JPH08290422A - ワイヤソーの溝付ローラ軸支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】軸受部での発熱を溝付ローラに伝えることな
く、良好な切断を行うことができるワイヤソーの溝付ロ
ーラ軸支持装置を提供する。 【構成】溝付ローラの両端部を挟持し、溝付ローラを回
動自在に支持する回転軸９２の内部に軸線に沿った供給
流路１２２を形成すると共に、その供給流路１２２を中
心とした同心円上に吸熱流路１２４、１２４、…を形成
する。供給流路１２２と吸熱流路１２４、１２４、…と
は先端部で横穴１２６、１２６、…で連通している。ま
た、回転軸９２の基端部には、回動自在な継ぎ手１３０
が連結されている。この継ぎ手１３０は、冷却水の供給
口１３０Ａと排出口１３０Ｂが形成されており、冷却水
の供給、排出が可能になっている。冷却水は、前記供給
口１３０Ａから供給され、供給流路１２２、横穴１２
６、１２６、吸熱流路１２４、１２４、…を介して排出
口１３０Ｂから排出される。そして、前記吸熱流露１２
４を流れる際に、回転軸９２に伝わる熱を吸熱する。こ
れにより、軸支持装置で発生する熱は溝付ローラに伝達
されず、良好な切断を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】本発明はワイヤソーの溝付ローラ軸
支持装置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラ
ミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤーで多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーの溝付ローラ
軸支持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出したワイヤを複数個の溝付ローラ
に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに
巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を
供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒の
ラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状のウ
ェーハに切断するものである。

【０００３】前記ワイヤソーにおいて、溝付ローラの両
端部は軸支持装置に回動自在に支持されており、この軸
支持装置の発熱を抑えることは被加工物の切断精度を向
上する上でも重要である。そこで、発熱を抑えることが
できる溝付ローラの軸支持装置として、特開平５−１５
４８３１号公報に開示されたものがある。この軸支持装
置は、回転軸を回動自在に支持する軸受が内筒に挿入固
定され、その内筒が外筒に挿入固定されている。前記内
筒の外周面には螺旋状の溝が形成されており、この溝に
冷却媒体を流すことにより、軸支持装置の発熱を吸収す
るようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、溝付ロ
ーラへの熱の伝達経路を考えた場合、軸受部で発生する
熱は回転軸を伝わって溝付ローラに伝達されるので、前
記軸支持装置のように、軸受部の外側を冷却しただけで
は回転軸に伝達される熱量は軽減されるが、完全に絶つ
ことはできず、発熱量によっては切断不良を生じるとい
う問題がある。

【０００５】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、軸受部での発熱を溝付ローラに伝えることな
く、良好な切断を行うことができるワイヤソーの溝付ロ
ーラ軸支持装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、溝付ローラの両端部を一対の回転軸で回動自在
に支持するワイヤソーの溝付ローラ軸支持装置におい
て、前記回転軸の端部に外部と連通する入口と出口を形
成するとともに、前記回転軸の内部に一方端が前記入口
に連通し他方端が前記出口に連通する冷却媒体の流路を
形成し、前記回転軸の端部に、前記冷却媒体の供給口と
排出口を有するとともに、前記回転軸の回転と分離され
た接続手段を設け、回転する前記回転軸の流路に前記接
続手段を介して前記冷却媒体を給排出することを特徴と
する。

【０００７】

【作用】本発明によれば、冷却媒体は、回転軸に形成さ
れた入口路から供給されて、その回転軸の内部に形成さ
れた流路を通って出口路から排出される。前記回転軸を
支持する軸受部で発生する熱は、回転軸に伝達される
が、この回転軸に伝達される熱は、回転軸の内部に形成
された流路を流れる冷却媒体に吸収されるため、溝付ロ
ーラまでは伝達されることがない。したがって、溝付ロ
ーラは軸支持装置の軸受部での発熱の影響を受けること
なく良好な切断を行うことができる。

【０００８】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤソ
ーの溝付ローラ軸支持装置の好ましい実施例について詳
説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図が示さ
れている。一方のワイヤリール１２に巻回されたワイヤ
１４は、ワイヤ案内装置１６、複数の固定ガイドローラ
１８、１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付ロ
ーラ２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤ列２
４を形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、
ダンサローラ２０、ワイヤ案内装置１６を経て他方のワ
イヤリール２６に巻き取られる。

【０００９】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。

【００１０】前記ワイヤリール１２、２６には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。

【００１１】前記ワイヤ列２４には、加工液貯留タンク
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。

【００１２】図２には、本発明に係るワイヤソーの溝付
ローラ軸支持装置の第１実施例の側面断面図が示されて
いる。同図に示されるように、前記溝付ローラ２２は、
その両端部が溝付ローラ軸支持装置６０、９０により回
動自在に支持されている。前記溝付ローラ２２の一方側
を支持する軸支持装置６０は、回転軸６２、その回転軸
６２を回動自在に支持する軸受部６４及び連結ボルト６
６を主要構成部材として構成される。

【００１３】前記軸受部６４は、円筒状に形成されたケ
ーシング７０の両端部に軸受７２、７２が挿入固定され
た構成になっており、前記回転軸６２はこの軸受７２、
７２に挿入されて、その両端部近傍を回動自在に支持さ
れる。また、前記ケーシング７０は、図示しないワイヤ
ソーの本体フレームにブラケット６８を介して固定され
ており、これにより、軸支持装置６０がワイヤソーの本
体フレームに固定される。

【００１４】前記回転軸６２は円筒状に形成され、その
先端部に円錐台形の凸部６２Ａが形成されている。前記
連結ボルト６６はこの回転軸６２に挿入され、その先端
部に形成さたネジ部６６Ａを後述する他方側の軸支持装
置９０の回転軸９２の先端部に形成されたネジ穴９２Ｂ
に螺合する。これにより、溝付ローラ２２を挟んで一方
側の回転軸６２と他方側の回転軸９２を連結する。この
連結ボルト６６が挿入された回転軸６２の内周面と連結
ボルト６６の外周面との間には、所定間隔の隙間７４が
形成されており、この隙間７４が冷却水の吸熱流路とな
る。また、前記回転軸６２の先端部近傍にはシール部材
７６が設けられており、このシール部材７６で前記隙間
７４の先端部を遮蔽することにより、隙間７４を流れる
冷却水が先端部より漏れるのを防止している。

【００１５】前記連結ボルト６６には、そのヘッド部６
６Ｂ側から軸線に沿って断面円形な管状の穴７８が穿設
されている。この穴７８の両端部近傍の周面には、それ
ぞれ連結ボルト６６の外周面に連通する横穴７８Ａ、７
８Ａ、…、７８Ｂ、７８Ｂ、…が多数放射状に穿設され
ている。また、連結ボルト６６に穿設された穴７８に
は、冷却水供給パイプ８０が挿入されるとともに、冷却
水供給パイプ８０と穴７８の間の隙間で前記横穴７８Ａ
と横穴７８Ｂとの間には、断熱効果を有する樹脂等の耐
水性断熱材層８２が介在される。これにより、連結ボル
ト６６のヘッド部６６側の冷却水供給パイプ８０入口
（図示せず）から供給された冷却水は、横穴７８Ａを通
って隙間７４に流れ、横穴７８Ｂを通って穴７８と冷却
水供給パイプ８０の間の間隙である出口８１に流れる。
いわゆる復路パイプ構造を形成する。また、前記連結ボ
ルト６６のヘッド部６６Ｂには、冷却水の供給口８４Ａ
と排出口８４Ｂを有する継ぎ手８４が回動自在に連結さ
れるとともに、連結部分における連結ボルト６６のヘッ
ド部６６Ｂと継ぎ手８４は、冷却水供給パイプ８０入口
と供給口８４及び出口８１と排出口８４Ｂとが回転軸６
２の回転に影響しない形で連通する構造を有している。
これにより、回転する回転軸６２内に冷却水を給排出す
ることができる。

【００１６】一方、前記溝付ローラ２２の他方側を支持
する軸支持装置９０は、回転軸９２、その回転軸９２を
回動自在に支持する軸受部９４を主要構成部材として構
成される。前記軸受部９４は、円筒状に形成されたケー
シング９６の両端部に軸受９８、９８が挿入固定された
構成になっており、前記回転軸９２はこの軸受９８、９
８に挿入されて、その両端部近傍を回動自在に支持され
る。また、前記ケーシング９６は、図示しないワイヤソ
ーの本体フレームにブラケット１００を介して固定され
ており、これにより、軸支持装置９０がワイヤソーの本
体フレームに固定される。

【００１７】前記回転軸９２は円柱状に形成され、その
先端部に円錐台形の凸部９２Ａが形成されている。この
回転軸９２の基端部にはプーリ１０２が固着されてお
り、図示しない駆動モータからの回転力は、前記プーリ
１０２に巻きかけられたベルト１０３を介して回転軸９
２に伝達される。また、前記円錐台形の凸部９２Ａに
は、回転軸９２の軸線に沿ってネジ穴９２Ｂが形成され
ており、このネジ穴９２Ｂに前記一方側の回転軸６２に
挿入された連結ボルト６６のネジ部６６Ａを螺合するこ
とにより、回転軸９２と一方側の回転軸６２とが連結さ
れる。

【００１８】また、前記回転軸９２には、基端部側から
軸線に沿って断面円形状の穴１０４が穿設され、この穴
１０４には冷却水供給パイプ１０６が挿入されている。
この冷却水供給パイプ１０６は樹脂等の断熱材で円筒状
に形成され、先端部分が遮蔽されるとともに、その先端
部近傍の周面に内部の供給流路１０６Ａに連通する横穴
１０６Ｂ、１０６Ｂ、…が多数放射状に穿設されてい
る。この冷却水供給パイプ１０６が挿入された穴１０４
の周面と冷却水供給パイプ１０６の外周面との間には、
所定間隔の隙間１０８が形成されており、この隙間１０
８が冷却水の吸熱流路となる。また、前記冷却水供給パ
イプ１０６の先端部には、前記穴１０４の径と一致する
拡径部１０６Ｃが形成されており、この拡径部１０６Ｃ
により前記穴１０４と冷却水供給パイプ１０６との間に
所定間隔の隙間１０８が形成される。そして、前記回転
軸９２の基端部には、軸支持装置６０の場合と同様に、
冷却水の供給口１１０Ａと排出口１１０Ｂを有する継ぎ
手１１０が回動自在に連結される。

【００１９】また、前記溝付ローラ２２は、外周面にリ
ング状の溝が一定ピッチで多数形成されたスリーブ２２
Ａに中空軸２２Ｂが圧入された構成になっている。この
溝付ローラ２２の中空軸２２Ｂの両端部には、円錐台形
の凹部２２Ｃ、２２Ｃが形成されており、この凹部２２
Ｃ、２２Ｃに前記軸支持装置６０、９０の各々の回転軸
６２、９２の先端部に形成されている凸部６２Ａ、９２
Ａが嵌入される。

【００２０】前記溝付ローラ２２を軸支持装置６０、９
０で支持する場合は、まず、溝付ローラ２２の両端部に
形成された凹部２２Ｃ、２２Ｃに、各々の軸支持装置６
０、９０の回転軸６２、９２の先端部に形成された凸部
６２Ａ、９２Ａを嵌入する。これにより、溝付ローラ２
２とそのその両端部を支持する軸支持装置６０、９０の
回転軸６２、９２との芯出しが行われる。次に、一方側
の回転軸６２Ａに連結ボルト６６を挿入し、溝付ローラ
２２の中空軸２２Ｂに連通させるとともに、その先端部
に形成されたネジ部６６Ａを他方側の回転軸９２Ａの先
端部に形成されたネジ穴９２Ｂに螺合させ、前記溝付ロ
ーラ２２を両側から軸支持装置６０、９０で締めつけ
る。これにより、溝付ローラ２２は軸支持装置６０、９
０に回動自在に支持される。

【００２１】前記のごとく構成される本発明に係る溝付
ローラの軸支持装置の第１実施例の作用は次の通りであ
る。まず、一方側の軸支持装置６０について説明する。
冷却水は、図示しない冷却水供給装置から供給され、継
ぎ手８４の供給口８４Ａに供給される。供給口８４に供
給された冷却水は、冷却水供給パイプ８０内を通り、連
結ボルト６６に形成された穴７８を経て、その横穴７８
Ａ、７８Ａ、…から連結ボルト６６と回転軸６２との間
の隙間７４に流れ出す。この隙間７４を流れる冷却水
は、回転軸６２に伝達された熱を吸熱しながら流れ、横
穴７８Ｂ、７８Ｂ、…から出口８１に戻る。出口８１に
戻された冷却水は、継ぎ手８４を通り、排出口８４Ｂか
ら再び冷却水供給装置に戻される。前記冷却水供給装置
は、戻された冷却水を所定温度に冷却し、再び継ぎ手８
４の供給口８４に供給する。すなわち、冷却水は循環供
給される。

【００２２】次に、他方側の軸支持装置９０について説
明する。前記軸支持装置６０と同様に、冷却水は、冷却
水供給装置から供給され、継ぎ手１１０の供給口１１０
Ａに流し入れられる。この供給口１１０Ａから流し入れ
られた冷却水は、冷却水供給パイプ１０６内に形成され
た供給流路１０６Ａを経て、横穴１０６Ｂから冷却水供
給パイプ１０６と回転軸９２との間の隙間１０８に流れ
出す。この隙間１０８を流れる冷却水は、回転軸９２に
伝達された熱を吸熱しながら流れ、継ぎ手１１０を通
り、排出口１１０Ｂから再び図示しない冷却水供給装置
に戻される。前記同様冷却水供給装置は、戻された冷却
水を所定温度に冷却し、再び継ぎ手１１０の供給口１１
０Ａに供給する。すなわち、他方側の軸支持装置９０で
も冷却水は循環供給される。

【００２３】このように、第１実施例の溝付ローラの軸
支持装置によれば、溝付ローラ２２の両端部を回動自在
に支持する回転軸６２、９２を効率よく冷却することに
より、溝付ローラ２２への熱の伝達を遮断することがで
きる。これにより、溝付ローラ２２は、熱変形を起こす
ことがなくなり切断精度が向上する。また、一方側の軸
支持装置６０の冷却水供給パイプ８０と穴７４の間に断
熱材層８２を介在させた。これにより、軸受部６４で発
生する熱がパイプ内を流れる冷却水に伝わりにくくする
ことができるので、吸熱流路である隙間７４で効率よく
熱を吸熱することがでる。

【００２４】一方、他方側の軸支持装置９０の冷却水供
給パイプ１０６は、樹脂等の断熱材で成形されているた
め、前記同様に、パイプ内を流れる冷却水に熱が伝わり
にくく、吸熱流路である隙間１０８に効率よく冷却水を
供給することができる。なお、第１実施例の軸支持装置
では、溝付ローラ２２に回転駆動力を伝達するタイプの
軸支持装置で説明したが、溝付ローラ２２に回転駆動力
を伝達せず、回動自在に支持するだけの軸支持装置にも
本発明は適用することができる。この場合、前記他方側
の軸支持装置９０の回転軸９２には、プーリ１７が設け
られていない。

【００２５】図３には、本発明に係る溝付ローラの軸支
持装置の第２実施例の側面断面図が示されている。な
お、前記第１実施例の溝付ローラの軸支持装置と同一部
材、同一装置は、同一符号を付してその説明は省略す
る。第２実施例の軸支持装置では、前記第１実施例にお
ける他方側の軸支持装置９０の回転軸９２が次のように
構成されている。

【００２６】前記回転軸９２は円柱状に形成され、先端
部に拡径部９２Ｂが形成されるとともに、その拡径部９
２Ｂの先端に円錐台形の凸部９２Ａが形成されている。
この回転軸９２には、基端部側から軸線に沿って穴１１
２が穿設され、その周面には螺旋状の溝１１４が形成さ
れている。前記穴１１２には冷却水供給パイプ１１６が
挿入されている。この冷却水供給パイプ１１６は樹脂等
の断熱材で円筒状に形成され、先端部分が遮蔽されると
ともに、その先端部近傍の周面に内部の供給流路１１６
Ａに連通する横穴１１６Ｂ、１１６Ｂ、…が多数放射状
に穿設されている。また、基端部近傍の周面には、基端
面に連通する穴１１６Ｃ、１１６Ｃ、…が多数放射状に
穿設されている。

【００２７】また、前記回転軸９２の基端部には、第１
実施例と同様に冷却水の供給口１１８Ａと排出口１１８
Ｂを有する継ぎ手１１８が回動自在に連結される。供給
口１１８Ａから流し入れられた冷却水は、冷却水供給パ
イプ１１６内に形成された供給流路１１６Ａを経て、横
穴１０６Ｂから回転軸９２の穴１１２の周面に形成され
た螺旋状の溝１１４に流れ出す。この螺旋状の溝１１４
を流れる冷却水は、回転軸９２に伝達された熱を吸熱し
ながら流れ、穴１１６Ｃ、１１６Ｃ、…から穴１１２内
に戻る。穴１１２内に戻された冷却水は、継ぎ手１１８
を通り、排出口１１８Ｂから再び図示しない冷却水供給
装置に戻される。

【００２８】このように、第２実施例の溝付ローラの軸
支持装置では、吸熱流路を螺旋状の溝１１４とすること
により、吸熱面積を大きくでき、更に吸熱効果を高める
ことができる。図４には、本発明に係る溝付ローラの軸
支持装置の第３実施例の側面断面図が示され、図５に
は、図４におけるＡ−Ａ断面図が示されている。なお、
前記第１実施例の溝付ローラの軸支持装置と同一部材、
同一装置は、同一符号を付してその説明は省略する。

【００２９】第３実施例の軸支持装置では、前記第１実
施例における他方側の軸支持装置９０の回転軸９２が次
のように構成されている。前記回転軸９２は円柱状に形
成され、先端部に拡径部９２Ｂが形成されるとともに、
その拡径部９２Ｂの先端に円錐台形の凸部９２Ａが形成
されている。この回転軸９２には、基端部側から軸線に
沿って供給流路１２２が穿設されるとともに、この供給
流路１２２を中心とした同心円上に所定間隔をもって複
数の吸熱流路１２４、１２４、…が形成されている。前
記供給流路１２２と前記吸熱流路１２４、１２４、…と
は、回転軸９２の拡径部９２Ｂの周面から軸芯に向かっ
て穿設された横穴１２６、１２６、…により連通されて
いる。この横穴１２６、１２６、…は、ネジ１２８、１
２８、…により栓がされている。

【００３０】前記回転軸９２の基端部には、第１実施例
と同様に、冷却水の供給口１３０Ａと排出口１３０Ｂを
有する継ぎ手１３０が回動自在に連結される。前記のご
とく構成される本発明に係る溝付ローラの軸支持装置の
第３実施例の作用は次の通りである。供給口１３０Ａか
ら流し入れられた冷却水は、供給パイプ１３２から供給
流路１１６Ａに流れ出る。供給流路１２２を流れる冷却
水は、横穴１２６、１２６を経て吸熱流路１２４、１２
４、…を流れ、その吸熱流路で回転軸９２に伝達された
熱を吸熱する。そして、吸熱した冷却水は継ぎ手１１８
を通り、排出口１１８Ｂから再び図示しない冷却水供給
装置に戻される。

【００３１】このように、第３実施例の溝付ローラの軸
支持装置では、吸熱流路１２４、１２４、…を軸線方向
に沿って多数設けることにより、吸熱面積を大きくで
き、更に吸熱効果を高めることができる。なお、吸熱流
路１２４、１２４、…は、図６に示すように、同軸上に
複数設けてもよい。これにより、更に吸熱効果を高める
ことができる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冷却媒体は、回転軸に形成された入口路から供給され
て、その回転軸の内部に形成された流路を通って出口路
から排出される。これにより、回転軸を支持する軸受部
で発生する熱は、回転軸に伝達されるが、この回転軸に
伝達される熱は、回転軸の内部に形成された流路を流れ
る冷却媒体に吸収されるため、溝付ローラまでは伝達さ
れることがない。したがって、溝付ローラは軸支持装置
の軸受部での発熱の影響を受けることなく良好な切断を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成図

【図２】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラの軸支持
装置の第１実施例の側面断面図

【図３】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラの軸支持
装置の第２実施例の側面断面図

【図４】本発明に係るワイヤソーの溝付ローラの軸支持
装置の第３実施例の側面断面図

【図５】図４のＡ─Ａ断面図

【図６】図４において吸熱流路を増やした場合の断面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ ２２…溝付ローラ ６０、９０…軸支持装置 ６２、９２…回転軸 ６４、９４…軸受部 ６６…連結ボルト ７４、１０８、１１４、１２４…隙間（吸熱流路） ８０、１０６、１１６…冷却水供給パイプ ８４、１１０、１１８、１３０…継ぎ手 ８４Ａ、１１０Ａ、１１８Ａ、１３０Ａ…供給口 ８４Ｂ、１１０Ｂ、１１８Ｂ、１３０Ｂ…排出口

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 溝付ローラの両端部を一対の回転軸で回
   動自在に支持するワイヤソーの溝付ローラ軸支持装置に
   おいて、 前記回転軸の端部に外部と連通する入口と出口を形成す
   るとともに、前記回転軸の内部に一方端が前記入口に連
   通し他方端が前記出口に連通する冷却媒体の流路を形成
   し、 前記回転軸の端部に、前記冷却媒体の供給口と排出口を
   有するとともに、前記回転軸の回転と分離された接続手
   段を設け、 回転する前記回転軸の流路に前記接続手段を介して前記
   冷却媒体を給排出することを特徴とするワイヤソーの溝
   付ローラ軸支持装置。
2. 【請求項２】 前記接続手段は、回動自在な継ぎ手であ
   ることを特徴とする請求項１記載のワイヤソーの溝付ロ
   ーラ軸支持装置。
3. 【請求項３】 前記流路は、前記回転軸の端部からその
   軸線に沿って形成され先端が閉成された内路と、前記端
   部から前記内路の外周に形成され先端が閉成された外路
   とを連通させて形成したことを特徴とする請求項１記載
   のワイヤソーの溝付ローラ軸支持装置。
4. 【請求項４】 前記内路と外路の間には断熱層が形成さ
   れることを特徴とする請求項３記載のワイヤソーの溝付
   ローラ軸支時装置。
5. 【請求項５】 前記内路は断熱性材料で形成されること
   を特徴とする請求項３記載のワイヤソーの溝付ローラ軸
   支持装置。
6. 【請求項６】 前記流路は、前記回転軸の軸線に沿って
   螺旋状に形成されることを特徴とする請求項１記載のワ
   イヤソーの溝付ローラ軸支持装置。