JPH0830267B2 - 電子ビ−ム蒸発源装置 - Google Patents
電子ビ−ム蒸発源装置Info
- Publication number
- JPH0830267B2 JPH0830267B2 JP9203887A JP9203887A JPH0830267B2 JP H0830267 B2 JPH0830267 B2 JP H0830267B2 JP 9203887 A JP9203887 A JP 9203887A JP 9203887 A JP9203887 A JP 9203887A JP H0830267 B2 JPH0830267 B2 JP H0830267B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- crucible
- electron beam
- output
- source device
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はるつぶ内の物質を電子銃の出力電子ビームに
より照射して加熱蒸発させる主として真空蒸着用の蒸発
源装置に関する。
より照射して加熱蒸発させる主として真空蒸着用の蒸発
源装置に関する。
（従来の技術） 従来、この種の蒸発源装置として、例えば特公昭51−
6025号公報に見られるように、励磁体の左右の磁極板間
に、るつぼとその前方下側の電子銃とを設け、該電子銃
の出力電子ビームを両磁極板間の磁場作用により彎曲さ
せてるつぼ内にその前側上面から導くようにし、さらに
該るつぼ内の物質に全体的な加熱を加えるために該出力
電子ビームの通路に沿つて左右１対に補助励磁コイルを
設け、これらのコイルを交互に逆方向に励磁して該出力
電子ビームに左右交互の偏向を生じさせるようにしたも
のが知られている。
6025号公報に見られるように、励磁体の左右の磁極板間
に、るつぼとその前方下側の電子銃とを設け、該電子銃
の出力電子ビームを両磁極板間の磁場作用により彎曲さ
せてるつぼ内にその前側上面から導くようにし、さらに
該るつぼ内の物質に全体的な加熱を加えるために該出力
電子ビームの通路に沿つて左右１対に補助励磁コイルを
設け、これらのコイルを交互に逆方向に励磁して該出力
電子ビームに左右交互の偏向を生じさせるようにしたも
のが知られている。
（発明が解決しようとする問題点） 前記のものは、励磁体の電流値を変化させれば、出力
電子ビームがるつぼ内の前後に移動され、同時に補助励
磁コイルを交互に励磁することにより出力電子ビームを
左右に移動させ得るので、るつぼ内の物質に全体的に出
力電子ビームを照射することが可能であるが、これら励
磁コイル、補助励磁コイルのスイープ周波数は、鉄心に
巻線したことによりうず電流が多く流れたり、巻数が多
いためリアクタンスが大きくなるので通常の交流電源で
は22Hz以下に低下する。従つて出力電子ビームで蒸発面
上にスイープした場合、蒸発面にエネルギー密度の濃淡
が出来、均一な蒸発を行なうことが難しく、蒸着膜厚分
布の再現性が悪くなる不都合を生じる。とりわけ、Cr等
の昇華物を蒸着する場合、出力電子ビームの照射点の物
質が昇華するので、スイープ周波数を大きくして蒸発の
偏在を防ぐことが均一な膜厚分布を得る上で望ましい。
電子ビームがるつぼ内の前後に移動され、同時に補助励
磁コイルを交互に励磁することにより出力電子ビームを
左右に移動させ得るので、るつぼ内の物質に全体的に出
力電子ビームを照射することが可能であるが、これら励
磁コイル、補助励磁コイルのスイープ周波数は、鉄心に
巻線したことによりうず電流が多く流れたり、巻数が多
いためリアクタンスが大きくなるので通常の交流電源で
は22Hz以下に低下する。従つて出力電子ビームで蒸発面
上にスイープした場合、蒸発面にエネルギー密度の濃淡
が出来、均一な蒸発を行なうことが難しく、蒸着膜厚分
布の再現性が悪くなる不都合を生じる。とりわけ、Cr等
の昇華物を蒸着する場合、出力電子ビームの照射点の物
質が昇華するので、スイープ周波数を大きくして蒸発の
偏在を防ぐことが均一な膜厚分布を得る上で望ましい。
本発明はこうしたスイープ周波数の低下の不都合のな
い電子ビーム蒸発源装置を提供することを目的とするも
のである。
い電子ビーム蒸発源装置を提供することを目的とするも
のである。
（問題点を解決するための手段） 本発明では、励磁コイルその他の励磁体の両外側の左
右１対の磁極板間に、るつぼとその前方下側の電子銃と
を設け、該電子銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場
の作用により彎曲させてるつぼ内にその前面上側から導
かせるようにしたものに於て、環状鉄心に、左右の巻き
線方向を変えた第１コイルと、巻き始めを第１コイルの
ものとずらし且つ左右の巻き線方向を変えた第２コイル
とを設けて補助コイルを構成し、これの環状鉄心を介し
て前記出力電子ビームをるつぼへ導くと共に各第１、第
２コイルへ交流を通電することにより該出力電子ビーム
に前後左右の偏向を生じさせて前記問題点を解決するよ
うにした。
右１対の磁極板間に、るつぼとその前方下側の電子銃と
を設け、該電子銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場
の作用により彎曲させてるつぼ内にその前面上側から導
かせるようにしたものに於て、環状鉄心に、左右の巻き
線方向を変えた第１コイルと、巻き始めを第１コイルの
ものとずらし且つ左右の巻き線方向を変えた第２コイル
とを設けて補助コイルを構成し、これの環状鉄心を介し
て前記出力電子ビームをるつぼへ導くと共に各第１、第
２コイルへ交流を通電することにより該出力電子ビーム
に前後左右の偏向を生じさせて前記問題点を解決するよ
うにした。
（作用） 真空中に該蒸発源装置を設置し、電子銃を作動させる
と、これより出力する電子ビームは励磁体の磁極板間の
磁場の作用によりるつぼ内へ導かれ、るつぼ内の蒸発物
質が蒸発するが、その際補助電子コイルの第１、第２コ
イルに通電すると、その電源周波数とほぼ同周波数で出
力電子ビームが前後左右に迅速にるつぼ内で偏向し、蒸
発面のエネルギー密度の濃淡が少なくなり、均一な蒸発
を行なえ、均一な膜厚分布の蒸着膜を形成出来る。
と、これより出力する電子ビームは励磁体の磁極板間の
磁場の作用によりるつぼ内へ導かれ、るつぼ内の蒸発物
質が蒸発するが、その際補助電子コイルの第１、第２コ
イルに通電すると、その電源周波数とほぼ同周波数で出
力電子ビームが前後左右に迅速にるつぼ内で偏向し、蒸
発面のエネルギー密度の濃淡が少なくなり、均一な蒸発
を行なえ、均一な膜厚分布の蒸着膜を形成出来る。
（実施例） 本発明の実施例を別紙図面に基づき説明すると、第１
図乃至第３図に於て符号（１）は励磁コイル或は永久磁
石から成る励磁体、（２）（２）は該励磁体（１）の両
外側に前後方向に設けられ該励磁体（１）によりＮ極と
Ｓ極とに励磁される１対の磁極板、（３）は蒸発物質
（４）を収容して該磁極板（２）（２）間に設けられた
るつぼ、（５）は該るつぼ（３）の前方下側に設けられ
た電子銃を示し、該電子銃（５）からの出力電子ビーム
（６）を両磁極板（２）（２）の磁場の作用により彎曲
させてるつぼ（３）内へその前方上側から導き、蒸発物
質（４）の加熱蒸発が行なわれるようにした。こうした
構成は従来のものと同様であり、該出力電子ビーム
（６）で蒸発物質（４）を全体的に加熱するには、該出
力電子ビーム（６）に前後左右に偏向を与えてるつぼ
（３）内へ導く必要があるが、その際該偏向の周波数即
ちスイープ周波数が小さいと蒸発物質（４）の蒸発面に
エネルギー密度の濃淡を生じ、均一な蒸発を行なうこと
が難しくなるのでスイープ周波数を大きくすることが望
ましい。
図乃至第３図に於て符号（１）は励磁コイル或は永久磁
石から成る励磁体、（２）（２）は該励磁体（１）の両
外側に前後方向に設けられ該励磁体（１）によりＮ極と
Ｓ極とに励磁される１対の磁極板、（３）は蒸発物質
（４）を収容して該磁極板（２）（２）間に設けられた
るつぼ、（５）は該るつぼ（３）の前方下側に設けられ
た電子銃を示し、該電子銃（５）からの出力電子ビーム
（６）を両磁極板（２）（２）の磁場の作用により彎曲
させてるつぼ（３）内へその前方上側から導き、蒸発物
質（４）の加熱蒸発が行なわれるようにした。こうした
構成は従来のものと同様であり、該出力電子ビーム
（６）で蒸発物質（４）を全体的に加熱するには、該出
力電子ビーム（６）に前後左右に偏向を与えてるつぼ
（３）内へ導く必要があるが、その際該偏向の周波数即
ちスイープ周波数が小さいと蒸発物質（４）の蒸発面に
エネルギー密度の濃淡を生じ、均一な蒸発を行なうこと
が難しくなるのでスイープ周波数を大きくすることが望
ましい。
本発明ではこうした要望を満足すべく、出力電子ビー
ム（６）を補助コイル（７）の環状内を通してるつぼ
（３）へと導くようにし、該補助コイル（７）の第１コ
イル（８）と第２コイル（９）に交流を通電するように
した。該補助コイル（７）の詳細は第３図乃至第５図示
の如くであり、環状鉄心（10）に第４図に見られるよう
に左右半分ずつ巻線方向を変えて第１コイル（８）を巻
き付け、これに重ねて第５図に見られるように左右半分
ずつ巻線方向を変えて且つ第１コイル（８）の巻き始め
の位置（11）と位相で例えば90°ずらして第２コイル
（９）を巻き付けることにより構成される。そして第１
コイル（８）及び第２コイル（９）に１つ或は２つの電
源（12）（12）から例えば50Hzの交流を通電すると、環
状鉄心（10）の環内を通して導かれた出力電子ビーム
（６）は両コイル（８）（９）により発生する磁界によ
り誘導され、るつぼ（３）内で前後左右に偏向し、その
磁界の方向は該環状鉄心（10）に於けるうず電流が少な
くしかもコイル（８）（９）の巻き数を少なくして発生
させることが出来るので該電源（12）（12）の周波数と
ほぼ同周波数で磁界の方向に変化を生じさせ得る。
ム（６）を補助コイル（７）の環状内を通してるつぼ
（３）へと導くようにし、該補助コイル（７）の第１コ
イル（８）と第２コイル（９）に交流を通電するように
した。該補助コイル（７）の詳細は第３図乃至第５図示
の如くであり、環状鉄心（10）に第４図に見られるよう
に左右半分ずつ巻線方向を変えて第１コイル（８）を巻
き付け、これに重ねて第５図に見られるように左右半分
ずつ巻線方向を変えて且つ第１コイル（８）の巻き始め
の位置（11）と位相で例えば90°ずらして第２コイル
（９）を巻き付けることにより構成される。そして第１
コイル（８）及び第２コイル（９）に１つ或は２つの電
源（12）（12）から例えば50Hzの交流を通電すると、環
状鉄心（10）の環内を通して導かれた出力電子ビーム
（６）は両コイル（８）（９）により発生する磁界によ
り誘導され、るつぼ（３）内で前後左右に偏向し、その
磁界の方向は該環状鉄心（10）に於けるうず電流が少な
くしかもコイル（８）（９）の巻き数を少なくして発生
させることが出来るので該電源（12）（12）の周波数と
ほぼ同周波数で磁界の方向に変化を生じさせ得る。
該るつぼ（３）の蒸発面に於て出力電子ビーム（６）
を第６図のＸ方向に偏向即ちスイープさせるには補助コ
イル（７）にB2の磁束密度が必要で、Ｙ方向にスイープ
させるにはB1の磁束密度が必要になるが、前記のような
巻き方の２つのコイル（８）（９）を一つの環状鉄心
（10）に設けることにより、１つの補助コイル（７）で
B1、B2の磁束密度を得ることが出来、各コイル（８）
（９）への電流値を変えればＸ方向、Ｙ方向のスイープ
範囲を制御出来る。
を第６図のＸ方向に偏向即ちスイープさせるには補助コ
イル（７）にB2の磁束密度が必要で、Ｙ方向にスイープ
させるにはB1の磁束密度が必要になるが、前記のような
巻き方の２つのコイル（８）（９）を一つの環状鉄心
（10）に設けることにより、１つの補助コイル（７）で
B1、B2の磁束密度を得ることが出来、各コイル（８）
（９）への電流値を変えればＸ方向、Ｙ方向のスイープ
範囲を制御出来る。
該補助コイル（７）は、電子線照射装置の電子線偏向
器或はイオン注入装置のイオンビームの偏向器として使
用することも可能である。
器或はイオン注入装置のイオンビームの偏向器として使
用することも可能である。
（発明の効果） 以上のように本発明によるときは、電子銃からの出力
電子ビームを、環状鉄心に左右の巻き線方向を変えた第
１コイルと、巻き始めの位置をずらし且つ左右の巻き線
方向を変えた第２コイルとを巻いて構成した補助コイル
を介してるつぼへと導き、これら第１、第２コイルに交
流を通電するようにしたので、該交流の周波数とほぼ同
周波数で出力電子ビームをるつぼ内の前後左右に偏向さ
せ得、蒸発物をエネルギー濃淡を少なくして均一に加熱
することが出来、蒸着膜の膜厚分布が均一化され特に昇
華物の蒸発を均一に行なえて有利である等の効果があ
る。
電子ビームを、環状鉄心に左右の巻き線方向を変えた第
１コイルと、巻き始めの位置をずらし且つ左右の巻き線
方向を変えた第２コイルとを巻いて構成した補助コイル
を介してるつぼへと導き、これら第１、第２コイルに交
流を通電するようにしたので、該交流の周波数とほぼ同
周波数で出力電子ビームをるつぼ内の前後左右に偏向さ
せ得、蒸発物をエネルギー濃淡を少なくして均一に加熱
することが出来、蒸着膜の膜厚分布が均一化され特に昇
華物の蒸発を均一に行なえて有利である等の効果があ
る。
第１図は本発明の実施例の全体斜視図、第２図は第１図
のII−II線断面図、第３図は補助コイルの平面図、第４
図及び第５図は補助コイルの第１コイル及び第２コイル
の巻き線状態の説明図、第６図は使用状態の説明図であ
る。 （１）…励磁体、（２）（２）…磁極板 （３）…るつぼ、（５）…電子銃 （６）…出力電子ビーム、（７）…補助コイル （８）…第１コイル、（９）…第２コイル （10）…環状鉄心
のII−II線断面図、第３図は補助コイルの平面図、第４
図及び第５図は補助コイルの第１コイル及び第２コイル
の巻き線状態の説明図、第６図は使用状態の説明図であ
る。 （１）…励磁体、（２）（２）…磁極板 （３）…るつぼ、（５）…電子銃 （６）…出力電子ビーム、（７）…補助コイル （８）…第１コイル、（９）…第２コイル （10）…環状鉄心
Claims (1)
- 【請求項１】励磁コイルその他の励磁体の両外側の左右
１対の磁極板間に、るつぼとその前方下側の電子銃とを
設け、該電子銃の出力電子ビームを両磁極板間の磁場の
作用により彎曲させてるつぼ内にその前面上側から導か
せるようにしたものに於て、環状鉄心に、左右の巻き線
方向を変えた第１コイルと、巻き始めを第１コイルのも
のとずらし且つ左右の巻き線方向を変えた第２コイルと
を設けて補助コイルを構成し、これの環状鉄心を介して
前記出力電子ビームをるつぼへ導くと共に各第１、第２
コイルへ交流を通電することにより該出力電子ビームに
前後左右の偏向を生じさせるようにしたことを特徴とす
る電子ビーム蒸発源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9203887A JPH0830267B2 (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | 電子ビ−ム蒸発源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9203887A JPH0830267B2 (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | 電子ビ−ム蒸発源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259073A JPS63259073A (ja) | 1988-10-26 |
| JPH0830267B2 true JPH0830267B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=14043359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9203887A Expired - Lifetime JPH0830267B2 (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | 電子ビ−ム蒸発源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830267B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5346554A (en) * | 1990-04-12 | 1994-09-13 | Seiko Instruments Inc. | Apparatus for forming a thin film |
| JP6815473B1 (ja) * | 2019-12-24 | 2021-01-20 | 株式会社アルバック | 電子銃装置及び蒸着装置 |
-
1987
- 1987-04-16 JP JP9203887A patent/JPH0830267B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63259073A (ja) | 1988-10-26 |
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