JPH0353965Y2

JPH0353965Y2 -

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Publication number: JPH0353965Y2
Application number: JP1984057208U
Authority: JP
Priority date: 1984-04-18
Filing date: 1984-04-18
Publication date: 1991-11-27
Also published as: JPS60168664U

Description

【考案の詳細な説明】技術分野本考案は、自走車を用いた搬送設備に関し、特
に、粉塵の発生がきらわれる場合に使用するのに
適した搬送設備に関する。

従来技術自走車は一般に、レール装置の給電レールに摺
接する集電子を介して給電され、レール装置に導
かれて走行するものである。したがつて、その構
成上、集電に際して粉塵が発生し、これが舞い上
るという事態を避けることはできない。このため
従来の一般的な搬送設備では、自走車を用いて粉
塵をきらう被搬送物、たとえば半導体を搬送する
ことは不可能であつた。これを解決するために、
従来においては、実開昭57−33565号の如く、自
走車を互いに連結された駆動装置部と搬送物収納
部とから構成し、前記両部を互いに連通する異つ
た空間部分に配置する一方、前記搬送物収納部か
ら前記駆動装置部へ向かうエアーを流通させるこ
とにより、前記駆動装置部で発生した粉塵が前記
搬送物収納部の配置空間へ到達しないよう構成す
ることが提案されている。しかしながらこの構成
によると、ある程度の効果は期待できるものの、
駆動装置部と搬送物収納部との配置空間が連通し
ているため、所望の効果を完全に果たすことは困
難である。また、実開昭55−179959号の如く、前
述と同様に構成された自走車の駆動装置部と搬送
物収納部との連結部を、シール式スリツト部に位
置させ、駆動装置部と搬送物収納部とを配置した
空間を遮断状態とするよう構成することが提案さ
れている。しかしながらこの構成によると、前述
の両空間を完全な遮断状態とすることは不可能で
あり、シール式スリツト部は連結部に対応する部
分で若干の間〓が形成されてしまうという欠点が
ある。

目的本考案は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、発生した粉塵を被搬送物に付着させること
のない、自走車を用いた搬送設備を提供すること
を目的とする。

概要本考案は、上述した目的を達成するために、自
走車は密閉状態にある走行ダクト内を走行させ、
被搬送物は前記自走車に設けたマグネツトによつ
て移動する従動台車に連結された搬送体により搬
送する一方、従動台車と搬送体とは搬送ダクト内
で互いに連通する２つの空間である従動部と搬送
部とに別個に配置し、前記搬送部から前記従動部
へ向けてエアーが流通するよう構成したものであ
る。

実施例以下、本考案の好適な実施例を添付図面に基づ
いて詳細に説明する。

第１図はダクト内部を示す正面図、第２図は同
じく側面図であつて走行ダクト１と、これに隣接
する搬送ダクト２とは、隔壁３によつて区画さ
れ、前記走行ダクト１は、後述する自走車を挿入
配置し、また故障等の場合にこれを取り出すため
に適宜数設けられた開閉扉（図示せず）を閉塞す
ることにより、密閉状態となるよう構成されてい
る。一方、搬送ダクト２は、スリツト４を有する
区画板５によつて、搬送部６と従動部７との２つ
の空間に区画されている。そして、前記搬送部６
と前記従動部７とは、スリツト４を閉塞すべく前
記区画板５に設けたシール部たる一対の弾性シー
ル板８ａ，８ｂによつて、断通自在に連通されて
いる。また、前記搬送部６の上面には、長手方向
に所定間隔をおいて連通口９（１個のみ図示）が
開口されるとともに、これら連通口９に対応位置
してフイルタ１０を内蔵したエアーチヤンバ１１
が設けられている、このエアーチヤンバ１１は、
図示していない公知のエアー噴出機構からエアー
が供給されるエアー供給ダクト１２と連通してい
る。従動部７の両側面には、長手方向に所定間隔
をおいて連通孔１３が透設され、これら連通孔１
３を介して前記従動部７は、図示していない公知
のエアー吸引機構に連通されたエアー排出ダクト
１４と連通している。したがつて、搬送部６と従
動部７とが、一対の弾性シール板８ａ，８ｂが離
反することによつて連通状態となれば、エアー供
給ダクト１２からエアーチヤンバ１１、搬送部
６、従動部７を通つてエアー排出ダクト１４へと
抜けるエアーの流れを形成することができる。な
お、搬送ダクト２はこのエアーの流通のほかは、
外部に対して密閉可能である。

走行ダクト１内には、公知のレール装置１５が
所定間隔をおいて配置された支持部材１６によつ
て支持されている。このレール装置１５は、第１
案内面１７と、この第１案内面１７より低く設定
された一対の第２案内面１８ａ，１８ｂ及び各第
２案内面１８ａ，１８ｂから垂直に立上る第３案
内面１９ａ，１９ｂとを備えている。そして、前
記第１案内面１７には互いに平行に、ラツク２
０、信号レール２１及び給電レール２２，２３が
設けられている。

前記レール装置１５に導かれて走行ダクト１内
を走行する自走車２４の本体２５は、各第２案内
面１８ａ，１８ｂに当接する４個のガイド輪２６
と、これら各ガイド輪２６に設けられ、各ガイド
輪２６の回転軸と垂直な回転軸を有し、各第３案
内面１９ａ，１９ｂに当接する水平ローラ２７と
を備えている。さらに、前記本体２５は、第１案
内面１７に当接する駆動輪２８と、ラツク２０に
噛合するギア２９と、各レール２１，２２，２３
にそれぞれ摺接する集電子３０，３１，３２をも
備えている。前記自走車２４は、各集電子３１，
３２を介して各給電レール２２，２３から給電さ
れることによりモータ（図示せず）を作動させ、
その回転力によつて前記駆動輪２８を回転させて
走行するものである。前記自走車２４の上部は、
本体２５に対して複数のスプリング３３を介して
離反方向に弾発されるとともに、４本の支柱３４
で接離方向に移動自在に支持された案内部３５と
なつている。この案内部３５の上面には、幅方向
中央に長手方向全長に及ぶべく伸びる永久磁石あ
るいは電磁石よりなるマグネツト３６が固設され
ている。そして、このマグネツト３６と隔壁３と
は、案内部３５の両側に回転自在に支持した４個
のガイドローラ３７がスプリング３３の弾発力で
隔壁３に当接することによつて、常に適正な一定
間隔を保つている。

搬送ダクト２の従動部７には、前記マグネツト
３６と対応位置して相対的に吸着すべく永久磁石
あるいは電磁石からなるマグネツト３８を下面に
固設した、従動台車３９が配置されている。この
従動台車３９の両側には、前記マグネツト３８が
隔壁３に対して一定の間〓をおくように、４個の
ガイド輪４０が回転自在に支持されている。そし
て、各ガイド輪４０の外側には、各ガイド輪４０
の回転軸と垂直な回転軸を有する水平ローラ４１
がそれぞれ回転自在に設けられている。これら水
平ローラ４１は、隔壁３に固定された断面Ｌ字状
の一対の案内レール４２ａ，４２ｂの垂直部分に
当接している。また、前記各ガイド輪４０及び前
記各水平ローラ４１は、ポリ弗化エチレン系繊維
からなるとともに、シール構造のベアリングを備
えることによつて、その回転時の粉塵発生を極力
抑えるよう構成されている。なお、前記各ガイド
輪４０と隔壁３、及び前記各水平ローラ４１と各
案内レール４２ａ，４２ｂとの間では、ころがり
抵抗が生ずるものであるから、各接触部分におい
ても摩擦等により発生する粉塵は、極めて微少な
ものとなる。

搬送ダクト２の搬送部６内には、粉塵の発生を
きらう被搬送物４３を載置するための板状の搬送
体４４が配置されている。この搬送体４４の下面
には、下端が従動台車３９の上面に固定され、一
対の弾性シール板８ａ，８ｂを押し分けるように
して搬送部６内に伸びる角棒状の連結体４５の上
端が固定されている。そして。この連結体４５に
対応位置する一対の弾性シール板８ａ，８ｂの部
分において、搬送部６と従動部７とは連通状態に
なるものである。なお、搬送体４４にはマグネツ
ト３８の影響が被搬送物４３に及ばないよう磁気
シールド加工を施こすことが望ましい。

続いて、本実施例の作用について説明する。

従来公知の自走車と同様にして、自走車２４が
走行ダクト１内を所定方向に走行すると、その案
内部３５に固定したマグネツト３６の移動に従動
台車３９のマグネツト３８が導かれ、従動台車３
９は自走車２４と同一方向に同一速度で従動部７
内を走行する。したがつて、連結体４５は一対の
弾性シール板８ａ，８ｂ間をこれらと摺接しつ
つ、また、搬送体４４は搬送部６内を、それぞれ
前記従動台車３９にともなわれて移動することに
なる。そしてこの時、各集電子３０，３１、３２
と各レール２１，２２，２３との摺接部分をはじ
めとする各接触部分において、粉塵が発生するこ
とになる。しかしながら、自走車２４は密閉状態
にある走行ダクト１内を走行するのであるから、
ここで発生した粉塵が走行ダクト１外へ出ること
はない。一方、搬送部６及び従動部７で発生する
極めて微量の粉塵は、図示していないエアー噴出
及び吸引の両機構を作動させると、エアー供給ダ
クト１２から流入してフイルタ１０で濾過された
エアーが、搬送部６を経て一対の弾性シール板８
ａ，８ｂの微小間〓を通り、従動部７からエアー
排出ダクト１４へ流出するという空気流が形成さ
れることによつて、従動部７内の粉塵が搬送部６
内へ舞い上ることはなく、また、搬送部６内の粉
塵は空気流にともなわれて従動部７内へと導かれ
ることになる。このようにして、搬送体４４に載
置した被搬送物４３に、粉塵が付着することはな
い。

なお、本考案は上述した実施例における自走車
２４や従動台車３９以外の構成の自走車や従動台
車を採用することも可能である。また、シール部
は一対の弾性シール板８ａ，８ｂによらなくても
よいほか、これが存在しなくてもよいものであ
る。このように、本考案は上述した実施例に何ら
限定されるものではない。

効果以上説明したところで明らかなように、本考案
によれば、自走車は密閉空間を走行するから、そ
の走行時に発生する粉塵が被搬送物に付着する恐
れはまつたくなく、また、被搬送物を配置した搬
送部内で生ずる極く微量の粉塵は、被搬送物方向
に舞い上ることなくその空間外へ排出される一
方、前記搬送部内の搬送体に、スリツトを貫通さ
せて連結した従動台車を、マグネツトを介して前
記自走車に連繋しつつ走行させるようになした従
動部では、従動台車を駆動するための機構が存在
しないので各種摩擦現象が少なくて微量の粉塵し
か発生せず、さらに、この微量の粉塵も、前記搬
送部内の極く微量の粉塵とともに搬送部からスリ
ツトを通つて従動部のエアー排出ダクトに向いて
流れるエアーに導かれて外部に排出されるので、
被搬送物に粉塵を付着させることなくこれを搬送
することが可能となり、半導体のような粉塵をき
らう被搬送物の自走車による搬送に最適であると
いう実用上極めて有益な効果を奏することができ
る。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の好適な実施例を示し、第１図は各
ダクトを断面とした正面図、第２図は同じく側面
図である。１……走行ダクト、２……搬送ダクト、３……
隔壁、５……区画板、６……搬送部、７……従動
部、８ａ，８ｂ……弾性シール板、１１……エア
ーチヤンバ、１２……エアー供給ダクト、１４…
…エアー排出ダクト、１５……レール装置、２４
……自走車、２５……本体、３５……案内部、３
６……マグネツト、３８……マグネツト、３９…
…従動台車、４３……被搬送物、４４……搬送
体、４５……連結体。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

密閉状態にある走行ダクトと、これに隣接する
搬送ダクトを備え、前記走行ダクト内にはレール
装置に導かれて走行するとともに、前記搬送ダク
トに対して間〓を存してマグネツトが対向するよ
う設けられた自走車を配置し、前記搬送ダクトは
エアー供給ダクトに連通された搬送部と、この搬
送部に連通されるとともにエアー排出ダクトに連
通された従動部とに区画板によつて区画して、前
記従動部には、前記自走車のマグネツトに導かれ
て移動するよう前記マグネツトに対応位置すべく
マグネツトが設けられた従動台車を配置する一
方、前記搬送部には、前記従動台車の進行方向に
伸びるよう前記区画板に設けたスリツトを移動可
能に貫通した連結体によつて前記従動台車に連結
された被搬送物を搬送するための搬送体を配置し
たことを特徴とする自走車を用いた搬送設備。