JPH0825622A - インクジェット式プリンタ用ヘッド - Google Patents

インクジェット式プリンタ用ヘッド

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JPH0825622A
JPH0825622A JP18527494A JP18527494A JPH0825622A JP H0825622 A JPH0825622 A JP H0825622A JP 18527494 A JP18527494 A JP 18527494A JP 18527494 A JP18527494 A JP 18527494A JP H0825622 A JPH0825622 A JP H0825622A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は単一の圧電素子でインク滴吐出動作
ができ、振動板への負荷を従来のものと変えずに振動板
の変位量を大きくし得るとともに、振動板と圧電素子と
の位置決めを容易、かつ、正確にし得るインクジェット
式プリンタ用ヘッドを提供することを目的とする。 【構成】 櫛歯状圧電素子1は両端に形成されている圧
電素子歯1a及び1iが圧電素子歯1b〜1hよりも長
く形成されている。圧力形成部材3はノズル孔6b〜6
hを有する圧力室7b〜7hが形成されるように、振動
板2上に接着されている。櫛歯状圧電素子1は両端圧電
素子歯1a及び1iが振動板2及び圧力形成部材3の貫
通孔を貫通して固定ブロック4の内面に接着固定され、
圧電素子歯1b〜1hの各上端面が振動板2の下面に接
着される。圧電素子歯1a及び1iと、圧電素子歯1b
〜1hはそれぞれ独立に駆動される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット式プリン
タ用ヘッドに係り、特に圧電素子を電気エネルギーによ
り変形させ振動板を変位させることにより、圧力室内の
圧力を高め、ノズル孔よりインク滴を吐出させるインク
ジェット式プリンタ用ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、圧電素子を電気エネルギーにより
変形させ振動板を変位させることにより、圧力室内の圧
力を高め、ノズル孔よりインク滴を吐出させるインクジ
ェット式プリンタ用ヘッドは、図5の構成断面図に示す
ように、ノズル孔31a〜31cを有する圧力室32a
〜32cがそれぞれ形成された圧力室形成部材33と、
振動板34と、圧電素子歯35a〜35eが形成されて
いる櫛歯状圧電素子36とよりなる。
【0003】振動板34上には圧力室形成部材33がノ
ズル孔31a〜31cがそれぞれ上を向くように接着さ
れ、振動板34の下部には圧電素子歯35a、35b、
35cが圧力室32a、32b、32cにそれぞれ対応
するように、圧電素子歯端面部が圧力室外面に接着さ
れ、かつ、櫛歯状圧電素子36の両端歯35d、35e
も振動板34の下部に接着されている。
【0004】かかる構成の従来のインクジェット式プリ
ンタ用ヘッドでは、圧電素子36の分極方向に電圧を印
加することにより、圧電素子歯35a〜35bのうち所
望の圧電素子歯を図中、上方向に変位させ、これにより
振動板34も上方向へ変位させて、圧力室32a〜32
cのうち変位させた圧電素子歯に対応した位置の圧力室
の圧力を高めてその圧力室のノズル孔よりインク滴を吐
出させる。
【0005】また、従来より、櫛歯状圧電素子を接着し
た基盤の下面に圧電素子を接合し、上面の櫛歯状圧電素
子と同時に駆動することにより、圧電素子の変形を減少
させた構成のインクジェット式プリンタ用ヘッドも知ら
れている(特開平3−247454号公報:発明の名称
「インクジェットヘッド」)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図5に示した従来のイ
ンクジェット式プリンタ用ヘッドは、櫛歯状圧電素子3
6の両端歯35d、35eは位置決めあるいは、櫛歯状
圧電素子36を固定するために振動板34に接着されて
いる。このような構成の従来のヘッドでは、櫛歯状圧電
素子36の縦効果あるいは横効果を利用したものであ
り、電圧の印加による変位方向は常に単一方向であるた
め、例えば圧力室32a内の発生圧力をより大きくする
必要がある場合、圧電素子歯35aに印加する電圧を大
きくするなどにより振動板34を単一方向に大きく変位
させる必要がある。
【0007】すると、振動板34の変位の絶対量が大き
くなり、隣接する両側の圧力室32b及び32cに対応
する部分の振動板34も変位してしまい、その挙動に悪
影響を及ぼしたり、また、圧電素子歯35aと振動板3
4との接着面や、圧力室境界壁37b、37cと振動板
34との接着面にかかる負荷も増加するため、接着面が
剥がれてしまい、それ以後のインク滴吐出挙動に悪影響
を与えるなどの問題がある。
【0008】また、振動板34と圧電素子歯35a、3
5b及び35cとの接着位置が正確でないと、それが原
因となり、複数のノズル孔31a、31b及び31cか
らのインク滴が飛翔したり、インク滴が吐出されないな
どの問題が生じる。
【0009】また、櫛歯状圧電素子を接着した基盤の下
面に圧電素子を接合した構造の、後者の従来のインクジ
ェット式プリンタ用ヘッドは、下面の圧電素子を別に構
成しなければならず、接着、配線による工数が増加し、
コストが増大するという問題がある。
【0010】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
単一の圧電素子でインク滴吐出動作ができ、振動板への
負荷を従来のものと変えずに振動板の変位量を大きくし
得るとともに、振動板と圧電素子との位置決めを容易、
かつ、正確にし得るインクジェット式プリンタ用ヘッド
を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、振動板の上面にそれぞれノズル孔を有する
複数の圧力室が、振動板の上面を一壁面として形成され
た圧力室形成部材を固定すると共に、振動板の下面に圧
電素子の上端面を固定し、圧電素子により振動板を変形
させて圧力室内の圧力を高めてノズル孔よりインク滴を
吐出させて印字するインクジェット式プリンタ用ヘッド
において、圧電素子を、長手方向が平行な複数の櫛歯状
圧電素子歯に形成すると共に、複数の櫛歯状圧電素子歯
のうち複数の圧力室にそれぞれ対応する位置に上端面が
位置するように形成された圧電素子歯群と、圧電素子全
体変位用に形成された残りの圧電素子歯とからなる構成
とし、複数の圧力室にそれぞれ対応する位置の振動板の
下面に圧電素子歯群の上端面を固定し、かつ、複数の櫛
歯状圧電素子歯をそれぞれ互いに独立に駆動するための
内部電極を設け、圧電素子全体変位用圧電素子歯を圧電
素子歯群とは独立して駆動制御する構成としたものであ
る。
【0012】また、本発明の圧電素子全体変位用圧電素
子歯は、圧電素子歯群よりも長い長さで圧電素子の両端
に設けられ、前記圧力室形成部材及び前記振動板のそれ
ぞれに圧電素子全体変位用圧電素子歯の貫通孔を穿設
し、圧電素子全体変位用圧電素子歯を管通孔を貫通させ
て圧電素子全体変位用圧電素子歯の上端面を固定ブロッ
クに固定することが、圧電素子歯群の位置決めが容易に
できる点で、望ましい。
【0013】
【作用】本発明では、圧電素子を、複数の圧力室にそれ
ぞれ対応する位置に上端面が位置するように形成された
圧電素子歯群と、圧電素子全体変位用に形成された残り
の圧電素子歯とからなる構成とし、圧電素子歯群はイン
ク滴を吐出しようとする圧力室に対応した位置に設けら
れた圧電素子歯を変位させ、また、圧電素子全体変位用
圧電素子歯はこの圧電素子歯群とは独立して駆動変位し
て圧電素子全体を変位する。
【0014】従って、本発明では上記の圧電素子全体変
位用圧電素子歯と圧電素子歯群とを順次に独立して駆動
することにより、インク滴を吐出しようとする圧力室に
対応した位置に設けられた圧電素子歯に固定された振動
板部分を従来よりも大きく変位させることができる。
【0015】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。図
1は本発明の一実施例の構造断面図、図2は本発明の一
実施例の分解斜視図をそれぞれ示す。両図中、同一構成
部分には同一符号を付してある。両図に示すように、本
実施例は、スリットを入れられて櫛歯状とされた、例え
ばセラミックスからなる櫛歯状圧電素子1と、振動板2
と、圧力形成部材3と、固定ブロック4と、振動板固定
部材5とより大略構成されている。
【0016】櫛歯状圧電素子1は両端に比較的幅広の圧
電素子歯1a及び1iが同じ長さで形成されると共に、
それらの長手方向と直交する方向の圧電素子歯1a及び
1iの間に、圧電素子歯1b、1c、1d、1e、1
f、1g及び1hが同一幅、同一長さで形成されてい
る。圧電素子歯1a及び1iはこの圧電素子歯1b〜1
hよりも長さが長く形成されている。
【0017】また、圧力形成部材3はそれぞれノズル孔
6b〜6hを有する圧力室7b〜7hが形成されるよう
に、振動板2上に接着されている。振動板2及び圧力形
成部材3は、また図2に示すように、前記櫛歯状圧電素
子1の両端圧電素子歯1a及び1iに対向する位置に、
これら両端圧電素子歯1a及び1iを貫通するための貫
通孔9a及び9bが穿設されている。
【0018】これにより、櫛歯状圧電素子1は両端圧電
素子歯1a及び1iが振動板2及び圧力形成部材3の貫
通孔9a及び9bを貫通して固定ブロック4の内面に接
着固定され、その結果、圧電素子歯1b〜1hのそれぞ
れが圧力室7b〜7hにそれぞれ対応するような位置決
めが容易となり、このように位置決めされた圧電素子歯
1b〜1hの各上端面が振動板2の下面に接着される。
【0019】このように位置決め接着された櫛歯状圧電
素子1、振動板2、圧力形成部材3及び固定ブロック4
は、図2に示すように、中空四角柱状の振動板固定部材
5により固定される。このとき固定ブロック4の内側面
は振動板固定部材5の外側面に密接し、また、振動板2
の貫通孔9a及び9bの形成位置よりも外側の下面部分
が固定部材5の上端面と接着固定される。
【0020】なお、櫛歯状圧電素子1のすべての圧電素
子歯1a〜1iにはそれぞれ独立した配線が設けてあ
り、それぞれ互いに独立して駆動制御される構成とされ
ている。
【0021】次に、本実施例の動作について説明する。
まず、図1に示した櫛歯状圧電素子1が図3に示すよう
に底面に平行な面に内部電極11a及び11bが形成さ
れた、所謂縦効果を利用した圧電素子である場合につい
て説明する。なお、内部電極11aはすべての圧電素子
歯1a〜1iに共通の電極であり、内部電極11bは圧
電素子歯1a〜1iのそれぞれ個別に設けられた電極で
ある。
【0022】まず、両端圧電素子歯1a及び1iにそれ
ぞれ電圧が印加される。すると、両端圧電素子歯1a及
び1iはそれぞれ図1、図2及び図3の縦方向に伸長し
ようとするが、両端圧電素子歯1a及び1iの上端面が
固定ブロック4に固定されているため、両端圧電素子歯
1a及び1iは図1、図2及び図3中、下方向(以下、
−X方向という)に変位する。
【0023】それにより、圧電素子歯1b〜1hも−X
方向に変位し、圧電素子歯1b〜1hと振動板2との接
着部分を−X方向に変位させ、その結果、すべての圧力
室7b〜7hの室内の圧力を低減することができる。
【0024】続いて、両端圧電素子歯1a及び1iの印
加電圧を除去すると同時に、すべての圧力室7b〜7h
のうちインク滴を吐出しようとするノズル孔を有する圧
力室に対応した圧電素子歯に電圧を印加する。例えば、
ノズル孔6b及び6dからインク滴を吐出しようとする
場合には、圧力室7b及び7dに対応した圧電素子歯1
b及び1dの各配線にのみ電圧がそれぞれ印加される。
【0025】上記の両端圧電素子歯1a及び1iの印加
電圧の除去により両端圧電素子歯1a及び1iの−X方
向の変位が元に戻るため、振動板2が元の形状に戻り、
また、上記のインク滴を吐出しようとするノズル孔、例
えば6b及び6dを有する圧力室7b及び7dに対応し
た圧電素子歯1b及び1dの配線への電圧の印加によ
り、圧電素子歯1b及び1dがそれぞれ±X方向へ伸長
しようとするが、圧電素子歯1b及び1dの各下端部は
それぞれ圧電素子1の基部とつながっているため、圧電
素子歯1b及び1dの上端面と接着されている振動板2
の部分が+X方向に変位する。
【0026】これにより、本実施例によれば、インク滴
を吐出しようとするノズル孔を有する圧力室に対応した
圧電素子歯1b及び1dの上端面と接着されている振動
板2の部分が、最初の−X方向の変位から元の形状に戻
り更に+X方向へ変位することとなるため、振動板2に
かかる負荷を従来のものと変えずに、上記の振動板2の
部分の変位量を従来よりも大きくすることができる。
【0027】従って、本実施例によれば、圧電素子歯1
b〜1hと振動板2との接着面や圧力室境界壁と振動板
2との接着面が剥がれることはなく、振動板2と圧電素
子歯1b〜1hとの位置決めを容易、かつ、正確にで
き、インク滴を単一の圧電素子1により正確に吐出する
ことができる。
【0028】次に、図1に示した櫛歯状圧電素子1が図
4に示すように底面に垂直な面に内部電極21a及び2
1bが形成された、所謂横効果を利用した圧電素子であ
る場合について説明する。なお、内部電極21aはすべ
ての圧電素子歯1a〜1iに共通の電極であり、内部電
極21bは圧電素子歯1a〜1iのそれぞれ個別に設け
られた電極である。
【0029】まず、両端圧電素子歯1a及び1iを除く
圧電素子歯1b、1c、1d、1e、1f、1g及び1
hに電圧を印加する。
【0030】これにより、圧電素子歯1b、1c、1
d、1e、1f、1g及び1hはそれぞれ電極21a及
び21bの積層方向と垂直な方向、すなわち横方向へ伸
長し、かつ、縦方向(±X方向)に収縮しようとする
が、圧電素子歯1b、1c、1d、1e、1f、1g及
び1hの各下端部がそれぞれ圧電素子1の基部とつなが
っているため、振動板2に接着されているそれぞれの上
端面が収縮により−X方向に変位される。これにより、
圧電素子歯1b〜1hに対応する全圧力室7b〜7h内
の圧力を低減させることができる。
【0031】続いて、すべての圧力室7b〜7hのうち
インク滴を吐出しようとするノズル孔を有する圧力室に
対応した圧電素子歯への電圧印加を解除すると同時に、
両端圧電素子歯1a及び1iに電圧を印加する。例え
ば、ノズル孔6b及び6dからインク滴を吐出しようと
する場合には、圧力室7b及び7dに対応した圧電素子
歯1b及び1dの各配線に印加されている電圧がそれぞ
れ解除される。
【0032】上記の圧電素子歯1b及び1dの印加電圧
の除去により、圧電素子歯1b及び1dの−X方向の変
位が元に戻るため、それらに接着されている振動板2の
部分の形状が元の形状に戻ると同時に、また、両端圧電
素子歯1a及び1iへの電圧印加により、両端圧電素子
歯1a及び1iがそれぞれ図1、図2及び図4の縦方向
(±X方向)に収縮しようとする。
【0033】しかし、両端圧電素子歯1a及び1iの上
端面が固定ブロック4に固定されているため、両端圧電
素子歯1a及び1iは+X方向に変位する。それによ
り、圧電素子歯1b〜1hも+X方向に変位し、圧電素
子歯1b〜1hと振動板2との接着部分を−X方向に変
位させる。
【0034】従って、本実施例によれば、図4の横効果
を利用した圧電素子を用いた場合も、インク滴を吐出し
ようとするノズル孔を有する圧力室に対応した圧電素子
歯1b及び1dの上端面と接着されている振動板2の部
分が、最初の−X方向の変位から元の形状に戻り更に+
X方向へ変位することとなるため、振動板2にかかる負
荷を従来のものと変えずに、上記の振動板2の部分の変
位量を従来よりも大きくすることができる。
【0035】従って、この場合も、圧電素子歯1b〜1
hと振動板2との接着面や圧力室境界壁と振動板2との
接着面が剥がれることはなく、振動板2と圧電素子歯1
b〜1hとの位置決めを容易、かつ、正確にでき、イン
ク滴を単一の圧電素子1により正確に吐出することがで
きる。
【0036】なお、以上の実施例において、両端圧電素
子歯1a及び1iに印加する電圧は、両端圧電素子歯1
a及び1iのみ駆動させた時に、インク的が吐出されな
い範囲の電圧にする必要がある。
【0037】また、本発明は上記の実施例に限定される
ものではなく、例えば両端圧電素子歯1a及び1iをそ
の他の中間位置にある圧電素子歯1b〜1hと長さを同
じにして、振動板2に接着固定するような構造としても
よい。ただし、この場合は圧電素子歯1a及び1iに接
着された振動板2部分の上部は固定ブロックで固定する
必要がある。
【0038】また、上記の実施例では、櫛歯状圧電素子
1全体を変位させる圧電素子歯は、圧電素子1の両端に
位置する両端圧電素子歯1a及び1iとしているが、本
発明は単一の圧電素子から形成されているものであれ
ば、この両端位置に限定されない。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電素子全体変位用圧電素子歯と圧電素子歯群とを順次
に独立して駆動することにより、インク滴を吐出しよう
とする圧力室に対応した位置に設けられた圧電素子歯に
固定された振動板部分を従来よりも大きく変位させるよ
うにしたため、振動板にかかる負荷を従来と同様とした
ままでインク滴を吐出しようとする圧力室の発生圧力を
大にすることができ、圧電素子歯と振動板との接着面の
剥れや他の振動板部分に与える悪影響を防止することが
できる。
【0040】また、本発明では圧電素子全体変位用圧電
素子歯を、圧電素子歯群よりも長い長さで前記圧電素子
の両端に設け、その両端の圧電素子歯を圧力室形成部材
及び前記振動板のそれぞれに穿設した貫通孔を貫通させ
て上端面を固定ブロックに固定するようにしたため、圧
電素子歯群の位置決めを容易、かつ、正確に行うことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面図である。
【図2】本発明の一実施例の分解斜視図である。
【図3】図1の実施例の圧電素子に縦効果を利用した圧
電素子を用いたときの斜視図である。
【図4】図1の実施例の圧電素子に横効果を利用した圧
電素子を用いたときの斜視図である。
【図5】従来の一例の構成断面図である。
【符号の説明】
1 圧電素子 1a、1i 圧電素子全体変位用両端圧電素子歯 1b、1c、1d、1e、1f、1g、1h 圧電素子
歯 2 振動板 3 圧力形成部材 4 固定ブロック 5 振動板固定部材 6b、6c、6d、6e、6f、6g、6h ノズル孔 7b、7c、7d、7e、7f、7g、7h 圧力室 9a、9b 貫通孔 11a、11b、21a、21b 内部電極

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動板の上面にそれぞれノズル孔を有す
    る複数の圧力室が、該振動板の上面を一壁面として形成
    された圧力室形成部材を固定すると共に、該振動板の下
    面に圧電素子の上端面を固定し、該圧電素子により該振
    動板を変形させて前記圧力室内の圧力を高めて前記ノズ
    ル孔よりインク滴を吐出させて印字するインクジェット
    式プリンタ用ヘッドにおいて、 前記圧電素子を、長手方向が平行な複数の櫛歯状圧電素
    子歯に形成すると共に、該複数の櫛歯状圧電素子歯のう
    ち前記複数の圧力室にそれぞれ対応する位置に上端面が
    位置するように形成された圧電素子歯群と、圧電素子全
    体変位用に形成された残りの圧電素子歯とからなる構成
    とし、 前記複数の圧力室にそれぞれ対応する位置の前記振動板
    の下面に前記圧電素子歯群の上端面を固定し、かつ、前
    記複数の櫛歯状圧電素子歯をそれぞれ互いに独立に駆動
    するための内部電極を設け、前記圧電素子全体変位用圧
    電素子歯を前記圧電素子歯群とは独立して駆動制御する
    ことを特徴とするインクジェット式プリンタ用ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記圧電素子全体変位用圧電素子歯は、
    前記圧電素子歯群よりも長い長さで前記圧電素子の両端
    に設けられ、前記圧力室形成部材及び前記振動板のそれ
    ぞれに該圧電素子全体変位用圧電素子歯の貫通孔を穿設
    し、該圧電素子全体変位用圧電素子歯を該管通孔を貫通
    させて前記圧電素子歯群の位置決めを行うと共に、該圧
    電素子全体変位用圧電素子歯の上端面を固定ブロックに
    固定することを特徴とするインクジェット式プリンタ用
    ヘッド。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6222303B1 (en) 1998-02-12 2001-04-24 Nec Corporation Piezoelectric actuator having an array of drive columns
JP2005028872A (ja) * 2003-06-20 2005-02-03 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェットヘッド及びそれを用いた液滴吐出装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03247453A (ja) * 1990-02-26 1991-11-05 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
JPH05246025A (ja) * 1992-03-03 1993-09-24 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド
JPH05318727A (ja) * 1992-05-25 1993-12-03 Seiko Epson Corp インクジェット式印字ヘッド駆動方法
JPH06238895A (ja) * 1993-02-19 1994-08-30 Seiko Epson Corp インクジェットヘッドおよびその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03247453A (ja) * 1990-02-26 1991-11-05 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
JPH05246025A (ja) * 1992-03-03 1993-09-24 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド
JPH05318727A (ja) * 1992-05-25 1993-12-03 Seiko Epson Corp インクジェット式印字ヘッド駆動方法
JPH06238895A (ja) * 1993-02-19 1994-08-30 Seiko Epson Corp インクジェットヘッドおよびその製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6222303B1 (en) 1998-02-12 2001-04-24 Nec Corporation Piezoelectric actuator having an array of drive columns
JP2005028872A (ja) * 2003-06-20 2005-02-03 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェットヘッド及びそれを用いた液滴吐出装置

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