JPH08268749A - ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法及び連続焼成炉 - Google Patents
ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法及び連続焼成炉Info
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- JPH08268749A JPH08268749A JP8016661A JP1666196A JPH08268749A JP H08268749 A JPH08268749 A JP H08268749A JP 8016661 A JP8016661 A JP 8016661A JP 1666196 A JP1666196 A JP 1666196A JP H08268749 A JPH08268749 A JP H08268749A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】フェライトコアの製造時に、その形状、及び台
板上の積載量や荷姿に左右されずに、優れた磁気特性を
有するＭｎＺｎ系フェライトコアを安定的に焼成する方
法及び連続焼成炉を提供することを目的とする。 【解決手段】連続焼成トンネル炉で冷却工程の酸素分圧
制御雰囲気帯と窒素雰囲気帯との境界部温度を１０００
〜１２００℃とし、その温度変動幅を±２５℃以下に制
御してフェライトコアを焼成する。
板上の積載量や荷姿に左右されずに、優れた磁気特性を
有するＭｎＺｎ系フェライトコアを安定的に焼成する方
法及び連続焼成炉を提供することを目的とする。 【解決手段】連続焼成トンネル炉で冷却工程の酸素分圧
制御雰囲気帯と窒素雰囲気帯との境界部温度を１０００
〜１２００℃とし、その温度変動幅を±２５℃以下に制
御してフェライトコアを焼成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＭｎＺｎ系フェラ
イトコアの焼成方法及び連続焼成炉に関し、例えば、連
続焼成トンネル炉を用いて該フェライトコアを焼成する
に際し、その冷却工程での雰囲気及び温度を制御する技
術に係わる。
イトコアの焼成方法及び連続焼成炉に関し、例えば、連
続焼成トンネル炉を用いて該フェライトコアを焼成する
に際し、その冷却工程での雰囲気及び温度を制御する技
術に係わる。
【０００２】
【従来の技術】ＭｎＺｎ系フェライトコアは、各種通信
機器、電源等のコイル、トランス材料として広く用いら
れ、近年の電子機器の小型化に大きく貢献しており、さ
らに高特性のＭｎＺｎ系フェライトコアを安定かつ効率
的に製造することが強く望まれている。
機器、電源等のコイル、トランス材料として広く用いら
れ、近年の電子機器の小型化に大きく貢献しており、さ
らに高特性のＭｎＺｎ系フェライトコアを安定かつ効率
的に製造することが強く望まれている。
【０００３】ところで、磁気特性の優れたＭｎＺｎ系フ
ェライトコアを得るためには、日本金属学会報の第２４
巻、第４号（１９８５年）、２８８頁の論文「ソフトフ
ェライト」（平賀貞太郎著）に記載されているように、
昇温・最高温度保持・冷却の各段階においてそれらの温
度と雰囲気中の酸素量とを精密に制御しながら焼成する
ことが必須であると言われている。特に、冷却過程にお
ける該ＭｎＺｎフェライトコアの酸化状態の変化が磁気
特性に大きな影響を及ぼすことも周知であった。
ェライトコアを得るためには、日本金属学会報の第２４
巻、第４号（１９８５年）、２８８頁の論文「ソフトフ
ェライト」（平賀貞太郎著）に記載されているように、
昇温・最高温度保持・冷却の各段階においてそれらの温
度と雰囲気中の酸素量とを精密に制御しながら焼成する
ことが必須であると言われている。特に、冷却過程にお
ける該ＭｎＺｎフェライトコアの酸化状態の変化が磁気
特性に大きな影響を及ぼすことも周知であった。
【０００４】そこで、従来の連続焼成炉（通常、トンネ
ル炉を使用）は、ＭｎＺｎ系フェライト焼成体の酸化を
防止するために、その冷却帯における酸素分圧を極力低
減して窒素雰囲気にすると共に、急速な冷却を行ってい
る。そのため、多量の窒素ガスを冷却帯に導入して、そ
の圧力を高く保持していた。例えば、特公平４−７７２
３４号公報は、低酸素分圧室を設けたローラ・ハース式
連続焼成トンネル炉を提案し、その低酸素分圧室の酸素
濃度を数ｐｐｍ〜１００ｐｐｍ程度に低減したことを開
示している。また、特公平６−７６２５７号公報は、Ｍ
ｎＺｎ系フェライトコアを２０時間未満とこの分野では
従来に比較し非常に短い時間で焼成する技術を開示して
いる。つまり、短時間高能率生産が実現しているのであ
る。
ル炉を使用）は、ＭｎＺｎ系フェライト焼成体の酸化を
防止するために、その冷却帯における酸素分圧を極力低
減して窒素雰囲気にすると共に、急速な冷却を行ってい
る。そのため、多量の窒素ガスを冷却帯に導入して、そ
の圧力を高く保持していた。例えば、特公平４−７７２
３４号公報は、低酸素分圧室を設けたローラ・ハース式
連続焼成トンネル炉を提案し、その低酸素分圧室の酸素
濃度を数ｐｐｍ〜１００ｐｐｍ程度に低減したことを開
示している。また、特公平６−７６２５７号公報は、Ｍ
ｎＺｎ系フェライトコアを２０時間未満とこの分野では
従来に比較し非常に短い時間で焼成する技術を開示して
いる。つまり、短時間高能率生産が実現しているのであ
る。
【０００５】しかしながら、前記特公平４−７７２３４
号公報記載のローラ・ハース式連続焼成炉を用いた場
合、形状及び大きさの異なるフェライトコアを、異なる
積載量及び荷姿で台板上に載置して移動させつつ連続的
に焼成するに際し、磁気特性の劣化やばらつきが発生
し、製造の安定性の面で大きな問題となっていた。
号公報記載のローラ・ハース式連続焼成炉を用いた場
合、形状及び大きさの異なるフェライトコアを、異なる
積載量及び荷姿で台板上に載置して移動させつつ連続的
に焼成するに際し、磁気特性の劣化やばらつきが発生
し、製造の安定性の面で大きな問題となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる事情
を鑑み、連続焼成炉を用いた焼成で磁気特性の優れたＭ
ｎＺｎ系フェライトコアを安定して多量生産できる技術
を提供することを目的としている。
を鑑み、連続焼成炉を用いた焼成で磁気特性の優れたＭ
ｎＺｎ系フェライトコアを安定して多量生産できる技術
を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】発明者は、上記目的を達
成するため、フェライトコアの形状、大きさ、台板上へ
の積載量、荷姿等による冷却工程での温度変動、あるい
は焼成による磁気特性の劣化やばらつきの原因を鋭意研
究した。その結果、従来の連続焼成トンネル炉では冷却
工程の窒素雰囲気室に電気ヒータ等の加熱源による温度
制御装置を備えていないため、後述する実施例に示すよ
うに、焼成台板上に積載されたフェライト焼成体の形
状、大きさ、積載量及び荷姿等の変化によって冷却状態
が変わり、冷却工程の温度パターンが大きく変動してお
り、特に、酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰囲
気室との境界部の温度変動が、磁気特性の劣化やばらつ
きの最大の原因となっていることが明らかになった。さ
らに、ＭｎＺｎ系フェライトコアの酸化状態を示すＦｅ
2+の含有量を分析した結果、境界部の温度の変動に応じ
てＦｅ2+の含有量が変動しており、ＭｎＺｎ系フェライ
トコアの磁気特性を大きく左右する酸化状態が変化させ
られていることが明らかとなった。
成するため、フェライトコアの形状、大きさ、台板上へ
の積載量、荷姿等による冷却工程での温度変動、あるい
は焼成による磁気特性の劣化やばらつきの原因を鋭意研
究した。その結果、従来の連続焼成トンネル炉では冷却
工程の窒素雰囲気室に電気ヒータ等の加熱源による温度
制御装置を備えていないため、後述する実施例に示すよ
うに、焼成台板上に積載されたフェライト焼成体の形
状、大きさ、積載量及び荷姿等の変化によって冷却状態
が変わり、冷却工程の温度パターンが大きく変動してお
り、特に、酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰囲
気室との境界部の温度変動が、磁気特性の劣化やばらつ
きの最大の原因となっていることが明らかになった。さ
らに、ＭｎＺｎ系フェライトコアの酸化状態を示すＦｅ
2+の含有量を分析した結果、境界部の温度の変動に応じ
てＦｅ2+の含有量が変動しており、ＭｎＺｎ系フェライ
トコアの磁気特性を大きく左右する酸化状態が変化させ
られていることが明らかとなった。
【０００８】上記のような現象は、台板の送りが速いロ
ーラ・ハース式連続焼成トンネル炉で顕著となり、特公
平６−７６２５７号公報にて開示されている焼成時間が
２０時間未満の短時間焼成では特に顕著であった。ま
た、プッシャ式連続焼成トンネル炉でも同様の現象が磁
気特性の劣化やばらつきの原因となっていることが明ら
かとなった。なお、ここで、焼成時間とは、室温から昇
温、保持冷却を経て、１５０℃となるまでに要する時間
を言う。
ーラ・ハース式連続焼成トンネル炉で顕著となり、特公
平６−７６２５７号公報にて開示されている焼成時間が
２０時間未満の短時間焼成では特に顕著であった。ま
た、プッシャ式連続焼成トンネル炉でも同様の現象が磁
気特性の劣化やばらつきの原因となっていることが明ら
かとなった。なお、ここで、焼成時間とは、室温から昇
温、保持冷却を経て、１５０℃となるまでに要する時間
を言う。
【０００９】そこで、発明者は、冷却工程の酸素分圧制
御雰囲気帯とそれに続く窒素雰囲気帯との境界部温度を
最適値とし、且つその変動を小さく制御することが、高
特性のＭｎＺｎ系フェライトコアを安定して得る手段に
なると考え、本発明を着想するに至った。しかし、連続
焼成トンネル炉においては、この境界部前後の上記雰囲
気帯の温度や雰囲気を独立に制御する必要があるため、
該境界部の開口を極力小さくしなければならない等の制
約があり、そこに電気ヒータ等の加熱源と温度制御装置
を配置することは実質的には困難であった。それゆえ、
本発明では、境界部前後の上記雰囲気帯の温度を電気ヒ
ータ等の加熱源と温度制御装置により精密に制御するこ
とで、該境界部の温度を制御するようにした。
御雰囲気帯とそれに続く窒素雰囲気帯との境界部温度を
最適値とし、且つその変動を小さく制御することが、高
特性のＭｎＺｎ系フェライトコアを安定して得る手段に
なると考え、本発明を着想するに至った。しかし、連続
焼成トンネル炉においては、この境界部前後の上記雰囲
気帯の温度や雰囲気を独立に制御する必要があるため、
該境界部の開口を極力小さくしなければならない等の制
約があり、そこに電気ヒータ等の加熱源と温度制御装置
を配置することは実質的には困難であった。それゆえ、
本発明では、境界部前後の上記雰囲気帯の温度を電気ヒ
ータ等の加熱源と温度制御装置により精密に制御するこ
とで、該境界部の温度を制御するようにした。
【００１０】すなわち、本発明は、昇温、最高温度保持
及び冷却の工程を順次経てＭｎＺｎ系フェライトコアを
焼成するに際し、上記冷却工程に酸素分圧制御雰囲気帯
とそれに続く窒素雰囲気帯とを設け、該酸素分圧制御雰
囲気帯と該窒素雰囲気帯との境界部の温度範囲を１００
０〜１２００℃とし、且つ該境界部温度を±２５℃以下
の変動幅で制御して焼成することを特徴とするＭｎＺｎ
系フェライトコアの焼成方法である。また、本発明は、
上記境界部の温度を制御するため、前記酸素分圧制御雰
囲気帯及び窒素雰囲気帯の温度を、それぞれ１０５０〜
１３００℃及び８５０〜１１５０℃としたり、あるいは
前記酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲気帯にそれぞれ
加熱源を配置し、該加熱源でそれぞれの温度を制御する
ことを特徴とするＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法
である。さらに、本発明は、前記酸素分圧制御雰囲気帯
及び窒素雰囲気帯の酸素分圧をそれぞれ０．１〜５ 体
積％及び０．１ 体積％以下としたり、あるいは室温か
ら最高温度に昇温し、その温度から１５０℃まで冷却す
るのに要する焼成時間を２０時間未満とすることを特徴
とするＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法でもある。
及び冷却の工程を順次経てＭｎＺｎ系フェライトコアを
焼成するに際し、上記冷却工程に酸素分圧制御雰囲気帯
とそれに続く窒素雰囲気帯とを設け、該酸素分圧制御雰
囲気帯と該窒素雰囲気帯との境界部の温度範囲を１００
０〜１２００℃とし、且つ該境界部温度を±２５℃以下
の変動幅で制御して焼成することを特徴とするＭｎＺｎ
系フェライトコアの焼成方法である。また、本発明は、
上記境界部の温度を制御するため、前記酸素分圧制御雰
囲気帯及び窒素雰囲気帯の温度を、それぞれ１０５０〜
１３００℃及び８５０〜１１５０℃としたり、あるいは
前記酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲気帯にそれぞれ
加熱源を配置し、該加熱源でそれぞれの温度を制御する
ことを特徴とするＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法
である。さらに、本発明は、前記酸素分圧制御雰囲気帯
及び窒素雰囲気帯の酸素分圧をそれぞれ０．１〜５ 体
積％及び０．１ 体積％以下としたり、あるいは室温か
ら最高温度に昇温し、その温度から１５０℃まで冷却す
るのに要する焼成時間を２０時間未満とすることを特徴
とするＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法でもある。
【００１１】加えて、上記方法を実施する装置に関して
も発明をなし、それは、昇温、最高温度保持及び冷却の
３つの領域で形成するＭｎＺｎ系フェライトコアの連続
焼成炉において、上記冷却領域に酸素分圧制御雰囲気室
とそれに続く窒素雰囲気室とを設け、該酸素分圧制御雰
囲気室及び該窒素雰囲気室には、温度センサと、加熱源
と、酸素分圧を測定する酸素センサと、雰囲気ガス噴出
弁とをそれぞれ配設し、且つ該温度センサにより測定し
た温度を目標値に一致するよう該加熱源の出力を調整す
る温度制御装置と、該酸素センサにより測定した酸素分
圧を目標値に一致するよう該雰囲気ガス吐出弁を調整す
る酸素分圧制御装置とを配設したことを特徴とするＭｎ
Ｚｎ系フェライトコアの連続焼成炉である。さらに加え
て、本発明は、上記酸素分圧制御雰囲気室と窒素雰囲気
室との境界部に上記温度制御装置につながる温度センサ
を追設したり、あるいは炉体をローラ・ハ−ス式とした
ことを特徴とするＭｎＺｎ系フェライトコアの連続焼成
炉でもある。
も発明をなし、それは、昇温、最高温度保持及び冷却の
３つの領域で形成するＭｎＺｎ系フェライトコアの連続
焼成炉において、上記冷却領域に酸素分圧制御雰囲気室
とそれに続く窒素雰囲気室とを設け、該酸素分圧制御雰
囲気室及び該窒素雰囲気室には、温度センサと、加熱源
と、酸素分圧を測定する酸素センサと、雰囲気ガス噴出
弁とをそれぞれ配設し、且つ該温度センサにより測定し
た温度を目標値に一致するよう該加熱源の出力を調整す
る温度制御装置と、該酸素センサにより測定した酸素分
圧を目標値に一致するよう該雰囲気ガス吐出弁を調整す
る酸素分圧制御装置とを配設したことを特徴とするＭｎ
Ｚｎ系フェライトコアの連続焼成炉である。さらに加え
て、本発明は、上記酸素分圧制御雰囲気室と窒素雰囲気
室との境界部に上記温度制御装置につながる温度センサ
を追設したり、あるいは炉体をローラ・ハ−ス式とした
ことを特徴とするＭｎＺｎ系フェライトコアの連続焼成
炉でもある。
【００１２】なお、この場合、温度の変動幅とは、平均
温度にたいする最大偏差の範囲をいい、境界部を通過す
るフェライト成形体の形状、大きさ、積載量及び荷姿等
により空間的ないし時間的に変動する許容温度範囲であ
る。また、酸素分圧制御雰囲気室及び窒素雰囲気室以外
の冷却工程における雰囲気は従来通りでよい。以上の本
発明をＭｎＺｎフェライトコアの焼成に採用するように
したので、連続焼成炉を用いた焼成であっても磁気特性
の優れたＭｎＺｎ系フェライトコアが安定して多量に生
産できるようになった。
温度にたいする最大偏差の範囲をいい、境界部を通過す
るフェライト成形体の形状、大きさ、積載量及び荷姿等
により空間的ないし時間的に変動する許容温度範囲であ
る。また、酸素分圧制御雰囲気室及び窒素雰囲気室以外
の冷却工程における雰囲気は従来通りでよい。以上の本
発明をＭｎＺｎフェライトコアの焼成に採用するように
したので、連続焼成炉を用いた焼成であっても磁気特性
の優れたＭｎＺｎ系フェライトコアが安定して多量に生
産できるようになった。
【００１３】次に、本発明で採用した焼成条件の限定理
由について説明する。まず、酸素分圧制御雰囲気とそれ
に続く窒素雰囲気との境界部の温度を１０００〜１２０
０℃とし、この温度の変動幅を±２５℃以下に限定した
理由及びこの２つの雰囲気温度と酸素分圧を限定した理
由について以下に説明する。境界部の最適温度は、Ｍｎ
Ｚｎ系フェライトコアの材質によって異なり、フェライ
トの結晶粒界成分が液相から固相に変態する温度、他の
微量成分が該結晶粒界に析出する温度、該粒界における
酸素の拡散が遅くなる温度等が考えられ、この温度より
高温側では温度に応じた酸素分圧の制御によりＭｎＺｎ
系フェライトの酸化状態を安定に制御し、低温側では窒
素雰囲気中において冷却することにより酸化を防止でき
ると考え、酸素分圧制御雰囲気と窒素雰囲気に分割し制
御することとした。
由について説明する。まず、酸素分圧制御雰囲気とそれ
に続く窒素雰囲気との境界部の温度を１０００〜１２０
０℃とし、この温度の変動幅を±２５℃以下に限定した
理由及びこの２つの雰囲気温度と酸素分圧を限定した理
由について以下に説明する。境界部の最適温度は、Ｍｎ
Ｚｎ系フェライトコアの材質によって異なり、フェライ
トの結晶粒界成分が液相から固相に変態する温度、他の
微量成分が該結晶粒界に析出する温度、該粒界における
酸素の拡散が遅くなる温度等が考えられ、この温度より
高温側では温度に応じた酸素分圧の制御によりＭｎＺｎ
系フェライトの酸化状態を安定に制御し、低温側では窒
素雰囲気中において冷却することにより酸化を防止でき
ると考え、酸素分圧制御雰囲気と窒素雰囲気に分割し制
御することとした。
【００１４】本発明者らが数種類の材質について実験を
繰り返して検討した結果、上記境界部の温度は、材質に
よって異なるが、１０００〜１２００℃が適切であり、
好ましくは１０５０〜１１５０℃とするべきであること
が判明したので、そのように限定した。該境界部温度の
変動幅は、材質によって定まる上記最適温度より±２５
℃を超えて外れると、製品の磁気特性が劣化したり、ば
らつきが大きくなるので、そのように限定したが、磁気
特性をほぼ一定にするには、該変動幅を±１０℃以下と
するのが一層好ましい。
繰り返して検討した結果、上記境界部の温度は、材質に
よって異なるが、１０００〜１２００℃が適切であり、
好ましくは１０５０〜１１５０℃とするべきであること
が判明したので、そのように限定した。該境界部温度の
変動幅は、材質によって定まる上記最適温度より±２５
℃を超えて外れると、製品の磁気特性が劣化したり、ば
らつきが大きくなるので、そのように限定したが、磁気
特性をほぼ一定にするには、該変動幅を±１０℃以下と
するのが一層好ましい。
【００１５】また、酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲
気帯の温度は、上記境界部の温度を最適値にするような
組み合わせとなるが、後者の窒素雰囲気帯温度はフェラ
イト焼成体の酸化を防止するため、８５０〜１１５０℃
の範囲が望ましい。一方、酸素分圧制御雰囲気帯の温度
は、そこでの冷却速度を小さくすることがフェライトの
特性発現に好ましいことから、１０５０〜１３００℃の
範囲とした。
気帯の温度は、上記境界部の温度を最適値にするような
組み合わせとなるが、後者の窒素雰囲気帯温度はフェラ
イト焼成体の酸化を防止するため、８５０〜１１５０℃
の範囲が望ましい。一方、酸素分圧制御雰囲気帯の温度
は、そこでの冷却速度を小さくすることがフェライトの
特性発現に好ましいことから、１０５０〜１３００℃の
範囲とした。
【００１６】さらに、酸素分圧制御雰囲気帯では、温度
に応じて酸素分圧を制御することが、ＭｎＺｎフェライ
トの酸化状態の制御においてより好ましいため、酸素分
圧を０．１〜５％とした。窒素雰囲気帯では、フェライ
トコアの酸化を防止するために、酸素分圧０．１％以下
の窒素雰囲気とした。また、この窒素雰囲気帯に続く８
５０℃未満の冷却工程も窒素雰囲気とすることが好まし
い。但し、ここで言う窒素雰囲気は、不活性ガスであれ
ばよく、アルゴンガス等で代替できるが、工業的には窒
素ガスが好ましい。
に応じて酸素分圧を制御することが、ＭｎＺｎフェライ
トの酸化状態の制御においてより好ましいため、酸素分
圧を０．１〜５％とした。窒素雰囲気帯では、フェライ
トコアの酸化を防止するために、酸素分圧０．１％以下
の窒素雰囲気とした。また、この窒素雰囲気帯に続く８
５０℃未満の冷却工程も窒素雰囲気とすることが好まし
い。但し、ここで言う窒素雰囲気は、不活性ガスであれ
ばよく、アルゴンガス等で代替できるが、工業的には窒
素ガスが好ましい。
【００１７】なお、本発明では、限定条件にしていない
が、窒素雰囲気帯に設ける電気ヒータ等の加熱源は、上
記境界部の近傍にのみ設け、８５０℃以下の低温域には
加熱源を配置しない方がよい。８５０℃以下の低温域で
は、窒素雰囲気で急冷することにより酸化の影響を小さ
くできるためであるが、加熱源の設置による炉体の開口
部からの外気の流入が窒素雰囲気の酸素分圧を上昇させ
ることを避けるためでもある。
が、窒素雰囲気帯に設ける電気ヒータ等の加熱源は、上
記境界部の近傍にのみ設け、８５０℃以下の低温域には
加熱源を配置しない方がよい。８５０℃以下の低温域で
は、窒素雰囲気で急冷することにより酸化の影響を小さ
くできるためであるが、加熱源の設置による炉体の開口
部からの外気の流入が窒素雰囲気の酸素分圧を上昇させ
ることを避けるためでもある。
【００１８】加熱源は、酸素分圧制御雰囲気及び窒素雰
囲気中で加熱可能で、かつこの２つの雰囲気の酸素分圧
を変動させない形態であれば良く、例えば、電気ヒータ
等による抵抗加熱、赤外線ランプ等による赤外線加熱、
高周波加熱、加熱した雰囲気ガスによるガス加熱等が加
熱源として採用可能である。また、使用される連続焼成
トンネル炉は、本発明の条件が満たされる焼成ができれ
ばいかなる方式のものであっても良いが、例えば、すで
に特公平４−７７２３４号公報で提案したローラ・ハー
ス式連続焼成トンネル炉において、図１に示すような窒
素雰囲気室の８５０〜１１５０℃の領域まで電気ヒータ
等の加熱源を配置したものを用いることが、製品の磁気
特性及び生産効率の両面で推奨される。ローラ・ハース
式連続焼成トンネル炉は、台板の送りを速くすることが
でき、フェライト製造の高能率化に大きく貢献できる
が、それゆえ、フェライト焼成体の積載量及び荷姿等の
影響による温度の変動が大きく、本発明の効果が大きく
発揮される。
囲気中で加熱可能で、かつこの２つの雰囲気の酸素分圧
を変動させない形態であれば良く、例えば、電気ヒータ
等による抵抗加熱、赤外線ランプ等による赤外線加熱、
高周波加熱、加熱した雰囲気ガスによるガス加熱等が加
熱源として採用可能である。また、使用される連続焼成
トンネル炉は、本発明の条件が満たされる焼成ができれ
ばいかなる方式のものであっても良いが、例えば、すで
に特公平４−７７２３４号公報で提案したローラ・ハー
ス式連続焼成トンネル炉において、図１に示すような窒
素雰囲気室の８５０〜１１５０℃の領域まで電気ヒータ
等の加熱源を配置したものを用いることが、製品の磁気
特性及び生産効率の両面で推奨される。ローラ・ハース
式連続焼成トンネル炉は、台板の送りを速くすることが
でき、フェライト製造の高能率化に大きく貢献できる
が、それゆえ、フェライト焼成体の積載量及び荷姿等の
影響による温度の変動が大きく、本発明の効果が大きく
発揮される。
【００１９】さらに、本発明に係る焼成方法が適用され
るＭｎＺｎ系フェライトとしては、主成分にＦｅ2 Ｏ
3 、ＭｎＯ及びＺｎＯを含んだものであるが、製品の各
種特性を改善するため、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、Ｃｕ
Ｏ等が添加されたり、あるいはＳｉＯ2 、ＣａＯ、Ｖ2
Ｏ5 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＳｎＯ2 、ＴｉＯ2 、
ＺｒＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ3 、Ｂｉ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 ，Ｇｅ
Ｏ2 等が微量添加されたものであっても良い。なお、こ
れらのＭｎＺｎ系フェライトコアを焼成する時、最高温
度は１１５０〜１４００℃の範囲でそれぞれの材質に適
した温度とする。
るＭｎＺｎ系フェライトとしては、主成分にＦｅ2 Ｏ
3 、ＭｎＯ及びＺｎＯを含んだものであるが、製品の各
種特性を改善するため、ＣｏＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、Ｃｕ
Ｏ等が添加されたり、あるいはＳｉＯ2 、ＣａＯ、Ｖ2
Ｏ5 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＳｎＯ2 、ＴｉＯ2 、
ＺｒＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ3 、Ｂｉ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 ，Ｇｅ
Ｏ2 等が微量添加されたものであっても良い。なお、こ
れらのＭｎＺｎ系フェライトコアを焼成する時、最高温
度は１１５０〜１４００℃の範囲でそれぞれの材質に適
した温度とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】まず、図１に本発明に係る焼成方
法を実施した連続焼成炉の１例を示す。図１はローラ・
ハース式の例であるが、そこでは連続焼成トンネル炉の
うちの昇温工程部分を省略して台板９に載置した焼成体
８を最高温度に保持する所謂保持工程部分の後半と、冷
却工程を示している。
法を実施した連続焼成炉の１例を示す。図１はローラ・
ハース式の例であるが、そこでは連続焼成トンネル炉の
うちの昇温工程部分を省略して台板９に載置した焼成体
８を最高温度に保持する所謂保持工程部分の後半と、冷
却工程を示している。
【００２１】本発明に係る焼成炉の重要ポイントは、上
記冷却領域の一部に酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く
窒素雰囲気室とを設け、その境界部１２を仕切壁で分
け、該酸素分圧制御雰囲気室、該窒素雰囲気室及び境界
部１２には、温度センサ３と加熱源２とをそれぞれ別個
に設けたことである。そして、そこで測定された温度
が、前記した本発明の温度条件（目標値）を満足するよ
う加熱源２の出力が調整される。その調整のため、公知
の温度制御装置１０が炉壁外に配置されている。また、
酸素分圧を測定する酸素センサ６と、該測定値を所望の
値に調整する公知の酸素分圧制御装置１１も設置されて
いる。
記冷却領域の一部に酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く
窒素雰囲気室とを設け、その境界部１２を仕切壁で分
け、該酸素分圧制御雰囲気室、該窒素雰囲気室及び境界
部１２には、温度センサ３と加熱源２とをそれぞれ別個
に設けたことである。そして、そこで測定された温度
が、前記した本発明の温度条件（目標値）を満足するよ
う加熱源２の出力が調整される。その調整のため、公知
の温度制御装置１０が炉壁外に配置されている。また、
酸素分圧を測定する酸素センサ６と、該測定値を所望の
値に調整する公知の酸素分圧制御装置１１も設置されて
いる。
【００２２】次に、図１の上記連続焼成炉を用いて、具
体的にＭｎＺｎ系フェライトコアを本発明に係る焼成方
法で製造した例を説明する。 ［実施例１］Ｆｅ2 Ｏ3 ：５３．２モル％、ＭｎＯ：３
５．６モル％及びＺｎＯ：１１．２モル％からなる原料
混合物を９５０℃で仮焼した後、湿式ボールミルで粉砕
し，平均粒径１．２μｍの粉末とした。この粉砕時に微
量成分としてＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 、Ｔａ2 Ｏ5 及びＺ
ｒＯ2 をそれぞれ１００、１２００、４００及び２００
ｐｐｍだけ同時に添加した。ついで，該粉砕粉に，バイ
ンダとしてポリビニルアルコールを添加して造粒した
後、外径３６ｍｍ、内径２４ｍｍ、高さ１２ｍｍのリン
グ状に成形した。
体的にＭｎＺｎ系フェライトコアを本発明に係る焼成方
法で製造した例を説明する。 ［実施例１］Ｆｅ2 Ｏ3 ：５３．２モル％、ＭｎＯ：３
５．６モル％及びＺｎＯ：１１．２モル％からなる原料
混合物を９５０℃で仮焼した後、湿式ボールミルで粉砕
し，平均粒径１．２μｍの粉末とした。この粉砕時に微
量成分としてＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 、Ｔａ2 Ｏ5 及びＺ
ｒＯ2 をそれぞれ１００、１２００、４００及び２００
ｐｐｍだけ同時に添加した。ついで，該粉砕粉に，バイ
ンダとしてポリビニルアルコールを添加して造粒した
後、外径３６ｍｍ、内径２４ｍｍ、高さ１２ｍｍのリン
グ状に成形した。
【００２３】ＪＩＳに規定されたＦＥ１６〜ＦＥ５０の
Ｅ形フェライトコアを２〜５ｋｇ積載した台板上に，上
記のリング状のフェライトコアを３段積みで２セット
（計６個）積載し、それらを、無作為な順序で、窒素雰
囲気室に電気ヒータを配置した場合としない場合のロー
ラ・ハース式連続焼成トンネル炉に通炉して焼成した。
その際、焼成の最高温度を１３２０℃とし、焼成時間は
１１時間とした。さらに、酸素分圧制御雰囲気室の温度
及び酸素分圧を表１に示すように変え、各条件で１０台
板分のリング状のフェライトコア６０個を焼成した。
Ｅ形フェライトコアを２〜５ｋｇ積載した台板上に，上
記のリング状のフェライトコアを３段積みで２セット
（計６個）積載し、それらを、無作為な順序で、窒素雰
囲気室に電気ヒータを配置した場合としない場合のロー
ラ・ハース式連続焼成トンネル炉に通炉して焼成した。
その際、焼成の最高温度を１３２０℃とし、焼成時間は
１１時間とした。さらに、酸素分圧制御雰囲気室の温度
及び酸素分圧を表１に示すように変え、各条件で１０台
板分のリング状のフェライトコア６０個を焼成した。
【００２４】得られた焼成体について、周波数：１００
ｋＨｚ、最大磁束密度：０．２Ｔ、温度１００℃におけ
るコアロスを、交流Ｂ−Ｈループトレーサを用いて測定
した。その結果得られたコアロスの平均値、最小値及び
最大値を表１に併せて示す。また、酸素分圧制御雰囲気
室を温度１１６０℃、酸素分圧１．２体積％に固定し、
酸素分圧０．０３体積％の窒素雰囲気室の温度を変える
ことにより、両室の境界部温度を変動幅±１０℃で制御
して１０００〜１２００の範囲で変化させ、得られた焼
成体のコアロスの値を図２に示す。
ｋＨｚ、最大磁束密度：０．２Ｔ、温度１００℃におけ
るコアロスを、交流Ｂ−Ｈループトレーサを用いて測定
した。その結果得られたコアロスの平均値、最小値及び
最大値を表１に併せて示す。また、酸素分圧制御雰囲気
室を温度１１６０℃、酸素分圧１．２体積％に固定し、
酸素分圧０．０３体積％の窒素雰囲気室の温度を変える
ことにより、両室の境界部温度を変動幅±１０℃で制御
して１０００〜１２００の範囲で変化させ、得られた焼
成体のコアロスの値を図２に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】表１より、実験Ｎｏ．７のように、酸素分
圧制御室及び窒素雰囲気室に電気ヒータ等の加熱源によ
る温度制御がなくとも、酸素分圧制御室及び窒素雰囲気
室の境界部温度が１０００〜１２００℃で、その変動幅
が±２５℃であれば、コアロスは小さく、そのバラツキ
も小さいことがわかる。これは、フェライトコア焼成体
の形状、積載量及び荷姿を一定の範囲内に限定すること
により実現される。これに対し、実験Ｎｏ．１５のよう
に両室に加熱源がない場合、実験Ｎｏ．１３、１４のよ
うに酸素分圧制御室に電気ヒータを備え、窒素雰囲気室
に電気ヒータが無い場合、あるいは実験Ｎｏ．１１、１
２のように酸素分圧制御室及び窒素雰囲気室の両方に電
気ヒータを備えているが、境界部の温度及び変動幅が上
記条件を満足しない場合は、コアロスの値及びそのバラ
ツキは大きくなる。
圧制御室及び窒素雰囲気室に電気ヒータ等の加熱源によ
る温度制御がなくとも、酸素分圧制御室及び窒素雰囲気
室の境界部温度が１０００〜１２００℃で、その変動幅
が±２５℃であれば、コアロスは小さく、そのバラツキ
も小さいことがわかる。これは、フェライトコア焼成体
の形状、積載量及び荷姿を一定の範囲内に限定すること
により実現される。これに対し、実験Ｎｏ．１５のよう
に両室に加熱源がない場合、実験Ｎｏ．１３、１４のよ
うに酸素分圧制御室に電気ヒータを備え、窒素雰囲気室
に電気ヒータが無い場合、あるいは実験Ｎｏ．１１、１
２のように酸素分圧制御室及び窒素雰囲気室の両方に電
気ヒータを備えているが、境界部の温度及び変動幅が上
記条件を満足しない場合は、コアロスの値及びそのバラ
ツキは大きくなる。
【００２７】一方、実験Ｎｏ．１〜８の結果で明らかな
ように、酸素分圧制御室及び窒素雰囲気室の両方に電気
ヒータを備えるようにすると、該境界部の温度変動幅は
±１０℃以下に抑えることができ、コアロス及びそのバ
ラツキは一層小さくなった。なお、表１の実験Ｎｏ．１
〜６の結果及び図２で明らかなように、本実施例の材質
に適した境界部温度は１１２０℃であるが、境界部温度
が１１２０℃から低温及び高温にずれると共に、コアロ
スは増加し、かつそのばらつきも増加している。これ
は、従来の窒素雰囲気室に温度制御装置のないローラ・
ハース式連続焼成トンネル炉における境界部温度のばら
つきが±約４０℃である時、コアロスのばらつきが約１
３０ｋＷ／ｍ3 と大きくなることをよく説明し、従来の
焼成方法におけるコアロスの劣化やばらつきの原因が境
界部温度の変動によることを証明している。
ように、酸素分圧制御室及び窒素雰囲気室の両方に電気
ヒータを備えるようにすると、該境界部の温度変動幅は
±１０℃以下に抑えることができ、コアロス及びそのバ
ラツキは一層小さくなった。なお、表１の実験Ｎｏ．１
〜６の結果及び図２で明らかなように、本実施例の材質
に適した境界部温度は１１２０℃であるが、境界部温度
が１１２０℃から低温及び高温にずれると共に、コアロ
スは増加し、かつそのばらつきも増加している。これ
は、従来の窒素雰囲気室に温度制御装置のないローラ・
ハース式連続焼成トンネル炉における境界部温度のばら
つきが±約４０℃である時、コアロスのばらつきが約１
３０ｋＷ／ｍ3 と大きくなることをよく説明し、従来の
焼成方法におけるコアロスの劣化やばらつきの原因が境
界部温度の変動によることを証明している。
【００２８】本発明を適用して境界部の温度を最適温度
に設定し、その変動幅を±２５℃以下に制御すると、コ
アロスの平均値は２６５ｋＷ／ｍ3 、そのばらつきは±
２０ｋＷ／ｍ3 以下となり、高特性のＭｎＺｎフェライ
ト焼成体を安定に得ることができた。 ［実施例２］Ｆｅ2 Ｏ3 ：５２．２モル％、ＭｎＯ：２
６．２モル％及びＺｎＯ：２１．６モル％からなる原料
混合物を９５０℃で仮焼した後、湿式ボールミルで粉砕
し、平均粒径１．２μｍの粉末とした。その粉砕時に、
微量成分としてＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ5 及び
Ｂｉ2 Ｏ3 をそれぞれ５０、３５０、１５０及び２００
ｐｐｍだけ添加した。ついで、この粉砕粉に、バインダ
としてポリビニルアルコールを添加造粒した後、外径３
６ｍｍ、内径２４ｍｍ、高さ１２ｍｍのリング状に成形
した。
に設定し、その変動幅を±２５℃以下に制御すると、コ
アロスの平均値は２６５ｋＷ／ｍ3 、そのばらつきは±
２０ｋＷ／ｍ3 以下となり、高特性のＭｎＺｎフェライ
ト焼成体を安定に得ることができた。 ［実施例２］Ｆｅ2 Ｏ3 ：５２．２モル％、ＭｎＯ：２
６．２モル％及びＺｎＯ：２１．６モル％からなる原料
混合物を９５０℃で仮焼した後、湿式ボールミルで粉砕
し、平均粒径１．２μｍの粉末とした。その粉砕時に、
微量成分としてＳｉＯ2 、ＣａＣＯ3 、Ｎｂ2 Ｏ5 及び
Ｂｉ2 Ｏ3 をそれぞれ５０、３５０、１５０及び２００
ｐｐｍだけ添加した。ついで、この粉砕粉に、バインダ
としてポリビニルアルコールを添加造粒した後、外径３
６ｍｍ、内径２４ｍｍ、高さ１２ｍｍのリング状に成形
した。
【００２９】ＪＩＳに規定されたＦＯＲ１３〜ＦＯＲ４
５のリング状フェライトコアを２〜６ｋｇ積載した台板
上に、上記のリング状フェライトコアを３段積みで２セ
ット（計６個）積載し、前記同様にローラ・ハース式連
続焼成トンネル炉に通炉して焼成した。その際、焼成の
最高温度は１３４０℃とし、焼成時間は１３時間とし
た。さらに、酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰
囲気室の温度及び酸素濃度を上記同様に表２に示すよう
変えて、各条件で１０台分の台板上フェライトコアを焼
成した。得られた焼成体の周波数：１ｋＨｚ、且つ室温
における初透磁率を、インピーダンス・アナライザを用
いて測定した。その結果得られた初透磁率の平均値、最
小値及び最大値を表２に併せて示す。
５のリング状フェライトコアを２〜６ｋｇ積載した台板
上に、上記のリング状フェライトコアを３段積みで２セ
ット（計６個）積載し、前記同様にローラ・ハース式連
続焼成トンネル炉に通炉して焼成した。その際、焼成の
最高温度は１３４０℃とし、焼成時間は１３時間とし
た。さらに、酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰
囲気室の温度及び酸素濃度を上記同様に表２に示すよう
変えて、各条件で１０台分の台板上フェライトコアを焼
成した。得られた焼成体の周波数：１ｋＨｚ、且つ室温
における初透磁率を、インピーダンス・アナライザを用
いて測定した。その結果得られた初透磁率の平均値、最
小値及び最大値を表２に併せて示す。
【００３０】
【表２】
【００３１】表２より、電気ヒータ等の温度制御装置が
ないローラ・ハース式連続焼成トンネル炉では、酸素分
圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰囲気室との境界部温
度の変動幅が±３１〜５３℃にもなり、初透磁率のばら
つきも最大最小の差で１１３０〜１８２０であった。そ
れに対して、本発明を適用して、例えば実験ＮＯ．２３
のように境界部温度を最適値１０７５℃に設定し、その
変動幅を±２５℃以下に制御すると、初透磁率の平均値
は、７８７０と従来より高くなる。また、実験ＮＯ．２
１〜２６を通じて、初透磁率のばらつきは、平均値に対
し±５００以下と小さく、高透磁率のＭｎＺｎ系フェラ
イトコア焼成体を安定に得ることができた。
ないローラ・ハース式連続焼成トンネル炉では、酸素分
圧制御雰囲気室とそれに続く窒素雰囲気室との境界部温
度の変動幅が±３１〜５３℃にもなり、初透磁率のばら
つきも最大最小の差で１１３０〜１８２０であった。そ
れに対して、本発明を適用して、例えば実験ＮＯ．２３
のように境界部温度を最適値１０７５℃に設定し、その
変動幅を±２５℃以下に制御すると、初透磁率の平均値
は、７８７０と従来より高くなる。また、実験ＮＯ．２
１〜２６を通じて、初透磁率のばらつきは、平均値に対
し±５００以下と小さく、高透磁率のＭｎＺｎ系フェラ
イトコア焼成体を安定に得ることができた。
【００３２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により、従来
よりも優れた磁気特性を有するＭｎＺｎ系フェライトコ
アを安定して製造することができるようになった。
よりも優れた磁気特性を有するＭｎＺｎ系フェライトコ
アを安定して製造することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る連続焼成炉を示す平面図である。
【図２】本発明に係る焼成方法の実施で得た境界部温度
と製品のコアロスとの関係を示す図である。
と製品のコアロスとの関係を示す図である。
１ 炉体 ２ 加熱源（電気ヒータ） ３ 温度センサ ４ 酸素分圧制御の雰囲気ガス噴出路 ５ 窒素ガス噴出路 ６ 酸素センサ ７ ハース・ローラ ８ フェライトコア（焼成体） ９ 台板 １０ 温度制御装置 １１ 酸素分圧制御装置 １２ 境界部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｆ 1/34 Ｈ０１Ｆ 3/00 3/00 41/02 Ｄ 41/02 1/34 Ｂ (72)発明者 河野 貴史 千葉県千葉市中央区川崎町１番地 川崎製 鉄株式会社技術研究所内 (72)発明者 有江 清詩 倉敷市水島川崎通１丁目（番地なし） 川 崎製鉄株式会社水島製鉄所内 (72)発明者 来島 慎一 倉敷市水島川崎通１丁目（番地なし） 川 崎製鉄株式会社水島製鉄所内
Claims (8)
- 【請求項１】 昇温、最高温度保持及び冷却の工程を順
次経てＭｎＺｎ系フェライトコアを焼成するに際し、 上記冷却工程に酸素分圧制御雰囲気帯とそれに続く窒素
雰囲気帯とを設け、該酸素分圧制御雰囲気帯と該窒素雰
囲気帯との境界部の温度範囲を１０００〜１２００℃と
し、且つ該境界部温度を±２５℃以下の変動幅で制御し
て焼成することを特徴とするＭｎＺｎ系フェライトコア
の焼成方法。 - 【請求項２】 前記酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲
気帯の温度を、それぞれ１０５０〜１３００℃及び８５
０〜１１５０℃とすることを特徴とする請求項１記載の
ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法。 - 【請求項３】 前記酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲
気帯の酸素分圧をそれぞれ０．１〜５ 体積％及び０．
１ 体積％以下とすることを特徴とする請求項１又は２
記載のＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法。 - 【請求項４】 前記酸素分圧制御雰囲気帯及び窒素雰囲
気帯にそれぞれ加熱源を配置し、該加熱源でそれぞれの
温度を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれ
かに記載のＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法。 - 【請求項５】 室温から最高温度に昇温し、その温度か
ら１５０℃まで冷却するのに要する焼成時間を２０時間
未満とすることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに
記載のＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法。 - 【請求項６】 昇温、最高温度保持及び冷却の３つの領
域で形成するＭｎＺｎ系フェライトコアの連続焼成炉に
おいて、 上記冷却領域に酸素分圧制御雰囲気室とそれに続く窒素
雰囲気室とを設け、該酸素分圧制御雰囲気室及び該窒素
雰囲気室には、温度センサと、加熱源と、酸素分圧を測
定する酸素センサと、雰囲気ガス噴出弁とをそれぞれ配
設し、且つ該温度センサにより測定した温度を目標値に
一致するよう該加熱源の出力を調整する温度制御装置
と、該酸素センサにより測定した酸素分圧を目標値に一
致するよう該雰囲気ガス吐出弁を調整する酸素分圧制御
装置とを配設したことを特徴とするＭｎＺｎ系フェライ
トコアの連続焼成炉。 - 【請求項７】 上記酸素分圧制御雰囲気室と窒素雰囲気
室との境界部に上記温度制御装置につながる温度センサ
を追設したことを特徴とする請求項６記載のＭｎＺｎ系
フェライトコアの連続焼成炉。 - 【請求項８】 炉体をローラ・ハ−ス式としたことを特
徴とする請求項６又は７記載のＭｎＺｎ系フェライトコ
アの連続焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01666196A JP3623036B2 (ja) | 1995-02-01 | 1996-02-01 | ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法及び連続焼成炉 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1523695 | 1995-02-01 | ||
| JP7-15236 | 1995-02-01 | ||
| JP01666196A JP3623036B2 (ja) | 1995-02-01 | 1996-02-01 | ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法及び連続焼成炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08268749A true JPH08268749A (ja) | 1996-10-15 |
| JP3623036B2 JP3623036B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=26351356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01666196A Expired - Lifetime JP3623036B2 (ja) | 1995-02-01 | 1996-02-01 | ＭｎＺｎ系フェライトコアの焼成方法及び連続焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3623036B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003002736A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Sony Corp | フェライトの製造装置及び製造方法 |
| JP2007103677A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tdk Corp | フェライト材料の製造方法、フェライトコア、焼成炉システム |
| WO2014007046A1 (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-09 | 関東冶金工業株式会社 | 熱処理方法および熱処理装置、並びに熱処理システム |
| JP2017001928A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | Ｊｆｅケミカル株式会社 | ＭｎＺｎ系フェライト原料用酸化鉄およびＭｎＺｎ系フェライト並びにＭｎＺｎ系フェライトの製造方法 |
| CN115716747A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-02-28 | 上海华源磁业股份有限公司 | 一种利用MnZn铁氧体磁芯磨床泥生产低损耗材料的方法 |
-
1996
- 1996-02-01 JP JP01666196A patent/JP3623036B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003002736A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Sony Corp | フェライトの製造装置及び製造方法 |
| JP2007103677A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Tdk Corp | フェライト材料の製造方法、フェライトコア、焼成炉システム |
| WO2014007046A1 (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-09 | 関東冶金工業株式会社 | 熱処理方法および熱処理装置、並びに熱処理システム |
| JP5517382B1 (ja) * | 2012-07-04 | 2014-06-11 | 関東冶金工業株式会社 | 熱処理装置および熱処理方法 |
| JP2017001928A (ja) * | 2015-06-15 | 2017-01-05 | Ｊｆｅケミカル株式会社 | ＭｎＺｎ系フェライト原料用酸化鉄およびＭｎＺｎ系フェライト並びにＭｎＺｎ系フェライトの製造方法 |
| CN115716747A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-02-28 | 上海华源磁业股份有限公司 | 一种利用MnZn铁氧体磁芯磨床泥生产低损耗材料的方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3623036B2 (ja) | 2005-02-23 |
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