JPH0825454B2 - 自走台車走行設備 - Google Patents
自走台車走行設備Info
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- JPH0825454B2 JPH0825454B2 JP1304067A JP30406789A JPH0825454B2 JP H0825454 B2 JPH0825454 B2 JP H0825454B2 JP 1304067 A JP1304067 A JP 1304067A JP 30406789 A JP30406789 A JP 30406789A JP H0825454 B2 JPH0825454 B2 JP H0825454B2
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Links
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Landscapes
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、自走台車を外部に対して閉塞された空間内
で走行させるための走行設備に関し、特に、腐食の原因
となる弱酸性物質の搬送に適した自走台車の走行設備に
関する。
で走行させるための走行設備に関し、特に、腐食の原因
となる弱酸性物質の搬送に適した自走台車の走行設備に
関する。
従来の技術 従来から放射性物質やバイオ物質等を搬送するため
に、自走台車を外部に対して閉塞された空間内で走行さ
せるための走行設備は種々知られている。
に、自走台車を外部に対して閉塞された空間内で走行さ
せるための走行設備は種々知られている。
このような走行設備で弱酸性物質等を搬送すると、自
走台車はもちろん閉塞空間内にある設備自体にも腐食等
の悪影響が及ぶことになる。従来これを防ぐには、自走
台車をはじめ閉塞空間内に存在する設備全体に対して耐
蝕処理等の対策を施す必要があった。
走台車はもちろん閉塞空間内にある設備自体にも腐食等
の悪影響が及ぶことになる。従来これを防ぐには、自走
台車をはじめ閉塞空間内に存在する設備全体に対して耐
蝕処理等の対策を施す必要があった。
発明が解決しようとする課題 したがって、従来における腐食等に対する対策は極め
てコストが嵩むものとなり、また、設備の構造等によっ
ては、耐蝕処理等を施すことができない場合もあった。
このため、弱酸性物質等の走行設備に対して悪影響を及
ぼす物質の搬送に適した自走台車走行設備の開発が要望
されている。
てコストが嵩むものとなり、また、設備の構造等によっ
ては、耐蝕処理等を施すことができない場合もあった。
このため、弱酸性物質等の走行設備に対して悪影響を及
ぼす物質の搬送に適した自走台車走行設備の開発が要望
されている。
本発明は、このような要望に応えた自走台車走行設備
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明は、外部に対して閉
塞状態にある走行空間を隔壁で上下に区画し、上部空間
は自走台車が走行するための走行空間となり、下部空間
は前記自走台車と連結部材によって連結されるととも
に、走行空間内の部材に化学的等の悪影響を及ぼす搬送
物を搭載した従動台車が自走台車の走行にしたがって走
行するための走行空間となり、前記隔壁には上部空間と
下部空間とを連通するための複数のスリットや透孔等の
連通部と、上部空間から下部空間へは気体の通過が可能
で、逆に下部空間から上部空間へは気体の通過を不可能
となした、前記連通部に設けた逆止弁と、前記連結部材
が緊密に貫通するための走行方向に伸びる貫通部が設け
られる一方、前記連通部を通って前記上部空間から前記
下部空間へ空気等の気体を流通させるための気体流通機
構が設けられ、また搬送物に処理を施すための複数の処
理室が前記下部空間の適所に対して緊密に接続されたも
のであり、より好ましくは、前記連通部が気体の流通量
を調節可能に構成されたものである。
塞状態にある走行空間を隔壁で上下に区画し、上部空間
は自走台車が走行するための走行空間となり、下部空間
は前記自走台車と連結部材によって連結されるととも
に、走行空間内の部材に化学的等の悪影響を及ぼす搬送
物を搭載した従動台車が自走台車の走行にしたがって走
行するための走行空間となり、前記隔壁には上部空間と
下部空間とを連通するための複数のスリットや透孔等の
連通部と、上部空間から下部空間へは気体の通過が可能
で、逆に下部空間から上部空間へは気体の通過を不可能
となした、前記連通部に設けた逆止弁と、前記連結部材
が緊密に貫通するための走行方向に伸びる貫通部が設け
られる一方、前記連通部を通って前記上部空間から前記
下部空間へ空気等の気体を流通させるための気体流通機
構が設けられ、また搬送物に処理を施すための複数の処
理室が前記下部空間の適所に対して緊密に接続されたも
のであり、より好ましくは、前記連通部が気体の流通量
を調節可能に構成されたものである。
作用 自走台車の走行する上部空間と、搬送物を搭載した従
動台車が走行する下部空間とが隔壁で区画され、前記上
部空間から前記下部空間に向けて、隔壁に設けた連通部
を通って気体が流通するので、上部空間には搬送物の化
学的影響等の悪影響が及ばない。したがって、耐蝕処理
等の対策は構造が簡単な下部空間だけを対象にすれば足
りる。
動台車が走行する下部空間とが隔壁で区画され、前記上
部空間から前記下部空間に向けて、隔壁に設けた連通部
を通って気体が流通するので、上部空間には搬送物の化
学的影響等の悪影響が及ばない。したがって、耐蝕処理
等の対策は構造が簡単な下部空間だけを対象にすれば足
りる。
実 施 例 以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて説
明する。
明する。
ここにおいて、第1図は設備全体を示す概略的な平面
図、第2図は走行空間内部を示す縦断面正面図、第3図
は同じく縦断面側面図である。
図、第2図は走行空間内部を示す縦断面正面図、第3図
は同じく縦断面側面図である。
第1図に示すように、自走台車1と従動台車2(第2
図及び第3図参照)の走行路が設けられ、外部に対して
閉塞された空間である走行空間を形成する搬送路3に
は、後述するその下部空間に対して前処理室4、複数の
試料分析検査室5、廃棄物処理室6がそれぞれ気密状態
で走行方向に対して直角に接続され、また、走行方向端
にメインテナンス室7が設けられている。前記前処理室
4内には公知の空気搬送システムの受信ステーション8a
が設けられ、この受信ステーション8aは、複数の送信ス
テーション8bとそれぞれ気送管8cを介して接続されてい
る。
図及び第3図参照)の走行路が設けられ、外部に対して
閉塞された空間である走行空間を形成する搬送路3に
は、後述するその下部空間に対して前処理室4、複数の
試料分析検査室5、廃棄物処理室6がそれぞれ気密状態
で走行方向に対して直角に接続され、また、走行方向端
にメインテナンス室7が設けられている。前記前処理室
4内には公知の空気搬送システムの受信ステーション8a
が設けられ、この受信ステーション8aは、複数の送信ス
テーション8bとそれぞれ気送管8cを介して接続されてい
る。
そして、前記送信ステーション8bから送信された弱酸
性物質等の試料を収納した気送子(図示せず)を前記受
信ステーション8aで受信し、前記前処理室4において、
受信した気送子内の試料を適宜な容器に分配したり、適
宜な前処理を施したうえ適宜な容器に移し換え、あるい
は分配したうえ、この容器を従動台車2に搭載するよう
構成されている。この従動台車2に搭載された試料を収
納した容器Pは、所定の試料分析検査室5に運ばれて、
当該試料分析検査室5で所望の分析、検査等がなされた
後、再び従動台車2に搭載されて廃棄物処理室6に運ば
れ、ここで廃棄処理される。また、メインテナンス室7
は、自走台車1や従動台車2の保守管理を行う設備であ
る。
性物質等の試料を収納した気送子(図示せず)を前記受
信ステーション8aで受信し、前記前処理室4において、
受信した気送子内の試料を適宜な容器に分配したり、適
宜な前処理を施したうえ適宜な容器に移し換え、あるい
は分配したうえ、この容器を従動台車2に搭載するよう
構成されている。この従動台車2に搭載された試料を収
納した容器Pは、所定の試料分析検査室5に運ばれて、
当該試料分析検査室5で所望の分析、検査等がなされた
後、再び従動台車2に搭載されて廃棄物処理室6に運ば
れ、ここで廃棄処理される。また、メインテナンス室7
は、自走台車1や従動台車2の保守管理を行う設備であ
る。
第2図及び第3図で明らかなように、搬送路3は隔壁
9によって上下空間に区画される一方、前記上下空間
は、前記隔壁9に走行方向に伸びるよう多数設けた適宜
長に分断されたスリット10によって連通されている。ま
た、前記各スリット10には、上部空間から下部空間に向
かう空気の流通のみを可能とする逆止弁11がそれぞれ付
設されている。この逆止弁11を備えたスリット10によっ
て連通部を構成する。前記隔壁9の幅方向中央には貫通
スリット15が形成され、この貫通スリット15には全長に
及んでリップパッキン16a,16bが設けられ、通常時には
密閉状態にある。そして、このリップパッキン16a,16b
を備えた貫通スリット15によって貫通部を構成する。
9によって上下空間に区画される一方、前記上下空間
は、前記隔壁9に走行方向に伸びるよう多数設けた適宜
長に分断されたスリット10によって連通されている。ま
た、前記各スリット10には、上部空間から下部空間に向
かう空気の流通のみを可能とする逆止弁11がそれぞれ付
設されている。この逆止弁11を備えたスリット10によっ
て連通部を構成する。前記隔壁9の幅方向中央には貫通
スリット15が形成され、この貫通スリット15には全長に
及んでリップパッキン16a,16bが設けられ、通常時には
密閉状態にある。そして、このリップパッキン16a,16b
を備えた貫通スリット15によって貫通部を構成する。
次に、気体流通機構について説明する。第2図及び第
3図に示すように、上部空間の天板部分にはフィルター
を備えた吸気口12が走行方向に所定間隔をおいて設けら
れる一方、下部空間の底板部分には排気枝管13が同じく
走行方向に所定間隔をおいて設けられ、これら排気枝管
13は、吸引ブロア(図示せず)に接続され排気フィルタ
ー(図示せず)を備えた排気本管14に接続されている。
したがって、前記吸引ブロアの作動によって、吸気口12
から上部空間、スリット10、下部空間、排気枝管13を通
って排気本管14に至る空気流が形成されるものである。
3図に示すように、上部空間の天板部分にはフィルター
を備えた吸気口12が走行方向に所定間隔をおいて設けら
れる一方、下部空間の底板部分には排気枝管13が同じく
走行方向に所定間隔をおいて設けられ、これら排気枝管
13は、吸引ブロア(図示せず)に接続され排気フィルタ
ー(図示せず)を備えた排気本管14に接続されている。
したがって、前記吸引ブロアの作動によって、吸気口12
から上部空間、スリット10、下部空間、排気枝管13を通
って排気本管14に至る空気流が形成されるものである。
第2図で理解できるように、前処理室4、試料分析検
査室5、廃棄物処理室6は、それぞれ対応位置する下部
空間部分とジャバラ状の接続部材34を介して接続されて
おり、接続開口部に対応して昇降自在なシャッター部材
35が設けられ、通常時には閉鎖状態にある。また、図示
してはいないが、前述した前処理室4、試料分析検査室
5、廃棄物処理室6は、内部に作業用のロボット、例え
ばマニピュレータ等の装置を備えているものである。
査室5、廃棄物処理室6は、それぞれ対応位置する下部
空間部分とジャバラ状の接続部材34を介して接続されて
おり、接続開口部に対応して昇降自在なシャッター部材
35が設けられ、通常時には閉鎖状態にある。また、図示
してはいないが、前述した前処理室4、試料分析検査室
5、廃棄物処理室6は、内部に作業用のロボット、例え
ばマニピュレータ等の装置を備えているものである。
走行台車1の走行路は上部空間に設けられ、第2図及
び第3図に示すように、搬送路3の天板の内側に固定さ
れた支持板17に、両側に断面コ字状の案内部18a,18bを
対向するように設けるとともに、走行面19を有する走行
レール20が固定され、前記走行面19に互いに並列的に伸
びるよう2本の電源レール21a,21b及び2本の信号レー
ル22a,22bが固定されて構成されている。なお、図示し
てはいないが、上部空間には走行台車1の走行及び停止
を制御するための位置決め装置や各種センサー等が設け
られている。
び第3図に示すように、搬送路3の天板の内側に固定さ
れた支持板17に、両側に断面コ字状の案内部18a,18bを
対向するように設けるとともに、走行面19を有する走行
レール20が固定され、前記走行面19に互いに並列的に伸
びるよう2本の電源レール21a,21b及び2本の信号レー
ル22a,22bが固定されて構成されている。なお、図示し
てはいないが、上部空間には走行台車1の走行及び停止
を制御するための位置決め装置や各種センサー等が設け
られている。
この走行路を走行する自走台車1は、同じく第2図及
び第3図に示すように、その車体23に回転自在に支持し
た2対の案内車輪24a,24b,24c(但し1個については図
示せず)が、走行レール20の案内部18a,18bに案内され
ている。そして、前記車体23内に設置した駆動モータ
(図示せず)に一体的に設けた減速機の出力軸(ともに
図示せず)に取り付けた駆動車輪25が、前記走行レール
20の走行面19に図示していないスプリングの弾発力によ
って圧接されている。前記駆動モータに摺接子26a,26b
を介して電源レール21a,21bから電力が供給され、また
摺接子26c,26dを介して信号レール22a,22bから電流変化
による制御信号が供給される。これによって、前記駆動
モータは駆動及び制御され、その回転駆動力が減速機を
経て駆動車輪25に伝達され、この駆動車輪25の推進力に
よって自走台車1は、案内部18a,18bに案内されつつ走
行レール20を懸架状態で走行するものである。
び第3図に示すように、その車体23に回転自在に支持し
た2対の案内車輪24a,24b,24c(但し1個については図
示せず)が、走行レール20の案内部18a,18bに案内され
ている。そして、前記車体23内に設置した駆動モータ
(図示せず)に一体的に設けた減速機の出力軸(ともに
図示せず)に取り付けた駆動車輪25が、前記走行レール
20の走行面19に図示していないスプリングの弾発力によ
って圧接されている。前記駆動モータに摺接子26a,26b
を介して電源レール21a,21bから電力が供給され、また
摺接子26c,26dを介して信号レール22a,22bから電流変化
による制御信号が供給される。これによって、前記駆動
モータは駆動及び制御され、その回転駆動力が減速機を
経て駆動車輪25に伝達され、この駆動車輪25の推進力に
よって自走台車1は、案内部18a,18bに案内されつつ走
行レール20を懸架状態で走行するものである。
第2図及び第3図に示すように、従動台車2の走行路
は下部空間に設けられ、搬送路3の底板の内側に固定さ
れた支持板27に、両側に立ち上がり部分を有する案内レ
ール28が固定されて構成される。前記下部空間内の設備
には搬送路3の内壁面も含めて耐蝕処理等の試料に応じ
た適宜な対策処理が施されている。そして、この走行路
を走行する従動台車2は、その車体29の水平な載置部30
の前後の回転自在に支持した1対の案内車輪31a,31b
が、前記案内レール28に案内される一方、前記車体29の
垂直部32の上端には、走行台車1と連結するための連結
部材たる連結杆33が垂設されている。この連結杆33は横
断面が流線形をなしており、リップパッキン16a,16bを
押し開くようにして貫通スリット15を貫通し、前記走行
台車1の車体23下面に固定されている。これによって、
従動台車2は走行台車1の走行にしたがって移動するこ
とになる。
は下部空間に設けられ、搬送路3の底板の内側に固定さ
れた支持板27に、両側に立ち上がり部分を有する案内レ
ール28が固定されて構成される。前記下部空間内の設備
には搬送路3の内壁面も含めて耐蝕処理等の試料に応じ
た適宜な対策処理が施されている。そして、この走行路
を走行する従動台車2は、その車体29の水平な載置部30
の前後の回転自在に支持した1対の案内車輪31a,31b
が、前記案内レール28に案内される一方、前記車体29の
垂直部32の上端には、走行台車1と連結するための連結
部材たる連結杆33が垂設されている。この連結杆33は横
断面が流線形をなしており、リップパッキン16a,16bを
押し開くようにして貫通スリット15を貫通し、前記走行
台車1の車体23下面に固定されている。これによって、
従動台車2は走行台車1の走行にしたがって移動するこ
とになる。
続いて、上述した実施例における試料の搬送動作につ
いて説明する。
いて説明する。
適宜な送信ステーション8bから気送管8cを通って搬送
された試料、例えば弱酸性物質の試料を収納した気送子
(図示せず)が、前処理室4内の受信ステーション8aで
受信されると、前記前処理室4内の作業ロボットを操作
して受信した気送子内の試料を目的に応じて適宜な容器
に分配したり、適宜な前処理を施したうえ適宜な容器に
移し換え、あるいは分配したうえ、当該容器Pを従動台
車2の載置部30に搭載する。ここで、走行台車1が所定
の試料分析検査室5に対応する位置まで走行されること
により、前記従動台車2も前記走行台車1とともに所定
の試料分析検査室5にまで移動される。そして、前記従
動台車2に搭載された試料を収納した容器Pは、シャッ
ター部材35が開かれて延びてきた作業ロボットに把持さ
れ、前記所定の試料分析検査室5内に取り込まれて所望
の分析、検査等がなされる。作業終了後、再び容器Pは
従動台車2の載置部30に搭載され、走行台車1が廃棄物
処理室6に対応する位置まで走行されることにより、前
述と同様にして前記容器Pが廃棄物処理室6内に取り込
まれ、ここで廃棄処理される。
された試料、例えば弱酸性物質の試料を収納した気送子
(図示せず)が、前処理室4内の受信ステーション8aで
受信されると、前記前処理室4内の作業ロボットを操作
して受信した気送子内の試料を目的に応じて適宜な容器
に分配したり、適宜な前処理を施したうえ適宜な容器に
移し換え、あるいは分配したうえ、当該容器Pを従動台
車2の載置部30に搭載する。ここで、走行台車1が所定
の試料分析検査室5に対応する位置まで走行されること
により、前記従動台車2も前記走行台車1とともに所定
の試料分析検査室5にまで移動される。そして、前記従
動台車2に搭載された試料を収納した容器Pは、シャッ
ター部材35が開かれて延びてきた作業ロボットに把持さ
れ、前記所定の試料分析検査室5内に取り込まれて所望
の分析、検査等がなされる。作業終了後、再び容器Pは
従動台車2の載置部30に搭載され、走行台車1が廃棄物
処理室6に対応する位置まで走行されることにより、前
述と同様にして前記容器Pが廃棄物処理室6内に取り込
まれ、ここで廃棄処理される。
このような容器Pの搬送にあたって、上部空間と下部
空間とを区画する隔壁9には連結杆31が貫通するが、リ
ップパッキン16a,16bによって密閉状態を保つ一方、図
示していない吸引ブロアを作動して搬送路3内を負圧状
態にすることにより、吸気口12から上部空間、スリット
10、下部空間、排気枝管13を通って排気本管14に至る空
気流を形成することができる。したがって、前記上部空
間には外部から常に清浄な空気が流入し、前記下部空間
から空気が逆流することはないので、前記下部空間内に
位置する容器P内の試料が弱酸性物質等であっても、そ
の悪影響が前記上部空間に及ぶことはない。
空間とを区画する隔壁9には連結杆31が貫通するが、リ
ップパッキン16a,16bによって密閉状態を保つ一方、図
示していない吸引ブロアを作動して搬送路3内を負圧状
態にすることにより、吸気口12から上部空間、スリット
10、下部空間、排気枝管13を通って排気本管14に至る空
気流を形成することができる。したがって、前記上部空
間には外部から常に清浄な空気が流入し、前記下部空間
から空気が逆流することはないので、前記下部空間内に
位置する容器P内の試料が弱酸性物質等であっても、そ
の悪影響が前記上部空間に及ぶことはない。
なお、本発明は上述の実施例に限定されず、例えば、
従動台車2の載置部30をターンテーブルで構成すれば、
複数の試料を収納した容器Pを同時に搬送し、所定の試
料分析検査室5毎に所定の容器Pを取り込むことができ
る。また、従動台車2にマニピュレータ等の伸縮自在な
把持装置を設け、試料分析検査室5に対して容器Pを配
送するよう構成することもできる。さらに、走行台車1
の構成や各走行路の構成も上述した実施例に限らず変更
可能である。また、上部空間における清浄度は高度であ
る必要はなく、空気流によって下部空間からの逆流が阻
止できれば足りる。さらにまた、前記スリット10に空気
の流通量を調節可能な弁を設けたり、前記スリット10の
開口面積を増減できるよう構成して空気の流通量を調節
することもできる。またさらに、連通部はスリット10に
換えて透孔を採用してもよい。さらにまた、搬送路3内
を流通する気体は空気のほか、ヘリウムガス、アルゴン
ガス等の不活性ガスを用いることも可能である。
従動台車2の載置部30をターンテーブルで構成すれば、
複数の試料を収納した容器Pを同時に搬送し、所定の試
料分析検査室5毎に所定の容器Pを取り込むことができ
る。また、従動台車2にマニピュレータ等の伸縮自在な
把持装置を設け、試料分析検査室5に対して容器Pを配
送するよう構成することもできる。さらに、走行台車1
の構成や各走行路の構成も上述した実施例に限らず変更
可能である。また、上部空間における清浄度は高度であ
る必要はなく、空気流によって下部空間からの逆流が阻
止できれば足りる。さらにまた、前記スリット10に空気
の流通量を調節可能な弁を設けたり、前記スリット10の
開口面積を増減できるよう構成して空気の流通量を調節
することもできる。またさらに、連通部はスリット10に
換えて透孔を採用してもよい。さらにまた、搬送路3内
を流通する気体は空気のほか、ヘリウムガス、アルゴン
ガス等の不活性ガスを用いることも可能である。
効果 以上説明したところで明らかなように、本発明によれ
ば、自走台車の走行する上部空間と、搬送物を搭載した
従動台車が走行する下部空間とを隔壁で区画し、前記上
部空間から前記下部空間に向けて、隔壁に設けた連通部
を通って気体が流通するよう構成したので、上部空間に
は搬送物の化学的等の悪影響が及ばず、耐蝕処理等の対
策は構造が簡単な下部空間だけを対象にすれば足りるか
ら、保守管理が容易になるとともに、設備の製造コスト
も低減化できるという効果を奏する。
ば、自走台車の走行する上部空間と、搬送物を搭載した
従動台車が走行する下部空間とを隔壁で区画し、前記上
部空間から前記下部空間に向けて、隔壁に設けた連通部
を通って気体が流通するよう構成したので、上部空間に
は搬送物の化学的等の悪影響が及ばず、耐蝕処理等の対
策は構造が簡単な下部空間だけを対象にすれば足りるか
ら、保守管理が容易になるとともに、設備の製造コスト
も低減化できるという効果を奏する。
図は本発明の好適な一実施例を示し、第1図は設備全体
を示す概略的な平面図、第2図は走行空間内部を示す縦
断面正面図、第3図は同じく縦断面側面図である。 1……自走台車、2……従動台車、3……搬送路、4…
…前処理室、5……試料分析検査室、6……廃棄物処理
室、7……メインテナンス室、9……隔壁、10……スリ
ット、11……逆止弁、12……吸気口、13……排気枝管、
14……排気本管、15……貫通スリット、16a,16b……リ
ップパッキン、20……走行レール、23……車体、24a,24
b,24c……案内車輪、25……駆動車輪、28……案内レー
ル、29……車体、30……載置部、31a,31b……案内車
輪、33……連結杆
を示す概略的な平面図、第2図は走行空間内部を示す縦
断面正面図、第3図は同じく縦断面側面図である。 1……自走台車、2……従動台車、3……搬送路、4…
…前処理室、5……試料分析検査室、6……廃棄物処理
室、7……メインテナンス室、9……隔壁、10……スリ
ット、11……逆止弁、12……吸気口、13……排気枝管、
14……排気本管、15……貫通スリット、16a,16b……リ
ップパッキン、20……走行レール、23……車体、24a,24
b,24c……案内車輪、25……駆動車輪、28……案内レー
ル、29……車体、30……載置部、31a,31b……案内車
輪、33……連結杆
Claims (2)
- 【請求項1】外部に対して閉塞状態にある走行空間を隔
壁で上下に区画し、上部空間は自走台車が走行するため
の走行空間となり、下部空間は前記自走台車と連結部材
によって連結されるとともに、走行空間内の部材に化学
的等の悪影響を及ぼす搬送物を搭載した従動台車が自走
台車の走行にしたがって走行するための走行空間とな
り、前記隔壁には上部空間と下部空間とを連通するため
の連通部と、上部空間から下部空間へは気体の通過が可
能で、逆に下部空間から上部空間へは気体の通過を不可
能となした、前記連通部に設けた逆止弁と、前記連結部
材が緊密に貫通するための走行方向に伸びる貫通部が設
けられる一方、前記連通部を通って前記上部空間から前
記下部空間へ気体を流通させるための気体流通機構が設
けられ、また搬送物に処理を施すための複数の処理室が
前記下部空間の適所に対して緊密に接続されたことを特
徴とする自走台車走行設備。 - 【請求項2】連通部が気体の流通量を調節可能に構成さ
れたことを特徴とする請求項1項記載の自走台車走行設
備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1304067A JPH0825454B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 自走台車走行設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1304067A JPH0825454B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 自走台車走行設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03164365A JPH03164365A (ja) | 1991-07-16 |
| JPH0825454B2 true JPH0825454B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=17928635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1304067A Expired - Lifetime JPH0825454B2 (ja) | 1989-11-22 | 1989-11-22 | 自走台車走行設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0825454B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3347895B2 (ja) * | 1994-10-03 | 2002-11-20 | 積水化学工業株式会社 | 走行架台装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60161665U (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-26 | 株式会社ダイフク | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
| JPS62100146A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体処理装置 |
-
1989
- 1989-11-22 JP JP1304067A patent/JPH0825454B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03164365A (ja) | 1991-07-16 |
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