JPH08287528A - 光ディスク露光装置の組立方法及び光ディスク露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、スライダの走行誤差によらずトラッ
クピッチむらを抑制する。 【構成】対物レンズ２の集光スポットをスライダ３のピ
ッチング、ローリング、ヨーイングの各運動回転中心
Ｐ、Ｑ、Ｒに略一致して設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤に対し
てレーザ光を照射して記録を行う光ディスク露光装置の
組立方法及びこれにより組立られた光ディスク露光装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる光ディスク露光装置は、図５に示
すように光ディスク原盤１の上方に露光光学系の対物レ
ンズ２を搭載したスライダ３を配置し、このスライダ３
を光ディスク原盤１の半径方向に沿って配置した各ガイ
ド４、５上に移動させ、対物レンズ２を通して露光用レ
ーザ光６を光ディスク原盤１上に照射している。

【０００３】このとき、露光用レーザ光６は、スライダ
３の端付近に取り付けられた４５°ミラー７によって落
射され、対物レンズ２により光ディスク原盤１上に集光
されている。

【０００４】このように露光用レーザ光６が光ディスク
原盤１に照射されることにより光ディスク原盤１に対し
て記録が行われる。ところが、スライダ３の移動時の走
行誤差、特にスライダ３にピッチング、ローリング、ヨ
ーイング等の回転誤差が生じると、これら回転誤差によ
って対物レンズ２による露光用レーザ光６の集光スポッ
ト位置が所定の露光点からずれてしまう。

【０００５】ここで、スライダ３のピッチング誤差を例
にとって説明すると、図６に示すようにスライダ３のピ
ッチングによる回転誤差により対物レンズ２及び４５°
ミラー７は、ピッチングの運動回転中心８を中心として
光ディスク原盤１に対してそれぞれ傾く。

【０００６】この傾きの影響により、対物レンズ２の集
光スポット位置は、所定の露光点９に対してずれ、トラ
ックピッチむら１０を生じる。例えば、標準的なスライ
ダ３のピッチング誤差として１″程度を考えると、運動
回転中心８と対物レンズ２との距離ｌ₁ 、又は光路高さ
ｌ₂ にもよるが、１／１０μｍオーダのトラックピッチ
むらが生じる要因をもっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以上のようにスライダ
３にピッチング、ローリング、ヨーイング等の回転誤差
が生じると、これら回転誤差によって対物レンズ２によ
る露光用レーザ光６の集光スポット位置が所定の露光点
からずれ、例えばピッチングの回転誤差が生じると、ト
ラックピッチむらが生じる。

【０００８】そこで本発明は、スライダの走行誤差によ
らずトラックピッチむらを抑制するための光ディスク露
光装置の組立方法を提供することを目的とする。又、本
発明によれば、スライダの走行誤差によらずトラックピ
ッチむらを抑制できる光ディスク露光装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１によれば、対物
レンズを有しこの対物レンズを介して露光用光を光ディ
スク原盤上に集光する露光光学系と、この露光光学系を
搭載して光ディスク原盤の半径方向に移動させることに
より露光用光を光ディスク原盤に対して走査するスライ
ダとを具備する光ディスク露光装置の組立方法におい
て、対物レンズの集光スポット位置がスライダの誤差運
動回転中心にほぼ一致する位置に対物レンズをスライダ
に取り付けて上記目的を達成しようとする光ディスク露
光装置の組立方法である。

【００１０】請求項２によれば、スライダの誤差運動
は、ピッチング、ローリング及びヨーイングである光デ
ィスク露光装置の組立方法である。請求項３によれば、
対物レンズを有しこの対物レンズを介して露光用光を光
ディスク原盤上に集光する露光光学系と、この露光光学
系を搭載して光ディスク原盤の半径方向に移動させるこ
とにより露光用光を光ディスク原盤に対して走査するス
ライダとを具備し、対物レンズの集光スポット位置は、
スライダの誤差運動回転中心に設けて上記目的を達成し
ようとする光ディスク露光装置である。

【００１１】請求項４によれば、スライダには、対物レ
ンズからの露光用光の光軸に対して直交するＸＹ方向に
移動自在なＸＹテーブルと、このＸＹテーブルに取り付
けられかつ対物レンズからの露光用光の光軸方向に変位
自在に圧電素子とが設けられ、対物レンズは、圧電素子
に保持されている光ディスク露光装置である。

【００１２】

【作用】請求項１によれば、対物レンズを介して露光用
光を光ディスク原盤上に集光する露光光学系を搭載して
光ディスク原盤の半径方向に移動させることにより露光
用光を光ディスク原盤に対して走査するスライダに対
し、対物レンズの集光スポット位置がスライダの誤差運
動回転中心にほぼ一致する位置に対物レンズを取り付け
る。このような組立方法によりスライダの走行誤差によ
らずトラックピッチむらを抑制できる。

【００１３】請求項２によれば、スライダの誤差運動、
すなわちピッチング、ローリング及びヨーイングの回転
中心にほぼ一致する位置に対物レンズを取り付ける。請
求項３によれば、対物レンズを介して露光用光を光ディ
スク原盤上に集光する露光光学系を搭載して光ディスク
原盤の半径方向に移動させるスライダの誤差運動回転中
心に対物レンズの集光スポット位置を設ける。そして、
スライダにより露光光学系を搭載して光ディスク原盤の
半径方向に移動させることにより、露光用光を光ディス
ク原盤に対して走査する。これにより、スライダの走行
誤差によらずトラックピッチむらを抑制できる。

【００１４】請求項４によれば、請求項３のスライダに
は、対物レンズからの露光用光の光軸に対して直交する
ＸＹ方向に移動自在なＸＹテーブルに対し、対物レンズ
からの露光用光の光軸方向に変位自在に圧電素子を設
け、かつ対物レンズを圧電素子に保持している。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の第１の実施例について図面を
参照して説明する。なお、図５と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。本発明の請求項１
及び２によれば、光ディスク露光装置の組立方法は、露
光光学系を搭載して光ディスク原盤１の半径方向に移動
して露光用レーザ光を光ディスク原盤１に対して走査す
るスライダ３に対し、対物レンズ２を、この対物レンズ
２の集光スポット位置をスライダ３の運動回転中心、す
なわち図１に示すようにピッチング、ローリング、ヨー
イングの各運動回転中心に略一致して設ける工程を有し
ている。

【００１６】図２は本発明の請求項３及び４に対応する
光ディスク露光装置スライダ３における対物レンズ２の
取り付け位置を示している。すなわち、同図(a) はスラ
イダ３のヨーイングの回転中心Ｐを示し、このヨーイン
グの回転中心Ｐに対して対物レンズ２の集光スポット位
置を一致させて対物レンズ２をスライダ３に対して取り
付ける。

【００１７】同図(b) はスライダ３のピッチングの回転
中心Ｑを示し、このピッチングの回転中心Ｑに対して対
物レンズ２の集光スポット位置を一致させて対物レンズ
２をスライダ３に対して取り付ける。

【００１８】同図(c) はスライダ３のローリングの回転
中心Ｒを示し、このローリングの回転中心Ｒに対して対
物レンズ２の集光スポット位置を一致させて対物レンズ
２をスライダ３に対して取り付ける。

【００１９】このように対物レンズ２の集光スポット位
置をスライダ３のピッチング、ローリング、ヨーイング
の各運動回転中心Ｐ、Ｑ、Ｒに一致して設けた構成であ
れば、例えばスライダ３のピッチングによる回転誤差に
より対物レンズ２及び４５°ミラー７が、光ディスク原
盤１に対してそれぞれ傾いても、この傾きは、ピッチン
グの運動回転中心Ｑを中心として傾くので、対物レンズ
２の集光スポット位置は、ピッチングの運動回転中心Ｑ
からずれない。

【００２０】この結果、対物レンズ２の集光スポット位
置は、所定の露光点からずれなく、トラックピッチむら
１０は生じない。なお、ピッチング誤差によるトラック
ピッチむらは、図６に示すようにピッチング誤差による
４５°ミラー７での照射点の平行ずれと、対物レンズ２
と露光用レーザ光６との相対的なピッチング誤差分のみ
の角度誤差が影響すると考えられるが、実際にはこれら
の要因が寄与するトラックピッチむらはほとんど無視で
きる。

【００２１】これに対し、対物レンズ２の位置がピッチ
ング誤差の運動回転中心Ｑから相対的に大きく離れるの
で、このピッチング誤差により対物レンズ２の集光スポ
ット位置が振られることが、トラックピッチむらの発生
に大きな影響を与える。

【００２２】従って、対物レンズ２の集光スポット位置
をスライダ３のピッチング、ローリング、ヨーイングの
各運動回転中心Ｐ、Ｑ、Ｒに一致して設けることによ
り、対物レンズ２の集光スポット位置は、所定の露光点
からずれなく、トラックピッチむら１０は生じない。

【００２３】このように上記第１の実施例においては、
対物レンズ２の集光スポット位置をスライダ３のピッチ
ング、ローリング、ヨーイングの各運動回転中心Ｐ、
Ｑ、Ｒに一致して設けたので、対物レンズ２の集光スポ
ット位置は、所定の露光点からずれなく、トラックピッ
チむら１０を例えば１／１００以下に抑制できる。

【００２４】次に本発明の第２の実施例について説明す
る。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳
しい説明は省略する。図３(a)(b)は本発明の請求項５に
対応する光ディスク露光装置の構成図である。

【００２５】スライダ３には、ＸＹテーブル１１及び圧
電素子１２を介して対物レンズ２が取り付けられてい
る。このような構成であれば、対物レンズ２をスライダ
２に取り付けて固定する際、ＸＹテーブル１１及び圧電
素子１２を駆動することにより、対物レンズ２の集光ス
ポット位置をスライダ３の運動回転中心、すなわちピッ
チング、ローリング、ヨーイングの各運動回転中心Ｐ、
Ｑ、Ｒに略一致させることができる。

【００２６】従って、対物レンズ２の集光スポット位置
は、所定の露光点からずれなく、トラックピッチむら１
０を抑制できる。そのうえ、ＸＹテーブル１１及び圧電
素子１２を駆動して対物レンズ２の集光スポット位置を
スライダ３の運動回転中心に一致させるので、対物レン
ズ２の集光スポット位置をスライダ３の運動回転中心に
一致させる作業が容易となり、光ディスク露光装置の組
立作業を効率化できる。

【００２７】次に上記本発明の第１及び第２の実施例を
適用した光ディスク露光装置について説明する。図４は
かかる光ディスク露光装置の全体構成図である。

【００２８】光ディスク原盤１は、ＤＣモータ２０の駆
動により回転する。なお、このＤＣモータ２０は、回転
サーボ回路２１により回転駆動される。光ディスク原盤
１の上方には、エアスライダ２２が配置され、このエア
スライダ２２に移動光学系２３及び対物レンズ２が搭載
されている。

【００２９】このエアスライダ２２に対し、対物レンズ
２は、この対物レンズ２の集光スポット位置をスライダ
２１のピッチング、ローリング、ヨーイングの各運動回
転中心に略一致させて設けられている。

【００３０】このエアスライダ２２は、送りサーボ回路
２４により駆動されて対物レンズ２を光ディスク原盤１
の半径方向に走査する。さらに、このエアスライダ２２
には、記録位置検出回路２５が設けられ、対物レンズ２
を光ディスク原盤１の半径方向に走査したときの位置、
すなわち記録位置を検出している。

【００３１】なお、対物レンズ２の走査位置は、レーザ
干渉計２６により測長され、その測長結果がデータ収集
システム２７に送られている。一方、Ｋｒレーザ装置２
８が設けられ、このＫｒレーザ装置２８から出力された
露光用のＫｒレーザ光が、光軸補正系２９、光変調器３
０、記録光学系３１、ビームスプリッタ３２、及びミラ
ー３３を通して移動光学系２３に入射している。

【００３２】この移動光学系２３においてＫｒレーザ光
は、４５°ミラー７で落射し、対物レンズ２により集光
されて光ディスク原盤１上に照射される。なお、光軸補
正系２９、光変調器３０は、それぞれ光軸サーボ回路３
４、光変調器サーボ回路３５及び光量サーボ回路３６に
より調整されている。

【００３３】又、移動光学系２３内には、ＨｅＮｅレー
ザ装置３７から設けられ、このＨｅＮｅレーザ装置３７
から出力されたＨｅＮｅレーザ光は、ミラー３８、ビー
ムスプリッタ３９、さらにミラー４０、さらに４５°ミ
ラー７、対物レンズ２を通して光ディスク原盤１に照射
されている。

【００３４】そして、光ディスク原盤１から反射したＨ
ｅＮｅレーザ光は、逆の光路つまり対物レンズ２、４５
°ミラー７、ミラー４０、ビームスプリッタ３９を通っ
て光検出器４１で受光される。この光検出器４１は、フ
ォーカスエラー検出機能も具備している。

【００３５】この光検出器４１の出力はフォーカスサー
ボ回路４２に送られ、このフォーカスサーボ回路４２か
らフォーカス制御信号が出力される。なお、ビームスプ
リッタ３９の光分岐路には、欠陥検出回路４３が配置さ
れている。

【００３６】システムコントローラ４４は、回転サーボ
回路２１、送りサーボ回路２４、記録位置検出回路２
５、データ収集システム、光軸サーボ回路３４、光変調
器サーボ回路３５、光量サーボ回路３６、フォーカスサ
ーボ回路４２及び欠陥検出回路４３を統括制御してい
る。なお、システムコントローラ４４は、フォーマッタ
回路４５を通して光変調器サーボ回路３５を制御してい
る。

【００３７】このような構成であれば、光ディスク原盤
１はＤＣモータ２０の回転駆動により回転し、かつエア
スライダ２２は送りサーボ回路２４によって光ディスク
原盤１の半径方向に移動する。

【００３８】一方、Ｋｒレーザ装置２８から出力された
露光用のＫｒレーザ光は、光軸補正系２９、光変調器３
０、記録光学系３１、ビームスプリッタ３２、及びミラ
ー３３を通して移動光学系２３に入射する。

【００３９】このＫｒレーザ光は、移動光学系２３内に
おいて、４５°ミラー７で落射し、対物レンズ２により
集光されて光ディスク原盤１上に照射される。これによ
り、光ディスク原盤１上には、記録が行われる。

【００４０】このとき、対物レンズ２の集光スポット位
置は、エアスライダ２２のピッチング、ローリング、ヨ
ーイングの各運動回転中心に一致して設けられているの
で、例えばエアスライダ２２のピッチングによる回転誤
差により対物レンズ２及び４５°ミラー７が、光ディス
ク原盤１に対してそれぞれ傾いても、この傾きは、ピッ
チングの運動回転中心を中心として傾くので、対物レン
ズ２の集光スポット位置は、ピッチングの運動回転中心
Ｑからずれない。

【００４１】この結果、対物レンズ２の集光スポット位
置は、所定の露光点からずれなく、トラックピッチむら
は生じない。なお、本発明は、上記各実施例に限定され
るものではなく次の通り変形してもよい。

【００４２】例えば、対物レンズ２を搭載するスライダ
は、各ガイド４、５上を移動するものやエアースライダ
２２に限らず、他の機構のスライダでもよい。又、Ｈｅ
−Ｎｅレーザ装置の代わりに、レーザダイオード又はＫ
ｒレーザ装置からのＫｒレーザ光の一部を利用すること
もできる。

【００４３】

【発明の効果】以上詳記したように請求項１及び２の発
明によれば、スライダの走行誤差によらずトラックピッ
チむらを抑制するための光ディスク露光装置の組立方法
を提供できる。

【００４４】又、請求項３及び４の発明によれば、スラ
イダの走行誤差によらずトラックピッチむらを抑制でき
る光ディスク露光装置を提供できる。又、請求項４の発
明によれば、スライダの走行誤差によらずトラックピッ
チむらを抑制でき、かつ対物レンズの集光スポット位置
をスライダの運動回転中心に一致させる作業が容易とな
り、光ディスク露光装置の組立作業を効率化できる光デ
ィスク露光装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる光ディスク露光装置の組立方法
を示す図。

【図２】本発明に係わる第１の実施例の光ディスク露光
装置を示す構成図。

【図３】本発明に係わる第２の実施例の光ディスク露光
装置を示す構成図。

【図４】本発明に係わる実施例を適用した光ディスク露
光装置を示す全体構成図。

【図５】従来の光ディスク露光装置の構成図。

【図６】スライダのピッチング誤差によるトラックピッ
チむらを示す模式図。

【符号の説明】

１…光ディスク原盤、２…対物レンズ、３…スライダ、
６…露光用レーザ光、７…４５°ミラー、１１…ＸＹテ
ーブル、１２…圧電素子。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対物レンズを有しこの対物レンズを介し
   て露光用光を光ディスク原盤上に集光する露光光学系
   と、この露光光学系を搭載して前記光ディスク原盤の半
   径方向に移動させることにより前記露光用光を前記光デ
   ィスク原盤に対して走査するスライダとを具備する光デ
   ィスク露光装置の組立方法において、 前記対物レンズの集光スポット位置が前記スライダの誤
   差運動回転中心にほぼ一致する位置に前記対物レンズを
   前記スライダに取り付けることを特徴とする光ディスク
   露光装置の組立方法。
2. 【請求項２】 スライダの誤差運動は、ピッチング、ロ
   ーリング及びヨーイングであることを特徴とする請求項
   １記載の光ディスク露光装置の組立方法。
3. 【請求項３】 対物レンズを有しこの対物レンズを介し
   て露光用光を光ディスク原盤上に集光する露光光学系
   と、この露光光学系を搭載して前記光ディスク原盤の半
   径方向に移動させることにより前記露光用光を前記光デ
   ィスク原盤に対して走査するスライダとを具備し、 前記対物レンズの集光スポット位置は、前記スライダの
   誤差運動回転中心に設けられていることを特徴とする光
   ディスク露光装置。
4. 【請求項４】 スライダには、対物レンズからの露光用
   光の光軸に対して直交するＸＹ方向に移動自在なＸＹテ
   ーブルと、このＸＹテーブルに取り付けられかつ前記対
   物レンズからの露光用光の光軸方向に変位自在に圧電素
   子とが設けられ、前記対物レンズは、前記圧電素子に保
   持されていることを特徴とする請求項３記載の光ディス
   ク露光装置。