JPH08261835A - 焦電型赤外線センサ - Google Patents
焦電型赤外線センサInfo
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- JPH08261835A JPH08261835A JP6774795A JP6774795A JPH08261835A JP H08261835 A JPH08261835 A JP H08261835A JP 6774795 A JP6774795 A JP 6774795A JP 6774795 A JP6774795 A JP 6774795A JP H08261835 A JPH08261835 A JP H08261835A
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- Japan
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- pyroelectric
- wavelength
- infrared
- infrared sensor
- optical lens
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0831—Masks; Aperture plates; Spatial light modulators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0801—Means for wavelength selection or discrimination
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は焦電体により赤外線を検出する焦電
型赤外線センサに関するものであり、高精度の設計視野
角を得ることが可能な焦電型赤外線センサを提供するこ
とを目的とする。 【構成】 表面に外乱光をカットするためのフィルタ２
と、裏面に波長λで設計した回折型光学レンズ１が形成
されたＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３と、波長λに対
する像点に位置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が
取り付けられるとともに上記焦電体４を内蔵する封止缶
６と、上記回折型光学レンズ１と焦電体４の間にアパー
チャ７を備えた構成である。この構成によって、視野内
のみの情報を持った赤外線８が焦電体４に入射し、視野
以外の情報を取り込むことがなくなり、高精度の視野角
を得ることができた。
型赤外線センサに関するものであり、高精度の設計視野
角を得ることが可能な焦電型赤外線センサを提供するこ
とを目的とする。 【構成】 表面に外乱光をカットするためのフィルタ２
と、裏面に波長λで設計した回折型光学レンズ１が形成
されたＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３と、波長λに対
する像点に位置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が
取り付けられるとともに上記焦電体４を内蔵する封止缶
６と、上記回折型光学レンズ１と焦電体４の間にアパー
チャ７を備えた構成である。この構成によって、視野内
のみの情報を持った赤外線８が焦電体４に入射し、視野
以外の情報を取り込むことがなくなり、高精度の視野角
を得ることができた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は焦電体により赤外線を検
出する焦電型赤外線センサに関するものである。
出する焦電型赤外線センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、焦電型赤外線センサは非接触で物
体の検知や温度検出ができる点を生かして、電子レンジ
の調理物の温度測定、エアコンの室内温度制御あるいは
自動ドア、警報装置での人体検知等に利用されており、
今後その利用範囲は拡大していくと見られる。
体の検知や温度検出ができる点を生かして、電子レンジ
の調理物の温度測定、エアコンの室内温度制御あるいは
自動ドア、警報装置での人体検知等に利用されており、
今後その利用範囲は拡大していくと見られる。
【０００３】焦電型赤外線センサは、ＬｉＴａＯ3単結
晶等の焦電効果を利用したものである。焦電体は自発分
極を有しており常に表面電荷が発生するが、大気中にお
ける定常状態では大気中の電荷と結びついて電気的に中
性を保っている。これに赤外線が入射すると焦電体の温
度が変化し、これに伴い表面の電荷状態も中性状態が壊
れて変化する。この時に表面に発生する電荷を検出し、
赤外線入射量を測定するのが焦電型赤外線センサであ
る。一般に物体はその温度に応じた赤外線を放射してお
り、この焦電型赤外線センサを用いることにより物体の
存在や温度を検知できる。
晶等の焦電効果を利用したものである。焦電体は自発分
極を有しており常に表面電荷が発生するが、大気中にお
ける定常状態では大気中の電荷と結びついて電気的に中
性を保っている。これに赤外線が入射すると焦電体の温
度が変化し、これに伴い表面の電荷状態も中性状態が壊
れて変化する。この時に表面に発生する電荷を検出し、
赤外線入射量を測定するのが焦電型赤外線センサであ
る。一般に物体はその温度に応じた赤外線を放射してお
り、この焦電型赤外線センサを用いることにより物体の
存在や温度を検知できる。
【０００４】以下に従来の焦電型赤外線センサについて
説明する。図６は従来の焦電型赤外線センサの概略を示
すものである。表面に外乱光をカットするためのフィル
タ１４（例えば５μｍより短い波長をカットするフィル
タ）と、裏面に波長λ（例えば１０μｍ）で設計した回
折型光学レンズ１３が形成された例えば厚み０．５ｍ
ｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よりなる赤
外線入射窓１５と、波長λに対する像点に位置する焦電
体１６と、上記赤外線入射窓１５が取り付けられるとと
もに上記焦電体１６を内蔵する例えば直径２．５ｍｍの
開口部１７を有する例えば直径５ｍｍの封止缶１８を備
えている。
説明する。図６は従来の焦電型赤外線センサの概略を示
すものである。表面に外乱光をカットするためのフィル
タ１４（例えば５μｍより短い波長をカットするフィル
タ）と、裏面に波長λ（例えば１０μｍ）で設計した回
折型光学レンズ１３が形成された例えば厚み０．５ｍ
ｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よりなる赤
外線入射窓１５と、波長λに対する像点に位置する焦電
体１６と、上記赤外線入射窓１５が取り付けられるとと
もに上記焦電体１６を内蔵する例えば直径２．５ｍｍの
開口部１７を有する例えば直径５ｍｍの封止缶１８を備
えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記構成
では、回折型光学レンズ１３により波長λの１次回折光
が焦電体１６に集光または結像される。この時、同時に
視野以外の情報を含んだ波長λ以外の回折光が焦電体１
６に入射する。これにより視野角が設計値より大きくな
り、所望の視野内の情報が得られない。また数箇所の検
知視野がある場合、視野間の情報のクロストーク等の原
因になる。
では、回折型光学レンズ１３により波長λの１次回折光
が焦電体１６に集光または結像される。この時、同時に
視野以外の情報を含んだ波長λ以外の回折光が焦電体１
６に入射する。これにより視野角が設計値より大きくな
り、所望の視野内の情報が得られない。また数箇所の検
知視野がある場合、視野間の情報のクロストーク等の原
因になる。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、高精度の設計視野角を得ることが可能な焦電型赤外
線センサを提供することを目的とする。
で、高精度の設計視野角を得ることが可能な焦電型赤外
線センサを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、波長λで設計した回折型光学レンズが形成
された赤外線入射窓と、検出物からの赤外線の主波長を
λとし、波長λに対する像点に位置する焦電体と、上記
赤外線入射窓が取り付けられるとともに上記焦電体を内
蔵する封止体と、上記回折型光学レンズと焦電体の間に
位置するアパーチャより構成される。
に本発明は、波長λで設計した回折型光学レンズが形成
された赤外線入射窓と、検出物からの赤外線の主波長を
λとし、波長λに対する像点に位置する焦電体と、上記
赤外線入射窓が取り付けられるとともに上記焦電体を内
蔵する封止体と、上記回折型光学レンズと焦電体の間に
位置するアパーチャより構成される。
【０００８】
【作用】本発明の焦電型赤外線センサによれば、視野以
外の情報を取り込むことがなくなり、視野内の情報を高
精度に検出することができる。
外の情報を取り込むことがなくなり、視野内の情報を高
精度に検出することができる。
【０００９】
（実施例１）以下本発明の第１の実施例について、図面
を参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例
における焦電型赤外線センサの概略を示すものである。
表面に外乱光をカットするためのフィルタ２（例えば５
μｍより短い波長をカットする）と、裏面に波長λ（例
えば１０μｍ）で設計した回折型光学レンズ１が形成さ
れた例えば厚み０．５ｍｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ
角のＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３と、波長λに対す
る像点に位置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が取
り付けられるとともに上記焦電体４を内蔵する例えば直
径２．５ｍｍの開口部５を有する例えば直径５ｍｍの封
止缶６（封止体の一例）と、上記回折型光学レンズ１と
焦電体４の間にアパーチャ７を備えている。
を参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例
における焦電型赤外線センサの概略を示すものである。
表面に外乱光をカットするためのフィルタ２（例えば５
μｍより短い波長をカットする）と、裏面に波長λ（例
えば１０μｍ）で設計した回折型光学レンズ１が形成さ
れた例えば厚み０．５ｍｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ
角のＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３と、波長λに対す
る像点に位置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が取
り付けられるとともに上記焦電体４を内蔵する例えば直
径２．５ｍｍの開口部５を有する例えば直径５ｍｍの封
止缶６（封止体の一例）と、上記回折型光学レンズ１と
焦電体４の間にアパーチャ７を備えている。
【００１０】以上のように構成された焦電型赤外線セン
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８は回折型光学レンズ１によりその波長λの１次回折
光が焦電体４に集光または結像される。この時、視野以
外の情報を含んで焦電体４に入射する波長λ以外の回折
光をアパーチャ７によりカットする。これにより視野内
のみの情報を持った赤外線が焦電体４に入射し、焦電体
４の温度が変化し、これに伴い表面の電荷状態も中性状
態が壊れて変化する。この時に表面に発生する電荷を検
出し、赤外線入射量を測定する。
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８は回折型光学レンズ１によりその波長λの１次回折
光が焦電体４に集光または結像される。この時、視野以
外の情報を含んで焦電体４に入射する波長λ以外の回折
光をアパーチャ７によりカットする。これにより視野内
のみの情報を持った赤外線が焦電体４に入射し、焦電体
４の温度が変化し、これに伴い表面の電荷状態も中性状
態が壊れて変化する。この時に表面に発生する電荷を検
出し、赤外線入射量を測定する。
【００１１】この構成によって、視野以外の情報を取り
込むことがなくなり高精度の視野角を得ることが可能と
なった。
込むことがなくなり高精度の視野角を得ることが可能と
なった。
【００１２】なお、アパーチャの形状を図２に示すよう
に波長λの１次回折光が焦電体４に集光または結像する
光束の断面の最外周に沿うようなアパーチャ９とするこ
とにより、視野以外の情報のみの波長λ以外の回折光を
カットすることが可能となり、結果、視野内の波長λ以
外の回折光を焦電体４に取り込むことが可能となり、セ
ンサ感度が著しく向上した。
に波長λの１次回折光が焦電体４に集光または結像する
光束の断面の最外周に沿うようなアパーチャ９とするこ
とにより、視野以外の情報のみの波長λ以外の回折光を
カットすることが可能となり、結果、視野内の波長λ以
外の回折光を焦電体４に取り込むことが可能となり、セ
ンサ感度が著しく向上した。
【００１３】また、図３に示すように封止缶にアパーチ
ャ１０を一体成型した封止缶６とすることにより、アパ
ーチャの位置決めをする必要が無くなり、かつ低コスト
化が可能となった。
ャ１０を一体成型した封止缶６とすることにより、アパ
ーチャの位置決めをする必要が無くなり、かつ低コスト
化が可能となった。
【００１４】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図４は本発明の
第２の実施例における焦電型赤外線センサの概略を示す
ものである。表面に波長λ（例えば１０μｍ）付近のみ
の赤外線を透過させるフィルタ１１と、裏面に波長λで
設計した回折型光学レンズ１が形成された例えば厚み
０．５ｍｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よ
りなる赤外線入射窓３と、上記赤外線入射窓３の回折型
光学レンズ１が形成された面の波長λに対する像点に位
置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が取り付けられ
るとともに上記焦電体４を内蔵する例えば直径２．５ｍ
ｍの開口部５を有する例えば直径５ｍｍの封止缶６（封
止体の一例）とを備えている。
ついて、図面を参照しながら説明する。図４は本発明の
第２の実施例における焦電型赤外線センサの概略を示す
ものである。表面に波長λ（例えば１０μｍ）付近のみ
の赤外線を透過させるフィルタ１１と、裏面に波長λで
設計した回折型光学レンズ１が形成された例えば厚み
０．５ｍｍ、大きさ３．３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よ
りなる赤外線入射窓３と、上記赤外線入射窓３の回折型
光学レンズ１が形成された面の波長λに対する像点に位
置する焦電体４と、上記赤外線入射窓３が取り付けられ
るとともに上記焦電体４を内蔵する例えば直径２．５ｍ
ｍの開口部５を有する例えば直径５ｍｍの封止缶６（封
止体の一例）とを備えている。
【００１５】以上のように構成された焦電型赤外線セン
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８はフィルタ１１により波長λ付近の赤外線のみが透
過し、回折型光学レンズ１により像点に置かれた焦電体
４に集光または結像される。
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８はフィルタ１１により波長λ付近の赤外線のみが透
過し、回折型光学レンズ１により像点に置かれた焦電体
４に集光または結像される。
【００１６】この構成によって、視野以外の情報を含ん
で焦電体４に入射する波長λ以外の回折光がほとんどな
くなり、結果、視野以外の情報を取り込むことがほとん
どなくなり、高精度の視野角を得ることが可能となっ
た。
で焦電体４に入射する波長λ以外の回折光がほとんどな
くなり、結果、視野以外の情報を取り込むことがほとん
どなくなり、高精度の視野角を得ることが可能となっ
た。
【００１７】なお、フィルタ１１として、波長λより短
い波長の赤外線をカットするものとすることにより、主
に視野以外の情報を焦電体４に入射させる原因である波
長λより短い波長の赤外線がカットされるので、感度の
向上及びフィルタ１１の低コスト化が図られた。
い波長の赤外線をカットするものとすることにより、主
に視野以外の情報を焦電体４に入射させる原因である波
長λより短い波長の赤外線がカットされるので、感度の
向上及びフィルタ１１の低コスト化が図られた。
【００１８】（実施例３）以下本発明の第３の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図５は本発明の
第３の実施例における焦電型赤外線センサの概略を示す
ものである。表面に外乱光をカットするためのフィルタ
２（例えば５μｍより短い波長をカットするフィルタ）
と、裏面に検出物の主波長（例えば１０μｍ）より短波
長（例えば５〜９．５μｍ）で設計した回折型光学レン
ズ１２が形成された例えば厚み０．５ｍｍ、大きさ３．
３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３
と、波長λに対する像点に位置する焦電体４と、上記赤
外線入射窓３が取り付けられるとともに上記焦電体４を
内蔵する例えば直径２．５ｍｍの開口部５を有する例え
ば直径５ｍｍの封止缶６（封止体の一例）を備えてい
る。
ついて、図面を参照しながら説明する。図５は本発明の
第３の実施例における焦電型赤外線センサの概略を示す
ものである。表面に外乱光をカットするためのフィルタ
２（例えば５μｍより短い波長をカットするフィルタ）
と、裏面に検出物の主波長（例えば１０μｍ）より短波
長（例えば５〜９．５μｍ）で設計した回折型光学レン
ズ１２が形成された例えば厚み０．５ｍｍ、大きさ３．
３×３．３ｍｍ角のＳｉ基板よりなる赤外線入射窓３
と、波長λに対する像点に位置する焦電体４と、上記赤
外線入射窓３が取り付けられるとともに上記焦電体４を
内蔵する例えば直径２．５ｍｍの開口部５を有する例え
ば直径５ｍｍの封止缶６（封止体の一例）を備えてい
る。
【００１９】以上のように構成された焦電型赤外線セン
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８はフィルタ２により波長λ付近の赤外線８のみが透
過し、回折型光学レンズ１２により像点に置かれた焦電
体４に集光または結像される。この時、視野以外の情報
を含んで焦電体４に入射するフィルタ２が透過させる波
長から回折型光学レンズ１２の設計波長の赤外線量が減
少する。
サについて、その動作を説明する。まず、視野内に侵入
または視野内で移動する検知対象物より放射された赤外
線８はフィルタ２により波長λ付近の赤外線８のみが透
過し、回折型光学レンズ１２により像点に置かれた焦電
体４に集光または結像される。この時、視野以外の情報
を含んで焦電体４に入射するフィルタ２が透過させる波
長から回折型光学レンズ１２の設計波長の赤外線量が減
少する。
【００２０】この構成によって、主に視野以外の情報を
焦電体４に入射させる原因である波長λより短い波長の
赤外線が低減されるので、高精度の視野角が得られる。
焦電体４に入射させる原因である波長λより短い波長の
赤外線が低減されるので、高精度の視野角が得られる。
【００２１】なお、回折型光学レンズ１２の設計波長を
フィルタ２のカット周波数付近（例えば５μｍ）とする
ことにより、より高精度の視野角が得られることはいう
までもない。
フィルタ２のカット周波数付近（例えば５μｍ）とする
ことにより、より高精度の視野角が得られることはいう
までもない。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明は回折型光学レンズ
と焦電体の間にアパーチャを設けることにより、視野以
外の情報を含んで焦電体に入射する波長λ以外の回折光
をアパーチャによりカットする。これにより視野内のみ
の情報を持った赤外線が焦電体に入射し、視野以外の情
報を取り込むことがなくなり、高精度の視野角を得るこ
とができる焦電型赤外線センサを提供できるものであ
る。
と焦電体の間にアパーチャを設けることにより、視野以
外の情報を含んで焦電体に入射する波長λ以外の回折光
をアパーチャによりカットする。これにより視野内のみ
の情報を持った赤外線が焦電体に入射し、視野以外の情
報を取り込むことがなくなり、高精度の視野角を得るこ
とができる焦電型赤外線センサを提供できるものであ
る。
【図１】本発明の第１の実施例における焦電型赤外線セ
ンサの概略断面図
ンサの概略断面図
【図２】本発明の第１の実施例におけるアパーチャ開口
部形状を示す焦電型赤外線センサの概略断面図
部形状を示す焦電型赤外線センサの概略断面図
【図３】本発明の第１の実施例における封止缶とアパー
チャを一体成型した焦電型赤外線センサの概略断面図
チャを一体成型した焦電型赤外線センサの概略断面図
【図４】本発明の第２の実施例における焦電型赤外線セ
ンサの概略断面図
ンサの概略断面図
【図５】本発明の第３の実施例における焦電型赤外線セ
ンサの概略断面図
ンサの概略断面図
【図６】従来の焦電型赤外線センサの概略断面図
１ 回折型光学レンズ ２ フィルタ ３ 赤外線入射窓 ４ 焦電体 ５ 開口部 ６ 封止缶 ７ アパーチャ ８ 赤外線 ９ アパーチャ １０ アパーチャ １１ フィルタ １２ 回折型光学レンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０１Ｖ 8/12 9406−2Ｇ Ｇ０１Ｖ 9/04 Ｄ
Claims (6)
- 【請求項１】 表面に外乱光をカットするためのフィル
タと、裏面に波長λで設計した回折型光学レンズが形成
された赤外線入射窓と、波長λに対する像点に位置する
焦電体と、上記赤外線入射窓が取り付けられるとともに
上記焦電体を内蔵する封止体と、上記回折型光学レンズ
と焦電体の間に位置するアパーチャよりなる焦電型赤外
線センサ。 - 【請求項２】 アパーチャを回折型光学レンズによる波
長λの１次回折光が焦電体に集光または結像する光束の
断面の最外周に沿うような開口形状とする請求項１記載
の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項３】 アパーチャを封止体と一体に成型した請
求項１または２記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項４】 フィルタとして赤外線入射窓に回折型光
学レンズの設計波長λ付近のみを透過する構成とした請
求項１記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項５】 フィルタとして赤外線入射窓に回折型光
学レンズの設計波長λより短い波長の赤外線をカットす
る構成とした請求項４記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項６】 回折型光学レンズとして設計波長を検出
物の主波長より短波長とした請求項１記載の焦電型赤外
線センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6774795A JPH08261835A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 焦電型赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6774795A JPH08261835A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 焦電型赤外線センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261835A true JPH08261835A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13353855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6774795A Pending JPH08261835A (ja) | 1995-03-27 | 1995-03-27 | 焦電型赤外線センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08261835A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000130766A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Toshiba Corp | オーブンレンジ |
| JP2004077461A (ja) * | 2002-08-17 | 2004-03-11 | Lg Electronics Inc | 赤外線センサ組立体および該赤外線センサを備えた冷蔵庫 |
| JP2004536639A (ja) * | 2001-06-19 | 2004-12-09 | ザ・トラステイーズ・オブ・ザ・ユニバーシテイ・オブ・ペンシルベニア | 侵襲性カテーテルの配置用の光学的案内システム |
| JP2007101513A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Seiko Npc Corp | 赤外線センサ |
| DE102007039228B4 (de) * | 2007-08-20 | 2009-06-18 | Perkinelmer Optoelectronics Gmbh & Co.Kg | Sensorkappenanordnung Sensor Schaltung |
| WO2009101080A1 (en) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Analog Devices Inc. | Electromagnetic radiation sensor with diffractive optical element and aperture stop |
| US7692148B2 (en) | 2005-01-26 | 2010-04-06 | Analog Devices, Inc. | Thermal sensor with thermal barrier |
| US7718967B2 (en) | 2005-01-26 | 2010-05-18 | Analog Devices, Inc. | Die temperature sensors |
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