JPH08273540A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH08273540A JPH08273540A JP7105095A JP7105095A JPH08273540A JP H08273540 A JPH08273540 A JP H08273540A JP 7105095 A JP7105095 A JP 7105095A JP 7105095 A JP7105095 A JP 7105095A JP H08273540 A JPH08273540 A JP H08273540A
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- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 16
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シャッタのスリットを多段化して、画面の水
平軸方向の周辺部の露光時、蛍光面からシャドウマスク
を介して見た光源の位置を左右に偏芯させることによ
り、露光パターンのシフトを補正して、画面全域に亘り
電子ビームのランディングパターンと一致した蛍光面を
形成できる露光装置を提供する。 【構成】 軸方向に長い長尺状発光体８とこれに直交す
るスリット状の開口部を有するシャッタ１７を具備した
光源１４と、この光源１４の上方位置にあってパネルを
位置決めして載置するテーブルと、前記光源と前記パネ
ルとの間に補正レンズと調光フィルタとを配設した露光
装置において、前記シャッタ１７のスリットが複数段の
スリット板１５，１６から構成され、かつ前記発光体８
に近い下段のスリット１６板のスリット幅が隣接する上
段のスリツト１５板のスリット幅より広く形成されてな
る露光装置。
平軸方向の周辺部の露光時、蛍光面からシャドウマスク
を介して見た光源の位置を左右に偏芯させることによ
り、露光パターンのシフトを補正して、画面全域に亘り
電子ビームのランディングパターンと一致した蛍光面を
形成できる露光装置を提供する。 【構成】 軸方向に長い長尺状発光体８とこれに直交す
るスリット状の開口部を有するシャッタ１７を具備した
光源１４と、この光源１４の上方位置にあってパネルを
位置決めして載置するテーブルと、前記光源と前記パネ
ルとの間に補正レンズと調光フィルタとを配設した露光
装置において、前記シャッタ１７のスリットが複数段の
スリット板１５，１６から構成され、かつ前記発光体８
に近い下段のスリット１６板のスリット幅が隣接する上
段のスリツト１５板のスリット幅より広く形成されてな
る露光装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラー陰極線管の蛍光面
形成に用いる露光装置に関し、特に画面の水平軸方向に
おける左右の周辺部での露光パターンのシフト量を規制
して、電子ビームの位置と整合の採れた蛍光面の形成す
るのに好適する露光装置に関する。
形成に用いる露光装置に関し、特に画面の水平軸方向に
おける左右の周辺部での露光パターンのシフト量を規制
して、電子ビームの位置と整合の採れた蛍光面の形成す
るのに好適する露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー陰極線
管は、図３に示すように、バルブ１の前面部を構成する
パネル２の内面に、その内側に配設されたシャドウマス
ク３に対向して蛍光面４が形成され、バルブ１のネック
部に配設された電子銃５から放出される電子ビームによ
りシャドウマスク３を介して蛍光面４上を走査すること
により、蛍光面上に画像を表示するように構成されてい
る。従来より、このカラー陰極線管の蛍光面は写真製版
法により形成されている。すなわち、パネル２の内面
に、蛍光体、ポリビニールアルコールおよび重クロム酸
塩を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して蛍光
体スラリ層を形成した後、シャドウマスク３を装着して
露光装置により露光する。そして、露光終了後、上記蛍
光体スラリ層を現像し、シャドウマスク３の電子ビーム
通過孔６を介して焼き付けられた蛍光体層を形成する。
この蛍光体層をＲ，ＧＢの三色について順次形成して、
三色蛍光体層Ｒ，Ｇ，Ｂからなる蛍光面４を形成してい
る。
管は、図３に示すように、バルブ１の前面部を構成する
パネル２の内面に、その内側に配設されたシャドウマス
ク３に対向して蛍光面４が形成され、バルブ１のネック
部に配設された電子銃５から放出される電子ビームによ
りシャドウマスク３を介して蛍光面４上を走査すること
により、蛍光面上に画像を表示するように構成されてい
る。従来より、このカラー陰極線管の蛍光面は写真製版
法により形成されている。すなわち、パネル２の内面
に、蛍光体、ポリビニールアルコールおよび重クロム酸
塩を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して蛍光
体スラリ層を形成した後、シャドウマスク３を装着して
露光装置により露光する。そして、露光終了後、上記蛍
光体スラリ層を現像し、シャドウマスク３の電子ビーム
通過孔６を介して焼き付けられた蛍光体層を形成する。
この蛍光体層をＲ，ＧＢの三色について順次形成して、
三色蛍光体層Ｒ，Ｇ，Ｂからなる蛍光面４を形成してい
る。
【０００４】上記三色蛍光体層の形成に使用される露光
装置は、図４に示すように、特開平１−２８３７３６号
公報に開示されており、パネル２を位置決め支持するテ
ーブル７を有し、かつ電子ビーム通過孔６が所定のパタ
ーンに配列されたシャドウマスク３を介して三色蛍光体
層を形成するために、上記テーブル７の下方向に、画面
の水平軸方向を長手方向とする超高圧水銀灯のような長
尺状発光体８が配置されている。また、この発光体８と
テーブル７上に位置決め支持されたパネル２との間に、
発光体８の長手方向と直交する方向を長手方向とするス
リット状の開口部９を持つシャッタ１０が配置され光源
部１１を形成している。なお、この露光装置は光源部１
１からの光の軌道を電子ビームの軌道に近似させる補正
レンズ１２と、パネル２内面に対する光量分布を補正す
る補正フィルタ１３とをパネル２と光源部１１の間に備
えている。
装置は、図４に示すように、特開平１−２８３７３６号
公報に開示されており、パネル２を位置決め支持するテ
ーブル７を有し、かつ電子ビーム通過孔６が所定のパタ
ーンに配列されたシャドウマスク３を介して三色蛍光体
層を形成するために、上記テーブル７の下方向に、画面
の水平軸方向を長手方向とする超高圧水銀灯のような長
尺状発光体８が配置されている。また、この発光体８と
テーブル７上に位置決め支持されたパネル２との間に、
発光体８の長手方向と直交する方向を長手方向とするス
リット状の開口部９を持つシャッタ１０が配置され光源
部１１を形成している。なお、この露光装置は光源部１
１からの光の軌道を電子ビームの軌道に近似させる補正
レンズ１２と、パネル２内面に対する光量分布を補正す
る補正フィルタ１３とをパネル２と光源部１１の間に備
えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した構成
の露光装置による露光では、画面Ｓとなる蛍光面の垂直
軸方向の露光パターンの調整はスリットの高さ、形状に
より調整設定可能であるが、水平軸方向には、図５
（ａ）に示すようなランディングパターンのみが修正可
能であり、例えば、高さを変更しても、図５（ａ）の１
０μｍが５μｍ、２０μｍが１０μｍとなるように中間
減と周辺部はほぼ比例して変化する。そのため、必要な
ランディングパターンが図３（ｂ）のような場合、上記
スリット形状では対応できなかった。本発明の目的は、
上記の問題点を解決するために、スリットを多段化し
て、画面の水平軸方向の周辺部の露光時、蛍光面からシ
ャドウマスクを介して見た光源の位置を左右に偏芯させ
ることにより、露光パターンのシフトを補正して、画面
全域に亘り電子ビームのランディングパターンと一致し
た蛍光面を形成できる露光装置を提供することにある。
の露光装置による露光では、画面Ｓとなる蛍光面の垂直
軸方向の露光パターンの調整はスリットの高さ、形状に
より調整設定可能であるが、水平軸方向には、図５
（ａ）に示すようなランディングパターンのみが修正可
能であり、例えば、高さを変更しても、図５（ａ）の１
０μｍが５μｍ、２０μｍが１０μｍとなるように中間
減と周辺部はほぼ比例して変化する。そのため、必要な
ランディングパターンが図３（ｂ）のような場合、上記
スリット形状では対応できなかった。本発明の目的は、
上記の問題点を解決するために、スリットを多段化し
て、画面の水平軸方向の周辺部の露光時、蛍光面からシ
ャドウマスクを介して見た光源の位置を左右に偏芯させ
ることにより、露光パターンのシフトを補正して、画面
全域に亘り電子ビームのランディングパターンと一致し
た蛍光面を形成できる露光装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、軸方向に長い
長尺状発光体とこれに直交するスリット状の開口部を有
するシャッタとを具備した光源部と、この光源部の上方
位置にあってパネルを位置決めして載置するテーブル
と、前記光源部とパネルとの間に補正レンズと調光フィ
ルタとを配設した露光装置において、前記シャッタのス
リット状の開口部が複数段のスリットから構成され、か
つ前記発光体に近い下段のスリット幅が隣接する上段の
スリツト幅より広く形成されてなる露光装置を提供す
る。また、前記シャッタのスリットが２枚のスリット板
から形成されるのが望ましい。
長尺状発光体とこれに直交するスリット状の開口部を有
するシャッタとを具備した光源部と、この光源部の上方
位置にあってパネルを位置決めして載置するテーブル
と、前記光源部とパネルとの間に補正レンズと調光フィ
ルタとを配設した露光装置において、前記シャッタのス
リット状の開口部が複数段のスリットから構成され、か
つ前記発光体に近い下段のスリット幅が隣接する上段の
スリツト幅より広く形成されてなる露光装置を提供す
る。また、前記シャッタのスリットが２枚のスリット板
から形成されるのが望ましい。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、シャッタのスリット状の開
口部が複数段のスリットから構成され、かつ発光体に近
い下段のスリット幅が隣接する上段のスリット幅より広
く形成されているため、蛍光面から見た光源の位置は、
画面中央部の露光時には、最上段のスリット幅の光源が
中央に位置しており、画面周辺部の露光時には、下段の
スリットにより左縁部または右縁部が遮光されるため、
それぞれ右周辺部においては右寄りに、左周辺部におい
ては左寄りに配置されたことになり、シャドウマスクの
電子ビーム通過孔を透過した光線は画面の中心方向に寄
せられるため、周辺部における露光パターンのシフトが
補正され、電子ビームのランディングパターンと合致し
た蛍光面が形成できる。
口部が複数段のスリットから構成され、かつ発光体に近
い下段のスリット幅が隣接する上段のスリット幅より広
く形成されているため、蛍光面から見た光源の位置は、
画面中央部の露光時には、最上段のスリット幅の光源が
中央に位置しており、画面周辺部の露光時には、下段の
スリットにより左縁部または右縁部が遮光されるため、
それぞれ右周辺部においては右寄りに、左周辺部におい
ては左寄りに配置されたことになり、シャドウマスクの
電子ビーム通過孔を透過した光線は画面の中心方向に寄
せられるため、周辺部における露光パターンのシフトが
補正され、電子ビームのランディングパターンと合致し
た蛍光面が形成できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明について、図面を参照して説明
する。従来例と同一部分には同一参照符号を付し説明を
省略する。本発明のカラー陰極線管の露光装置は、全体
の構成は従来のそれとほぼ同じであり、光源の透光シャ
ッタの構成に特徴を有している。すなわち光源部１４に
は、図１に示すように、超高圧水銀灯からなる長尺状発
光体８の外周に沿って所定の幅（１．４ｍｍ）のスリッ
ト幅を有する第一のスリット板１５が設けられ、その下
段にｍｍの間隔をあけて幅（２．０ｍｍ）のスリットを
有する第二のスリット板１６がスリットの中心を合致さ
せて積み重ねられたシャッタ１７が設けられている。こ
の実施例の露光装置によれば、図２に示すように、パネ
ル２内面の蛍光面形成位置における露光パターンは、画
面Ｓ中央部Ａ点では露光光線は第一のスリット板１５の
みによって規制され、従来例と同様に形成されるが、画
面Ｓ右側の周辺部Ｂ点、画面Ｓ左側のＣ点ではそれぞれ
露光光線は第二のスリット板１６により左側および右側
の縁部が遮光されるため、蛍光面からシャドウマスクを
介してみた光源の中心は、それぞれ右側および左側に偏
芯したことになり、画面Ｓの周辺部のＢ点およびＣ点で
は、図中に点線で示した従来の第一のスリット板のみの
場合に対して、画面Ｓの周辺部のＢ点およびＣ点では実
線で示すように中央部にシフトした位置に露光パターン
が形成される。
する。従来例と同一部分には同一参照符号を付し説明を
省略する。本発明のカラー陰極線管の露光装置は、全体
の構成は従来のそれとほぼ同じであり、光源の透光シャ
ッタの構成に特徴を有している。すなわち光源部１４に
は、図１に示すように、超高圧水銀灯からなる長尺状発
光体８の外周に沿って所定の幅（１．４ｍｍ）のスリッ
ト幅を有する第一のスリット板１５が設けられ、その下
段にｍｍの間隔をあけて幅（２．０ｍｍ）のスリットを
有する第二のスリット板１６がスリットの中心を合致さ
せて積み重ねられたシャッタ１７が設けられている。こ
の実施例の露光装置によれば、図２に示すように、パネ
ル２内面の蛍光面形成位置における露光パターンは、画
面Ｓ中央部Ａ点では露光光線は第一のスリット板１５の
みによって規制され、従来例と同様に形成されるが、画
面Ｓ右側の周辺部Ｂ点、画面Ｓ左側のＣ点ではそれぞれ
露光光線は第二のスリット板１６により左側および右側
の縁部が遮光されるため、蛍光面からシャドウマスクを
介してみた光源の中心は、それぞれ右側および左側に偏
芯したことになり、画面Ｓの周辺部のＢ点およびＣ点で
は、図中に点線で示した従来の第一のスリット板のみの
場合に対して、画面Ｓの周辺部のＢ点およびＣ点では実
線で示すように中央部にシフトした位置に露光パターン
が形成される。
【０００９】したがって、平面的に見た場合、図５に示
すように、従来の第一のスリット板のみの露光パターン
が画面Ｓ周辺部で２０μｍシフトしていた（図５ａ）も
のが、本実施例の露光装置では１５μｍ程度のシフト量
に補正され（図５ｂ）、必要とするランディングパター
ンを有するカラー陰極線管を提供できる。
すように、従来の第一のスリット板のみの露光パターン
が画面Ｓ周辺部で２０μｍシフトしていた（図５ａ）も
のが、本実施例の露光装置では１５μｍ程度のシフト量
に補正され（図５ｂ）、必要とするランディングパター
ンを有するカラー陰極線管を提供できる。
【００１０】以上、光源のシャッタとして、２段のスリ
ット板から構成された露光装置の例について説明した
が、本発明はこの例に限定されず、例えば、さらに高精
細度のカラー陰極線管や、２５型以上の大画面のカラー
陰極線管等の大型管において、３段や４段のスリツト板
を使用して、画面水平軸方向の中間部および周辺部を徐
々に補正する構成とすることができるのはいうまでもな
い。
ット板から構成された露光装置の例について説明した
が、本発明はこの例に限定されず、例えば、さらに高精
細度のカラー陰極線管や、２５型以上の大画面のカラー
陰極線管等の大型管において、３段や４段のスリツト板
を使用して、画面水平軸方向の中間部および周辺部を徐
々に補正する構成とすることができるのはいうまでもな
い。
【００１１】また、縦に長手方向を有する光源を使用し
た場合、同様のテンディング修正効果を縦方向に得るこ
ともできる。
た場合、同様のテンディング修正効果を縦方向に得るこ
ともできる。
【００１２】
【発明の効果】本発明の露光装置によれば、シャッタの
スリット状の開口部が複数段のスリットから構成され、
かつ発光体に近い下段のスリット幅が隣接する上段のス
リット幅より広く形成されているため、蛍光面から見た
光源の位置は、画面中央部の露光時には、最上段のスリ
ット幅の光源が中央に位置しており、画面周辺部の露光
時には、下段のスリットにより、それぞれ右周辺部にお
いては右寄りに、左周辺部においては左寄りにシフトし
て配置されたことになり、シャドウマスクの電子ビーム
通過孔を透過した光線は画面の中心方向に寄せられるた
め、周辺部における露光パターンのシフトが補正され、
電子ビームのランディングパターンと合致した蛍光面が
形成でき、色純度や輝度分布に優れたカラー陰極線管を
提供できる。
スリット状の開口部が複数段のスリットから構成され、
かつ発光体に近い下段のスリット幅が隣接する上段のス
リット幅より広く形成されているため、蛍光面から見た
光源の位置は、画面中央部の露光時には、最上段のスリ
ット幅の光源が中央に位置しており、画面周辺部の露光
時には、下段のスリットにより、それぞれ右周辺部にお
いては右寄りに、左周辺部においては左寄りにシフトし
て配置されたことになり、シャドウマスクの電子ビーム
通過孔を透過した光線は画面の中心方向に寄せられるた
め、周辺部における露光パターンのシフトが補正され、
電子ビームのランディングパターンと合致した蛍光面が
形成でき、色純度や輝度分布に優れたカラー陰極線管を
提供できる。
【図１】 本発明の一実施例である露光装置の光源の斜
視図
視図
【図２】 本発明の露光装置よる露光パターン形成を説
明するための略示断面図
明するための略示断面図
【図３】 一般的なカラー受像管の断面図
【図４】 従来の露光装置の断面図
【図５】 ａ，ｂ 露光パターンの平面図
２ パネル ３ シャドウマスク ４ 蛍光面 ８ 長尺状光源 １４ 光源部 １５ 第一のスリット板 １６ 第二のスリット板 １７ シャッタ Ｓ 画面
Claims (2)
- 【請求項１】軸方向に長い長尺状発光体とこれに直交す
るスリット状開口部を有するシャッタとを具備した光源
部と、該光源部の上方位置にあってパネルを位置決めし
て載置するテーブルと、前記光源部と前記パネルとの間
に補正レンズと調光フィルタとを配設した露光装置にお
いて、前記シャッタのスリット状開口部が複数段のスリ
ットから構成されかつ前記発光体に近い下段のスリット
幅が隣接する上段のスリツト幅より広く形成されてなる
ことを特徴とする露光装置。 - 【請求項２】前記シャッタが２枚のスリット板から形成
されてなることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07071050A JP3089981B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07071050A JP3089981B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08273540A true JPH08273540A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3089981B2 JP3089981B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=13449315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07071050A Expired - Fee Related JP3089981B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3089981B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP07071050A patent/JP3089981B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3089981B2 (ja) | 2000-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |