JPH08267305A - 複合セラミックス工具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方法 - Google Patents
複合セラミックス工具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方法Info
- Publication number
- JPH08267305A JPH08267305A JP7100567A JP10056795A JPH08267305A JP H08267305 A JPH08267305 A JP H08267305A JP 7100567 A JP7100567 A JP 7100567A JP 10056795 A JP10056795 A JP 10056795A JP H08267305 A JPH08267305 A JP H08267305A
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- JP
- Japan
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- silicon carbide
- aluminum oxide
- tool
- particles
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- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】従来とは異なる複合化により、含有成分の性質
の総和より一段と優れた性質を発揮する複合セラミック
ス工具及び皮膜付き複合セラミックス工具を提供するこ
とにある。 【構成】平均粒径がミクロンオーダーの酸化アルミニウ
ム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する最大粒径１００
ｎｍ以下の炭化ケイ素粒子とを含み、炭化ケイ素の総量
が２〜１０重量％の焼結体からなることを特徴とする。
の総和より一段と優れた性質を発揮する複合セラミック
ス工具及び皮膜付き複合セラミックス工具を提供するこ
とにある。 【構成】平均粒径がミクロンオーダーの酸化アルミニウ
ム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する最大粒径１００
ｎｍ以下の炭化ケイ素粒子とを含み、炭化ケイ素の総量
が２〜１０重量％の焼結体からなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複合セラミックス工
具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方
法に関する。この複合セラミックス工具は、切削工具又
は耐磨耗性工具に好適に利用されうる。
具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方
法に関する。この複合セラミックス工具は、切削工具又
は耐磨耗性工具に好適に利用されうる。
【０００２】
【従来の技術】アルミナセラミックスは、比較的廉価
で、機械的強度や耐熱性に優れた材料としてよく知られ
ており、工具材料や摺動部材のように耐磨耗性の要求さ
れる用途をはじめ、種々の方面で用いられている。そし
て、平均粒径１μｍの酸化アルミニウムに平均粒径０．
５μｍ以下の炭化タングステン等の炭化物を添加して焼
結すれば、酸化アルミニウムの粒成長が抑制されて更に
耐磨耗性が向上することも知られている（特開平５−２
８６７５４号公報）。
で、機械的強度や耐熱性に優れた材料としてよく知られ
ており、工具材料や摺動部材のように耐磨耗性の要求さ
れる用途をはじめ、種々の方面で用いられている。そし
て、平均粒径１μｍの酸化アルミニウムに平均粒径０．
５μｍ以下の炭化タングステン等の炭化物を添加して焼
結すれば、酸化アルミニウムの粒成長が抑制されて更に
耐磨耗性が向上することも知られている（特開平５−２
８６７５４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報に記
載のように、アルミナ粒子と炭化物粒子とを単に焼結さ
せただけの組織のものは、アルミナと炭化物の各々の性
質の総和にやや優る程度の作用効果しか期待できず、飛
躍的な相乗効果が発揮されない。
載のように、アルミナ粒子と炭化物粒子とを単に焼結さ
せただけの組織のものは、アルミナと炭化物の各々の性
質の総和にやや優る程度の作用効果しか期待できず、飛
躍的な相乗効果が発揮されない。
【０００４】それ故、この発明の目的は、従来とは異な
る複合化により、含有成分の性質の総和より一段と優れ
た性質を発揮する複合セラミックス工具及び皮膜付き複
合セラミックス工具を提供することにある。
る複合化により、含有成分の性質の総和より一段と優れ
た性質を発揮する複合セラミックス工具及び皮膜付き複
合セラミックス工具を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】その目的を達成するため
に、この発明の複合セラミックス工具は、平均粒径がミ
クロンオーダー（１μｍ〜１０μｍ）の酸化アルミニウ
ム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する第一の炭化ケイ
素粒子とを含み、炭化ケイ素の総量が２〜１０重量％の
焼結体からなることを特徴とする。
に、この発明の複合セラミックス工具は、平均粒径がミ
クロンオーダー（１μｍ〜１０μｍ）の酸化アルミニウ
ム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する第一の炭化ケイ
素粒子とを含み、炭化ケイ素の総量が２〜１０重量％の
焼結体からなることを特徴とする。
【０００６】この構成において、前記酸化アルミニウム
結晶粒内に、最大粒径５０ｎｍ以下の第二の炭化ケイ素
粒子が存在すると好ましい。また、酸化アルミニウムの
一部を酸化ジルコニウムで置換し、焼結体全体に対して
０．５〜１０重量％の酸化ジルコニウムが含まれるよう
にすると好ましい。
結晶粒内に、最大粒径５０ｎｍ以下の第二の炭化ケイ素
粒子が存在すると好ましい。また、酸化アルミニウムの
一部を酸化ジルコニウムで置換し、焼結体全体に対して
０．５〜１０重量％の酸化ジルコニウムが含まれるよう
にすると好ましい。
【０００７】上記複合セラミックス工具を製造する適切
な方法は、平均粒径１μｍ未満の酸化アルミニウム粉末
及び平均粒径０．１μｍ以下の炭化ケイ素粉末を主とす
る原料を混合し、加圧焼成することを特徴とする。
な方法は、平均粒径１μｍ未満の酸化アルミニウム粉末
及び平均粒径０．１μｍ以下の炭化ケイ素粉末を主とす
る原料を混合し、加圧焼成することを特徴とする。
【０００８】同じく上記目的を達成するために、この発
明の皮膜付き複合セラミックス工具は、焼結体の表面
に、アルミニウムＡｌ、ジルコニウムＺｒ、チタンＴｉ
又はハフニウムＨｆの炭化物、窒化物、酸化物又は酸窒
化物から選ばれる１層以上の皮膜で被覆したことを特徴
とする。
明の皮膜付き複合セラミックス工具は、焼結体の表面
に、アルミニウムＡｌ、ジルコニウムＺｒ、チタンＴｉ
又はハフニウムＨｆの炭化物、窒化物、酸化物又は酸窒
化物から選ばれる１層以上の皮膜で被覆したことを特徴
とする。
【０００９】この場合、皮膜のうち、焼結体に最も近い
第１層がアルミニウムＡｌの酸化物からなると好まし
い。また、皮膜全体の平均厚さが０．３〜１０μｍであ
ると好ましい。
第１層がアルミニウムＡｌの酸化物からなると好まし
い。また、皮膜全体の平均厚さが０．３〜１０μｍであ
ると好ましい。
【００１０】
【作用】従来の考え方によれば、焼結体を構成する粒子
が、大きければ大きいほど磨耗時に脱落しやすかったこ
とから、焼結体の耐磨耗性及び耐欠損性を向上させるた
めには、焼結時の粒成長を抑制する必要があった。従っ
て、原料粉末の粒径としては、あまりに大きすぎてはい
けないことはもとより、微粒ほど粒成長しやすいことか
ら、小さすぎてもいけないとされ、１μｍ〜数μｍが適
当とされていた。
が、大きければ大きいほど磨耗時に脱落しやすかったこ
とから、焼結体の耐磨耗性及び耐欠損性を向上させるた
めには、焼結時の粒成長を抑制する必要があった。従っ
て、原料粉末の粒径としては、あまりに大きすぎてはい
けないことはもとより、微粒ほど粒成長しやすいことか
ら、小さすぎてもいけないとされ、１μｍ〜数μｍが適
当とされていた。
【００１１】これに対して、この発明では、従来と全く
逆の考え方をとり、酸化アルミニウムの原料粉末とし
て、平均粒径１μｍ未満の微粒を用い、炭化ケイ素の原
料粉末として、もっと小さい平均粒径０．１μｍ以下の
超微粒を用いて焼結させる。そうすると、焼結後に炭化
ケイ素の微粒が酸化アルミニウム粒子の界面に存在する
ようになる。その結果、焼結体に曲げ応力や引っ張り応
力等の外力が加わっても、界面に存在する微粒の炭化ケ
イ素が楔の働きをし、酸化アルミニウム粒子の粒界滑り
を抑制する。従って、機械的強度のほか、耐磨耗性及び
耐欠損性が、炭化ケイ素と酸化アルミニウムの特性の単
なる総和よりはるかに優るようになる。酸化アルミニウ
ムの一部を酸化ジルコニウムで置換して、酸化ジルコニ
ウムを上記範囲で存在させると、強度及び靱性が更に向
上する。ただし、酸化ジルコニウム含有量が、焼結体に
対して０．５重量％に満たないと、その作用に乏しく、
１０重量％を越えると、酸化ジルコニウムの硬度が酸化
アルミニウムの硬度より低いことから焼結体全体の耐磨
耗性を低下させるので、好ましくない。
逆の考え方をとり、酸化アルミニウムの原料粉末とし
て、平均粒径１μｍ未満の微粒を用い、炭化ケイ素の原
料粉末として、もっと小さい平均粒径０．１μｍ以下の
超微粒を用いて焼結させる。そうすると、焼結後に炭化
ケイ素の微粒が酸化アルミニウム粒子の界面に存在する
ようになる。その結果、焼結体に曲げ応力や引っ張り応
力等の外力が加わっても、界面に存在する微粒の炭化ケ
イ素が楔の働きをし、酸化アルミニウム粒子の粒界滑り
を抑制する。従って、機械的強度のほか、耐磨耗性及び
耐欠損性が、炭化ケイ素と酸化アルミニウムの特性の単
なる総和よりはるかに優るようになる。酸化アルミニウ
ムの一部を酸化ジルコニウムで置換して、酸化ジルコニ
ウムを上記範囲で存在させると、強度及び靱性が更に向
上する。ただし、酸化ジルコニウム含有量が、焼結体に
対して０．５重量％に満たないと、その作用に乏しく、
１０重量％を越えると、酸化ジルコニウムの硬度が酸化
アルミニウムの硬度より低いことから焼結体全体の耐磨
耗性を低下させるので、好ましくない。
【００１２】さらに、炭化ケイ素が超微粒であることか
ら、炭化ケイ素の一部は粒成長途中の酸化アルミニウム
に取り囲まれ、焼結完了後に酸化アルミニウム粒子内部
に最大粒径５０ｎｍ以下で存在するようになる。その結
果、酸化アルミニウム粒子内部の炭化ケイ素粒子が、酸
化アルミニウム粒子内部の結晶転位や滑りを抑制し、高
温硬度が向上する。また、炭化ケイ素粒子の周囲に残留
応力が発生するが、それがかえって高温硬度の低下を抑
えるとも考えられる。
ら、炭化ケイ素の一部は粒成長途中の酸化アルミニウム
に取り囲まれ、焼結完了後に酸化アルミニウム粒子内部
に最大粒径５０ｎｍ以下で存在するようになる。その結
果、酸化アルミニウム粒子内部の炭化ケイ素粒子が、酸
化アルミニウム粒子内部の結晶転位や滑りを抑制し、高
温硬度が向上する。また、炭化ケイ素粒子の周囲に残留
応力が発生するが、それがかえって高温硬度の低下を抑
えるとも考えられる。
【００１３】次に、焼結体中にＳｉＣなどの炭化物が存
在すると、その炭化物が高温で鉄と反応するので、せっ
かく耐磨耗性や耐欠損性に優れていても、そのままでは
工具材料に適さない。そこで、焼結体表面を硬質材料か
らなる皮膜で被覆すると、摩擦熱で高温になっても焼結
体が被切削材と癒着するのを防止できる。ただし、皮膜
全体の平均厚さが０．３μｍに満たないと、その作用に
乏しく、１０μｍを越えると皮膜自体の耐磨耗性や耐欠
損性が支配的となるので好ましくない。
在すると、その炭化物が高温で鉄と反応するので、せっ
かく耐磨耗性や耐欠損性に優れていても、そのままでは
工具材料に適さない。そこで、焼結体表面を硬質材料か
らなる皮膜で被覆すると、摩擦熱で高温になっても焼結
体が被切削材と癒着するのを防止できる。ただし、皮膜
全体の平均厚さが０．３μｍに満たないと、その作用に
乏しく、１０μｍを越えると皮膜自体の耐磨耗性や耐欠
損性が支配的となるので好ましくない。
【００１４】被覆される焼結体が、酸化アルミニウムを
主成分とするので、皮膜のうち、少なくとも焼結体に最
も近い第１層がアルミニウムＡｌの酸化物からなると、
皮膜の密着強度が高まり好ましい。
主成分とするので、皮膜のうち、少なくとも焼結体に最
も近い第１層がアルミニウムＡｌの酸化物からなると、
皮膜の密着強度が高まり好ましい。
【００１５】
【実施例】平均粒径０．２μｍのα−Ａｌ2Ｏ3粉末、５
〜１００ｎｍの範囲の粒径分布を有するβ−ＳｉＣ粉
末、平均粒径０．２μｍのＭｇＯ粉末及び平均粒径０．
４μｍのＺｒＯ2粉末を表１に示す基体組成となるよう
に配合し、ボールミル中でエタノールを媒体として２４
〜４８時間混合し、乾燥して素地粉末を調製した。素地
粉末を黒鉛型に充填し、１５００〜１９５０℃、圧力５
０ＭＰａで３０分〜１時間保持することにより、加圧焼
結することによって、試料Ｎｏ．１〜１７の焼結体を製
造した。また、上記β−ＳｉＣ粉末に代えて平均粒径
１．０μｍのβ−ＳｉＣ粉末を用いた以外は、Ｎｏ．１
〜１７の焼結体と同一条件にてＮｏ．１８，１９の焼結
体を製造した。
〜１００ｎｍの範囲の粒径分布を有するβ−ＳｉＣ粉
末、平均粒径０．２μｍのＭｇＯ粉末及び平均粒径０．
４μｍのＺｒＯ2粉末を表１に示す基体組成となるよう
に配合し、ボールミル中でエタノールを媒体として２４
〜４８時間混合し、乾燥して素地粉末を調製した。素地
粉末を黒鉛型に充填し、１５００〜１９５０℃、圧力５
０ＭＰａで３０分〜１時間保持することにより、加圧焼
結することによって、試料Ｎｏ．１〜１７の焼結体を製
造した。また、上記β−ＳｉＣ粉末に代えて平均粒径
１．０μｍのβ−ＳｉＣ粉末を用いた以外は、Ｎｏ．１
〜１７の焼結体と同一条件にてＮｏ．１８，１９の焼結
体を製造した。
【００１６】Ｎｏ．１〜１２，１４〜１７の焼結体を透
過型電子顕微鏡にて観察したところ、Ａｌ2Ｏ3粒子は、
１〜３μｍ程度に粒成長していたが、ＳｉＣは、出発原
料とほぼ同程度の大きさであった。そして、最大でも直
径５０ｎｍ以下の比較的細かいＳｉＣ粒子の少量は、Ａ
ｌ2Ｏ3粒子内部に存在していたが、細かいＳｉＣ粒子の
残量及び比較的粗いＳｉＣ粒子は、粒界に存在してい
た。また、同一体積のＺｒＯ2粒子とＡｌ2Ｏ3粒子とで
は、Ａｌ2Ｏ3のほうがＳｉＣ粒子を多く取り込んでい
た。同様にＮｏ．１８，１９の焼結体を観察したが、Ａ
ｌ2Ｏ3粒子内部にＳｉＣが存在することはなく、ほぼ同
じ程度の大きさのＡｌ2Ｏ3粒子、ＳｉＣ粒子及びＺｒＯ
2粒子が混在しているだけであった。
過型電子顕微鏡にて観察したところ、Ａｌ2Ｏ3粒子は、
１〜３μｍ程度に粒成長していたが、ＳｉＣは、出発原
料とほぼ同程度の大きさであった。そして、最大でも直
径５０ｎｍ以下の比較的細かいＳｉＣ粒子の少量は、Ａ
ｌ2Ｏ3粒子内部に存在していたが、細かいＳｉＣ粒子の
残量及び比較的粗いＳｉＣ粒子は、粒界に存在してい
た。また、同一体積のＺｒＯ2粒子とＡｌ2Ｏ3粒子とで
は、Ａｌ2Ｏ3のほうがＳｉＣ粒子を多く取り込んでい
た。同様にＮｏ．１８，１９の焼結体を観察したが、Ａ
ｌ2Ｏ3粒子内部にＳｉＣが存在することはなく、ほぼ同
じ程度の大きさのＡｌ2Ｏ3粒子、ＳｉＣ粒子及びＺｒＯ
2粒子が混在しているだけであった。
【００１７】次に、焼結体をＩＳＯ規格ＳＮＧＮ１２０
４０８形状に切断し、研削加工した後、それを基体とし
て、そのまま切削チップとして用いるか又はその表面に
表１に示す硬質皮膜を形成して切削チップとして用い、
以下の３種類の切削試験を行った。
４０８形状に切断し、研削加工した後、それを基体とし
て、そのまま切削チップとして用いるか又はその表面に
表１に示す硬質皮膜を形成して切削チップとして用い、
以下の３種類の切削試験を行った。
【００１８】［試験１］次の条件で１分３０秒切削した
後の磨耗量を測定した。 被切削材：ＳＮＣＭ４３９（ＨB３００） 切削速度：３５０ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．６ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：１ｍｍ
後の磨耗量を測定した。 被切削材：ＳＮＣＭ４３９（ＨB３００） 切削速度：３５０ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．６ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：１ｍｍ
【００１９】［試験２］次の条件で２０分切削した後の
磨耗量を測定した。 被切削材：ＦＣＤ４５０（ＨB１８０） 切削速度：５００ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：０．５ｍｍ
磨耗量を測定した。 被切削材：ＦＣＤ４５０（ＨB１８０） 切削速度：５００ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：０．５ｍｍ
【００２０】［試験３］図１に示すように軸方向に１０
ｍｍ幅の同じ高さの凸部（山）を１０ｍｍ間隔で有する
被切削材Ｗを用い、次の条件で切削チップＣが欠損する
までの加工山数を測定した。 被切削材：ＦＣ２００ 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．９ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：２ｍｍ
ｍｍ幅の同じ高さの凸部（山）を１０ｍｍ間隔で有する
被切削材Ｗを用い、次の条件で切削チップＣが欠損する
までの加工山数を測定した。 被切削材：ＦＣ２００ 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ． 送り速度：０．９ｍｍ／ｒｅｖ． 切り込み：２ｍｍ
【００２１】試験結果を表１に示す。この表において、
平均膜厚とは、硬質被覆層（皮膜）全体の厚さを示す。
平均膜厚とは、硬質被覆層（皮膜）全体の厚さを示す。
【表１】
【００２２】表１にみられるように、この発明に属する
試料Ｎｏ．１〜１２の切削チップは、耐磨耗性及び耐欠
損性に優れていた。特に硬質被覆層を形成したＮｏ．３
〜１２は、硬質被覆層を形成していないＮｏ．１，２よ
りも全般的に耐磨耗性に優れていた。そして、その中で
も試験３において、Ｎｏ．４，５，９の加工山数がＮ
ｏ．１１のそれよりも多く、Ｎｏ．７，８の加工山数が
Ｎｏ．１０，１２のそれよりも多いことから、Ａｌ2Ｏ3
の一部をＺｒＯ2で置換すると、強度が高くなることが
明らかである。
試料Ｎｏ．１〜１２の切削チップは、耐磨耗性及び耐欠
損性に優れていた。特に硬質被覆層を形成したＮｏ．３
〜１２は、硬質被覆層を形成していないＮｏ．１，２よ
りも全般的に耐磨耗性に優れていた。そして、その中で
も試験３において、Ｎｏ．４，５，９の加工山数がＮ
ｏ．１１のそれよりも多く、Ｎｏ．７，８の加工山数が
Ｎｏ．１０，１２のそれよりも多いことから、Ａｌ2Ｏ3
の一部をＺｒＯ2で置換すると、強度が高くなることが
明らかである。
【００２３】これに対して、Ｎｏ．１３は、基体がＳｉ
Ｃ粒子を含んでいないので、根本的に耐磨耗性、耐欠損
性及び機械的強度に劣っていた。Ｎｏ．１４，１５は、
ＳｉＣ又はＺｒＯ2の含有量が過剰となり、相対的にＡ
ｌ2Ｏ3の含有量が少なくなったので、この発明に属する
切削チップよりも耐磨耗性に劣っていた。Ｎｏ．１６
は、硬質被覆層が厚くなりすぎて、切削時に皮膜が剥離
し、この発明に属する切削チップよりも耐磨耗性に劣っ
た。Ｎｏ．１７は、硬質被覆層の厚さが不十分であった
ので、この発明に属する切削チップよりも耐磨耗性に劣
っていたと思われる。Ｎｏ．１８，１９は、基体がＳｉ
Ｃを含んでいるものの、Ａｌ2Ｏ3の粒界に存在するもの
でないので、粒子が脱落しやすく、チッピングを生じた
と思われる。
Ｃ粒子を含んでいないので、根本的に耐磨耗性、耐欠損
性及び機械的強度に劣っていた。Ｎｏ．１４，１５は、
ＳｉＣ又はＺｒＯ2の含有量が過剰となり、相対的にＡ
ｌ2Ｏ3の含有量が少なくなったので、この発明に属する
切削チップよりも耐磨耗性に劣っていた。Ｎｏ．１６
は、硬質被覆層が厚くなりすぎて、切削時に皮膜が剥離
し、この発明に属する切削チップよりも耐磨耗性に劣っ
た。Ｎｏ．１７は、硬質被覆層の厚さが不十分であった
ので、この発明に属する切削チップよりも耐磨耗性に劣
っていたと思われる。Ｎｏ．１８，１９は、基体がＳｉ
Ｃを含んでいるものの、Ａｌ2Ｏ3の粒界に存在するもの
でないので、粒子が脱落しやすく、チッピングを生じた
と思われる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、この発明の複合セラミッ
クス工具及び皮膜付き複合セラミックス工具は、耐磨耗
性、耐欠損性及び強度に優れているので、過酷な条件で
の切削が可能である。従って、工具としての利用範囲が
広がる。
クス工具及び皮膜付き複合セラミックス工具は、耐磨耗
性、耐欠損性及び強度に優れているので、過酷な条件で
の切削が可能である。従って、工具としての利用範囲が
広がる。
【図１】実施例の試験３の切削方法を説明する図であ
る。
る。
Claims (7)
- 【請求項１】 平均粒径がミクロンオーダーの酸化アル
ミニウム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する最大粒径
１００ｎｍ以下の炭化ケイ素粒子とを含み、炭化ケイ素
の総量が２〜１０重量％の焼結体からなることを特徴と
する複合セラミックス工具。 - 【請求項２】 前記酸化アルミニウム結晶粒内に、最大
粒径５０ｎｍ以下の第二の炭化ケイ素粒子が存在する請
求項１に記載の複合セラミックス工具。 - 【請求項３】 酸化アルミニウムの一部を酸化ジルコニ
ウムで置換し、焼結体全体に対して０．５〜１０重量％
の酸化ジルコニウムが含まれるようにした請求項１又は
２に記載の複合セラミックス工具。 - 【請求項４】 平均粒径１μｍ未満の酸化アルミニウム
粉末及び平均粒径０．１μｍ以下の炭化ケイ素粉末を主
とする原料を混合し、加圧焼成することを特徴とする複
合セラミックス工具の製造方法。 - 【請求項５】 平均粒径がミクロンオーダーの酸化アル
ミニウム結晶粒子と、その結晶粒界に存在する第一の炭
化ケイ素粒子と、前記酸化アルミニウム結晶粒内に存在
する最大粒径５０ｎｍ以下の第二の炭化ケイ素粒子とを
含み、炭化ケイ素の総量が２〜１０重量％の焼結体の表
面に、アルミニウムＡｌ、ジルコニウムＺｒ、チタンＴ
ｉ又はハフニウムＨｆの炭化物、窒化物、酸化物又は酸
窒化物から選ばれる１層以上の皮膜で被覆したことを特
徴とする皮膜付き複合セラミックス工具。 - 【請求項６】 皮膜のうち、焼結体に最も近い第１層が
アルミニウムＡｌの酸化物からなる請求項４に記載の皮
膜付き複合セラミックス工具。 - 【請求項７】 皮膜全体の平均厚さが０．３〜１０μｍ
である請求項５又は６に記載の皮膜付き複合セラミック
ス工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7100567A JPH08267305A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 複合セラミックス工具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7100567A JPH08267305A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 複合セラミックス工具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08267305A true JPH08267305A (ja) | 1996-10-15 |
Family
ID=14277497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7100567A Pending JPH08267305A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 複合セラミックス工具、皮膜付き複合セラミックス工具及びそれらの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08267305A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006248803A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Kyocera Corp | 磁気ヘッド用基板及びその製造方法 |
| JP2008087986A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Nippon Tungsten Co Ltd | 複合セラミックス |
| JP2010265173A (ja) * | 2010-07-08 | 2010-11-25 | Kyocera Corp | 磁気ヘッド用基板 |
| WO2017131159A1 (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 住友大阪セメント株式会社 | セラミックス材料、静電チャック装置 |
| WO2018155374A1 (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 住友大阪セメント株式会社 | 複合焼結体、静電チャック部材、および静電チャック装置 |
| WO2019182107A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | 住友大阪セメント株式会社 | 複合焼結体、静電チャック部材、静電チャック装置および複合焼結体の製造方法 |
| JP2020001952A (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-09 | 京セラ株式会社 | セラミック部材及び切削工具 |
| US12074050B2 (en) | 2017-03-30 | 2024-08-27 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Composite sintered body, electrostatic chuck member, electrostatic chuck device, and method for producing composite sintered body |
-
1995
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