JPH08273431A - 樹枝状結晶粉末材料 - Google Patents

樹枝状結晶粉末材料

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JPH08273431A
JPH08273431A JP8087199A JP8719996A JPH08273431A JP H08273431 A JPH08273431 A JP H08273431A JP 8087199 A JP8087199 A JP 8087199A JP 8719996 A JP8719996 A JP 8719996A JP H08273431 A JPH08273431 A JP H08273431A
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スン・ケイ・カン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 導電性材料でコーティングした樹枝状結晶粒
子のペーストを提供する。 【解決手段】 表面を電解または無電解メッキ液に接触
させると、表面に樹枝状結晶が生成する。この樹枝状結
晶を他のメッキ液に露出して、樹枝状結晶の表面をコー
ティングする。コーティングされた樹枝状結晶を表面か
ら分離してコーティングされた樹枝状粉末を形成する。
この粉末を重合体材料に添加してペーストを生成する。
このペーストを隣接する表面上の電気接点の間に置く。
ペーストを加熱してこの表面を溶融し、電気接点にも融
着する溶融樹枝状結晶のネットワークを形成する。ペー
ストをさらに加熱して、重合体を硬化させ、隣接する表
面上の電気接点の間に電気的相互接続を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性部材間に導
電性接続を形成するためのペーストに有用な樹枝状粉末
と、その電子工学への応用に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子装置に使用されるほとんどの電気導
体は、銅、アルミニウム、金、銀、鉛/すず(はん
だ)、モリブデン、その他の金属でつくられる。鉛/す
ず合金を使用するはんだ接続技術は、フリップチップ接
続(C4)、ボール・グリッド・アレイ(BGA)にお
けるはんだボール接続、プリント回路板(PCB)への
ICパッケージの取り付けなど、電子パッケージの種々
のレベルで重要な役割を果たしている。電子パッケージ
に形成されたはんだ継手は、電気的相互接続にも、機械
/物理的接続にも重要である。これらの機能のいずれが
達成されなくても、はんだ継手は失敗であると考えら
れ、電子システム全体が停止するおそれがある。
【0003】超小型電子パッケージをプリント回路板に
組み込む場合、鉛とすずの合金の中で、融点が最低(1
83℃)のPb−Sn共融はんだ(Sn63%、Pb3
7%)が最も広く用いられている。このような適用分野
で、メッキ・スルーホール(PTH)および表面実装技
術(SMT)ソルダリングの、2種類のはんだ接続技術
が、大量生産に利用されている。これら2種類の技術の
基本的な違いは、プリント回路板の設計と、その相互接
続方法の違いから生じる。
【0004】SMTソルダリングでは、超小型電子パッ
ケージを直接プリント回路板の表面に取り付ける。SM
Tの主な利点は、パッケージングの密度が高くなること
で、これは、プリント回路板中のほとんどのPTHを排
除するとともに、プリント回路板の両面に部品を取り付
けることにより実現する。さらに、SMTパッケージ
は、従来のPTHパッケージに比べてリード・ピッチが
細かく、パッケージが小型化する。したがって、SMT
は電子パッケージの小型化、さらにシステム全体の小型
化に著しく貢献している。
【0005】SMTソルダリングでは、はんだペースト
をスクリーン印刷によりプリント回路板に塗布する。は
んだペーストは、はんだの微粉、フラックスおよび有機
ビヒクルからなる。リフロー工程中に、はんだの粒子が
溶融し、フラックスが活性化し、溶剤が蒸発し、同時に
溶融したはんだが融合して、最終的に固化する。反対
に、ウェーブ・ソルダリング工程では、最初にプリント
回路板にフラックスを塗布し、その上に部品を配置す
る。その後、溶融はんだのウェーブの上に移して、濡ら
し、はんだ付けを行う。
【0006】ソルダリング工程は、通常接続部をクリー
ニング工程にかけて残留フラックス材料を除去すると完
了する。環境問題のため、この目的に使用されていたC
FC(フロン)その他の有害な洗浄剤は排除され、クリ
ーニング工程を最少にし、または省略するために、水溶
性またはノークリーン・フラックス材料が使用されてい
る。
【0007】超小型電子装置の最近の発達により、電子
パッケージとプリント回路板との間に、ピッチの非常に
細かい(数百ミクロン台の)接続が求められている。S
MTに使用する現在のはんだペースト技術は、ブリッジ
ング、ソルダ・ボーリングなどのソルダリングの欠陥の
ため、このような非常に細かいピッチの相互接続には向
かない。Pb−Sn共融はんだの使用上のもう一つの技
術上の制限は、約215℃という高いリフロー温度であ
る。この温度は、すでにほとんどのプリント回路板の材
料に使用するエポキシ樹脂のガラス転移温度より高い。
このリフロー温度にさらすことにより、はんだ付け後の
プリント回路板に、特にプリント回路板の表面に垂直な
方向に、著しい熱ひずみが生じる。これは、その方向に
は構造的補強がなされていないためである。このため、
組み立てたプリント回路板の残留熱ひずみによって、電
子システムの信頼性が著しく損なわれる。
【0008】鉛(Pb)を含有するはんだの使用に関す
るさらに重大な問題は、他の業界ですでに経験し、ガソ
リンや塗料から鉛を排除するに至った環境問題である。
【0009】電子産業では、Pbを含有するはんだ材料
の代用品となる可能性のある2種類の異なるグループの
材料、すなわち鉛を含有しないはんだ合金と、導電性ペ
ースト(ECP)が検討されている。本発明は、導電性
ペースト材料の開発と応用について述べる。導電性ペー
スト(または接着剤)は、重合体材料のマトリックス中
に金属フィラーの粒子を配合してつくられる。重合体マ
トリックスは、たとえば熱可塑性でも熱硬化性でも、ペ
ーストの形で使用されるものであればどのような重合体
でもよいが、エポキシ、ポリエステル、ポリイミドシロ
キサン、およびポリイミドが好ましい。可溶性エポキ
シ、特に米国特許出願第08/210879号明細書に
記載された、可溶性ケタールおよびアセタールジエポキ
シドが好ましい。この開示は参照により本明細書に組み
込む。図1を参照すると、銀粒子2を充填したエポキシ
4が、導電性ペースト6の最も一般的な例であり、表面
8と表面10との間に置かれたものが略図として示され
ている。銀粒子は通常フレーク状で、パーコレーション
機構により導電性を与え、エポキシ・マトリックスは、
部品と基板との接着を行う。この銀を充填したエポキシ
材料は、ダイ・ボンディング材料として古くから電子応
用分野で使用されており、その導電性よりも良好な熱伝
導性が利用されている。しかし、この材料は、高い導電
性とピッチの細かい接続が必要な用途には受け入れられ
ていない。銀を充填したエポキシ材料は、導電性が低
い、熱に露出すると接触抵抗が増大する、接続強度が低
い、銀のマイグレーション、リワークが困難であるな
ど、いくつかの制限がある。この銀を充填したエポキシ
材料は、すべての方向に導電性を示すため、導電性が
「等方性」であると分類されている。これとは異なる種
類の導電性接着剤(または皮膜)があり、これは1方向
のみに導電性を示す。この種の材料を、「異方性」導電
性接着剤皮膜12といい、図2に、バインダまたは接着
剤16中に導電性粒子14を含有するものの略図を示
す。異方性導電性接着剤または皮膜12は、図3に示す
ように、2つの導電性の表面18と20との間で圧縮し
た場合にのみ導電性を示す。この工程には、通常熱と圧
力を必要とする。異方性導電皮膜の主要な用途は、液晶
表示パネルのプリント回路板への接着である。導電性粒
子14は、通常変形可能で、たとえばはんだボール、ま
たはニッケルおよび金でコーティングしたプラスチック
・ボールなどを使用する。バインダまたは接着剤16
は、ほとんどが熱硬化性樹脂である。
【0010】すずメッキした銅の粉末とポリイミド・シ
ロキサン樹脂で製造したECPは、コントロールド・コ
ラプス・チップ接続(C4)やセラミック基板へのはん
だボール接続(SBC)などの高温はんだ継手に代わる
良い候補である。しかし、重合体のプリント回路板の場
合、このECPは不適当である。これは、250℃とい
うリフロー温度がFR−4などの重合体樹脂のガラス転
移温度よりはるかに高いためである。この目的のための
候補は、ポリイミド・シロキサン樹脂にインジウムをメ
ッキした銅の粉末を配合したECPである。インジウム
をメッキした銅の粉末のペーストのリフロー温度は約1
80℃と考えられ、これはPb−Sn共融はんだのリフ
ロー温度である215℃よりさらに低い。
【0011】はんだと重合体の複合ペースト材料が、米
国特許第5062896号明細書に開示されている。こ
の材料は、大量のBi−Sn、Pb−Sn、Bi−Sn
−Pb合金などの可融はんだ粉末のフィラーを、少量の
ポリイミド・シロキサンなどの熱可塑性樹脂と、少量の
フラックス剤と配合したものである。酸化物を含まな
い、一部融合したはんだ合金の接続が得られ、この接続
は重合体により強化され、低いリフロー温度で、または
重合体の溶剤の存在下でリワークが可能である。
【0012】米国特許第5286417号明細書には、
可融導電性接着剤が開示されている。この接着剤は、S
n−Au、Bi−Auなどの合金フィラーと、ガラス転
移温度が金属フィラーの合金の融点と合致する熱可塑性
樹脂からなるものである。重合体中の導電性材料の量
は、約15〜20重量%である。
【0013】米国特許第5136365号明細書には、
エポキシ樹脂のマトリックス中に、フラックス剤と、リ
フロー・ソルダリングに使用するSn、Pb、In、B
i、Sb、Agなどの金属粒子を含む接着剤が開示され
ている。リフロー・ソルダリングにより、上記の接着剤
が、電気部品と基板との間に異方性の電気的接続を形成
する。
【0014】米国特許第5213715号明細書には、
NiまたはCuの金属フィラーの粉末を含有する、方向
性のある導電性重合体が開示されている。この金属フィ
ラーは、マトリックス樹脂として使用する重合体とは異
なる重合体で処理されている。圧縮により、コーティン
グされた重合体が溶解して、フィラー粒子の間に導電性
を形成する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、環境
に安全で、安価な導電性ペースト材料の製法を提供する
ことにある。
【0016】本発明の他の目的は、従来の銀を充填した
エポキシ樹脂より導電性の高い、導電性ペースト材料の
製法を提供することにある。
【0017】本発明の他の目的は、Pb−Sn共融はん
だペーストのリフロー温度より低い温度で処理すること
ができる、導電性ペースト材料の製法を提供することに
ある。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の広い態様は、メ
ッキ可能な表面を第1のメッキ液に接触させ、上記表面
上に第1のメッキ液から樹枝状結晶を成長させ、樹枝状
結晶をコーティングして、コーティングされた樹枝状結
晶を形成する工程を有する方法である。
【0019】本発明の方法のさらに特定の態様では、樹
枝状結晶を導電性材料でコーティングする。
【0020】本発明の方法のさらに特定の態様では、コ
ーティングされた樹枝状結晶がメッキ可能な表面から分
離され、コーティングされた樹枝状結晶の粉末が形成さ
れる。
【0021】
【発明の実施の形態】本発明の実施例によれば、Sn、
In、Bi、Sbおよびこれらの合金などPbを含有し
ない低融点金属の薄膜でコーティングした銅の粉末を、
環境に安全なフラックス剤と混合し、熱可塑性または熱
硬化性の重合体のマトリックス中に分散した、導電性ペ
ースト(ECP)材料が開示される。Snをコーティン
グしたCu粉末を含有するECPの微細構造を図4に示
す。
【0022】特定の実施例では、インジウムでコーティ
ングした銅粉、ポリイミド・シロキサン樹脂、溶剤(N
MP)、ノークリーン・フラックス、およびカルボン酸
/界面活性剤からなる新規の導電性ペースト材料を開示
する。インジウムでコーティングした銅粉は、ダミー基
板上に銅の樹枝状粉末を順次電着させた後、この銅の樹
枝状粉末にさらにインジウムを電着させて製造する。銅
の樹枝状粉末の代わりに、ニッケル、コバルト、クロ
ム、パラジウム、白金など、他の樹枝状粉末を使用して
もよい。インジウムの代わりに、Sn、Zn、Pb、B
i、Sbまたはこれらの合金を使用することができる。
樹枝状粉末はアスペクト比が大きいので、球形の粉末よ
り優れた電気伝導性または熱伝導性あるいはその両方を
有するという利点がある。接合処理は、Inの融点であ
る157℃付近で行うことができる。この温度では、樹
枝状結晶の粒子と粒子の間、および樹枝状結晶の粒子と
基板の間で、InとIn、InとAu、またはInとC
uの間の金属結合(metallurgical bonding)が行われ
る。インジウム金属および合金は、アルミニウム、チタ
ン、モリブデン、タングステンなど、はんだ付けが困難
な金属に対しても良好な濡れ特性を示すため、本発明の
材料は、液晶表示装置の接合にも使用することができ
る。接合処理は、固体状態でも固液反応によるものでも
よい。ペーストの処方に応じて、重合体の硬化工程は接
合工程と組み合わせることもできる。金属結合と、銅の
コアの導電性が高いため、この新規のペースト材料で接
合すると、銀で充填したエポキシ材料の場合よりも、高
い導電性が期待できる。またこの金属結合により、加熱
および熱サイクルにも安定な導電性が得られる。さら
に、金属結合と接着剤による結合の組み合わせにより、
接合強度が高くなることも期待できる。
【0023】ペーストの重合体成分は、所望の熱的およ
び流体力学的特性を得るために、適当な機能化をした
後、再生可能な原料または生物を主体とする材料から製
造した重合体とすることができる。リグニン(製紙の副
産物)、セルロース、桐油または穀物油は、このための
有力な候補である。これらの材料は、天然および再生可
能な原料から得たものであり、電子アセンブリの耐用期
間後に、従来の材料よりも容易に処理することができる
ため、これらの材料を使用することが環境の見地から好
ましい。また、これは、Cu−In粉末を使用するた
め、鉛(Pb)を含有するはんだを使用する必要がなく
なり、得られるペースト処方が無毒で、処分が容易なの
で、特に興味が持たれている。
【0024】本発明者の以前の出願である米国特許出願
第326626号明細書には、導電性ペーストを処方す
る際にすずでコーティングした銅粉をフィラー材料とし
て使用することを教示している。この銅粉は球形であ
り、粉末微粉末化(atomization)または電着のいずれ
かの方法で製造する。すずのコーティングは、すずの浸
漬メッキ液を使用して銅粉の上に施される。金属すずの
均一なコーティングを得るために、銅粉の表面上の酸化
物皮膜を注意深く洗浄することが好ましい。さらに、エ
ッチング、クリーニング、すすぎ、濾過などの湿式工程
中や乾燥中に微粉を扱うのは簡単ではなく、ほとんどが
時間がかかる。
【0025】銅粉が球形であることは、ある種の欠点が
ある。フィラー材料の量を最少にして導電性を高めるに
は、フレーク状や板状など、アスペクト比の高い粉末の
形態が望ましい。
【0026】インジウム金属には、浸漬メッキ工程がな
いため、上述の銅粉上にすずをコーティングする工程に
類似した、銅粉上へのインジウムのコーティングは不可
能である。
【0027】本発明の工程および構造は、球形粒子の粉
末とインジウム金属のコーティングの問題の解決方法を
与える。
【0028】図5は、ダミー基板40の上に銅の樹枝状
結晶構造を付着させた後、銅の樹枝状結晶構造44の上
に薄いインジウム金属42を電着したものを示す略図で
ある。この樹枝状結晶の長さと幅の比であるアスペクト
比は約1〜10であることが好ましい。インジウムでコ
ーティングした銅の樹枝状粉末は、ナイフの刃を使用し
てダミーの基板から掻き取ることにより容易に回収する
ことができる。電着により銅の樹枝状結晶を生成させる
一般的な条件は、文献、たとえば従来の技術の項に引用
した参考文献により周知である。図6および図7は、本
発明により生成した銅の樹枝状結晶構造の走査電子顕微
鏡写真を示す。使用したメッキ液は、79gのCuSO
4・5H2O、200g(または109ml)のH2
4、0.116mlのHCl、および1lのH2Oを混
合したものである。陽極は、約10cm×25cm×
0.38mm(4インチ×10インチ×0.015イン
チ)の酸素を含有しない銅箔である。陰極の材料は直径
3.2mm(1/8インチ)の銅またはニッケルの棒で
ある。陰極の上に所期の樹枝状結晶構造を生成させるに
は、(i)高密度の銅の初期メッキ、(ii)樹枝状結
晶の核形成、(iii)樹枝状結晶の成長の、3段階の
メッキ工程が必要である。代表的な3段階メッキ条件は
下記のとおりである。 i)初期メッキ 0.8〜1.6A/m2(0.05〜
0.1A/インチ2)、(0.1〜0.2V) 0.0
2Ah(約3分) ii)樹枝状結晶核形成 8〜16A/m2(0.5〜
1.0A/インチ2)、(0.8〜1.2V) 0.1
Ah(1〜2分) iii)樹枝状結晶成長 1.6〜3.2A/m
2(0.1〜0.2A/インチ2)、(0.3〜0.7
V) 0.1Ah(5分) インジウムのメッキは、銅の樹枝状結晶を付着させた直
後に、陰極をすすぎ浴に移し、次いでインジウム・メッ
キ浴に移して行う。インジウム・メッキは、米国ロード
アイランド州プロビデンスのアーコニアム・スペシアル
ティ・アロイズ(Arconium Specialty Alloys)製のイ
ンジウムのスルファミド酸塩を使用して室温で行う。代
表的なインジウム・メッキの条件は、0.8〜1.6A
/m2(0.1V)、0.03Ah(約3分)である。
【0029】本明細書に示すインジウムでコーティング
した銅の樹枝状結晶粉末の製法は、すずをコーティング
した球形の銅粉と比較して、いくつかの利点を有する。
第1に、この製法は、導電性ペーストに応用するため、
銅の微粉上にインジウム金属を付着させる唯一の方法で
ある。第2に、この方法は、別の工程で球形の銅粉を製
造する必要がなく、エッチング、クリーニング、濾過、
すすぎ、乾燥など粉末を処理する工程を必要としない。
第3に、インジウム・メッキは、銅の樹枝状結晶の成長
直後に行うことができるため、露出した銅粉または樹枝
状結晶の表面上に酸化物が生成する可能性が減少する。
第4に、この方法は、従来の発明に使用された球形の粉
末よりアスペクト比の大きい銅の樹枝状結晶構造を生成
する。このため、この材料を導電性ペースト材料の形で
添加する(10〜90重量%)と、電気的、熱的伝導性
が増大する。最後に、インジウムでメッキした銅の樹枝
状結晶材料の主要な利点は、FR−4型の重合体基板に
使用することができる、低温組立に適した導電性の高い
唯一のフィラー材料であることである。インジウムはセ
ラミックタイプの材料に対しても濡れ特性が良好である
ため、この材料は、アルミニウム、チタン、クロム、モ
リブデン、タングステン、およびこれらの酸化物など、
はんだでは通常濡れを生じない導電性パッドにも使用す
ることができる。
【0030】本発明を好ましい実施例に付いて説明した
が、当業者には、本発明の原理および範囲から逸脱する
ことなく多くの修正、変更、および改良を行うことがで
きる。
【0031】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【0032】(1)樹枝状結晶である材料を含み、上記
樹枝状結晶が、中央部と、上記中央部から突出した分岐
フィラメントを有し、上記樹枝状結晶がコーティング材
料でコーティングされていることを特徴とする構造。 (2)上記材料が、Cu、Pd、Pt、Ni、Ag、お
よびAuからなる群から選択されたものであることを特
徴とする上記(1)の構造。 (3)上記樹枝状結晶の少なくとも一部分が、上記コー
ティングを介して、上記樹枝状結晶の他の部分に融着し
ていることを特徴とする上記(2)の構造。 (4)上記コーティング材料の融点が、上記樹枝状結晶
の融点より低いことを特徴とする上記(2)の構造。 (5)上記コーティング材料が、In、Sn、Zn、P
b、Bi、およびSbからなる群から選択されたもので
あることを特徴とする上記(1)の構造。 (6)上記樹枝状結晶が、重合体材料中に埋め込まれて
いることを特徴とする上記(1)の構造。 (7)上記重合体材料が、ポリイミド、シロキサン、ポ
リイミドシロキサン、エポキシ、並びにリグニン、セル
ロース、桐油、および穀物油などの生物を原料とする重
合樹脂からなる群から選択されたものであることを特徴
とする上記(6)の構造。 (8)上記重合体材料が、熱可塑性接着剤であることを
特徴とする上記(6)の構造。 (9)上記コーティングが、導電性であることを特徴と
する上記(1)の構造。 (10)上記構造が、電気的相互接続手段であることを
特徴とする上記(1)の構造。 (11)上記樹枝状結晶の長さと幅との比であるアスペ
クト比が、約1ないし約10であることを特徴とする上
記(1)の構造。 (12)樹枝状結晶である材料で相互接続された第1お
よび第2の表面を含む相互接続構造であって、上記樹枝
状結晶が中央部と上記中央部から突出した分岐フィラメ
ントを有し、上記樹枝状結晶が、コーティング材料でコ
ーティングされていることを特徴とする相互接続構造。 (13)上記コーティングが、上記第1および第2の表
面への金属結合を形成することを特徴とする上記(1
2)の構造。 (14)上記樹枝状結晶が、上記第1および第2の表面
を接着する重合体材料中に埋め込まれていることを特徴
とする上記(12)の構造。 (15)上記第1の表面が第1の電子装置のコンタクト
位置であり、上記第2の表面が第2の電子装置のコンタ
クト位置であることを特徴とする上記(12)の構造。 (16)間に空間を有する相互接続された樹枝状結晶の
ネットワークを備え、上記樹枝状結晶がそれぞれ可融材
料のコーティングを有し、上記ネットワーク中の隣接す
る樹枝状結晶が上記可融材料により接着されていること
を特徴とする構造。 (17)上記空間が、重合体材料を含むことを特徴とす
る上記(16)の構造。 (18)上記重合体材料が、ポリイミド、シロキサン、
エポキシ、および生物を原料とする重合樹脂からなる群
から選択されたものであることを特徴とする上記(1
7)の構造。 (19)上記可融材料が、導電性であることを特徴とす
る上記(16)の構造。 (20)(1)陰極を第1の金属のメッキ液に浸漬し、
前記陰極表面上に、前記第1の金属の樹枝状結晶を生成
させるステップと、(2)前記樹枝状結晶の付着した前
記陰極を第2の金属のメッキ液に浸漬し、前記樹枝状結
晶に第2の金属のコーティングを施すステップとを含
む、樹枝状結晶の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【図1】エポキシ樹脂のマトリックス中にフィラーとし
て銀のフレーク状粒子を混合した従来の導電性ペースト
を示す略図である。この導電性ペーストは、導電性が等
方性に分類される。
【図2】バインダ中に専電性粒子を含有した導電性接着
剤皮膜を示す略図である。
【図3】接着剤皮膜を2つの接触または接着パッドの間
で圧縮すると、1方向のみに導電性となる導電性ペース
トを示す略図である。この導電性接着剤(または皮膜)
は、異方性に分類される。
【図4】熱可塑性重合体樹脂のマトリックス中に球形の
銅の粉末を充填した導電性ペースト材料を示す略図であ
る。この銅の粒子は、すず、インジウム、ビスマス、ま
たはこれらの混合物など、低融点で毒性のない金属でコ
ーティングされている。
【図5】ダミー基板上に付着させた後、樹枝状粉末の上
に金属インジウムの薄層を電着させた銅の樹枝状粉末の
略図である。
【図6】図5に示す構造のSEM(走査電子顕微鏡)写
真である。
【図7】図5に示す構造のSEM(走査電子顕微鏡)写
真である。
【符号の説明】
2 銀粒子 4 エポキシ樹脂 6 導電性ペースト 8 表面 10 表面 12 異方性導電性接着剤皮膜 14 導電性粒子 16 バインダ 18 表面 20 表面 40 基板(陰極) 42 コーディング 44 樹枝状結晶構造
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 サムパト・プルショタマン アメリカ合衆国10598 ニューヨーク州ヨ ークタウン・ハイツ ラヴォワ・コート 2075 (72)発明者 ジョージ・エフ・ウォーカー アメリカ合衆国10028 ニューヨーク州ニ ューヨーク ヨーク・アベニュー 1540 アパートメント・ナンバー11ケイ

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】樹枝状結晶である材料を含み、 上記樹枝状結晶が、中央部と、上記中央部から突出した
    分岐フィラメントを有し、 上記樹枝状結晶がコーティング材料でコーティングされ
    ていることを特徴とする構造。
  2. 【請求項2】上記材料が、Cu、Pd、Pt、Ni、A
    g、およびAuからなる群から選択されたものであるこ
    とを特徴とする請求項1の構造。
  3. 【請求項3】上記樹枝状結晶の少なくとも一部分が、上
    記コーティングを介して、上記樹枝状結晶の他の部分に
    融着していることを特徴とする請求項2の構造。
  4. 【請求項4】上記コーティング材料の融点が、上記樹枝
    状結晶の融点より低いことを特徴とする請求項2の構
    造。
  5. 【請求項5】上記コーティング材料が、In、Sn、Z
    n、Pb、Bi、およびSbからなる群から選択された
    ものであることを特徴とする請求項1の構造。
  6. 【請求項6】上記樹枝状結晶が、重合体材料中に埋め込
    まれていることを特徴とする請求項1の構造。
  7. 【請求項7】上記重合体材料が、ポリイミド、シロキサ
    ン、ポリイミドシロキサン、エポキシ、並びにリグニ
    ン、セルロース、桐油、および穀物油などの生物を原料
    とする重合樹脂からなる群から選択されたものであるこ
    とを特徴とする請求項6の構造。
  8. 【請求項8】上記重合体材料が、熱可塑性接着剤である
    ことを特徴とする請求項6の構造。
  9. 【請求項9】上記コーティングが、導電性であることを
    特徴とする請求項1の構造。
  10. 【請求項10】上記構造が、電気的相互接続手段である
    ことを特徴とする請求項1の構造。
  11. 【請求項11】上記樹枝状結晶の長さと幅との比である
    アスペクト比が、約1ないし約10であることを特徴と
    する請求項1の構造。
  12. 【請求項12】樹枝状結晶である材料で相互接続された
    第1および第2の表面を含む相互接続構造であって、 上記樹枝状結晶が中央部と上記中央部から突出した分岐
    フィラメントを有し、 上記樹枝状結晶が、コーティング材料でコーティングさ
    れていることを特徴とする相互接続構造。
  13. 【請求項13】上記コーティングが、上記第1および第
    2の表面への金属結合を形成することを特徴とする請求
    項12の構造。
  14. 【請求項14】上記樹枝状結晶が、上記第1および第2
    の表面を接着する重合体材料中に埋め込まれていること
    を特徴とする請求項12の構造。
  15. 【請求項15】上記第1の表面が第1の電子装置のコン
    タクト位置であり、上記第2の表面が第2の電子装置の
    コンタクト位置であることを特徴とする請求項12の構
    造。
  16. 【請求項16】間に空間を有する相互接続された樹枝状
    結晶のネットワークを備え、 上記樹枝状結晶がそれぞれ可融材料のコーティングを有
    し、 上記ネットワーク中の隣接する樹枝状結晶が上記可融材
    料により接着されていることを特徴とする構造。
  17. 【請求項17】上記空間が、重合体材料を含むことを特
    徴とする請求項16の構造。
  18. 【請求項18】上記重合体材料が、ポリイミド、シロキ
    サン、エポキシ、および生物を原料とする重合樹脂から
    なる群から選択されたものであることを特徴とする請求
    項17の構造。
  19. 【請求項19】上記可融材料が、導電性であることを特
    徴とする請求項16の構造。
  20. 【請求項20】(1)陰極を第1の金属のメッキ液に浸
    漬し、前記陰極表面上に、前記第1の金属の樹枝状結晶
    を生成させるステップと、(2)前記樹枝状結晶の付着
    した前記陰極を第2の金属のメッキ液に浸漬し、前記樹
    枝状結晶に第2の金属のコーティングを施すステップと
    を含む、樹枝状結晶の製造方法。
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