JPH0826449B2 - コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
コンデンサ用金属化フィルムの製造方法Info
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- JPH0826449B2 JPH0826449B2 JP5023467A JP2346793A JPH0826449B2 JP H0826449 B2 JPH0826449 B2 JP H0826449B2 JP 5023467 A JP5023467 A JP 5023467A JP 2346793 A JP2346793 A JP 2346793A JP H0826449 B2 JPH0826449 B2 JP H0826449B2
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Landscapes
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着基材上にマスキン
グ油を塗布して非蒸着部を付与しつつ導体金属の膜を蒸
着形成するオイルマスク方式による真空蒸着によるコン
デンサ用金属化フィルムの製造方法に関する。
グ油を塗布して非蒸着部を付与しつつ導体金属の膜を蒸
着形成するオイルマスク方式による真空蒸着によるコン
デンサ用金属化フィルムの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、プラスチックフィルム、ガラ
スシート等の蒸着基材上に、非蒸着部を残して、即ちパ
ターン状に、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ等の金属
膜、または酸化錫、酸化インジウムあるいはこれらの混
合物（ＩＴＯ）等の金属酸化物導体膜等を形成する真空
蒸着方法が広く行なわれており、これにより、装飾用あ
るいは電気用等の各種蒸着製品が製造されている。この
ようなパターン状蒸着膜を有する蒸着製品としては、例
えばマージン部（非蒸着部）を残して金属蒸着膜を形成
したコンデンサ用フィルム、ＩＴＯ等の透明電極膜を形
成した電極基板等が代表例として挙げられる。
スシート等の蒸着基材上に、非蒸着部を残して、即ちパ
ターン状に、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ等の金属
膜、または酸化錫、酸化インジウムあるいはこれらの混
合物（ＩＴＯ）等の金属酸化物導体膜等を形成する真空
蒸着方法が広く行なわれており、これにより、装飾用あ
るいは電気用等の各種蒸着製品が製造されている。この
ようなパターン状蒸着膜を有する蒸着製品としては、例
えばマージン部（非蒸着部）を残して金属蒸着膜を形成
したコンデンサ用フィルム、ＩＴＯ等の透明電極膜を形
成した電極基板等が代表例として挙げられる。
【０００３】上記したようなパターン状の蒸着膜を蒸着
基材上に形成するには、テープあるいはオイル塗布膜を
マスキング材として蒸着と同時にマージン部を形成する
方法、あるいは一旦基材上に一様な導体膜を形成した
後、乾式あるいは湿式エッチング法により選択的に導体
膜を除去してマージン部を形成する方法等が知られてい
る。
基材上に形成するには、テープあるいはオイル塗布膜を
マスキング材として蒸着と同時にマージン部を形成する
方法、あるいは一旦基材上に一様な導体膜を形成した
後、乾式あるいは湿式エッチング法により選択的に導体
膜を除去してマージン部を形成する方法等が知られてい
る。
【０００４】しかしながら、上述した各種方式のうち、
一般にエンドレスのテープをマスキング材として用いる
テープマスク方式においては、（Ｉ）テープが金属蒸気
に繰返し曝らされるために、耐熱テープを使用しても蒸
着作業中に寸法変化を生じ、テープガイドロールからず
れるのでマージン部が巾方向に乱れ易い、（ＩＩ）テー
プに蒸着積層された金属が粒子状に剥離飛散し、製造中
の金属化フィルムに異物として巻込まれて欠陥製品を作
る、（ＩＩＩ）従ってエンドレステープといえども長時
間は使えず、それによって蒸着出来るフィルムの長さも
限定され、また一作業毎にテープの交換が必要である、
などの欠点がある。
一般にエンドレスのテープをマスキング材として用いる
テープマスク方式においては、（Ｉ）テープが金属蒸気
に繰返し曝らされるために、耐熱テープを使用しても蒸
着作業中に寸法変化を生じ、テープガイドロールからず
れるのでマージン部が巾方向に乱れ易い、（ＩＩ）テー
プに蒸着積層された金属が粒子状に剥離飛散し、製造中
の金属化フィルムに異物として巻込まれて欠陥製品を作
る、（ＩＩＩ）従ってエンドレステープといえども長時
間は使えず、それによって蒸着出来るフィルムの長さも
限定され、また一作業毎にテープの交換が必要である、
などの欠点がある。
【０００５】またエッチング方式には、煩雑なエッチン
グ工程が必要であり、製造コストが上昇するという欠点
がある。
グ工程が必要であり、製造コストが上昇するという欠点
がある。
【０００６】これに対し、オイルマスク方式は、蒸着工
程直前において蒸着基材のマージン部に相当する位置に
マスキング油を、ノズルからの蒸気噴出あるいはロール
からの転写等により塗布するという簡単な方法によりマ
ージン部が形成されるため、上記テープマスク方式ある
いはエッチング方式の欠点に対する本質的な改善が期待
される。マスキング油としては、従来より電気絶縁性の
シリコーンオイル（真空、第７巻、１２号、３９２
頁）、流動パラフィンなどが使用されている。
程直前において蒸着基材のマージン部に相当する位置に
マスキング油を、ノズルからの蒸気噴出あるいはロール
からの転写等により塗布するという簡単な方法によりマ
ージン部が形成されるため、上記テープマスク方式ある
いはエッチング方式の欠点に対する本質的な改善が期待
される。マスキング油としては、従来より電気絶縁性の
シリコーンオイル（真空、第７巻、１２号、３９２
頁）、流動パラフィンなどが使用されている。
【０００７】しかしながら、従来のオイルマスク方式で
は、蒸着材料にもよるが、オイルを付着させたところに
も微量の導体が付着して鮮明なマージン部が形成され難
く、また蒸着部とマージン部との境界もボケ易いため、
例えばＡｌの蒸着により得られたコンデンサ用金属化フ
ィルムを巻き上げて、近年とみに要求の高い精密小型コ
ンデンサを作成した場合にも、そのマージン部の不完全
性により層間絶縁抵抗が低くなる等、十分な電気特性が
得られない。
は、蒸着材料にもよるが、オイルを付着させたところに
も微量の導体が付着して鮮明なマージン部が形成され難
く、また蒸着部とマージン部との境界もボケ易いため、
例えばＡｌの蒸着により得られたコンデンサ用金属化フ
ィルムを巻き上げて、近年とみに要求の高い精密小型コ
ンデンサを作成した場合にも、そのマージン部の不完全
性により層間絶縁抵抗が低くなる等、十分な電気特性が
得られない。
【０００８】これらの問題点を解決するために、平均分
子量が２３０〜６８０の間にあり、かつ２００℃におけ
る蒸気圧が０．１〜２０Ｔｏｒｒのオイルを単独または
混合して使用する方法（特公昭５５−４７１１３号公
報）、オイルを付着させた後に冷却ロールによってフィ
ルムおよび付着オイルを冷却し、オイルの蒸発を限度以
内に抑えて、金属蒸着後もフィルム上にオイルを残留さ
せる方法（特開昭５８−１５１０１１号公報）などが提
案されている。しかし、これらの方法もまだ十分なもの
とは言い難く、例えば市販されているＡｌ蒸着のコンデ
ンサ用金属化フィルムの殆どは、上述したプロセス上の
問題があるにも拘らずテープマスク方式によるものであ
った。
子量が２３０〜６８０の間にあり、かつ２００℃におけ
る蒸気圧が０．１〜２０Ｔｏｒｒのオイルを単独または
混合して使用する方法（特公昭５５−４７１１３号公
報）、オイルを付着させた後に冷却ロールによってフィ
ルムおよび付着オイルを冷却し、オイルの蒸発を限度以
内に抑えて、金属蒸着後もフィルム上にオイルを残留さ
せる方法（特開昭５８−１５１０１１号公報）などが提
案されている。しかし、これらの方法もまだ十分なもの
とは言い難く、例えば市販されているＡｌ蒸着のコンデ
ンサ用金属化フィルムの殆どは、上述したプロセス上の
問題があるにも拘らずテープマスク方式によるものであ
った。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
の事情に鑑み、蒸着物、特に導体蒸着物の付着のない鮮
明なマージン部を形成し得る真空蒸着方法、特にコンデ
ンサ用金属化フィルムの製造方法を提供することにあ
る。他の目的は、マージン部の乱れがなく、且つ巻込ま
れた異物による欠陥のない蒸着製品を与え得る真空蒸着
によるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法を提供す
ることにある。更に他の目的は、生産性が高く、且つ長
尺フィルムの蒸着を可能ならしめるオイルマスク方式の
真空蒸着によるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法
を提供するにある。
の事情に鑑み、蒸着物、特に導体蒸着物の付着のない鮮
明なマージン部を形成し得る真空蒸着方法、特にコンデ
ンサ用金属化フィルムの製造方法を提供することにあ
る。他の目的は、マージン部の乱れがなく、且つ巻込ま
れた異物による欠陥のない蒸着製品を与え得る真空蒸着
によるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法を提供す
ることにある。更に他の目的は、生産性が高く、且つ長
尺フィルムの蒸着を可能ならしめるオイルマスク方式の
真空蒸着によるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法
を提供するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のコンデンサ用金
属化フィルムの製造方法は、上述の目的を達成するため
に開発されたものであり、より詳しくは、原反ロールか
らプラスチックフィルムを引き出し、非金属化部形成の
ためにマスキング油をパターン状に塗布し、冷却用金属
ロール面に沿わせながら導体金属を蒸着し、次いで蒸着
されたフィルムを別の位置で製品ロールに巻き取ってコ
ンデンサ用金属化フィルムを連続的に製造する方法であ
って、前記工程をいずれも真空蒸着機内で行い、且つマ
スキング油として下式（Ｉ）〜（ＩＩＩ） 式（Ｉ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n − 式（ＩＩ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − 式（ＩＩＩ） −（−Ｃ2 Ｆ4 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − （ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全
体として１０００〜１５０００の平均分子量を与える平
均繰り返し単位数を示す）で示される繰り返し単位を有
するものの夫々単独、またはこれらの中の２種以上の混
合物であるパーフロロアルキルポリエーテルを前記プラ
スチックフィルムに転写ないし印刷により直接接触塗布
することを特徴とするものである。パーフロロアルキル
ポリエーテルとしては、平均分子量範囲が、１５００〜
１００００のものが特に好ましく用いられる。
属化フィルムの製造方法は、上述の目的を達成するため
に開発されたものであり、より詳しくは、原反ロールか
らプラスチックフィルムを引き出し、非金属化部形成の
ためにマスキング油をパターン状に塗布し、冷却用金属
ロール面に沿わせながら導体金属を蒸着し、次いで蒸着
されたフィルムを別の位置で製品ロールに巻き取ってコ
ンデンサ用金属化フィルムを連続的に製造する方法であ
って、前記工程をいずれも真空蒸着機内で行い、且つマ
スキング油として下式（Ｉ）〜（ＩＩＩ） 式（Ｉ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n − 式（ＩＩ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − 式（ＩＩＩ） −（−Ｃ2 Ｆ4 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − （ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全
体として１０００〜１５０００の平均分子量を与える平
均繰り返し単位数を示す）で示される繰り返し単位を有
するものの夫々単独、またはこれらの中の２種以上の混
合物であるパーフロロアルキルポリエーテルを前記プラ
スチックフィルムに転写ないし印刷により直接接触塗布
することを特徴とするものである。パーフロロアルキル
ポリエーテルとしては、平均分子量範囲が、１５００〜
１００００のものが特に好ましく用いられる。
【００１１】
【作用】本発明において、パーフロロアルキルポリエー
テルをマスキング油として用いることにより、所定の効
果、特に蒸着に際して、蒸着物の付着がなく且つ縁部の
鮮明なマージン部が形成される理由は、必ずしも明らか
でないが、以下のようなことが考えられる。
テルをマスキング油として用いることにより、所定の効
果、特に蒸着に際して、蒸着物の付着がなく且つ縁部の
鮮明なマージン部が形成される理由は、必ずしも明らか
でないが、以下のようなことが考えられる。
【００１２】一般に、オイルマスク方式の真空蒸着方法
において、塗布油が所定のマスキング効果を発揮する理
由としては、１）真空あるいは蒸着物蒸気の熱により蒸
発ないし再蒸発する油分子蒸気による蒸着物蒸気の阻止
効果、２）膜自体の持つ物理的遮蔽効果、３）油による
蒸着核の形成阻害効果が考えられ、特に上記１）の効果
が有力と考えられていた（特公昭５５−４７１１３号公
報等）。しかしながら、本発明で用いるパーフロロアル
キルポリエーテルは、特にその好ましい平均分子量範囲
１５００〜１００００の場合でも、２００℃における蒸
気圧が約１０-1〜１０-4Ｔｏｒｒ程度であり、従来の上
記１）を主要な要因とする考え方だけでは、説明できな
い。他方、パーフロロアルキルポリエーテルは、上記し
たように１０００〜１５０００と云うように、従来のマ
スキング油に比べてかなり高い平均分子量を有するが、
表面張力は約２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下という極めて小さ
な表面張力を有し、且つ離型性も優れる。従って、パー
フロロアルキルポリエーテルが蒸着条件下において、多
少蒸発するにせよ、また油膜として残留している状態に
おいても、その大きな分子が、蒸着物粒子の付着に対す
るマスキング効果を発揮し、且つその高度な化学的不活
性および優れた離型性が蒸着核の形成防止にも寄与す
る。また、表面張力が極めて小さいため、蒸発あるいは
蒸着物粒子の衝突により、残油量が減少しても、凝集に
よる塗布形状の縮少は防止される。このような要因によ
り、パーフロロアルキルポリエーテルは優れた蒸着物付
着防止効果ならびに縁部の鮮明なマージン部の形成効果
を有すると考えられる。
において、塗布油が所定のマスキング効果を発揮する理
由としては、１）真空あるいは蒸着物蒸気の熱により蒸
発ないし再蒸発する油分子蒸気による蒸着物蒸気の阻止
効果、２）膜自体の持つ物理的遮蔽効果、３）油による
蒸着核の形成阻害効果が考えられ、特に上記１）の効果
が有力と考えられていた（特公昭５５−４７１１３号公
報等）。しかしながら、本発明で用いるパーフロロアル
キルポリエーテルは、特にその好ましい平均分子量範囲
１５００〜１００００の場合でも、２００℃における蒸
気圧が約１０-1〜１０-4Ｔｏｒｒ程度であり、従来の上
記１）を主要な要因とする考え方だけでは、説明できな
い。他方、パーフロロアルキルポリエーテルは、上記し
たように１０００〜１５０００と云うように、従来のマ
スキング油に比べてかなり高い平均分子量を有するが、
表面張力は約２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下という極めて小さ
な表面張力を有し、且つ離型性も優れる。従って、パー
フロロアルキルポリエーテルが蒸着条件下において、多
少蒸発するにせよ、また油膜として残留している状態に
おいても、その大きな分子が、蒸着物粒子の付着に対す
るマスキング効果を発揮し、且つその高度な化学的不活
性および優れた離型性が蒸着核の形成防止にも寄与す
る。また、表面張力が極めて小さいため、蒸発あるいは
蒸着物粒子の衝突により、残油量が減少しても、凝集に
よる塗布形状の縮少は防止される。このような要因によ
り、パーフロロアルキルポリエーテルは優れた蒸着物付
着防止効果ならびに縁部の鮮明なマージン部の形成効果
を有すると考えられる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施例
にかかるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法を具体
的に説明する。図１はオイルマスク方式の真空蒸着によ
るコンデンサ用金属化フィルムの半連続製造装置の内部
正面図であり、図２は上記方法によって得られるコンデ
ンサ用金属化フィルムの部分平面図である。
にかかるコンデンサ用金属化フィルムの製造方法を具体
的に説明する。図１はオイルマスク方式の真空蒸着によ
るコンデンサ用金属化フィルムの半連続製造装置の内部
正面図であり、図２は上記方法によって得られるコンデ
ンサ用金属化フィルムの部分平面図である。
【００１４】図１を参照して、真空室Ａ内において、Ｐ
ＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等からなる原反フ
ィルムロール１から巻出された原反フィルム２は、冷却
キャン３を介して巻取りロール４に巻き取られる。この
間フィルム２には、冷却キャン３の下方に配置したＡｌ
等の金属蒸発源５から蒸着が行われるが、それに先立ち
オイル供給装置６（本例では転写ロール）からストライ
プ状にパーフロロアルキルポリエーテルが塗布されて非
蒸着部が形成される。蒸着後、巻取られるフィルム７
は、図２に平面形状を示すように、蒸着部８とマージン
部９とからなり、一般に各部の中央に沿ってスリットし
た細巾テープとした後、巻取り積層することによりフィ
ルムコンデンサが形成される。
ＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等からなる原反フ
ィルムロール１から巻出された原反フィルム２は、冷却
キャン３を介して巻取りロール４に巻き取られる。この
間フィルム２には、冷却キャン３の下方に配置したＡｌ
等の金属蒸発源５から蒸着が行われるが、それに先立ち
オイル供給装置６（本例では転写ロール）からストライ
プ状にパーフロロアルキルポリエーテルが塗布されて非
蒸着部が形成される。蒸着後、巻取られるフィルム７
は、図２に平面形状を示すように、蒸着部８とマージン
部９とからなり、一般に各部の中央に沿ってスリットし
た細巾テープとした後、巻取り積層することによりフィ
ルムコンデンサが形成される。
【００１５】本発明で使用されるパーフロロアルキルポ
リエーテルとしては、好ましくは両端がＦ−、ＣＦ
3 −、ＣＦ3 Ｏ−またはＣ2 Ｆ5 −で安定化され、繰返
し単位が下式（Ｉ）〜（ＩＩＩ） 式（Ｉ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n − 式（ＩＩ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − 式（ＩＩＩ） −（−Ｃ2 Ｆ4 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − （ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全
体として１０００〜１５０００の平均分子量を与える平
均繰り返し単位数を示す）で示される構造を有するもの
が夫々単独でまたはそれらの中の２種以上の混合物とし
て使用される。なお式（ＩＩ）、（ＩＩＩ）中のｎ：ｍ
は、例えば約３０〜４０：１というように、前者がかな
り大であるのが通常である。繰返し単位−（−Ｃ3 Ｆ6
Ｏ −）n −は、直鎖構造（下式（Ａ））および、分岐
構造（下式（Ｂ））の何れであってもよい。
リエーテルとしては、好ましくは両端がＦ−、ＣＦ
3 −、ＣＦ3 Ｏ−またはＣ2 Ｆ5 −で安定化され、繰返
し単位が下式（Ｉ）〜（ＩＩＩ） 式（Ｉ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n − 式（ＩＩ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − 式（ＩＩＩ） −（−Ｃ2 Ｆ4 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − （ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全
体として１０００〜１５０００の平均分子量を与える平
均繰り返し単位数を示す）で示される構造を有するもの
が夫々単独でまたはそれらの中の２種以上の混合物とし
て使用される。なお式（ＩＩ）、（ＩＩＩ）中のｎ：ｍ
は、例えば約３０〜４０：１というように、前者がかな
り大であるのが通常である。繰返し単位−（−Ｃ3 Ｆ6
Ｏ −）n −は、直鎖構造（下式（Ａ））および、分岐
構造（下式（Ｂ））の何れであってもよい。
【００１６】
【化１】
【００１７】市販品の例としては商品名デムナム（ダイ
キン工業社製、式（Ｉ）の直鎖構造）、商品名クライト
ックス（デュポン社製、式（Ｉ）の分岐構造）、商品名
フォンブリン（モンテジソン社製、式（ＩＩ）の分岐構
造および式（ＩＩＩ））がある。
キン工業社製、式（Ｉ）の直鎖構造）、商品名クライト
ックス（デュポン社製、式（Ｉ）の分岐構造）、商品名
フォンブリン（モンテジソン社製、式（ＩＩ）の分岐構
造および式（ＩＩＩ））がある。
【００１８】先にも触れたように、パーフロロアルキル
ポリエーテルは平均分子量が１０００〜１５０００のも
のが用いられるが、特に１５００〜１００００の範囲の
ものが好ましく用いられる。分子量が１０００未満のも
のは、蒸気圧が高く真空蒸着中の蒸発損失が大きい。ま
た、パーフロロアルキルポリエーテルは塗布に適した粘
度を有する必要があり、１５０００を超えるものは、塗
布のために高温への加熱が必要となり、フィルム基材ヘ
の塗布時にフィルムの変形を招くため好ましくない。
ポリエーテルは平均分子量が１０００〜１５０００のも
のが用いられるが、特に１５００〜１００００の範囲の
ものが好ましく用いられる。分子量が１０００未満のも
のは、蒸気圧が高く真空蒸着中の蒸発損失が大きい。ま
た、パーフロロアルキルポリエーテルは塗布に適した粘
度を有する必要があり、１５０００を超えるものは、塗
布のために高温への加熱が必要となり、フィルム基材ヘ
の塗布時にフィルムの変形を招くため好ましくない。
【００１９】上記においては、本発明のコンデンサ用金
属化フィルムの製造方法を代表的な実施態様について説
明した。しかし、本発明の範囲内で各種の変形が可能で
あることは容易に理解できよう。例えば、蒸着基材とし
ては、上記したＰＥＴ以外にも、ポリイミド、ポリカー
ボネート、ポリアセテート、ポリプロピレン、ポリフェ
ニレンサルファイド等のプラスチックフィルムが使用可
能である。蒸発材料としては、Ａｌの他に、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕ等の導体金属が好ましく用いられ
る。また、オイル供給装置としては、上記した転写ロー
ルの他に、装置的な制約の許す範囲で各種印刷手段も用
いられる。この転写ないし印刷による直接接触塗布の方
法は、オイルの噴霧塗布の方法に比べて、例えばフィル
ム２の搬送方向に対し、平行な縦方向マージン部だけで
なく、横方向マージンなどのパターンを形成する場合に
特に有効である。なお、フィルム２に適量のオイルが均
一に塗布されるように、フィルムに直接接触する転写
（ないしパターン印刷）ロールに先立って、該転写（な
いしパターン印刷）ロールに接するオフセットロールを
設け、このオフセットロールに先ずオイルを付着させる
のが好ましい。オフセットロールへのオイルの付着は塗
布、浸漬、蒸発ないし噴霧の各方法が採られる。
属化フィルムの製造方法を代表的な実施態様について説
明した。しかし、本発明の範囲内で各種の変形が可能で
あることは容易に理解できよう。例えば、蒸着基材とし
ては、上記したＰＥＴ以外にも、ポリイミド、ポリカー
ボネート、ポリアセテート、ポリプロピレン、ポリフェ
ニレンサルファイド等のプラスチックフィルムが使用可
能である。蒸発材料としては、Ａｌの他に、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕ等の導体金属が好ましく用いられ
る。また、オイル供給装置としては、上記した転写ロー
ルの他に、装置的な制約の許す範囲で各種印刷手段も用
いられる。この転写ないし印刷による直接接触塗布の方
法は、オイルの噴霧塗布の方法に比べて、例えばフィル
ム２の搬送方向に対し、平行な縦方向マージン部だけで
なく、横方向マージンなどのパターンを形成する場合に
特に有効である。なお、フィルム２に適量のオイルが均
一に塗布されるように、フィルムに直接接触する転写
（ないしパターン印刷）ロールに先立って、該転写（な
いしパターン印刷）ロールに接するオフセットロールを
設け、このオフセットロールに先ずオイルを付着させる
のが好ましい。オフセットロールへのオイルの付着は塗
布、浸漬、蒸発ないし噴霧の各方法が採られる。
【００２０】更に、蒸着方式としては、狭義の真空蒸着
のほか、各種スパッタリングも可能であり、それに応じ
て真空度も、例えば１０-1〜１０-6Ｔｏｒｒと巾広い範
囲が選択可能である。更にフィルム基材への蒸着は片面
に限らず、両面に実施してもよいことは云うまでもな
い。
のほか、各種スパッタリングも可能であり、それに応じ
て真空度も、例えば１０-1〜１０-6Ｔｏｒｒと巾広い範
囲が選択可能である。更にフィルム基材への蒸着は片面
に限らず、両面に実施してもよいことは云うまでもな
い。
【００２１】以下、参考例、実施例、比較例により本発
明で用いるパーフロロアルキルポリエーテル油のマスキ
ング油としての性能を説明する。
明で用いるパーフロロアルキルポリエーテル油のマスキ
ング油としての性能を説明する。
【００２２】参考例１ オイル供給装置６として、転写ロールの代りに、スリッ
ト状開口部を有する中空パイプ状噴霧塗布装置を用いる
以外は、図１に示したような、オイルマスク方式の半連
続式蒸着機を用い、オイルの種類を変えて蒸着を行っ
た。基材フィルム２としては、ポリエチレンテレフタレ
ートのフィルム（厚み２μ、巾５００ｍｍ、長さ２００
００ｍ）を用い、その片面にフィルムの巻取り速度２４
０ｍ／ｍｉｎでＡｌを蒸着した。蒸着機Ａ内のオイル供
給装置設置部の真空度は約１０-2Ｔｏｒｒ、Ａｌ蒸着さ
れる近辺の真空度は１〜３×１０-4Ｔｏｒｒであった。
オイルは８ｍｍ間隔毎に巾１ｍｍでフィルム面に蒸気と
して噴出付着させた。またＡｌ蒸着部の表面抵抗は１．
７Ω／□（膜厚として約４００Å）になるようにした。
ト状開口部を有する中空パイプ状噴霧塗布装置を用いる
以外は、図１に示したような、オイルマスク方式の半連
続式蒸着機を用い、オイルの種類を変えて蒸着を行っ
た。基材フィルム２としては、ポリエチレンテレフタレ
ートのフィルム（厚み２μ、巾５００ｍｍ、長さ２００
００ｍ）を用い、その片面にフィルムの巻取り速度２４
０ｍ／ｍｉｎでＡｌを蒸着した。蒸着機Ａ内のオイル供
給装置設置部の真空度は約１０-2Ｔｏｒｒ、Ａｌ蒸着さ
れる近辺の真空度は１〜３×１０-4Ｔｏｒｒであった。
オイルは８ｍｍ間隔毎に巾１ｍｍでフィルム面に蒸気と
して噴出付着させた。またＡｌ蒸着部の表面抵抗は１．
７Ω／□（膜厚として約４００Å）になるようにした。
【００２３】異なるオイルを使用して得られたコンデン
サ用金属化フィルムについて、巻取られたロール状態で
のマージン部における金属付着量および金属化フィルム
の蒸着部とマージン部との境界のボケを目視観察した結
果は下表１の如くであった。
サ用金属化フィルムについて、巻取られたロール状態で
のマージン部における金属付着量および金属化フィルム
の蒸着部とマージン部との境界のボケを目視観察した結
果は下表１の如くであった。
【００２４】
【表１】
【００２５】更にメタノールを含浸させたガーゼでマー
ジン部を拭きとって発光分析にかけたところ、流動パラ
フィンおよびジメチルシリコーンを使用したものからは
Ａｌが検出されたが、パーフロロアルキルポリエーテル
を使用したものからは検出されなかった。
ジン部を拭きとって発光分析にかけたところ、流動パラ
フィンおよびジメチルシリコーンを使用したものからは
Ａｌが検出されたが、パーフロロアルキルポリエーテル
を使用したものからは検出されなかった。
【００２６】上記表１からわかるように、オイルマスク
方式によるマスキングの効果はオイルの種類によって大
きな差があり、パーフロロアルキルポリエーテルの特異
性が極めて明確である。
方式によるマスキングの効果はオイルの種類によって大
きな差があり、パーフロロアルキルポリエーテルの特異
性が極めて明確である。
【００２７】実施例 図１のオイル供給装置６として、図３を参照して、フィ
ルム２に接する転写ロール１０、該転写ロールに接する
オフセットロール１１、および、参考例１で使用した、
スリット状開口部を有する中空パイプ状の噴霧塗布装置
１２からなるものを用いた。即ち、噴霧塗布装置１２で
パーフロロアルキルポリエーテル（平均分子量１５０
０）を加熱し、蒸気としてスリットから噴出させてオフ
セットロール１１に付着させ、転写ロール１０に転移さ
せることによって、フィルム２に転写ロールのパターン
の侭にパーフロロアルキルポリエーテルの塗布を実施し
た。このようにフィルムへのオイル供給方式を転写ロー
ルとした以外は上記参考例１と同様にして、各種オイル
を用いて、コンデンサ用金属化フィルムを製造した。
ルム２に接する転写ロール１０、該転写ロールに接する
オフセットロール１１、および、参考例１で使用した、
スリット状開口部を有する中空パイプ状の噴霧塗布装置
１２からなるものを用いた。即ち、噴霧塗布装置１２で
パーフロロアルキルポリエーテル（平均分子量１５０
０）を加熱し、蒸気としてスリットから噴出させてオフ
セットロール１１に付着させ、転写ロール１０に転移さ
せることによって、フィルム２に転写ロールのパターン
の侭にパーフロロアルキルポリエーテルの塗布を実施し
た。このようにフィルムへのオイル供給方式を転写ロー
ルとした以外は上記参考例１と同様にして、各種オイル
を用いて、コンデンサ用金属化フィルムを製造した。
【００２８】得られた結果は、オイルをフィルム２に噴
霧塗布した参考例１による上記表１の結果とほぼ同様で
あり、パーフロロアルキルポリエーテルのマスキング油
としての特異性が極めて明確に示された。
霧塗布した参考例１による上記表１の結果とほぼ同様で
あり、パーフロロアルキルポリエーテルのマスキング油
としての特異性が極めて明確に示された。
【００２９】参考例２ 次いで、パーフロロアルキルポリエーテルの各種フィル
ムに対するＡｌ蒸着のマスキング効果を見るために、ベ
ルジャー型蒸着試験機を使用して実験した。パーフロロ
アルキルポリエーテル（平均分子量２５００）を綿棒に
含浸させて各種のフィルムに巾約５ｍｍの線状に塗布
し、フィルムのオイル塗布面にＡｌを蒸着した。比較の
ため、ポリエチレンテレフタレートフィルムについての
み、流動パラフィン（平均分子量３１０）を塗布したも
のも実験した。
ムに対するＡｌ蒸着のマスキング効果を見るために、ベ
ルジャー型蒸着試験機を使用して実験した。パーフロロ
アルキルポリエーテル（平均分子量２５００）を綿棒に
含浸させて各種のフィルムに巾約５ｍｍの線状に塗布
し、フィルムのオイル塗布面にＡｌを蒸着した。比較の
ため、ポリエチレンテレフタレートフィルムについての
み、流動パラフィン（平均分子量３１０）を塗布したも
のも実験した。
【００３０】蒸着後のフィルムについて、オイル塗布部
へのＡｌの付着状態およびオイル塗布部の外周の乱れを
観察した結果を第２表に示す。
へのＡｌの付着状態およびオイル塗布部の外周の乱れを
観察した結果を第２表に示す。
【００３１】
【表２】
【００３２】表２からわかるように、パーフロロアルキ
ルポリエーテルは各種の蒸着基材にＡｌを蒸着する場合
にも優れたマスキング効果を示す。
ルポリエーテルは各種の蒸着基材にＡｌを蒸着する場合
にも優れたマスキング効果を示す。
【００３３】更には蒸着物としてＡｌ以外のＺｎ、Ｃ
ｕ、Ｎｉ、Ｃｒ等の金属、ＩＴＯ等の酸化物導体を蒸着
する場合にも、パーフロロアルキルポリエーテルはマス
キングオイルとして好適に使用され得ることがベルジャ
ー型真空蒸着試験機で確認された。
ｕ、Ｎｉ、Ｃｒ等の金属、ＩＴＯ等の酸化物導体を蒸着
する場合にも、パーフロロアルキルポリエーテルはマス
キングオイルとして好適に使用され得ることがベルジャ
ー型真空蒸着試験機で確認された。
【００３４】更にベルジャー型蒸着試験機により、平均
分子量２５００のパーフロロアルキルポリエーテルに代
え、平均分子量４５００、５６００、８４００のパーフ
ロロアルキルポリエーテルを塗布し、ＡｌのＰＥＴフィ
ルムへの蒸着を上記と同様に行った。その結果、平均分
子量２５００のパーフロロアルキルポリエーテルと、同
等なマスキング効果が得られた。他方、ポリ（トリフロ
ロモノクロロエチレン）（平均分子量５００、７００、
９００、１０００、３０００）、部分フッ素化シリコー
ン（８００）、ポリブテン（３２０）、ジオクチルフタ
レート（３９０）、ドデシルベンゼン（２４６）、ジイ
ソプロピルナフタレン（２１２）、ひまし油（４３２）
を用いた場合には、上記流動パラフィンあるいはシリコ
ーン油と同様に充分なマスキング効果が得られなかっ
た。
分子量２５００のパーフロロアルキルポリエーテルに代
え、平均分子量４５００、５６００、８４００のパーフ
ロロアルキルポリエーテルを塗布し、ＡｌのＰＥＴフィ
ルムへの蒸着を上記と同様に行った。その結果、平均分
子量２５００のパーフロロアルキルポリエーテルと、同
等なマスキング効果が得られた。他方、ポリ（トリフロ
ロモノクロロエチレン）（平均分子量５００、７００、
９００、１０００、３０００）、部分フッ素化シリコー
ン（８００）、ポリブテン（３２０）、ジオクチルフタ
レート（３９０）、ドデシルベンゼン（２４６）、ジイ
ソプロピルナフタレン（２１２）、ひまし油（４３２）
を用いた場合には、上記流動パラフィンあるいはシリコ
ーン油と同様に充分なマスキング効果が得られなかっ
た。
【００３５】
【発明の効果】以上に説明した如く、本発明によれば、
オイルマスク方式により非蒸着部を付与しつつ真空蒸着
を行うに際して、マスキング油としてパーフロロアルキ
ルポリエーテルを用いることにより、従来用いられてい
たパラフィン油、シリコーン油等のマスキング油に比べ
て格段に優れ、且つテープマスキング方式に匹敵するマ
スキング効果が得られ、更にテープマスキング方式ある
いはエッチング方式によるパターン化のプロセス上の問
題点も除かれる。そして、蒸着物質として導体金属を用
いることによりコンデンサ用金属化フィルムが好適に製
造される。
オイルマスク方式により非蒸着部を付与しつつ真空蒸着
を行うに際して、マスキング油としてパーフロロアルキ
ルポリエーテルを用いることにより、従来用いられてい
たパラフィン油、シリコーン油等のマスキング油に比べ
て格段に優れ、且つテープマスキング方式に匹敵するマ
スキング効果が得られ、更にテープマスキング方式ある
いはエッチング方式によるパターン化のプロセス上の問
題点も除かれる。そして、蒸着物質として導体金属を用
いることによりコンデンサ用金属化フィルムが好適に製
造される。
【図１】オイルマスク方式の真空蒸着によるコンデンサ
用金属化フィルムの半連続製造装置の内部正面図。
用金属化フィルムの半連続製造装置の内部正面図。
【図２】上記方法によって得られるコンデンサ用金属化
フィルムの部分平面図。
フィルムの部分平面図。
【図３】実施例で用いたオイル供給装置のより詳細を示
す模式図。
す模式図。
１：原反フィルムロール（２…その引出し状態） ３：冷却キャン ４：蒸着品巻取りロール ５：蒸発源 ６：オイル供給装置 ７：蒸着品（金属化フィルム） ８：蒸着部 ９：マージン部 １０：転写ロール １１：オフセットロール １２：オイル噴霧塗布装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｇ 13/00 ３９１ Ｃ 7924−5Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】 原反ロールからプラスチックフィルムを
引き出し、非金属化部形成のためにマスキング油をパタ
ーン状に塗布し、冷却用金属ロール面に沿わせながら導
体金属を蒸着し、次いで蒸着されたフィルムを別の位置
で製品ロールに巻き取ってコンデンサ用金属化フィルム
を連続的に製造する方法であって、前記工程をいずれも
真空蒸着機内で行い、且つマスキング油として下式
（Ｉ）〜（ＩＩＩ） 式（Ｉ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n − 式（ＩＩ） −（−Ｃ3 Ｆ6 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − 式（ＩＩＩ） −（−Ｃ2 Ｆ4 Ｏ−）n −（−Ｃ Ｆ2 Ｏ
−）m − （ここでｎ，ｍは、パーフロロアルキルポリエーテル全
体として１０００〜１５０００の平均分子量を与える平
均繰り返し単位数を示す）で示される繰り返し単位を有
するものの夫々単独、またはこれらの中の２種以上の混
合物であるパーフロロアルキルポリエーテルを前記プラ
スチックフィルムに転写ないし印刷により直接接触塗布
することを特徴とするコンデンサ用金属化フィルムの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5023467A JPH0826449B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5023467A JPH0826449B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14710486A Division JPS637363A (ja) | 1986-06-25 | 1986-06-25 | 真空蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06136513A JPH06136513A (ja) | 1994-05-17 |
| JPH0826449B2 true JPH0826449B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=12111338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5023467A Expired - Lifetime JPH0826449B2 (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0826449B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5892694B2 (ja) * | 2012-01-16 | 2016-03-23 | 株式会社アルバック | 金属化フィルム製造方法 |
| CN115786858B (zh) * | 2022-12-08 | 2024-08-30 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于Ag基膜系边缘部分环境稳定性提高的镀膜方法 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP5023467A patent/JPH0826449B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06136513A (ja) | 1994-05-17 |
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