JPH08271440A - 疵検査装置 - Google Patents
疵検査装置Info
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- JPH08271440A JPH08271440A JP7378395A JP7378395A JPH08271440A JP H08271440 A JPH08271440 A JP H08271440A JP 7378395 A JP7378395 A JP 7378395A JP 7378395 A JP7378395 A JP 7378395A JP H08271440 A JPH08271440 A JP H08271440A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属，フィルム，紙，半導体等の生産ライン
において、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査
員に疵の画像情報を提示する。疵発生確認漏れ、特に重
要な疵の確認漏れの防止。 【構成】 疵の種類あるいは程度を自動的に分類する手
段と、分類された疵の種類あるいは程度に応じて、疵の
画像情報の表示を制御する手段を備える。更に、分類さ
れた疵の種類あるいは程度に応じて、評価点を設定する
手段と、しきい値以上の評価点の疵の画像のみを表示す
る制御手段を備える。更に、制御手段は、ある時間また
はある通板長さの中に検出された疵のうち評価点の最も
大きなもののみを優先して表示する。
において、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査
員に疵の画像情報を提示する。疵発生確認漏れ、特に重
要な疵の確認漏れの防止。 【構成】 疵の種類あるいは程度を自動的に分類する手
段と、分類された疵の種類あるいは程度に応じて、疵の
画像情報の表示を制御する手段を備える。更に、分類さ
れた疵の種類あるいは程度に応じて、評価点を設定する
手段と、しきい値以上の評価点の疵の画像のみを表示す
る制御手段を備える。更に、制御手段は、ある時間また
はある通板長さの中に検出された疵のうち評価点の最も
大きなもののみを優先して表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属，フィルム，紙，
半導体等の生産ラインにおいて適用される疵検査装置に
おいて、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査員
に疵の画像情報を提示する疵検査装置に関するものであ
る。
半導体等の生産ラインにおいて適用される疵検査装置に
おいて、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査員
に疵の画像情報を提示する疵検査装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術】一般に金属，フィルム，紙，半導体等の生
産ラインにおいて適用される表面疵検査装置は光学式に
て実現され、疵部と無疵部で分布が異なる反射光を特定
の方向から受光することによって疵部と無疵部の区分を
行なっている。すなわち受光部での光の強度を電気信号
に変換し、無疵部の電気信号レベルに対し、しきい値レ
ベルを設定し、このしきい値を越えた部分を疵と特定す
る。しかるに、実際の疵の有害さと受光部で受光される
光の強度はリニアに対応していないため、このような疵
検査装置は、正確に検出したい疵をかならず検出するこ
とは不可能であり、誤検出、あるいは見逃しが発生する
という問題がある。このような問題点に対し、例えば、
受光部で受光された光の強度を検査対象の検査点ごとに
展開することによって疵部の画像を再構成し、該画像か
ら画像処理により疵部の長さ，幅あるいは面積等の特徴
量を抽出し、これらをもとに疵種や程度の分類を行う装
置がある。このような装置では、疵の有害さが単純な光
の強度のみではなく、長さ，幅，面積などの、より多く
の特徴量をもとに疵種，程度が判別できるため、誤検
出，見逃しを更に減少させることが可能である。しか
し、このような装置をもってしても、確実に疵種，程度
を判別することはできず、依然として誤検出，見逃しと
いった問題は十分には解決されていない。
産ラインにおいて適用される表面疵検査装置は光学式に
て実現され、疵部と無疵部で分布が異なる反射光を特定
の方向から受光することによって疵部と無疵部の区分を
行なっている。すなわち受光部での光の強度を電気信号
に変換し、無疵部の電気信号レベルに対し、しきい値レ
ベルを設定し、このしきい値を越えた部分を疵と特定す
る。しかるに、実際の疵の有害さと受光部で受光される
光の強度はリニアに対応していないため、このような疵
検査装置は、正確に検出したい疵をかならず検出するこ
とは不可能であり、誤検出、あるいは見逃しが発生する
という問題がある。このような問題点に対し、例えば、
受光部で受光された光の強度を検査対象の検査点ごとに
展開することによって疵部の画像を再構成し、該画像か
ら画像処理により疵部の長さ，幅あるいは面積等の特徴
量を抽出し、これらをもとに疵種や程度の分類を行う装
置がある。このような装置では、疵の有害さが単純な光
の強度のみではなく、長さ，幅，面積などの、より多く
の特徴量をもとに疵種，程度が判別できるため、誤検
出，見逃しを更に減少させることが可能である。しか
し、このような装置をもってしても、確実に疵種，程度
を判別することはできず、依然として誤検出，見逃しと
いった問題は十分には解決されていない。
【０００３】一方、このような問題点に対し受光部から
得られる信号から画像を再構成し、疵の画像をＣＲＴモ
ニタ上にリアルタイムに表示し、これを検査員に提示す
ることにより、オペレ−タの判断を加えて、疵の最終判
定を下せるようにした疵検査装置が開発されている。し
かし、このような疵検査装置では、有害な疵や無害な模
様等が混在して発生する場合、例えば、鉄鋼ラインで
は、鋼板表面の油分が誤検出される例が多いが、このよ
うな場合、連続して油分の画像が表示されてしまい、そ
のなかで時折発生する有害な疵の画像が表示されず、結
果として検査員が有害な疵を見逃してしまうことが発生
する。
得られる信号から画像を再構成し、疵の画像をＣＲＴモ
ニタ上にリアルタイムに表示し、これを検査員に提示す
ることにより、オペレ−タの判断を加えて、疵の最終判
定を下せるようにした疵検査装置が開発されている。し
かし、このような疵検査装置では、有害な疵や無害な模
様等が混在して発生する場合、例えば、鉄鋼ラインで
は、鋼板表面の油分が誤検出される例が多いが、このよ
うな場合、連続して油分の画像が表示されてしまい、そ
のなかで時折発生する有害な疵の画像が表示されず、結
果として検査員が有害な疵を見逃してしまうことが発生
する。
【０００４】このような問題点に対し、例えば特開平４
−５４４４３号公報で示すように被検査材の表面を走査
して得た画像信号に含まれる信号出力レベルの大小によ
ってレベルの大きいものを優先的に表示する装置が考案
されている。
−５４４４３号公報で示すように被検査材の表面を走査
して得た画像信号に含まれる信号出力レベルの大小によ
ってレベルの大きいものを優先的に表示する装置が考案
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記特開平４
−５４４４３号公報で示す方法では、画像信号レベルが
疵の有害，無害とはリニアに一致していないのに対し
て、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制御し
ているため、有害な疵，無害な模様等の判断が正確にな
されない。従って、誤検出された部分の画像がＣＲＴ上
に表示されてそれ以前に表示された疵画像が十分にチェ
ックされていないうちに更新されてしまう、あるいは、
無害な模様等が有害な疵よりも優先して表示されてしま
い、検査員が判定不可能となる場合がある、といった問
題点がある。
−５４４４３号公報で示す方法では、画像信号レベルが
疵の有害，無害とはリニアに一致していないのに対し
て、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制御し
ているため、有害な疵，無害な模様等の判断が正確にな
されない。従って、誤検出された部分の画像がＣＲＴ上
に表示されてそれ以前に表示された疵画像が十分にチェ
ックされていないうちに更新されてしまう、あるいは、
無害な模様等が有害な疵よりも優先して表示されてしま
い、検査員が判定不可能となる場合がある、といった問
題点がある。
【０００６】従って、本発明は、上記の問題点を解決す
るとともに、誤検出に煩わされることなく、重要な疵の
みを検査員が十分に監視することが可能となる疵検査装
置を提供することを目的とする。
るとともに、誤検出に煩わされることなく、重要な疵の
みを検査員が十分に監視することが可能となる疵検査装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術を有利
に解決するものであり、金属，フィルム，紙，半導体等
の生産ラインにおいて適用される検査装置において、疵
部分の画像をリアルタイムに表示して検査員に疵の画像
情報を提示する疵検査装置であって、疵の種類あるいは
程度を自動的に分類する手段と、分類された疵の種類あ
るいは程度に応じて、疵の画像情報の表示を制御する手
段とを具備することを第１の特徴とし、分類された疵の
種類あるいは程度に応じて、評価点を設定する手段を有
することと、設定した評価点に対し表示の有無を決定す
るしきい値を設定する手段を有することにより、該しき
い値を上回るまたは下回る疵の画像のみを表示すること
を第２の特徴とし、さらに、同時に複数の疵が発生した
場合、ある時間またはある通板長さの中に検出された疵
のうち評価点の最も大きなあるいは小さなもののみを優
先して表示する手段をもつことを第３の特徴とする。
に解決するものであり、金属，フィルム，紙，半導体等
の生産ラインにおいて適用される検査装置において、疵
部分の画像をリアルタイムに表示して検査員に疵の画像
情報を提示する疵検査装置であって、疵の種類あるいは
程度を自動的に分類する手段と、分類された疵の種類あ
るいは程度に応じて、疵の画像情報の表示を制御する手
段とを具備することを第１の特徴とし、分類された疵の
種類あるいは程度に応じて、評価点を設定する手段を有
することと、設定した評価点に対し表示の有無を決定す
るしきい値を設定する手段を有することにより、該しき
い値を上回るまたは下回る疵の画像のみを表示すること
を第２の特徴とし、さらに、同時に複数の疵が発生した
場合、ある時間またはある通板長さの中に検出された疵
のうち評価点の最も大きなあるいは小さなもののみを優
先して表示する手段をもつことを第３の特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の第１の特徴によれば、分類手段が疵の
種類あるいは程度を自動的に分類し、制御手段がこの分
類に従って分類した疵の表示／非表示を制御するので、
従来の、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制
御している装置に比べて、より高い性能で、表示が制御
される。特に検査員の注意を必要としない軽微な疵、あ
るいは、製品として問題のない表面の模様，汚れ，付着
物等、疵検出装置の特性上検出してしまうものが非表示
となり、検査員にとって重要な疵が表示され、軽微な疵
の表示により重要疵が表示されない、あるいは重要疵の
画面が軽微な疵の画面にすぐ更新されてしまうことがな
くなり、その結果、重要な疵を選択的にかつ優先的に十
分な時間をもって画像にて監視することが可能となり、
上記分類機能が分類し得ないものに対して検査員が表示
された疵の画像を目視にて検査することができるため、
検査員と検査装置が互いに補完しあい高い精度での疵種
あるいは疵の程度の識別が可能となる。
種類あるいは程度を自動的に分類し、制御手段がこの分
類に従って分類した疵の表示／非表示を制御するので、
従来の、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制
御している装置に比べて、より高い性能で、表示が制御
される。特に検査員の注意を必要としない軽微な疵、あ
るいは、製品として問題のない表面の模様，汚れ，付着
物等、疵検出装置の特性上検出してしまうものが非表示
となり、検査員にとって重要な疵が表示され、軽微な疵
の表示により重要疵が表示されない、あるいは重要疵の
画面が軽微な疵の画面にすぐ更新されてしまうことがな
くなり、その結果、重要な疵を選択的にかつ優先的に十
分な時間をもって画像にて監視することが可能となり、
上記分類機能が分類し得ないものに対して検査員が表示
された疵の画像を目視にて検査することができるため、
検査員と検査装置が互いに補完しあい高い精度での疵種
あるいは疵の程度の識別が可能となる。
【０００９】さらに、本装置であれば感度をあげて使用
しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみを十
分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検出感
度の向上と、重大疵のみの検査員への警報が両立可能と
なる。以下図面に基づいて本発明を説明する。
しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみを十
分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検出感
度の向上と、重大疵のみの検査員への警報が両立可能と
なる。以下図面に基づいて本発明を説明する。
【００１０】
−第１実施例− 図１に、本発明の第１実施例を示す。鋼板１は冷間圧延
された後、熱処理，調質圧延をほどこされた鋼板であ
り、板幅600mm〜2000mm、厚さ0.1mm〜2.5mm程度のもの
が、通常100mpm〜600mpm程度の速度で通板されている。
光源装置２は、ハロゲンランプ等輝度の高いランプと集
光レンズ等からなり、鋼板１上、板全幅にわたり、通板
方向に5mm程度の幅の細いスリット光を投射する。受光
装置３は、集光レンズとＣＣＤラインセンサからなるカ
メラであり、約10000回／秒の速度で板全幅を電子的に
スキャンしている。これにより幅方向0.5mm×長手方向
１．０ｍｍ程度の分解能で鋼板全面の検査を実施してい
る。なお、さらに分解能を上げるために複数のカメラを
幅方向に並列に並べることも可能である。
された後、熱処理，調質圧延をほどこされた鋼板であ
り、板幅600mm〜2000mm、厚さ0.1mm〜2.5mm程度のもの
が、通常100mpm〜600mpm程度の速度で通板されている。
光源装置２は、ハロゲンランプ等輝度の高いランプと集
光レンズ等からなり、鋼板１上、板全幅にわたり、通板
方向に5mm程度の幅の細いスリット光を投射する。受光
装置３は、集光レンズとＣＣＤラインセンサからなるカ
メラであり、約10000回／秒の速度で板全幅を電子的に
スキャンしている。これにより幅方向0.5mm×長手方向
１．０ｍｍ程度の分解能で鋼板全面の検査を実施してい
る。なお、さらに分解能を上げるために複数のカメラを
幅方向に並列に並べることも可能である。
【００１１】信号処理回路４は、受光装置３からの出力
を信号処理に適した強度の電気信号への変換（増幅）お
よび出力が全幅かつ全長にわたりほぼ一定のレベルに保
たれるようにゲインコントロ−ルを行っている。さらに
アナログ／デジタル変換回路を内蔵し、受光装置３にて
得られた輝度レベルを８ｂｉｔ程度の分解能でデジタル
化する。またゲ−ト回路５は、鋼板１のエッジ部（側
端）を判定し、このエッジより数１０ｍｍ程度内側の部
分においてＯＮ、その他の部分についてはＯＦＦとなる
ようなマスキング信号を生成し、この信号がＯＮの間の
み信号処理部５からの出力をビデオメモリ６に与える。
これにより、鋼板１の幅内のビデオデ−タがメモリ６に
記録される。なおビデオメモリ６は、該メモリ６の最も
古いデ−タを捨てて、新しく入力されるデ−タを、最新
デ−タ書込領域に記録し、常時、最デ−タから順次前の
デ−タを、所定容量分保持するリングバッファタイプの
ものである。
を信号処理に適した強度の電気信号への変換（増幅）お
よび出力が全幅かつ全長にわたりほぼ一定のレベルに保
たれるようにゲインコントロ−ルを行っている。さらに
アナログ／デジタル変換回路を内蔵し、受光装置３にて
得られた輝度レベルを８ｂｉｔ程度の分解能でデジタル
化する。またゲ−ト回路５は、鋼板１のエッジ部（側
端）を判定し、このエッジより数１０ｍｍ程度内側の部
分においてＯＮ、その他の部分についてはＯＦＦとなる
ようなマスキング信号を生成し、この信号がＯＮの間の
み信号処理部５からの出力をビデオメモリ６に与える。
これにより、鋼板１の幅内のビデオデ−タがメモリ６に
記録される。なおビデオメモリ６は、該メモリ６の最も
古いデ−タを捨てて、新しく入力されるデ−タを、最新
デ−タ書込領域に記録し、常時、最デ−タから順次前の
デ−タを、所定容量分保持するリングバッファタイプの
ものである。
【００１２】疵弁別回路７は、ビデオメモリ６に記録さ
れたデ−タを順次読み込み、しきい値処理等の２値化処
理を行う。通常、疵部からの受光信号は無疵部に対し明
るい、あるいは暗いものとなるため、該２値化処理によ
り疵部に対応する画素が抽出される。画像切り出し制御
回路８は疵弁別回路７により抽出された疵画素情報によ
り疵のラベリング処理を行い、疵およびその周囲の画像
情報を切り出し、正確に１つの疵の形状を抽出し、その
部分の画像のみをビデオメモリ６よりフレ−ムメモリ９
に切り出す。
れたデ−タを順次読み込み、しきい値処理等の２値化処
理を行う。通常、疵部からの受光信号は無疵部に対し明
るい、あるいは暗いものとなるため、該２値化処理によ
り疵部に対応する画素が抽出される。画像切り出し制御
回路８は疵弁別回路７により抽出された疵画素情報によ
り疵のラベリング処理を行い、疵およびその周囲の画像
情報を切り出し、正確に１つの疵の形状を抽出し、その
部分の画像のみをビデオメモリ６よりフレ−ムメモリ９
に切り出す。
【００１３】特徴抽出回路１０は、抽出された疵画像の
長さ，幅，面積，最大明度，最小明度等の特徴量を演算
し、そのデ−タを疵種判別回路１１へと伝送する。
長さ，幅，面積，最大明度，最小明度等の特徴量を演算
し、そのデ−タを疵種判別回路１１へと伝送する。
【００１４】疵種判別回路１１は、上記の特徴量をもと
にあらかじめプログラムされた疵種，程度判別ロジック
に基づいて、疵種あるいは程度の判定を行い、メモリ１
２にあらかじめ記録された評価点対照テ−ブルに基づ
き、判別された疵種，程度に応じた評価点を出力する。
にあらかじめプログラムされた疵種，程度判別ロジック
に基づいて、疵種あるいは程度の判定を行い、メモリ１
２にあらかじめ記録された評価点対照テ−ブルに基づ
き、判別された疵種，程度に応じた評価点を出力する。
【００１５】画像表示制御回路１５は、疵種判別回路１
１よりの評価点の出力信号を受け、この評価点を読み込
んだ後、あらかじめ設定されたしきい値（表示しきい
値）と比較し、これより大きい（あるいは小さい）場合
のみ、フレ−ムメモリ９より該当する疵画像デ−タを画
像表示用フレ−ムメモリ１３に転送しＣＲＴ表示装置１
４に疵画像を表示する。
１よりの評価点の出力信号を受け、この評価点を読み込
んだ後、あらかじめ設定されたしきい値（表示しきい
値）と比較し、これより大きい（あるいは小さい）場合
のみ、フレ−ムメモリ９より該当する疵画像デ−タを画
像表示用フレ−ムメモリ１３に転送しＣＲＴ表示装置１
４に疵画像を表示する。
【００１６】−第２実施例− 図２に、第２実施例を示す。この第２実施例の１〜１４
までは、図１の第１実施例のものと同じ装置である。画
像表示制御回路１６は図１に示した画像表示制御回路１
５の機能に加えて、ラインに設置されたＰＬＧ１７より
常時供給されるパルス信号をカウントすることにより、
鋼板が一定距離移動するのを監視する。さらに、図１の
画像表示制御回路１５と同様、疵種判別回路より受け取
った評価点が表示しきい値より大きい（あるいは小さ
い）場合に画像デ−タをフレ−ムメモリ１８に転送する
機能を有しているのに加えて、上記の一定の鋼板移動距
離に達するまでこれをホ−ルドしておく機能を有する。
そして、鋼板移動距離が一定値に達した時にこのデ−タ
を画像表示用フレ−ムメモリ１３に転送し、ＣＲＴ１４
上に疵画像を表示する。一方、フレ−ムメモリ１８に画
像デ−タをホ−ルドしている間に次の疵情報を受け取っ
た場合、その評価点が先にホ−ルドした疵の評価点より
高かった場合には、この疵画像デ−タをフレ−ムメモリ
１８に上書きして転送する制御を行う。
までは、図１の第１実施例のものと同じ装置である。画
像表示制御回路１６は図１に示した画像表示制御回路１
５の機能に加えて、ラインに設置されたＰＬＧ１７より
常時供給されるパルス信号をカウントすることにより、
鋼板が一定距離移動するのを監視する。さらに、図１の
画像表示制御回路１５と同様、疵種判別回路より受け取
った評価点が表示しきい値より大きい（あるいは小さ
い）場合に画像デ−タをフレ−ムメモリ１８に転送する
機能を有しているのに加えて、上記の一定の鋼板移動距
離に達するまでこれをホ−ルドしておく機能を有する。
そして、鋼板移動距離が一定値に達した時にこのデ−タ
を画像表示用フレ−ムメモリ１３に転送し、ＣＲＴ１４
上に疵画像を表示する。一方、フレ−ムメモリ１８に画
像デ−タをホ−ルドしている間に次の疵情報を受け取っ
た場合、その評価点が先にホ−ルドした疵の評価点より
高かった場合には、この疵画像デ−タをフレ−ムメモリ
１８に上書きして転送する制御を行う。
【００１７】鋼板の移動距離が先の一定値に達するまで
この制御を繰り返し、一定距離を過ぎた時点で、画像表
示用フレ−ムメモリ１３にこの疵画像デ−タを転送す
る。以上のような、鋼板が一定の移動距離を移動する間
に発生した疵の評価点の最高値を判定し、この最高値に
対応した疵のデ−タを画像表示用フレ−ムメモリ１３に
転送する機能が、第１実施例に付加されているので、よ
り有害な疵が優先判定され表示される。
この制御を繰り返し、一定距離を過ぎた時点で、画像表
示用フレ−ムメモリ１３にこの疵画像デ−タを転送す
る。以上のような、鋼板が一定の移動距離を移動する間
に発生した疵の評価点の最高値を判定し、この最高値に
対応した疵のデ−タを画像表示用フレ−ムメモリ１３に
転送する機能が、第１実施例に付加されているので、よ
り有害な疵が優先判定され表示される。
【００１８】なお、図１，図２においてハロゲンランプ
光源とＣＣＤラインセンサ受光素子が用いられている
が、例えばレ−ザ−光源とフォトマル、ハロゲンランプ
光源とＣＣＤエリアセンサ等、他の投受光系を用いても
よい。また、図２においてラインから供給されるＰＬＧ
信号に変えてクロック信号発生器を用いて、一定時間ご
とに評価点の最高値を判定し、画像表示を制御してもよ
い。
光源とＣＣＤラインセンサ受光素子が用いられている
が、例えばレ−ザ−光源とフォトマル、ハロゲンランプ
光源とＣＣＤエリアセンサ等、他の投受光系を用いても
よい。また、図２においてラインから供給されるＰＬＧ
信号に変えてクロック信号発生器を用いて、一定時間ご
とに評価点の最高値を判定し、画像表示を制御してもよ
い。
【００１９】図３に、疵種判別回路１１にて実行される
疵種の判定処理および評価点の設定例を示す。ここで行
われる疵種判別ロジックは、デシジョンツリ−によるも
のである。上述の第１および第２実施例の検査対象は冷
延鋼板である。検出すベき疵としてはスリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵がある。また鋼板上の圧延油による模様
も光学式疵検査装置では検出されてしまうが、出荷品質
上問題になるものではない。これらに対し、まず鋼板面
上の明度むら部の面積は、圧延油による模様の場合は明
度むら部の面積が大きいので、圧延油による模様の識別
に有効である。次に、３つの疵スリバ，スケ−ルおよび
ロ−ル疵のうち、スリバのみが疵の長さが長く、他の２
つの疵とは明らかに区分できる。長さがスリバよりも短
いスケ−ルとロ−ル疵のうち、スケ−ルは長さは短いも
のの細長い疵であり、ロ−ル疵は点状の疵であるので、
両者共に長さ／幅で分別できる。さらに、ここで示した
３種類の疵については、スリバが鋼板を加工したときに
割れを発生させるなど、品質上非常に重要な疵であり、
次にスケ−ルは大きなものについては同じく割れを生じ
させる。一方ロ−ル疵は繰り返し周期的に発生するた
め、１個を見逃しても次に発生するものを検出できれば
問題はない。従ってこの場合評価点はスリバが１０、ス
ケ−ルが５、ロ−ル疵が３、油による模様は０とし、表
示しきい値を１とした。これにより、スリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵は表示するが、油による模様は表示しな
い。
疵種の判定処理および評価点の設定例を示す。ここで行
われる疵種判別ロジックは、デシジョンツリ−によるも
のである。上述の第１および第２実施例の検査対象は冷
延鋼板である。検出すベき疵としてはスリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵がある。また鋼板上の圧延油による模様
も光学式疵検査装置では検出されてしまうが、出荷品質
上問題になるものではない。これらに対し、まず鋼板面
上の明度むら部の面積は、圧延油による模様の場合は明
度むら部の面積が大きいので、圧延油による模様の識別
に有効である。次に、３つの疵スリバ，スケ−ルおよび
ロ−ル疵のうち、スリバのみが疵の長さが長く、他の２
つの疵とは明らかに区分できる。長さがスリバよりも短
いスケ−ルとロ−ル疵のうち、スケ−ルは長さは短いも
のの細長い疵であり、ロ−ル疵は点状の疵であるので、
両者共に長さ／幅で分別できる。さらに、ここで示した
３種類の疵については、スリバが鋼板を加工したときに
割れを発生させるなど、品質上非常に重要な疵であり、
次にスケ−ルは大きなものについては同じく割れを生じ
させる。一方ロ−ル疵は繰り返し周期的に発生するた
め、１個を見逃しても次に発生するものを検出できれば
問題はない。従ってこの場合評価点はスリバが１０、ス
ケ−ルが５、ロ−ル疵が３、油による模様は０とし、表
示しきい値を１とした。これにより、スリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵は表示するが、油による模様は表示しな
い。
【００２０】このように重要な疵ほど高い評価点を与
え、重要度が下がるに従って小さい評価点を設定し、表
示する必要のない無害な疵もしくは無疵部については表
示しきい値より低く設定した。そして、評価点の高いも
のを優先的に表示し、かつ表示しきい値より低いものは
表示しないように設定すれば良い。
え、重要度が下がるに従って小さい評価点を設定し、表
示する必要のない無害な疵もしくは無疵部については表
示しきい値より低く設定した。そして、評価点の高いも
のを優先的に表示し、かつ表示しきい値より低いものは
表示しないように設定すれば良い。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、疵
検査装置は大まかに疵の分類を行い、疵画像表示装置に
表示して検査員の判断を仰ぐ必要のあるもののみを表示
し、かつ検査員にとって重要な疵のみが選択的にかつ優
先的に表示されることから検査員はこれらの重要な疵を
十分時間をもって検査することができるため、疵検査精
度が確実に向上する。さらに疵検査装置の感度をあげて
使用しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみ
を十分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検
出感度向上と、重要な疵のみの検査員への警報が両立可
能となる。従って、検査員の負荷を増大することなく、
重要な疵の詳細検査と、軽微な疵の検出，発生確認が可
能となることから、ラインでは品質保証能力の向上と検
査員の負荷軽減が可能となる。
検査装置は大まかに疵の分類を行い、疵画像表示装置に
表示して検査員の判断を仰ぐ必要のあるもののみを表示
し、かつ検査員にとって重要な疵のみが選択的にかつ優
先的に表示されることから検査員はこれらの重要な疵を
十分時間をもって検査することができるため、疵検査精
度が確実に向上する。さらに疵検査装置の感度をあげて
使用しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみ
を十分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検
出感度向上と、重要な疵のみの検査員への警報が両立可
能となる。従って、検査員の負荷を増大することなく、
重要な疵の詳細検査と、軽微な疵の検出，発生確認が可
能となることから、ラインでは品質保証能力の向上と検
査員の負荷軽減が可能となる。
【図１】 本発明の第１実施例の構成を示すブロック図
である。
である。
【図２】 本発明の第２実施例の構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】 図１および図２に示す疵種判別回路１１にて
実行される疵種の判定処理および評価点の設定例を示す
フロ−チャ−トである。
実行される疵種の判定処理および評価点の設定例を示す
フロ−チャ−トである。
１：鋼板 ２：光源装置 ３：受光装置 ４：信号処理
回路 ５：ゲ−ト回路 ６：ビデオメ
モリ ７：疵弁別回路 ８：画像切り
出し制御回路 ９：フレ−ムメモリ １０：特徴抽出
回路 １１：疵種判別回路 １２：メモリ １３：画像表示用フレ−ムメモリ １４：ＣＲＴ １５：画像表示制御回路 １６：画像表
示制御回路 １７：ＰＬＧ １８：フレ−
ムメモリ
回路 ５：ゲ−ト回路 ６：ビデオメ
モリ ７：疵弁別回路 ８：画像切り
出し制御回路 ９：フレ−ムメモリ １０：特徴抽出
回路 １１：疵種判別回路 １２：メモリ １３：画像表示用フレ−ムメモリ １４：ＣＲＴ １５：画像表示制御回路 １６：画像表
示制御回路 １７：ＰＬＧ １８：フレ−
ムメモリ
Claims (3)
- 【請求項１】 金属，フィルム，紙，半導体等の生産ラ
インにおいて適用され、投光装置と受光装置と、受光装
置の出力信号処理を行う信号処理回路と、その出力を一
時記憶するビデオメモリおよびゲ−ト回路と、疵部を判
定する疵弁別回路と、疵部の画像のみを切り出す画像切
りだし制御回路と切り出された画像を記憶するフレ−ム
メモリと、この画像を表示するための画像表示用フレ−
ムメモリとＣＲＴ装置により構成され、疵部分の画像を
リアルタイムに表示して検査員に疵の画像情報を提示す
る疵検査装置において、疵の種類あるいは程度を自動的
に分類する手段と、分類された疵の種類あるいは程度に
応じて、疵の画像情報の表示の有無を制御する手段とを
具備することを特徴とする疵検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の疵検査装置であって、
疵の種類あるいは程度を自動的に分類する手段により分
類された疵の種類あるいは程度に応じて、評価点を設定
する手段と、設定した評価点に対し表示の有無を決定す
るしきい値を設定する手段とを有し、該しきい値を上回
るまたは下回る疵の画像のみを表示することを特徴とす
る疵検査装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の疵検査装置であって、
同時に複数の疵が発生した場合、ある時間またはある通
板長さの中に検出された疵のうち評価点の最も大きなあ
るいは小さなもののみを優先して表示する手段をもつこ
とを特徴とする疵検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07378395A JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07378395A JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271440A true JPH08271440A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3243394B2 JP3243394B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=13528151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07378395A Expired - Fee Related JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243394B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4982909A (en) * | 1990-01-12 | 1991-01-08 | Eastman Kodak Company | Film cartridge and method of assembling the same |
| US6560307B2 (en) | 1998-08-06 | 2003-05-06 | Shimadzu Corporation | X-ray CT apparatus |
| JP2006266845A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像判定装置及び画像判定方法 |
| ES2284410A1 (es) * | 2007-04-02 | 2007-11-01 | Acerinox, S.A. | Dispositivo para la deteccion y la clasificacion de oxido residual en lineas de produccion de laminados metalicos. |
| JP2007322173A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ダメージチェックシステム及びダメージチェック方法 |
| JP2012127941A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-07-05 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102735689A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-10-17 | 太仓博天网络科技有限公司 | 一种基于图形模式识别的纸张纸病检测系统 |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP07378395A patent/JP3243394B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4982909A (en) * | 1990-01-12 | 1991-01-08 | Eastman Kodak Company | Film cartridge and method of assembling the same |
| US6560307B2 (en) | 1998-08-06 | 2003-05-06 | Shimadzu Corporation | X-ray CT apparatus |
| JP2006266845A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像判定装置及び画像判定方法 |
| JP2007322173A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ダメージチェックシステム及びダメージチェック方法 |
| ES2284410A1 (es) * | 2007-04-02 | 2007-11-01 | Acerinox, S.A. | Dispositivo para la deteccion y la clasificacion de oxido residual en lineas de produccion de laminados metalicos. |
| WO2008119845A1 (es) * | 2007-04-02 | 2008-10-09 | Acerinox, S.A. | Dispositivo para la detección y clasificación de óxido residual en líneas de producción de laminados metálicos |
| ES2284410B1 (es) * | 2007-04-02 | 2009-04-01 | Acerinox, S.A. | Dispositivo para la deteccion y la clasificacion de oxido residual en lineas de produccion de laminados metalicos. |
| JP2012127941A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-07-05 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3243394B2 (ja) | 2002-01-07 |
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