JPH08262090A

JPH08262090A - 液晶表示体用基板の検査装置

Info

Publication number: JPH08262090A
Application number: JP7086176A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Nakagome; 陽一中込; Hideto Yokomori; 秀人横森
Original assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: TERU ENG KK; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-03-18
Filing date: 1995-03-18
Publication date: 1996-10-11

Abstract

(57)【要約】【目的】ＬＣＤ用基板のアライメントを円滑且つ確実
に行なうことができるＬＣＤ用基板Ｓの検査装置を提供
する。【構成】本ＬＣＤ用基板Ｓの検査装置１０は、ＬＣＤ
用基板Ｓを載置する基板載置台４４と、この基板載置台
４４上に載置されたＬＣＤ用基板Ｓを照明しながらその
表面のクロスマークＭ₁、Ｍ₂を検出するアライメント機
構６２とを備え、アライメント後のＬＣＤ用基板Ｓの電
気的検査を行なう検査装置において、少なくとも基板載
置台４４の載置面４４ｃに黒色アルマイト処理を施して
黒色多孔質層膜４４ａたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示体（ＬＣＤ）
用基板の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＴＦＴ型ＬＣＤには、その部品と
してＬＣＤの画素データをＯＮ、ＯＦＦ制御する電気回
路が形成されたガラス基板がＬＣＤ用基板として用いら
れている。そして、このＬＣＤ用基板には複数の電気回
路が成膜装置等の処理装置を用いてマトリックス状に形
成され、後にそれぞれを個々に分割し、使用するように
している。マトリックス状に配列された個々の電気回路
には、その周辺に電気的接点となる電極パッドが多数形
成されている。そして、個々の電気回路の良否を判定す
るための電気的検査はＬＣＤ用基板の状態のまま検査装
置によって行なわれている。尚、電気的検査を行なう場
合には、ＬＣＤ用基板を正確に位置決めした後行なう必
要があるため、ＬＣＤ用基板上のコーナー部には例えば
クロスマークなどからなるアライメントマークが形成さ
れている。

【０００３】ところで、上記検査装置は、一般に、ＬＣ
Ｄ用基板を基板載置台に対してロード、アンロードする
ハンドリング部と、このハンドリング部から受け取った
ＬＣＤ用基板の電気的検査を行なう検査部とを備えてい
る。ハンドリング部はカセット内に例えば２５枚収納さ
れたＬＣＤ用基板を１枚ずつ取り出してハンドリングす
るように構成されている。このハンドリング部は、例え
ばカセットを載置するカセット載置部と、このカセット
載置部に載置されたカセット内のＬＣＤ用基板を１枚ず
つ取り出して検査部へ搬送する搬送装置とを備えてい
る。また、検査部は、ハンドリング部の搬送装置から受
け取ったＬＣＤ用基板を保持する基板載置台と、この基
板載置台上に載置されたＬＣＤ用基板を照明しながらア
ライメントマークを検出するアライメント機構と、この
アライメント機構の検出結果に基づいて駆動する基板載
置台によるアライメント後にＬＣＤ用基板の各電極パッ
ドと接触して電気的検査を行なうプローブ手段とを備え
ている。

【０００４】また、検査装置は、アライメント機構によ
り検出されたアライメントマークを撮像する例えばＣＣ
Ｄカメラ等の撮像手段、このＣＣＤカメラからの信号を
画像処理する画像処理手段、及び画像処理後の信号を受
信してアライメントマークを画像として表示する表示装
置を備えている。また、上記基板載置台は載置面の内側
に昇降ピンを有している。これらの昇降ピンは、載置面
から突出した時にＬＣＤ用基板を受け取って点支持した
後、載置面から退没してＬＣＤ用基板を載置面上にソフ
トランディングするようにしてある。この載置面の表面
には吸着用溝が形成され、この吸着用溝を介してＬＣＤ
用基板を載置面上で真空チャックしてＬＣＤ用基板を固
定するようにしてある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＬＣＤ用基板の検査装置の場合には、検査部の基板載置
台がアルミニウムなどの金属により形成され、その表面
に光沢があり、しかもその載置面がＬＣＤ用基板の面積
よりも大きいため、基板載置台上にＬＣＤ用基板を載置
すると載置面の外周縁部がＬＣＤ用基板からはみ出して
いる。従って、アライメント時にＬＣＤ用基板を照明す
ると、基板載置台のＬＣＤ用基板からはみ出した部分で
照明光を全反射しその反射光がＣＣＤカメラに入射し、
これをアライメントマークと共に画像処理するため、表
示装置の画面でハレーションを起こし、アライメントマ
ークが不鮮明になって正確なアライメントが難しくなる
という課題があった。

【０００６】また、従来のＬＣＤ用基板はその大きさが
最大、縦３７０mm×横４７０mm×厚さ１.１mmであった
が、最近はＬＣＤ用基板及び電気回路の作製技術が著し
く向上して来ているため、大型で薄いＬＣＤ用基板、例
えば縦５５０mm×横６５０mm×厚さ０.７mm程度の大き
さのＬＣＤ用基板が供給されるようになって来ている。
そのため、従来のＬＣＤ用基板の検査装置の場合には、
検査部の基板載置台によりＬＣＤ用基板を受け取る際、
基板載置台では複数の昇降ピンによりＬＣＤ用基板を点
支持しているため、昇降ピンを下げる時に、その支持状
態が不安定である上、ＬＣＤ用基板の周縁部がその自重
により撓み、この部分が若干ではあるが上下に振れるた
め、載置面へのソフトランディングを不安定にし、載置
面へのＬＣＤ用基板の引き渡しを円滑に行なうことがで
きないという課題があった。

【０００７】また、従来の上記基板載置台の場合には、
載置面に形成された吸着用溝が例えば１条ずつ所定間隔
をあけて外周から内方に向けて一様に形成され、しかも
各吸着用溝に設けられた吸引孔及び吸引通路を介して真
空排気するようにしてあるため、各吸着用溝に対して個
別に吸引孔及び吸引通路を設けなくてはならず、吸引通
路が多く、真空チャック構造が複雑であるという課題が
あった。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、液晶表示体用基板のアライメントを円滑且
つ確実に行なうことができる液晶表示体用基板の検査装
置を提供することを目的としている。また、本発明は、
液晶表示体用基板の大きさとは無関係に、搬送装置から
基板載置台への液晶表示体用基板の引き渡しを安定且つ
確実に行なうことができる液晶表示体用基板の検査装置
を提供することを目的としている。更に、本発明は、基
板載置台の真空チャック構造の吸引経路を４経路にする
と共に液晶表示体用基板を安定且つ確実に保持すること
ができる液晶表示体用基板の検査装置を提供することを
目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の液晶表示体用基板の検査装置は、液晶表示体用基板を
載置する載置台と、この載置台上に載置された液晶表示
体用基板を照明しながらその表面のアライメントマーク
を検出するアライメント機構とを備え、アライメント後
の液晶表示体用基板の電気的検査を行なう検査装置にお
いて、少なくとも上記載置台の載置面に艶消し処理を施
したことを特徴とするものである。

【００１０】また、本発明の請求項２に記載の液晶表示
体用基板の検査装置は、液晶表示体用基板を載置する載
置台と、この載置台上に載置された液晶表示体用基板を
照明しながらその表面のアライメントマークを検出する
アライメント機構とを備え、アライメント後の液晶表示
体用基板の電気的検査を行なう検査装置において、少な
くとも上記載置台の載置面に黒色アルマイト処理を施し
たことを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明の請求項３に記載の液晶表示
体用基板の検査装置は、液晶表示体用基板を載置する載
置台と、この載置台上に載置された液晶表示体用基板を
照明しながらその表面のアライメントマークを検出する
アライメント機構とを備え、アライメント後の液晶表示
体用基板の電気的検査を行なう検査装置において、上記
載置台を、液晶表示体用基板の中央部を面支持する中央
載置部と、この中央載置部の周縁で液晶表示体用基板を
支持する周縁載置部とに分割し、上記周縁載置部を上記
中央載置部から下降可能にしたことを特徴とするもので
ある。

【００１２】また、本発明の請求項４に記載の液晶表示
体用基板の検査装置は、請求項１〜請求項３のいずれか
一つに記載の発明において、上記載置台の載置面に、外
周長を異にする吸着用溝を複数設け、且つ各吸着用溝を
外周長を異にする２条の無端状溝及びこれらを連通する
複数の連通溝とから構成し、上記各無端状溝及び上記連
通溝のいずれかに吸引孔を設けたこと特徴とするもので
ある。

【００１３】また、本発明の請求項５に記載の液晶表示
体用基板の検査装置は、請求項４に記載の発明におい
て、上記各吸着用溝を、面積を異にする複数種の液晶表
示体用基板に対応して設けると共に、上記各吸着用溝に
よる吸着作用を個別制御可能にしたことを特徴とするも
のである。

【００１４】

【作用】本発明の請求項１に記載の発明によれば、アラ
イメント機構を用いて載置台上の液晶表示体用基板を照
明してアライメントマークを検出し、このアライメント
マークを基準にして液晶表示体用基板をアライメントし
た後、液晶表示体用基板の電気的検査を行なう。このア
ライメント時に、載置台の載置面の表面には艶消し処理
が施してあるため、液晶表示体用基板からはみ出した載
置面では照明光が乱反射するため、反射光に起因したハ
レーションを引き起こすことがなく、液晶表示体用基板
のアライメントマークを鮮明に検出することができる。
従って、アライメントマークを基準にしたアライメント
を正確且つ確実に行なうことができる。

【００１５】また、本発明の請求項２に記載の発明によ
れば、アライメント機構を用いて載置台上の液晶表示体
用基板を照明してアライメントマークを検出し、このア
ライメントマークを基準にして液晶表示体用基板をアラ
イメントした後、液晶表示体用基板の電気的検査を行な
う。このアライメント時に、載置台の載置面の表面には
黒色アルマイト処理が施してあるため、液晶表示体用基
板からはみ出した載置面では照明光が乱反射するため、
反射光に起因したハレーションを引き起こすことがな
く、液晶表示体用基板のアライメントマークを鮮明に検
出することができる。従って、アライメントマークを基
準にしたアライメントを正確且つ確実に行なうことがで
きる。

【００１６】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、アライメント機構を用いて載置台上の液晶表示体
用基板を照明してアライメントマークを検出し、このア
ライメントマークを基準にして液晶表示体用基板をアラ
イメントした後、液晶表示体用基板の電気的検査を行な
う。このアライメントの直前に、例えば搬送装置から載
置台上に液晶表示体用基板を受け取る時には、載置台で
はまず周縁載置部が中央載置部から下降し、中央載置部
で液晶表示体用基板の中央部を面支持した後周縁載置部
が上昇して液晶表示体用基板の載置動作が完了する。こ
の際、液晶表示体用基板を支持した中央載置部が静止し
て動かないため、中央載置部上の液晶表示体用基板は静
止して安定しており、周縁載置部が上昇しても載置台に
より液晶表示体用基板を円滑に受け取ることができる。

【００１７】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記載置台上で液晶表示体用基板を保持する
際に、吸引孔を介して真空排気すると、吸着用溝の無端
状溝及び連結溝において液晶表示体用基板を吸着するた
め、少ない吸引孔で大きな吸着力を得ることができる。

【００１８】また、本発明の請求項５に記載の発明によ
れば、請求項４に記載の発明において、載置する液晶表
示体用基板の大きさが切り替わる時には、その液晶表示
体用基板の大きさに即して上記各吸着用溝による吸着作
用を個別に制御することができる。

【００１９】

【実施例】以下、図１〜図６に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。本実施例のＬＣＤ用基板の検査装置１
０は、例えば図１に示すように、ＬＣＤ用基板Ｓをロー
ド、アンロードするハンドリング部１１と、このハンド
リング部１１から受け取ったＬＣＤ用基板Ｓの電気的検
査を行なう検査部１２とを備えて構成されている。そし
て、これらのハンドリング部１１と検査部１２は互いに
隣合って並設されている。更に、ハンドリング部１１
は、ＬＣＤ用基板Ｓを例えば２５枚単位で収納するカセ
ットＣを載置する、カセット載置部１３と、このカセッ
ト載置部１３上に載置されたカセットＣ内のＬＣＤ用基
板Ｓを１枚ずつ取り出して検査部１２へ搬送する搬送装
置１４とを備えている。上記カセットＣの正面にはＬＣ
Ｄ用基板Ｓを出し入れする開口部が全面に形成されてい
る。また、カセットＣの内側面には図示しない支持溝が
上下方向で所定間隔をあけて形成され、これらの支持溝
によりＬＣＤ用基板Ｓを水平に支持するようにしてあ
る。

【００２０】また、本実施例のＬＣＤ用基板の検査装置
１０は、自動搬送車（図示せず）との間でカセットＣを
自動的に授受するように構成されている。即ち、ハンド
リング部１１の正面（図１の左側）を基準にした右側方
（図１では手前側）にはカセットＣを載置する上述のカ
セット載置部１３が２箇所に設けられており、これらの
カセット載置部１３は正面側から奥行方向（図１の右
側）に向けて所定間隔をあけて縦列に２箇所配置されて
いる。このカセット載置部１３は必要に応じて更に増設
することができる。そして、各カセット載置部１３には
自動搬送車のアーム（図示せず）が侵入する溝空間１５
が装置正面に対して平行に形成され、この溝空間１５内
でカセットＣを保持したアームが昇降し、カセットＣが
溝空間１５を跨いだ状態でカセット載置部１３上へカセ
ットＣを載置するようにしてある。従って、溝空間１５
の幅はカセットＣの幅よりも広く形成されている。尚、
上記自動搬送車は図示しないホストコンピュータとの交
信に基づいて前工程のＬＣＤ用基板Ｓをカセット単位で
検査装置１０まで搬送し、検査後には後工程へ搬送する
ようにしてある。また、図示してないがカセット載置部
１３にはカセットＣのコーナー部に係合する位置決め部
材が設けられている。

【００２１】また、ハンドリング部１１の側面にはカセ
ットＣを検出するカセット検出装置１６が溝空間１５の
両側に位置させて配設されている。このカセット検出装
置１６は、発光ダイオードなどからなる発光素子を有す
る発光部１６Ａと、この発光部１６Ａからの光線を受光
する受光素子を有する受光部１６Ｂとを備えたラインセ
ンサとして構成されている。これら発光部１６Ａ及び受
光部１６Ｂは溝空間１５の両側にカセットＣを挟むよう
に配設され、これら両者１６Ａ、１６Ｂ間での光線の遮
断によりカセットＣを検出し、それを認識するようにし
てある。また、ハンドリング部１１の側面には自動搬送
車との間で例えば光通信を行なう通信手段１７が各溝空
間１５の下方に位置させて配設され、この通信手段１７
が自動搬送車との間で光通信を行なうことによりカセッ
トＣの搬入、搬出動作を行なうようにしてある。

【００２２】また、カセット載置部１３の載置面には物
体検出装置１８が外側に偏倚させて配設されている。こ
の物体検出装置１８は、例えば正面側（図１では端左
側）に配設された発光部１８Ａと、最奥側（図１では右
端側）に配設された受光部１８Ｂとを備え、両者１８
Ａ、１８Ｂ間の光線によりカセットＣ及びそれ以外の物
体を検出するラインセンサとして構成されている。即
ち、自動搬送車との間でカセットＣの授受を行なうと、
発光部１８Ａからの光線が遮断され、カセットＣを授受
した旨の信号を図示しないコンピュータへ送信し、後述
する搬送装置１４等の駆動部を作動させるようにしてあ
る。更に、カセットＣの通過範囲から外れた位置で光線
が遮断されれば、カセット検出装置１６によりカセット
Ｃを検出してもカセットＣ以外の物体が障害物としてハ
ンドリング部内に侵入した旨の信号をコンピュータへ送
信し、各駆動部の作動を阻止すると共にパイロットライ
ト等の警告灯１９を点燈したり、警告ブザーを鳴らして
異常を知らせるようにしてある。

【００２３】上記カセット載置部１３にはカセットＣ内
に収納されたＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数する計数
装置２０が配設されている。この計数装置２０は発光部
２０Ａ及び受光部２０Ｂからなり、これら両者２０Ａ、
２０Ｂは溝空間１５の両側に形成された開口部２１に配
設されている。そして、発光部２０Ａと受光部２０Ｂは
溝空間１５の下方で連結され、ボールネジなどの駆動機
構（図示せず）により開口部２１において昇降するよう
に構成されている。従って、計数装置２０が開口部２１
において昇降する間に光線が遮断された回数などを計数
することによりＬＣＤ用基板Ｓの収納枚数を計数するよ
うにしてある。

【００２４】また、図１に示すようにカセット載置部１
３の内方で溝空間１５の両側にはカセットＣの高さをカ
バーするイオナイザ２２がそれぞれ配設され、各イオナ
イザ２２によりカセットＣの両側からカセットＣに帯電
した静電気を除去するようにしてある。また、カセット
Ｃの上方にはバーコードリーダなどからなるカセット識
別装置２３が配設され、このカセット識別装置２３によ
りカセットＣ上面に形成されたバーコードなどの識別符
号２４を読取り、ＬＣＤ用基板Ｓをロッド単位で識別す
ると共に、その読取り内容に応じて検査部１２が動作す
るようにしてある。この識別符号２４は検査内容を示す
検査情報を表示している。そして、ハンドリング部１１
の状況はハンドリング部１１内に設けられたＣＣＤカメ
ラなどを介してハンドリング部１１正面の表示装置２５
に表示するようにしてある。この表示装置２５は操作パ
ネルとしても機能するようにしてある。

【００２５】上記搬送装置１４は、図１に示すように、
カセット載置部１３と検査部１２の間に形成された空間
に配設され、この空間でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向及びθ
方向で移動できるようにしてある。この搬送装置１４
は、上下に互いに平行に配置された２枚のアーム２６、
２７と、各アーム２６、２７を支持する支持板２８とを
有し、停止時には図１、図２に示すように奥行方向（Ｘ
方向）と直交するＹ方向を向いて配設されている。そし
て、上記各アーム２６、２７は支持板２８上で移動でき
るようにしてある。また、支持板２８は昇降駆動機構を
構成するボールネジ２９を介して下方の回転体３０に連
結されている。これにより、各アーム２６、２７は、ボ
ールネジ２９を介して上下方向（Ｚ方向）で移動し、回
転体３０を介してθ方向で正逆回転するようにしてあ
る。上記ボールネジ２９は、例えば図示しないナット
（またはウォームギヤー）及びモータにより回転するよ
うに構成されている。

【００２６】上記回転体３０は、図２に示すように、Ｘ
テーブル３１上に配設されている。このＸテーブル３１
の下方には正面側から最奥部に至る基台３２が配設さ
れ、この基台３２上面には正面側から最奥部に至るＸ方
向のボールネジ３３及びこのボールネジ３３を挟む一対
のレール３４がそれぞれ配設されている。そして、ボー
ルネジ３３にはＸテーブル３１の裏面に取り付けられた
ナット３５が螺合し、一対のレール３４にはＸテーブル
３１の裏面に取り付けられた係合部材３６が係合し、ボ
ールネジ３３に連結されたパルスモータ３７により、Ｘ
テーブル３１がカセット載置部１３に沿って往復移動す
るようにしてある。

【００２７】上記アーム２６、２７は例えばいずれも図
２に示すように同一形状に形成され、各アーム２６、２
７は互いに独立して駆動するようにしてある。そして、
例えば上方のアーム２６はカセットＣ内からＬＣＤ用基
板Ｓを取り出し、後述する検査部１２の基板載置台上へ
ＬＣＤ用基板Ｓをロードするアームとして用いられ、ま
た、下方のアーム２７は基板載置台から検査済みのＬＣ
Ｄ用基板Ｓをアンロードするアームとして用いられる。
従って、以下の説明では上方のアーム２６をロードアー
ム２６と称し、下方のアーム２７をアンロードアーム２
７と称する。また、各アーム２６、２７の上面には孔が
形成され、それぞれの裏面側に取り付けられた図示しな
い吸引配管及び真空排気装置（図示せず）を介してアー
ム上のＬＣＤ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。

【００２８】各アーム２６、２７はいずれも同様に構成
されているため、ロードアーム２６について説明する
と、ロードアーム２６は、図２に示すように、連結部材
３９を介してＹ方向駆動機構４０に連結されている。こ
れによりロードアーム２６は支持板２８上でＹ方向で往
復移動できるようになっている。このＹ方向駆動機構４
０は、支持板２８の長手方向側縁の先端部に配設された
パルスモータ４０Ａと、支持板２８の長手方向側縁の後
端部に配設された回転ローラ４０Ｂと、これら両者４０
Ａ、４０Ｂ間に掛け回された無端状のタイミングベルト
４０Ｃとを備え、このタイミングベルト４０Ｃに連結部
材３９を介してロードアーム２６が連結されている。ま
た、アンロードアーム２７は支持板２８上で上記Ｙ方向
駆動機構４０と同様に構成されたＹ方向駆動機構（図示
せず）に連結されている。従って、各アーム２６、２７
は、それぞれ支持板２８上をＹ方向で互いに独立して往
復移動するようになっている。これらの各部材はいずれ
も合成樹脂などの絶縁性部材により形成されている。
尚、Ｙ方向駆動機構４０はボールネジなどによって構成
されたものであっても良い。

【００２９】また、上記回転体３０上にはこの上でθ方
向に正逆回転するプリアライメント機構４２が配設さ
れ、このプリアライメント機構４２によりカセットＣか
ら受け取ったＬＣＤ用基板Ｓを検査部１２の基板載置台
に引き渡す前にプリアライメントするようにしてある。
このプリアライメント機構４２の載置面４２Ａには真空
吸着用の孔４２Ｂが形成され、この孔４２ＢによりＬＣ
Ｄ用基板Ｓを真空吸着するようにしてある。そして、支
持板２８には上記プリアライメント機構４２の上方で開
口する開口部２９Ａが形成され、ボールネジ２９により
ロードアーム２６及びアンロードアーム２７が下降した
時に、開口部２９Ａから支持板２８の上方へ突出し、各
アーム２６、２７からＬＣＤ用基板Ｓを受け取ってＬＣ
Ｄ用基板Ｓをプリアライメントするようにしてある。

【００３０】また、上記カセット載置部１３から検査部
１２へＬＣＤ用基板Ｓを搬送する経路にはロードアーム
２６上で支持されたＬＣＤ用基板Ｓの周縁の一部に形成
されたバーコード等の識別符号（図示せず）を読取る基
板識別装置４３が配設され、ロードアーム２６により検
査部１２へ引き渡すＬＣＤ用基板Ｓを１枚ずつ識別し、
その識別内容に従って電気的検査を行なうようにしてあ
る。尚、上記識別符号はＬＣＤ用基板Ｓの特徴を表わす
情報を表示してあり、この情報に従って検査部１２にお
いて検査するようにしてある。

【００３１】更に、上記検査部１２には基板載置台４４
が検査部１２に形成された空間内でＸ方向、Ｙ方向、Ｚ
方向及びθ方向で移動可能に配設されている。即ち、基
板載置台４４は、図１に示すように、Ｙテーブル４５上
に配設されている。このＹテーブル４５はＸテーブル４
６上面にそれぞれ配設されたボールネジ４７及びこの両
側のレール４８を介してＹ方向で移動するようにしてあ
る。また、Ｘテーブル４６は基台４９上面にそれぞれ配
設されたボールネジ５０及びこの両側のレール５１を介
してＸ方向で移動するようにしてある。

【００３２】上記基板載置台４４は例えばアルミニウム
によって成形されている。そして、この基板載置台４４
の表面には艶消し処理としてアルミニウムの陽極酸化に
よりアルマイト処理が施されている。このアルマイト処
理により図３の（ａ）で示すように基板載置台４４はア
ルミナからなる多孔質層膜４４ａによってアルミニウム
金属４４ｂが被覆されている。この多孔質層膜４４ａの
微細孔は必要に応じれ適宜調整することができる。更
に、本実施例では、アルマイト処理後に染色処理により
黒色を呈するようにしてある。このような黒色アルマイ
ト処理を施すことにより、アライメント時に照射光が基
板載置台４４の載置面４４ｃに入射しても、その光線が
載置面４４ｃで乱反射されると共、光が吸収されること
により、載置面４４ｃからの反射光に起因するハレーシ
ョンを防止することができ、ＬＣＤ用基板Ｓのアライメ
ントマークを鮮明に検出することができる。

【００３３】上記基板載置台４４は、円形状の中央載置
部４４Ａを上端に有するロッド４４Ｂと、このロッド４
４Ｂの中央載置部４４Ａを囲む矩形状の周縁載置部４４
Ｃと、この周縁載置部４４Ｃの下方に配設された筐体４
４Ｄと、この筐体４４Ｄ内に配設された駆動源例えばエ
アシリンダ４４Ｅとを備えている。そして、周縁載置部
４４Ｃの裏面にはエアシリンダ４４Ｅのシリンダロッド
が連結され、エアシリンダ４４Ｅにより周縁載置部４４
Ｃがロッド４４Ｂの中央載置部４４Ａから下降するよう
にしてある。これにより、本実施例では、基板載置台４
４の載置面４４ｃが、ＬＣＤ用基板Ｓの中央部を面支持
する中央載置部４４Ａと、この中央載置部４４Ａの周縁
でＬＣＤ用基板Ｓを支持する周縁載置部４４Ｃとに分割
されている。しかも、周縁載置部４４Ｃがエアシリンダ
４４Ｅを介して中央載置部４４Ａから下降可能に構成さ
れていることになる。

【００３４】上記中央載置部４４Ａは、図４の（ａ）に
示すように、周縁載置部４４Ｃの中央部に形成された凹
部４４Ｆ内に収納され、収納された状態でこれら両者４
４Ａ、４４Ｃの表面に段差ができないようにしてある。
そして、この凹部４４Ｆの中心にロッド４４Ｂの貫通孔
４４Ｇが形成されている。従って、エアシリンダ４４Ｅ
により周縁載置部４４Ｃが中央載置部４４Ａから下降し
た時、搬送装置１４の各アーム２６、２７が図４の
（ｂ）で示すようにロッド４４Ｂを挟むようにして進出
し、各アーム２６、２７と基板載置台４４との間でＬＣ
Ｄ用基板Ｓをを授受するようにしてある。

【００３５】更に、図３の（ｂ）に示すように、上記中
央載置部４４Ａと上記周縁載置部４４Ｃの載置面４４ｃ
にはＬＣＤ用基板Ｓを吸着するための吸着用溝５２、５
３、５４、５５が載置面４４ｃの外周側から内方に向け
てそれぞれ所定間隔をあけて設けられている。即ち、各
吸着用溝５２、５３、５４、５５はそれぞれ外周長を異
にしている。そして、外周側の３つの吸着用溝５２、５
３、５４は矩形状の周縁載置部４４Ｃの外形に即して矩
形状に形成され、最後の吸着用溝５５は中央載置部４４
Ａの外形に即して円形状に形成されている。しかも、吸
着用溝５２は、それぞれ外周長を異にする２条の無端状
溝５２Ａ、５２Ｂ及びこれらを連通する複数の連通溝５
２Ｃとから構成されている。そして、外側の無端状溝５
２Ａと連通溝５２Ｃの交差点には所定間隔をあけて１２
個の吸引孔５２Ｄが設けられている。

【００３６】これらの吸引孔５２Ｄは周縁載置部４４Ｃ
の内部に形成された吸引用通路（図示せず）及び吸引用
配管５６を介して真空排気ポンプ５７に連通している。
この吸引用配管５６には電動バルブ５８が配設されてい
る。そして、真空排気ポンプ５７及び電動バルブ５８は
それぞれ制御配線５９、６０を介してコントローラ６１
に接続され、コントローラ６１により吸着用溝５２の作
用を制御できるようにしてある。他の吸着用溝５３、５
４、５５も図３の（ｂ）に示すように吸着用溝５２と同
様に構成されているため、その詳細を示す符号は省略す
る。

【００３７】従って、周縁載置部４４Ｃの各吸着用溝５
２、５３、５４及び中央載置部４４Ａの吸着用溝５５そ
れぞれの吸着作用は、真空排気ポンプ５７を駆動させた
状態で、コントローラ６１により各電動バルブ５８の開
閉制御して個別に制御することができる。例えば、基板
載置台４４が搬送装置１４からＬＣＤ用基板Ｓを受け取
る際に、図４の（ｂ）で示すようにＬＣＤ用基板Ｓが載
置された中央載置部４４Ａの吸着用溝５５を作用させる
と、中央載置部４４Ａ上でＬＣＤ用基板Ｓを真空チャッ
クして固定するとができ、ＬＣＤ用基板Ｓを静止した状
態で確実且つ安定的に保持することができ、搬送装置１
４との間のＬＣＤ用基板Ｓの授受を円滑に行なうことが
できる。

【００３８】また、コントローラ６１により各電動バル
ブ５８の開閉制御することにより、例えば図３の（ｂ）
に二点鎖線で示すように面積の大きいＬＣＤ用基板Ｓを
保持する場合には全ての吸着用溝５２、５３、５４、５
５を使用し、一点鎖線で示すように面積の小さなＬＣＤ
用基板Ｓ'を保持する場合には吸着用溝５２以外の吸着
用溝を使用するようにすれば良く、ＬＣＤ用基板Ｓの大
きさに即して吸着用溝を効果的に使用することができ、
しかも各吸着用溝５２、５３、５４、５５はいずれも２
条の無端状溝と連通溝とからなっているため、吸着力が
強く、ＬＣＤ用基板Ｓを確実且つ安定的に保持すること
ができる。

【００３９】また、上記検査部１２内のアライメント位
置には、図１に示すように、細長形状のアライメント機
構６２がＸ方向に向けてヘッドプレート６３（図５参
照）上に固定されている。このアライメント機構６２
は、図５に示すように構成され、ＬＣＤ用基板Ｓを保持
した基板載置台４４がアライメント位置に達した時に、
図６で示すようにＬＣＤ用基板Ｓの一側縁に所定間隔を
あけて形成された２つのアライメントマーク（例えば、
クロスマーク）Ｍ₁、Ｍ₂を検出し、これらのクロスマー
クＭ₁、Ｍ₂を基準にしてＬＣＤ用基板Ｓのアライメント
を行なうように構成されている。

【００４０】即ち、上記アライメント機構６２は、細長
形状の筐体６２Ａ内の一端部に収納された照明用の光源
６２Ｂと、この光源６２Ｂ側に配設された第１反射鏡６
２Ｃと、この反射鏡６２Ｃから離間した位置で互いに対
向して配設された第２反射鏡６２Ｄと、これら両者６２
Ｃ、６２Ｄ間に位置し、これらよりもやや上方に配設さ
れた第３反射鏡６２Ｅと、この反射鏡６２Ｅを第１、第
２反射鏡６２Ｃ、６２Ｄの間に進退動させる電磁プラン
ジャー等からなる駆動手段６２Ｆとを備えて構成されて
いる。また、第１反射鏡６２Ｃの下方にはこれに対向す
るＣＣＤカメラ６４が配設されている。尚、上記筐体６
２Ａは下面が開口し、この開口がヘッドプレート６３に
より閉止された状態になっている。

【００４１】第１反射鏡６２ＣはＣＣＤカメラ６４のレ
ンズ６４Ａの光軸に対して４５°の傾斜角で交差する状
態で鏡面を第２、第３反射鏡６２Ｄ、６２Ｅに向けて配
置されている。また、第１反射鏡６２Ｃは、光源６２Ｂ
の光線を透過するハーフミラーとして形成されている。
第２、第３反射鏡６２Ｄ、６２Ｅはいずれも第１反射鏡
６２Ｃとはその傾斜方向が逆になっており、これら両者
６２Ｄ、６２Ｅの間隔はＬＣＤ用基板Ｓのクロスマーク
Ｍ₁、Ｍ₂の間隔と一致するようにしてある。更に、ヘッ
ドプレート６３には各反射鏡６２Ｃ、６２Ｄ、６２Ｅの
下方に位置する開口部６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃが形成さ
れている。尚、これらの開口部６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃ
は一体化した細長形状の開口部として形成しても良い。

【００４２】従って、クロスマークＭ₁を検出する場合
には図５に示すように駆動手段６２Ｆにより第３反射鏡
６２Ｅを筐体６２Ａの上方へ後退させた状態にする。こ
の状態で光源６２ＢをＯＮすると、その光線は第１反射
鏡６２Ｃを透過して第２反射鏡６２Ｄに到達し、そこで
進行方向を９０°変更し、開口部６３Ｃを介してクロス
マークＭ₁に達してこれを照明する。クロスマークＭ₁か
らの反射光線は第２反射鏡６２Ｄ、第１反射鏡６２Ｃに
より進行方向が変更されて開口部６３Ａを介してＣＣＤ
カメラ６４に達する。これにより、クロスマークＭ₁は
ＣＣＤカメラ６４により撮像されることになる。クロス
マークＭ₂を検出する場合には、第３反射鏡６２Ｅを筐
体６２Ａ内に進出させる。これにより、光源６２Ｂは第
３反射鏡６２Ｅを介してその下方のクロスマークＭ₂を
照明し、後は上述したようにそのクロスマークＭ₂がＣ
ＣＤカメラ６４によって撮像される。

【００４３】また、ＣＣＤカメラ６４からの画像信号
は、画像処理手段（図示せず）により画像処理されて検
査部１２の正面に配設された表示装置６５へ送信され、
その表示画面にクロスマークＭ₁またはＭ₂映し出される
ようになっている。従って、クロスマークＭ₁、Ｍ₂を結
ぶ線がＸ方向から傾斜しておれば、コンピュータを介し
て基板載置台４４を回転させることによりアライメント
することができる。

【００４４】また、上記ＣＣＤカメラ６４はヘッドプレ
ート６３に固定されたプローブ針を撮像し、検査時の基
準となる２本のプローブ針に基づいて基板載置台４４の
位置決めを行なうようにしてある。この基板載置台４４
はＬＣＤ用基板Ｓを検査部１２のプローブ針（図示せ
ず）の真下まで移動した後、基板載置台４４を上昇させ
てプローブ針にＬＣＤ用基板Ｓの電極パッドをプローブ
針に接触させて電気的検査を行なうようにしてある。
尚、基板載置台４４とプローブ針間の距離は例えば静電
容量センサなどからなるハイトセンサ（図示せず）によ
り検出するようにしてある。

【００４５】次に動作について説明する。ＬＣＤ用基板
を検査する場合には、まず、ホストコンピュータから自
動搬送車に対してＬＣＤ用基板の供給指令が送信され
る。自動搬送車は、この指令により前工程からカセット
単位でＬＣＤ用基板Ｓを受け取って検査装置１０まで走
行し、図１で示す検査装置１０の通信手段１７と対峙し
た位置で停止する。然る後、自動搬送車が通信手段１７
を介して検査装置１０との間で通信すると、検査装置１
０ではカセットＣの受け入れ態勢ができる。これにより
カセットＣを保持した自動搬送車のアームが駆動し、こ
のアームによるカセットＣの搬入動作が開始すると、ま
ずカセット検出装置１６がそのカセットＣを検出し、カ
セットＣの搬入を検出し、搬送装置１４などの駆動部が
始動する。次いでカセット載置部１３において物体検出
装置１８がそのカセットＣを検出すると駆動部はそのま
ま駆動すると共にカセットＣをカセット載置部１３上へ
載置する。ところがこの時、物体検出装置１８がカセッ
トＣと共に、カセットＣの通過範囲外でカセットＣ以外
の物体を検出すると、この物体が検査に不要な障害物の
侵入と判断し、各駆動部を緊急停止させる。

【００４６】障害物を検出することなくカセットＣを載
置すると、カセット識別装置２３がカセットＣのバーコ
ード２４を検出して検査すべきＬＣＤ用基板Ｓをロッド
単位で識別し、その識別結果を検査部１２の制御装置に
送信し、その識別結果に基づいた検査を行なう態勢を採
る。この動作と並行してイオナイザ２２がカセットＣの
両側面において左右に振れ、カセットＣに帯電した静電
気を除去して電気的に中和する。

【００４７】この時、例えば搬送装置１４は先端をカセ
ット載置部１３側に向け、ロードアーム２６及びアンロ
ードアーム２７が図２に示すように互いに上下の位置に
ある。その態勢から昇降駆動機構のボールネジ２９が上
述のように駆動し、ロードアーム２６が支持板２８と共
に下降して取り出すべきＬＣＤ用基板Ｓのやや下方に達
すると、ボールネジ２９が停止する。引き続いてＹ方向
駆動機構４０のモータ４０Ａの正回転によりタイミング
ベルト４０Ｃが回転すると、ロードアーム２６が支持板
２８上で前方に進出しカセットＣ内に侵入する。そし
て、再びボールネジ２９が駆動し、ロードアーム２６で
ＬＣＤ用基板Ｓを持ち上げる。

【００４８】その後、Ｙ方向駆動機構４０のモータ４０
Ａが逆回転すると、タイミングベルト４０Ｃを介してロ
ードアーム２６がアンロードアーム２８の位置まで後退
する。ロードアーム２７が後退する途中で、プリアライ
メント機構４２によりＬＣＤ用基板Ｓのプリアライメン
トを行なう。ロードアーム２７が後退した後、搬送装置
１４はＸ方向へ移動し、検査部１２のアライメント位置
へ到達するが、この間に回転体３０がθ方向で１８０°
回転し、先端を検査部１２に向ける。

【００４９】その後引き続きＹ方向駆動機構４０が駆動
し、検査部１２のアライメント位置で既に待機する基板
載置台４４に向けて進出し、図４に示すようにロードア
ーム２６のＬＣＤ用基板Ｓを基板載置台４４上へ引き渡
す。この時、基板載置台４４では、エアシリンダ４４Ｅ
により周縁載置部４４Ｃが下降し、この状態で搬送装置
１４のロードアーム２６が進出し、ロードアーム２６が
下降する。この間にロードアーム２６による吸着作用が
解除される。この解除と並行してコントローラ６１（図
３の（ｂ）参照）の制御下で中央載置部４４Ａの吸着用
溝５５による吸着作用が始まり、中央載置部４４Ａ上で
ＬＣＤ用基板Ｓを確実に吸着保持する。その後、中央載
置部４４Ａが停止した状態で再びエアシリンダ４４Ｅに
より周縁載置部４４Ｃが上昇すると共に周縁載置部４４
Ｃの吸着用溝５２、５３、５４の吸着作用が開始する。
そのため、周縁載置部４４Ｃと中央載置部４４Ａの載置
面４４ｃが同一平面になると、ＬＣＤ用基板Ｓ全面を吸
着してＬＣＤ用基板Ｓを確実に保持する。各吸着用溝５
２〜５５はいずれも無端状溝、連通溝からなっているた
め、その吸着作用が強く、大きなＬＣＤ用基板Ｓであっ
ても確実且つ安定的にそれを保持することができる。

【００５０】上述のようにして基板載置台４４によりＬ
ＣＤ用基板Ｓを保持すると、アライメント機構６２を介
してＬＣＤ用基板ＳのクロスマークＭ₁、Ｍ₂を検出し、
この検出信号に基づいて基板載置台４４が駆動してＬＣ
Ｄ用基板をアライメントする。この時にアライメント機
構６２では光源６２ＢによりクロスマークＭ₁またはＭ₂
を照明するが、これと同時にＬＣＤ用基板Ｓからはみ出
した基板載置台４４の載置面４４ｃをも照明することに
なる。ところが、本実施例では、載置面４４ｃが黒色ア
ルマイト処理され、その多孔質層膜４４ａにより光線が
乱反射されると共に光線が吸収されるため、ＣＣＤカメ
ラ６４への反射光の入射が格段に軽減される。その結
果、表示装置６５の表示画面でのハレーションを防止
し、アライメントマークＭ₁、Ｍ₂を表示画面上に鮮明に
映し出し、ＬＣＤ用基板Ｓのアライメントを正確且つ確
実に行なうことができる。アライメント後には、プロー
ブ針の下方まで移動してＬＣＤ用基板Ｓの電気的検査を
行なう。

【００５１】電気的検査の間に、搬送装置１４がカセッ
トＣまで移動して次のＬＣＤ用基板Ｓを取り出し、更
に、アライメント位置まで移動して検査の終了を待機す
る。検査が終了すると、基板載置台４４がアライメント
位置側に来て既に待機している搬送装置１４と対峙す
る。すると、搬送装置１４のアンロードアーム２７が基
板載置台４４に向けて進出し、検査済みのＬＣＤ用基板
Ｓをアンロードする一方、ロードアーム２６が進出して
基板載置台４４上に次に検査すべきＬＣＤ用基板Ｓをロ
ードする。以後は同様の動作を繰り返す。

【００５２】そして、カセットＣ内の全てのＬＣＤ用基
板Ｓの検査が終了すると、検査部１２の制御装置からホ
ストコンピュータにその旨の信号を送信し、更に、ホス
トコンピュータは自動搬送車に搬出指令を送信し、自動
搬送車により検査済みのＬＣＤ用基板Ｓを検査装置１０
搬出し、後工程へ搬送する。

【００５３】以上説明したように本実施例によれば、検
査部１２の基板載置台４４の載置面４４ｃに黒色アルマ
イト処理により黒色の多孔質層膜４４ａを施したため、
黒色の多孔質層膜４４ａにより光線が乱反射されると共
に光線が吸収されるため、ＣＣＤカメラ６４への反射光
の入射が格段に軽減される。その結果、表示装置６５の
表示画面でのハレーションを防止し、アライメントマー
クＭ₁、Ｍ₂を表示画面上に鮮明に映し出し、ＬＣＤ用基
板Ｓのアライメントを正確且つ確実に行なうことができ
る。

【００５４】また、本実施例によれば、上記基板載置台
４４を、ＬＣＤ用基板Ｓの中央部を面支持する中央載置
部４４Ａと、この中央載置部４４Ａの周縁でＬＣＤ用基
板Ｓを支持する周縁載置部４４Ｃとに分割し、しかも周
縁載置部４４Ｃを中央載置部４４Ａから下降可能に構成
したため、まず周縁載置部４４Ｃから突出した中央載置
部４４ＡでＬＣＤ用基板Ｓを受け取り、周縁載置部４４
Ｃが上昇するまで中央載置部４４Ａは常に静止し、しか
も吸着用溝５５で真空チャックしているため、ＬＣＤ用
基板Ｓは中央載置部４４Ａにより安定且つ確実に保持さ
れ、搬送装置１４からのＬＣＤ用基板Ｓの授受を円滑且
つ確実に行なうことができる。

【００５５】また、本実施例によれば、上記基板載置台
４４の載置面４４ｃに、外周長を異にする吸着用溝５２
〜５５を設け、且つ各吸着用溝５２〜５５を外周長を異
にする２条の無端状溝５２Ａ、５２Ｂ等及びこれらを連
通する連通溝５２Ｃ等とから構成したため、吸着用溝５
２〜５５の吸着作用が強く、大きなＬＣＤ用基板Ｓであ
っても確実且つ安定的にそれを保持することができる。
また、吸着用溝５２〜５５は複数の溝を連通して構成さ
れているため、吸引孔及び吸引通路の数を軽減してこれ
らの構造を簡素化することができ、しかも大きな吸着力
を確保することができる。

【００５６】また、本実施例によれば、上記各吸着用溝
５２〜５５を、面積を異にする複数種のＬＣＤ用基板Ｓ
に対応して設けると共に、上記各吸着用溝５２〜５５に
よる吸着作用を個別制御できるようにしたため、ＬＣＤ
用基板Ｓのサイズが変更しても、各サイズのＬＣＤ用基
板Ｓを基板載置台４４により確実に保持するとができ
る。

【００５７】尚、本発明は、上記実施例に何等制限され
るものではなく、各構成要素は必要に講じて適宜設計変
更することができる。例えば、載置面４４ｃの艶消し処
理としてはアルマイト処理以外の粗面処理であっても良
く、要は反射光を乱反射してＣＣＤカメラ６４への反射
光を軽減できるような処理であれば良い。また、本実施
例では全自動対応の検査装置について説明したが、カセ
ットの搬入、搬出をオペレータが行なう装置についても
適用できることは言うまでもない。

【００５８】

【発明の効果】本発明の請求項１及び請求項２に記載の
発明によれば、液晶表示体用基板のアライメントを円滑
且つ確実に行なうことができる液晶表示体用基板の検査
装置を提供することができる。

【００５９】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、液晶表示体用基板の大きさとは無関係に、搬送装
置から基板載置台への液晶表示体用基板の引き渡しを安
定且つ確実に行なうことができる液晶表示体用基板の検
査装置を提供することができる。

【００６０】また、本発明の請求項４及び請求項５に記
載の発明によれば、基板載置台の真空チャック構造の吸
引経路を４経路にすると共に液晶表示体用基板を安定且
つ確実に保持することができる液晶表示体用基板の検査
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す全体斜視図
である。

【図２】図１に示す検査装置に用いられる搬送装置を示
す側面図である。

【図３】図１に示す検査装置に用いられる基板載置台の
平面図である。

【図４】図１に示す検査装置に用いられる基板載置台に
よるＬＣＤ用基板の授受を説明するための要部断面図で
ある。

【図５】図３に示す基板載置台上がアライメント位置に
移動した状態の時の一部を破断して示す側面図である。

【図６】ＬＣＤ用基板を示す平面図である。

【符号の説明】

１０検査装置４４基板載置台４４ａ多孔質層膜（黒色アルマイト処理部）４４ｃ載置面４４Ａ中央載置部４４Ｃ周縁載置部５２吸着用溝５２Ａ無端状溝５２Ｂ無端状溝５２Ｃ連通溝５２Ｄ吸引孔５３吸着用溝５４吸着用溝５５吸着用溝６１コントローラ６２アライメント機構Ｍ₁ クロスマークＭ₂ クロスマークＳＬＣＤ用基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液晶表示体用基板を載置する載置台と、
この載置台上に載置された液晶表示体用基板を照明しな
がらその表面のアライメントマークを検出するアライメ
ント機構とを備え、アライメント後の液晶表示体用基板
の電気的検査を行なう検査装置において、少なくとも上
記載置台の載置面に艶消し処理を施したことを特徴とす
る液晶表示体用基板の検査装置。
【請求項２】液晶表示体用基板を載置する載置台と、
この載置台上に載置された液晶表示体用基板を照明しな
がらその表面のアライメントマークを検出するアライメ
ント機構とを備え、アライメント後の液晶表示体用基板
の電気的検査を行なう検査装置において、少なくとも上
記載置台の載置面に黒色アルマイト処理を施したことを
特徴とする液晶表示体用基板の検査装置。
【請求項３】液晶表示体用基板を載置する載置台と、
この載置台上に載置された液晶表示体用基板を照明しな
がらその表面のアライメントマークを検出するアライメ
ント機構とを備え、アライメント後の液晶表示体用基板
の電気的検査を行なう検査装置において、上記載置台
を、液晶表示体用基板の中央部を面支持する中央載置部
と、この中央載置部の周縁で液晶表示体用基板を支持す
る周縁載置部とに分割し、上記周縁載置部を上記中央載
置部から下降可能にしたことを特徴とする液晶表示体用
基板の検査装置。
【請求項４】上記載置台の載置面に、外周長を異にす
る吸着用溝を複数設け、且つ各吸着用溝を外周長を異に
する２条の無端状溝及びこれらを連通する複数の連通溝
とから構成し、上記各無端状溝及び上記連通溝のいずれ
かに吸引孔を設けたこと特徴とする請求項１〜請求項３
のいずれか一つに記載の液晶表示体用基板の検査装置。
【請求項５】上記各吸着用溝を、面積を異にする複数
種の液晶表示体用基板に対応して設けると共に、上記各
吸着用溝による吸着作用を個別制御可能にしたことを特
徴とする請求項４に記載の液晶表示体用基板の検査装
置。