JPH0826829A - 窒化珪素焼結体 - Google Patents
窒化珪素焼結体Info
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- JPH0826829A JPH0826829A JP6182953A JP18295394A JPH0826829A JP H0826829 A JPH0826829 A JP H0826829A JP 6182953 A JP6182953 A JP 6182953A JP 18295394 A JP18295394 A JP 18295394A JP H0826829 A JPH0826829 A JP H0826829A
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- Japan
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- silicon nitride
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- nitride sintered
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Abstract
(57)【要約】
【目的】最高約１５００℃で使用される構造材料として
十分な強度及び耐久性を有し、一方室温においても比較
的高い強度を有する窒化珪素焼結体を提供する。 【構成】窒化珪素粒子とＲ（Ｒは希土類元素）、Ｓｉ、
Ｏ及びＮを含む粒界相とからなる焼結体において、その
表層部にのみメリライト相（Ｒ2Ｓｉ3Ｎ4Ｏ3）が存在す
ることを特徴とする。
十分な強度及び耐久性を有し、一方室温においても比較
的高い強度を有する窒化珪素焼結体を提供する。 【構成】窒化珪素粒子とＲ（Ｒは希土類元素）、Ｓｉ、
Ｏ及びＮを含む粒界相とからなる焼結体において、その
表層部にのみメリライト相（Ｒ2Ｓｉ3Ｎ4Ｏ3）が存在す
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスタービン等の熱機
関に好適な強度及び耐クリープ性に優れた窒化珪素焼結
体に関するものである。
関に好適な強度及び耐クリープ性に優れた窒化珪素焼結
体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素焼結体は、機械的特性、耐熱性
及び耐食性等に優れているため、自動車用エンジンやガ
スタービンエンジン等の熱機関で用いられる構造材料へ
の応用が試みられている。
及び耐食性等に優れているため、自動車用エンジンやガ
スタービンエンジン等の熱機関で用いられる構造材料へ
の応用が試みられている。
【０００３】この窒化珪素は、共有結合性が高いため難
焼結性であって、焼結させるためにはＡｌ2Ｏ3、ＭｇＯ
及び希土類元素酸化物等の焼結助剤が必要である。しか
し、こうして得られた焼結体は、高温において強度が低
下するため、焼結助剤の検討や粒界を結晶化する等の試
みがなされてきた。例えば、特開昭64-56368号公報にお
いては粒界をアパタイトあるいはダイシリケートに、特
開昭64-61357号公報においては粒界をウォラストナイト
あるいはカスピデインに、特開昭64-61358号公報におい
ては粒界をメリライトに結晶化して高温高強度を実現し
ている。また、表面状態の劣化による強度の低下を防ぐ
ため焼結体表層部の酸素量を内部より多くする試みが、
特開平4-154667号公報により開示されている。
焼結性であって、焼結させるためにはＡｌ2Ｏ3、ＭｇＯ
及び希土類元素酸化物等の焼結助剤が必要である。しか
し、こうして得られた焼結体は、高温において強度が低
下するため、焼結助剤の検討や粒界を結晶化する等の試
みがなされてきた。例えば、特開昭64-56368号公報にお
いては粒界をアパタイトあるいはダイシリケートに、特
開昭64-61357号公報においては粒界をウォラストナイト
あるいはカスピデインに、特開昭64-61358号公報におい
ては粒界をメリライトに結晶化して高温高強度を実現し
ている。また、表面状態の劣化による強度の低下を防ぐ
ため焼結体表層部の酸素量を内部より多くする試みが、
特開平4-154667号公報により開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように従来、窒化
珪素焼結体においては主として組成及び焼結条件等を検
討することにより高強度を達成してきた。しかし、これ
らの焼結体は室温において高強度であっても、依然とし
て高温での強度劣化が大きいあるいは耐クリープ性が悪
いという課題や、高温で強度を維持させるため粒界結晶
化処理を施した結果として室温の強度レベルが低下して
しまうなどの課題があった。
珪素焼結体においては主として組成及び焼結条件等を検
討することにより高強度を達成してきた。しかし、これ
らの焼結体は室温において高強度であっても、依然とし
て高温での強度劣化が大きいあるいは耐クリープ性が悪
いという課題や、高温で強度を維持させるため粒界結晶
化処理を施した結果として室温の強度レベルが低下して
しまうなどの課題があった。
【０００５】本発明の目的は、最高約１５００℃で使用
される構造材料として十分な強度及び耐久性を有し、一
方室温においても比較的高い強度を有する窒化珪素焼結
体を提供することにある。
される構造材料として十分な強度及び耐久性を有し、一
方室温においても比較的高い強度を有する窒化珪素焼結
体を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】その目的を達成するため
に、この発明の窒化珪素焼結体は、窒化珪素粒子とＲ
（Ｒは希土類元素）、Ｓｉ、Ｏ及びＮを含む粒界相とか
らなる焼結体において、その表層部にのみメリライト相
（Ｒ2Ｓｉ3Ｎ4Ｏ3）が存在することを特徴とする。
に、この発明の窒化珪素焼結体は、窒化珪素粒子とＲ
（Ｒは希土類元素）、Ｓｉ、Ｏ及びＮを含む粒界相とか
らなる焼結体において、その表層部にのみメリライト相
（Ｒ2Ｓｉ3Ｎ4Ｏ3）が存在することを特徴とする。
【０００７】上記希土類元素は、周期表３Ａ族のＳｃ、
Ｙ及びランタノイド元素のいずれかであるが、就中Ｙ、
Ｅｒ、Ｙｂが好ましい。ここで、メリライト相とはＪＣ
ＰＤＳカードＮｏ．28-1457と同一のＸ線回折パターン
を有する結晶相である。そして、このメリライト相が存
在する表層部の厚みが１０〜５００μｍである窒化珪素
焼結体が好ましい。
Ｙ及びランタノイド元素のいずれかであるが、就中Ｙ、
Ｅｒ、Ｙｂが好ましい。ここで、メリライト相とはＪＣ
ＰＤＳカードＮｏ．28-1457と同一のＸ線回折パターン
を有する結晶相である。そして、このメリライト相が存
在する表層部の厚みが１０〜５００μｍである窒化珪素
焼結体が好ましい。
【０００８】更に好ましくは、前記窒化珪素焼結体中の
希土類元素をＲ2Ｏ3に換算したモル量と焼結体中の酸素
量からＲ2Ｏ3に含まれる酸素量を差し引いた残りの酸素
量をＳｉＯ2に換算したモル量から計算されるＳｉＯ2／
（Ｒ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の値は０．５〜０．８であること
を特徴とする。
希土類元素をＲ2Ｏ3に換算したモル量と焼結体中の酸素
量からＲ2Ｏ3に含まれる酸素量を差し引いた残りの酸素
量をＳｉＯ2に換算したモル量から計算されるＳｉＯ2／
（Ｒ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の値は０．５〜０．８であること
を特徴とする。
【０００９】
【作用】通常、窒化珪素焼結体においては同一の焼結助
剤を用いている場合、粒界相が結晶化していると粒界相
がガラス相の場合より、高温での強度劣化は小さく、室
温強度が低い値となる。本発明によれば、焼結体表層部
の粒界は実質的にメリライト相に結晶化しており、残留
ガラスは非常に少ないため高温強度に優れたもの（１５
００℃にて４５０ＭＰａ以上、より好ましくは５００Ｍ
Ｐａ以上）となる。また、表層部のみメリライトに結晶
化していることにより、表層部粒界と内部粒界とで焼成
後に熱膨張差が生じて室温付近の温度では焼結体に残留
応力が発生しており、室温強度も耐熱性材料としては比
較的高い値（７００ＭＰａ以上、より好ましくは８００
ＭＰａ以上）を示す。
剤を用いている場合、粒界相が結晶化していると粒界相
がガラス相の場合より、高温での強度劣化は小さく、室
温強度が低い値となる。本発明によれば、焼結体表層部
の粒界は実質的にメリライト相に結晶化しており、残留
ガラスは非常に少ないため高温強度に優れたもの（１５
００℃にて４５０ＭＰａ以上、より好ましくは５００Ｍ
Ｐａ以上）となる。また、表層部のみメリライトに結晶
化していることにより、表層部粒界と内部粒界とで焼成
後に熱膨張差が生じて室温付近の温度では焼結体に残留
応力が発生しており、室温強度も耐熱性材料としては比
較的高い値（７００ＭＰａ以上、より好ましくは８００
ＭＰａ以上）を示す。
【００１０】メリライト相が存在する表層部の厚みを１
０〜５００μｍとしたのは、この範囲より薄いとメリラ
イト相において問題となる1000℃付近での酸化でメリラ
イト相が全てＳｉＯ2とＲ2Ｓｉ2Ｏ7に変化してしまい、
高温での高強度化が達成されないからである。一方、上
記残留応力は、内部と表層部との界面近傍で最大とな
り、そこから離れるに従って小さくなるので、その範囲
より厚くなると表層部の残留応力が低下し室温強度が低
下してしまうからである。上記厚みのうち、特に好まし
い範囲は５０〜３００μｍである。
０〜５００μｍとしたのは、この範囲より薄いとメリラ
イト相において問題となる1000℃付近での酸化でメリラ
イト相が全てＳｉＯ2とＲ2Ｓｉ2Ｏ7に変化してしまい、
高温での高強度化が達成されないからである。一方、上
記残留応力は、内部と表層部との界面近傍で最大とな
り、そこから離れるに従って小さくなるので、その範囲
より厚くなると表層部の残留応力が低下し室温強度が低
下してしまうからである。上記厚みのうち、特に好まし
い範囲は５０〜３００μｍである。
【００１１】焼結体組織に関しては、微細な等軸状の窒
化珪素粒子の均一な組織である場合、室温では高強度を
示すものの高温での劣化が大きく、また耐クリープ性も
低い。高温での強度及び耐久性を維持するためには、等
軸状の微細粒子と柱状の粗大粒子の複合組織である方が
有利である。
化珪素粒子の均一な組織である場合、室温では高強度を
示すものの高温での劣化が大きく、また耐クリープ性も
低い。高温での強度及び耐久性を維持するためには、等
軸状の微細粒子と柱状の粗大粒子の複合組織である方が
有利である。
【００１２】焼結体中のＳｉＯ2／（Ｒ2Ｏ3+ＳｉＯ2）
の値を０．５〜０．８としているのは、この範囲内（特
に好ましくは０．５５〜０．７５）であれば焼結体組織
が微細粒子と粗大粒子の複合組織となるが、この値が
０．５より小さいと焼結体組織が全体的に粗くなって室
温強度を低下させること、０．８より大きいと緻密化が
困難であり高強度の焼結体を得難いという問題がある。
の値を０．５〜０．８としているのは、この範囲内（特
に好ましくは０．５５〜０．７５）であれば焼結体組織
が微細粒子と粗大粒子の複合組織となるが、この値が
０．５より小さいと焼結体組織が全体的に粗くなって室
温強度を低下させること、０．８より大きいと緻密化が
困難であり高強度の焼結体を得難いという問題がある。
【００１３】尚、内部の粒界相の状態は、焼結助剤の組
成、焼結条件及び焼結後の熱処理条件により異なるが焼
結体中のＳｉＯ2／（Ｒ2Ｏ3+ＳｉＯ2）の値が上記範囲
内にある場合はガラス相もしくはＲ4Ｓｉ2Ｎ2Ｏ7あるい
はＲ2Ｓｉ2Ｏ7の結晶相となる。
成、焼結条件及び焼結後の熱処理条件により異なるが焼
結体中のＳｉＯ2／（Ｒ2Ｏ3+ＳｉＯ2）の値が上記範囲
内にある場合はガラス相もしくはＲ4Ｓｉ2Ｎ2Ｏ7あるい
はＲ2Ｓｉ2Ｏ7の結晶相となる。
【００１４】
【実施例】平均粒径0.6μｍ、α率97％のＳｉ3Ｎ4粉末
に、平均粒径1〜3μｍの希土類酸化物及び平均粒径約1
μｍのＳｉＯ2、Ｖ2Ｏ5、ＭｏＯ3及びＷＯ3の各粉末を
表１に示した組成で配合し、窒化珪素製ボールミル中で
湿式混合粉砕した後、乾燥して得られた粉末を55x55x25
mmに4ton/cm2の圧力で静水圧プレス成形し、常圧焼結、
ガス圧焼結及び熱間静水圧加圧あるいはこれらを組み合
わせた焼結法により焼結体を得る。尚、本発明の焼結体
は再加熱処理によっても得ることが可能であるが、この
際の温度は１６００〜１８００℃の比較的高温であっ
て、更にＣＯを微量に含む窒素雰囲気中であることが望
ましい。
に、平均粒径1〜3μｍの希土類酸化物及び平均粒径約1
μｍのＳｉＯ2、Ｖ2Ｏ5、ＭｏＯ3及びＷＯ3の各粉末を
表１に示した組成で配合し、窒化珪素製ボールミル中で
湿式混合粉砕した後、乾燥して得られた粉末を55x55x25
mmに4ton/cm2の圧力で静水圧プレス成形し、常圧焼結、
ガス圧焼結及び熱間静水圧加圧あるいはこれらを組み合
わせた焼結法により焼結体を得る。尚、本発明の焼結体
は再加熱処理によっても得ることが可能であるが、この
際の温度は１６００〜１８００℃の比較的高温であっ
て、更にＣＯを微量に含む窒素雰囲気中であることが望
ましい。
【００１５】
【表１】 得られた焼結体の諸特性を表２に示す。表２の特性のう
ち焼結体密度は、アルキメデス法により測定し混合則で
計算した理論密度に対する比で表した。焼結体が含有す
る酸素量は酸素量分析装置により測定し、希土類元素量
はICP発光分析により定量した。粒界相の同定はＸ線回
折装置を用いて行い、強度はJIS R 1601及びR 1604に従
う四点曲げ試験により測定した。尚、メリライト相の存
在する表層部の厚みは焼結体断面を鏡面研磨した後に電
子顕微鏡観察により決定した。また、粒界相には、焼結
助剤として添加したＶ、Ｗ、Ｍｏ等の珪化物（ＶＳ
ｉ2、Ｖ5Ｓｉ3、ＭｏＳｉ2、ＷＳｉ2、Ｗ5Ｓｉ3）や、
これらの固溶体の存在が認められる場合があったが、焼
結体全体に均一であり、省略した。
ち焼結体密度は、アルキメデス法により測定し混合則で
計算した理論密度に対する比で表した。焼結体が含有す
る酸素量は酸素量分析装置により測定し、希土類元素量
はICP発光分析により定量した。粒界相の同定はＸ線回
折装置を用いて行い、強度はJIS R 1601及びR 1604に従
う四点曲げ試験により測定した。尚、メリライト相の存
在する表層部の厚みは焼結体断面を鏡面研磨した後に電
子顕微鏡観察により決定した。また、粒界相には、焼結
助剤として添加したＶ、Ｗ、Ｍｏ等の珪化物（ＶＳ
ｉ2、Ｖ5Ｓｉ3、ＭｏＳｉ2、ＷＳｉ2、Ｗ5Ｓｉ3）や、
これらの固溶体の存在が認められる場合があったが、焼
結体全体に均一であり、省略した。
【００１６】
【表２】 表２から明らかなように本発明範囲に属する焼結体によ
れば室温強度（７００ＭＰａ以上）を損なうことなく且
つ1500℃という高温でも高強度（４５０ＭＰａ以上）を
得ることができる。ただし、Ｎｏ．６は、ＳｉＯ2／
（Ｒ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の値が若干過小のため、Ｎｏ．１
〜５に比べて室温強度がやや低くなったと考えられる。
また、Ｎｏ．７は、その値が若干過大のため、密度が低
く高温強度もやや低くなったと考えられる。
れば室温強度（７００ＭＰａ以上）を損なうことなく且
つ1500℃という高温でも高強度（４５０ＭＰａ以上）を
得ることができる。ただし、Ｎｏ．６は、ＳｉＯ2／
（Ｒ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の値が若干過小のため、Ｎｏ．１
〜５に比べて室温強度がやや低くなったと考えられる。
また、Ｎｏ．７は、その値が若干過大のため、密度が低
く高温強度もやや低くなったと考えられる。
【００１７】これに対し、Ｎｏ．８〜１０の焼結体は表
層部にメリライト相が存在しないため1500℃での強度が
低いものとなっている。すなわち、Ｎｏ．８と１０の焼
結体は全体的に単一の結晶相を生じているので室温強度
も低くなっており、ＮＯ．９の焼結体は粒界相がガラス
相であるので室温強度は比較的高いものの1500℃強度が
著しく低くなってしまった。Ｎｏ．１１は、表層部にメ
リライト相が存在するが、その厚みが１０μｍ未満であ
るので、１５００℃での強度が低くなった。逆にＮｏ．
１２は、焼結体全体にメリライト相が存在するので（厚
みが５００μｍ以上に相当する）、室温強度が低くなっ
た。
層部にメリライト相が存在しないため1500℃での強度が
低いものとなっている。すなわち、Ｎｏ．８と１０の焼
結体は全体的に単一の結晶相を生じているので室温強度
も低くなっており、ＮＯ．９の焼結体は粒界相がガラス
相であるので室温強度は比較的高いものの1500℃強度が
著しく低くなってしまった。Ｎｏ．１１は、表層部にメ
リライト相が存在するが、その厚みが１０μｍ未満であ
るので、１５００℃での強度が低くなった。逆にＮｏ．
１２は、焼結体全体にメリライト相が存在するので（厚
みが５００μｍ以上に相当する）、室温強度が低くなっ
た。
【００１８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の結晶構造によれば、室温強度が高く、しかも高温にお
いて強度劣化の少ない、高温構造部材として適した窒化
珪素焼結体を得ることができる。
の結晶構造によれば、室温強度が高く、しかも高温にお
いて強度劣化の少ない、高温構造部材として適した窒化
珪素焼結体を得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 窒化珪素粒子とＲ（Ｒは希土類元素）、
Ｓｉ、Ｏ及びＮを含む粒界相とからなる焼結体におい
て、その表層部にのみメリライト相（Ｒ2Ｓｉ3Ｎ4Ｏ3）
が存在することを特徴とする窒化珪素焼結体。 - 【請求項２】 前記メリライト相が存在する表層部の厚
みが１０〜５００μｍである請求項１に記載の窒化珪素
焼結体。 - 【請求項３】 前記焼結体中の希土類元素をＲ2Ｏ3に換
算したモル量と焼結体中の酸素量からＲ2Ｏ3に含まれる
酸素量を差し引いた残りの酸素量をＳｉＯ2に換算した
モル量から計算されるＳｉＯ2／（Ｒ2Ｏ3＋ＳｉＯ2）の
値が０．５〜０．８である請求項１又は２に記載の窒化
珪素焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18295394A JP3212450B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 窒化珪素焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18295394A JP3212450B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 窒化珪素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0826829A true JPH0826829A (ja) | 1996-01-30 |
| JP3212450B2 JP3212450B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=16127241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18295394A Expired - Fee Related JP3212450B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-07-11 | 窒化珪素焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3212450B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002526374A (ja) * | 1998-10-02 | 2002-08-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 複合材料の製造方法およびこの複合材料の代表的材料 |
| JP2002356376A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Kyocera Corp | 配線基板及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-07-11 JP JP18295394A patent/JP3212450B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002526374A (ja) * | 1998-10-02 | 2002-08-20 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 複合材料の製造方法およびこの複合材料の代表的材料 |
| JP4755342B2 (ja) * | 1998-10-02 | 2011-08-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 複合材料の製造方法およびこの複合材料の代表的材料 |
| JP2002356376A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Kyocera Corp | 配線基板及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3212450B2 (ja) | 2001-09-25 |
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