JPH08294659A - 粒状物散布装置 - Google Patents
粒状物散布装置Info
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- JPH08294659A JPH08294659A JP10233195A JP10233195A JPH08294659A JP H08294659 A JPH08294659 A JP H08294659A JP 10233195 A JP10233195 A JP 10233195A JP 10233195 A JP10233195 A JP 10233195A JP H08294659 A JPH08294659 A JP H08294659A
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- gas
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- spraying
- particulate matter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡略化した構成で粒状物の凝集を防止し、均
一に散布する。 【構成】 筺体31上部の散布ノズル37から、スペー
サと高圧気体とを混合したガスを第1筺体32内部に噴
出する。沈降するスペーサは、第1筺体32底部に設置
され接地された基板部材36表面に堆積する。散布ノズ
ル37の近傍には、気体噴出ノズル40が前記散布ノズ
ル37を中心として回動可能に配置され、前記散布ノズ
ル37に向かい、かつ散布ノズル37の先端よりも下方
に向けて高圧気体を噴出し、散布ノズル37から噴出す
るガスの流路を制御する。また散布ノズル37先端に
は、放電針が設けられ、ガス内のスペーサを帯電させ
る。また気体噴出ノズル40の回転速度や噴射タイミン
グ、噴出する高圧気体の流量、気体噴出ノズル40の取
付け角度などを変更することによって、散布ノズルから
噴出される前記ガスの流路を変更し、スペーサの散布領
域を移動させる。
一に散布する。 【構成】 筺体31上部の散布ノズル37から、スペー
サと高圧気体とを混合したガスを第1筺体32内部に噴
出する。沈降するスペーサは、第1筺体32底部に設置
され接地された基板部材36表面に堆積する。散布ノズ
ル37の近傍には、気体噴出ノズル40が前記散布ノズ
ル37を中心として回動可能に配置され、前記散布ノズ
ル37に向かい、かつ散布ノズル37の先端よりも下方
に向けて高圧気体を噴出し、散布ノズル37から噴出す
るガスの流路を制御する。また散布ノズル37先端に
は、放電針が設けられ、ガス内のスペーサを帯電させ
る。また気体噴出ノズル40の回転速度や噴射タイミン
グ、噴出する高圧気体の流量、気体噴出ノズル40の取
付け角度などを変更することによって、散布ノズルから
噴出される前記ガスの流路を変更し、スペーサの散布領
域を移動させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば液晶表示装置
の2枚の基板部材間隔を決定するスペーサを、基板部材
上に散布するのに好適に用いられる粒状物散布装置に関
する。
の2枚の基板部材間隔を決定するスペーサを、基板部材
上に散布するのに好適に用いられる粒状物散布装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、一方表面に電極などが
それぞれ形成された一対の基板部材を間隔を開けて貼合
わせたセルに、液晶材料を封入して形成される。前記間
隔のばらつきが大きく、表示画面に対応する領域内での
液晶層の厚みのばらつきが大きいと、たとえば表示むら
の原因となる。したがって、表示品位が良好な液晶表示
装置を形成するには、表示画面内の液晶層の厚みを均一
にする必要がある。
それぞれ形成された一対の基板部材を間隔を開けて貼合
わせたセルに、液晶材料を封入して形成される。前記間
隔のばらつきが大きく、表示画面に対応する領域内での
液晶層の厚みのばらつきが大きいと、たとえば表示むら
の原因となる。したがって、表示品位が良好な液晶表示
装置を形成するには、表示画面内の液晶層の厚みを均一
にする必要がある。
【0003】従来から、前記間隔を均一にするために
は、一対の基板部材内にスペーサを介在させて貼合わせ
る方法が用いられる。スペーサは直径の揃った棒状、ま
たは粒状の粒子である。このスペーサを、基板部材の液
晶表示装置の表示画面になる領域全面に均一に散布して
から、基板部材を貼合わせる。これによって、セルの間
隔を一定に保ち、液晶層の厚みを均一に保つ事ができ
る。
は、一対の基板部材内にスペーサを介在させて貼合わせ
る方法が用いられる。スペーサは直径の揃った棒状、ま
たは粒状の粒子である。このスペーサを、基板部材の液
晶表示装置の表示画面になる領域全面に均一に散布して
から、基板部材を貼合わせる。これによって、セルの間
隔を一定に保ち、液晶層の厚みを均一に保つ事ができ
る。
【0004】スペーサを散布する装置には、湿式装置と
乾式装置とがある。湿式装置は、スペーサをアルコール
やフロンなどの揮発性溶剤に混合して、散布する装置で
あり、たとえば次の3種類の方法のいずれか1つが用い
られる。第1の方法は、スペーサが混合された溶剤を基
板上に塗布し、溶剤を蒸発させることによって、スペー
サを散布する方法である。第2の方法は、スペーサが混
合された溶剤を圧縮空気や窒素ガスによってノズルから
散布箱内空間に噴射し、散布箱の底部に設置した基板部
材上に堆積させ、溶媒を蒸発させることによって、スペ
ーサを散布する方法である。第3の方法は、スペーサが
混合された溶剤をノズルから散布箱内空間に噴霧分散さ
せ、前記空間内を沈降するスペーサを散布箱の底部に順
次挿入した基板部材上に堆積させ、溶媒を蒸発させるこ
とによって、スペーサを散布する方法である。
乾式装置とがある。湿式装置は、スペーサをアルコール
やフロンなどの揮発性溶剤に混合して、散布する装置で
あり、たとえば次の3種類の方法のいずれか1つが用い
られる。第1の方法は、スペーサが混合された溶剤を基
板上に塗布し、溶剤を蒸発させることによって、スペー
サを散布する方法である。第2の方法は、スペーサが混
合された溶剤を圧縮空気や窒素ガスによってノズルから
散布箱内空間に噴射し、散布箱の底部に設置した基板部
材上に堆積させ、溶媒を蒸発させることによって、スペ
ーサを散布する方法である。第3の方法は、スペーサが
混合された溶剤をノズルから散布箱内空間に噴霧分散さ
せ、前記空間内を沈降するスペーサを散布箱の底部に順
次挿入した基板部材上に堆積させ、溶媒を蒸発させるこ
とによって、スペーサを散布する方法である。
【0005】湿式装置を用いてスペーサを散布する場
合、散布工程後、液晶材料注入工程までに溶剤が完全に
蒸発せず、基板部材上に残留することがある。これは、
たとえば液晶表示装置の表示むらの原因となる。この問
題を解決する手段として、スペーサを圧縮空気などと混
合して散布箱内に噴射し、沈降するスペーサを散布箱の
底部に設置する基板に堆積させる乾式装置を用いて、ス
ペーサを散布する技術がある。
合、散布工程後、液晶材料注入工程までに溶剤が完全に
蒸発せず、基板部材上に残留することがある。これは、
たとえば液晶表示装置の表示むらの原因となる。この問
題を解決する手段として、スペーサを圧縮空気などと混
合して散布箱内に噴射し、沈降するスペーサを散布箱の
底部に設置する基板に堆積させる乾式装置を用いて、ス
ペーサを散布する技術がある。
【0006】本件出願人は、特開平1−187533号
公報で乾式装置のスペーサ散布装置を提案している。本
公報では、散布箱側面上方に設置された散布ノズル孔か
らスペーサが混じったガスを噴射し、散布箱の底部に設
置された基板部材上にスペーサを堆積させて、スペーサ
を散布する技術が開示されている。本技術では、プラス
チックフィルタ上に堆積されたスペーサの、前記フィル
タの下から高圧気体を噴出させて、スペーサと気体を混
合することによって、スペーサが混じったガスを生成す
る。
公報で乾式装置のスペーサ散布装置を提案している。本
公報では、散布箱側面上方に設置された散布ノズル孔か
らスペーサが混じったガスを噴射し、散布箱の底部に設
置された基板部材上にスペーサを堆積させて、スペーサ
を散布する技術が開示されている。本技術では、プラス
チックフィルタ上に堆積されたスペーサの、前記フィル
タの下から高圧気体を噴出させて、スペーサと気体を混
合することによって、スペーサが混じったガスを生成す
る。
【0007】スペーサは、ガラスやプラスチックなどの
微粒子で実現される。このため、スペーサの一部が静電
気などを帯び、凝集することがある。基板部材表面の広
範囲にわたってスペーサを均一に散布するためには、充
分に分散したスペーサを散布箱内空間に噴出する事が必
要である。粒子の凝集を防止する技術として、特開昭6
3−77025公報が挙げられる。本公報では固定され
た散布ノズルに放電針を取付け、混合ガス内に含まれる
スペーサを帯電させる技術が開示されている。スペーサ
を総て帯電させることによって、スペーサ同士が凝集し
て、散布むらを生じさせることを防止する。
微粒子で実現される。このため、スペーサの一部が静電
気などを帯び、凝集することがある。基板部材表面の広
範囲にわたってスペーサを均一に散布するためには、充
分に分散したスペーサを散布箱内空間に噴出する事が必
要である。粒子の凝集を防止する技術として、特開昭6
3−77025公報が挙げられる。本公報では固定され
た散布ノズルに放電針を取付け、混合ガス内に含まれる
スペーサを帯電させる技術が開示されている。スペーサ
を総て帯電させることによって、スペーサ同士が凝集し
て、散布むらを生じさせることを防止する。
【0008】また、ノズルを固定した乾式装置では、ノ
ズルから噴出されるスペーサが混じったガスは、広がり
つつ下方に沈降する。したがって、スペーサの散布面積
が広くなるほど、スペーサを散布する基板部材からノズ
ルを充分に離す必要がある。このため、散布する基板部
材が大きくなるほど、装置が大型になる傾向がある。装
置を小型化し、スペーサを均一に散布する技術が、特開
平6−3679号公報に開示されている。本公報では、
ノズルをジグザクに動かして、スペーサの混じったガス
を噴射する。
ズルから噴出されるスペーサが混じったガスは、広がり
つつ下方に沈降する。したがって、スペーサの散布面積
が広くなるほど、スペーサを散布する基板部材からノズ
ルを充分に離す必要がある。このため、散布する基板部
材が大きくなるほど、装置が大型になる傾向がある。装
置を小型化し、スペーサを均一に散布する技術が、特開
平6−3679号公報に開示されている。本公報では、
ノズルをジグザクに動かして、スペーサの混じったガス
を噴射する。
【0009】図6は、本従来技術の粉体散布装置の構成
を示すブロック図である。容器1はスペーサを散布する
ための空間を外部から区画した散布箱である。容器1の
底部には、スペーサを散布すべき基板2が設置される。
また容器1の上部中央には、散布ノズル3が設けられ
る。散布ノズル3は、図7に示す首振り機構4によって
所定の首振り動作を行う。また散布ノズル3は、粉体輸
送管5を介して粉体分散機6に接続される。粉体分散機
6には、コンプレッサ7から圧縮空気や高圧ガスが与え
られ、そのエアー圧でスペーサを分散状態にする。分散
状態のスペーサは、散布ノズル3から下方の基板2に向
って噴出される。容器1内の空気は、容器1の下部に接
続された排気管8を介し、ブロア9によって容器1外に
排出される。
を示すブロック図である。容器1はスペーサを散布する
ための空間を外部から区画した散布箱である。容器1の
底部には、スペーサを散布すべき基板2が設置される。
また容器1の上部中央には、散布ノズル3が設けられ
る。散布ノズル3は、図7に示す首振り機構4によって
所定の首振り動作を行う。また散布ノズル3は、粉体輸
送管5を介して粉体分散機6に接続される。粉体分散機
6には、コンプレッサ7から圧縮空気や高圧ガスが与え
られ、そのエアー圧でスペーサを分散状態にする。分散
状態のスペーサは、散布ノズル3から下方の基板2に向
って噴出される。容器1内の空気は、容器1の下部に接
続された排気管8を介し、ブロア9によって容器1外に
排出される。
【0010】図7は、散布ノズル3の首振り機構4の平
面図である。散布ノズル3は、長手方向中間位置で球軸
受によって首振り自由に支持される。散布ノズル3の上
端部は揺動リンク11の端部に回転自在に連結される。
揺動リンク11の中心であるピン12はスライダ13に
取付けられている。スライダ13上には第1モータ14
が設けられ、その回転駒15は前記揺動リンク11の長
穴16に、その長尺方向に移動自在に遊嵌される。これ
によって、前記揺動リンク11はピン12を中心に揺動
し、それにしたがって前記散布ノズル3上端部が矢符A
方向に円回転を行う。
面図である。散布ノズル3は、長手方向中間位置で球軸
受によって首振り自由に支持される。散布ノズル3の上
端部は揺動リンク11の端部に回転自在に連結される。
揺動リンク11の中心であるピン12はスライダ13に
取付けられている。スライダ13上には第1モータ14
が設けられ、その回転駒15は前記揺動リンク11の長
穴16に、その長尺方向に移動自在に遊嵌される。これ
によって、前記揺動リンク11はピン12を中心に揺動
し、それにしたがって前記散布ノズル3上端部が矢符A
方向に円回転を行う。
【0011】また第2モータ17が、たとえば容器1の
外壁などの部分に固定されて設けられる。第2モータ1
7の回転駒18が第2揺動リンク19の長穴21に遊嵌
される。これによって、第2揺動リンク19は容器1の
外壁に固定して設けられたピン20周りに揺動する。第
2揺動リンク19の他端24側には、突起が設けられ、
この突起は前記スライダ13に設けた凹部23に係合さ
れる。これによって第2揺動リンク19がピン20周り
に揺動すると、前記スライダ13が前記矢符B方向に往
復移動する。
外壁などの部分に固定されて設けられる。第2モータ1
7の回転駒18が第2揺動リンク19の長穴21に遊嵌
される。これによって、第2揺動リンク19は容器1の
外壁に固定して設けられたピン20周りに揺動する。第
2揺動リンク19の他端24側には、突起が設けられ、
この突起は前記スライダ13に設けた凹部23に係合さ
れる。これによって第2揺動リンク19がピン20周り
に揺動すると、前記スライダ13が前記矢符B方向に往
復移動する。
【0012】前記第1モータ14および第2モータ17
の回転速度比、各揺動リンク11,19の揺動の大きさ
を所定の関係に設定して、矢符A方向およびB方向への
動きを組み合せることによって、図7の散布ノズル3の
下端部をジクザク状に移動させることができる。これに
よって、図8の参照符25に示す散布領域が基板2上を
隙間なくジグザグに動き、スペーサを均一に散布するこ
とができる。
の回転速度比、各揺動リンク11,19の揺動の大きさ
を所定の関係に設定して、矢符A方向およびB方向への
動きを組み合せることによって、図7の散布ノズル3の
下端部をジクザク状に移動させることができる。これに
よって、図8の参照符25に示す散布領域が基板2上を
隙間なくジグザグに動き、スペーサを均一に散布するこ
とができる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】前述したノズルが揺動
する散布装置は、リンク機構を用いた首振り機構4を用
いているので、散布領域の移動範囲を変更することが難
しく、散布する基板のサイズの変更などの機種替えが困
難である。また本装置は、首振り機構4の構造が、リン
ク機構を含む複雑な構造になるという問題がある。
する散布装置は、リンク機構を用いた首振り機構4を用
いているので、散布領域の移動範囲を変更することが難
しく、散布する基板のサイズの変更などの機種替えが困
難である。また本装置は、首振り機構4の構造が、リン
ク機構を含む複雑な構造になるという問題がある。
【0014】また、広範囲の基板部材に均一にスペーサ
を散布するために、スペーサの混じったガス内のスペー
サを充分に分散する必要がある。このために、ノズル先
端に放電針を設け、噴出されるスペーサに所定の電荷を
与える技術がある。前記放電針には散布箱外部の電源か
ら、配線を介して高電圧が与えられる。前述したよう
に、揺動するノズルに放電針を取付ける場合、配線部分
も揺動するので断線などが生じることが考えられる。断
線が生じると、ノズルから噴出されるスペーサに所定の
電位を与えることができなくなるので、スペーサが凝集
し、液晶層の厚みのばらつきが大きくなり、表示品位が
低下する。また、生じた断線部分を修繕する際には、こ
の配線には高電圧が供給されているので、慎重に断線部
分を見付け出さなければならず、修繕に手間および時間
がかかる。また、配線や放電針の位置が常に変化するの
で、放電針へのスペーサの付着状態などの確認が難し
く、メンテナンスが行いにくい。
を散布するために、スペーサの混じったガス内のスペー
サを充分に分散する必要がある。このために、ノズル先
端に放電針を設け、噴出されるスペーサに所定の電荷を
与える技術がある。前記放電針には散布箱外部の電源か
ら、配線を介して高電圧が与えられる。前述したよう
に、揺動するノズルに放電針を取付ける場合、配線部分
も揺動するので断線などが生じることが考えられる。断
線が生じると、ノズルから噴出されるスペーサに所定の
電位を与えることができなくなるので、スペーサが凝集
し、液晶層の厚みのばらつきが大きくなり、表示品位が
低下する。また、生じた断線部分を修繕する際には、こ
の配線には高電圧が供給されているので、慎重に断線部
分を見付け出さなければならず、修繕に手間および時間
がかかる。また、配線や放電針の位置が常に変化するの
で、放電針へのスペーサの付着状態などの確認が難し
く、メンテナンスが行いにくい。
【0015】本発明は、簡単な構成で粒状物が凝集する
ことを防止し、かつ均一に散布することができる粒状物
散布装置を提供することである。
ことを防止し、かつ均一に散布することができる粒状物
散布装置を提供することである。
【0016】
【問題を解決するための手段】本発明は、粒状物を散布
すべき対象物を保持する保持手段と、前記保持手段の上
方に配置される散布ノズルを有し、当該散布ノズルから
下方に向けて粒状物を噴出する粒状物散布手段と、前記
散布ノズルを中心として回動可能に配置され、かつ前記
散布ノズルと所定の角度で配置される気体噴出ノズルを
有し、当該気体噴出ノズルから気体を噴出する気体噴出
手段と、前記保持手段、散布ノズル、および気体噴出ノ
ズルを覆う筺体と、前記気体噴出ノズルの回動を制御し
て、散布ノズルから散布される粒状物の散布方向を変化
させる制御手段とを含むことを特徴とする粒状物散布装
置である。 また本発明は、前記散布ノズルと気体噴出ノズルとの成
す角θは、0°<θ<90°の範囲に選ばれることを特
徴とする。また本発明は、前記散布ノズルの先端付近に
配置され、散布される粒状物に対して電荷を与える電荷
付与手段を含むことを特徴とする。また本発明は、前記
粒状物が絶縁性の高い材料から成ることを特徴とする。 また本発明は、前記筺体は、内側に配置される第1筺体
と、外側に配置される第2筺体とを含んで構成され、第
1筺体は、前記電荷付与手段によって電荷が与えられた
粒状物の電位と同じ電位に保持され、第2筺体は接地さ
れることを特徴とする。また本発明は、前記対象物は、
配線が配設された基板であり、前記配線を接地する接地
手段を含むことを特徴とする。また本発明は、前記粒状
物散布手段は、前記粒状物がフィルタ上に堆積して収納
された容器の前記フィルタの下方から気体を噴出し、前
記容器の上方に設けられた噴出孔から粒状物を噴出させ
る粒状物供給手段と、前記噴出孔と散布ノズルとを接続
する配管とを含んで構成され、前記配管が絶縁体から成
ることを特徴とする。また本発明は、前記気体噴出ノズ
ルが3以上の奇数個設けられ、かつ等間隔に配置される
ことを特徴とする。また本発明は、前記筺体はその上部
に取付穴を有し、前記筺体の取付穴に筺体の外部に一部
分が突出して回動可能に取付けられる略円筒状体であっ
て、当該円筒状体は、筺体内部に位置する一方開口部か
ら前記突出部分に位置する他方開口部に挿通する挿通孔
を有し、円筒状体内部に前記散布ノズルが配置され、前
記一方開口部に前記気体噴出ノズルが取付けられる回動
部材と、前記筺体の外部に配置されるローラと、前記回
動部材の突出部分と前記ローラとに巻回されるベルト
と、前記ローラを駆動するローラ駆動モータと、少なく
とも前記回動部材の突出部分と、前記ローラと、前記ベ
ルトとを覆って密閉空間を形成し、前記散布ノズルが挿
通される第1挿通孔と、前記密閉空間に気体を流込むた
めの第2挿通孔とを有する密閉部材とを含み、前記制御
手段は、前記ローラ駆動モータの動作を制御することを
特徴とする。 また本発明は、前記対象物は、一対の基板部材が所定の
間隔をあけて配置される液晶パネルの前記一対の基板部
材のうちいずれか一方基板部材であり、前記粒状物は、
前記一対の基板部材の間隔を制御するスペーサであるこ
とを特徴とする。
すべき対象物を保持する保持手段と、前記保持手段の上
方に配置される散布ノズルを有し、当該散布ノズルから
下方に向けて粒状物を噴出する粒状物散布手段と、前記
散布ノズルを中心として回動可能に配置され、かつ前記
散布ノズルと所定の角度で配置される気体噴出ノズルを
有し、当該気体噴出ノズルから気体を噴出する気体噴出
手段と、前記保持手段、散布ノズル、および気体噴出ノ
ズルを覆う筺体と、前記気体噴出ノズルの回動を制御し
て、散布ノズルから散布される粒状物の散布方向を変化
させる制御手段とを含むことを特徴とする粒状物散布装
置である。 また本発明は、前記散布ノズルと気体噴出ノズルとの成
す角θは、0°<θ<90°の範囲に選ばれることを特
徴とする。また本発明は、前記散布ノズルの先端付近に
配置され、散布される粒状物に対して電荷を与える電荷
付与手段を含むことを特徴とする。また本発明は、前記
粒状物が絶縁性の高い材料から成ることを特徴とする。 また本発明は、前記筺体は、内側に配置される第1筺体
と、外側に配置される第2筺体とを含んで構成され、第
1筺体は、前記電荷付与手段によって電荷が与えられた
粒状物の電位と同じ電位に保持され、第2筺体は接地さ
れることを特徴とする。また本発明は、前記対象物は、
配線が配設された基板であり、前記配線を接地する接地
手段を含むことを特徴とする。また本発明は、前記粒状
物散布手段は、前記粒状物がフィルタ上に堆積して収納
された容器の前記フィルタの下方から気体を噴出し、前
記容器の上方に設けられた噴出孔から粒状物を噴出させ
る粒状物供給手段と、前記噴出孔と散布ノズルとを接続
する配管とを含んで構成され、前記配管が絶縁体から成
ることを特徴とする。また本発明は、前記気体噴出ノズ
ルが3以上の奇数個設けられ、かつ等間隔に配置される
ことを特徴とする。また本発明は、前記筺体はその上部
に取付穴を有し、前記筺体の取付穴に筺体の外部に一部
分が突出して回動可能に取付けられる略円筒状体であっ
て、当該円筒状体は、筺体内部に位置する一方開口部か
ら前記突出部分に位置する他方開口部に挿通する挿通孔
を有し、円筒状体内部に前記散布ノズルが配置され、前
記一方開口部に前記気体噴出ノズルが取付けられる回動
部材と、前記筺体の外部に配置されるローラと、前記回
動部材の突出部分と前記ローラとに巻回されるベルト
と、前記ローラを駆動するローラ駆動モータと、少なく
とも前記回動部材の突出部分と、前記ローラと、前記ベ
ルトとを覆って密閉空間を形成し、前記散布ノズルが挿
通される第1挿通孔と、前記密閉空間に気体を流込むた
めの第2挿通孔とを有する密閉部材とを含み、前記制御
手段は、前記ローラ駆動モータの動作を制御することを
特徴とする。 また本発明は、前記対象物は、一対の基板部材が所定の
間隔をあけて配置される液晶パネルの前記一対の基板部
材のうちいずれか一方基板部材であり、前記粒状物は、
前記一対の基板部材の間隔を制御するスペーサであるこ
とを特徴とする。
【0017】
【作用】本発明に従えば、粒状物散布装置は、外部から
所定空間を区画した筺体の底部に保持手段が設けられ、
粒状物を散布する対象である対象物を当該保持手段上に
保持する。この対象物に向けて、筺体上方でかつ保持手
段の上に設けられた、粒状物散布手段の散布ノズルか
ら、高圧気体と粒状物とを混合したガスを噴出する。噴
出した前記ガスのうち、粒状物は次第に筺体内空間を沈
降し、対象物表面に堆積する。これによって、粒状物が
底部の対象物表面に散布される。
所定空間を区画した筺体の底部に保持手段が設けられ、
粒状物を散布する対象である対象物を当該保持手段上に
保持する。この対象物に向けて、筺体上方でかつ保持手
段の上に設けられた、粒状物散布手段の散布ノズルか
ら、高圧気体と粒状物とを混合したガスを噴出する。噴
出した前記ガスのうち、粒状物は次第に筺体内空間を沈
降し、対象物表面に堆積する。これによって、粒状物が
底部の対象物表面に散布される。
【0018】前記散布ノズルから噴出された前記ガスに
向けて、前記散布ノズルを中心として回動可能に配置さ
れ、前記散布ノズルと所定の角度で配置される気体噴出
手段の気体噴出ノズルから、高圧気体が噴出される。気
体噴出手段が回転し、高圧気体が噴出されると、散布ノ
ズルから噴出される粒状物の混じったガスは、前記高圧
気体の噴出方向に吹流され、ガスの流路が曲げられる。
前記高圧気体の流量や噴出角度、気体噴出手段の回転す
るタイミングのパラメータなどは制御手段によって制御
される。
向けて、前記散布ノズルを中心として回動可能に配置さ
れ、前記散布ノズルと所定の角度で配置される気体噴出
手段の気体噴出ノズルから、高圧気体が噴出される。気
体噴出手段が回転し、高圧気体が噴出されると、散布ノ
ズルから噴出される粒状物の混じったガスは、前記高圧
気体の噴出方向に吹流され、ガスの流路が曲げられる。
前記高圧気体の流量や噴出角度、気体噴出手段の回転す
るタイミングのパラメータなどは制御手段によって制御
される。
【0019】これによって、固定された散布ノズルから
噴出した粒状物を含むガスの流路を気体噴出手段から噴
出する気体によって制御し、粒状物を対象物上に均一に
散布することができる。また、前記パラメータを変更す
ることによって、前記ガスの流路を自由に変更すること
ができるので、散布する対象物のサイズを容易に変更す
ることができる。
噴出した粒状物を含むガスの流路を気体噴出手段から噴
出する気体によって制御し、粒状物を対象物上に均一に
散布することができる。また、前記パラメータを変更す
ることによって、前記ガスの流路を自由に変更すること
ができるので、散布する対象物のサイズを容易に変更す
ることができる。
【0020】また本発明に従えば、前記散布ノズルと気
体噴出ノズルとの成す角が、0°<θ<90°の範囲に
選ばれる。したがって、固定された散布ノズルの直下を
中心とした広い範囲に粒状物を含むガスを均一に噴出す
ることができる。
体噴出ノズルとの成す角が、0°<θ<90°の範囲に
選ばれる。したがって、固定された散布ノズルの直下を
中心とした広い範囲に粒状物を含むガスを均一に噴出す
ることができる。
【0021】また本発明に従えば、前記散布ノズルから
噴出する粒状物の混じったガス内の粒状物は、前記散布
ノズルの先端付近に配置される電荷付与手段によって、
電荷が与えられる。前記電荷付与手段は、固定された散
布ノズル先端付近に配置される。したがって、散布ノズ
ル内に埋め込まれた配線などは断線しにくく、また、常
に配線の位置が一定であるので、メンテナンスが容易で
ある。
噴出する粒状物の混じったガス内の粒状物は、前記散布
ノズルの先端付近に配置される電荷付与手段によって、
電荷が与えられる。前記電荷付与手段は、固定された散
布ノズル先端付近に配置される。したがって、散布ノズ
ル内に埋め込まれた配線などは断線しにくく、また、常
に配線の位置が一定であるので、メンテナンスが容易で
ある。
【0022】さらにまた本発明に従えば、前記粒状物は
絶縁性の高い材料で形成される。このような静電気を生
じ易い粒状物に、前記電荷付与手段を用いて所定の電荷
を予め与えることによって、多量の粒状物の一部だけが
静電気を帯び、粒状物が凝集することを防止し、粒状物
を充分に分散することができる。これによって、より均
一に粒状物を散布することができる。
絶縁性の高い材料で形成される。このような静電気を生
じ易い粒状物に、前記電荷付与手段を用いて所定の電荷
を予め与えることによって、多量の粒状物の一部だけが
静電気を帯び、粒状物が凝集することを防止し、粒状物
を充分に分散することができる。これによって、より均
一に粒状物を散布することができる。
【0023】また本発明に従えば、前記筺体は、内側に
配置された第1筺体と、外側に配置された第2筺体とで
構成される。その内部で粒状物が散布される第1筺体
は、粒状物に与えられる電位と同じ電位に保たれるの
で、第1筺体の壁面に粒状物が付着することを防止する
ことができる。また第1筺体を外囲する第2筺体は導電
性を有し、かつ接地されるので、遮蔽効果を生じ、第1
筺体の壁面に粒状物が付着することをさらに防止するこ
とができる。
配置された第1筺体と、外側に配置された第2筺体とで
構成される。その内部で粒状物が散布される第1筺体
は、粒状物に与えられる電位と同じ電位に保たれるの
で、第1筺体の壁面に粒状物が付着することを防止する
ことができる。また第1筺体を外囲する第2筺体は導電
性を有し、かつ接地されるので、遮蔽効果を生じ、第1
筺体の壁面に粒状物が付着することをさらに防止するこ
とができる。
【0024】さらにまた本発明に従えば、前記対象物
は、絶縁性基板に配線を配設した、たとえば液晶表示装
置の基板部材で実現され、前記配線は接地手段によって
接地されている。これによって、電荷を与えられた粒状
物が対象物に付着しやすくなる。
は、絶縁性基板に配線を配設した、たとえば液晶表示装
置の基板部材で実現され、前記配線は接地手段によって
接地されている。これによって、電荷を与えられた粒状
物が対象物に付着しやすくなる。
【0025】また本発明に従えば、前記粒状物散布手段
から噴射される粒状物の混じったガスは、粒状物供給手
段から供給される。前記粒状物供給手段では、容器内部
に設けられるフィルタ上に粒状物を堆積して収納してい
る。前記フィルタの下方から容器内に噴出された高圧気
体は、前記フィルタ上の粒状物をフィルタ上部の空間に
吹上げ、前記空間で前記高圧気体と粒状物とが混じり合
って、前記ガスになる。当該ガスは、前記容器の上部に
開口した挿通孔に接続された絶縁体から成る配管を通っ
て散布ノズルに供給される。したがって、粒状物の絶縁
性を保持したまま散布ノズルに供給することができ、粒
状物を充分に分散し、より均一に散布することができ
る。
から噴射される粒状物の混じったガスは、粒状物供給手
段から供給される。前記粒状物供給手段では、容器内部
に設けられるフィルタ上に粒状物を堆積して収納してい
る。前記フィルタの下方から容器内に噴出された高圧気
体は、前記フィルタ上の粒状物をフィルタ上部の空間に
吹上げ、前記空間で前記高圧気体と粒状物とが混じり合
って、前記ガスになる。当該ガスは、前記容器の上部に
開口した挿通孔に接続された絶縁体から成る配管を通っ
て散布ノズルに供給される。したがって、粒状物の絶縁
性を保持したまま散布ノズルに供給することができ、粒
状物を充分に分散し、より均一に散布することができ
る。
【0026】さらにまた本発明に従えば、前記気体噴出
ノズルは、3以上の奇数個設けられ、かつ等間隔に配置
される。複数の気体噴出ノズルはその噴出方向が同一直
径上には配置されないので、噴出した高圧気体がぶつか
り合うことを防止することができる。このため、粒状物
を均一にかつ広い範囲に散布することができる。
ノズルは、3以上の奇数個設けられ、かつ等間隔に配置
される。複数の気体噴出ノズルはその噴出方向が同一直
径上には配置されないので、噴出した高圧気体がぶつか
り合うことを防止することができる。このため、粒状物
を均一にかつ広い範囲に散布することができる。
【0027】また本発明に従えば、前記筺体の上部に設
けられた取付穴に、円筒状体の回動部材を、前記筺体の
外部に一部分が突出して回動可能に取付ける。前記回動
部材の内部の中心には散布ノズルが配置される。また前
記回動部材には、1または複数の挿通孔が形成される。
当該挿通孔は、一方開口部が筺体内部に、他方開口部が
前記突出部分にそれぞれ位置する。一方開口部には、前
記気体噴出ノズルが接続される。
けられた取付穴に、円筒状体の回動部材を、前記筺体の
外部に一部分が突出して回動可能に取付ける。前記回動
部材の内部の中心には散布ノズルが配置される。また前
記回動部材には、1または複数の挿通孔が形成される。
当該挿通孔は、一方開口部が筺体内部に、他方開口部が
前記突出部分にそれぞれ位置する。一方開口部には、前
記気体噴出ノズルが接続される。
【0028】前記筺体の外部にはローラ駆動モータで駆
動されるローラが設けられる。このローラと前記回動部
材の突出部分との間にはベルトが巻回され、ローラ駆動
モータの回転を回動部材に伝達する。前記ローラ駆動モ
ータの動作は制御手段によって制御される。制御手段を
操作することによって、回動部材を回動させ、その動作
を任意に制御することができる。
動されるローラが設けられる。このローラと前記回動部
材の突出部分との間にはベルトが巻回され、ローラ駆動
モータの回転を回動部材に伝達する。前記ローラ駆動モ
ータの動作は制御手段によって制御される。制御手段を
操作することによって、回動部材を回動させ、その動作
を任意に制御することができる。
【0029】密閉部材は、少なくとも前述した回動部材
の突出部分、ローラ、およびベルトが配置された空間を
密閉する。前記密閉部材に設けられた第1挿通孔から、
前記筺体および密閉空間内に、前記散布ノズルが挿通さ
れる。前記密閉部材には、密閉空間に気体を流込む第2
挿通孔が形成される。この第2挿通孔から密閉空間に気
体を流込み、前記密閉空間内の圧力を高くする。前記密
閉空間内の圧力を高くすることによって、前記回動部材
に形成された挿通孔の他方開口部に空間内の気体が流入
する。このように、前記他方開口部から一方開口部に気
体を流して、前記一方開口部に取付けられた気体噴出ノ
ズルから気体を噴出することができる。
の突出部分、ローラ、およびベルトが配置された空間を
密閉する。前記密閉部材に設けられた第1挿通孔から、
前記筺体および密閉空間内に、前記散布ノズルが挿通さ
れる。前記密閉部材には、密閉空間に気体を流込む第2
挿通孔が形成される。この第2挿通孔から密閉空間に気
体を流込み、前記密閉空間内の圧力を高くする。前記密
閉空間内の圧力を高くすることによって、前記回動部材
に形成された挿通孔の他方開口部に空間内の気体が流入
する。このように、前記他方開口部から一方開口部に気
体を流して、前記一方開口部に取付けられた気体噴出ノ
ズルから気体を噴出することができる。
【0030】さらにまた本発明に従えば、前記対象物
は、一対の基板部材が所定の間隔をあけて配置される液
晶パネルの前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基
板部材である。かつ、粒状物は、基板部材の表面に散布
され、一対の基板部材の間隔を一定に保つスペーサであ
る。したがって、基板部材にスペーサを均一に散布する
ことができ、液晶表示装置の表示品位を向上することが
できる。
は、一対の基板部材が所定の間隔をあけて配置される液
晶パネルの前記一対の基板部材のうちのいずれか一方基
板部材である。かつ、粒状物は、基板部材の表面に散布
され、一対の基板部材の間隔を一定に保つスペーサであ
る。したがって、基板部材にスペーサを均一に散布する
ことができ、液晶表示装置の表示品位を向上することが
できる。
【0031】
【実施例】図1は、本発明の一実施例である粒状物散布
装置の簡略化した構成を示す断面図である。図2は、図
1の粒状物散布装置の部分拡大図である。図3は図1の
粒状物散布装置の分解断面図である。本実施例の粒状物
散布装置は、たとえば液晶表示装置の2枚の基板部材の
間隔を決定する粒状物であるスペーサを、前記基板部材
上に散布する場合に用いられる。
装置の簡略化した構成を示す断面図である。図2は、図
1の粒状物散布装置の部分拡大図である。図3は図1の
粒状物散布装置の分解断面図である。本実施例の粒状物
散布装置は、たとえば液晶表示装置の2枚の基板部材の
間隔を決定する粒状物であるスペーサを、前記基板部材
上に散布する場合に用いられる。
【0032】粒状物であるスペーサは、直径の揃った棒
状または粒状の微小な粒子である。スペーサは、たとえ
ばプラスチックなどの材料で実現される。
状または粒状の微小な粒子である。スペーサは、たとえ
ばプラスチックなどの材料で実現される。
【0033】筺体31は、第1筺体32と、第2筺体3
3との二重構造を成す。第1筺体32は、スペーサを散
布するための空間を外部から区画し、その内部の空間に
おいて、スペーサを散布する。後述するように、空間内
に散布されるスペーサは帯電される。帯電されたスペー
サが第1筺体32の壁面に付着することを防止するため
に、第1筺体32とスペーサとを同じ電位に帯電させる
ことが好ましい。このために第1筺体32は、スペーサ
と帯電順位の近い電気絶縁材料、たとえば塩化ビニル系
樹脂で実現されることが好ましい。第2筺体33は、第
1筺体32から空間を開けて形成される。第2筺体は、
第1筺体と同じ材料に帯電を防止する機能を付加した材
料や導電性材料など、帯電しにくい材料で実現されるこ
とが好ましい。たとえば、塩化ビニル系樹脂に帯電防止
機能を付加した材料で実現される。樹脂材料に帯電防止
機能を付加する方法としては、たとえば当該材料で形成
された部材表面に金属箔を貼り合わせる方法や、表面に
界面活性剤を塗布する方法がある。また、銅粉などの導
電性の粉末や、界面活性剤を、当該材料に練り込んで部
材を形成する方法も用いられる。第2筺体33は接地さ
れている。
3との二重構造を成す。第1筺体32は、スペーサを散
布するための空間を外部から区画し、その内部の空間に
おいて、スペーサを散布する。後述するように、空間内
に散布されるスペーサは帯電される。帯電されたスペー
サが第1筺体32の壁面に付着することを防止するため
に、第1筺体32とスペーサとを同じ電位に帯電させる
ことが好ましい。このために第1筺体32は、スペーサ
と帯電順位の近い電気絶縁材料、たとえば塩化ビニル系
樹脂で実現されることが好ましい。第2筺体33は、第
1筺体32から空間を開けて形成される。第2筺体は、
第1筺体と同じ材料に帯電を防止する機能を付加した材
料や導電性材料など、帯電しにくい材料で実現されるこ
とが好ましい。たとえば、塩化ビニル系樹脂に帯電防止
機能を付加した材料で実現される。樹脂材料に帯電防止
機能を付加する方法としては、たとえば当該材料で形成
された部材表面に金属箔を貼り合わせる方法や、表面に
界面活性剤を塗布する方法がある。また、銅粉などの導
電性の粉末や、界面活性剤を、当該材料に練り込んで部
材を形成する方法も用いられる。第2筺体33は接地さ
れている。
【0034】第1筺体32内には、スペーサを散布する
対象物である基板部材34を載置する載置台35が設け
られる。基板部材34は、載置台35上に真空吸着され
て固定される。また基板部材34は、たとえば液晶表示
装置の基板部材で実現され、絶縁性基板の表面に配線や
電極などの導電体部分が形成されて実現される。これら
導電体部分は接地手段36によって接地されている。
対象物である基板部材34を載置する載置台35が設け
られる。基板部材34は、載置台35上に真空吸着され
て固定される。また基板部材34は、たとえば液晶表示
装置の基板部材で実現され、絶縁性基板の表面に配線や
電極などの導電体部分が形成されて実現される。これら
導電体部分は接地手段36によって接地されている。
【0035】図4は、接地手段36を取付け、基板部材
34を載置した載置台35の斜視図である。図5は、図
4の接地手段36、載置台35および基板部材34の部
分断面図である。
34を載置した載置台35の斜視図である。図5は、図
4の接地手段36、載置台35および基板部材34の部
分断面図である。
【0036】載置台35上に載置される基板部材34
は、絶縁性基板34aの表面に配線などの導電体部分3
4bが形成され、導電体部分34bを覆って配向膜34
cが形成される。基板34a端部では、導電体部分34
bが露出されて、端子71が形成される。
は、絶縁性基板34aの表面に配線などの導電体部分3
4bが形成され、導電体部分34bを覆って配向膜34
cが形成される。基板34a端部では、導電体部分34
bが露出されて、端子71が形成される。
【0037】接地手段36は、たとえば載置台35の対
向する縁部にそれぞれ設置される。前記接地手段36
は、板ばね36aと、導電部材36bと、取付手段36
cとを含んで構成される。
向する縁部にそれぞれ設置される。前記接地手段36
は、板ばね36aと、導電部材36bと、取付手段36
cとを含んで構成される。
【0038】取付手段36cは、断面が概ね四角形状で
ある細長い棒状の部材である。前記取付手段36cは、
その底面の一端に形成されるヒンジ72によって、載置
台35の縁部に角変位可能に接続される。これによっ
て、当該取付手段36cは、図5に示すように、その底
面と載置台35上面とが密着した状態から、図4に示す
ように、底面と上面とが90°展開した状態まで、ヒン
ジ72を中心に、図4の矢符70方向に角変位すること
ができる。
ある細長い棒状の部材である。前記取付手段36cは、
その底面の一端に形成されるヒンジ72によって、載置
台35の縁部に角変位可能に接続される。これによっ
て、当該取付手段36cは、図5に示すように、その底
面と載置台35上面とが密着した状態から、図4に示す
ように、底面と上面とが90°展開した状態まで、ヒン
ジ72を中心に、図4の矢符70方向に角変位すること
ができる。
【0039】板ばね36aは、断面が鍵型形状を有する
長手形状の部材であり、その取付部73が前記取付手段
36cの、図5では右側面に取付けられる。板ばね36
aの本体74は、取付部73の上端から、ほぼ90°を
成すように折曲げられる。
長手形状の部材であり、その取付部73が前記取付手段
36cの、図5では右側面に取付けられる。板ばね36
aの本体74は、取付部73の上端から、ほぼ90°を
成すように折曲げられる。
【0040】前記本体74の先端の載置台35に対向す
る面には、帯状の導電部材36bが載置台35縁部と平
行に取付けられる。導電部材36bには、図示しないア
ース線が接続されて、電気的に接地されている。
る面には、帯状の導電部材36bが載置台35縁部と平
行に取付けられる。導電部材36bには、図示しないア
ース線が接続されて、電気的に接地されている。
【0041】導電部材36bは、取付部材36cの底面
が載置台35上面に密着した状態で、載置台35に載置
された基板部材34の複数の端子71上に押圧される。
これによって、前記各端子71は導電部材36bを介し
て短絡される。前記導電部材36bは接地されているの
で、基板部材34上の導電体部分34bをすべて接地す
ることができる。
が載置台35上面に密着した状態で、載置台35に載置
された基板部材34の複数の端子71上に押圧される。
これによって、前記各端子71は導電部材36bを介し
て短絡される。前記導電部材36bは接地されているの
で、基板部材34上の導電体部分34bをすべて接地す
ることができる。
【0042】再び図1および図2を参照して、第1筺体
32内の載置台35上方には、散布ノズル37が設けら
れる。散布ノズル37の噴出口付近には、電荷付与手段
である放電針38が設けられる。放電針38は、散布ノ
ズル37内に埋込まれる図示しない配線によって電源3
9と接続され、たとえば−30kV〜−100kVの高
電圧が印加される。これによって、散布ノズル37から
噴出されたスペーサは所定電位に帯電される。
32内の載置台35上方には、散布ノズル37が設けら
れる。散布ノズル37の噴出口付近には、電荷付与手段
である放電針38が設けられる。放電針38は、散布ノ
ズル37内に埋込まれる図示しない配線によって電源3
9と接続され、たとえば−30kV〜−100kVの高
電圧が印加される。これによって、散布ノズル37から
噴出されたスペーサは所定電位に帯電される。
【0043】また、第1筺体32の帯電順位はスペーサ
の帯電順位と近いので、帯電したスペーサが第1筺体3
2壁面に付着することを防止することができる。また第
2筺体33は導電性を有し、かつ接地されているので、
遮蔽効果によってさらにスペーサが第1筺体32壁面に
付着することを防止することができる。さらにまた、基
板部材34はその表面に形成された導電体部分が接地さ
れているので、帯電されたスペーサが付着しやすい。
の帯電順位と近いので、帯電したスペーサが第1筺体3
2壁面に付着することを防止することができる。また第
2筺体33は導電性を有し、かつ接地されているので、
遮蔽効果によってさらにスペーサが第1筺体32壁面に
付着することを防止することができる。さらにまた、基
板部材34はその表面に形成された導電体部分が接地さ
れているので、帯電されたスペーサが付着しやすい。
【0044】散布ノズル37の周囲には、散布ノズル3
7の周りを回動することが可能な、後述する回動部材5
3に取付けられた気体噴出ノズル40が設置されてい
る。気体噴出ノズル40と散布ノズル37との成す角で
ある取付け角度θは、後述するように変更することがで
きる。取付け角度θの制御範囲を広く設定するために、
気体噴出ノズル40は、散布ノズル37の噴出孔よりも
下方に形成されることが望ましい。
7の周りを回動することが可能な、後述する回動部材5
3に取付けられた気体噴出ノズル40が設置されてい
る。気体噴出ノズル40と散布ノズル37との成す角で
ある取付け角度θは、後述するように変更することがで
きる。取付け角度θの制御範囲を広く設定するために、
気体噴出ノズル40は、散布ノズル37の噴出孔よりも
下方に形成されることが望ましい。
【0045】散布ノズル37は配管41を介して、粒状
物供給手段であるガス供給手段42に接続される。ガス
供給手段42は、下方に噴射気体源43に通じる配管が
接続され、その上方に、たとえばプラスチック製のフィ
ルタ44が設けられる。フィルタ44上にはスペーサ4
5が堆積される。フィルタ44は空気を通過させるため
に、スペーサ45の直径よりも小さい内径の穴が多数設
けられており、スペーサ45がフィルタ44から落下す
ることはない。
物供給手段であるガス供給手段42に接続される。ガス
供給手段42は、下方に噴射気体源43に通じる配管が
接続され、その上方に、たとえばプラスチック製のフィ
ルタ44が設けられる。フィルタ44上にはスペーサ4
5が堆積される。フィルタ44は空気を通過させるため
に、スペーサ45の直径よりも小さい内径の穴が多数設
けられており、スペーサ45がフィルタ44から落下す
ることはない。
【0046】噴射気体源43から、圧縮空気や高圧窒素
などの高圧気体が、ガス供給手段42の下方から、ガス
供給手段42内にたとえば数秒間導入される。導入され
た高圧気体は、フィルタ44を通過し、フィルタ44上
に堆積されているスペーサ45をガス供給手段42上方
の空間46に吹上げる。これによって、前記高圧気体は
スペーサ45と混合されて、スペーサの混じったガスに
なる。ガス供給手段42の空間46内に充満したスペー
サの混じったガスは、ガス供給手段42の上蓋の噴出孔
に接続された配管41を通って、散布ノズル37から第
1筺体32内空間に噴出される。配管41は電気絶縁性
の材料で形成される。このため、スペーサの絶縁性を保
持したままスペーサを散布ノズル37に供給することが
でき、スペーサを充分に分散し、より均一に散布するこ
とができる。散布ノズル37、配管41、およびガス供
給手段42は粒状物散布手段を構成する。
などの高圧気体が、ガス供給手段42の下方から、ガス
供給手段42内にたとえば数秒間導入される。導入され
た高圧気体は、フィルタ44を通過し、フィルタ44上
に堆積されているスペーサ45をガス供給手段42上方
の空間46に吹上げる。これによって、前記高圧気体は
スペーサ45と混合されて、スペーサの混じったガスに
なる。ガス供給手段42の空間46内に充満したスペー
サの混じったガスは、ガス供給手段42の上蓋の噴出孔
に接続された配管41を通って、散布ノズル37から第
1筺体32内空間に噴出される。配管41は電気絶縁性
の材料で形成される。このため、スペーサの絶縁性を保
持したままスペーサを散布ノズル37に供給することが
でき、スペーサを充分に分散し、より均一に散布するこ
とができる。散布ノズル37、配管41、およびガス供
給手段42は粒状物散布手段を構成する。
【0047】図3を参照して、前記第1筺体32の天板
上には、取付穴32aが形成される。前記取付穴32a
は、内側に段差32bが形成されている。取付穴32a
の、第1筺体32外側から段差32bまでの部分の内径
d1は、段差32bから第1筺体32内側までの部分の
内径d2よりも大きい。取付穴32aには、第1筺体3
2外側から、外径が前記内径d1とほぼ等しい軸受51
が取付けられ、その一方面51aが前記段差32bに当
接して、係止される。
上には、取付穴32aが形成される。前記取付穴32a
は、内側に段差32bが形成されている。取付穴32a
の、第1筺体32外側から段差32bまでの部分の内径
d1は、段差32bから第1筺体32内側までの部分の
内径d2よりも大きい。取付穴32aには、第1筺体3
2外側から、外径が前記内径d1とほぼ等しい軸受51
が取付けられ、その一方面51aが前記段差32bに当
接して、係止される。
【0048】当該取付穴32aには、気体噴出ノズル4
0を保持する回動部材53が、前記軸受51によって回
動可能に取付けられる。回動部材53は管状の部材であ
り、その外壁に段差53aが設けられ、内壁に段差53
bが設けられる。回動部材53の、図3では上方である
一方端部から段差53aまでの部分の外径d3は、前記
軸受51の内径d4よりも大きい。また回動部材53の
段差53aから他方端部までの部分の外径d5は、前記
軸受51の内径d4と等しい。前記回動部材53の一方
開口部から段差53bまでの部分の内径d6は、段差5
3bから他方開口部までの部分の内径d7よりも小さ
い。
0を保持する回動部材53が、前記軸受51によって回
動可能に取付けられる。回動部材53は管状の部材であ
り、その外壁に段差53aが設けられ、内壁に段差53
bが設けられる。回動部材53の、図3では上方である
一方端部から段差53aまでの部分の外径d3は、前記
軸受51の内径d4よりも大きい。また回動部材53の
段差53aから他方端部までの部分の外径d5は、前記
軸受51の内径d4と等しい。前記回動部材53の一方
開口部から段差53bまでの部分の内径d6は、段差5
3bから他方開口部までの部分の内径d7よりも小さ
い。
【0049】前記回動部材53は、軸受51が取付けら
れた前記取付穴32aに、第1筺体32外側から挿入さ
れ、前記段差53aが、軸受51の他方面51bに当接
して係止される。これによって、前記回動部材53は、
前記一方開口部から段差53aまでの部分が、第1筺体
32から突出するように取付けられる。
れた前記取付穴32aに、第1筺体32外側から挿入さ
れ、前記段差53aが、軸受51の他方面51bに当接
して係止される。これによって、前記回動部材53は、
前記一方開口部から段差53aまでの部分が、第1筺体
32から突出するように取付けられる。
【0050】また当該回動部材53の第1筺体32から
突出する部分の外周には、歯車53cが形成されてい
る。前記歯車53cと、第1筺体32外部に配置される
歯車55とに、タイミングベルト56が巻回される。前
記回動部材53には、前記タイミングベルト56によっ
て、駆動モータ54によって駆動される前記歯車55の
回転が伝達される。これによって、当該回動部材53は
回転する。
突出する部分の外周には、歯車53cが形成されてい
る。前記歯車53cと、第1筺体32外部に配置される
歯車55とに、タイミングベルト56が巻回される。前
記回動部材53には、前記タイミングベルト56によっ
て、駆動モータ54によって駆動される前記歯車55の
回転が伝達される。これによって、当該回動部材53は
回転する。
【0051】また、前記歯車53c,55およびタイミ
ングベルト56からなる回転伝達手段は、駆動モータ5
4の回転を回動部材53に伝達することができる構成で
あれば、他の構成であっても良い。たとえば回動部材5
3には、歯車53cを形成する代わりに、その外周に弾
性体を張付け、この弾性体の上にタイミングベルトを巻
回してもよい。同様に、歯車55の代わりに弾性体から
成るローラを用いてもよい。
ングベルト56からなる回転伝達手段は、駆動モータ5
4の回転を回動部材53に伝達することができる構成で
あれば、他の構成であっても良い。たとえば回動部材5
3には、歯車53cを形成する代わりに、その外周に弾
性体を張付け、この弾性体の上にタイミングベルトを巻
回してもよい。同様に、歯車55の代わりに弾性体から
成るローラを用いてもよい。
【0052】当該回動部材53の第1筺体32から突出
した部分、歯車55、およびタイミングベルト56と
は、密閉部材57によって覆われる。前記密閉部材57
は、たとえば第1筺体32上に密着して配置され、前記
突出した部分、歯車55、およびタイミングベルト56
とが配置された空間を外部から密閉して、密閉空間を形
成する。
した部分、歯車55、およびタイミングベルト56と
は、密閉部材57によって覆われる。前記密閉部材57
は、たとえば第1筺体32上に密着して配置され、前記
突出した部分、歯車55、およびタイミングベルト56
とが配置された空間を外部から密閉して、密閉空間を形
成する。
【0053】当該密閉部材57には、第1挿通孔57a
が形成される。前記第1挿通孔57aの内側には、段差
57a1が形成される。第1挿通孔57aの、外側の一
方開口部から段差57a1までの部分の内径d8は、段
差57a1から密閉空間側の他方開口部までの部分の内
径d9よりも大きい。また、第1挿通孔57aの中心軸
は回動部材53の中心軸と一致している。
が形成される。前記第1挿通孔57aの内側には、段差
57a1が形成される。第1挿通孔57aの、外側の一
方開口部から段差57a1までの部分の内径d8は、段
差57a1から密閉空間側の他方開口部までの部分の内
径d9よりも大きい。また、第1挿通孔57aの中心軸
は回動部材53の中心軸と一致している。
【0054】当該第1挿通孔57aには、前記一方開口
部側から、散布ノズル37が挿入される。散布ノズル3
7は管状の部材であり、一方端部に噴出口が開口する。
散布ノズル37の他方端部側の側縁部には、係止部材3
7aが形成される。係止部材37aの外径d10は、前
記第1挿通孔57aの一方開口部側の内径d8よりも小
さく、他方開口部側の内径d9よりも大きい。また散布
ノズル37の直径d11は、前記他方開口部側の内径d
9よりも小さい。
部側から、散布ノズル37が挿入される。散布ノズル3
7は管状の部材であり、一方端部に噴出口が開口する。
散布ノズル37の他方端部側の側縁部には、係止部材3
7aが形成される。係止部材37aの外径d10は、前
記第1挿通孔57aの一方開口部側の内径d8よりも小
さく、他方開口部側の内径d9よりも大きい。また散布
ノズル37の直径d11は、前記他方開口部側の内径d
9よりも小さい。
【0055】散布ノズル37は、前記第1挿通孔57a
に挿入され、その係止部材37aの下面37bが前記段
差57a1に当接し、係止される。このとき散布ノズル
37は、回動部材53内部の空間に、その一方端部が回
動部材53の他方端部よりも空間内側に位置するように
挿入されている。前記散布ノズル37には外径d7の軸
受52が取付けられる。軸受52は、散布ノズル37が
前記第1挿通孔57aから挿入されて係止された後に、
当該軸受52は、その一方面52aが回動部材53の内
壁の段差53bに当接し、前記回動部材53を回動自由
に支持している。
に挿入され、その係止部材37aの下面37bが前記段
差57a1に当接し、係止される。このとき散布ノズル
37は、回動部材53内部の空間に、その一方端部が回
動部材53の他方端部よりも空間内側に位置するように
挿入されている。前記散布ノズル37には外径d7の軸
受52が取付けられる。軸受52は、散布ノズル37が
前記第1挿通孔57aから挿入されて係止された後に、
当該軸受52は、その一方面52aが回動部材53の内
壁の段差53bに当接し、前記回動部材53を回動自由
に支持している。
【0056】当該散布ノズル37の噴出口が開口する一
方端部には、放電針38が取付られている。放電針38
は、散布ノズルに配設される図示しない配線を介して、
電源39に接続されている。
方端部には、放電針38が取付られている。放電針38
は、散布ノズルに配設される図示しない配線を介して、
電源39に接続されている。
【0057】前記散布ノズル37の一方開口部には、継
手58を介して配管41が接続されている。散布ノズル
37は配管41を介して、ガス供給手段42に接続され
ることになる。これによって、散布ノズル37からスペ
ーサの混じったガスが第1筺体32内に導入される。
手58を介して配管41が接続されている。散布ノズル
37は配管41を介して、ガス供給手段42に接続され
ることになる。これによって、散布ノズル37からスペ
ーサの混じったガスが第1筺体32内に導入される。
【0058】また前記密閉部材57には、第2挿通孔5
7bが形成される。第2挿通孔57bには、密閉部材5
7外側から継手59を介して、配管47が接続されてい
る。配管47は噴射用気体源43に接続されており、密
閉空間に高圧気体を供給する経路となる。
7bが形成される。第2挿通孔57bには、密閉部材5
7外側から継手59を介して、配管47が接続されてい
る。配管47は噴射用気体源43に接続されており、密
閉空間に高圧気体を供給する経路となる。
【0059】さらにまた前記密閉部材57には、第3挿
通孔57cが形成される。第3挿通孔57cは、歯車5
5と密閉空間の外に配置される駆動モータ54とを接続
するために設けられ、歯車55の回転を阻害しないよう
に、かつ密閉空間内の気体が外部に流出しないようにふ
さがれている。
通孔57cが形成される。第3挿通孔57cは、歯車5
5と密閉空間の外に配置される駆動モータ54とを接続
するために設けられ、歯車55の回転を阻害しないよう
に、かつ密閉空間内の気体が外部に流出しないようにふ
さがれている。
【0060】前記回動部材53には、貫通穴61が形成
される。貫通穴61の一方開口部61aは、第1筺体3
2内部に挿入された部分の外壁に開口し、他方開口部6
1bは第1筺体32から突出する部分に開口する。
される。貫通穴61の一方開口部61aは、第1筺体3
2内部に挿入された部分の外壁に開口し、他方開口部6
1bは第1筺体32から突出する部分に開口する。
【0061】当該回動部材53のたとえば下端53dに
は、スペーサの流路を制御するための気体噴出ノズル4
0が取付られる。気体噴出ノズル40は、散布ノズル3
7と気体噴出ノズル40との成す角である取付け角度θ
を変えることができる構成を有する。また前記気体噴出
ノズル40は、継手62および配管63を介して、前記
貫通穴61の一方開口部61aと接続されている。
は、スペーサの流路を制御するための気体噴出ノズル4
0が取付られる。気体噴出ノズル40は、散布ノズル3
7と気体噴出ノズル40との成す角である取付け角度θ
を変えることができる構成を有する。また前記気体噴出
ノズル40は、継手62および配管63を介して、前記
貫通穴61の一方開口部61aと接続されている。
【0062】気体噴出ノズル40および貫通穴61は、
1または3以上の奇数個設けられる。各気体噴出ノズル
40はそれぞれ個別の貫通穴61に接続される。3以上
の奇数個の気体噴出ノズル40および貫通穴61は等間
隔に配置される。このように配置することによって、任
意の2つの気体噴出ノズル40が互いに向合う位置に配
置され、前記気体噴出ノズル40から噴出される気体の
噴出方向が、同一直線上で互いに反対の方向になること
はなく、前記2つの気体噴出ノズル40から噴出する高
圧気体は、互いに正面からぶつかりあうことがなくな
る。このため、スペーサを均一にかつ広い範囲に散布す
ることができる。
1または3以上の奇数個設けられる。各気体噴出ノズル
40はそれぞれ個別の貫通穴61に接続される。3以上
の奇数個の気体噴出ノズル40および貫通穴61は等間
隔に配置される。このように配置することによって、任
意の2つの気体噴出ノズル40が互いに向合う位置に配
置され、前記気体噴出ノズル40から噴出される気体の
噴出方向が、同一直線上で互いに反対の方向になること
はなく、前記2つの気体噴出ノズル40から噴出する高
圧気体は、互いに正面からぶつかりあうことがなくな
る。このため、スペーサを均一にかつ広い範囲に散布す
ることができる。
【0063】噴射用気体源43から配管47を介して導
かれた高圧気体は、密閉部材57内部に噴出する。密閉
空間に導入された高圧気体が、密閉部材57外部に噴出
する経路は、前記貫通穴61だけである。したがって、
密閉空間に充満した高圧気体は、前記貫通穴61を通っ
て、気体噴出ノズル40から第1筺体32内部に噴出す
る。
かれた高圧気体は、密閉部材57内部に噴出する。密閉
空間に導入された高圧気体が、密閉部材57外部に噴出
する経路は、前記貫通穴61だけである。したがって、
密閉空間に充満した高圧気体は、前記貫通穴61を通っ
て、気体噴出ノズル40から第1筺体32内部に噴出す
る。
【0064】ガス供給手段42で生成されたスペーサの
混じったガスは、散布ノズル37から第1筺体32内部
に噴出する。散布ノズル37は載置台35に設置された
基板部材34の中央部直上に設置されており、前記気体
噴出ノズル40から高圧気体が噴出されていないときに
は、前記ガスは基板部材34表面にほぼ垂直に噴射され
る。これによって、スペーサが散布される散布領域は、
たとえば基板部材34中央付近に円形に形成される。
混じったガスは、散布ノズル37から第1筺体32内部
に噴出する。散布ノズル37は載置台35に設置された
基板部材34の中央部直上に設置されており、前記気体
噴出ノズル40から高圧気体が噴出されていないときに
は、前記ガスは基板部材34表面にほぼ垂直に噴射され
る。これによって、スペーサが散布される散布領域は、
たとえば基板部材34中央付近に円形に形成される。
【0065】気体噴出ノズル40は、散布ノズル37の
中心軸64と平行な軸66と取付け角度θを成して回動
部材53に設置され、前記中心軸64を中心に矢符65
方向に回転する。取付け角度θは、散布ノズル37から
噴出されるスペーサの混じったガスの噴出方向と、気体
噴出ノズル40から噴出される高圧気体の噴出方向との
成す角度に等しい角度である。
中心軸64と平行な軸66と取付け角度θを成して回動
部材53に設置され、前記中心軸64を中心に矢符65
方向に回転する。取付け角度θは、散布ノズル37から
噴出されるスペーサの混じったガスの噴出方向と、気体
噴出ノズル40から噴出される高圧気体の噴出方向との
成す角度に等しい角度である。
【0066】散布ノズル37の噴出孔よりも下方に設置
される気体噴出ノズル40から高圧気体が噴射される
と、前記ガス内のスペーサが高圧気体によって吹飛ばさ
れる。これによって、前記ガスの流路が高圧気体の噴出
方向に沿うように制限され、噴射方向が変えられる。こ
のようにすることで、散布ノズル37を固定した状態で
スペーサが混じったガスの流路を変更し、基板部材34
上の散布領域を、たとえば気体噴出ノズル40が1つで
ある場合、基板部材周辺部を円を描くように移動させる
ことができる。
される気体噴出ノズル40から高圧気体が噴射される
と、前記ガス内のスペーサが高圧気体によって吹飛ばさ
れる。これによって、前記ガスの流路が高圧気体の噴出
方向に沿うように制限され、噴射方向が変えられる。こ
のようにすることで、散布ノズル37を固定した状態で
スペーサが混じったガスの流路を変更し、基板部材34
上の散布領域を、たとえば気体噴出ノズル40が1つで
ある場合、基板部材周辺部を円を描くように移動させる
ことができる。
【0067】前記気体噴出ノズル40に導かれる高圧気
体の流量、回動部材53の回転数、、気体噴出ノズル4
0の噴射タイミングおよび噴出時間などのパラメータ
は、制御手段67によって任意に変更することができ
る。前述したパラメータを変更することによって、たと
えば最初は気体噴出ノズル40を停止させて散布ノズル
37から前記ガスを噴出して、基板部材34中央部にス
ペーサを散布し、次いで気体噴出ノズル40を作動させ
て基板部材34周囲にスペーサを補助的に散布すること
などができる。また、散布ノズル37を噴出させる前か
ら気体噴出ノズル40を作動させておいたり、散布ノズ
ル37と気体噴出ノズル40とを同時に作動させるよう
にしてもよい。
体の流量、回動部材53の回転数、、気体噴出ノズル4
0の噴射タイミングおよび噴出時間などのパラメータ
は、制御手段67によって任意に変更することができ
る。前述したパラメータを変更することによって、たと
えば最初は気体噴出ノズル40を停止させて散布ノズル
37から前記ガスを噴出して、基板部材34中央部にス
ペーサを散布し、次いで気体噴出ノズル40を作動させ
て基板部材34周囲にスペーサを補助的に散布すること
などができる。また、散布ノズル37を噴出させる前か
ら気体噴出ノズル40を作動させておいたり、散布ノズ
ル37と気体噴出ノズル40とを同時に作動させるよう
にしてもよい。
【0068】これによって、散布領域を任意に移動さ
せ、所定のサイズの基板部材にスペーサを均一に散布す
ることができる。たとえば、前記流量は10リットル/
分〜60リットル/分の範囲で変化させ、前記回転数は
0.5回転/秒〜32回転/秒の範囲で変化させること
が考えられる。
せ、所定のサイズの基板部材にスペーサを均一に散布す
ることができる。たとえば、前記流量は10リットル/
分〜60リットル/分の範囲で変化させ、前記回転数は
0.5回転/秒〜32回転/秒の範囲で変化させること
が考えられる。
【0069】また、前記パラメータに加えて取付け角度
θを変化させることによって、所定の基板部材のサイズ
を変更することができる。たとえば前記流量は、基板部
材サイズが大きくなるほど大きくする。取付け角度θ
は、0°<θ<90°の範囲に選ぶことができ、たとえ
ば15°〜60°の範囲で、基板部材サイズが大きくな
るほど角度が大きくなるように設定される。取付け角度
θは基板部材サイズを変更する場合に変更する。
θを変化させることによって、所定の基板部材のサイズ
を変更することができる。たとえば前記流量は、基板部
材サイズが大きくなるほど大きくする。取付け角度θ
は、0°<θ<90°の範囲に選ぶことができ、たとえ
ば15°〜60°の範囲で、基板部材サイズが大きくな
るほど角度が大きくなるように設定される。取付け角度
θは基板部材サイズを変更する場合に変更する。
【0070】本実施例では、固定された散布ノズル37
に放電針38が取付けられている。このため、散布ノズ
ル37内に埋込まれた配線は、常に一定の位置にある。
これによって、可動する散布ノズルに放電針を取付ける
場合と比較して、断線などが起こりにくい。また、放電
針38には帯電したスペーサが付着し易く、本装置を約
8時間〜10時間毎に清掃する必要がある。さらに、放
電針38は摩耗し易く、本装置を2〜3カ月作動させる
毎に交換する必要がある。本実施例の放電針38は、常
に同じ位置にあるので、位置が掴みやすく、スペーサの
付着状態などが確認し易い。かつ交換時には位置合わせ
がしやすい。したがって、メンテナンスが容易である。
に放電針38が取付けられている。このため、散布ノズ
ル37内に埋込まれた配線は、常に一定の位置にある。
これによって、可動する散布ノズルに放電針を取付ける
場合と比較して、断線などが起こりにくい。また、放電
針38には帯電したスペーサが付着し易く、本装置を約
8時間〜10時間毎に清掃する必要がある。さらに、放
電針38は摩耗し易く、本装置を2〜3カ月作動させる
毎に交換する必要がある。本実施例の放電針38は、常
に同じ位置にあるので、位置が掴みやすく、スペーサの
付着状態などが確認し易い。かつ交換時には位置合わせ
がしやすい。したがって、メンテナンスが容易である。
【0071】このように、本実施例の粒状物散布装置を
用いると、基板部材上に均一にスペーサを散布すること
ができる。したがって、このような均一にスペーサが散
布された基板部材を用いた液晶表示装置の表示の信頼性
を向上させることができる。
用いると、基板部材上に均一にスペーサを散布すること
ができる。したがって、このような均一にスペーサが散
布された基板部材を用いた液晶表示装置の表示の信頼性
を向上させることができる。
【0072】本実施例の粒状物散布装置を用いて、スペ
ーサ以外の粒状物を、散布すべき対象物に散布しても良
い。また、前記対象物は、基板部材以外のものであって
もよい。
ーサ以外の粒状物を、散布すべき対象物に散布しても良
い。また、前記対象物は、基板部材以外のものであって
もよい。
【0073】
【発明の効果】本発明によれば、粒状物散布装置は、筺
体内の保持手段上に設置された対象物の上方から、高圧
気体と粒状物とを混合したガスを噴出し、沈降する粒状
物が底部の対象物表面に散布される。
体内の保持手段上に設置された対象物の上方から、高圧
気体と粒状物とを混合したガスを噴出し、沈降する粒状
物が底部の対象物表面に散布される。
【0074】前記ガスを噴出する散布ノズルは固定さ
れ、対象物に向けて前記ガスを噴出する。散布ノズル近
傍に設けられた気体噴出手段の、前記散布ノズルを中心
として回動する気体噴出ノズルから、前記散布ノズルか
ら噴出する前記ガスに向けて高圧気体を噴出する。この
高圧気体によって、固定された散布ノズルから噴出した
粒状物を含むガスの流路を制御して、対象物上に均一に
粒状物を散布することができる。
れ、対象物に向けて前記ガスを噴出する。散布ノズル近
傍に設けられた気体噴出手段の、前記散布ノズルを中心
として回動する気体噴出ノズルから、前記散布ノズルか
ら噴出する前記ガスに向けて高圧気体を噴出する。この
高圧気体によって、固定された散布ノズルから噴出した
粒状物を含むガスの流路を制御して、対象物上に均一に
粒状物を散布することができる。
【0075】気体噴出手段のパラメータを変更するだけ
で、粒状物の混じったガスの流路を変更し、散布領域の
動きを制御することができるので、対象物のサイズを容
易に変更することができる。これによって、散布ノズル
を固定した状態で、かつ簡単な構成の装置を用いて、様
々な大きさの対象物に粒状物を均一に散布することがで
きる。
で、粒状物の混じったガスの流路を変更し、散布領域の
動きを制御することができるので、対象物のサイズを容
易に変更することができる。これによって、散布ノズル
を固定した状態で、かつ簡単な構成の装置を用いて、様
々な大きさの対象物に粒状物を均一に散布することがで
きる。
【0076】また本発明によれば、前記散布ノズルと前
記気体噴出ノズルとの成す角、すなわち粒状物の混じっ
たガスの噴出方向と、高圧気体の噴出方向との成す角度
は0°<θ<90°の範囲に選ばれる。したがって、垂
直下方に噴出される前記ガスに前記高圧気体を吹付け
て、前記ガスに任意の流路を進ませることができる。し
たがって、粒状物の散布領域を中心から任意の距離だけ
離して移動させることができ、散布する対象物の大きさ
を容易に変更することができる。
記気体噴出ノズルとの成す角、すなわち粒状物の混じっ
たガスの噴出方向と、高圧気体の噴出方向との成す角度
は0°<θ<90°の範囲に選ばれる。したがって、垂
直下方に噴出される前記ガスに前記高圧気体を吹付け
て、前記ガスに任意の流路を進ませることができる。し
たがって、粒状物の散布領域を中心から任意の距離だけ
離して移動させることができ、散布する対象物の大きさ
を容易に変更することができる。
【0077】さらにまた本発明によれば、前記散布ノズ
ルから噴出する粒状物の混じったガス内の粒状物は、前
記散布ノズルの先端付近に配置される電荷付与手段によ
って、電荷が与えられる。かつ前記粒状物は絶縁性の高
い材料で形成される。このような静電気を生じ易い粒状
物に、予め所定の電荷を与えることによって、粒状物の
凝集を防止し、粒状物を充分に分散することができる。
これによって、より均一に粒状物を散布することができ
る。
ルから噴出する粒状物の混じったガス内の粒状物は、前
記散布ノズルの先端付近に配置される電荷付与手段によ
って、電荷が与えられる。かつ前記粒状物は絶縁性の高
い材料で形成される。このような静電気を生じ易い粒状
物に、予め所定の電荷を与えることによって、粒状物の
凝集を防止し、粒状物を充分に分散することができる。
これによって、より均一に粒状物を散布することができ
る。
【0078】また本発明によれば、前記筺体は、電荷付
与手段によって電荷が与えられた粒状物の電位と同電位
に保たれる内側の第1筺体と、第1筺体を覆い接地され
る導電性を有する第2筺体とで構成される。これによっ
て、電荷を与えられた粒状物が筺体壁面に付着すること
を防止し、かつ漏電などを防止する安全対策を簡単な構
成で実施することができる。
与手段によって電荷が与えられた粒状物の電位と同電位
に保たれる内側の第1筺体と、第1筺体を覆い接地され
る導電性を有する第2筺体とで構成される。これによっ
て、電荷を与えられた粒状物が筺体壁面に付着すること
を防止し、かつ漏電などを防止する安全対策を簡単な構
成で実施することができる。
【0079】さらにまた本発明によれば、前記対象物は
表面に配線が配設された基板であり、前記基板は接地さ
れている。これによって、電荷が与えられている粒状物
は基板表面に付着し易くなる。
表面に配線が配設された基板であり、前記基板は接地さ
れている。これによって、電荷が与えられている粒状物
は基板表面に付着し易くなる。
【0080】また本発明によれば、前記粒状物は粒状物
供給手段の容器内のフィルタ上に堆積される。この容器
の下方から高圧気体を導入して粒状物を吹上げ、気体と
混合する。これによって、粒状物を充分分散した、粒状
物を含んだ気体を生成することができる。したがって、
より均一に散布することができる。また、生成された気
体は絶縁体から成る配管を通して散布ノズルに供給さ
れ、粒状物の絶縁性を保持したまま供給することができ
て、粒状物を充分に分散し、より均一に散布することが
できる。
供給手段の容器内のフィルタ上に堆積される。この容器
の下方から高圧気体を導入して粒状物を吹上げ、気体と
混合する。これによって、粒状物を充分分散した、粒状
物を含んだ気体を生成することができる。したがって、
より均一に散布することができる。また、生成された気
体は絶縁体から成る配管を通して散布ノズルに供給さ
れ、粒状物の絶縁性を保持したまま供給することができ
て、粒状物を充分に分散し、より均一に散布することが
できる。
【0081】さらにまた本発明によれば、前記散布ノズ
ルの周囲には、前記気体噴出ノズルが等間隔に3以上の
奇数個配置される。これによって、任意の2つの前記気
体噴出ノズルから噴出される高圧気体の噴出方向が対向
し、前記高圧気体がぶつかり合うことを防止することが
できる。このため、より均一に、かつ広い範囲に粒状物
を散布することができる。
ルの周囲には、前記気体噴出ノズルが等間隔に3以上の
奇数個配置される。これによって、任意の2つの前記気
体噴出ノズルから噴出される高圧気体の噴出方向が対向
し、前記高圧気体がぶつかり合うことを防止することが
できる。このため、より均一に、かつ広い範囲に粒状物
を散布することができる。
【0082】また本発明によれば、前記筺体の上部には
密閉部材によって密閉された密閉空間が形成される。前
記密閉空間には、筺体の取付穴に挿通され、筺体内部で
気体噴出ノズルと一方開口部が接続される挿通孔を有す
る回動部材の突出部分が配置され、ローラ駆動モータの
回転が伝達されて回動部材が回動される。前記密閉空間
内は外部から気体が流込まれて高圧にされ、密閉空間内
に開口する前記挿通孔に気体が流入し、気体噴出ノズル
から筺体内部に噴出する。これによって、気体噴出ノズ
ルの回動を妨げる事なく、かつ簡単な構成で気体噴出ノ
ズルに高圧気体を供給することができる。
密閉部材によって密閉された密閉空間が形成される。前
記密閉空間には、筺体の取付穴に挿通され、筺体内部で
気体噴出ノズルと一方開口部が接続される挿通孔を有す
る回動部材の突出部分が配置され、ローラ駆動モータの
回転が伝達されて回動部材が回動される。前記密閉空間
内は外部から気体が流込まれて高圧にされ、密閉空間内
に開口する前記挿通孔に気体が流入し、気体噴出ノズル
から筺体内部に噴出する。これによって、気体噴出ノズ
ルの回動を妨げる事なく、かつ簡単な構成で気体噴出ノ
ズルに高圧気体を供給することができる。
【0083】また本発明によれば、前記対象物は液晶表
示装置の基板部材であり、前記粒状物はスペーサであ
る。したがって、本装置を用いてスペーサを散布した基
板部材で形成される液晶表示装置の表示の信頼性を向上
させることができる。
示装置の基板部材であり、前記粒状物はスペーサであ
る。したがって、本装置を用いてスペーサを散布した基
板部材で形成される液晶表示装置の表示の信頼性を向上
させることができる。
【図1】本発明の一実施例である粒状物散布装置の簡略
化した構成を示す断面図である。
化した構成を示す断面図である。
【図2】図1の散布ノズル37周辺の部分断面図であ
る。
る。
【図3】図1の散布ノズル37周辺の分解断面図である
【図4】接地手段36を取付け、かつ基板部材34を載
置した載置台35の斜視図である。
置した載置台35の斜視図である。
【図5】図4の載置台35の部分断面図である。
【図6】従来例である粒状物散布装置の簡略化した構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図7】図6の散布ノズル3の首振り機構4の平面図で
ある。
ある。
【図8】図6の散布ノズル3の散布領域を示す図であ
る。
る。
31 筺体 32 第1筺体 32a 取付穴 33 第2筺体 34 基板部材 35 載置台 36 接地手段 37 散布ノズル 38 放電針 39 電源 40 気体噴出ノズル 41 配管 42 ガス供給手段 43 噴射用気体源 44 フィルタ 45 スペーサ 53 回動部材 54 モータ 55 歯車 56 タイミングベルト 57 密閉部材 57a 第1挿通孔 57b 第2挿通孔 61 貫通穴 67 制御手段
Claims (10)
- 【請求項1】 粒状物を散布すべき対象物を保持する保
持手段と、 前記保持手段の上方に配置される散布ノズルを有し、当
該散布ノズルから下方に向けて粒状物を噴出する粒状物
散布手段と、 前記散布ノズルを中心として回動可能に配置され、かつ
前記散布ノズルと所定の角度で配置される気体噴出ノズ
ルを有し、当該気体噴出ノズルから気体を噴出する気体
噴出手段と、 前記保持手段、散布ノズル、および気体噴出ノズルを覆
う筺体と、 前記気体噴出ノズルの回動を制御して、散布ノズルから
散布される粒状物の散布方向を変化させる制御手段とを
含むことを特徴とする粒状物散布装置。 - 【請求項2】 前記散布ノズルと気体噴出ノズルとの成
す角θは、0°<θ<90°の範囲に選ばれることを特
徴とする請求項1記載の粒状物散布装置。 - 【請求項3】 前記散布ノズルの先端付近に配置され、
散布される粒状物に対して電荷を与える電荷付与手段を
含むことを特徴とする請求項1記載の粒状物散布装置。 - 【請求項4】 前記粒状物が絶縁性の高い材料から成る
ことを特徴とする請求項3記載の粒状物散布装置。 - 【請求項5】 前記筺体は、内側に配置される第1筺体
と、外側に配置される第2筺体とを含んで構成され、 第1筺体は、前記電荷付与手段によって電荷が与えられ
た粒状物の電位と同じ電位に保持され、 第2筺体は接地されることを特徴とする請求項3記載の
粒状物散布装置。 - 【請求項6】 前記対象物は、配線が配設された基板で
あり、 前記配線を接地する接地手段を含むことを特徴とする請
求項3記載の粒状物散布装置。 - 【請求項7】 前記粒状物散布手段は、 前記粒状物がフィルタ上に堆積して収納された容器の前
記フィルタの下方から気体を噴出し、前記容器の上方に
設けられた噴出孔から粒状物を噴出させる粒状物供給手
段と、 前記噴出孔と散布ノズルとを接続する配管とを含んで構
成され、 前記配管が絶縁体から成ることを特徴とする請求項3記
載の粒状物散布装置。 - 【請求項8】 前記気体噴出ノズルが3以上の奇数個設
けられ、かつ等間隔に配置されることを特徴とする請求
項1記載の粒状物散布装置。 - 【請求項9】 前記筺体はその上部に取付穴を有し、 前記筺体の取付穴に筺体の外部に一部分が突出して回動
可能に取付けられる略円筒状体であって、当該円筒状体
は、筺体内部に位置する一方開口部から前記突出部分に
位置する他方開口部に挿通する挿通孔を有し、円筒状体
内部に前記散布ノズルが配置され、前記一方開口部に前
記気体噴出ノズルが取付けられる回動部材と、 前記筺体の外部に配置されるローラと、 前記回動部材の突出部分と前記ローラとに巻回されるベ
ルトと、 前記ローラを駆動するローラ駆動モータと、 少なくとも前記回動部材の突出部分と、前記ローラと、
前記ベルトとを覆って密閉空間を形成し、前記散布ノズ
ルが挿通される第1挿通孔と、前記密閉空間に気体を流
込むための第2挿通孔とを有する密閉部材とを含み、 前記制御手段は、前記ローラ駆動モータの動作を制御す
ることを特徴とする請求項1記載の粒状物散布装置。 - 【請求項10】 前記対象物は、一対の基板部材が所定
の間隔をあけて配置される液晶パネルの前記一対の基板
部材のうちいずれか一方基板部材であり、 前記粒状物は、前記一対の基板部材の間隔を制御するス
ペーサであることを特徴とする請求項6記載の粒状物散
布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10233195A JPH08294659A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 粒状物散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10233195A JPH08294659A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 粒状物散布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08294659A true JPH08294659A (ja) | 1996-11-12 |
Family
ID=14324547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10233195A Pending JPH08294659A (ja) | 1995-04-26 | 1995-04-26 | 粒状物散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08294659A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| JP2006051491A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-23 | Nisshin Engineering Co Ltd | 粉体の散布装置 |
| WO2024155122A1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-25 | 대영전기(주) | 스프레이 접착 방식을 적용한 적층 코어 제조 장치 및 방법 |
| WO2024155121A1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-25 | 대영전기(주) | 스프레이 접착 방식을 적용한 적층 코어 제조 장치 및 방법 |
-
1995
- 1995-04-26 JP JP10233195A patent/JPH08294659A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1138419A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Nec Corp | スペーサ散布装置 |
| US6190456B1 (en) | 1997-07-17 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Spacer spraying device |
| JP2006051491A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-23 | Nisshin Engineering Co Ltd | 粉体の散布装置 |
| WO2024155122A1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-25 | 대영전기(주) | 스프레이 접착 방식을 적용한 적층 코어 제조 장치 및 방법 |
| WO2024155121A1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-25 | 대영전기(주) | 스프레이 접착 방식을 적용한 적층 코어 제조 장치 및 방법 |
| KR20240116117A (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-29 | 대영전기 주식회사 | 스프레이 접착 방식을 적용한 적층 코어 제조 장치 및 방법 |
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