JPH0828434B2

JPH0828434B2 - 集積回路若しくは大規模集積回路用トレ−

Info

Publication number: JPH0828434B2
Application number: JP62193174A
Authority: JP
Inventors: 重則浜岡
Original assignee: Inoue MTP KK
Current assignee: Inoac Corp
Priority date: 1987-07-31
Filing date: 1987-07-31
Publication date: 1996-03-21
Anticipated expiration: 2011-03-21
Also published as: JPS6437040A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、集積回路（IC）若しくは大規模集積回路
（LSI）の製造工程、及びその後の梱包工程において使
用するトレーに関する。

（従来の技術）集積回路若しくは大規模集積回路にあっては、その製
造時の最終段階における封止剤の加熱、硬化の際に製品
を保持するため、及びその工程に続く製品梱包の際に製
品を保持するために、製品収容凹部を形成した板状のト
レーが用いられている。

従来そのトレーには、ステンレスやアルミ製のもの
と、導電性ポリスチレンあるいはポリプロピレン製のも
のとの二種類あり、前者は封止剤の加熱、硬化工程で、
後者は製品梱包工程で用いられている。このように区別
して用いられる理由は、封止剤の加熱、硬化工程では高
い耐熱寸法安定性と良好な導電性が要求されるのに対し
て、製品梱包工程では良好な導電性と軽量性、更には安
価なことが要求されるからである。

（発明が解決しようとする問題点）従って集積回路若しくは大規模集積回路の製造工場に
おいては、製造段階と梱包段階との間でロボットにより
製品を一つのトレーから他のトレーに移し替えることが
行なわれている。

しかしながら、そのトレーの移し替えの際に操作ミス
を生じ易く、また移し替え作業によりコスト増になる問
題がある。

そこで、製品移し替えの必要のないトレーをこの発明
により提供し、前記問題の解決を図ったのである。

（問題点を解決するための手段）この発明は、製品収容凹部を有する板状のトレーを、
フェノール樹脂90〜99重量部、ブタジエン系ゴム10〜１
重量部からなる有機マットリックス100重量部と、導電
性カーボンブラック10〜60重量部、無機充填剤10〜40重
量部、繊維状物質10〜50重量部、流動性付与剤0.5〜５
重量部から形成し、かつ体積固有抵抗値を10⁵Ωcm以下
としたことを特徴とするものである。

（作用）フェノール樹脂は、熱硬化性樹脂の一つであり、耐熱
性、寸法安定性、品質安定性に優れるものであるが、三
次元架橋樹脂のため本質的に耐衝撃性に劣るので、セル
ロースやガラス繊維の様な有機又は無機の物質を繊維状
又は布状で配合し、併せて必要ならば無機充填剤、木粉
等を配合して強度の維持を図る必要がある。

しかしながら、フェノール樹脂に大量のカーボンブラ
ックを配合して、10⁵Ωcm以下の体積固有抵抗値からな
る集積回路若しくは大規模集積回路用トレーを得ようと
すると、カーボンブラック自体がフェノール樹脂に対し
て補強性に乏しいため、加熱時の剛性が極端に低下す
る。従って薄肉複雑形状からなる本発明のようなトレー
にあっては、製品成形後の脱型時あるいはロボットによ
るトレーからの集積回路取出し時の衝撃により、トレー
に割れ、欠け等が多発し、通常の配合処方では使用不可
能となる。

そこで本発明は、導電性と熱時剛性とのバランスを、
カーボンブラックと補強繊維のバランスとしてのみ促え
ていては本発明の目的であるトレーを得ることができな
いと考え、マトリックスであるフェノール樹脂自体に柔
軟性を付与する本発明をなしたのである。即ち、フェノ
ール樹脂90〜99重量部に対してブタジエン系ゴム10〜１
重量部を加えて100重量部の有機マトリックスとしたの
である。

その有機マトリックスを配合してなる本発明のトレー
は、軽量であるのに加えて集積回路等の製造時に高温に
あっても変形や欠け等を生じる事がなく、またトレー自
体の成形時においても割れ等を生ずる事なく容易に成形
しうるものである。しかも、体積固有抵抗値が10⁵Ωcm
以下であるため、集積回路等の製造工程及びその後の梱
包工程において併用することができる。

（実施例）以下実施例に基づきこの発明を説明する。

第１図はこの発明一実施例に係るトレー10の部分斜視
図である。このトレー10には、集積回路等の形状あるい
は集積回路等の製造設備に応じた形状の製品収容凹部12
が所定数形成してある。

このようにしてなるトレー10は、ブタジエンゴム（B
R）、ニトリルゴム（NBR）、天然ゴム（NR）、スチレン
−ブタジエンゴム（SBR）等のブタジエン系ゴム10〜１
重量部とフェノール樹脂90〜99重量部からなる有機マト
リックス100重量部に対して、導電性カーボンブラック1
0〜60重量部、補強の為に用いるシリカ又はタルク等の
無機充填剤10〜40重量部、衝撃強度向上を目的とするガ
ラス繊維又はセルロース等の繊維状物質10〜50重量部、
成形性向上の為に用いるシリコンオイル、ワックス、脂
肪酸エステル金属塩等の流動性付与剤0.5〜５重量部を
配合、混練し、粉砕した素材を所定形状に加熱圧縮した
ものである。加熱圧縮時の成形温度は150〜190℃、圧力
は100〜300kg/cm²が好ましい。また上記成形品の柔軟性
の評価については、曲げ歪量による表示が最適である
が、一般のフェノール樹脂では通常0.5〜0.8％である。

次にこの発明における２つの配合例及びその配合から
なるトレーの物性について示す。

配合例１（重量部）・レゾール系フェノール樹脂 95 （群栄化学（株）製）・ポリブタジエン（BR）５・アセチレンブラック 50 （電気化学工業（株）製）・ガラス短繊維 30 ・脂肪酸エステル金属塩３トレーの物性体積固有抵抗値８×10²Ωcm 熱変形温度 160℃ 曲げ歪量 1.55％なおポリブタジエンを用いない100％フェノール樹脂
を用いる場合は曲げ歪量が1.0％であった。

配合例２（重量部）・カシュー変形ノボラック型フェノール樹脂（ヘキサミン含有） 90 （三井東圧化学（株）製）・ニトリルゴム（NBR） 10 ・ケッチェンブラックEC 25 （アクゾ社製）・タルク 20 ・パルプ 40 ・シリコンオイル１トレーの物性体積固有抵抗値５×10³Ωcm 熱変形温度 190℃ 曲げ歪量 2.1％またニトリルゴムを用いない100％フェノール樹脂を
用いる場合は曲げ歪量が1.3％であった。

なお、前記２つの配合例においては、圧縮成形を170
℃×５分間行なった後、圧縮を解除した形態で160℃×3
0分の加熱を行なった。

また、この発明のトレーは良好な耐熱性、耐曲げ歪
性、導電性を持つために、表面へのメッキ加工も問題な
く行なえ、配合例１、２いずれのトレーもメッキ付着が
良好であった。

（発明の効果）この発明のトレーは、フェノール樹脂とブタジエン系
ゴムの有機マトリックスと導電性カーボンブラック、無
機充填剤等からなるため、耐熱性及び導電性に優れるの
みならず成形性に優れ、かつ軽量である。

従って集積回路等の製造工程及び製品梱包工程の間
で、トレーを替えることなくこの発明からなる一つのト
レーで製品を保持して連続作業を行なうことができ、工
程の単純化の実現、及び製品移し替え時の作業ミスの防
止が可能になった。

また、作業工程の単純化、作業ミスの防止による製品
価格の低減効果を得ることもできた。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係るトレーの部分斜視図
であり、12は製品収容凹部である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製品収容凹部を有する板状のトレーであっ
て、フェノール樹脂90〜99重量部、ブタジエン系ゴム10
〜１重量部からなる有機マトリックス100重量部と、導
電性カーボンブラック10〜60重量部、無機充填剤10〜40
重量部、繊維状物質10〜50重量部、流動性付与剤0.5〜
５重量部からなり、かつ体積固有抵抗値が10⁵Ωcm以下
であることを特徴とする、集積回路若しくは大規模集積
回路用トレー。