JPH0825627A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH0825627A JPH0825627A JP16385794A JP16385794A JPH0825627A JP H0825627 A JPH0825627 A JP H0825627A JP 16385794 A JP16385794 A JP 16385794A JP 16385794 A JP16385794 A JP 16385794A JP H0825627 A JPH0825627 A JP H0825627A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造を容易とし加工コストの低減を図る。
【構成】 ２はインク溜３を備える基板、４はインク溜
３に臨む流路溝５およびノズル孔８を備える合成樹脂性
の流路板、９は積層型の圧電素子である。そして、圧電
素子は１枚の圧電素子を流路板４上に接合後、流路溝５
間に沿って切断する。
３に臨む流路溝５およびノズル孔８を備える合成樹脂性
の流路板、９は積層型の圧電素子である。そして、圧電
素子は１枚の圧電素子を流路板４上に接合後、流路溝５
間に沿って切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はドロップオンデマンド型
のインクジェットヘッドに関し、特に多数のノズルを備
えたマルチノズルインクジェットヘッドに関する。
のインクジェットヘッドに関し、特に多数のノズルを備
えたマルチノズルインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドロップオンデマンド型インクジェット
機録方式は、記録液適を必要時にのみ吐出するために圧
電アクチュエータを備えた記録ヘッドに電気信号を印加
して記録ヘッド内に設けられたインク室に圧力波を発生
させ、その圧力波によってノズル孔より液滴を噴射する
ものである。この方式は、構成が単純であるという長所
がある反面、複数のノズル孔の高密度化を図るためには
圧電アクチュエータの高集積化が必要となる。しかしな
がら、圧電アクチュエータを高密度化すると必要な印加
電圧が高くなるという問題が生じる。この問題を解決し
たものとして、特開昭６３−２５２７５０号公報および
特開平２−２３８９５０号公報に開示されたものがあ
る。
機録方式は、記録液適を必要時にのみ吐出するために圧
電アクチュエータを備えた記録ヘッドに電気信号を印加
して記録ヘッド内に設けられたインク室に圧力波を発生
させ、その圧力波によってノズル孔より液滴を噴射する
ものである。この方式は、構成が単純であるという長所
がある反面、複数のノズル孔の高密度化を図るためには
圧電アクチュエータの高集積化が必要となる。しかしな
がら、圧電アクチュエータを高密度化すると必要な印加
電圧が高くなるという問題が生じる。この問題を解決し
たものとして、特開昭６３−２５２７５０号公報および
特開平２−２３８９５０号公報に開示されたものがあ
る。
【０００３】図１０は特開昭６３−２５２７５０号公報
に開示されたインクジェットヘッドの斜視図である。同
図において、圧電材料で構成されたブロック２１、２２
にそれぞれ流路となるスリット２３、２４を設け、その
スリット２３、２４の側面である流路隔壁２５、２６の
内面に電極２７が設けられている。２９はスリット２
３、２４の開口部を覆い、ノズル孔２８が開けられたノ
ズル板である。このような構成において、駆動電圧を印
加すると圧電材料の辷り効果（ｄ15モード）によって流
路隔壁２５、２６が図中の一点鎖線に示すようにスリッ
ト２３、２４内に変形し、スリット２３、２４内のイン
クに圧力波を発生させノズル２８より液滴が噴射され
る。
に開示されたインクジェットヘッドの斜視図である。同
図において、圧電材料で構成されたブロック２１、２２
にそれぞれ流路となるスリット２３、２４を設け、その
スリット２３、２４の側面である流路隔壁２５、２６の
内面に電極２７が設けられている。２９はスリット２
３、２４の開口部を覆い、ノズル孔２８が開けられたノ
ズル板である。このような構成において、駆動電圧を印
加すると圧電材料の辷り効果（ｄ15モード）によって流
路隔壁２５、２６が図中の一点鎖線に示すようにスリッ
ト２３、２４内に変形し、スリット２３、２４内のイン
クに圧力波を発生させノズル２８より液滴が噴射され
る。
【０００４】図１１は特開平２−２３８９５０号公報に
開示されたインクジェットヘッドの斜視図である。同図
において、基板３１上に圧電素子３２が設けられ、圧電
素子３２には、スリット３３が形成されている。圧電素
子３２上には、底壁部３４が配設され、底壁部３４に
は、前記スリット３３に対応する位置に流路隔壁３５が
設けられている。このような構成において、圧電素子３
２への電圧印加によって流路隔壁３５および底壁部３４
が図中一点鎖線で示すように変形し、流路隔壁３５に挟
まれた流路３６内のインクに衝撃を与えて圧力波を発生
させる。
開示されたインクジェットヘッドの斜視図である。同図
において、基板３１上に圧電素子３２が設けられ、圧電
素子３２には、スリット３３が形成されている。圧電素
子３２上には、底壁部３４が配設され、底壁部３４に
は、前記スリット３３に対応する位置に流路隔壁３５が
設けられている。このような構成において、圧電素子３
２への電圧印加によって流路隔壁３５および底壁部３４
が図中一点鎖線で示すように変形し、流路隔壁３５に挟
まれた流路３６内のインクに衝撃を与えて圧力波を発生
させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術のうち前者のものでは、圧電素子２１、２２
のスリット加工、電極２７の形成および上下のスリット
２３、２４の位置合わせしての接着等、製造上の困難は
免れ得ず、製造コストが嵩むといった問題があった。ま
た、隣合ったスリットは、同時に圧力波を発生させるこ
とは構造上不可能であるので、時分割駆動が必要とな
り、その分駆動制御回路が複雑となる問題もあった。ま
た、後者のものでも、隣接するスリット間の相互干渉の
問題については充分に解決されたものではなく、さら
に、圧電素子３５側に設けられたスリット３３と流路と
なるスリット３６との接着に際しての位置決め精度が要
求される。さらに、両者ともに、ノズル孔２８が開けら
れたノズル板２９をスリット２３、２４および３６に合
わせて高精度に接着しなければならず、ノズル孔２８の
ピッチが細くなればなるほど製造が困難となる問題があ
った。このように、従来のインクジェットヘッドでは、
高集積化を目指そうとすると、製造が困難となり、加工
コストが嵩むという問題があった。
た従来技術のうち前者のものでは、圧電素子２１、２２
のスリット加工、電極２７の形成および上下のスリット
２３、２４の位置合わせしての接着等、製造上の困難は
免れ得ず、製造コストが嵩むといった問題があった。ま
た、隣合ったスリットは、同時に圧力波を発生させるこ
とは構造上不可能であるので、時分割駆動が必要とな
り、その分駆動制御回路が複雑となる問題もあった。ま
た、後者のものでも、隣接するスリット間の相互干渉の
問題については充分に解決されたものではなく、さら
に、圧電素子３５側に設けられたスリット３３と流路と
なるスリット３６との接着に際しての位置決め精度が要
求される。さらに、両者ともに、ノズル孔２８が開けら
れたノズル板２９をスリット２３、２４および３６に合
わせて高精度に接着しなければならず、ノズル孔２８の
ピッチが細くなればなるほど製造が困難となる問題があ
った。このように、従来のインクジェットヘッドでは、
高集積化を目指そうとすると、製造が困難となり、加工
コストが嵩むという問題があった。
【０００６】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、製造を容易とし加工コストの低減を図ったインクジ
ェットヘッドおよびその製造方法を提供することにあ
る。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、製造を容易とし加工コストの低減を図ったインクジ
ェットヘッドおよびその製造方法を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェットヘッドは、インクを一
時的に貯蔵するインク溜が形成された基板と、この基板
上に積層され、一端が前記インク溜に臨み他端にインク
滴を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路溝を備え
た可撓性板材で形成した流路板と、前記流路溝のそれぞ
れに対応して流路板に接合された圧電材料と薄膜導電材
料とからなる圧電素子部材と、圧電素子部材の伸びを前
記流路板の変形に変換する支持板とで構成されたもので
ある。また、本発明に係るインクジェットヘッドの製造
方法は、インクを一時的に貯蔵するインク溜が形成され
た基板上に、一端が前記インク溜に臨み他端にインク滴
を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路溝を備えた
可撓性板材で形成した流路板を接合し、この流路板上
に、圧電材料と薄膜導電材料とを積層した１枚の圧電素
子板を接合後、この圧電素子板を前記流路板の各流路溝
間において切断し、しかるのち、圧電素子板の上に支持
板を積層したものである。
に、本発明に係るインクジェットヘッドは、インクを一
時的に貯蔵するインク溜が形成された基板と、この基板
上に積層され、一端が前記インク溜に臨み他端にインク
滴を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路溝を備え
た可撓性板材で形成した流路板と、前記流路溝のそれぞ
れに対応して流路板に接合された圧電材料と薄膜導電材
料とからなる圧電素子部材と、圧電素子部材の伸びを前
記流路板の変形に変換する支持板とで構成されたもので
ある。また、本発明に係るインクジェットヘッドの製造
方法は、インクを一時的に貯蔵するインク溜が形成され
た基板上に、一端が前記インク溜に臨み他端にインク滴
を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路溝を備えた
可撓性板材で形成した流路板を接合し、この流路板上
に、圧電材料と薄膜導電材料とを積層した１枚の圧電素
子板を接合後、この圧電素子板を前記流路板の各流路溝
間において切断し、しかるのち、圧電素子板の上に支持
板を積層したものである。
【０００８】
【作用】本発明によれば、流路板に流路溝およびノズル
孔が設けられるので、部品点数が削減される。また、本
発明によれば、流路板上に、１枚の圧電素子板を接合
し、しかるのち、この圧電素子板を流路板の各流路溝間
において切断するようにしたので、圧電素子板と各流路
溝との接合時おける面倒な位置決め作業が不要となる。
孔が設けられるので、部品点数が削減される。また、本
発明によれば、流路板上に、１枚の圧電素子板を接合
し、しかるのち、この圧電素子板を流路板の各流路溝間
において切断するようにしたので、圧電素子板と各流路
溝との接合時おける面倒な位置決め作業が不要となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図１乃至図６は本発明に係るインクジェットヘッ
ドを示し、図１は一部破断斜視図、図２は断面図、図３
は流路板の平面図、図４は流路板の断面図、図５は圧電
素子の接合方法を示す断面図、図６は動作を示す拡大側
面図である。これらの図において、全体を符号１で示す
インクジェットヘッドは、基板２、流路板４、積層型の
圧電素子９および支持板１１とが積層されている。
する。図１乃至図６は本発明に係るインクジェットヘッ
ドを示し、図１は一部破断斜視図、図２は断面図、図３
は流路板の平面図、図４は流路板の断面図、図５は圧電
素子の接合方法を示す断面図、図６は動作を示す拡大側
面図である。これらの図において、全体を符号１で示す
インクジェットヘッドは、基板２、流路板４、積層型の
圧電素子９および支持板１１とが積層されている。
【００１０】基板２の後部表面には、幅方向に凹設され
たインク溜３が設けられている。流路板４は１枚の板材
で形成されており、下面に直線状の複数条の流路溝５が
形成され、上面には、この流路溝５と流路壁７を隔てて
分離溝６が形成され、断面が図４に示すように波形形状
を呈している。これら流路溝５および分離溝６は、流路
板４の前後に形成された遮蔽ブロック部４ａ、４ｂによ
り有限長に形成されており、流路溝５は後方部が前記イ
ンク溜３に臨む長さに形成され、分離溝６は流路溝５よ
りもやや短く形成されている。前方側の遮蔽ブロック部
４ａには、流路溝５に貫通するノズル孔８が穿設されて
いる。
たインク溜３が設けられている。流路板４は１枚の板材
で形成されており、下面に直線状の複数条の流路溝５が
形成され、上面には、この流路溝５と流路壁７を隔てて
分離溝６が形成され、断面が図４に示すように波形形状
を呈している。これら流路溝５および分離溝６は、流路
板４の前後に形成された遮蔽ブロック部４ａ、４ｂによ
り有限長に形成されており、流路溝５は後方部が前記イ
ンク溜３に臨む長さに形成され、分離溝６は流路溝５よ
りもやや短く形成されている。前方側の遮蔽ブロック部
４ａには、流路溝５に貫通するノズル孔８が穿設されて
いる。
【００１１】この流路板４は、比較的弾性係数が低く、
成形性の良好な樹脂材料であるポリアミド、アクリル等
の材料を流し込み成形または熱プレス成形等によって、
厚さ数百〜数十μｍ程度に形成されている。前記ノズル
孔８は、エキシマレーザにより高精度に加工される。
成形性の良好な樹脂材料であるポリアミド、アクリル等
の材料を流し込み成形または熱プレス成形等によって、
厚さ数百〜数十μｍ程度に形成されている。前記ノズル
孔８は、エキシマレーザにより高精度に加工される。
【００１２】直方体状の圧電素子９は、各流路溝５の天
井部分の流路壁７に接着されている。この圧電素子９は
電圧を印加すると厚み方向に伸びを生じるように分極が
厚さ方向（圧電係数ｄ33方向）に定められており、電極
構造は上下の表面のみに設けた通常の圧電素子の他、駆
動電圧を低減させるために内部にも複数の電極を設けた
いわゆる積層型の圧電素子としている。この圧電素子９
の長さと位置は、本出願人により出願された特開昭６２
−１７４１６３号公報に開示されているように、ノズル
孔８を含めた流路溝５内のインクの圧力波の共振モード
によって決定される。なお、前記分離溝６の位置と長さ
は、圧電素子９の位置と長さに対応させて決めている。
井部分の流路壁７に接着されている。この圧電素子９は
電圧を印加すると厚み方向に伸びを生じるように分極が
厚さ方向（圧電係数ｄ33方向）に定められており、電極
構造は上下の表面のみに設けた通常の圧電素子の他、駆
動電圧を低減させるために内部にも複数の電極を設けた
いわゆる積層型の圧電素子としている。この圧電素子９
の長さと位置は、本出願人により出願された特開昭６２
−１７４１６３号公報に開示されているように、ノズル
孔８を含めた流路溝５内のインクの圧力波の共振モード
によって決定される。なお、前記分離溝６の位置と長さ
は、圧電素子９の位置と長さに対応させて決めている。
【００１３】次に、このように構成されたインクジェッ
トヘッドの組立方法を説明する。まず、基板２上に流路
板４を載置し、図３中二点鎖線で示した流路板４上の圧
電素子貼付位置４ｃに、１枚の積層型の圧電素子９を流
路板４の分離溝６を覆い被さるようにして、図５（ａ）
に示すように、接着する。しかるのち、同図（ｂ）に示
すように、ダイシングソーなどによって、流路板４の分
離溝６に対応した位置を切断して、この切断部であるス
リット１０により各圧電素子９を分離し、流路溝５の天
井部に位置する各圧電素子９を形成する。そして、支持
板１１を圧電素子９の上に接合して支持固定する。この
支持板１１の目的は、圧電素子９の厚み方向の伸びをす
べて流路壁７の変形に変換するために、圧電素子９の縦
方向の変位を拘束することにある。したがって、この目
的を達成するものであれば必ずしも圧電素子９と支持板
１１は接着する必要はなく、一定の押圧力によって圧電
素子９の上面を拘束するようにしてもよい。
トヘッドの組立方法を説明する。まず、基板２上に流路
板４を載置し、図３中二点鎖線で示した流路板４上の圧
電素子貼付位置４ｃに、１枚の積層型の圧電素子９を流
路板４の分離溝６を覆い被さるようにして、図５（ａ）
に示すように、接着する。しかるのち、同図（ｂ）に示
すように、ダイシングソーなどによって、流路板４の分
離溝６に対応した位置を切断して、この切断部であるス
リット１０により各圧電素子９を分離し、流路溝５の天
井部に位置する各圧電素子９を形成する。そして、支持
板１１を圧電素子９の上に接合して支持固定する。この
支持板１１の目的は、圧電素子９の厚み方向の伸びをす
べて流路壁７の変形に変換するために、圧電素子９の縦
方向の変位を拘束することにある。したがって、この目
的を達成するものであれば必ずしも圧電素子９と支持板
１１は接着する必要はなく、一定の押圧力によって圧電
素子９の上面を拘束するようにしてもよい。
【００１４】次に、このように組み立てられたインクジ
ェットヘッドの動作を説明する。各圧電素子９に駆動電
圧を印加すると、流路溝５の断面は、図６に示すように
変化する。図６は有限要素法による解析結果であり、変
形量は３００倍に拡大して示している。圧電素子９の縦
効果（ｄ33方向）による伸びαと横効果（ｄ13方向）に
よる縮みβによって、流路壁７が全体的に内側に変形
し、流路溝５の断面積が減少する。このときの断面積の
減少率は０．１％前後であるが、変形速度がきわめて大
きいので、ノズル孔８内のインクの圧力波の圧力値は５
００〜１０００ｋＰａに達する。この圧力値により、３
〜６ｍ／ｓの速度を有するインク滴をノズル孔８より吐
出することが可能となる。
ェットヘッドの動作を説明する。各圧電素子９に駆動電
圧を印加すると、流路溝５の断面は、図６に示すように
変化する。図６は有限要素法による解析結果であり、変
形量は３００倍に拡大して示している。圧電素子９の縦
効果（ｄ33方向）による伸びαと横効果（ｄ13方向）に
よる縮みβによって、流路壁７が全体的に内側に変形
し、流路溝５の断面積が減少する。このときの断面積の
減少率は０．１％前後であるが、変形速度がきわめて大
きいので、ノズル孔８内のインクの圧力波の圧力値は５
００〜１０００ｋＰａに達する。この圧力値により、３
〜６ｍ／ｓの速度を有するインク滴をノズル孔８より吐
出することが可能となる。
【００１５】図７は本発明の第２の実施例を示す断面図
である。この第２の実施例では、圧電素子９の下端部に
分極されていない不活性層１５を設け、圧電素子９を分
離する際、不活性層１５の途中までスリット１０を形成
して、圧電素子９をスリット１０により電気的に分離す
るとともに、不活性層１５により連結している。このよ
うに不活性層１５により連結することにより、スリット
１０を形成する際に圧電素子９にひびや割れが生じるの
を防止できる。
である。この第２の実施例では、圧電素子９の下端部に
分極されていない不活性層１５を設け、圧電素子９を分
離する際、不活性層１５の途中までスリット１０を形成
して、圧電素子９をスリット１０により電気的に分離す
るとともに、不活性層１５により連結している。このよ
うに不活性層１５により連結することにより、スリット
１０を形成する際に圧電素子９にひびや割れが生じるの
を防止できる。
【００１６】図８は本発明の第３の実施例を示す断面図
である。この第３の実施例では、圧電素子９の上端部に
分極されていない不活性層１６を設け、圧電素子９を流
路板４に接着する前に下端部から不活性層１６に達する
スリット１０を形成したのち、接着したものである。
である。この第３の実施例では、圧電素子９の上端部に
分極されていない不活性層１６を設け、圧電素子９を流
路板４に接着する前に下端部から不活性層１６に達する
スリット１０を形成したのち、接着したものである。
【００１７】図９は本発明の第４の実施例を示す断面図
である。この第４の実施例では、基板２を挟んで、一対
の流路板４、４、圧電素子９、９および支持板１２、１
２が、対称的に配置されている。インクは共通のインク
溜３から流路溝５、５に供給され、各々の圧電素子９、
９に電圧を印加することにより、ノズル孔８、８よりイ
ンク滴が吐出される。このように基板２を挟んで対称的
に配置することにより上下のノズル孔８、８間を近接さ
せることができ、高密度なドット列を記録媒体に形成す
ることができる。また、上下のノズル孔８、８を千鳥状
に配置することにより、より高密度なドット列を記録媒
体に形成することができる。
である。この第４の実施例では、基板２を挟んで、一対
の流路板４、４、圧電素子９、９および支持板１２、１
２が、対称的に配置されている。インクは共通のインク
溜３から流路溝５、５に供給され、各々の圧電素子９、
９に電圧を印加することにより、ノズル孔８、８よりイ
ンク滴が吐出される。このように基板２を挟んで対称的
に配置することにより上下のノズル孔８、８間を近接さ
せることができ、高密度なドット列を記録媒体に形成す
ることができる。また、上下のノズル孔８、８を千鳥状
に配置することにより、より高密度なドット列を記録媒
体に形成することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンクを一時的に貯蔵するインク溜が形成された基板と、
この基板上に積層され、一端が前記インク溜に臨み他端
にインク滴を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路
溝を備えた可撓性板材で形成した流路板と、前記流路溝
のそれぞれに対応して流路板に接合された圧電材料と薄
膜導電材料とからなる圧電素子部材と、圧電素子部材の
伸びを前記流路板の変形に変換する支持板とで構成し、
流路溝およびノズル孔を流路板に形成したので、部品点
数の削減を図ることができるとともに、安価となる。
ンクを一時的に貯蔵するインク溜が形成された基板と、
この基板上に積層され、一端が前記インク溜に臨み他端
にインク滴を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路
溝を備えた可撓性板材で形成した流路板と、前記流路溝
のそれぞれに対応して流路板に接合された圧電材料と薄
膜導電材料とからなる圧電素子部材と、圧電素子部材の
伸びを前記流路板の変形に変換する支持板とで構成し、
流路溝およびノズル孔を流路板に形成したので、部品点
数の削減を図ることができるとともに、安価となる。
【００１９】また、本発明によれば、基板を挟んで流路
板および圧電素子部材を一対対称的に配置したので、ノ
ズル孔を高密度に実装することができる。
板および圧電素子部材を一対対称的に配置したので、ノ
ズル孔を高密度に実装することができる。
【００２０】また、本発明によれば、一対の流路板のそ
れぞれのノズル孔を互いに千鳥状に配置したので、ノズ
ル孔をより高密度に実装することができる。
れぞれのノズル孔を互いに千鳥状に配置したので、ノズ
ル孔をより高密度に実装することができる。
【００２１】また、本発明によれば、インクを一時的に
貯蔵するインク溜が形成された基板上に、一端が前記イ
ンク溜に臨み他端にインク滴を噴射するノズル孔が穿設
された複数の流路溝を備えた可撓性板材で形成した流路
板を接合し、この流路板上に、圧電材料と薄膜導電材料
とを積層した１枚の圧電素子板を接合後、この圧電素子
板を前記流路板の各流路溝間において切断し、しかるの
ち、圧電素子板の上に支持板を積層し、圧電素子板を流
路板へ接合する際に、従来のような煩雑な位置決めを必
要としないので、組立が容易となる。また、基板流路
板、圧電素子板、支持板を積層状態で組み立てるので、
組立が容易であるとともに、一方向（上方）からの組立
なので、組立の自動化が容易に導入できる。
貯蔵するインク溜が形成された基板上に、一端が前記イ
ンク溜に臨み他端にインク滴を噴射するノズル孔が穿設
された複数の流路溝を備えた可撓性板材で形成した流路
板を接合し、この流路板上に、圧電材料と薄膜導電材料
とを積層した１枚の圧電素子板を接合後、この圧電素子
板を前記流路板の各流路溝間において切断し、しかるの
ち、圧電素子板の上に支持板を積層し、圧電素子板を流
路板へ接合する際に、従来のような煩雑な位置決めを必
要としないので、組立が容易となる。また、基板流路
板、圧電素子板、支持板を積層状態で組み立てるので、
組立が容易であるとともに、一方向（上方）からの組立
なので、組立の自動化が容易に導入できる。
【００２２】また、本発明によれば、圧電素子板の流路
板側または流路板と反対側に不活性層を設け、この不活
性層に切断しない部分を残したので、圧電素子板にひび
や割れが生じることを防止できる。
板側または流路板と反対側に不活性層を設け、この不活
性層に切断しない部分を残したので、圧電素子板にひび
や割れが生じることを防止できる。
【図１】 本発明に係るインクジェットヘッドの斜視図
である。
である。
【図２】 本発明に係るインクジェットヘッドの断面図
である。
である。
【図３】 本発明に係るインクジェットヘッドにおける
流路板の平面図である。
流路板の平面図である。
【図４】 本発明に係るインクジェットヘッドにおける
流路板の断面図である。
流路板の断面図である。
【図５】 本発明に係るインクジェットヘッドにおける
圧電素子の接合方法の順序を示す断面図である。
圧電素子の接合方法の順序を示す断面図である。
【図６】 本発明に係るインクジェットヘッドにおける
動作を示す拡大側面図である。
動作を示す拡大側面図である。
【図７】 本発明に係るインクジェットヘッドの第２の
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図８】 本発明に係るインクジェットヘッドの第３の
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図９】 本発明に係るインクジェットヘッドの第４の
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図１０】 従来のインクジェットヘッドの斜視図であ
る。
る。
【図１１】 従来のインクジェットヘッドの第２の例の
斜視図である。
斜視図である。
１…インクジェットヘッド、２…基板、３…インク溜、
４…流路板、５…流路溝、６…分離溝、７…流路壁、８
…ノズル孔、９…圧電素子、１１…支持板、１５，１６
…不活性層。
４…流路板、５…流路溝、６…分離溝、７…流路壁、８
…ノズル孔、９…圧電素子、１１…支持板、１５，１６
…不活性層。
Claims (5)
- 【請求項１】 インクを一時的に貯蔵するインク溜が形
成された基板と、この基板上に積層され、一端が前記イ
ンク溜に臨み他端にインク滴を噴射するノズル孔が穿設
された複数の流路溝を備えた可撓性板材で形成した流路
板と、前記流路溝のそれぞれに対応して流路板に接合さ
れた圧電材料と薄膜導電材料とからなる圧電素子部材
と、圧電素子部材の伸びを前記流路板の変形に変換する
支持板とで構成されたことを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェットヘッドに
おいて、前記基板を挟んで流路板および圧電素子部材を
一対対称的に配置したことを特徴とするインクジェット
ヘッド。 - 【請求項３】 請求項２記載のインクジェットヘッドに
おいて、前記一対の流路板のそれぞれのノズル孔を互い
に千鳥状に配置したことを特徴とするインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項４】 インクを一時的に貯蔵するインク溜が形
成された基板上に、一端が前記インク溜に臨み他端にイ
ンク滴を噴射するノズル孔が穿設された複数の流路溝を
備えた可撓性板材で形成した流路板を接合し、この流路
板上に、圧電材料と薄膜導電材料とを積層した１枚の圧
電素子板を接合後、この圧電素子板を前記流路板の各流
路溝間において切断し、しかるのち、圧電素子板の上に
支持板を積層したことを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項５】 請求項４記載のインクジェットヘッドの
製造方法において、前記圧電素子板の流路板側または流
路板と反対側に不活性層を設け、この不活性層に切断し
ない部分を残したことを特徴とするインクジェットヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16385794A JPH0825627A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16385794A JPH0825627A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0825627A true JPH0825627A (ja) | 1996-01-30 |
Family
ID=15782080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16385794A Pending JPH0825627A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0825627A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002086731A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-26 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッド及び液体吐出記録装置 |
| JP2006321121A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
| WO2012086143A1 (en) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and method of manufacturing liquid ejection head |
| JP2015134461A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59162061A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-12 | Hitachi Koki Co Ltd | オンデマンド型印字ヘッド |
| JPS6090770A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-21 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッド |
| JPH03247453A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16385794A patent/JPH0825627A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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| CN103228451A (zh) * | 2010-12-24 | 2013-07-31 | 佳能株式会社 | 液体喷出头和液体喷出头的制造方法 |
| US8967773B2 (en) | 2010-12-24 | 2015-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and method of manufacturing liquid ejection head |
| CN103228451B (zh) * | 2010-12-24 | 2015-07-01 | 佳能株式会社 | 液体喷出头和液体喷出头的制造方法 |
| JP2015134461A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
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