー
エンコーダは高精度な回転情報を得ることができる為に
多くの分野で利用されている。
【0003】このロータリーエンコーダでは円板状の円
周上に透光部と遮光部の格子模様の回折格子(放射状回
折格子)を複数個、周期的に形成したスケールディスク
を回転軸の一端に取着し、該回転軸の他端を回転機構
(モータ)の回転軸に取着している。そして該放射状回
折格子に光源手段から光束を照射し、該回折格子で回折
された位相変調信号光を検出手段で検出し、該検出手段
からの信号を電気処理回路で処理してスケールディス
ク、即ち回転機構の回転情報を求めている。
周上に透光部と遮光部の格子模様の回折格子(放射状回
折格子)を複数個、周期的に形成したスケールディスク
を回転軸の一端に取着し、該回転軸の他端を回転機構
(モータ)の回転軸に取着している。そして該放射状回
折格子に光源手段から光束を照射し、該回折格子で回折
された位相変調信号光を検出手段で検出し、該検出手段
からの信号を電気処理回路で処理してスケールディス
ク、即ち回転機構の回転情報を求めている。
【0004】従来より回転機構の回転情報を検出する装
置としてロータリーエンコーダとモータとを一体構成と
して、ロータリーエンコーダでの検出信号を利用してモ
ータの回転制御を行ったエンコーダ付モータが種々と提
案されている。
置としてロータリーエンコーダとモータとを一体構成と
して、ロータリーエンコーダでの検出信号を利用してモ
ータの回転制御を行ったエンコーダ付モータが種々と提
案されている。
【0005】例えば、実開昭63−135220号公報
や実開平5−8428号公報等ではエンコーダとモータ
とを連結した一体型のエンコーダ付モータが提案されて
いる。
や実開平5−8428号公報等ではエンコーダとモータ
とを連結した一体型のエンコーダ付モータが提案されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】最近、回転機構の小型
化に伴ってエンコーダ付モータの小型化及び小径化が要
望されている。
化に伴ってエンコーダ付モータの小型化及び小径化が要
望されている。
【0007】このようなエンコーダ付モータにおいては
一般にモータMのシャフト(回転軸)とエンコーダEの
シャフトには互いに嵌め合いの円柱状嵌合部が設けられ
ている。モータのシャフトとエンコーダのシャフトとは
嵌め合いによって位置決めされ、ネジ,押えバネ,接着
剤等で直接連結している。この場合にエンコーダとモー
タ本体とをネジ等で直接連結すると、シャフトの回転中
に偏芯誤差等によりシャフトの半径方向に力が発生して
内蔵している軸受部を破損させるという場合がある。
一般にモータMのシャフト(回転軸)とエンコーダEの
シャフトには互いに嵌め合いの円柱状嵌合部が設けられ
ている。モータのシャフトとエンコーダのシャフトとは
嵌め合いによって位置決めされ、ネジ,押えバネ,接着
剤等で直接連結している。この場合にエンコーダとモー
タ本体とをネジ等で直接連結すると、シャフトの回転中
に偏芯誤差等によりシャフトの半径方向に力が発生して
内蔵している軸受部を破損させるという場合がある。
【0008】この為、一般にはエンコーダとモータとを
板バネ等の弾性連結部材を介して固定している。しかし
ながら弾性連結部材を小さくしてモータMとエンコーダ
Eの取付け合わせ面の間隔を狭くして装置全体の小型化
を図ろうとすると、取付け合わせ面が一般的に使用され
るネジ(JIS−M2)に比べて狭く、且つネジの挿入
方向がエンコーダとモータで互いに逆になる為、大変難
しいという問題点があった。
板バネ等の弾性連結部材を介して固定している。しかし
ながら弾性連結部材を小さくしてモータMとエンコーダ
Eの取付け合わせ面の間隔を狭くして装置全体の小型化
を図ろうとすると、取付け合わせ面が一般的に使用され
るネジ(JIS−M2)に比べて狭く、且つネジの挿入
方向がエンコーダとモータで互いに逆になる為、大変難
しいという問題点があった。
【0009】本発明は、モータにエンコーダを連結し
て、一体化を図る際にエンコーダをモータとの連結部分
を適切に設定した弾性部材を用いることにより装置全体
の小型化及び小径化を図ってもエンコーダをモータに高
精度に、しかも安定的に連結することができるエンコー
ダ付モータの提供を目的とする。
て、一体化を図る際にエンコーダをモータとの連結部分
を適切に設定した弾性部材を用いることにより装置全体
の小型化及び小径化を図ってもエンコーダをモータに高
精度に、しかも安定的に連結することができるエンコー
ダ付モータの提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のエンコーダ付モ
ータは、 (1−1)モータ又はエンコーダの少なくとも一方に突
起部を設け、該突起部を円環状のアタッチメント部材で
嵌合し、弾性部材の一端と該アタッチメント部材とをバ
ネ部材で連結し、該弾性部材の他端を該モータ又はエン
コーダで連結して、該エンコーダとモータとを一体構成
としたことを特徴としている。
ータは、 (1−1)モータ又はエンコーダの少なくとも一方に突
起部を設け、該突起部を円環状のアタッチメント部材で
嵌合し、弾性部材の一端と該アタッチメント部材とをバ
ネ部材で連結し、該弾性部材の他端を該モータ又はエン
コーダで連結して、該エンコーダとモータとを一体構成
としたことを特徴としている。
【0011】(1−2)モータ又はエンコーダの少なく
とも一方の筐体の一部に溝部を設け、弾性部材の一端と
該筐体とを弾性部材で該溝部を利用して冠着し、該弾性
部材の他端とモータ又はエンコーダとを固定して、該エ
ンコーダと該モータとを一体構成としたことを特徴とし
ている。
とも一方の筐体の一部に溝部を設け、弾性部材の一端と
該筐体とを弾性部材で該溝部を利用して冠着し、該弾性
部材の他端とモータ又はエンコーダとを固定して、該エ
ンコーダと該モータとを一体構成としたことを特徴とし
ている。
【0012】(1−3)モータ又はエンコーダの少なく
とも一方の筐体の一部に溝部又は切欠き部を設け、弾性
部材の一端を該溝部又は切欠き部に挿嵌し、他端をモー
タ又はエンコーダに固定して該エンコーダと該モータと
を一体構成としたことを特徴としている。
とも一方の筐体の一部に溝部又は切欠き部を設け、弾性
部材の一端を該溝部又は切欠き部に挿嵌し、他端をモー
タ又はエンコーダに固定して該エンコーダと該モータと
を一体構成としたことを特徴としている。
【0013】(1−4)モータ又はエンコーダの少なく
とも一方の筐体に弾性部材の一端を取付け機構を介して
取付け、他端とモータ又はエンコーダとを固定して、該
エンコーダと該モータとを一体構成としたことを特徴と
している。
とも一方の筐体に弾性部材の一端を取付け機構を介して
取付け、他端とモータ又はエンコーダとを固定して、該
エンコーダと該モータとを一体構成としたことを特徴と
している。
【0014】
【実施例】図1は本発明の実施例1の要部断面図であ
る。図中Mはモータ、SHはモータMの回転軸である。
1はモータMを構成する筐体の回転軸SHの周囲に設け
た円環状で凸状の突出部(円柱状部)である。回転軸S
Hは後述するエンコーダHの回転軸ESと嵌合孔ESH
に同軸配置で嵌合され、ネジ止めしている。Hはロータ
リーエンコーダ(エンコーダ)である。Haはロータリ
ーエンコーダHの各要素を包含する筐体である。Dはス
ケールディスクであり、その円板上の円周上には透光部
と遮光部の格子模様の回折格子、又は透過型の凹凸部よ
り成る位相差の回折格子(放射状回折格子)を複数個、
所定の周期で放射状に配列している。スケールディスク
DはエンコーダHの回転軸ESの一端の取付部Sに取付
けられている。
る。図中Mはモータ、SHはモータMの回転軸である。
1はモータMを構成する筐体の回転軸SHの周囲に設け
た円環状で凸状の突出部(円柱状部)である。回転軸S
Hは後述するエンコーダHの回転軸ESと嵌合孔ESH
に同軸配置で嵌合され、ネジ止めしている。Hはロータ
リーエンコーダ(エンコーダ)である。Haはロータリ
ーエンコーダHの各要素を包含する筐体である。Dはス
ケールディスクであり、その円板上の円周上には透光部
と遮光部の格子模様の回折格子、又は透過型の凹凸部よ
り成る位相差の回折格子(放射状回折格子)を複数個、
所定の周期で放射状に配列している。スケールディスク
DはエンコーダHの回転軸ESの一端の取付部Sに取付
けられている。
【0015】Lは光源手段であり、例えばLEDや半導
体レーザ等から成っており、光源手段Lからの光束でス
ケールディスクDを照射している。PDは検出手段であ
り、光源手段Lからの光束のうちスケールディスクDの
回折格子を介した光束を検出している。
体レーザ等から成っており、光源手段Lからの光束でス
ケールディスクDを照射している。PDは検出手段であ
り、光源手段Lからの光束のうちスケールディスクDの
回折格子を介した光束を検出している。
【0016】本実施例では検出手段PDで得られた位相
変調信号光を用いてフレキシブルプリント基板FPに設
けた信号処理回路によりスケールディスクD(回転軸S
H)の回転情報を検出している。フレキシブルプリント
基板FPはエンコーダHの筐体Ha内の上部空間FSに
折り畳む状態で収納している。
変調信号光を用いてフレキシブルプリント基板FPに設
けた信号処理回路によりスケールディスクD(回転軸S
H)の回転情報を検出している。フレキシブルプリント
基板FPはエンコーダHの筐体Ha内の上部空間FSに
折り畳む状態で収納している。
【0017】本実施例ではエンコーダHの筐体Haの下
部の取付部Hbに板バネ連結部材LSの一端LSaをネ
ジ固定している。一方、モータMの突出部1の連結部1
aには円環状アタッチメントLAを側面方向より板バネ
連結部材LSの一端LSbとアタッチメントLAとをネ
ジ部材11でネジ固定しておき、モータMの嵌合円柱状
部1にアタッチメントLAを嵌めた状態でネジ部材12
で側面方向より押えて円柱状部1とアタッチメントLA
を固定している。これによりモータとエンコーダとの連
結を行っている。又エンコーダHの外側フレームHcが
図に示すようにモータMの外側フレームMaに嵌合する
ようにしている。
部の取付部Hbに板バネ連結部材LSの一端LSaをネ
ジ固定している。一方、モータMの突出部1の連結部1
aには円環状アタッチメントLAを側面方向より板バネ
連結部材LSの一端LSbとアタッチメントLAとをネ
ジ部材11でネジ固定しておき、モータMの嵌合円柱状
部1にアタッチメントLAを嵌めた状態でネジ部材12
で側面方向より押えて円柱状部1とアタッチメントLA
を固定している。これによりモータとエンコーダとの連
結を行っている。又エンコーダHの外側フレームHcが
図に示すようにモータMの外側フレームMaに嵌合する
ようにしている。
【0018】本実施例では以上のような構成の板バネ連
結部材LSとネジ部材を用いてモータMとエンコーダH
とを連結しており、これにより回転軸の回転に伴う偏芯
誤差を補正しつつモータMとエンコーダHとの取付面の
間隔を狭くして装置全体の小型化を図ったエンコーダ付
モータを達成している。
結部材LSとネジ部材を用いてモータMとエンコーダH
とを連結しており、これにより回転軸の回転に伴う偏芯
誤差を補正しつつモータMとエンコーダHとの取付面の
間隔を狭くして装置全体の小型化を図ったエンコーダ付
モータを達成している。
【0019】図2〜図6は各々本発明の実施例2〜6の
要部断面図である。図2〜図6において図1で示した要
素と同一要素には同符番を付している。図2の実施例2
は図1の実施例1に比べて板バネ連結部材LSの一端L
SaをエンコーダHに取付ける際のネジ止め位置が異な
っており、その他の構成は同じである。
要部断面図である。図2〜図6において図1で示した要
素と同一要素には同符番を付している。図2の実施例2
は図1の実施例1に比べて板バネ連結部材LSの一端L
SaをエンコーダHに取付ける際のネジ止め位置が異な
っており、その他の構成は同じである。
【0020】本実施例では板バネ連結部材LSの一端L
SaをエンコーダHの回転軸ESの周囲に設けた円環状
の突出部Hdに外側面方向からネジ部材21でネジ固定
している点が実施例1と異なっている。
SaをエンコーダHの回転軸ESの周囲に設けた円環状
の突出部Hdに外側面方向からネジ部材21でネジ固定
している点が実施例1と異なっている。
【0021】図3〜図6の実施例3〜実施例6は図1の
実施例1に比べて板バネ連結部材LSの形状及び板バネ
連結部材LSのモータMとエンコーダHへの取付方法が
異なっており、その他の構成は同じである。
実施例1に比べて板バネ連結部材LSの形状及び板バネ
連結部材LSのモータMとエンコーダHへの取付方法が
異なっており、その他の構成は同じである。
【0022】図3の実施例3ではモータMの取付部31
に板バネ連結部材LSの一端LSbをネジ部材31でネ
ジ固定している。一方のエンコーダHの連結部2の側面
に側方から溝部2aを設けている。そして板バネ連結部
材LSの他端LSaを連結部2の底面に係合させて、該
他端LSaの係合領域をコの字型の板バネアタッチメン
ト(弾性部材)Aを溝部2aを利用して側方より差し込
んでいる。
に板バネ連結部材LSの一端LSbをネジ部材31でネ
ジ固定している。一方のエンコーダHの連結部2の側面
に側方から溝部2aを設けている。そして板バネ連結部
材LSの他端LSaを連結部2の底面に係合させて、該
他端LSaの係合領域をコの字型の板バネアタッチメン
ト(弾性部材)Aを溝部2aを利用して側方より差し込
んでいる。
【0023】このアタッチメントAにより板バネ連結部
材LSとエンコーダHとを挟んで押えている。これによ
りモータMとエンコーダHとを連結している。尚、弾性
部材としてのコの字型の板バネアタッチメントAは必要
に応じて、接着,ネジ固定しても良い。又エンコーダ
H,アタッチメントAそして板バネ連結部材LSには周
方向へのずれを防止する為に嵌め合いの凹凸部を形成し
ても良い。
材LSとエンコーダHとを挟んで押えている。これによ
りモータMとエンコーダHとを連結している。尚、弾性
部材としてのコの字型の板バネアタッチメントAは必要
に応じて、接着,ネジ固定しても良い。又エンコーダ
H,アタッチメントAそして板バネ連結部材LSには周
方向へのずれを防止する為に嵌め合いの凹凸部を形成し
ても良い。
【0024】図4の実施例4では図3の実施例3に比べ
て板バネ連結部材LSの形状が異なっており、エンコー
ダHの連結部2への取付け、及びモータMの取付部31
への取付けが同図に示すように内側から取付けており、
この点が異なっているだけであり、その他の構成は同じ
である。
て板バネ連結部材LSの形状が異なっており、エンコー
ダHの連結部2への取付け、及びモータMの取付部31
への取付けが同図に示すように内側から取付けており、
この点が異なっているだけであり、その他の構成は同じ
である。
【0025】図5の実施例5では図3の実施例3に比べ
てエンコーダHの連結部2の側面に回転軸ESの軸方向
から溝部2bを設けている。そして溝部2bに板バネ連
結部材LSの一端を折り曲げた折曲部LSCを挿嵌し
て、これによりモータMにエンコーダHを連結している
点が異なっており、その他の構成は同じである。
てエンコーダHの連結部2の側面に回転軸ESの軸方向
から溝部2bを設けている。そして溝部2bに板バネ連
結部材LSの一端を折り曲げた折曲部LSCを挿嵌し
て、これによりモータMにエンコーダHを連結している
点が異なっており、その他の構成は同じである。
【0026】図6の実施例6では図3の実施例3に比べ
てエンコーダHの連結部2の側面に切欠き部2cを設け
ている。そして切欠き部2cと外側フレームHcとの空
間を利用して板バネ連結部材LSの一端LSaを該切欠
き部2cに挿嵌しており、これによりモータMとエンコ
ーダHとを連結している点が異なっており、その他の構
成は同じである。
てエンコーダHの連結部2の側面に切欠き部2cを設け
ている。そして切欠き部2cと外側フレームHcとの空
間を利用して板バネ連結部材LSの一端LSaを該切欠
き部2cに挿嵌しており、これによりモータMとエンコ
ーダHとを連結している点が異なっており、その他の構
成は同じである。
【0027】図7は本発明の実施例7の要部構成説明図
である。同図において図1で示した要素と同一要素には
同符番を付している。
である。同図において図1で示した要素と同一要素には
同符番を付している。
【0028】本実施例ではモータMの回転軸SHの周囲
に円環状の突出部(円柱状嵌合部)72を設けている。
又同様にエンコーダHの回転軸ESの周囲にも突出部7
2と同形状の円環状の突出部(円柱状の嵌合部)71を
設けている。そして突出部71(72)に円環状のアタ
ッチメントLA1(LA2)を嵌入させている。
に円環状の突出部(円柱状嵌合部)72を設けている。
又同様にエンコーダHの回転軸ESの周囲にも突出部7
2と同形状の円環状の突出部(円柱状の嵌合部)71を
設けている。そして突出部71(72)に円環状のアタ
ッチメントLA1(LA2)を嵌入させている。
【0029】板バネ連結部材LSの2ケ所LSaを円環
状のアタッチメントLA1にネジを固定して、もう2ケ
所LSbを円環状のアタッチメントLA2にネジ固定し
ている。アタッチメントLA1の側面には止めビス用の
ネジ穴LA1aがあり、止めビス73によってエンコー
ダHの本体Haの円柱状の嵌合部71に嵌め合わせてネ
ジ固定している。
状のアタッチメントLA1にネジを固定して、もう2ケ
所LSbを円環状のアタッチメントLA2にネジ固定し
ている。アタッチメントLA1の側面には止めビス用の
ネジ穴LA1aがあり、止めビス73によってエンコー
ダHの本体Haの円柱状の嵌合部71に嵌め合わせてネ
ジ固定している。
【0030】同様にアタッチメントLA2の側面には止
めビス用のネジ穴LA2aがあり、止めビス74によっ
てモータMの本体の円柱状嵌合部72に嵌め合わせてネ
ジ固定している。これによりモータとエンコーダの連結
を行っている。
めビス用のネジ穴LA2aがあり、止めビス74によっ
てモータMの本体の円柱状嵌合部72に嵌め合わせてネ
ジ固定している。これによりモータとエンコーダの連結
を行っている。
【0031】尚、本実施例においてモータとエンコーダ
とを連結する押え部材としてのネジ,バネ,アタッチメ
ントの形状や数等は任意に設定することができる。
とを連結する押え部材としてのネジ,バネ,アタッチメ
ントの形状や数等は任意に設定することができる。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば以上のように、モータに
エンコーダを連結して、一体化を図る際にエンコーダを
モータとの連結部分を適切に設定した弾性部材を用いる
ことにより装置全体の小型化及び小径化を図ってもエン
コーダをモータに高精度に、しかも安定的に連結するこ
とができるエンコーダ付モータを達成することができ
る。
エンコーダを連結して、一体化を図る際にエンコーダを
モータとの連結部分を適切に設定した弾性部材を用いる
ことにより装置全体の小型化及び小径化を図ってもエン
コーダをモータに高精度に、しかも安定的に連結するこ
とができるエンコーダ付モータを達成することができ
る。
【図1】本発明の実施例1の要部断面図
【図2】本発明の実施例2の要部断面図
【図3】本発明の実施例3の要部断面図
【図4】本発明の実施例4の要部断面図
【図5】本発明の実施例5の要部断面図
【図6】本発明の実施例6の要部断面図
【図7】本発明の実施例7の要部構成説明図
M モータ H エンコーダ SH,ES 回転軸 D スケールディスク L 光源手段 PD 検出手段 LS 板バネ連結部材 LA 円環状アタッチメント
Claims (4)
- 【請求項1】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方
に突起部を設け、該突起部を円環状のアタッチメント部
材で嵌合し、弾性部材の一端と該アタッチメント部材と
をバネ部材で連結し、該弾性部材の他端を該モータ又は
エンコーダで連結して、該エンコーダとモータとを一体
構成としたことを特徴とするエンコーダ付モータ。 - 【請求項2】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方
の筐体の一部に溝部を設け、弾性部材の一端と該筐体と
を弾性部材で該溝部を利用して冠着し、該弾性部材の他
端とモータ又はエンコーダとを固定して、該エンコーダ
と該モータとを一体構成としたことを特徴とするエンコ
ーダ付モータ。 - 【請求項3】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方
の筐体の一部に溝部又は切欠き部を設け、弾性部材の一
端を該溝部又は切欠き部に挿嵌し、他端をモータ又はエ
ンコーダに固定して該エンコーダと該モータとを一体構
成としたことを特徴とするエンコーダ付モータ。 - 【請求項4】 モータ又はエンコーダの少なくとも一方
の筐体に弾性部材の一端を取付け機構を介して取付け、
他端とモータ又はエンコーダとを固定して、該エンコー
ダと該モータとを一体構成としたことを特徴とするエン
コーダ付モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7077432A JPH08251875A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | エンコーダ付モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7077432A JPH08251875A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | エンコーダ付モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08251875A true JPH08251875A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=13633853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7077432A Pending JPH08251875A (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | エンコーダ付モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08251875A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016092983A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | フジテック株式会社 | エレベータ装置 |
| JP2020041999A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 台達電子工業股▲ふん▼有限公司Delta Electronics,Inc. | エンコーダ及びそれを用いた回転装置 |
| JP2022050211A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転機構および基板処理装置 |
-
1995
- 1995-03-08 JP JP7077432A patent/JPH08251875A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016092983A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | フジテック株式会社 | エレベータ装置 |
| JP2020041999A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 台達電子工業股▲ふん▼有限公司Delta Electronics,Inc. | エンコーダ及びそれを用いた回転装置 |
| US10914616B2 (en) | 2018-09-12 | 2021-02-09 | Delta Electronics, Inc. | Encoder and rotatable device using same |
| JP2022050211A (ja) * | 2020-09-17 | 2022-03-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転機構および基板処理装置 |
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