JPH08290272A - シーム溶接封止用パッケージ - Google Patents

シーム溶接封止用パッケージ

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JPH08290272A
JPH08290272A JP11928595A JP11928595A JPH08290272A JP H08290272 A JPH08290272 A JP H08290272A JP 11928595 A JP11928595 A JP 11928595A JP 11928595 A JP11928595 A JP 11928595A JP H08290272 A JPH08290272 A JP H08290272A
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JP
Japan
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metal
seal ring
lid
welding
package
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JP11928595A
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English (en)
Inventor
Shoichi Nagamatsu
昌一 永松
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Toyo Communication Equipment Co Ltd
Original Assignee
Toyo Communication Equipment Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 一面が開口したセラミックパッケージ本体の
該開口縁に金属製のシールリングを介して金属蓋をシー
ム溶接することにより封止されるセラミックパッケージ
において、金属蓋とシームフレームとの接合部に効率よ
く電流を流して溶接を確実化するとともに、蓋の発熱を
抑えて金属粉のパッケージ本体内への飛散を防止するこ
とができるシーム溶接用パッケージを提供する。 【構成】 一面が開口した誘電体基部の該開口側周縁部
にろう付けされる枠体状の金属製シールリングの上面に
金属蓋を載置して周囲をシーム溶接することにより該金
属蓋とシールリング間を結合するパッケージの封止構造
において、シーム溶接用電極間の電流の流路となる上記
金属蓋の抵抗値よりも上記シールリング部の抵抗値の方
が小さくなるように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電共振子等を気密封止
するためのパッケージに関し、特に、シーム溶接により
封止する形式のセラミックパッケージ等の改良に関す
る。
【0002】
【従来技術】各種電子機器、通信機器に用いられる電子
部品としての圧電デバイス(振動子、フィルタ)は、水
晶振動子等の圧電共振子をパッケージ内に気密封止した
構成を有している。この種の圧電デバイスとして、例え
ば上面が開口した箱形のセラミックパッケージの内底面
に水晶素板を配置すると共に、該水晶素板等の一面に設
けた電極から導出させた電極リードをパッケージを貫通
する導体に接続させたタイプのものがあり、このタイプ
にあっては該パッケージの開口を約0.1mm程度の肉
厚の金属蓋により封止することにより製品としての圧電
デバイスを完成させている。セラミックパッケージの開
口に金属蓋を固着する方法としては、シーム溶接による
方法が行われており、この固着工程においてはパッケー
ジの開口縁の形状に整合したリング状の金属製シールリ
ングを該開口縁に予めろう付けしておいた状態で、該シ
ールリング上に金属蓋を溶接する作業が行われる。
【0003】図6(a) 及び(b) はセラミックパッケージ
に金属蓋をシーム溶接する従来方法を示す図であり、セ
ラミックパッケージ1の開口縁1aにはろう付け用の金
属材料2により金属製シールリング3が予めろう付けさ
れている。このシールリング3の上に金属蓋4を載置
し、この状態で金属蓋4の対向し合う縁部に沿ってロー
ラ電極5を用いて一定の加圧条件の下で電源6からパル
セーション通電を行うことにより、接合部に発生するジ
ュール熱によりシールリング3と金属蓋4との接合部を
シーム接合する。
【0004】ローラ電極5から金属蓋4に流れる電流
は、図6(b) に示したように一方のローラ電極から出て
金属蓋4内だけをその面方向に流れて他方のローラ電極
5へ抜ける経路Aと、金属蓋4とシールリング3との一
端側の接合部を経てシールリング3へ流れ込んでからシ
ールリング内を通って反対側の接合部を経て他方のロー
ラ電極5へ抜ける経路Bの2経路に別れ、経路Bを通る
電流によって金属蓋4とシールリングとの溶接が行われ
る。
【0005】金属蓋をシールリングに固定するという本
来の目的からすれば、溶接電流は経路Bだけに流れれば
十分なはずであり、経路Aを流れる電流は少ない方が溶
接効率は高いはずであるが、従来はこの点については特
に配慮することもなく、溶接を行っていた。特に、従来
の金属蓋4は肉厚が0.1mm程度の平坦な板であり、
断面積が大きい為、シールリング側の電気的抵抗に比べ
た電気的抵抗が小さく、或はほぼ同じ程度であり、従っ
て溶接時には蓋側の経路Aに大きな電流が流れる。この
結果、溶接時に金属蓋側が発熱してエネルギーを無駄に
浪費する結果を招来していたばかりでなく、蓋の発熱に
より蓋の裏面等に付着していた金属粉が燃焼してパッケ
ージ内底面に配置した圧電共振子等の上に飛散(スプラ
ッシュ)して特性の変動をもたらす等の事態が発生して
いた。このような不具合を解消する為には、金属蓋の肉
厚を更に薄くすれば問題は直ちに解決する如くにも考え
られるが、0.1mmという現状の肉厚を更に薄くすれ
ば、強度が低下して蓋としての機能を発揮し得なくなる
虞が高い。
【0006】図7(a) (b) 及び(c) は従来の金属蓋の構
成例を示す図であり、(a) は上記従来例で示した平板状
の蓋、(b) は肉厚0.1mmの平板状の基部4aの上に
更に平板状の突部4bを一体的に設けたものであり、
(c) は肉厚0.1mmの平板状の基部4aの上にリング
状の突部4cを一体的に設けたものである。しかし、
(b) 及び(c) の突部4b,4cは、いずれもシールリン
グとの位置決め用の突部であり、蓋自体の強度の増大
と、金属蓋4部分の電気抵抗を低下させる為に貢献する
ことはあっても、逆に電気抵抗を増大させて溶接効率を
高める上では不利な要因となっていた。
【0007】近年の電子機器、通信機器の小型化の要請
により、これらの機器に搭載される圧電デバイスにおい
ても、セラミックパッケージ自体の容積を確保しながら
も外形サイズを小型化することが強く求められており、
その結果シールリング及び金属蓋が可能な限り薄型化さ
れているが、現状では強度を確保する必要からこれ以上
の薄型化は限界に達している。特に、金属蓋に関して
は、0.1mmを下回って薄型化を進めることが不可能
であることから、シーム溶接を効率的に行うための条件
に反する状況(上記経路A側へ流れる電流の低減の困難
化)が生じている。従って、このような金属蓋の発熱
と、発熱によるスプラッシュの発生を防止する為に、溶
接に必要十分な電流を流すことができず、その結果、溶
接による接合の歩留りが低下する事態を招来しているの
が実態である。
【0008】
【発明の目的】本発明は上記に鑑みてなされたものであ
り、一面が開口したセラミックパッケージ本体の該開口
縁に金属製のシールリングを介して金属蓋をシーム溶接
することにより封止されるセラミックパッケージにおい
て、金属蓋とシームフレームとの接合部に効率よく電流
を流して溶接を確実化するとともに、蓋の発熱を抑えて
金属粉のパッケージ本体内への飛散を防止することがで
きるシーム溶接用パッケージを提供することを目的とし
ている。
【0009】
【発明の概要】上記目的を達成するため本発明は、一面
が開口した誘電体基部の該開口側周縁部にろう付けされ
る枠体状の金属製シールリングの上面に金属蓋を載置し
て周囲をシーム溶接することにより該金属蓋とシールリ
ング間を結合するパッケージの封止構造において、シー
ム溶接用電極間の電流の流路となる上記金属蓋の抵抗値
よりも上記シールリング部の抵抗値の方が小さくなるよ
うに構成したことを特徴とする。上記シールリングと上
記誘電体基部との接合部が銀ろう付けされており、シー
ム溶接時の電流の50%以上が、上記銀ろう付け部分を
含むシールリング部を流れる様に、上記シールリングの
断面寸法と銀ろう付け部の厚み又はその断面寸法を設定
したことを特徴とする。
【0010】一面が開口した誘電体基部の該開口側周縁
部にろう付けされる枠体状の金属製シールリングの上面
に金属蓋を載置して周囲をシーム溶接することにより該
金属蓋とシールリング間を結合するパッケージの封止構
造において、上記誘電体基部の開口側周縁部内に金属板
又は金属棒を埋設するとともに、該金属板又は金属棒と
上記シールリング部とを導通させることによって、溶接
電流の少なくとも一部が該金属板又は金属棒に流れる様
に構成したことを特徴とする。上記金属蓋の電気抵抗値
が大きくなる様に、該金属蓋の適所に凹部を設けたこと
を特徴とする。
【0011】
【発明の実施例】以下、添付図面に示した実施例により
本発明を詳細に説明する。なお、本発明は、上述した様
にシーム溶接により金属蓋とセラミック容器とをシール
リングを介して接合して容器内を封止する場合、金属蓋
の電気抵抗値よりもシールリング部(シールリングとセ
ラミック容器とを一体化した時のシールリングとろう付
け部分とを併せた構造体をシールリング部と称する)の
電気抵抗値が小さい方が溶接効率と溶接状態が向上する
という知見に基づいてなされたものである。本発明者
は、容器全体構造を大型化することなく、シールリング
部の電気抵抗を金属蓋の電気抵抗よりも小さくする為に
有効な構造を以下に提案するものである。
【0012】図1は本発明の一実施例のパッケージ構成
を示す要部断面図であり、図6と同一部分には同一符号
を付している(以下、全ての実施例に於て同じ)。セラ
ミックパッケージ及びシールリングの全体構造は上記図
6に示したものと同様であるので図示を省略する。この
実施例では、セラミックパッケージ本体(誘電体容器)
1の開口側周縁部1aとシールリング3との間をろう付
けするために用いる銀ろう2の量を多くして(厚みを増
大させて)、ろう付け完了後の銀ろう部分に多くの電流
が流れ込む様にした構成が特徴的である。
【0013】シールリング3として、コバール(鉄、ニ
ッケル、コバルトの合金)から成る基材にニッケルメッ
キを施したものを用いる場合、コバールの電気抵抗は銀
よりも大きいが、銀ろう付けに用いる銀の量を大めに用
いることにより、図1に示す様に、電極5→蓋4の厚み
方向→シールリング3→銀ろう層2、の流路C3を流れ
る電流が,他の流路C1,C2よりも大きくなる。その
理由は、電極5、5間の流路における電気抵抗が、蓋4
>シールリング3>銀ろう層2、の順序となるからであ
る。
【0014】このように構成することにより、図6に示
した如きシーム溶接を行う場合に、図1の経路C1、C
2を流れる各電流を低減し、溶接に実質的に関与する経
路C3に対して効率的に電流を流すことができ、その結
果、溶接電流の低減と溶接時間の短縮を図りながら、効
率的な溶接を行うことができる。また、金属蓋の発熱に
起因した金属粉のパッケージ本体内へのスプラッシュを
防止することができる。特に、金属蓋等に格別な改良を
加えることなく、金属蓋の電気抵抗の増大による金属蓋
の発熱を考慮する必要がなくなるので、必要十分な溶接
電流を使用することができ、溶接の歩留を高めることが
可能となる。
【0015】次に、図2は本発明の第2の実施例の要部
構成説明図であり、この実施例は銀ろう層を構成する銀
の量を一定にした場合には、シールリング3の電気抵抗
値が小さい程溶接に最も寄与する流路C3を流れる電流
の値を増大させることができることに着目し、シールリ
ング3の断面積(厚み)を大きくすることによりシール
リングの電気抵抗を小さくした。換言すれば、従来に比
べより多くの電流がシールリング側に流れるように、理
想的にはシーム溶接時の電流の50%以上が上記銀ろう
付け部分を含むシールリング部を流れる様に、上記シー
ルリングの断面寸法と銀ろう付け部の厚み又はその断面
寸法を設定した。また、この実施例では、シールリング
の全体の厚みが大きくなっているので、経路C2への電
流も流れ易くなり、その結果金属蓋4に流れる電流(経
路C1)の割合が減少して金属蓋の発熱に起因したスプ
ラッシュの発生を防止できる。
【0016】また、図3に示した本発明の第3の実施例
は、第2実施例と同様に、銀ろう層を構成する銀の量を
一定にした場合に、シールリング3の厚み方向の電気抵
抗値が小さい程溶接に最も寄与する経路C3を流れる電
流の割合を増大させることができることに着目し、シー
ルリング3を薄くすることにより、その厚み方向の抵抗
を小さくして、経路C3を経て銀ろう層2に流れる電流
の割合を増大させた。なお、このときにシールリング3
の肉厚を薄くする程度であるが、経路C2の電気抵抗が
過大となって、金属蓋4に流れる電流が増大しない程度
に設定することが好ましい。この結果、経路C3、C2
に流れる電流の割合が増大して金属蓋1中の経路C1を
流れる電流が減少し、蓋の発熱を防止できる。
【0017】経路3に流れる電流を調整する場合には、
銀ろう層2の量を調整することが有効であり、銀ろう層
2の量を増やすことにより経路3に流れる電流の割合を
増大させることができるので、適宜調整すれば良い。な
お、上記各実施例は夫々単独で実施してもよいし、夫々
を組み合わせてもよい。例えば、銀ろう層2の量を増大
させる(厚みを増大させる)と共に、シールリング3の
断面積を増やしたり、或はシールリングを薄くしてシー
ルリングの電気抵抗を小さくすれば、より一層の溶接効
率を高めることが可能となる。
【0018】次に、図4は本発明の第4実施例のパッケ
ージの断面図であり、この実施例はパッケージ本体1の
開口側周縁1aの肉厚内部に金属枠体(リング)10を
予め埋設一体化すると共に、金属枠体10と周縁1a上
の銀ろう層2との間を、周縁1aを貫通して金属枠体1
0まで達するスルーホール等の接続導体11により電気
的に接続させた構成が特徴的である。金属枠体10は図
示の様に扁平な金属板からなるリングであってもよい
し、断面が円形、矩形等々の棒状体から成るリングであ
ってもよい。いずれにしてもこのパッケージ本体は、良
導体金属から成る金属枠体10を開口側周縁1aの内部
所定深さ位置に埋設するとともに、接続導体11を介し
て周縁1a上面に金属枠体10と銀ろう層2との接続端
を露出させるようにしている。金属枠体10はパッケー
ジ本体の周縁全周に渡って連続して延在していることは
勿論である。接続導体11は、パッケージ本体の開口側
周縁部に沿って所定のピッチで配置すれば十分である
が、当該ピッチは本実施例の達成しようとする目的であ
る溶接効率の向上を阻害しない程度に密に設定する。第
4実施例によれば、電極5から金属蓋2の外周縁部の肉
厚方向を経てシールリング3へと向かう経路C3の電気
抵抗がより小さくなり、金属蓋とシールリングとの溶接
効率を大幅に高めることが可能となる。
【0019】また、図5は図4の変形例であり、金属枠
体10を複数層埋設し、各金属枠体10と銀ろう層2と
の間をスルーホール等の接続導体11にて接続する様に
した構成が特徴的である。この実施例によれば、電極5
から金属蓋2の外周縁部の肉厚方向を経てシールリング
3へと向かう経路C3の電気抵抗をより一層小さくする
ことができ、属蓋とシールリングとの溶接効率を更に大
幅に高めることができる。
【0020】なお、シーム溶接に於て溶接に最も寄与す
る電流が流れる部分は、図1に示した経路C3であり、
この経路C3に大電流を流すことによって瞬間的に高温
を発生し、金属蓋2とシールリング3とを溶融結合させ
ることができる。なお、上記実施例では金属枠体はパッ
ケージ本体の開口側周縁部1aの内部に埋設したが、構
造上許される場合には、図5に示すパッケージ本体1の
板状底部1Aの肉厚内に点線で示す金属板(リング上で
ある必要はない)10Aを埋設し、該金属板10Aを接
続導体を介して銀ろう層2と接続させるようにしてもよ
い。
【0021】本発明の上記各実施例では、溶接に関与す
る経路C3の電気抵抗を小さくすることにより、他の部
分、特に金属蓋1の面方向経路C1を流れる電流を低減
し、溶接に実質的に関与する経路C3に対して効率的に
電流を流すことができ、その結果、溶接電流の低減と溶
接時間の短縮を図りながら、効率的な溶接を行うことが
できる。また、金属蓋の発熱に起因した金属粉のパッケ
ージ内へのスプラッシュを防止することができる。特
に、金属蓋の電気抵抗が相対的に増大する結果として、
金属蓋の発熱を考慮する必要がなくなるので、必要十分
な溶接電流を使用することができ、溶接の歩留を高める
ことが可能となる。
【0022】なお、必要に応じて、金属蓋の電気抵抗を
高める為の措置を講じてもよい。例えば、金属蓋の下面
に凹所を形成してその断面積を減少させることによって
電気抵抗を高めて、図1の経路C1を流れる電流を積極
的に減少させると共に、経路C3を流れる電流を増大さ
せるようにしてもよい。なお、この場合、シールリング
と接触する金属蓋外周縁部分(接合部分)には凹所を設
けず、その内側部分の全部又は一部に凹所を形成するこ
とが好ましい。従って、上記各実施例と金属蓋に凹所を
設けた実施例とを任意に組み合わせて使用することが可
能となる。
【0023】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一面が開
口した誘電体基部の該開口側周縁部にろう付けされる枠
体状の金属製シールリングの上面に金属蓋を載置して周
囲をシーム溶接することにより該金属蓋とシールリング
間を結合するパッケージの封止構造において、シーム溶
接用電極間の電流の流路となる上記金属蓋の抵抗値より
も上記シールリング部の抵抗値の方が小さくなるように
構成したので、金属蓋とシームフレームとの接合部に効
率よく電流を流して溶接を確実化するとともに、蓋の発
熱を抑えて金属粉のパッケージ内への飛散を防止するこ
とができる。
【0024】また、上記シールリングと上記誘電体基部
との接合部が銀ろう付けされており、シーム溶接時の電
流の50%以上が、上記銀ろう付け部分を含むシールリ
ング部を流れる様に、上記シールリングの断面寸法と銀
ろう付け部の厚み又はその断面寸法を設定したので、上
記と同様の効果を得ることができる。
【0025】また、上記誘電体基部の開口側周縁部内に
金属板又は金属棒を埋設するとともに、該金属板又は金
属棒と上記シールリング部とを導通させることによっ
て、溶接電流の少なくとも一部が該金属板又は金属棒に
流れる様に構成したので、パケージを大型化することな
く溶接効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例のパッケージの要部構成を
示す断面図。
【図2】本発明の第2実施例のパッケージの要部構成を
示す断面図。
【図3】本発明の第3実施例のパッケージの要部構成を
示す断面図。
【図4】本発明の第4実施例のパッケージの要部構成を
示す断面図。
【図5】本発明の第5実施例のパッケージの要部構成を
示す断面図。
【図6】(a) 及び(b) は従来のシーム溶接方法とその欠
点を示す図である。
【図7】(a) (b) 及び(c) は従来の金属蓋の構成を示す
斜視図。
【符号の説明】
1 セラミックパッケージ本体(誘電体容器)、1a
開口側周縁部,2 銀ろう(層)、3 シールリング,
4 金属蓋、5 電極、6 電源、10 金属枠体、1
1 接続導体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/10 H01L 23/10 B H03H 9/02 H03H 9/02 A

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一面が開口した誘電体基部の該開口側周
    縁部にろう付けされる枠体状の金属製シールリングの上
    面に金属蓋を載置して周囲をシーム溶接することにより
    該金属蓋とシールリング間を結合するパッケージの封止
    構造において、 シーム溶接用電極間の電流の流路となる上記金属蓋の抵
    抗値よりも上記シールリング部の抵抗値の方が小さくな
    るように構成したことを特徴とするシーム溶接封止用パ
    ッケージ。
  2. 【請求項2】 上記シールリングと上記誘電体基部との
    接合部が銀ろう付けされており、シーム溶接時の電流の
    50%以上が、上記銀ろう付け部分を含むシールリング
    部を流れる様に、上記シールリングの断面寸法と銀ろう
    付け部の厚み又はその断面寸法を設定したことを特徴と
    する請求項1記載のシーム溶接封止用パッケージ。
  3. 【請求項3】 一面が開口した誘電体基部の該開口側周
    縁部にろう付けされる枠体状の金属製シールリングの上
    面に金属蓋を載置して周囲をシーム溶接することにより
    該金属蓋とシールリング間を結合するパッケージの封止
    構造において、 上記誘電体基部の開口側周縁部内に金属板又は金属棒を
    埋設するとともに、該金属板又は金属棒と上記シールリ
    ング部とを導通させることによって、溶接電流の少なく
    とも一部が該金属板又は金属棒に流れる様に構成したこ
    とを特徴とするシーム溶接封止用パッケージ。
  4. 【請求項4】 上記金属蓋の電気抵抗値が大きくなる様
    に、該金属蓋の適所に凹部を設けたことを特徴とする請
    求項1、2又は3記載のシーム溶接封止用パッケージ。
JP11928595A 1995-04-20 1995-04-20 シーム溶接封止用パッケージ Pending JPH08290272A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006015512A1 (de) * 2006-03-31 2007-10-11 Andreas Hettich Gmbh & Co. Kg Vorrichtung aus einer Messkammer und einem über einen Schnellverschluss in die Messkammer integrierbaren Resonator für die Flüssigkeitssensorik
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