JPH08253677A - ポリイミドシロキサン組成物 - Google Patents

ポリイミドシロキサン組成物

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JPH08253677A
JPH08253677A JP5904495A JP5904495A JPH08253677A JP H08253677 A JPH08253677 A JP H08253677A JP 5904495 A JP5904495 A JP 5904495A JP 5904495 A JP5904495 A JP 5904495A JP H08253677 A JPH08253677 A JP H08253677A
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誠治 石川
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Hiroyuki Fukuda
裕之 福田
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/285Permanent coating compositions

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  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有機溶剤に対して高い可溶性、及び保護膜を
形成した場合に高い耐熱性、、密着性及び耐薬品性を有
するポリイミドシロキサンの組成物を提供する。 【構成】芳香族テトラカルボン酸成分と、ジアミノポリ
シロキサン、水酸基又はカルボキシル基を有しベンゼン
環を2つ以上有する芳香族ジアミン及び場合により他の
芳香族ジアミンから成る成分とを重合及びイミド化する
ことにより得られる可溶性のポリイミドシロキサン100
重量部及びエポキシ樹脂1 〜50重量部からなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、対数粘度0.16以
上の可溶性ポリイミドシロキサン及びエポキシ樹脂を含
有してなるポリイミドシロキサン溶液組成物に係わるも
ので、その組成物は、耐熱性、密着性、耐薬品性(特に
耐ハンダフラックス性)及び貯蔵安定性に優れ、フレキ
シブル配線板上にスクリーン印刷などで保護膜の形成が
可能である印刷用インキ、塗布用ワニスなどの用途に好
適に使用される。
【0002】この発明のポリイミドシロキサンの組成物
は、その溶液組成物をシリコンウエハー、フレキシブル
配線基板などに塗布し、乾燥・硬化して保護膜を形成し
た場合に、実質的にカールを引き起こすことがなく、又
その保護膜が優れた耐屈曲性、耐半田性(耐熱性)を有
すると共に、基板への密着性を有し、シランカップリン
グ剤などの密着促進剤で予め基板の前処理をする必要が
ないので、例えば、IC,LSIのパッシベーション膜
や、ダイオードのジャンクションコートなどの用途に、
上記前処理を行うことなく優れた保護膜を形成させるこ
とができる。
【0003】
【従来の技術】従来、芳香族ポリイミド、エポキシ樹脂
などを電気絶縁性の保護膜として利用することは、例え
ば、固体素子への絶縁膜、パッシベーション膜、半導体
集積回路、フレキシブル配線板などの絶縁膜などの用途
において知られている。一般に、エポキシ樹脂は硬化剤
の併用が必要であり、その硬化剤に係わる保存安定性、
二液調製のための作業性などの種々の問題があったり、
又、前述の絶縁膜として使用した場合に、熱硬化によっ
て形成される絶縁膜が剛直であり、柔軟性に欠け、屈曲
性に劣るという問題があった。
【0004】又、一般に芳香族ポリイミドは、有機溶媒
に溶解し難いために、芳香族ポリイミドの前駆体(芳香
族ポリアミック酸)の溶液として使用して、塗布膜を形
成し、次いで乾燥とイミド化とを高温で長時間、加熱処
理することによって、芳香族ポリイミドの保護膜を形成
する必要があり、保護すべき電気又は電子部材自体が熱
劣化するという問題があった。
【0005】一方、有機溶剤に可溶性の芳香族ポリイミ
ドは、例えば、特公昭57−41491号公報に記載さ
れているようなビフェニルテトラカルボン酸とジアミン
化合物とを有機極性溶媒中で重合及びイミド化した芳香
族ポリイミドが知られているが、そのポリイミドは、シ
リコンウェハー、ガラス板、フレキシブル基板などの基
板との密着性(接着性)が充分なかったので予め基板な
どを密着促進剤で処理しておくなどの方法が必要であっ
た。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、有
機溶剤に対して高い溶解性を有し、保護膜を形成した場
合に、高い耐熱性、非カール性、密着性を同時に有して
いて、しかも、エポキシ樹脂との相溶性がよく、接着剤
などに悪影響を及ぼさないものであって、充分な耐熱
性、耐薬品性(特に耐ハンダフラックス性)、耐屈曲性
を有する保護膜などを容易に形成することができるポリ
イミドシロキサン組成物(溶液組成物)を提供すること
である。
【0007】この発明者らは、対数粘度0.16以上の
可溶性ポリイミドシロキサン及びエポキシ樹脂からなる
ポリイミドシロキサン組成物を使用すると、上述の目的
を達成できることを知り、この発明に至った。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は、(a)一般
式(1)
【0009】
【化13】
【0010】一般式(2)
【0011】
【化14】 及び、一般式(3)
【0012】
【化15】
【0013】(ただし、式中のR1は芳香族テトラカル
ボン酸からテトラカルボン酸を除く4価の残基を示し、
R2は一般式(4)のジアミノポリシロキサンのアミノ
基を除く2価の残基を示し、R3は一般式(5)で示さ
れる芳香族ジアミン化合物よりアミノ基を除く2価の残
基を示し、R4は一般式(4)及び一般式(5)で示さ
れるジアミン化合物を除くジアミン化合物からアミノ基
を除く2価の残基を示し、n1は3〜30の整数を示
し、R5は2価の炭化水素基又はフェニル基を示し、R
6は独立に炭素数1〜3のアルキル基またはフェニル基
を示し、×は直接結合又は一般式(6)で示し、r1は
水酸基又はカルボキシル基を示し、n2は1又は2の整
数を示し、n3は0〜3の整数を示し、R7、R8は水
素、メチル基又はハロゲン化メチル基を示し、m1、m
2及びm3の割合が各成分合計100モル%中m1が4
5〜80モル%、m2が0.5〜40モル%及びm3が
残部である。) 一般式(4)
【0014】
【化16】 一般式(5)
【0015】
【化17】 一般式(6)
【0016】
【化18】
【0017】で示される有機溶剤可溶性の対数粘度
(0.5g/100ml)0.16以上のポリイミドシ
ロキサン100重量部及び、(b)エポキシ樹脂1〜5
0重量部からなることを特徴とするポリイミドシロキサ
ン組成物に関する。
【0018】また、この発明は、(a)一般式(1)
【0019】
【化19】
【0020】一般式(2)
【0021】
【化20】 及び、一般式(3)
【0022】
【化21】
【0023】(ただし、式中のR1は芳香族テトラカル
ボン酸からテトラカルボン酸を除く4価の残基を示し、
R2は一般式(4)のジアミノポリシロキサンのアミノ
基を除く2価の残基を示し、R3は一般式(5)で示さ
れる芳香族ジアミン化合物よりアミノ基を除く2価の残
基を示し、R4は一般式(4)及び一般式(5)で示さ
れるジアミン化合物を除くジアミン化合物からアミノ基
を除く2価の残基を示し、n1は3〜30の整数を示
し、R5は2価の炭化水素基又はフェニル基を示し、R
6は独立に炭素数1〜3のアルキル基またはフェニル基
を示し、×は直接結合又は一般式(6)で示し、r1は
水酸基又はカルボキシル基を示し、n2は1又は2の整
数を示し、n3は0〜3の整数を示し、R7、R8は水
素、メチル基又はハロゲン化メチル基を示し、m1、m
2及びm3の割合が各成分合計100モル%中m1が4
5〜80モル%、m2が0.5〜40モル%及びm3が
残部である。) 一般式(4)
【0024】
【化22】 一般式(5)
【0025】
【化23】 一般式(6)
【0026】
【化24】
【0027】で示される有機溶剤可溶性の対数粘度
(0.5g/100ml)0.16以上のポリイミドシ
ロキサン100重量部及び、(b)エポキシ樹脂1〜5
0重量部からなるポリイミドシロキサン組成物を加熱し
てなることを特徴とする硬化物に関する。物に関する。
【0028】この発明において、芳香族テトラカルボン
酸としては、2、3、3’、4’−ビフェニルテトラカ
ルボン酸、3、3’、4、4’−ビフェニルテトラカル
ボン酸、3、3’、4、4’−ジフェニルエ−テルテト
ラカルボン酸、3、3’、4、4’−ジフェニルスルホ
ンテトラカルボン酸、3、3’、4、4’−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸、2、2−ビス(3、4−ベンゼ
ンジカルボン酸無水物)ヘキサフルオロプロパン、ピロ
メリット酸、1、4−ビス(3、4−ベンゼンジカルボ
ン酸)ベンゼン、2、2−ビス〔4−(3、4−フェノ
キシジカルボン酸)フェニル〕プロパン、又はそれらの
無水物や低級アルコ−ルのエステル化物を、80モル%
以上、特に85〜100モル%含有する(残部は脂肪族
でもよい)芳香族テトラカルボン酸類が使用される。こ
れらのなかでも特に、2、3、3’、4’−ビフェニル
テトラカルボン酸、3、3’、4、4’−ジフェニルエ
−テルテトラカルボン酸が、前記ポリイミドシロキサン
の有機溶媒に対する溶解性が優れているので好適であ
る。
【0029】この発明において、一般式(4)で示され
るジアミノポリシロキサンとしては、式中のR5は2価
の炭化水素基を示し炭素数が2〜6、好ましくは3〜5
の複数のメチレン基又はフェニレン基からなる。R6は
独立に炭素数1〜3のメチル基、エチル基、プロピル基
などのアルキル基又はフェニル基を示し、nは3〜3
0、好ましくは3〜20を示す。nの数が小さいとカ−
ル性が高くなり好ましくなく、nの数があまり大きすぎ
たりすると耐薬品性が低くなったり、芳香族テトラカル
ボン酸成分との反応性が低下したり、得られるポリイミ
ドシロキサンの分子量が低くなったり、有機溶媒に対す
る溶解性が低くなったり、他の有機化合物との相溶性が
悪くなるので前記程度のものが適当である。
【0030】ジアミノポリシロキサンの具体的化合物の
例としてはα、ω−ビス(2−アミノエチル) ポリジメ
チルシロキサン、α、ω−ビス(3−アミノプロピル)
ポリジメチルシロキサン、α、ω−ビス(4−アミノフ
ェニル) ポリジメチルシロキサン、α、ω−ビス(4−
アミノ−3−メチルフェニル) ポリジメチルシロキサ
ン、α、ω−ビス(3−アミノプロピル) ポリジフェニ
ルシロキサン、α、ω−ビス(4−アミノブチル) ポリ
ジメチルシロキサンなどが挙げられる。
【0031】この発明において、一般式(5)で示され
るジアミン化合物としては3、3’−ジアミノ、4、
4’−ジハイドロキシビフェニル、4、4’−ジアミ
ノ、3、3’−ジハイドロキシビフェニル、4、4’−
ジアミノ、2、2’−ジハイドロキシビフェニル、4、
4’−ジアミノ、2、2’、5、5’−テトラハイドロ
キシビフェニルなどのヒドロキシビフェニル化合物類、
3、3’−ジアミノ、4、4’−ジカルボキシビフェニ
ル、4、4’−ジアミノ、3、3’−ジカルボキシビフ
ェニル、4、4’−ジアミノ、2、2’−ジカルボキシ
ビフェニル、4、4’−ジアミノ、2、2’、5、5’
−−テトラカルボキシビフェニルなどのカルボキシビフ
ェニル化合物類、3、3’−ジアミノ、4、4’−ジハ
イドロキシジフェニルメタン、4、4’−ジアミノ、
3、3’−ジハイドロキシジフェニルメタン、4、4’
−ジアミノ、2、2’−ジハイドロキシジフェニルメタ
ン、2、2−ビス〔3−アミノ、4、−ハイドロキシフ
ェニル〕プロパン、2、2−ビス〔4−アミノ、3、−
ハイドロキシフェニル〕プロパン、2、2−ビス〔3−
アミノ、4、−ハイドロキシフェニル〕ヘキサフルオロ
プロパン、4、4’−ジアミノ、2、2’、5、5’−
テトラハイドロキシジフェニルメタンなどのヒドロキシ
ジフェニルアルカン化合物類、3、3’−ジアミノ、
4、4’−ジカルボキシジフェニルメタン、4、4’−
ジアミノ、3、3’−ジカルボキシジフェニルメタン、
4、4’−ジアミノ、2、2’−ジカルボキシジフェニ
ルメタン、2、2−ビス〔3−アミノ、4、−カルボキ
シフェニル〕プロパン、2、2−ビス〔4−アミノ、
3、−カルボキシフェニル〕プロパン、2、2−ビス
〔3−アミノ、4、−カルボキシフェニル〕ヘキサフル
オロプロパン、4、4’−ジアミノ、2、2’、5、
5’−テトラカルボキシビフェニルなどのカルボキシジ
フェニルアルカン化合物類、3、3’−ジアミノ、4、
4’−ジハイドロキシジフェニルエ−テル、4、4’−
ジアミノ、3、3’−ジハイドロキシジフェニルエ−テ
ル、4、4’−ジアミノ、2、2’−ジハイドロキシジ
フェニルエ−テル、4、4’−ジアミノ、2、2’、
5、5’−テトラハイドロキシジフェニルエ−テルなど
のヒドロキシジフェニルエ−テル化合物類、3、3’−
ジアミノ、4、4’−ジカルボキシジフェニルエ−テ
ル、4、4’−ジアミノ、3、3’−ジカルボキシジフ
ェニルエ−テル、4、4’−ジアミノ、2、2’−ジカ
ルボキシジフェニルエ−テル、4、4’−ジアミノ、
2、2’、5、5’−テトラカルボキシジフェニルエ−
テルなどのカルボキシジフェニルエ−テル化合物類、
3、3’−ジアミノ、4、4’−ジハイドロキシジフェ
ニルスルホン、4、4’−ジアミノ、3、3’−ジハイ
ドロキシジフェニルスルホン、4、4’−ジアミノ、
2、2’−ジハイドロキシジフェニルスルホン、4、
4’−ジアミノ、2、2’、5、5’−テトラハイドロ
キシジフェニルスルホンなどのヒドロキシジフェニルス
ルホン化合物類、3、3’−ジアミノ、4、4’−ジカ
ルボキシジフェニルスルホン、4、4’−ジアミノ、
3、3’−ジカルボキシジフェニルスルホン、4、4’
−ジアミノ、2、2’−ジカルボキシジフェニルスルホ
ン、4、4’−ジアミノ、2、2’、5、5’−テトラ
カルボキシジフェニルスルホンなどのカルボキシジフェ
ニルスルホン化合物類、2、2−ビス〔4−(4−アミ
ノ、3−ハイドロキシフェノキシ)フェニル〕プロパン
などのビス(ハイドロキシフェニキシフェニル)アルカ
ン化合物類、2、2−ビス〔4−(4−アミノ、3−カ
ルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパンなどのビス
(カルボキシフェノキシフェニル)アルカン化合物類、
4、4’−ビス(4−アミノ、3−ハイドロキシフェノ
キシ)ビフェニルなどのビス(ハイドロキシフェノキ
シ)ビフェニル化合物類、4、4’−ビス(4−アミ
ノ、3−カルボキシフェノキシ)ビフェニルなどのビス
(カルボキシフェノキシ)ビフェニル化合物類、2、2
−ビス〔4−(4−アミノ、3−ハイドロキシフェノキ
シ)フェニル〕スルホンなどのビス(ハイドロキシフェ
ニキシフェニル)スルホン化合物類、2、2−ビス〔4
−(4−アミノ、3−カルボキシフェノキシ)フェニ
ル〕スルホンなどのビス(カルボキシフェノキシフェニ
ル)スルホン化合物類などを挙げることができる。
【0032】この発明において一般式(3)に示される
R4は一般式(4)及び一般式(5)で示されるジアミ
ン化合物を除くジアミン化合物よりアミノ基を除いた2
価の残基を示し、1、4−ジアミノベンゼン、1、3−
ジアミノベンゼン、2、4−ジアミノトルエン、1、4
−ジアミノ、2、5−ジハロゲノベンゼンなどのベンゼ
ン1個を含むジアミン類、ビス(4−アミノフェニル)
エ−テル、ビス(3−アミノフェニル)エ−テル、ビス
(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフ
ェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)メタ
ン、ビス(3−アミノフェニル)メタン、ビス(4−ア
ミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニ
ル)スルフィド、2、2−ビス(4−アミノフェニル)
プロパン、2、2−ビス(3−アミノフェニル)プロパ
ン、2、2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオ
ロプロパン、o−ジアニシジン、o−トリジン、トリジ
ンスルホン酸類などのベンゼン2個を含むジアミン類、
1、4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1、
4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1、4−
ビス(4−アミノフェニル)ベンゼン、1、4−ビス
(3−アミノフェニル)ベンゼン、α、α’−ビス(4
−アミノフェニル)−1、4−ジイソプロピルベンゼ
ン、α、α’−ビス(4−アミノフェニル)−1、3−
ジイソプロピルベンゼンなどのベンゼン3個を含むジア
ミン類2、2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕プロパン2、2−ビス〔4−(4−アミノフェ
ノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン2、2−ビ
ス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン
4、4’−(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、9、
9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン5、10−
ビス(4−アミノフェニル)アントラセンなどのベンゼ
ン4個以上を含むジアミン類などのジアミン化合物が挙
げられる。ヘキサメチレンジアミン、ジアミノドデカン
など脂肪族ジアミン化合物を上記ジアミンと共に使用す
ることができる。
【0033】この発明において、ポリイミドシロキサン
成分中の一般式(1)、一般式(2)と一般式(3)の
ユニットの割合は、それぞれ45〜80モル%、0.5
〜40モル%及び残部、好ましくはそれぞれ45〜75
モル%、1〜40モル%、0〜50モル%、更に好まし
くはそれぞれ50〜75モル%、5〜35モル%、5〜
45モル%の割合で使用される。いずれかの成分が多す
ぎたり、少なすぎたりしてこれらの範囲をはずれると得
られるポリイミドシロキサンの有機溶媒に対する溶解性
が低下したり、他の有機化合物との相溶性が悪くなった
り、フレキシブル配線基板上に保護膜を形成する際に大
きくカールするようになったり、耐熱性が低下したり、
弾性率が高くなるので適当でない。
【0034】この発明において、ポリイミドシロキサン
は、次の方法で得られる。 (1) 芳香族テトラカルボン酸成分とジアミノポリシロキ
サン及び芳香族ジアミンのジアミン成分とを、略等モル
使用し、有機極性溶媒中で連続的に15〜250℃で重
合及びイミド化させてポリイミドシロキサンを得る方
法。
【0035】(2) ジアミン成分を分けて、まず芳香族テ
トラカルボン酸成分の過剰量とジアミノポリシロキサン
とを有機極性溶媒中で15〜250℃で重合、イミド化
させて、平均重合度1〜10程度の末端に酸又は酸無水
物基を有するイミドシロキサンオリゴマーを調製し、別
に芳香族テトラカルボン酸成分と過剰量の芳香族ジアミ
ンとを有機極性溶媒中で15〜250℃で重合、イミド
化させて、平均重合度1〜10程度の末端にアミノ基を
有するイミドオリゴマーを調製し、次いでこの両者を、
酸成分とジアミン成分とが略等モルになるように混合し
て15〜60℃で反応させて、さらに130〜250℃
に昇温してブロックタイプのポリイミドシロキサンを得
る方法。
【0036】(3) 芳香族テトラカルボン酸成分とジアミ
ノポリシロキサン及び芳香族ジアミンのジアミン成分と
を、略等モル使用し、有機極性溶媒中でまず20〜80
℃で重合させて一度ポリアミック酸を得た後に、イミド
化してポリイミドシロキサンを得る方法などがある。
【0037】上記ポリイミドシロキサンを得る際に使用
される有機極性溶媒としては、アミド系溶媒、例えばN,
N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、
N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミ
ド、N-メチル-2- ピロリドンなど,硫黄原子を含有する
溶媒、例えばジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキ
シド、ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ヘキサメ
チルスルホルアミドなど,フェノール系溶媒、例えばク
レゾール、フェノール、キシレノールなど,ジグライム
系溶媒例えばジエチレングリコール ジメチルエーテル
(ジグライム)、トリエチレングリコール ジメチルエ
ーテル(トリグライム)、テトラグライムなど、酸素原
子を分子内に有する溶媒、例えばアセトン、メタノー
ル、エタノール、エチレングリコール、ジオキサン、テ
トラヒドロフランなど,その他ピリジン、テトラメチル
尿素などを挙げることができる。また必要に応じてベン
ゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒
やソルベントナフサ、ベンゾニトリルなど他の有機溶媒
を併用してもよい。
【0038】この発明において、ポリイミドシロキサン
は、前記(1) 〜(3) などいずれの方法で得られたものを
使用してもよいが、イミド化率が高く、有機極性溶媒に
少なくとも3重量%以上、好ましくは5〜60重量%、
特に5〜50%程度の高濃度で溶解させることができる
もので、25℃の溶液粘度 (E型回転粘度計)が0.
01〜10,000ポイズ、特に0.1〜1,000ポ
イズであることが好ましい。
【0039】ポリイミドシロキサンのイミド化率は、9
0%以上、特には95%以上が好ましく、分子量の目安
としての対数粘度(測定濃度:0.5g /100ミリリ
ットル、溶媒:N-メチル-2- ピロリドン、測定温度:3
0℃)が、0.16以上、好ましくは0.17以上、特
に好ましくは0.17〜1であるものがよい。
【0040】この発明において使用するエポキシ樹脂と
しては、エポキシ当量が100〜1000程度であっ
て、分子量が400〜5000程度である液状又は固体
状のエポキシ樹脂が好ましい。例えば、ビスフェノール
A型やビスフェノールF型のエポキシ樹脂(油化シェル
製:エピコート806、エピコート825など)、3官
能以上のエポキシ樹脂(油化シェル製:エピコート15
2、エピコート154、エピコート180シリ−ズ、エ
ピコートエピコート157シリ−ズ、エピコート103
2シリ−ズ、チバガイギ−製:MT0163など)など
を挙げることができる。
【0041】この発明において、エポキシ樹脂の使用量
は、ポリイミドシロキサン100重量部に対して、1〜
50重量部、好ましくは5〜40重量部である。使用量
が、余り多すぎたり、少なすぎると組成物がゲル化した
り、硬化後に耐熱性、耐薬品性が悪くなるので上記範囲
が好ましい。
【0042】エポキシ樹脂と共にヒドラジド類、イミダ
ゾ−ル類などのエポキシ樹脂の硬化を促進する添加成分
を使用してもよい。
【0043】また、シリコン系の増粘度成分、例えば日
本アエロジル製:アエロジル等をポリイミドシロキサン
100重量部に対して好ましくは1〜50重量部、特に
5〜40重量部添加することが好ましい。
【0044】この発明において、ポリイミドシロキサン
の溶液組成物は、ポリイミドシロキサン及びエポキシ樹
脂を各所定量を均一に、攪拌・混合することによって容
易に得ることができる。混合する際、適当な有機極性溶
媒中で混合し、ポリイミドシロキサンの溶液組成物にす
ることができる。溶媒に溶解させた溶液組成物にするに
あたっては、混合後行ってもよい。ポリイミドシロキサ
ンは、ポリイミドシロキサンの重合溶液をそのままで
も、又その重合溶液を適当な有機溶媒で希釈したもので
あってもよい。有機極性溶媒としては、前記ポリイミド
シロキサンを得る際に使用できる有機極性溶媒を挙げる
ことができるが、沸点140℃以上のものがよく、例え
ば沸点180℃以上、特に200℃以上である有機溶媒
(例えばメチルトリグライムなど)を使用すると、溶媒
の蒸発による散逸が極めて減少するので、保存安定性が
よくなったり、又その印刷インクを使用してスクリーン
印刷を支障なく好適に行うことができるので最適であ
る。
【0045】上記ポリイミドシロキサンの溶液組成物の
濃度は、5〜60重量%、好ましくは5〜50重量%、
そのなかでも特に10〜45重量%が適当であり、上記
溶液粘度は、0.01〜10,000ポイズ、好ましく
は0.1〜1,000ポイズであることが作業性や溶液
物性、その保護膜特性上などから適当である。
【0046】この発明のポリイミドシロキサンの組成物
から形成された保護膜は、優れた機械強度、電気絶縁性
を保持していると共に、耐熱性及び耐薬品性(耐ハンダ
フラックス性)も高いので種々の電気又は電子部品(特
にフレキシブル配線板)の表面保護膜や層間絶縁膜など
として好適に使用できる。被覆すべき対象物(フレキシ
ブル回路板、半導体など)の表面に、常温又は加温下、
回転塗布機、ディスペンサー又は印刷機などを使用する
塗布方法で均一な厚さに塗布し、前記溶液組成物からな
る塗布膜を形成し、次いでその塗布膜を50℃以上、好
ましくは約110℃以上、特に120〜180℃程度の
温度で乾燥させることにより、固化膜(保護膜、厚さ:
約0.5〜500μm程度)を形成することができる。
【0047】
【実施例】以下、実施例及び比較例を示し、この発明を
説明する。各例において測定、評価は次の方法で行っ
た。
【0048】以下の各例で使用した化合物をその略号と
共に以下に示す。 a−BPDA:2、3、3’、4’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物 BTDA:3、3’、4、4’−ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物 PMDA:ピロメリット酸二無水物 ETDA:3、3’、4、4’−ジフェニルエ−テルテ
トラカルボン酸二無水物 DSDA:3、3’、4、4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物 6FDA:2、2−ビス(3、4−ベンゼンジカルボン
酸無水物)ヘキサフルオオロプロパン PSI:α、ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメ
チルシロキサン HAB:3、3’−ジハイドロキシ−4、4’−ジアミ
ノビフェニル MBAA:ビス(3−カルボキシ、4−アミノフェニ
ル)メタン MBHA:ビス(3−ハイドロキシ、4−アミノフェニ
ル)メタン FF:2、2−ビス(4−ハイドロキシ、3−アミノフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン DADE:4、4’−ジアミノジフェニルエ−テル TPEQ:1、4−(4−アミノフェノキシ)ベンゼン BAPP:2、2−ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕プロパン TG:トリグライム NMP:N−メチル−2−ピロリドン
【0049】〔対数粘度(ηinh)の測定〕ポリイミ
ドシロキサン反応液の対数粘度(ηinh)は、次式に
よって表すことが出来る。 ηinh=ln(t/t0 )/c 但し、tは測定溶液のキャノンフェンスケ粘度計におけ
る標線間の通過時間(秒)、t0 は純溶媒のキャノンフ
ェンスケ粘度計における標線間の通過時間(秒)、cは
ポリイミドシロキサン固形物の濃度(g/100ml溶
媒)を表す。粘度の測定は、30℃、N−メチル−2−
ピロリドン溶媒を用いて、ポリイミドシロキサン固形物
濃度0.5g/100mlで行った。
【0050】〔ハンダ(半田)耐熱性の測定方法〕厚さ
35μmの電解銅箔の光沢面に厚さ50μmのポリイミ
ド製スペ−サ−をのせ、ポリイミドシロキサン混合物
(組成物)を流延し、80℃で30分、160℃で60
分加熱乾燥を行い、ポリイミドシロキサン混合物の保護
膜を形成した。ポリイミドシロキサン保護膜を形成した
銅箔を3×3cmに切断し、保護膜上にロジン系フラッ
クス(サンワ化学工業製:SUNFLUX SF−27
0)を塗布した後、260℃の溶融半田浴に30秒間保
護膜面を接触させ、冷却後、保護膜のふくれの有無を観
察し、評価した。 ○:全くふくれなし、×:ふくれあり
【0051】〔密着性〕厚さ75μmのポリイミドフィ
ルム上にスペ−サ−等を使用して、ポリイミドシロキサ
ン混合物(組成物)を流延し、80℃で30分、150
℃で60分加熱乾燥を行い、ポリイミドシロキサンの混
合物の膜厚が20〜30μmの保護膜を形成した。保護
膜面が外側になるようにポリイミドフィルムを折り曲
げ、折り曲げ部の山を50倍の顕微鏡で観察し亀裂の有
無を判定した。 ○:全く亀裂なし、△:折り曲げ部白化、×:亀裂あり
【0052】〔ポリイミドシロキサンの製造〕 参考例1 容量20リットルのガラス製フラスコに、2,3,3',4'-ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物 294.22g、
トリグライム 700gを仕込み、室温で撹拌しながら
溶解した後、α、ω−ビス(3-アミノプロピル)ポリジ
メチルシロキサン(信越シリコン製、X−22−161
AS、n=9) 605.30gとトリグライム 18
5gを加えて均一に溶解させ、窒素雰囲気下に、185
℃に加熱してこの温度を維持しながら4時間重合した。
次いで反応液を室温に戻してして撹拌しながら2、2−
ビス〔4−(4−アミノフェノキシ) フェニル] プロパ
ン62.20gと3、5−ジアミノ安息香酸 23.0
5g及びトリグライム509gを加えた後、反応温度を
185℃にあげて更に4時間反応させてポリイミドシロ
キサン溶液を製造した。このイミドシロキサンは濃度が
40.5重量%、溶液粘度が21ポイズであった。又、
このようにして得られたポリイミドシロキサンは、収率
が99%、分子量の目安として対数粘度が0.23であ
り、イミド化率が実質的に100%であった。
【0053】参考例2〜26 表1に示した酸二無水物とジアミン成分とを使用した以
外は参考例1と同様にして表1に示したポリイミドシロ
キサン反応液を得た。参考例25だけは1000mlの
ガラス容器を用いて行った。
【0054】実施例1 ガラス製容器に、参考例1で得たポリイミドシロキサン
溶液100g、エポキシ樹脂(油化シェル社製、エピコ
ート157S−70) 6.2gを入れ、室温(25
℃)で2時間攪拌して、均一に溶解させたポリイミドシ
ロキサン組成物溶液を得た。この溶液組成物の半田耐熱
性と密着性をそれぞれ測定した。この溶液組成物は、1
週間室温に放置しても、均一な溶液の状態・粘度を保持
していた。結果を第1表、表2に示す。
【0055】実施例2〜24 表2に示す種類と量のポリイミドシロキサン反応液及び
エポキシ樹脂を使用した以外は実施例1と同様にして、
ポリイミドシロキサンの溶液組成物を得た。それぞれ上
記の半田耐熱性と密着性を測定した。結果を表2に示
す。
【0056】比較例1〜10 表3に示す種類と量の各成分を使用した以外は実施例1
と同様にしてポリイミドシロキサンの溶液組成物を製造
した。それぞれ上記の半田耐熱性と密着性を測定した。
結果を表3示す。
【0057】
【表1】
【0058】
【表2】
【0059】
【表3】
【0060】
【発明の効果】この発明の対数粘度0.16以上の可溶
性ポリイミドシロキサン及びエポキシ樹脂を含有してな
るポリイミドシロキサンの組成物は、耐熱性、密着性、
耐薬品性(特に耐ハンダフラックス性)及び貯蔵安定性
に優れ、フレキシブル配線板上にスクリーン印刷などで
保護膜の形成が可能である。そして印刷用インキ、塗布
用ワニスなどの溶液組成物として好適に使用されうる。
【0061】この発明のポリイミドシロキサンの組成物
は、その溶液組成物をシリコンウエハー、フレキシブル
配線基板などに塗布し、加熱して乾燥・硬化して、保護
膜を形成した場合に、実質的にカールを引き起こすこと
がなく、又その保護膜が優れた耐半田性( 耐熱性) を有
すると共に、特に基板への密着性が優れ、シランカップ
リング剤などの密着促進剤で予め基板の前処理をする必
要がないので、例えば、IC,LSIのパッシベーショ
ン膜や、ダイオードのジャンクションコートなどの用途
に上記前処理を行うことなく優れた保護膜を形成するこ
とができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 茂 千葉県市原市五井南海岸8番の1 宇部興 産株式会社千葉研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a)一般式(1) 【化1】 一般式(2) 【化2】 及び、一般式(3) 【化3】 (ただし、式中のR1は芳香族テトラカルボン酸からテ
    トラカルボン酸を除く4価の残基を示し、R2は一般式
    (4)のジアミノポリシロキサンのアミノ基を除く2価
    の残基を示し、R3は一般式(5)で示される芳香族ジ
    アミン化合物よりアミノ基を除く2価の残基を示し、R
    4は一般式(4)及び一般式(5)で示されるジアミン
    化合物を除くジアミン化合物からアミノ基を除く2価の
    残基を示し、n1は3〜30の整数を示し、R5は2価
    の炭化水素基又はフェニル基を示し、R6は独立に炭素
    数1〜3のアルキル基またはフェニル基を示し、×は直
    接結合又は一般式(6)で示し、r1は水酸基又はカル
    ボキシル基を示し、n2は1又は2の整数を示し、n3
    は0〜3の整数を示し、R7、R8は水素、メチル基又
    はハロゲン化メチル基を示し、m1、m2及びm3の割
    合が各成分合計100モル%中m1が45〜80モル
    %、m2が0.5〜40モル%及びm3が残部であ
    る。) 一般式(4) 【化4】 一般式(5) 【化5】 一般式(6) 【化6】 で示される有機溶剤可溶性の対数粘度(0.5g/10
    0ml)0.16以上のポリイミドシロキサン100重
    量部及び、(b)エポキシ樹脂1〜50重量部からなる
    ことを特徴とするポリイミドシロキサン組成物。
  2. 【請求項2】(a)一般式(1) 【化7】 一般式(2) 【化8】 及び、一般式(3) 【化9】 (ただし、式中のR1は芳香族テトラカルボン酸からテ
    トラカルボン酸を除く4価の残基を示し、R2は一般式
    (4)のジアミノポリシロキサンのアミノ基を除く2価
    の残基を示し、R3は一般式(5)で示される芳香族ジ
    アミン化合物よりアミノ基を除く2価の残基を示し、R
    4は一般式(4)及び一般式(5)で示されるジアミン
    化合物を除くジアミン化合物からアミノ基を除く2価の
    残基を示し、n1は3〜30の整数を示し、R5は2価
    の炭化水素基又はフェニル基を示し、R6は独立に炭素
    数1〜3のアルキル基またはフェニル基を示し、×は直
    接結合又は一般式(6)で示し、r1は水酸基又はカル
    ボキシル基を示し、n2は1又は2の整数を示し、n3
    は0〜3の整数を示し、R7、R8は水素、メチル基又
    はハロゲン化メチル基を示し、m1、m2及びm3の割
    合が各成分合計100モル%中m1が45〜80モル
    %、m2が0.5〜40モル%及びm3が残部であ
    る。) 一般式(4) 【化10】 一般式(5) 【化11】 一般式(6) 【化12】 で示される有機溶剤可溶性の対数粘度(0.5g/10
    0ml)0.16以上のポリイミドシロキサン100重
    量部及び、(b)エポキシ樹脂1〜50重量部からなる
    ポリイミドシロキサン組成物を加熱してなることを特徴
    とする硬化物。
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