JPH08264391A - 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 - Google Patents
電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法Info
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- JPH08264391A JPH08264391A JP7093195A JP9319595A JPH08264391A JP H08264391 A JPH08264391 A JP H08264391A JP 7093195 A JP7093195 A JP 7093195A JP 9319595 A JP9319595 A JP 9319595A JP H08264391 A JPH08264391 A JP H08264391A
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Y02E60/13—Energy storage using capacitors
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電解コンデンサ用アルミニウム箔の機械的強
度の向上をはかる。 【構成】 塩素イオンを含む水溶液中において、第１の
工程で、直流電流で電気化学的にエッチングを行い、第
２の工程で、塩素イオンと硫酸イオンを含む水溶液中で
電気化学的にエッチングを行い、硝酸イオンあるいは塩
素イオンを含む水溶液中で電気化学的あるいは化学的に
エッチングする第３の工程から成る電解コンデンサ用ア
ルミニウム箔のエッチング方法において、第１の工程で
は、貫通ピットを設け、第２の工程では、非貫通ピット
を設け、第３の工程では、第１，第２の工程で形成した
ピットを拡大する。
度の向上をはかる。 【構成】 塩素イオンを含む水溶液中において、第１の
工程で、直流電流で電気化学的にエッチングを行い、第
２の工程で、塩素イオンと硫酸イオンを含む水溶液中で
電気化学的にエッチングを行い、硝酸イオンあるいは塩
素イオンを含む水溶液中で電気化学的あるいは化学的に
エッチングする第３の工程から成る電解コンデンサ用ア
ルミニウム箔のエッチング方法において、第１の工程で
は、貫通ピットを設け、第２の工程では、非貫通ピット
を設け、第３の工程では、第１，第２の工程で形成した
ピットを拡大する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電解コンデンサ用アル
ミニウム箔のエッチング方法に関する。
ミニウム箔のエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に電解コンデンサ用アルミニウム電
極箔は、その有効表面積を拡大する目的で通常電解エッ
チングと化学エッチングがおのおの単独あるいは組合せ
で行われ、特に「貫通タイプ」と呼ばれる電解コンデン
サ用アルミニウム電極箔では、アルミニウム箔を貫通す
るトンネル状のピットが箔面に垂直方向に形成されてい
る。この貫通ピットを通して陰極箔に対するイオン伝導
が行われるため２枚の箔を重ねて用いるいわゆるダブル
アノード用として使用できる。しかし貫通ピットが大多
数を占めている「貫通タイプ」では、折り曲げ強度が低
いのでコンデンサ素子としての電極箔の巻取り時に箔切
れが生ずるという問題がある。一方アルミニウム箔の厚
さの中心部近傍に、厚さの５〜２０％程度のピットの存
在しない「芯」部分を残したいわゆる「芯残りタイプ」
は、貫通ピットがないため機械的強度は高いが、ダブル
アノード用としては使用し得ないという問題点がある。
また電解コンデンサの小型化のために有効表面積をより
拡大するには、エッチングによるトンネル状のピット数
を増大しなければならないが、トンネル状のピット数の
増大は腐食量を増大することになり、箔の機械的強度の
低下をまねく。特に「貫通タイプ」の箔でトンネル状の
ピット数を増大すると機械的強度の低下が著しい。他方
「芯残りタイプ」の箔は、「芯」の部分が残っているた
め、機械的強度の低下は少なく、トンネル状ピット数の
増大が容易なことから、有効表面積を大きくできる利点
を有する。また有効表面積を拡大しながら箔の機械的強
度を維持するために従来は箔の表面のエッチングされな
い線状または帯状の非腐食部分を形成するなどの方法が
提案されている。
極箔は、その有効表面積を拡大する目的で通常電解エッ
チングと化学エッチングがおのおの単独あるいは組合せ
で行われ、特に「貫通タイプ」と呼ばれる電解コンデン
サ用アルミニウム電極箔では、アルミニウム箔を貫通す
るトンネル状のピットが箔面に垂直方向に形成されてい
る。この貫通ピットを通して陰極箔に対するイオン伝導
が行われるため２枚の箔を重ねて用いるいわゆるダブル
アノード用として使用できる。しかし貫通ピットが大多
数を占めている「貫通タイプ」では、折り曲げ強度が低
いのでコンデンサ素子としての電極箔の巻取り時に箔切
れが生ずるという問題がある。一方アルミニウム箔の厚
さの中心部近傍に、厚さの５〜２０％程度のピットの存
在しない「芯」部分を残したいわゆる「芯残りタイプ」
は、貫通ピットがないため機械的強度は高いが、ダブル
アノード用としては使用し得ないという問題点がある。
また電解コンデンサの小型化のために有効表面積をより
拡大するには、エッチングによるトンネル状のピット数
を増大しなければならないが、トンネル状のピット数の
増大は腐食量を増大することになり、箔の機械的強度の
低下をまねく。特に「貫通タイプ」の箔でトンネル状の
ピット数を増大すると機械的強度の低下が著しい。他方
「芯残りタイプ」の箔は、「芯」の部分が残っているた
め、機械的強度の低下は少なく、トンネル状ピット数の
増大が容易なことから、有効表面積を大きくできる利点
を有する。また有効表面積を拡大しながら箔の機械的強
度を維持するために従来は箔の表面のエッチングされな
い線状または帯状の非腐食部分を形成するなどの方法が
提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら線状また
は帯状の非腐食部分を設けることは、それだけ有効表面
積の拡大を妨げるという欠陥を有する。また腐食量を増
大することにより有効表面積を拡大するときは、箔の機
械的強度が低下するので化成して使用する場合もろくな
って折れやすく、そのためコンデンサ素子の巻き芯部に
巻く段階でその巻き芯部の直径を太くして巻き回す曲率
半径を大きくする必要があるが、巻き芯部の直径を太く
するときはコンデンサ素子の中心部に無駄な空間が生じ
て、静電容量に対するコンデンサの体積効率が低くなる
という不都合を有し、有効表面積の拡大と機械的強度の
保持という相反する作用を同時に解決することは極めて
困難であった。そこで本発明は、上記した従来の困難な
問題を解決することを目的としたものである。
は帯状の非腐食部分を設けることは、それだけ有効表面
積の拡大を妨げるという欠陥を有する。また腐食量を増
大することにより有効表面積を拡大するときは、箔の機
械的強度が低下するので化成して使用する場合もろくな
って折れやすく、そのためコンデンサ素子の巻き芯部に
巻く段階でその巻き芯部の直径を太くして巻き回す曲率
半径を大きくする必要があるが、巻き芯部の直径を太く
するときはコンデンサ素子の中心部に無駄な空間が生じ
て、静電容量に対するコンデンサの体積効率が低くなる
という不都合を有し、有効表面積の拡大と機械的強度の
保持という相反する作用を同時に解決することは極めて
困難であった。そこで本発明は、上記した従来の困難な
問題を解決することを目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】従来貫通タイプのアルミ
ニウム電極箔は、有効表面積を増すために形成するトン
ネルピットが箔を貫通するまで深く伸長したものである
が、貫通タイプといってもアルミニウム電極箔に形成さ
れる全てのピットが箔を貫通しているものではなく、そ
の内には、箔の厚さの中心を越えて伸長するが非貫通の
ものも存在する。またダブルアノード用として必要な貫
通の程度は、必ずしもすべてのピットが貫通している必
要はなく、貫通ピットが減らせればそれだけ機械的強度
の低下を防ぐことができる。貫通ピットを極端に減らし
た場合は、貫通の程度が悪くなることがあるが、その場
合は、貫通ピットだけ選択的に太くする工程を設ける方
法で充分な貫通の程度を保持することができる。これら
のことから貫通タイプのアルミニウム電極箔を製造する
ためのエッチング方法において、貫通ピットと非貫通ピ
ットを別々に形成することを考案した。
ニウム電極箔は、有効表面積を増すために形成するトン
ネルピットが箔を貫通するまで深く伸長したものである
が、貫通タイプといってもアルミニウム電極箔に形成さ
れる全てのピットが箔を貫通しているものではなく、そ
の内には、箔の厚さの中心を越えて伸長するが非貫通の
ものも存在する。またダブルアノード用として必要な貫
通の程度は、必ずしもすべてのピットが貫通している必
要はなく、貫通ピットが減らせればそれだけ機械的強度
の低下を防ぐことができる。貫通ピットを極端に減らし
た場合は、貫通の程度が悪くなることがあるが、その場
合は、貫通ピットだけ選択的に太くする工程を設ける方
法で充分な貫通の程度を保持することができる。これら
のことから貫通タイプのアルミニウム電極箔を製造する
ためのエッチング方法において、貫通ピットと非貫通ピ
ットを別々に形成することを考案した。
【０００５】即ち、本願発明による電解コンデンサ用ア
ルミニウム箔の製造方法は、少なくとも塩素イオンを含
む水溶液中において、第１の工程にて直流電流で電気化
学的にエッチングを行い、さらに第２の工程にて少なく
とも塩素イオンと硫酸イオンを含む水溶液中で直流電流
にて電気化学的にエッチングを行い、その後第３工程と
して少なくとも硝酸イオンあるいは塩素イオンを含む水
溶液中で電気化学的あるいは化学的にエッチングし、前
２段の工程で形成したピットを拡大する第３の工程を経
てなる電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方
法において、第１の工程で貫通ピットを設け、第２の工
程で非貫通ピットを設けることを特徴とするものであ
る。
ルミニウム箔の製造方法は、少なくとも塩素イオンを含
む水溶液中において、第１の工程にて直流電流で電気化
学的にエッチングを行い、さらに第２の工程にて少なく
とも塩素イオンと硫酸イオンを含む水溶液中で直流電流
にて電気化学的にエッチングを行い、その後第３工程と
して少なくとも硝酸イオンあるいは塩素イオンを含む水
溶液中で電気化学的あるいは化学的にエッチングし、前
２段の工程で形成したピットを拡大する第３の工程を経
てなる電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方
法において、第１の工程で貫通ピットを設け、第２の工
程で非貫通ピットを設けることを特徴とするものであ
る。
【０００６】また第１の工程と第２の工程の間に、少な
くとも硝酸イオンあるいは塩素イオンを含む水溶液中に
おいて、電気化学的あるいは化学的にエッチングし、第
１の工程で形成した貫通ピットを拡大する中間工程を加
えることを特徴とするものである。
くとも硝酸イオンあるいは塩素イオンを含む水溶液中に
おいて、電気化学的あるいは化学的にエッチングし、第
１の工程で形成した貫通ピットを拡大する中間工程を加
えることを特徴とするものである。
【０００７】
【実施例】以下本願発明の実施例について詳述すると、
第１の工程において、水溶液中の塩素イオンの濃度を１
０〜８０ｇ／１の範囲とし、アルミニウムイオンの濃度
を１〜５ｇ／１の範囲とし、電流密度を４０〜７０ｍＡ
／ｃｍ2 とし、液温度を６５〜８５℃とし、さらに電気
量を１．２〜３．６Ｃ／ｃｍ2 とするものである。
第１の工程において、水溶液中の塩素イオンの濃度を１
０〜８０ｇ／１の範囲とし、アルミニウムイオンの濃度
を１〜５ｇ／１の範囲とし、電流密度を４０〜７０ｍＡ
／ｃｍ2 とし、液温度を６５〜８５℃とし、さらに電気
量を１．２〜３．６Ｃ／ｃｍ2 とするものである。
【０００８】上記において、塩素イオン濃度として、１
０ｇ／１に満たない場合は必要な数の貫通ピットが発生
せず、８０ｇ／１を越えるとピット発生数が過剰となる
ので、好ましい範囲として１０〜８０ｇ／ｌが適当であ
り、またアルミニウムイオンが１ｇ／１に満たないと溶
解するアルミニウムによって液中のアルミニウムイオン
が増加し、液成分が安定せず、５ｇ／１を越えるとピッ
トの発生数が減少するので、好ましい範囲として１〜５
ｇ／ｌが適当であり、また、液温度として、６５℃未満
ではピットがトンネル状にならないため貫通せず、８５
℃を越えるとピットの発生数が過剰となるので、好まし
い範囲として６５〜８５℃が適当であり、また電流密度
は４０ｍＡ／ｃｍ2 に満たないとピットの発生数が少な
く、７０ｍＡ／ｃｍ2 を越えるとピットが貫通しないの
で、好ましい範囲として４０〜７０ｍＡ／ｃｍ2 が適当
であり、さらにまた電気量として、１．２Ｃ／ｃｍ2 に
満たないとピットの発生数が少なく、かつ貫通ぜず、
３．６Ｃ／ｃｍ2 より多いと貫通するピットが過剰とな
るので、好ましい範囲として１．２〜３．６Ｃ／ｃｍ2
が適当である。
０ｇ／１に満たない場合は必要な数の貫通ピットが発生
せず、８０ｇ／１を越えるとピット発生数が過剰となる
ので、好ましい範囲として１０〜８０ｇ／ｌが適当であ
り、またアルミニウムイオンが１ｇ／１に満たないと溶
解するアルミニウムによって液中のアルミニウムイオン
が増加し、液成分が安定せず、５ｇ／１を越えるとピッ
トの発生数が減少するので、好ましい範囲として１〜５
ｇ／ｌが適当であり、また、液温度として、６５℃未満
ではピットがトンネル状にならないため貫通せず、８５
℃を越えるとピットの発生数が過剰となるので、好まし
い範囲として６５〜８５℃が適当であり、また電流密度
は４０ｍＡ／ｃｍ2 に満たないとピットの発生数が少な
く、７０ｍＡ／ｃｍ2 を越えるとピットが貫通しないの
で、好ましい範囲として４０〜７０ｍＡ／ｃｍ2 が適当
であり、さらにまた電気量として、１．２Ｃ／ｃｍ2 に
満たないとピットの発生数が少なく、かつ貫通ぜず、
３．６Ｃ／ｃｍ2 より多いと貫通するピットが過剰とな
るので、好ましい範囲として１．２〜３．６Ｃ／ｃｍ2
が適当である。
【０００９】次に第２の工程において、水溶液中の塩素
イオンの濃度を１０〜３０ｇ／１の範囲とし、硫酸イオ
ンの濃度を３５０〜５００ｇ／１の範囲とし、アルミニ
ウムイオンの濃度を５〜２０ｇ／１の範囲とし、電流密
度を２５０〜３５０ｍＡ／ｃｍ2 とし、液温度を６５〜
８５℃とし、さらに電気量を１２〜２４Ｃ／ｃｍ2 とす
るものである。
イオンの濃度を１０〜３０ｇ／１の範囲とし、硫酸イオ
ンの濃度を３５０〜５００ｇ／１の範囲とし、アルミニ
ウムイオンの濃度を５〜２０ｇ／１の範囲とし、電流密
度を２５０〜３５０ｍＡ／ｃｍ2 とし、液温度を６５〜
８５℃とし、さらに電気量を１２〜２４Ｃ／ｃｍ2 とす
るものである。
【００１０】上記において、塩素イオン濃度として、１
０ｇ／１に満たないと、必要な数の非貫通ピットが発生
せず、３０ｇ／１を越えるとピットの形成と同時に表面
の溶解が進み、容量を減少させるので、好ましい範囲と
して、１０〜３０ｇ／ｌが適当であり、また硫酸イオン
濃度として、３５０ｇ／１に満たないとピットが貫通し
てしまい、５００ｇ／１を越えるとピットの長さが短く
なりすぎて、より大きい有効表面積を得られなくなるの
で、好ましい範囲として、３５０〜５００ｇ／ｌが適当
であり、またアルミニウムイオンは、５ｇ／１に満たな
いと、溶解するアルミニウムによって液中のアルミニウ
ムイオンが増加し、液成分が安定せず、２０ｇ／１を越
えるとピットの発生数が減少するので、好ましい範囲と
して、５〜２０ｇ／ｌが適当であり、また液温度とし
て、６５℃未満では、ピットがトンネル状にならず、８
５℃を越えるとピットの長さが短くなり、より大きい有
効表面積が得られないので、好ましい範囲として６５〜
８５℃が適当であり、また電流密度は、２５０ｍＡ／ｃ
ｍ2 に満たないとピットが貫通してしまい、３５０ｍＡ
／ｃｍ2 を越えるとピットの形成と同時に表面の溶解が
進んで有効表面積を減少させるので、好ましい範囲とし
て、２５０〜３５０ｍＡ／ｃｍ2 が適当であり、さらに
また電気量として１２ｃ／ｃｍ2 に満たないと充分な数
のピットが得られず、２４Ｃ／ｃｍ2 を越えると隣接す
るピットが重なってしまい、有効表面積の減少をまねく
ことになるので、好ましい範囲として１２〜２４Ｃ／ｃ
ｍ2 が適当である。
０ｇ／１に満たないと、必要な数の非貫通ピットが発生
せず、３０ｇ／１を越えるとピットの形成と同時に表面
の溶解が進み、容量を減少させるので、好ましい範囲と
して、１０〜３０ｇ／ｌが適当であり、また硫酸イオン
濃度として、３５０ｇ／１に満たないとピットが貫通し
てしまい、５００ｇ／１を越えるとピットの長さが短く
なりすぎて、より大きい有効表面積を得られなくなるの
で、好ましい範囲として、３５０〜５００ｇ／ｌが適当
であり、またアルミニウムイオンは、５ｇ／１に満たな
いと、溶解するアルミニウムによって液中のアルミニウ
ムイオンが増加し、液成分が安定せず、２０ｇ／１を越
えるとピットの発生数が減少するので、好ましい範囲と
して、５〜２０ｇ／ｌが適当であり、また液温度とし
て、６５℃未満では、ピットがトンネル状にならず、８
５℃を越えるとピットの長さが短くなり、より大きい有
効表面積が得られないので、好ましい範囲として６５〜
８５℃が適当であり、また電流密度は、２５０ｍＡ／ｃ
ｍ2 に満たないとピットが貫通してしまい、３５０ｍＡ
／ｃｍ2 を越えるとピットの形成と同時に表面の溶解が
進んで有効表面積を減少させるので、好ましい範囲とし
て、２５０〜３５０ｍＡ／ｃｍ2 が適当であり、さらに
また電気量として１２ｃ／ｃｍ2 に満たないと充分な数
のピットが得られず、２４Ｃ／ｃｍ2 を越えると隣接す
るピットが重なってしまい、有効表面積の減少をまねく
ことになるので、好ましい範囲として１２〜２４Ｃ／ｃ
ｍ2 が適当である。
【００１１】また第３工程において、水溶液中の硝酸イ
オンの濃度を１００〜２００ｇ／ｌの範囲とし、アルミ
ニウムイオンの濃度を１０〜３０ｇ／ｌの範囲とするも
のである。上記において、硝酸イオンが１００ｇ／ｌに
満たないとピット拡大効果が少なく、２００ｇ／ｌを越
えると、表面の溶解が進み容量を減少させるので好まし
い範囲として１００〜２００ｇ／ｌが適当であり、また
アルミニウムイオンは、１０ｇ／ｌに満たないと溶解の
安定性が悪く、３０ｇ／ｌを越えるとピット拡大能力が
低下するので好ましい範囲として１０〜３０ｇ／ｌが適
当である。また他の方法として、水溶液中の塩素イオン
の濃度を１０〜３０ｇ／ｌ，アルミニウムイオンの濃度
を５〜２０ｇ／ｌとするものである。上記において、塩
素イオンが１０ｇ／ｌに満たないとピット拡大効果が少
なく、３０ｇ／ｌを越えると、表面の溶解が進み有効表
面積を減少させるので、好ましい範囲として１０〜３０
ｇ／ｌが適当であり、アルミニウムイオンは、５ｇ／ｌ
に満たないと溶解の安定性が悪く、２０ｇ／ｌを越える
とピット拡大能力が低下するので好ましい範囲として５
〜２０ｇ／ｌが適当である。また第３工程において、液
温度を６０〜８５℃で電気化学的に行う場合は電流密度
を１０〜３００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量を６〜４２Ｃ／ｃ
ｍ2 とし、化学的に行う場合はエッチング時間を３〜３
０分とするものである。上記において、液温度は６０℃
未満ではピット拡大能力が低く、８５℃を越えると表面
の溶解が進んでしまうもので、好ましい範囲として６０
〜８５℃が適当である。また電気化学的に行う場合にお
いて、電流密度が１０ｍＡ／ｃｍ2 未満ではピット拡大
効果が少なく、３００ｍＡ／ｃｍ2 を越えると、表面の
溶解が進んでしまうので、好ましい範囲として１０〜３
００ｍＡ／ｃｍ2 が適当であり、また電気量は６Ｃ／ｃ
ｍ2 に満たないとピット拡大効果が少なく、４２Ｃ／ｃ
ｍ2 を越えるとピットが拡大しすぎて有効表面積の増大
に効果の大きい非貫通ピットの減少をまねいてしまうの
で、好ましい範囲として６〜４２Ｃ／ｃｍ2 が適当であ
る。さらに化学的に行う場合において、３分に満たない
とピット拡大効果が少なく、３０分を越えるとピットが
拡大しすぎて有効表面積の増大に効果の大きい非貫通ピ
ットの減少をまねくので、好ましい範囲として３〜３０
分が適当である。
オンの濃度を１００〜２００ｇ／ｌの範囲とし、アルミ
ニウムイオンの濃度を１０〜３０ｇ／ｌの範囲とするも
のである。上記において、硝酸イオンが１００ｇ／ｌに
満たないとピット拡大効果が少なく、２００ｇ／ｌを越
えると、表面の溶解が進み容量を減少させるので好まし
い範囲として１００〜２００ｇ／ｌが適当であり、また
アルミニウムイオンは、１０ｇ／ｌに満たないと溶解の
安定性が悪く、３０ｇ／ｌを越えるとピット拡大能力が
低下するので好ましい範囲として１０〜３０ｇ／ｌが適
当である。また他の方法として、水溶液中の塩素イオン
の濃度を１０〜３０ｇ／ｌ，アルミニウムイオンの濃度
を５〜２０ｇ／ｌとするものである。上記において、塩
素イオンが１０ｇ／ｌに満たないとピット拡大効果が少
なく、３０ｇ／ｌを越えると、表面の溶解が進み有効表
面積を減少させるので、好ましい範囲として１０〜３０
ｇ／ｌが適当であり、アルミニウムイオンは、５ｇ／ｌ
に満たないと溶解の安定性が悪く、２０ｇ／ｌを越える
とピット拡大能力が低下するので好ましい範囲として５
〜２０ｇ／ｌが適当である。また第３工程において、液
温度を６０〜８５℃で電気化学的に行う場合は電流密度
を１０〜３００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量を６〜４２Ｃ／ｃ
ｍ2 とし、化学的に行う場合はエッチング時間を３〜３
０分とするものである。上記において、液温度は６０℃
未満ではピット拡大能力が低く、８５℃を越えると表面
の溶解が進んでしまうもので、好ましい範囲として６０
〜８５℃が適当である。また電気化学的に行う場合にお
いて、電流密度が１０ｍＡ／ｃｍ2 未満ではピット拡大
効果が少なく、３００ｍＡ／ｃｍ2 を越えると、表面の
溶解が進んでしまうので、好ましい範囲として１０〜３
００ｍＡ／ｃｍ2 が適当であり、また電気量は６Ｃ／ｃ
ｍ2 に満たないとピット拡大効果が少なく、４２Ｃ／ｃ
ｍ2 を越えるとピットが拡大しすぎて有効表面積の増大
に効果の大きい非貫通ピットの減少をまねいてしまうの
で、好ましい範囲として６〜４２Ｃ／ｃｍ2 が適当であ
る。さらに化学的に行う場合において、３分に満たない
とピット拡大効果が少なく、３０分を越えるとピットが
拡大しすぎて有効表面積の増大に効果の大きい非貫通ピ
ットの減少をまねくので、好ましい範囲として３〜３０
分が適当である。
【００１２】また第１の工程と第２の工程の間に加える
中間工程において、水溶液中の硝酸イオンの濃度を１０
０〜２００ｇ／１の範囲とし、アルミニウムイオンの濃
度を１０〜３０ｇ／１の範囲とする。
中間工程において、水溶液中の硝酸イオンの濃度を１０
０〜２００ｇ／１の範囲とし、アルミニウムイオンの濃
度を１０〜３０ｇ／１の範囲とする。
【００１３】上記において硝酸イオンが１００ｇ／１に
満たないとピット拡大効果が少なく、２００ｇ／１を越
えると、表面の溶解が進み有効表面積を減少させること
によるもので、好ましい範囲として１００〜２００ｇ／
ｌが適当であり、またアルミニウムイオンは、１０ｇ／
１に満たないと溶解の安定性が悪く、３０ｇ／１を越え
るとピット拡大能力が悪くなるので好ましい範囲として
１０〜３０ｇ／ｌが適当である。
満たないとピット拡大効果が少なく、２００ｇ／１を越
えると、表面の溶解が進み有効表面積を減少させること
によるもので、好ましい範囲として１００〜２００ｇ／
ｌが適当であり、またアルミニウムイオンは、１０ｇ／
１に満たないと溶解の安定性が悪く、３０ｇ／１を越え
るとピット拡大能力が悪くなるので好ましい範囲として
１０〜３０ｇ／ｌが適当である。
【００１４】また第１の工程と第２の工程との間に加え
る中間工程における他の方法として、水溶液中の塩素イ
オンの濃度を１０〜３０ｇ／１、アルミニウムイオンの
濃度を５〜２０ｇ／１とする。
る中間工程における他の方法として、水溶液中の塩素イ
オンの濃度を１０〜３０ｇ／１、アルミニウムイオンの
濃度を５〜２０ｇ／１とする。
【００１５】上記において、塩素イオンが１０ｇ／１に
満たないとピット拡大効果が少なく、３０ｇ／１を越え
ると、表面の溶解が進み容量を減少させることになるも
ので、好ましい範囲として１０〜３０ｇ／ｌが適当であ
り、またアルミニウムイオンは、５ｇ／１に満たないと
溶解の安定性が悪く、２０ｇ／１を越えるとピット拡大
能力が低下するので、好ましい範囲として５〜２０ｇ／
ｌが適当である。
満たないとピット拡大効果が少なく、３０ｇ／１を越え
ると、表面の溶解が進み容量を減少させることになるも
ので、好ましい範囲として１０〜３０ｇ／ｌが適当であ
り、またアルミニウムイオンは、５ｇ／１に満たないと
溶解の安定性が悪く、２０ｇ／１を越えるとピット拡大
能力が低下するので、好ましい範囲として５〜２０ｇ／
ｌが適当である。
【００１６】また第１の工程と第２の工程の間に加える
中間工程において、液温度を６０〜８５℃とすると共
に、電気化学的に行う場合は、電流密度を１０〜３００
ｍＡ／ｃｍ2 、電気量を０．６〜６Ｃ／ｃｍ2 とし、中
間工程を化学的に行う場合は、エッチング時間を３〜１
０分とする。
中間工程において、液温度を６０〜８５℃とすると共
に、電気化学的に行う場合は、電流密度を１０〜３００
ｍＡ／ｃｍ2 、電気量を０．６〜６Ｃ／ｃｍ2 とし、中
間工程を化学的に行う場合は、エッチング時間を３〜１
０分とする。
【００１７】上記において、液温度は６０℃未満ではピ
ット拡大能力が低く、８５℃を越えると表面の溶解が進
んでしまうもので、好ましい範囲として６０〜８５℃が
適当であり、また中間工程を電気化学的に行う場合にお
いて、電流密度が１０ｍＡ／ｃｍ2 未満ではピット拡大
効果が少なく、３００ｍＡ／ｃｍ2 を越えると表面の溶
解が進んでしまうので、好ましい範囲として１０〜３０
０ｍＡ／ｃｍ2 が適当である。また電気量は０．６Ｃ／
ｃｍ2 に満たないとピット拡大効果が少なく、６Ｃ／ｃ
ｍ2 を越えるとピットが拡大しすぎて有効表面積の増大
に効果の大きい非貫通ピットの減少をまねくので、好ま
しい範囲として０．６〜６Ｃ／ｃｍ2 が適当である。
ット拡大能力が低く、８５℃を越えると表面の溶解が進
んでしまうもので、好ましい範囲として６０〜８５℃が
適当であり、また中間工程を電気化学的に行う場合にお
いて、電流密度が１０ｍＡ／ｃｍ2 未満ではピット拡大
効果が少なく、３００ｍＡ／ｃｍ2 を越えると表面の溶
解が進んでしまうので、好ましい範囲として１０〜３０
０ｍＡ／ｃｍ2 が適当である。また電気量は０．６Ｃ／
ｃｍ2 に満たないとピット拡大効果が少なく、６Ｃ／ｃ
ｍ2 を越えるとピットが拡大しすぎて有効表面積の増大
に効果の大きい非貫通ピットの減少をまねくので、好ま
しい範囲として０．６〜６Ｃ／ｃｍ2 が適当である。
【００１８】また中間工程を化学的に行う場合におい
て、エッチング時間が、３分に満たないとピット拡大効
果が少なく、１０分を越えるとピットが拡大しすぎて有
効表面積の増大に効果の大きい非貫通ピットの減少をま
ねくので、好ましい範囲として３〜１０分が適当であ
る。
て、エッチング時間が、３分に満たないとピット拡大効
果が少なく、１０分を越えるとピットが拡大しすぎて有
効表面積の増大に効果の大きい非貫通ピットの減少をま
ねくので、好ましい範囲として３〜１０分が適当であ
る。
【００１９】次に本発明の電解コンデンサ用アルミニウ
ム箔のエッチング方法を従来例と比較して説明する。
ム箔のエッチング方法を従来例と比較して説明する。
【００２０】（実施例１）厚さ１０４μｍ、Ｏ材，４
Ｎ，（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を塩素
イオン６５．０ｇ／１，アルミニウムイオン２．４ｇ／
１を含む水溶液中で、電流密度６０ｍＡ／ｃｍ2 ，電気
量３．６Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エッチングし
た第１の工程の後、第２の工程として塩素イオン２２ｇ
／１，硫酸イオン４３５ｇ／１，アルミニウムイオン１
４ｇ／１を含む水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃ
ｍ2 ，電気量１８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッ
チングし、さらに第３の工程として硝酸イオン１３５ｇ
／１，アルミニウムイオン１８ｇ／１を含む水溶液中で
液温度７５℃で１０分間化学エッチングする。
Ｎ，（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を塩素
イオン６５．０ｇ／１，アルミニウムイオン２．４ｇ／
１を含む水溶液中で、電流密度６０ｍＡ／ｃｍ2 ，電気
量３．６Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エッチングし
た第１の工程の後、第２の工程として塩素イオン２２ｇ
／１，硫酸イオン４３５ｇ／１，アルミニウムイオン１
４ｇ／１を含む水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃ
ｍ2 ，電気量１８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッ
チングし、さらに第３の工程として硝酸イオン１３５ｇ
／１，アルミニウムイオン１８ｇ／１を含む水溶液中で
液温度７５℃で１０分間化学エッチングする。
【００２１】（実施例２）厚さ１０４μｍ，Ｏ材，４Ｎ
（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１
の第１工程と同じ水溶液中で電流密度６０ｍＡ／ｃ
ｍ2 ，電気量１．４Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エ
ッチングした第１の工程の後、中間工程として硝酸イオ
ン１３５ｇ／１，アルミニウムイオン１８ｇ／１を含む
水溶液中で液温度７５℃で５分間化学エッチングする。
次いで第２工程として塩素イオン２２ｇ／１，硫酸イオ
ン４３５ｇ／１，アルミニウムイオン１４ｇ／１を含む
水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量１８Ｃ
／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッチングした後、第３
の工程として硝酸イオン１３５ｇ／１，アルミニウムイ
オン１８ｇ／１を含む水溶液中で液温度７５℃で１０分
間化学エッチングする。
（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１
の第１工程と同じ水溶液中で電流密度６０ｍＡ／ｃ
ｍ2 ，電気量１．４Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エ
ッチングした第１の工程の後、中間工程として硝酸イオ
ン１３５ｇ／１，アルミニウムイオン１８ｇ／１を含む
水溶液中で液温度７５℃で５分間化学エッチングする。
次いで第２工程として塩素イオン２２ｇ／１，硫酸イオ
ン４３５ｇ／１，アルミニウムイオン１４ｇ／１を含む
水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量１８Ｃ
／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッチングした後、第３
の工程として硝酸イオン１３５ｇ／１，アルミニウムイ
オン１８ｇ／１を含む水溶液中で液温度７５℃で１０分
間化学エッチングする。
【００２２】（実施例３）厚さ１０４μｍ，０材，４Ｎ
（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１
の第１の工程と同じ液で電流密度６０ｍＡ／ｃｍ2 ，電
気量１．８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エッチング
した後、中間工程として塩素イオン１５ｇ／ｌ，アルミ
ニウムイオン１８ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度１５
ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量１．８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６５℃
で直流エッチングする。次いで第２工程として塩素イオ
ン２２ｇ／ｌ，硫酸イオン４３５ｇ／ｌ，アルミニウム
１４ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃｍ
2 ，電気量１８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッチ
ングした後、第３工程として塩素イオン１５ｇ／ｌ，ア
ルミニウムイオン１８ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度
１００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量３０Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６
５℃で直流エッチングする。 （従来例）厚さ１０４ ｍ，Ｏ材，４Ｎ，（１００）面
占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１の第２の工程
と同じ液で電流密度１００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量２１．
６Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６８℃で直流エッチングし、実施
例１の第３の工程と同じ化学エッチングを行った。上記
実施例及び従来例でエッチングしたアルミニウム箔のそ
れぞれを、ホウ酸水溶液中で３５０Ｖ化成し、その静電
容量と機械的強度として折曲強度及び貫通の程度として
一定量の空気が化成箔の一定の面積を透過するのに要す
る時間を透気度（透気度は値が小さいほど貫通の程度が
良いことを示す）測定したところ、表１に示すような結
果を得た。
（１００）面占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１
の第１の工程と同じ液で電流密度６０ｍＡ／ｃｍ2 ，電
気量１．８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７５℃で直流エッチング
した後、中間工程として塩素イオン１５ｇ／ｌ，アルミ
ニウムイオン１８ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度１５
ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量１．８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６５℃
で直流エッチングする。次いで第２工程として塩素イオ
ン２２ｇ／ｌ，硫酸イオン４３５ｇ／ｌ，アルミニウム
１４ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度３００ｍＡ／ｃｍ
2 ，電気量１８Ｃ／ｃｍ2 ，液温度７２℃で直流エッチ
ングした後、第３工程として塩素イオン１５ｇ／ｌ，ア
ルミニウムイオン１８ｇ／ｌを含む水溶液中で電流密度
１００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量３０Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６
５℃で直流エッチングする。 （従来例）厚さ１０４ ｍ，Ｏ材，４Ｎ，（１００）面
占有率９０％のアルミニウム箔を実施例１の第２の工程
と同じ液で電流密度１００ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量２１．
６Ｃ／ｃｍ2 ，液温度６８℃で直流エッチングし、実施
例１の第３の工程と同じ化学エッチングを行った。上記
実施例及び従来例でエッチングしたアルミニウム箔のそ
れぞれを、ホウ酸水溶液中で３５０Ｖ化成し、その静電
容量と機械的強度として折曲強度及び貫通の程度として
一定量の空気が化成箔の一定の面積を透過するのに要す
る時間を透気度（透気度は値が小さいほど貫通の程度が
良いことを示す）測定したところ、表１に示すような結
果を得た。
【表１】
【００２３】表１から明らかなように、実施例１のもの
は従来例によるものと比較して、静電容量、透気度が同
程度ながら、折曲強度において優れており、また実施例
２及び３では、実施例Ｉほどの折曲強度はないものの、
従来例と比較して折曲強度と通気度において優れてお
り、本発明の効果を実証している。
は従来例によるものと比較して、静電容量、透気度が同
程度ながら、折曲強度において優れており、また実施例
２及び３では、実施例Ｉほどの折曲強度はないものの、
従来例と比較して折曲強度と通気度において優れてお
り、本発明の効果を実証している。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、貫通ピットと非貫通ピ
ット、換言すれば、電極箔に貫通性を持たせるに必要な
ピットと有効表面積の増大に大きな効果をもたらすピッ
トとを別々に形成することが可能で、過剰な貫通ピット
を形成せしめないために、箔強度の低下を防ぐことがで
きて、機械的強度の高い電解コンデンサ用アルミニウム
箔を製造する電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチ
ング方法を提供することができる。
ット、換言すれば、電極箔に貫通性を持たせるに必要な
ピットと有効表面積の増大に大きな効果をもたらすピッ
トとを別々に形成することが可能で、過剰な貫通ピット
を形成せしめないために、箔強度の低下を防ぐことがで
きて、機械的強度の高い電解コンデンサ用アルミニウム
箔を製造する電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチ
ング方法を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月１１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２３】表１から明らかなように、実施例１のもの
は従来例によるものと比較して、静電容量、透気度が同
程度ながら、折曲強度において優れており、また実施例
２及び３では、実施例１ほどの折曲強度はないものの、
従来例と比較して折曲強度と透気度において優れてお
り、本発明の効果を実証している。
は従来例によるものと比較して、静電容量、透気度が同
程度ながら、折曲強度において優れており、また実施例
２及び３では、実施例１ほどの折曲強度はないものの、
従来例と比較して折曲強度と透気度において優れてお
り、本発明の効果を実証している。
Claims (12)
- 【請求項１】 少なくとも塩素イオンを含む水溶液中に
て、直流電流にて電気化学的にエッチングを行う第１の
工程と、少なくとも塩素イオンと硫酸イオンを含む水溶
液中において、直流電流にて電気化学的にエッチングを
行う第２の工程と、硝酸イオンあるいは塩素イオンを含
む水溶液中にて電気化学的あるいは化学的にエッチング
する第３の工程とを経てなる電解コンデンサ用アルミニ
ウム箔のエッチング方法において、第１の工程で、貫通
ピットを形成し、第２の工程で、非貫通ピットを形成
し、第３の工程で、すでに形成されたピットを拡大する
ことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエ
ッチング方法。 - 【請求項２】 第１の工程と、第２の工程の間に、少な
くとも硝酸イオンあるいは塩素イオンを含む水溶液中に
て、電気化学的あるいは化学的にエッチングを行い、貫
通ピットを拡大する中間工程を加えることを特徴とする
請求項１記載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッ
チング方法。 - 【請求項３】 第１の工程においてエッチングの電流密
度が４０〜７０ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量が１．２〜３．６
Ｃ／ｃｍ2 ，液温度が６５〜８５℃である請求項１また
は２記載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチン
グ方法。 - 【請求項４】 第２の工程において、エッチングの電流
密度が２５０〜３５０ｍＡ／ｃｍ2 ，電気量が１２〜２
４Ｃ／ｃｍ2 ，液温度が６５〜８５℃である請求項１，
２または３記載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエ
ッチング方法。 - 【請求項５】 第３の工程を電気化学的に行う場合にお
いて、液温度６０〜８５℃、電流密度１０〜３００ｍＡ
／ｃｍ2 、電気量６〜４２Ｃ／ｃｍ2 の範囲とする請求
項１，２，３または４記載の電解コンデンサ用アルミニ
ウム箔のエッチング方法。 - 【請求項６】 第３工程を化学的に行う場合において、
液温度６０〜８５℃、エンチング時間３〜３０分の範囲
とする請求項１，２，３，または４記載の電解コンデン
サ用アルミニウム箔のエッチング方法。 - 【請求項７】 中間工程を電気化学的に行う場合におい
て、液温度を６０〜８５℃、電流密度を１０〜３００ｍ
Ａ／ｃｍ2 ，電気量を０．６〜６Ｃ／ｃｍ2の範囲とす
る請求項２，３，４，５または６記載の電解コンデンサ
用アルミニウム箔のエッチング方法。 - 【請求項８】 中間工程を化学的に行う場合において、
液温度を６０〜８５℃、エッチング時間を３〜１０分の
範囲とする請求項２，３，４，５，６または７記載の電
解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 - 【請求項９】 第１の工程で使用する電解液が少なくと
も塩素イオン１０〜８０ｇ／１，アルミニウムイオン１
〜５ｇ／１の範囲を含む請求項１乃至８のいづれか１記
載の電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方
法。 - 【請求項１０】 第２の工程で使用する電解液が少なく
とも塩素イオン１０〜３０ｇ／１，硫酸イオン３５０〜
５００ｇ／１，アルミニウムイオン５〜２０ｇ／１の範
囲を含む請求項１乃至９のいづれか１記載の電解コンデ
ンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 - 【請求項１１】 第３の工程において、水溶液が、少な
くとも硝酸イオン１００〜２００ｇ／ｌ、アルミニウム
イオン１０〜３０ｇ／ｌの範囲を含むか、或いは少なく
とも塩素イオン１０〜３０ｇ／ｌ、アルミニウムイオン
５〜２０ｇ／ｌの範囲を含むいづれか１項記載の電解コ
ンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法。 - 【請求項１２】 中間工程で使用する水溶液が、少なく
とも硝酸イオン１００〜２００ｇ／１，アルミニウムイ
オン１０〜３０ｇ／１の範囲を含むか、或いは少なくと
も塩素イオン１０〜３０ｇ／１，アルミニウムイオン５
〜２０ｇ／１の範囲を含む水溶液のいずれかである請求
項２乃至１１のいづれか１記載の電解コンデンサ用アル
ミニウム箔のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09319595A JP3252313B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09319595A JP3252313B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08264391A true JPH08264391A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3252313B2 JP3252313B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=14075807
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09319595A Expired - Fee Related JP3252313B2 (ja) | 1995-03-28 | 1995-03-28 | 電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3252313B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001102271A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nippon Light Metal Co Ltd | 電解コンデンサ用アルミニウム合金箔 |
| WO2001043150A1 (fr) * | 1999-12-08 | 2001-06-14 | Toyo Aluminium Kabushiki Kaisha | Feuille a gainage en alliage d'aluminium pour anode moyenne et haute tension de condensateur electrolytique |
| JP2005203531A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 |
| JP2007142060A (ja) * | 2005-11-17 | 2007-06-07 | Nichicon Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 |
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| JP2008192647A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Nichicon Corp | 電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法 |
| US8125767B2 (en) | 2006-12-27 | 2012-02-28 | Jm Energy Corporation | Coated electrode and organic electrolyte capacitor |
| CN110257893A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-09-20 | 安徽省临泉县康悦电子科技有限公司 | 一种铝箔腐蚀工艺 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001040536A1 (en) | 1999-11-29 | 2001-06-07 | Fujikura Ltd. | Polycrystalline thin film and method for preparation thereof, and superconducting oxide and method for preparation thereof |
-
1995
- 1995-03-28 JP JP09319595A patent/JP3252313B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN110257893A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-09-20 | 安徽省临泉县康悦电子科技有限公司 | 一种铝箔腐蚀工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3252313B2 (ja) | 2002-02-04 |
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