JPH08290421A - ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置 - Google Patents
ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置Info
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- JPH08290421A JPH08290421A JP9696095A JP9696095A JPH08290421A JP H08290421 A JPH08290421 A JP H08290421A JP 9696095 A JP9696095 A JP 9696095A JP 9696095 A JP9696095 A JP 9696095A JP H08290421 A JPH08290421 A JP H08290421A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤソーにおいて溝付ローラの両側での熱バ
ランスを崩すことなく、良好な切断を行う。 【構成】複数個の溝付ローラの各軸支持装置６０〜７０
には、温度調整装置により一定温度に維持された冷却水
が冷却水循環装置８４により循環供給される。前記各軸
支持装置に供給される冷却水の供給量は、供給配管７２
Ａ〜８２Ａの途中に設けられた流量調整弁７２Ｃ〜８２
Ｃにより各軸支持装置で個別に調整され、その調整は前
記各軸支持装置に設置された温度センサ６０Ｔ〜７０Ｔ
で検出される各軸支持装置の温度に基づいて、各軸支持
装置が均一に冷却されるように前記流量調整弁７２Ｃ〜
８２Ｃを制御装置８６で制御することにより行う。
ランスを崩すことなく、良好な切断を行う。 【構成】複数個の溝付ローラの各軸支持装置６０〜７０
には、温度調整装置により一定温度に維持された冷却水
が冷却水循環装置８４により循環供給される。前記各軸
支持装置に供給される冷却水の供給量は、供給配管７２
Ａ〜８２Ａの途中に設けられた流量調整弁７２Ｃ〜８２
Ｃにより各軸支持装置で個別に調整され、その調整は前
記各軸支持装置に設置された温度センサ６０Ｔ〜７０Ｔ
で検出される各軸支持装置の温度に基づいて、各軸支持
装置が均一に冷却されるように前記流量調整弁７２Ｃ〜
８２Ｃを制御装置８６で制御することにより行う。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤソーの溝付ローラ軸
支持部冷却装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置に関する。
支持部冷却装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出したワイヤを複数個の溝付ローラ
に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒のラ
ッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状のウェ
ーハに切断するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出したワイヤを複数個の溝付ローラ
に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒のラ
ッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状のウェ
ーハに切断するものである。
【０００３】前記ワイヤソーにおいて、溝付ローラの軸
支持部の発熱を抑えることは被加工物の切断精度を向上
する上でも重要である。そこで、前記溝付ローラの軸支
持部の発熱を抑える溝付ローラの軸支持装置として、特
開平５−１５４８３１号公報に開示されたものがある。
この軸支持装置は、溝付ローラの両端部を回動自在に軸
支する軸支持部に一定温度、一定流量の冷却水を循環供
給することにより、溝付ローラの軸支持部を冷却し、そ
の軸支持部の温度上昇を抑制している。
支持部の発熱を抑えることは被加工物の切断精度を向上
する上でも重要である。そこで、前記溝付ローラの軸支
持部の発熱を抑える溝付ローラの軸支持装置として、特
開平５−１５４８３１号公報に開示されたものがある。
この軸支持装置は、溝付ローラの両端部を回動自在に軸
支する軸支持部に一定温度、一定流量の冷却水を循環供
給することにより、溝付ローラの軸支持部を冷却し、そ
の軸支持部の温度上昇を抑制している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記溝付ロ
ーラは、モータからの駆動をベルト伝動により伝達して
駆動している。このため、駆動用ベルトが連結されてい
る側の軸支持部は、駆動用ベルトが連結されていない側
の軸支持部よりも、そのベルトの摩擦による発熱のため
温度が高くなっている。
ーラは、モータからの駆動をベルト伝動により伝達して
駆動している。このため、駆動用ベルトが連結されてい
る側の軸支持部は、駆動用ベルトが連結されていない側
の軸支持部よりも、そのベルトの摩擦による発熱のため
温度が高くなっている。
【０００５】しかしながら、前記特開平５−１５４８３
１号公報に開示された軸支持装置では、各軸支持部を一
定温度、一定流量の冷却水で冷却しているため、溝付ロ
ーラの両端部で温度差が生じる。このため、溝付ローラ
は熱による変形のバランスが崩れ、溝ピッチが変化して
切断精度に悪影響を及ぼすという欠点がある。また、前
記溝付ローラの変形バランスが崩れるだけでなく軸支持
装置を両側から固定しているブラケット等の構造体に対
しても熱による変形のバランスが崩れ、捻れが生じて切
断に悪影響を及ぼすという欠点がある。
１号公報に開示された軸支持装置では、各軸支持部を一
定温度、一定流量の冷却水で冷却しているため、溝付ロ
ーラの両端部で温度差が生じる。このため、溝付ローラ
は熱による変形のバランスが崩れ、溝ピッチが変化して
切断精度に悪影響を及ぼすという欠点がある。また、前
記溝付ローラの変形バランスが崩れるだけでなく軸支持
装置を両側から固定しているブラケット等の構造体に対
しても熱による変形のバランスが崩れ、捻れが生じて切
断に悪影響を及ぼすという欠点がある。
【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、溝付ローラの両側での熱バランスを崩すこと
なく、良好な切断を行うことができるワイヤソーの溝付
ローラ軸支持部冷却装置を提供することを目的とする。
たもので、溝付ローラの両側での熱バランスを崩すこと
なく、良好な切断を行うことができるワイヤソーの溝付
ローラ軸支持部冷却装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出して複
数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方の
ワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を
含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被加工物
を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーであっ
て、前記溝付ローラの両端部を回動自在に支持する軸支
持部の冷却水流路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷
却するワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置におい
て、前記複数個の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイ
ヤ列に押し当てられた前記被加工物の両側に位置する溝
付ローラを軸支する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却
水を個別に供給する冷却水供給路と、前記複数の冷却水
供給路を流れる冷却水の流量を個別に調整する流量調整
手段と、前記冷却水の温度を一定温度に維持する温度一
定調整手段と、前記各軸支持部の温度を個別に検出する
複数の温度センサと、前記各温度センサの検出温度に基
づいて前記各軸支持部の温度が均一になるように前記流
量調整手段を制御する制御手段と、から成ることを特徴
とする。
る為に、ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出して複
数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方の
ワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を
含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被加工物
を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーであっ
て、前記溝付ローラの両端部を回動自在に支持する軸支
持部の冷却水流路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷
却するワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置におい
て、前記複数個の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイ
ヤ列に押し当てられた前記被加工物の両側に位置する溝
付ローラを軸支する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却
水を個別に供給する冷却水供給路と、前記複数の冷却水
供給路を流れる冷却水の流量を個別に調整する流量調整
手段と、前記冷却水の温度を一定温度に維持する温度一
定調整手段と、前記各軸支持部の温度を個別に検出する
複数の温度センサと、前記各温度センサの検出温度に基
づいて前記各軸支持部の温度が均一になるように前記流
量調整手段を制御する制御手段と、から成ることを特徴
とする。
【０００８】また、前記目的を達成するために、ワイヤ
を一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤソーであって、前記溝付ロ
ーラの両端部を回動自在に支持する軸支持部の冷却水流
路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷却するワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置において、前記複数個
の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列に押し当て
られた前記被加工物の両側に位置する溝付ローラを軸支
する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を個別に供給
する冷却水供給路と、前記複数の冷却水供給路を流れる
冷却水の温度を個別に調整する温度個別調整手段と、前
記各軸支持部の温度を個別に検出する複数の温度センサ
と、前記各温度センサの検出温度に基づいて前記各軸支
持部の温度が均一になるように前記流量調整手段を制御
する制御手段と、から成ることを特徴とする。
を一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤソーであって、前記溝付ロ
ーラの両端部を回動自在に支持する軸支持部の冷却水流
路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷却するワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置において、前記複数個
の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列に押し当て
られた前記被加工物の両側に位置する溝付ローラを軸支
する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を個別に供給
する冷却水供給路と、前記複数の冷却水供給路を流れる
冷却水の温度を個別に調整する温度個別調整手段と、前
記各軸支持部の温度を個別に検出する複数の温度センサ
と、前記各温度センサの検出温度に基づいて前記各軸支
持部の温度が均一になるように前記流量調整手段を制御
する制御手段と、から成ることを特徴とする。
【０００９】また、前記目的を達成するために、ワイヤ
を一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤソーであって、前記溝付ロ
ーラの両端部を回動自在に支持する軸支持部の冷却水流
路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷却するワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置において、前記複数個
の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列に押し当て
られた前記被加工物の両側に位置する溝付ローラを軸支
する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を個別に供給
する冷却水供給路と、前記複数の冷却水供給路を流れる
冷却水の流量を個別に調整する流量調整手段と、前記冷
却水の温度を一定温度に維持する温度一定調整手段と、
から成ることを特徴とする。
を一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに
巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供
給して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状
のウェーハに切断するワイヤソーであって、前記溝付ロ
ーラの両端部を回動自在に支持する軸支持部の冷却水流
路に冷却水を供給して前記軸支持部を冷却するワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置において、前記複数個
の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列に押し当て
られた前記被加工物の両側に位置する溝付ローラを軸支
する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を個別に供給
する冷却水供給路と、前記複数の冷却水供給路を流れる
冷却水の流量を個別に調整する流量調整手段と、前記冷
却水の温度を一定温度に維持する温度一定調整手段と、
から成ることを特徴とする。
【００１０】
【作用】請求項１記載の発明によれば、各温度センサで
検出された各軸支持部の温度に基づいて制御手段は、各
軸支持部の温度が均一になるように流量調整手段により
各冷却水供給路を流れる冷却水の流量を制御するように
した。この場合、複数個の溝付ローラのうち少なくとも
ワイヤ列に押し当てられた被加工物の両側に位置する溝
付ローラを軸支する各軸支持部の温度が均一になるよう
にする。これにより、溝付ローラの両側での熱による変
形のバランスが崩れないので、精度の良い切断を行うこ
とができる。
検出された各軸支持部の温度に基づいて制御手段は、各
軸支持部の温度が均一になるように流量調整手段により
各冷却水供給路を流れる冷却水の流量を制御するように
した。この場合、複数個の溝付ローラのうち少なくとも
ワイヤ列に押し当てられた被加工物の両側に位置する溝
付ローラを軸支する各軸支持部の温度が均一になるよう
にする。これにより、溝付ローラの両側での熱による変
形のバランスが崩れないので、精度の良い切断を行うこ
とができる。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、各温度セン
サで測定された結果に基づいて制御手段は、各軸支持部
の温度が均一になるように温度個別調整手段により各冷
却水供給路を流れる冷却水の温度を個別に制御するよう
にした。この場合も、請求項１と同様の理由から精度の
良い切断を行うことができる。請求項３記載の発明によ
れば、作業者が、経験や実験等で求めた値を基に各軸支
持部の温度が均一になるように流量調整手段により各冷
却水供給路を流れる冷却水の流量を調整するようにし
た。この場合も、請求項１と同様の理由から精度の良い
切断を行うことができる。
サで測定された結果に基づいて制御手段は、各軸支持部
の温度が均一になるように温度個別調整手段により各冷
却水供給路を流れる冷却水の温度を個別に制御するよう
にした。この場合も、請求項１と同様の理由から精度の
良い切断を行うことができる。請求項３記載の発明によ
れば、作業者が、経験や実験等で求めた値を基に各軸支
持部の温度が均一になるように流量調整手段により各冷
却水供給路を流れる冷却水の流量を調整するようにし
た。この場合も、請求項１と同様の理由から精度の良い
切断を行うことができる。
【００１２】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の好ましい実施例につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数の固定ガイド
ローラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の
溝付きローラ２１、２２、２３に順次巻き掛けられてワ
イヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の好ましい実施例につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、ワイヤ案内装置１６、複数の固定ガイド
ローラ１８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の
溝付きローラ２１、２２、２３に順次巻き掛けられてワ
イヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイドローラ１
８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経
て他方のワイヤリール２６に巻き取られる。
【００１３】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力が
付与される。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装
置４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６によってワ
イヤ１４に付着した加工液４０が除去される。前記ワイ
ヤリール１２、２６には、それぞれ正逆回転可能な駆動
モータ２８、３０が連結され、前記３本の溝付ローラ２
１、２２、２３うちの１本にも正逆回転可能な駆動モー
タ３２が連結される。これにより、ワイヤ１４は一方の
ワイヤリール１２と他方のワイヤリール２６の間を往復
走行する。
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力が
付与される。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装
置４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６によってワ
イヤ１４に付着した加工液４０が除去される。前記ワイ
ヤリール１２、２６には、それぞれ正逆回転可能な駆動
モータ２８、３０が連結され、前記３本の溝付ローラ２
１、２２、２３うちの１本にも正逆回転可能な駆動モー
タ３２が連結される。これにより、ワイヤ１４は一方の
ワイヤリール１２と他方のワイヤリール２６の間を往復
走行する。
【００１４】前記ワイヤ列２４には、砥液貯留タンク３
８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００
程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給
ノズル４２から供給される。前記ワイヤ列２４の下方に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介してワーク送りテー
ブル４８に支持される。このワーク送りテーブル４８は
モータ５０で回動するネジ桿５２により上下方向に移動
自在に設けられる。前記半導体インゴットは、前記ワー
ク送りテーブル４８を上方に移動させることにより高速
走行するワイヤ列２４に押し当てられ、その高速走行す
るワイヤ列２４に供給される加工液４０によるラッピン
グ作用により多数の薄板状のウェーハに切断される。
８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００
程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給
ノズル４２から供給される。前記ワイヤ列２４の下方に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介してワーク送りテー
ブル４８に支持される。このワーク送りテーブル４８は
モータ５０で回動するネジ桿５２により上下方向に移動
自在に設けられる。前記半導体インゴットは、前記ワー
ク送りテーブル４８を上方に移動させることにより高速
走行するワイヤ列２４に押し当てられ、その高速走行す
るワイヤ列２４に供給される加工液４０によるラッピン
グ作用により多数の薄板状のウェーハに切断される。
【００１５】図２及び図３には、本発明に係るワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第１実施例の説明図
が示されている。前記３本の溝付ローラ２１、２２、２
３は、それぞれその両端部を軸支持装置６０、６２、６
４、６６、６８、７０に支持されている。この軸支持装
置６０〜７０の内部には、図示しない流路が形成されて
おり、この流路に冷却水が流れることにより各軸支持装
置６０〜７０で発生する熱を吸熱する。各軸支持装置６
０〜７０に供給される冷却水は、各軸支持装置６０〜７
０の流路入口に連結された供給配管７２Ａ、７４Ａ、７
６Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２Ａから供給され、流路出口
に連結された排出配管７２Ｂ、７４Ｂ、７６Ｂ、７８
Ｂ、８０Ｂ、８２Ｂから排出される。
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第１実施例の説明図
が示されている。前記３本の溝付ローラ２１、２２、２
３は、それぞれその両端部を軸支持装置６０、６２、６
４、６６、６８、７０に支持されている。この軸支持装
置６０〜７０の内部には、図示しない流路が形成されて
おり、この流路に冷却水が流れることにより各軸支持装
置６０〜７０で発生する熱を吸熱する。各軸支持装置６
０〜７０に供給される冷却水は、各軸支持装置６０〜７
０の流路入口に連結された供給配管７２Ａ、７４Ａ、７
６Ａ、７８Ａ、８０Ａ、８２Ａから供給され、流路出口
に連結された排出配管７２Ｂ、７４Ｂ、７６Ｂ、７８
Ｂ、８０Ｂ、８２Ｂから排出される。
【００１６】前記供給配管７２Ａ〜８２Ａ及び排出配管
７２Ｂ〜８２Ｂは、ともに冷却水循環装置８４に連結さ
れ、各軸支持装置６０〜７０に供給される冷却水は、冷
却水循環装置８４により循環供給される。冷却水循環装
置８４には、図示しない温度調整装置が備えられてお
り、循環して戻ってきた冷却水はこの温度調整装置で冷
却されて所定温度に調整される。従って、前記冷却水循
環装置８４からは、常に一定温度の冷却水が供給され
る。
７２Ｂ〜８２Ｂは、ともに冷却水循環装置８４に連結さ
れ、各軸支持装置６０〜７０に供給される冷却水は、冷
却水循環装置８４により循環供給される。冷却水循環装
置８４には、図示しない温度調整装置が備えられてお
り、循環して戻ってきた冷却水はこの温度調整装置で冷
却されて所定温度に調整される。従って、前記冷却水循
環装置８４からは、常に一定温度の冷却水が供給され
る。
【００１７】また、前記供給配管７２Ａ〜８２Ａには、
各流量調整弁７２Ｃ、７４Ｃ、７６Ｃ、７８Ｃ、８０
Ｃ、８２Ｃが設けられており、この流量調整弁７２Ｃ〜
８２Ｃを個別に制御することにより、各軸支持装置６０
〜７０に供給する冷却水の供給量を調整する。この流量
調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの制御は、制御装置８６により行
う。
各流量調整弁７２Ｃ、７４Ｃ、７６Ｃ、７８Ｃ、８０
Ｃ、８２Ｃが設けられており、この流量調整弁７２Ｃ〜
８２Ｃを個別に制御することにより、各軸支持装置６０
〜７０に供給する冷却水の供給量を調整する。この流量
調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの制御は、制御装置８６により行
う。
【００１８】前記制御装置８６は、前記流量調整弁７２
Ｃ〜８２Ｃの制御を次のように行う。すなわち、各軸支
持装置６０〜７０には、各軸支持装置６０〜７０の温度
を検出する温度センサ６０Ｔ、６２Ｔ、６４Ｔ、６６
Ｔ、６８Ｔ、７０Ｔが設置されている。この温度センサ
６０Ｔ〜７０Ｔで検出された各軸支持装置６０〜７０の
温度は、前記制御装置８６に入力される。前記制御装置
８６は、入力された各軸支持装置６０〜７０の温度に基
づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一な温度になるよ
うに、前記各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を演算
し、各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃを制御する。
Ｃ〜８２Ｃの制御を次のように行う。すなわち、各軸支
持装置６０〜７０には、各軸支持装置６０〜７０の温度
を検出する温度センサ６０Ｔ、６２Ｔ、６４Ｔ、６６
Ｔ、６８Ｔ、７０Ｔが設置されている。この温度センサ
６０Ｔ〜７０Ｔで検出された各軸支持装置６０〜７０の
温度は、前記制御装置８６に入力される。前記制御装置
８６は、入力された各軸支持装置６０〜７０の温度に基
づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一な温度になるよ
うに、前記各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を演算
し、各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃを制御する。
【００１９】前記の如く構成される本発明に係るワイヤ
ソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第１実施例の作用
は次の通りである。冷却水循環装置８４からは、温度調
整装置で一定温度に維持された冷却水が供給配管７２Ａ
〜８２Ａを通って各軸支持装置６０〜７０に供給され
る。各軸支持装置６０〜７０に供給された冷却水は、そ
の軸支持装置６０〜７０に形成されている流路を流れ
て、軸支持装置６０〜７０で発生する熱を吸熱し、排出
配管７２Ｂ〜８２Ｂを通って再び冷却水循環装置８４に
戻される。この冷却水循環装置８４に戻された冷却水
は、温度調整装置で冷却されて所定の温度に維持され、
再び供給配管７２Ａ〜８２Ａに供給される。
ソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第１実施例の作用
は次の通りである。冷却水循環装置８４からは、温度調
整装置で一定温度に維持された冷却水が供給配管７２Ａ
〜８２Ａを通って各軸支持装置６０〜７０に供給され
る。各軸支持装置６０〜７０に供給された冷却水は、そ
の軸支持装置６０〜７０に形成されている流路を流れ
て、軸支持装置６０〜７０で発生する熱を吸熱し、排出
配管７２Ｂ〜８２Ｂを通って再び冷却水循環装置８４に
戻される。この冷却水循環装置８４に戻された冷却水
は、温度調整装置で冷却されて所定の温度に維持され、
再び供給配管７２Ａ〜８２Ａに供給される。
【００２０】一方、温度センサ６０Ｔ〜７０Ｔは、各軸
支持装置６０〜７０の温度を検出し、その検出値を制御
装置８６に出力する。制御装置８６は、温度センサ６０
Ｔ〜７０Ｔで検出される各軸支持装置６０〜７０の温度
に基づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一な温度にな
るように、前記各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を演
算し、それに基づき各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃを制御
する。これにより、各軸支持装置６０〜７０に供給され
る冷却水の供給量は各軸支持装置６０〜７０で異なるよ
うになる。そして、平均よりも高温の軸支持装置には、
より多くの冷却水が供給され、平均よりも低温の軸支持
装置には、より少ない量の冷却水が供給され、全体とし
て各軸支持装置６０〜７０の温度が均一になる。
支持装置６０〜７０の温度を検出し、その検出値を制御
装置８６に出力する。制御装置８６は、温度センサ６０
Ｔ〜７０Ｔで検出される各軸支持装置６０〜７０の温度
に基づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一な温度にな
るように、前記各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を演
算し、それに基づき各流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃを制御
する。これにより、各軸支持装置６０〜７０に供給され
る冷却水の供給量は各軸支持装置６０〜７０で異なるよ
うになる。そして、平均よりも高温の軸支持装置には、
より多くの冷却水が供給され、平均よりも低温の軸支持
装置には、より少ない量の冷却水が供給され、全体とし
て各軸支持装置６０〜７０の温度が均一になる。
【００２１】このように、第１実施例のワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、各軸支持装置６０
〜７０に供給する一定温度の冷却水の供給量を個別に制
御することにより、各軸支持装置６０〜７０を均一に冷
却することができる。これにより、溝付ローラ２１、２
２、２３だけではなく溝付ローラ２１、２２、２３を両
側から支持する装置構造体に対しても熱バランスの崩れ
による歪み等が発生せず、良好な切断を行うことができ
るようになる。
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、各軸支持装置６０
〜７０に供給する一定温度の冷却水の供給量を個別に制
御することにより、各軸支持装置６０〜７０を均一に冷
却することができる。これにより、溝付ローラ２１、２
２、２３だけではなく溝付ローラ２１、２２、２３を両
側から支持する装置構造体に対しても熱バランスの崩れ
による歪み等が発生せず、良好な切断を行うことができ
るようになる。
【００２２】図２及び図４には、本発明に係るワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第２実施例の説明図
が示されている。なお、前記第１実施例と同一部材、同
一装置には、同一符号を付してその説明は省略する。前
記第１実施例では、各軸支持装置６０〜７０に供給する
一定温度の冷却水の供給量を各軸支持装置６０〜７０ご
とに個別に調整していた。第２実施例では、各軸支持装
置６０〜７０に供給する一定流量の冷却水の温度を各軸
支持装置６０〜７０ごと個別に調整する。このため、図
４に示されるように、前記第１実施例で流量調整弁７２
Ｃ〜８２Ｃが設置されていた位置、すなわち、各供給配
管７２Ａ〜８２Ａに温度調整手段７２Ｄ、７４Ｄ、７６
Ｄ、７８Ｄ、８０Ｄ、８２Ｄが設置される。
ーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第２実施例の説明図
が示されている。なお、前記第１実施例と同一部材、同
一装置には、同一符号を付してその説明は省略する。前
記第１実施例では、各軸支持装置６０〜７０に供給する
一定温度の冷却水の供給量を各軸支持装置６０〜７０ご
とに個別に調整していた。第２実施例では、各軸支持装
置６０〜７０に供給する一定流量の冷却水の温度を各軸
支持装置６０〜７０ごと個別に調整する。このため、図
４に示されるように、前記第１実施例で流量調整弁７２
Ｃ〜８２Ｃが設置されていた位置、すなわち、各供給配
管７２Ａ〜８２Ａに温度調整手段７２Ｄ、７４Ｄ、７６
Ｄ、７８Ｄ、８０Ｄ、８２Ｄが設置される。
【００２３】前記温度調整手段７２Ｄで代表して更に詳
しく説明すると、図５に示すように、供給配管７２Ａの
途中に設置されたヒータ７２Ｅと、供給配管７２Ａのヒ
ータ７２Ｅ下流側に設置され、ヒータ７２Ｅで加熱され
た冷却水の温度を検出する温度検出器７２Ｆと、ヒータ
７２Ｅを制御するヒータ制御装置７２Ｇから構成され
る。前記ヒータ制御装置７２Ｇは、制御装置８６から出
力される冷却水温度の目標信号に基づき、温度検出器７
２Ｆで検出された冷却水の温度をフィードバックしなが
ら、冷却水の温度が目標値になるようにヒータ７２Ｅの
加熱量を制御する。なお、図示しないが他の供給配管７
４Ａ〜８２Ａに設置される温度調整手段７４Ｄ〜８２Ｄ
も同様に構成される。
しく説明すると、図５に示すように、供給配管７２Ａの
途中に設置されたヒータ７２Ｅと、供給配管７２Ａのヒ
ータ７２Ｅ下流側に設置され、ヒータ７２Ｅで加熱され
た冷却水の温度を検出する温度検出器７２Ｆと、ヒータ
７２Ｅを制御するヒータ制御装置７２Ｇから構成され
る。前記ヒータ制御装置７２Ｇは、制御装置８６から出
力される冷却水温度の目標信号に基づき、温度検出器７
２Ｆで検出された冷却水の温度をフィードバックしなが
ら、冷却水の温度が目標値になるようにヒータ７２Ｅの
加熱量を制御する。なお、図示しないが他の供給配管７
４Ａ〜８２Ａに設置される温度調整手段７４Ｄ〜８２Ｄ
も同様に構成される。
【００２４】前記制御装置８６は、温度センサ６０Ｔ〜
７０Ｔで検出された各軸支持装置６０〜７０の温度に基
づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一の温度になるよ
うに、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度
の演算を行い、その演算結果をヒータ制御装置７２Ｇ〜
８２Ｇに出力する。前記の如く構成される本発明に係る
ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第２実施例
の作用は次の通りである。
７０Ｔで検出された各軸支持装置６０〜７０の温度に基
づいて、各軸支持装置６０〜７０が均一の温度になるよ
うに、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度
の演算を行い、その演算結果をヒータ制御装置７２Ｇ〜
８２Ｇに出力する。前記の如く構成される本発明に係る
ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置の第２実施例
の作用は次の通りである。
【００２５】冷却水は、前記第１実施例と同様に各軸支
持装置６０〜７０を冷却水供給装置８４の間で循環され
る。一方、温度センサ６０Ｔ〜７０Ｔは、各軸支持装置
６０〜７０の温度を検出し、その検出値を制御装置８６
に出力する。制御装置８６は、温度センサ６０Ｔ〜７０
Ｔで検出される各軸支持装置６０〜７０の温度に基づい
て、各軸支持装置６０〜７０が均一に冷却されるよう
に、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度の
演算を行い、その演算結果を各ヒータ制御装置７２Ｇ〜
８２Ｇに出力する。各ヒータ制御装置７２Ｇ〜８２Ｇ
は、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度
が、前記制御装置８６で演算された温度になるように、
温度検出器７２Ｆ〜８２Ｆで検出される冷却水の温度を
フィードバックしながら、ヒータ７２Ｅ〜８２Ｅの加熱
量を制御する。これにより、各軸支持装置６０〜７０に
供給される冷却水の温度は各軸支持装置６０〜７０で異
なるようになる。そして、低温の軸支持装置には、温度
調整手段で加熱されたが冷却水が供給され、全体として
各軸支持装置６０〜７０の温度が均一になる。
持装置６０〜７０を冷却水供給装置８４の間で循環され
る。一方、温度センサ６０Ｔ〜７０Ｔは、各軸支持装置
６０〜７０の温度を検出し、その検出値を制御装置８６
に出力する。制御装置８６は、温度センサ６０Ｔ〜７０
Ｔで検出される各軸支持装置６０〜７０の温度に基づい
て、各軸支持装置６０〜７０が均一に冷却されるよう
に、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度の
演算を行い、その演算結果を各ヒータ制御装置７２Ｇ〜
８２Ｇに出力する。各ヒータ制御装置７２Ｇ〜８２Ｇ
は、各軸支持装置６０〜７０に供給する冷却水の温度
が、前記制御装置８６で演算された温度になるように、
温度検出器７２Ｆ〜８２Ｆで検出される冷却水の温度を
フィードバックしながら、ヒータ７２Ｅ〜８２Ｅの加熱
量を制御する。これにより、各軸支持装置６０〜７０に
供給される冷却水の温度は各軸支持装置６０〜７０で異
なるようになる。そして、低温の軸支持装置には、温度
調整手段で加熱されたが冷却水が供給され、全体として
各軸支持装置６０〜７０の温度が均一になる。
【００２６】このように、第２実施例のワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、各軸支持装置６０
〜７０に供給する冷却水の温度を個別に制御するように
したので、第１実施例と同様の効果を得ることができ
る。図２及び図６には、本発明に係るワイヤソーの溝付
ローラ軸支持部冷却装置の第３実施例の説明図が示され
ている。なお、前記第１実施例と同一部材、同一装置に
は、同一符号を付してその説明は省略する。
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、各軸支持装置６０
〜７０に供給する冷却水の温度を個別に制御するように
したので、第１実施例と同様の効果を得ることができ
る。図２及び図６には、本発明に係るワイヤソーの溝付
ローラ軸支持部冷却装置の第３実施例の説明図が示され
ている。なお、前記第１実施例と同一部材、同一装置に
は、同一符号を付してその説明は省略する。
【００２７】第３実施例では、前記第１実施例における
流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度の調整を手動により調
整する。このため、第３実施例の冷却装置には、第１実
施例における制御装置８６及び温度センサ６０Ｔ〜７０
Ｔが設けられていない。前記流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃ
の開度の調整方法は、一定流量、一定温度の冷却水を各
軸支持装置６０〜７０に供給し、この状態で何回かの試
し切断を行う。そして、この試し切断の結果から各流量
調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を求める。
流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度の調整を手動により調
整する。このため、第３実施例の冷却装置には、第１実
施例における制御装置８６及び温度センサ６０Ｔ〜７０
Ｔが設けられていない。前記流量調整弁７２Ｃ〜８２Ｃ
の開度の調整方法は、一定流量、一定温度の冷却水を各
軸支持装置６０〜７０に供給し、この状態で何回かの試
し切断を行う。そして、この試し切断の結果から各流量
調整弁７２Ｃ〜８２Ｃの開度を求める。
【００２８】このように、第３実施例のワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、作業者が各軸支持
装置６０〜７０に供給する冷却水の温度を個別に調整す
ることにより、第１実施例と同様の効果を得ることがで
きる。なお、前記第１実施例乃至第３実施例では、３本
の溝付ローラ２１、２２、２３の全ての軸支持装置６０
〜７０を冷却するようにしているが、少なくとも切断を
行うワイヤ列を形成する溝付ローラの軸支持装置、すな
わち図２において、溝付ローラ２２、２３の軸支持装置
６４、６６、６８、７０のみを冷却するようにしてもよ
い。
付ローラ軸支持部冷却装置によれば、作業者が各軸支持
装置６０〜７０に供給する冷却水の温度を個別に調整す
ることにより、第１実施例と同様の効果を得ることがで
きる。なお、前記第１実施例乃至第３実施例では、３本
の溝付ローラ２１、２２、２３の全ての軸支持装置６０
〜７０を冷却するようにしているが、少なくとも切断を
行うワイヤ列を形成する溝付ローラの軸支持装置、すな
わち図２において、溝付ローラ２２、２３の軸支持装置
６４、６６、６８、７０のみを冷却するようにしてもよ
い。
【００２９】また、前記第１実施例及び第２実施例で
は、各軸支持装置６０〜７０の温度を検出する温度セン
サ６０Ｔ〜７０Ｔの検出位置を特に指定していないが、
冷却水による吸熱効果が最も小さくなる流路出口近傍の
温度を検出するようにすることにより、更に正確な駆動
制御を行うことができる。
は、各軸支持装置６０〜７０の温度を検出する温度セン
サ６０Ｔ〜７０Ｔの検出位置を特に指定していないが、
冷却水による吸熱効果が最も小さくなる流路出口近傍の
温度を検出するようにすることにより、更に正確な駆動
制御を行うことができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数個の溝付ローラの各軸支持部に供給する冷却水の供
給量又は温度を各軸支持部で個別に調整することによ
り、各軸支持部の温度を均一にすることがでる。これに
より、溝付ローラの両側での熱バランスを崩すことな
く、良好な切断を行うことができる。
複数個の溝付ローラの各軸支持部に供給する冷却水の供
給量又は温度を各軸支持部で個別に調整することによ
り、各軸支持部の温度を均一にすることがでる。これに
より、溝付ローラの両側での熱バランスを崩すことな
く、良好な切断を行うことができる。
【図１】ワイヤソーの全体構成図
【図２】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラ軸支持部
冷却装置の第１実施例乃至第３実施例の説明図
冷却装置の第１実施例乃至第３実施例の説明図
【図３】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラ軸支持部
冷却装置の第１実施例の説明図
冷却装置の第１実施例の説明図
【図４】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラ軸支持部
冷却装置の第１実施例の説明図
冷却装置の第１実施例の説明図
【図５】第２実施例の温度調整手段の説明図
【図６】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラ軸支持部
冷却装置の第１実施例の説明図
冷却装置の第１実施例の説明図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２１、２２、２３…溝付ローラ ６０〜７０…軸支持装置 ６０Ｔ〜７０Ｔ…温度センサ ７２Ａ〜８２Ａ…供給配管 ７２Ｂ〜８２Ｂ…排出配管 ７２Ｃ〜８２Ｃ…流量調整弁 ７２Ｄ〜８２Ｄ…温度調整手段 ７２Ｅ〜８２Ｅ…ヒータ ７２Ｆ〜８２Ｆ…温度検出器 ７２Ｇ〜８２Ｇ…ヒータ制御装置 ８４…冷却水循環装置 ８６…制御装置
Claims (5)
- 【請求項１】 ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して
他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に
砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
であって、前記溝付ローラの両端部を回動自在に支持す
る軸支持部の冷却水流路に冷却水を供給して前記軸支持
部を冷却するワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置
において、 前記複数個の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列
に押し当てられた前記被加工物の両側に位置する溝付ロ
ーラを軸支する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を
個別に供給する冷却水供給路と、 前記複数の冷却水供給路を流れる冷却水の流量を個別に
調整する流量調整手段と、 前記冷却水の温度を一定温度に維持する温度一定調整手
段と、 前記各軸支持部の温度を個別に検出する複数の温度セン
サと、 前記各温度センサの検出温度に基づいて前記各軸支持部
の温度が均一になるように前記流量調整手段を制御する
制御手段と、から成ることを特徴とするワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置。 - 【請求項２】 ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して
他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に
砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
であって、前記溝付ローラの両端部を回動自在に支持す
る軸支持部の冷却水流路に冷却水を供給して前記軸支持
部を冷却するワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置
において、 前記複数個の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列
に押し当てられた前記被加工物の両側に位置する溝付ロ
ーラを軸支する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を
個別に供給する冷却水供給路と、 前記複数の冷却水供給路を流れる冷却水の温度を個別に
調整する温度個別調整手段と、 前記各軸支持部の温度を個別に検出する複数の温度セン
サと、 前記各温度センサの検出温度に基づいて前記各軸支持部
の温度が均一になるように前記流量調整手段を制御する
制御手段と、から成ることを特徴とするワイヤソーの溝
付ローラ軸支持部冷却装置。 - 【請求項３】 ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して
他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に
砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
であって、前記溝付ローラの両端部を回動自在に支持す
る軸支持部の冷却水流路に冷却水を供給して前記軸支持
部を冷却するワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置
において、 前記複数個の溝付ローラのうち少なくとも前記ワイヤ列
に押し当てられた前記被加工物の両側に位置する溝付ロ
ーラを軸支する各軸支持部の冷却水流路に前記冷却水を
個別に供給する冷却水供給路と、 前記複数の冷却水供給路を流れる冷却水の流量を個別に
調整する流量調整手段と、 前記冷却水の温度を一定温度に維持する温度一定調整手
段と、から成ることを特徴とするワイヤソーの溝付ロー
ラ軸支持部冷却装置。 - 【請求項４】 前記温度センサは、前記軸支持部の冷却
水流路出口近傍の温度を検出することを特徴とする請求
項１又は２記載のワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却
装置。 - 【請求項５】 前記温度個別調整手段は、 前記冷却水供給流路に設けられ、前記冷却水流路に供給
される冷却水を加熱する加熱手段と、 前記加熱手段と前記冷却水流路の間に設けられ、前記加
熱手段で加熱された冷却水の温度を検出する温度検出手
段と、 前記温度検出手段で検出された冷却水の温度に基づい
て、前記加熱手段の加熱量を制御する加熱手段制御装置
と、から成ることを特徴とする請求項２又は４記載のワ
イヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9696095A JPH08290421A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9696095A JPH08290421A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290421A true JPH08290421A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14178829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9696095A Pending JPH08290421A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | ワイヤソーの溝付ローラ軸支持部冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08290421A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101581373B1 (ko) * | 2014-07-21 | 2015-12-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단용 와이어 가이드 시스템 및 이를 포함하는 와이어 쏘 장치 |
| CN111168868A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-19 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 线切割装置及工件切割方法 |
| CN115070968A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-20 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
| CN115107177A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP9696095A patent/JPH08290421A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101581373B1 (ko) * | 2014-07-21 | 2015-12-30 | 주식회사 엘지실트론 | 잉곳 절단용 와이어 가이드 시스템 및 이를 포함하는 와이어 쏘 장치 |
| CN111168868A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-19 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 线切割装置及工件切割方法 |
| CN111168868B (zh) * | 2020-01-17 | 2022-01-04 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 线切割装置及工件切割方法 |
| CN115070968A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-20 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
| CN115107177A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
| CN115070968B (zh) * | 2022-05-31 | 2023-10-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
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