JPH08271337A - 分光器 - Google Patents
分光器Info
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- JPH08271337A JPH08271337A JP7074952A JP7495295A JPH08271337A JP H08271337 A JPH08271337 A JP H08271337A JP 7074952 A JP7074952 A JP 7074952A JP 7495295 A JP7495295 A JP 7495295A JP H08271337 A JPH08271337 A JP H08271337A
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- JP
- Japan
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- optical
- light
- spectroscope
- optical fiber
- measuring
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】分光器光源側の環境変化によりその出射光が不
均一になっても試料のスペクトル特性が精度よく測定で
きる分光器を実現する。 【構成】試料室への光路に測定用と参照用の少なくとも
２本の光ファイバを用いた分光器において、前記試料室
への出射光路にその入力端が配置される第１の光ファイ
バと、この光ファイバの出力光を実質上等光量に２分割
し、それぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに入
射する光カプラと、前記測定用および参照用の光ファイ
バの出力光をそれぞれ検出する第１および第２の光検出
器を備える。
均一になっても試料のスペクトル特性が精度よく測定で
きる分光器を実現する。 【構成】試料室への光路に測定用と参照用の少なくとも
２本の光ファイバを用いた分光器において、前記試料室
への出射光路にその入力端が配置される第１の光ファイ
バと、この光ファイバの出力光を実質上等光量に２分割
し、それぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに入
射する光カプラと、前記測定用および参照用の光ファイ
バの出力光をそれぞれ検出する第１および第２の光検出
器を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フーリエ分光器および
分散型分光器に関し、特にその測定データの精度の向上
に関するものである。
分散型分光器に関し、特にその測定データの精度の向上
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のフーリエ分光器は、白色光源から
の白色光をマイケルソン干渉計（Michelson interferom
eter）に入射し、その出射光を光ファイバを介して試料
に照射し、その透過光を光検出器で電気信号に変換して
更にフーリエ変換することにより、前記試料のスペクト
ル特性を得るように構成されていた。
の白色光をマイケルソン干渉計（Michelson interferom
eter）に入射し、その出射光を光ファイバを介して試料
に照射し、その透過光を光検出器で電気信号に変換して
更にフーリエ変換することにより、前記試料のスペクト
ル特性を得るように構成されていた。
【０００３】図６はこのような従来のフーリエ分光器の
一例を示す構成ブロック図である。白色光源１より出射
された白色光は第１の光学手段（通常レンズが使用され
る）２により平行光となり、マイケルソン干渉計５０に
入射する。マイケルソン干渉計５０において得られた干
渉光を第２の光学手段（レンズ）６で集光し、光ファイ
バ７に入射する。この干渉光は試料８を透過した後、光
ファイバ９を介して光検出器１０に入射する。
一例を示す構成ブロック図である。白色光源１より出射
された白色光は第１の光学手段（通常レンズが使用され
る）２により平行光となり、マイケルソン干渉計５０に
入射する。マイケルソン干渉計５０において得られた干
渉光を第２の光学手段（レンズ）６で集光し、光ファイ
バ７に入射する。この干渉光は試料８を透過した後、光
ファイバ９を介して光検出器１０に入射する。
【０００４】このような構成においてマイケルソン干渉
計５０内の固定ミラー４を固定にし可動ミラー５のみを
図中の”イ”−”ロ”方向に移動させ、その時の干渉信
号の変化を光検出器１０で測定し、この測定信号を図示
しないフーリエ変換器でフーリエ変換することにより試
料８のスペクトル特性を得ることができる。
計５０内の固定ミラー４を固定にし可動ミラー５のみを
図中の”イ”−”ロ”方向に移動させ、その時の干渉信
号の変化を光検出器１０で測定し、この測定信号を図示
しないフーリエ変換器でフーリエ変換することにより試
料８のスペクトル特性を得ることができる。
【０００５】ところでこのような装置においては、周囲
温度等の環境の変化により光ファイバ７および９の特性
が変化した場合、測定される試料８のスぺクトル特性が
変化したものとして測定されてしまうという問題があっ
た。
温度等の環境の変化により光ファイバ７および９の特性
が変化した場合、測定される試料８のスぺクトル特性が
変化したものとして測定されてしまうという問題があっ
た。
【０００６】そこでこの問題を解決するために図７に示
すようなフーリエ分光器（本願出願人により出願した
「実願平５−５３７０７号」）が考えられた。図６と異
なるところは、光ファイバ１１と光検出器１２を設けた
点である。より詳細に説明すれば、白色光源１の像が結
像する位置に、光ファイバ７に密着して光ファイバ１１
を配置する。光ファイバ１１は途中に試料がないだけ
で、光ファイバ７、９の経路と同じであり、光特性が同
じになるように形成してある。
すようなフーリエ分光器（本願出願人により出願した
「実願平５−５３７０７号」）が考えられた。図６と異
なるところは、光ファイバ１１と光検出器１２を設けた
点である。より詳細に説明すれば、白色光源１の像が結
像する位置に、光ファイバ７に密着して光ファイバ１１
を配置する。光ファイバ１１は途中に試料がないだけ
で、光ファイバ７、９の経路と同じであり、光特性が同
じになるように形成してある。
【０００７】光ファイバ１１の出射光を光検出器１２で
検出し、光検出器１０で検出された干渉信号と同様の処
理を行う。この場合、光検出器１２で検出された干渉光
のスペクトルには光ファイバ１１の環境変化によるスペ
クトル特性の変化が含まれ、光ファイバ１１は光ファイ
バ７，９と同経路を通してあるので、その変化は光ファ
イバ７，９と同様と考えられ、両者の干渉信号のスペク
トルの比を取ることにより、光ファイバの環境変化によ
る変動は補償できる。
検出し、光検出器１０で検出された干渉信号と同様の処
理を行う。この場合、光検出器１２で検出された干渉光
のスペクトルには光ファイバ１１の環境変化によるスペ
クトル特性の変化が含まれ、光ファイバ１１は光ファイ
バ７，９と同経路を通してあるので、その変化は光ファ
イバ７，９と同様と考えられ、両者の干渉信号のスペク
トルの比を取ることにより、光ファイバの環境変化によ
る変動は補償できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マイケ
ルソン干渉計５０が温度変動などの影響を受け、内部の
ミラーが傾く場合、図中の”ニ”の位置の干渉光が不均
一になる。このため、光ファイバ７と９に入射する干渉
光が異なる特性を示すことになり、その違いは補償され
ず、試料８のスペクトル特性に重畳して測定されてしま
うという問題がある。また、この２本のファイバは光源
の異なる場所から発生した光を受けているため、光源の
劣化などでも両者に差を生じてしまうという問題があっ
た。
ルソン干渉計５０が温度変動などの影響を受け、内部の
ミラーが傾く場合、図中の”ニ”の位置の干渉光が不均
一になる。このため、光ファイバ７と９に入射する干渉
光が異なる特性を示すことになり、その違いは補償され
ず、試料８のスペクトル特性に重畳して測定されてしま
うという問題がある。また、この２本のファイバは光源
の異なる場所から発生した光を受けているため、光源の
劣化などでも両者に差を生じてしまうという問題があっ
た。
【０００９】この問題は図８に示す音響光学素子（ＡＯ
ＴＦ）を用いる分光器や図９に示す回折格子による分光
器でも同様である。図８の分光器について特に図７と異
なる部分のみ説明すれば次の通りである。ＡＯＴＦ６０
はその結晶の複屈折性により光源１からの入射光を分光
し２束の光束に分岐する。これをレンズ１３により平行
光束にし、さらに各光束をレンズ１４，１５により集光
して各ファイバに入射する。この場合、結晶に当てるた
めの超音波の周波数を変えることによって任意の波長、
あるいは連続波長の光を取り出すことができる。超音波
は超音波発生器１６より発生する。
ＴＦ）を用いる分光器や図９に示す回折格子による分光
器でも同様である。図８の分光器について特に図７と異
なる部分のみ説明すれば次の通りである。ＡＯＴＦ６０
はその結晶の複屈折性により光源１からの入射光を分光
し２束の光束に分岐する。これをレンズ１３により平行
光束にし、さらに各光束をレンズ１４，１５により集光
して各ファイバに入射する。この場合、結晶に当てるた
めの超音波の周波数を変えることによって任意の波長、
あるいは連続波長の光を取り出すことができる。超音波
は超音波発生器１６より発生する。
【００１０】また図９に示す回折格子を用いた分光器に
ついては次の通りである。光源１からの光を凹面鏡１７
で反射し回折格子１８に当て、回折光をサンプルファイ
バ７およびリファレンスファイバ１１に入射する。な
お、回折格子１８を回転させることによりファイバ７，
１１に入射する波長を変化させることができる。
ついては次の通りである。光源１からの光を凹面鏡１７
で反射し回折格子１８に当て、回折光をサンプルファイ
バ７およびリファレンスファイバ１１に入射する。な
お、回折格子１８を回転させることによりファイバ７，
１１に入射する波長を変化させることができる。
【００１１】このような構成の各分光器においても、マ
イケルソン干渉計５０と同様に温度変動や外部振動によ
りＡＯＴＦや回折格子が変形あるいは移動するため、２
つのファイバ（サンプルファイバとリファレンスファイ
バ）に入る光量やスペクトルが微妙に変化してしまうと
いう問題がある。
イケルソン干渉計５０と同様に温度変動や外部振動によ
りＡＯＴＦや回折格子が変形あるいは移動するため、２
つのファイバ（サンプルファイバとリファレンスファイ
バ）に入る光量やスペクトルが微妙に変化してしまうと
いう問題がある。
【００１２】本発明の目的は、分光器からの光を１本の
光ファイバで受光した後、２本の光ファイバに分岐する
よう構成し、分光器光源側の環境変化によりその出射光
が不均一になっても試料のスペクトル特性が精度よく測
定できる分光器を実現することにある。
光ファイバで受光した後、２本の光ファイバに分岐する
よう構成し、分光器光源側の環境変化によりその出射光
が不均一になっても試料のスペクトル特性が精度よく測
定できる分光器を実現することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、試料室への光路に測定用と参照用
の少なくとも２本の光ファイバを用いた分光器におい
て、前記試料室への出射光路にその入力端が配置される
第１の光ファイバと、この光ファイバの出力光を２分割
し、それぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに入
射する光カプラと、前記測定用および参照用の光ファイ
バの出力光をそれぞれ検出する第１および第２の光検出
器を備えたことを特徴とする。
るために本発明では、試料室への光路に測定用と参照用
の少なくとも２本の光ファイバを用いた分光器におい
て、前記試料室への出射光路にその入力端が配置される
第１の光ファイバと、この光ファイバの出力光を２分割
し、それぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに入
射する光カプラと、前記測定用および参照用の光ファイ
バの出力光をそれぞれ検出する第１および第２の光検出
器を備えたことを特徴とする。
【００１４】
【作用】試料室への出射光路に光ファイバを配置し、光
カプラを用いて前記光ファイバの出力光を２分割し、そ
れぞれを測定用および参照用の光ファイバに入射する。
これにより分光器光源側の環境変化によりその出射光が
不均一になっても測定用と参照用の光ファイバに共通に
出射光が入るので、試料のスペクトル特性を精度よく測
定することができる。
カプラを用いて前記光ファイバの出力光を２分割し、そ
れぞれを測定用および参照用の光ファイバに入射する。
これにより分光器光源側の環境変化によりその出射光が
不均一になっても測定用と参照用の光ファイバに共通に
出射光が入るので、試料のスペクトル特性を精度よく測
定することができる。
【００１５】
【実施例】以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明に係る分光器の一実施例を示す構成図であ
る。なお、図７と同等部分には同一符号を付し、その部
分の説明は省略する。図１において図７と異なるところ
は光ファイバ１９と光カプラ２０の部分である。マイケ
ルソン干渉計５０からの干渉光は図中の”ニ”の部分に
集光され、光源１の像が結像し、この部分に入力端を配
置した光ファイバ１９に入射する。この干渉光はカプラ
２０で２分割され、光ファイバ７および１１に入射す
る。
図１は本発明に係る分光器の一実施例を示す構成図であ
る。なお、図７と同等部分には同一符号を付し、その部
分の説明は省略する。図１において図７と異なるところ
は光ファイバ１９と光カプラ２０の部分である。マイケ
ルソン干渉計５０からの干渉光は図中の”ニ”の部分に
集光され、光源１の像が結像し、この部分に入力端を配
置した光ファイバ１９に入射する。この干渉光はカプラ
２０で２分割され、光ファイバ７および１１に入射す
る。
【００１６】図２は光カプラ２０の詳細を示す一実施例
である。図２はハーフミラーを用いたもので、光ファイ
バ１９より出射した光がレンズ２０１で平行光とされ、
ハーフミラー２０４に入射する。ハーフミラー２０４で
は入射した光の一部が透過し、レンズ２０２で光ファイ
バ７の端面に集光され、入射される。また他の一部の光
は反射され、レンズ２０３で光ファイバ１１の端面に集
光され入射される。
である。図２はハーフミラーを用いたもので、光ファイ
バ１９より出射した光がレンズ２０１で平行光とされ、
ハーフミラー２０４に入射する。ハーフミラー２０４で
は入射した光の一部が透過し、レンズ２０２で光ファイ
バ７の端面に集光され、入射される。また他の一部の光
は反射され、レンズ２０３で光ファイバ１１の端面に集
光され入射される。
【００１７】図３は直角ミラーを用いた光カプラであ
り、光ファイバ１９より出射した光がレンズ２０５で平
行光とされ、直角ミラー２０８に入射する。直角ミラー
２０８では入射した光のうち図に向かって左半分がレン
ズ２０６に向かって反射され、レンズ２０６で光ファイ
バ１１の端面に集光され、入射される。また、右半分の
光についてはレンズ２０７に向かって反射され、レンズ
２０７で光ファイバ７の端面に集光され入射される。
り、光ファイバ１９より出射した光がレンズ２０５で平
行光とされ、直角ミラー２０８に入射する。直角ミラー
２０８では入射した光のうち図に向かって左半分がレン
ズ２０６に向かって反射され、レンズ２０６で光ファイ
バ１１の端面に集光され、入射される。また、右半分の
光についてはレンズ２０７に向かって反射され、レンズ
２０７で光ファイバ７の端面に集光され入射される。
【００１８】図４はレンズを用いたもので、第１ファイ
バ３０１の出射光をレンズ３０２で平行光とし、第２お
よび第３のファイバ３０３、３０４に入射するようにし
たものである。
バ３０１の出射光をレンズ３０２で平行光とし、第２お
よび第３のファイバ３０３、３０４に入射するようにし
たものである。
【００１９】このような構成においては、測定信号のス
ペクトル特性には試料８の他に、白色光源１、光ファイ
バ１９、７、９の特性が含まれている。他方、参照信号
には白色光源１、光ファイバ１９、１１のスペクトル特
性が含まれている。光ファイバ１１が光ファイバ７、９
と同経路で配置されているため光ファイバ１１と光ファ
イバ７、９は同様のスペクトル特性を示す。したがっ
て、測定信号のスペクトル特性を参照信号のスペクトル
特性で割ることにより、測定信号に含まれる白色光源
１、光ファイバ１９、７、９のスペクトル特性が環境変
化により変化した場合でも、その変化を補償することが
できる。
ペクトル特性には試料８の他に、白色光源１、光ファイ
バ１９、７、９の特性が含まれている。他方、参照信号
には白色光源１、光ファイバ１９、１１のスペクトル特
性が含まれている。光ファイバ１１が光ファイバ７、９
と同経路で配置されているため光ファイバ１１と光ファ
イバ７、９は同様のスペクトル特性を示す。したがっ
て、測定信号のスペクトル特性を参照信号のスペクトル
特性で割ることにより、測定信号に含まれる白色光源
１、光ファイバ１９、７、９のスペクトル特性が環境変
化により変化した場合でも、その変化を補償することが
できる。
【００２０】また、図１の構成において温度や信号等の
影響によりミラーが傾いた場合に生じる、図中の”ニ”
の位置の干渉光の不均一さについても、”ニ”の位置で
１本の光ファイバで受光した後測定信号および参照信号
用に分割するため、補償することができる。また、光源
の劣化に対しても同様に有効である。
影響によりミラーが傾いた場合に生じる、図中の”ニ”
の位置の干渉光の不均一さについても、”ニ”の位置で
１本の光ファイバで受光した後測定信号および参照信号
用に分割するため、補償することができる。また、光源
の劣化に対しても同様に有効である。
【００２１】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。例えば、光カプラとしては一般に市販され
ている光導波路や融着光ファイバを用いたものも使用で
きる。
のではない。例えば、光カプラとしては一般に市販され
ている光導波路や融着光ファイバを用いたものも使用で
きる。
【００２２】また、本発明は、図１における”ニ”の位
置に、図７の従来例に示したように光ファイバを密着配
置し、それぞれの光ファイバに光カプラを取り付け、測
定信号および参照信号を取り出すよう構成することもで
きる。このような構成によれば、１つの干渉計を光源と
して多チャンネルの測定が可能となる。
置に、図７の従来例に示したように光ファイバを密着配
置し、それぞれの光ファイバに光カプラを取り付け、測
定信号および参照信号を取り出すよう構成することもで
きる。このような構成によれば、１つの干渉計を光源と
して多チャンネルの測定が可能となる。
【００２３】なお、測定用と参照用の光量は常に１対１
である必要はない。測定側は試料および試料容器により
光量が減衰する。したがって、例えば測定用と参照用の
光量比を２対１などとして測定側の光量を増やしておけ
ば、この試料などによるロスを補うことができ、１対１
の比の場合より総合的に高いＳ／Ｎを得ることができ
る。
である必要はない。測定側は試料および試料容器により
光量が減衰する。したがって、例えば測定用と参照用の
光量比を２対１などとして測定側の光量を増やしておけ
ば、この試料などによるロスを補うことができ、１対１
の比の場合より総合的に高いＳ／Ｎを得ることができ
る。
【００２４】図５はこれを実現するための光カプラの構
成図である。光ファイバ１９からの光は、試料側の光フ
ァイバ７に入射される前にビームスプリッタ４０１によ
り分岐され、参照側の光ファイバ１１に入射される。近
赤外光の場合、ガラスの表面反射は４％程度のため、ビ
ームスプリッタとしては金属膜などを蒸着しないガラス
板そのものが使用できる。これにより信号光としてはレ
ンズなどのロスを考慮しても光ファイバ１９の出射光の
９０％程度が期待でき、Ｓ／Ｎを向上させることができ
る。
成図である。光ファイバ１９からの光は、試料側の光フ
ァイバ７に入射される前にビームスプリッタ４０１によ
り分岐され、参照側の光ファイバ１１に入射される。近
赤外光の場合、ガラスの表面反射は４％程度のため、ビ
ームスプリッタとしては金属膜などを蒸着しないガラス
板そのものが使用できる。これにより信号光としてはレ
ンズなどのロスを考慮しても光ファイバ１９の出射光の
９０％程度が期待でき、Ｓ／Ｎを向上させることができ
る。
【００２５】なお、かりに測定側の光量低下が、分岐比
とマッチせず参照側光量が不足する場合は、例えば参照
側の検出信号だけ積分時間を長くすることによりＳ／Ｎ
の劣化を防止することができる。なぜなら、測定側の積
分時間は試料の変化に追従して決める必要があるが、参
照側は光源や光ファイバの温度変動に追従できれば良い
からである。例えば、パイプラインを流れる試料の場
合、バルブによって制御することを考えると測定側の積
分時間は１〜１０秒の応答が望ましいが、参照側の光源
や光ファイバの温度変動は数分〜数十分間の時定数でよ
い。つまり測定側に比べて参照側は数倍〜数十倍の積分
時間にしても差し支えない。
とマッチせず参照側光量が不足する場合は、例えば参照
側の検出信号だけ積分時間を長くすることによりＳ／Ｎ
の劣化を防止することができる。なぜなら、測定側の積
分時間は試料の変化に追従して決める必要があるが、参
照側は光源や光ファイバの温度変動に追従できれば良い
からである。例えば、パイプラインを流れる試料の場
合、バルブによって制御することを考えると測定側の積
分時間は１〜１０秒の応答が望ましいが、参照側の光源
や光ファイバの温度変動は数分〜数十分間の時定数でよ
い。つまり測定側に比べて参照側は数倍〜数十倍の積分
時間にしても差し支えない。
【００２６】上記ビームスプリッタは石英やフッ化カル
シウムなどでもよい。また耐久性は若干劣るが、表面反
射そのものではなく薄い膜を付けてもよい。なお、参照
光と測定光の比は前記の比に限定されず、参照光側が測
定光側より少なければそれで十分である。
シウムなどでもよい。また耐久性は若干劣るが、表面反
射そのものではなく薄い膜を付けてもよい。なお、参照
光と測定光の比は前記の比に限定されず、参照光側が測
定光側より少なければそれで十分である。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
イケルソン干渉計から出射される干渉光を１本の光ファ
イバで受光し、その後光カプラで２本の光ファイバに分
岐し、測定信号および参照信号とする構成としたので、
干渉計部分が温度変動等の影響を受けずに精度よく測定
することができる。
イケルソン干渉計から出射される干渉光を１本の光ファ
イバで受光し、その後光カプラで２本の光ファイバに分
岐し、測定信号および参照信号とする構成としたので、
干渉計部分が温度変動等の影響を受けずに精度よく測定
することができる。
【図１】本発明に係る分光器の一実施例を示す構成図
【図２】光カプラの詳細を示す一実施例図
【図３】光カプラの他の実施例図
【図４】光カプラの更に他の実施例図
【図５】光カプラの更に他の実施例図
【図６】従来のフーリエ分光器の一例を示す構成図
【図７】従来のフーリエ分光器の他の一例を示す構成図
【図８】音響光学素子を用いた分光器の一例を示す構成
図
図
【図９】回折格子を用いた分光器の一例を示す構成図で
ある。
ある。
１ 白色光源 ２，６，２０１，２０２，２０６，２０７ レンズ ３ ハーフミラー ４ 固定ミラー ５ 可動ミラー ７，９，１１，１９ 光ファイバ ８ 試料 １０，１２ 光検出器 ２０ 光カプラ ２０４ ハーフミラー ２０８ 直角ミラー ４０１ ビームスプリッタ
Claims (9)
- 【請求項１】試料室への光路に測定用と参照用の少なく
とも２本の光ファイバを用いた分光器において、 前記試料室への出射光路にその入力端が配置される第１
の光ファイバと、 この光ファイバの出力光を２分割し、それぞれ前記測定
用および参照用の光ファイバに入射する光カプラと、 前記測定用および参照用の光ファイバの出力光をそれぞ
れ検出する第１および第２の光検出器を具備したことを
特徴とする分光器。 - 【請求項２】前記光カプラは、光の分岐部分にハーフミ
ラーを使用し、そのハーフミラーでの透過光と反射光を
それぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに入射す
るように構成されたことを特徴とする請求項１記載の分
光器。 - 【請求項３】前記光カプラは、光の分岐部分にその境界
部分が前記第１の光ファイバの出射光路の中央に配置し
た２面のミラーを使用し、このミラーにより反射した反
射光がそれぞれ前記測定用および参照用の光ファイバに
入射するように構成されたことを特徴とする請求項１記
載の分光器。 - 【請求項４】前記光カプラは、光の分岐部分に集光レン
ズまたは集光ミラーを使用し、この集光レンズまたは集
光ミラーにより集光した前記第１の光ファイバの出射光
を前記測定用および参照用の光ファイバに入射するよう
に構成されたことを特徴とする請求項１記載の分光器。 - 【請求項５】前記光カプラは、光の分岐部分が光導波路
により形成されたことを特徴とする請求項１記載の分光
器。 - 【請求項６】前記光カプラは、光の分岐部分として２本
の光ファイバを融着または機械的に固着して形成された
ことを特徴とする請求項１記載の分光器。 - 【請求項７】光源と、 この光源の出力光を平行光にする第１の光学手段と、 この第１の光学手段の出力光が入射されるマイケルソン
干渉計と、 このマイケルソン干渉計の出力光を集光する第２の光学
手段と、 この第２の光学手段の焦点面に結像される前記光源の像
の範囲内であって、前記焦点面の近傍にその入力端が配
置される第１の光ファイバと、 この第１の光ファイバの出力光を２分割し、測定用と参
照用の光ファイバに入射する光カプラと、 前記測定用と参照用の光ファイバの出力光をそれぞれ検
出する２つの光検出器を具備したことを特徴とする分光
器。 - 【請求項８】光源と、 この光源の出力光を平行光にする第１の光学手段と、 この第１の光学手段の出力光が入射される音響光学素子
または回折格子または光学フィルタと、 この音響光学素子または回折格子または光学フィルタの
出力光を集光する第２の光学手段と、 この第２の光学手段の焦点面に結像される前記光源の像
の範囲内であって、前記焦点面の近傍にその入力端が配
置される第１の光ファイバと、 この第１の光ファイバの出力光を２分割し、測定用と参
照用の光ファイバに入射する光カプラと、 前記測定用と参照用の光ファイバの出力光をそれぞれ検
出する２つの光検出器を具備したことを特徴とする分光
器。 - 【請求項９】前記光カプラは、光の分岐部分にビームス
プリッタを使用し、そのビームスプリッタでの透過光と
反射光をそれぞれ前記測定用および参照用の光ファイバ
に入射し測定用光ファイバへの光量が参照用光ファイバ
の光量より大きくなるように構成されたことを特徴とす
る請求項１または請求項７または請求項８記載の分光
器。
Priority Applications (5)
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|---|---|---|---|
| JP7074952A JPH08271337A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 分光器 |
| US08/619,951 US5715055A (en) | 1995-03-31 | 1996-03-18 | Spectroscope utilizing a coupler to concurrently apply parallel light beams to a sample and a reference light and processing the resulting light beams thereby compensating for environmental changes |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7074952A JPH08271337A (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271337A true JPH08271337A (ja) | 1996-10-18 |
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- 1996-03-28 EP EP96104986A patent/EP0735350B1/en not_active Expired - Lifetime
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- 1996-03-28 DE DE69619010T patent/DE69619010T2/de not_active Expired - Lifetime
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| EP0735350B1 (en) | 2002-02-06 |
| US5715055A (en) | 1998-02-03 |
| EP0735350A3 (en) | 1997-04-09 |
| DE69619010T2 (de) | 2003-01-30 |
| DE69619010D1 (de) | 2002-03-21 |
| DE735350T1 (de) | 1997-04-30 |
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