JPH08284955A - 磁性流体軸受を用いたスピンドル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁性流体ｍが封入されてなる磁性流体軸受を
用いたスピンドル装置において、遠心ポンプや外部コン
プレッサの必要なエアシール室によることなく、回転軸
１の回転方向に拘らずに磁性流体ｍの封入端からの洩れ
を防止できるようにする。 【構成】 磁性流体軸受における磁性流体ｍの封入端に
配置された第１磁性シール部８と、その外側に配置され
た第２磁性シール部２４と、これら第１及び第２磁性シ
ール部８，２４間に設けられ、第１磁性シール部８から
流出した磁性流体ｍを貯溜可能なチャンバ２５とからな
る軸受用シール装置Ｓを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁性流体軸受を用い
たスピンドル装置に関し、特に、磁性流体軸受内に封入
された磁性流体の封入端からの洩れを防止する対策に関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のスピンドル装置では、
磁性流体軸受の封入端に磁性シール手段を配置すること
で、該封入端からの磁性流体の洩れを防止するようにな
されているのであるが、それでも、回転軸の高速回転で
の使用時や高温雰囲気下での使用時に上記磁性流体の温
度が上昇して熱膨張したり、回転軸の回転に伴う遠心力
を受けて飛散する等の場合には十分に洩れを防止できな
いことがあり、そのために、高温雰囲気下や高速回転で
の使用が困難である。

【０００３】そこで、本発明者は、先の出願（特開平６
−２００９４０号公報参照）において、磁性流体軸受の
封入端にエアシール室を配置し、該エアシール室内のエ
ア圧にて磁性流体の洩れを防止できるようにする一方、
上記エアシール室にエア圧を供給する手段として、回転
軸が正逆いずれの方向に回転してもその回転により駆動
されてエアの吐出が可能な遠心ポンプを該回転軸に連設
することや、外部のコンプレッサに接続可能なエア供給
通路をハウジング内に設けることを提案している。これ
らのものでは、例えば特開平４−１５０７５３号公報で
知られているように磁性シール手段の回転軸との対向面
に設けた螺旋溝の動圧作用で磁性流体の抑え込みを図る
ようにしたものとは異なり、回転軸の回転方向に拘らず
磁性流体の洩れを防止することができる。この結果、例
えば磁気ディスクを検査する場合のように回転軸の正逆
回転の必要とされる分野にも使用可能となり、スピンド
ル装置の使用範囲を拡大することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案例では、その後の研究において幾つかの難点のあるこ
とが判明した。

【０００５】先ず、回転軸で遠心ポンプを駆動するよう
にしたものでは、該回転軸を電動モータで回転駆動する
際に上記遠心ポンプの駆動分だけ容量の大きい電動モー
タを必要とすることになるが、それだけでなく、上記遠
心ポンプの作動音の分だけ騒音が大きくなる。

【０００６】また、外部のコンプレッサを用いるように
した場合では使い勝手のわるさが挙げられる。

【０００７】この発明は斯かる諸点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、磁性流体軸受の封入端のシール
構造に改良を加えることで、遠心ポンプや外部コンプレ
ッサの必要なエアシール室によることなく、回転軸の回
転方向に拘らずに磁性流体の洩れを防止できるようにす
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１の発明では、１対の磁性シール手段を用
いて２箇所で磁性流体の流出を抑えるようにし、その際
に、磁性流体軸受側の磁性シール手段から流出した磁性
流体をチャンバ内に貯溜して保持できるようにした。

【０００９】具体的には、この発明では、磁性流体が封
入されてなる磁性流体軸受を介してハウジングに回転軸
が回転可能に支持されるようにしたスピンドル装置が前
提である。

【００１０】そして、上記回転軸の軸方向に所定の間隔
をあけて設けられていて、上記磁性流体軸受からの磁性
流体の外部への流出を抑える１対の磁性シール手段と、
これら１対の磁性シール手段間に設けられていて、磁性
流体を貯溜可能なチャンバとからなる軸受用シール装置
を備えているものとする。

【００１１】請求項２の発明では、上記請求項１の発明
において、１対の磁性シール手段は、磁性流体軸受にお
ける磁性流体の封入端に配置されていて該磁性流体軸受
からの磁性流体の流出を抑える第１磁性シール手段と、
この第１磁性シール手段の外側に配置されていて該第１
磁性シール手段から流出した磁性流体の外部への流出を
抑える第２磁性シール手段とで構成されているものとす
る。そして、チャンバは、上記第１磁性シール手段から
流出した磁性流体を貯溜するようになされているものと
する。

【００１２】請求項３の発明では、上記請求項１の発明
において、作動気体の圧力変化にて作動する作動装置が
回転軸の先端に設けられている一方、外部の給気手段か
ら供給された作動気体を上記回転軸に導く第１給気通路
がハウジング内に、またその第１給気通路を経由して送
られてきた作動気体を上記作動装置に導く第２給気通路
が回転軸内にそれぞれ設けられ、かつそれら第１及び第
２給気通路間の接続部がハウジング及び回転軸間の軸受
用シール装置に近接した位置に設けられている場合に、
上記接続部及び軸受用シール装置間の回転軸上に、接続
部から流出して軸受用シール装置に向かう作動気体の流
れを遮る遮断部材が設けられているものとする。

【００１３】

【作用】以上の構成により、請求項１の発明では、磁性
流体軸受内の磁性流体が温度上昇により熱膨張したり、
回転軸の回転により発生する遠心力で飛散する際に、上
記磁性流体軸受側の磁性シール手段の位置まで磁性流体
が封入されていると、その磁性流体は上記磁性シール手
段の位置から外部に向かって流出する。

【００１４】このとき、上記流出した磁性流体は、１対
の磁性シール手段間のチャンバ内に貯溜された状態で保
持される。つまり、上記チャンバ内から外部への流出
は、外側の磁性シール手段により抑えられる。よって、
提案例のような遠心ポンプや外部コンプレッサの必要な
エアシール室によらずとも、磁性流体の洩れが防止され
るようになる。また、上記軸受用シール装置のシール作
用は回転軸の回転方向に拘らず営まれるので、回転軸の
正逆回転によるスピンドル装置の使用が可能となる。

【００１５】請求項２の発明では、上記熱膨張ないし飛
散した磁性流体は、第１磁性シール手段の位置から外部
に向かって流出する。このとき、上記流出した磁性流体
はチャンバ内に貯溜され、該チャンバから外部への流出
は第２磁性シール手段により抑えられる。よって、上記
請求項１の発明での作用が具体的に営まれる。

【００１６】請求項３の発明では、ハウジング内の第１
給気通路及び回転軸内の第２給気通路を順に経由して作
動装置に導かれる作動気体が接続部から流出すると、そ
の作動気体は遮断部材により、軸受用シール装置に向か
って流れるのを遮られる。よって、上記軸受用シール装
置の耐差圧性が余り高くない場合でも、該シール装置を
経由して上記作動気体が磁性流体軸受内に入り込むこと
に起因する磁性流体の軸受用シール装置からの洩れが回
避される。

【００１７】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図２は、この発明の実施例に係るスピンドル装
置Ａの全体構成を示し、このスピンドル装置Ａは、例え
ば磁気ディスクｗの検査の際に、その磁気ディスクｗを
着脱可能にクランプする作動装置としてのディスククラ
ンプ装置Ｂが該スピンドル装置Ａの回転軸１の上端フラ
ンジ部１ａに着脱可能に取り付けられるようになされて
いる。上記回転軸１は磁性材からなっていて、ハウジン
グ２内において磁性流体軸受としてのラジアル軸受３及
びスラスト軸受４を介して回転可能に支持され、かつハ
ウジング２内にユニット化されている電動モータ５によ
り正逆方向に回転駆動されるようになっている。また、
上記回転軸１の下端部には、該回転軸１の回転位置を検
出するためのエンコーダ６が連設されている。尚、上記
ディスククランプ装置Ｂは、ここでは、作動気体として
の空気が圧送されることで磁気ディスクｗの着脱を可能
とする一方、該空気の圧送停止ないし排気により磁気デ
ィスクｗをクランプするようになされている。

【００１８】上記ラジアル軸受３は、ハウジング２内の
上部に配置されていて、図３に詳しく示すように、回転
軸１の上部側周面の上下２箇所に設けられた受面３ａ，
３ａと、ハウジング２側の上記受面３ａ，３ａに対応す
る内周部位の上下２箇所に設けられた受面３ｂ，３ｂと
からなっている。一方、上記スラスト軸受４は、ラジア
ル軸受３の下方において、回転軸１に同心状に回転一体
に設けられた円盤状のスラストカラー７とハウジング２
との間に設けられていて、上記スラストカラー７の上下
両面側においてそれぞれ相対するスラストカラー７側の
受面４ａ，４ａと、ハウジング２側の受面４ｂ，４ｂと
からなっている。

【００１９】上記電動モータ５は、回転軸１の下端部に
回転一体に連結されたロータ５ａと、該ロータ５ａに対
して非接触な状態でハウジング２側に周設固定されたス
テータ５ｂとからなり、回転軸１を正逆いずれの回転方
向にも駆動可能となっている。

【００２０】上記ハウジング２の上面側における回転軸
１の周りの部分と、ラジアル軸受３の上下中間部におけ
る回転軸１の周りの部分と、スラストカラー７の周縁に
沿った部分と、該スラストカラー７の下面側における回
転軸１の周りの部分とには、それぞれ磁性流体の環状通
路１２，１２，…が設けられており、これら環状通路１
２，１２同士は、それぞれハウジング２内に設けられた
直線状に延びる各連通路１３にて互いに接続されてい
る。そして、上記ハウジング２の側部（図２の右側部）
には、上記ラジアル軸受２及びスラスト軸受３内に磁性
流体を充填するための充填口１４が開設されており、こ
の充填口１４からは、上記ラジアル軸受２の環状通路１
２に接続する充填通路１５が半径方向内方に向けて延び
るように設けられている。尚、上記充填口１４の内周に
は雌ねじが設けられていて、磁性流体が充填された後に
図外のボルトを螺着して該充填口１４を閉塞するように
なされている。

【００２１】また、上記ハウジング２の側部には、上記
ディスククランプ装置Ｂに空気を供給する際に外部の給
気手段を接続するための給気口１６が開設されている。
そして、ハウジング２内には上記給気口１６から回転軸
１の側に延びる第１給気通路１７ａが、また回転軸１の
中心には下端の側部開口から上端開口に向けて延びる第
２給気通路１７ｂがそれぞれ設けられており、これら第
１及び第２給気通路１７ａ，１７ｂは、回転軸１の下端
部の周りに設けられた接続部としての環状通路１８にお
いて互いに接続している。そして、上記環状通路１８の
上下におけるハウジング２及び回転軸１間の各部分には
それぞれファインギャップシール部１９，１９が介設さ
れている。

【００２２】上記２つのファインギャップシール部１
９，１９のうち、上側のファインギャップシール部１９
の上方には排気空間２０が設けられていて、この排気空
間２０は、ハウジング２内に設けられた排気通路２１を
経由して該ハウジング２の側部（同図の左側部）に開設
された排気口２２に接続している。一方、下側のファイ
ンギャップシール部１９の下方空間、つまり電動モータ
４の内部空間は、ハウジング２内に設けられた上下方向
に延びる連通路２３にて上記排気空間２０に接続されて
いる。これらにより、上記環状通路１８から各ファイン
ギャップシール部１９を経由して流出した空気を上記排
気口２２から外部に排出できるようになされている。

【００２３】ここで、上記ディスククランプ装置Ｂの構
成例について簡単に説明しておく。このクランプ装置Ｂ
は、図２に仮想線で示すように、略円筒状をなす本体部
の下端に外向きフランジ部が一体に周設されてなる中空
のターンテーブルＢ１と、このターンテーブルＢ１の上
端開口縁に載置されていて、自然状態で磁気ディスクｗ
の内径よりも小さい外径を有しかつ周方向の一部が切除
された状態のチャックリングＢ２と、上記ターンテーブ
ルＢ１の上端開口内に上下移動可能に嵌挿されていて、
下方移動する際に上記チャックリングＢ２を拡径方向に
弾性変形させるチャックヘッドＢ３と、図示は省略する
が、上記チャックヘッドＢ３を下方に向けて常に付勢す
る付勢手段とを備えている。そして、上記ターンテーブ
ルＢ１と回転軸１のフランジ部１ａとの間に形成されて
いる作動室Ｂ４に空気が圧送されて該作動室Ｂ４の空気
圧が高くなると、上記チャックヘッドＢ３が押し上げら
れてチャックリングＢ２を縮径状態とすることで、磁気
ディスクｗの着脱が可能となる。一方、上記空気の圧送
停止ないし排気により空気圧が低くなると、チャックヘ
ッドＢ３が下方移動してチャックリングＢ２を拡径さ
せ、このことで磁気ディスクｗをチャックリングＢ２及
びターンテーブルＢ１間でチャックできるようになされ
ている。

【００２４】この発明の特徴として、図２に示すよう
に、上記ラジアル軸受３の上方位置及びスラスト軸受４
の下方位置には、各々、回転軸１の軸方向に所定の間隔
をあけて設けられた１対の磁性シール手段としての磁性
シール部８，２４と、これら両磁性シール部８，２４間
に設けられていて、磁性流体を貯溜可能なチャンバ２５
とからなる軸受用シール装置Ｓ，Ｓが備えられている。
その際に、上記１対の磁性シール部８，２４は、ラジア
ル軸受３ないしスラスト軸受４における磁性流体ｍの封
入端に配置されていて該軸受３，４からの磁性流体の流
出を抑える第１磁性シール部８と、この第１磁性シール
部８の外側に配置されていて該第１磁性シール部８から
流出した磁性流体ｍの外部への流出を抑える第２磁性シ
ール部２４とで構成されている。そして、上記チャンバ
２５は、上記第１磁性シール部８から流出した磁性流体
ｍを貯溜するようになされている。

【００２５】具体的には、上記第１及び第２磁性シール
部８，２４はそれぞれ円環状をなしており、その外周側
において円環状の支持部材９を介しハウジング２に取り
付けられている。そして、図１の右側に詳細に示すよう
に、第１磁性シール部８は、上下（同図では左右）１対
の磁極片８ａ，８ａが永久磁石８ｂを上下から挟み込ん
だ状態に配置されてなっている。各磁極片８ａはその内
周面が回転軸１の側周面に対し所定の間隔を置くように
なされている。一方、永久磁石８ｂは、例えばＳ極が内
側（同図の右側）の磁極片８ａに、またＮ極が外側（同
図の左側）の磁極片８ａにそれぞれ接合しているととも
に、その内周面が回転軸１の側周面から上記磁極片８ａ
の場合よりも若干離れた状態になされている。これらに
より、永久磁石８ｂ、両磁極片８ａ，８ａ及び回転軸１
の間に磁気回路が形成されていて、該回転軸１との間で
磁性流体ｍを保持できるようになされている。

【００２６】また、上記各磁極片８ａの内周面には、周
方向に延びる複数条（図１に示す例では３条）の微細な
凹溝１０，１０，…が上下方向に等ピッチ間隔に設けら
れていて残りの部分が複数条（同図に示す例では４条）
の微細な凸条１１，１１，…をなしており、各凸条１１
の部分で磁極片８ａ及び回転軸１間の磁束密度を局部的
に高めてシール性が向上するようになされている。そし
て、これら上下シール装置Ｓ，Ｓの両第１磁性シール部
８，８間に磁性流体ｍが封入されていて、上側の封入端
では上側の磁性シール部８により、また下側の封入端で
は下側の磁性シール部８によりそれぞれシールされるよ
うになされている。

【００２７】一方、上記第２磁性シール部２４は上側の
シール装置Ｓにおいては第１磁性シール部８の上側に、
また下側のシール装置Ｓにおいては第１磁性シール部８
の下側にそれぞれ配置されている。この第２磁性シール
部２４の具体的な構成及びその形状や大きさは、第１磁
性シール部８の場合と同じであって、上下１対の磁極片
２４ａ，２４ａが永久磁石２４ｂを上下から挟み込むよ
うに配置されてなっている。これらにより、永久磁石２
４ｂ、両磁極片２４ａ，２４ａ及び回転軸１の間に、上
記第１磁性シール部８とは独立した磁気回路を形成する
ようになされている。尚、各磁極片２４ａの内周面に
も、磁性シール部８の場合と同じように複数条の微細な
凸条１１，１１，…が設けられている。

【００２８】そして、上記チャンバ２５は、第１磁性シ
ール部８、第２磁性シール部２４、回転軸１及び支持部
材９で区画形成されており、その大きさは、少なくと
も、第１磁性シール部８の位置まで充填された磁性流体
ｍの熱膨張量や飛散量に対応できるようになされてい
る。すなわち、熱膨張や飛散により第１磁性シール部８
から流出した磁性流体ｍを、第２磁性シール部２４の位
置から外部に流出しないように貯溜できる大きさになさ
れている。

【００２９】さらに、上記第１及び第２給気通路１７
ａ，１７ｂ間の環状通路１８と、下側の軸受用シール装
置Ｓとの間の回転軸１上には、該環状通路１８から上側
のファインギャップシール部１９を経由して該シール装
置Ｓに向かう空気の流れを遮る遮断部材としての鍔部１
ｂが設けられている。具体的には、上記鍔部１ｂは排気
空間２０内における上側ファインギャップシール部１９
に近接した位置に配置されており、その直径は第２磁性
シール部２４の磁極片２４ａの外径よりも若干小さい程
度になされている。

【００３０】次に、上記スピンドル装置Ａにおける磁性
流体ｍの充填手順と、その使用時の磁性流体ｍ及び空気
の挙動とについて説明する。磁性流体ｍは充填口１４か
ら充填通路１５を経由してラジアル軸受３、スラスト軸
受４、環状通路１２，１２，…及び連通路１３，１３，
…内に充填される。その際の適正な充填量は、基本的に
は磁性流体ｍが各軸受用シール装置Ｓの第１磁性シール
部８からチャンバ２５内に流出しない程度であるが、チ
ャンバ２５の大きさを少し大きく設けるようにした場合
には、少量であればチャンバ２５に流出する程度として
もよい。そして、充填が完了すれば、上記充填口１４を
ボルトで閉塞した後、ディスククランプ装置Ｂの回転駆
動に使用されることとなる。

【００３１】上記スピンドル装置Ａが作動してその回転
軸１が回転すると、その回転に応じて磁性流体ｍは昇温
してその体積が膨張する。また、高温雰囲気下での使用
時においても、磁性流体ｍは熱膨張する。さらに、上記
回転に伴い、その遠心力で磁性流体ｍは飛散する。そし
て、それら膨張ないし飛散した磁性流体ｍは第１磁性シ
ール部８の位置から外部に向かって流出する。このと
き、上記流出した磁性流体ｍはチャンバ２５内に貯溜さ
れ、該チャンバ２５から外部への流出は第２磁性シール
部２４により防止される。

【００３２】一方、上記スピンドル装置Ａの給気口１６
には、図示は省略するが、外部の給気手段を接続してお
き、第１給気通路１７ａ及び第２給気通路１７ｂを経由
して所定のタイミングで空気の給排を行う。これに応じ
て、上記ディスククランプ装置Ｂでは磁気ディスクｗの
着脱を行う。その際に、スピンドル装置Ａでは、上記第
１及び第２給気通路１７ａ，１７ｂ間の環状通路１８か
ら上側のファインギャップシール部１９を経由して排気
空間２０に、また下側のファインギャップシール部１９
を経由して電動モータ５内の空間にそれぞれ空気が流出
する。そして、上記排気空間２０からは直接に排気通路
２１を経由して排気口２２から外部に排出される。一
方、電動モータ５内の空間からは連通路２３を経由して
上記排気空間２０に流入した後、同様にして排気口２２
から外部に排出される。

【００３３】このとき、上側ファインギャップシール部
１９を経由して排気空間２０に流出した空気は、回転軸
１の側周面に沿って下側の軸受用シール装置Ｓに向かっ
て流れていこうとするが、その途中で回転軸１の鍔部１
ｂにより行く手を遮られて流れの向きが半径方向外方に
変えられる。

【００３４】したがって、この実施例によれば、熱膨張
ないし飛散により各軸受用シール装置Ｓの第１磁性シー
ル部８から流出した磁性流体ｍをチャンバ２５内に貯溜
でき、該チャンバ２５から外部への流出は第２磁性シー
ル部２４により防止することができる。よって、遠心ポ
ンプや外部コンプレッサの必要なエアシール室によらず
とも、回転軸１の回転方向に拘らずに磁性流体ｍの洩れ
を防止することができ、上記遠心ポンプの使用に伴う作
動時の低騒音化を図ることができるとともに、上記外部
コンプレッサの使用に伴う使い勝手の悪化を回避するこ
とができる。さらに、チャンバ２５を大きく設けている
場合には、磁性流体ｍの充填量は少量であれば各チャン
バ２５内に流出している程度でも支障はないので、その
充填量の管理を容易化することができるというメリット
もある。

【００３５】また、第１及び第２給気通路１７ａ，１７
ｂ間の環状通路１８から上側のファインギャップシール
部１９を経由して流出した空気が軸受用シール装置Ｓに
向かって流れようとするのを鍔部１ｂにより遮ることが
できるので、上記軸受用シール装置Ｓの耐差圧性が余り
高くない場合でも、上記空気がスラスト軸受４ないしラ
ジアル軸受３内に入り込んで磁性流体ｍを軸受用シール
装置Ｓから外部に流出させようとする事態が生じるのを
未然に防止することができる。

【００３６】尚、上記実施例では、第１及び第２磁性シ
ール手段を、各々、１つの磁性シール部８，２４により
構成しているが、複数の磁性シール部で構成するように
してもよい。

【００３７】また、上記実施例では、第１及び第２磁性
シール部８，２４を、共に１対の磁極片間に永久磁石が
配置されてなる構成としているが、それ以外の公知の構
成としてもよく、また両者を互いに異なる構成としても
よい。その際に、磁極片の内周面に凹溝１０及び凸条１
１を設ける場合には、凹溝を１条だけ設けて２条の凸条
を形成するようにしてもよい。

【００３８】また、上記実施例では、スピンドル装置Ａ
の回転軸１にディスククランプ装置Ｂを取り付けるよう
にしているが、ディスククランプ装置以外の作動装置を
取り付けるようにしてもよい。

【００３９】さらに、上記実施例では、ディスククラン
プ装置Ｂに空気を導く第１及び第２給気通路１７ａ，１
７ｂが設けられたスピンドル装置Ａの場合について説明
しているが、この発明に係るスピンドル装置としては上
記給気通路は必須のものではない。したがって、そのよ
うな給気通路を備えていない場合には、回転軸１に鍔部
１ｂを設けなくてもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、スピンドル装置の磁性流体軸受内に封入された
磁性流体をその封入端においてシールする際に、回転軸
の軸方向に所定の間隔をあけて設けられた１対の磁性シ
ール手段と、これら１対の磁性シール手段間に設けられ
ていて磁性流体を貯溜可能なチャンバとからなる軸受用
シール装置を備えるようにしたので、遠心ポンプや外部
コンプレッサの必要なエアシール室によることなく、回
転軸の回転方向が正逆何れの場合であっても磁性流体の
洩れを防止できるようになる。この結果、上記遠心ポン
プの使用に起因する騒音の増大や、上記外部コンプレッ
サの使用に伴う使い勝手のわるさを共に回避することが
できる。さらに、上記チャンバの大きさを利用して、磁
性流体の充填量の管理を容易化することもできる。

【００４１】請求項２の発明によれば、上記１対の磁性
シール手段を、磁性流体軸受の封入端に配置されていて
該磁性流体軸受からの磁性流体の流出を抑える第１磁性
シール手段と、この第１磁性シール手段の外側に配置さ
れていて該第１磁性シール手段から流出した磁性流体の
外部への流出を抑える第２磁性シール手段とにより構成
し、上記第１磁性シール手段から流出した磁性流体をチ
ャンバ内に貯溜するようにしたので、上記請求項１の発
明による効果を具体的に得ることができる。

【００４２】請求項３の発明によれば、上記スピンドル
装置の回転軸先端に作動気体の気圧変化にて作動する作
動装置が設けられている一方、その作動装置に作動気体
を供給するためにハウジング内の第１給気通路と回転軸
内の第２給気通路とが軸受用シール装置近傍の接続部に
おいて接続されている場合に、上記接続部及び軸受用シ
ール装置間の回転軸上に遮断部材を設けるようにしたの
で、上記シール装置の耐差圧性が余り高くない場合で
も、上記作動気体が軸受用シール装置から磁性流体軸受
内に入り込むことに起因する磁性流体の洩れを防止で
き、磁性シールに対する信頼性を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例に係るスピンドル装置の軸受
用シール装置を拡大して示す断面図である。

【図２】スピンドル装置の全体構成を示す縱断面図であ
る。

【図３】スピンドル装置の要部を拡大して示す縱断面図
である。

【符号の説明】

１ 回転軸 １ｂ 鍔部（遮断部材） ２ ハウジング ３ ラジアル軸受（磁性流体軸受） ４ スラスト軸受（磁性流体軸受） ８ 第１磁性シール部（第１磁性シール手段） １７ａ 第１給気通路 １７ｂ 第２給気通路 １８ 環状通路（接続部） ２４ 第２磁性シール部（第２磁性シール手段） ２５ チャンバ Ｓ 軸受用シール装置 ｍ 磁性流体 Ａ スピンドル装置 Ｂ ディスククランプ装置（作動装置）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性流体が封入されてなる磁性流体軸受
   を介してハウジングに回転軸が回転可能に支持されるよ
   うにしたスピンドル装置において、 上記回転軸の軸方向に所定の間隔をあけて設けられ、上
   記磁性流体軸受からの磁性流体の外部への流出を抑える
   １対の磁性シール手段と、該１対の磁性シール手段間に
   設けられ、磁性流体を貯溜可能なチャンバとからなる軸
   受用シール装置を備えていることを特徴とする磁性流体
   軸受を用いたスピンドル装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁性流体軸受を用いたス
   ピンドル装置において、 １対の磁性シール手段は、 磁性流体軸受における磁性流体の封入端に配置され、該
   磁性流体軸受からの磁性流体の流出を抑える第１磁性シ
   ール手段と、 上記第１磁性シール手段の外側に配置され、該第１磁性
   シール手段から流出した磁性流体の外部への流出を抑え
   る第２磁性シール手段とで構成され、 チャンバは、上記第１磁性シール手段から流出した磁性
   流体を貯溜するようになされていることを特徴とする磁
   性流体軸受を用いたスピンドル装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の磁性流体軸受を用いたス
   ピンドル装置において、 回転軸の先端に、作動気体の圧力変化にて作動する作動
   装置が設けられ、 ハウジング内に設けられ、外部の給気手段から供給され
   た作動気体を上記回転軸に導く第１給気通路と、 上記回転軸内に設けられ、第１給気通路を経由して送ら
   れてきた作動気体を上記作動装置に導く第２給気通路
   と、 上記ハウジング及び回転軸間の軸受用シール装置に近接
   した位置に設けられ、上記第１及び第２給気通路を互い
   に接続する接続部とを備え、 上記接続部及び軸受用シール装置間の回転軸上に、接続
   部から流出して軸受用シール装置に向かう作動気体の流
   れを遮る遮断部材が設けられていることを特徴とする磁
   性流体軸受を用いたスピンドル装置。