JPH08303887A - パルス管冷凍機の高低圧切替え機構 - Google Patents
パルス管冷凍機の高低圧切替え機構Info
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- JPH08303887A JPH08303887A JP11488795A JP11488795A JPH08303887A JP H08303887 A JPH08303887 A JP H08303887A JP 11488795 A JP11488795 A JP 11488795A JP 11488795 A JP11488795 A JP 11488795A JP H08303887 A JPH08303887 A JP H08303887A
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- low pressure
- regenerator
- valve
- pressure
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
- F25B9/145—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle pulse-tube cycle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1408—Pulse-tube cycles with pulse tube having U-turn or L-turn type geometrical arrangements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
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- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1418—Pulse-tube cycles with valves in gas supply and return lines
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- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 運転中においても任意に高低圧の切替えタイ
ミングを変更できる高低圧切替え機構を提供すること。 【構成】 蓄冷器側弁座30の外側に円筒形状の蓄冷器
側ハウジング32を、パルス管側弁座31の外側に円筒
形状のパルス管側ハウジング33をそれぞれ弁座に固定
的に設け、蓄冷器側ハウジング32の円筒内周の一端に
雌螺子部32aを設け、パルス管側ハウジング33の円
筒外周の一端に雄螺子部33aを設け、雌螺子部32a
と雄螺子部33aとを螺合させることにより、蓄冷器側
ハウジング32とパルス管側ハウジング33とを回動可
能に連結したこと。
ミングを変更できる高低圧切替え機構を提供すること。 【構成】 蓄冷器側弁座30の外側に円筒形状の蓄冷器
側ハウジング32を、パルス管側弁座31の外側に円筒
形状のパルス管側ハウジング33をそれぞれ弁座に固定
的に設け、蓄冷器側ハウジング32の円筒内周の一端に
雌螺子部32aを設け、パルス管側ハウジング33の円
筒外周の一端に雄螺子部33aを設け、雌螺子部32a
と雄螺子部33aとを螺合させることにより、蓄冷器側
ハウジング32とパルス管側ハウジング33とを回動可
能に連結したこと。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高圧出力と低圧出力と
を切り換える高低圧切替え機構に関し、特に出力を複数
箇所で取り出すことができる高低圧切替え機構に関する
ものである。
を切り換える高低圧切替え機構に関し、特に出力を複数
箇所で取り出すことができる高低圧切替え機構に関する
ものである。
【0002】本発明による高低圧切替え機構は特にパル
ス管冷凍機の圧力振動源、位相調節機構等に利用でき
る。
ス管冷凍機の圧力振動源、位相調節機構等に利用でき
る。
【0003】
【従来の技術】気体の高圧状態と低圧状態とを利用する
産業分野は空調装置、冷凍機等幅広い分野に渡ってい
る。これらに利用される高低圧切替え機構についての従
来技術をパルス管冷凍機に使用するものを例に取り説明
する。
産業分野は空調装置、冷凍機等幅広い分野に渡ってい
る。これらに利用される高低圧切替え機構についての従
来技術をパルス管冷凍機に使用するものを例に取り説明
する。
【0004】パルス管冷凍機の基本的な冷凍原理は、圧
力振動源により作動ガスを往復動させるとともに、位相
調節機構により作動ガスの往復動と圧力の変化に位相差
をもたせ、それにより、作動ガスの往復動中、一端で熱
を奪い、他端で熱を吐き出す動作を蓄冷器内で連続的に
行わしめ、蓄冷器の片側に連結しているコールドヘッド
において冷凍を発生させるものである。
力振動源により作動ガスを往復動させるとともに、位相
調節機構により作動ガスの往復動と圧力の変化に位相差
をもたせ、それにより、作動ガスの往復動中、一端で熱
を奪い、他端で熱を吐き出す動作を蓄冷器内で連続的に
行わしめ、蓄冷器の片側に連結しているコールドヘッド
において冷凍を発生させるものである。
【0005】図3は、第1従来例のパルス管冷凍機の全
体図を示すものであり、このような構成のものは4バル
ブ方式のパルス管冷凍機と言われるものである。図にお
いて、コンプレッサ1は、その吐出側2において蓄冷器
側高圧連通路3と連結しており、蓄冷器側高圧連通路3
の先端には蓄冷器側高圧開閉弁4が介装されている。
体図を示すものであり、このような構成のものは4バル
ブ方式のパルス管冷凍機と言われるものである。図にお
いて、コンプレッサ1は、その吐出側2において蓄冷器
側高圧連通路3と連結しており、蓄冷器側高圧連通路3
の先端には蓄冷器側高圧開閉弁4が介装されている。
【0006】またコンプレッサ1の吸入側5には蓄冷器
側低圧連通路6が連結しており、蓄冷器側低圧連通路6
の先端には蓄冷器側低圧開閉弁7が介装されている。蓄
冷器側高圧開閉弁4と蓄冷器側低圧開閉弁7は蓄冷器側
弁制御装置8により排他的に開閉制御される。蓄冷器側
高圧連通路3の途中にはパルス管側高圧連通路9が連結
されている。パルス管側高圧連通路9の先端にはパルス
管側高圧開閉弁10が介装されている。また蓄冷器側低
圧連通路6の途中にはパルス管側低圧連通路11が連結
されている。パルス管側低圧連通路11の先端にはパル
ス管側低圧開閉弁12が介装されている。パルス管側高
圧開閉弁10とパルス管側低圧開閉弁12はパルス管側
弁制御装置13により排他的に開閉制御される。このよ
うに、コンプレッサ1の吐出側2における高圧状態を蓄
冷器側高圧連通路3及びパルス管側高圧連通路9で共有
し、コンプレッサ1の吸入側5における低圧状態を蓄冷
器側低圧連通路6及びパルス管側低圧連通路11で共有
した構成となっている。蓄冷器側高圧開閉弁4と蓄冷器
側低圧開閉弁7は、蓄冷器側導管14により共に蓄冷器
15に連結されている。またパルス管側高圧開閉弁10
及びパルス管側低圧開閉弁12は、パルス管側導管16
により絞り機構17を介して共にパルス管18に連結さ
れている。蓄冷器15はその低温端19においてコール
ドヘッド20に連結され、さらにコールドヘッド20は
パルス管18に連結される構成となっている。
側低圧連通路6が連結しており、蓄冷器側低圧連通路6
の先端には蓄冷器側低圧開閉弁7が介装されている。蓄
冷器側高圧開閉弁4と蓄冷器側低圧開閉弁7は蓄冷器側
弁制御装置8により排他的に開閉制御される。蓄冷器側
高圧連通路3の途中にはパルス管側高圧連通路9が連結
されている。パルス管側高圧連通路9の先端にはパルス
管側高圧開閉弁10が介装されている。また蓄冷器側低
圧連通路6の途中にはパルス管側低圧連通路11が連結
されている。パルス管側低圧連通路11の先端にはパル
ス管側低圧開閉弁12が介装されている。パルス管側高
圧開閉弁10とパルス管側低圧開閉弁12はパルス管側
弁制御装置13により排他的に開閉制御される。このよ
うに、コンプレッサ1の吐出側2における高圧状態を蓄
冷器側高圧連通路3及びパルス管側高圧連通路9で共有
し、コンプレッサ1の吸入側5における低圧状態を蓄冷
器側低圧連通路6及びパルス管側低圧連通路11で共有
した構成となっている。蓄冷器側高圧開閉弁4と蓄冷器
側低圧開閉弁7は、蓄冷器側導管14により共に蓄冷器
15に連結されている。またパルス管側高圧開閉弁10
及びパルス管側低圧開閉弁12は、パルス管側導管16
により絞り機構17を介して共にパルス管18に連結さ
れている。蓄冷器15はその低温端19においてコール
ドヘッド20に連結され、さらにコールドヘッド20は
パルス管18に連結される構成となっている。
【0007】上記構成のパルス管冷凍機において、パル
ス管側弁制御装置13によりパルス管側高圧開閉弁10
が開となり、パルス管側低圧開閉弁12が閉となると、
高圧の作動ガスがパルス管側導管16を経てパルス管1
8内に侵入する。また蓄冷器側弁制御装置8により蓄冷
器側高圧開閉弁4が開となり、蓄冷器側低圧開閉弁7が
閉となると、高圧の作動ガスが蓄冷器側導管14を経て
蓄冷器15内に侵入する。蓄冷器側高圧開閉弁4とパル
ス管側高圧開閉弁10の開タイミングをそれぞれの弁制
御装置でわずかにズラすことにより、作動ガスの圧縮と
移動に位相差を生じさせる。蓄冷器15が高圧状態とな
った後に、パルス管側弁制御装置13によりパルス管側
高圧開閉弁10が閉となり、パルス管側低圧開閉弁12
が開となると、パルス管18内の高圧の作動ガスがパル
ス管側導管16を経てコンプレッサ1の吸入側5に帰還
する。また蓄冷器側弁制御装置8により蓄冷器側高圧開
閉弁4が閉となり、蓄冷器側低圧開閉弁7が開となる
と、蓄冷器15内の高圧の作動ガスが蓄冷器側導管14
を経てコンプレッサ1の吸入側4に帰還する。蓄冷器側
低圧開閉弁7とパルス管側低圧開閉弁12の開タイミン
グをそれぞれの弁制御装置でわずかにズラすことによ
り、作動ガスの膨張と移動に位相差を生じさせる。
ス管側弁制御装置13によりパルス管側高圧開閉弁10
が開となり、パルス管側低圧開閉弁12が閉となると、
高圧の作動ガスがパルス管側導管16を経てパルス管1
8内に侵入する。また蓄冷器側弁制御装置8により蓄冷
器側高圧開閉弁4が開となり、蓄冷器側低圧開閉弁7が
閉となると、高圧の作動ガスが蓄冷器側導管14を経て
蓄冷器15内に侵入する。蓄冷器側高圧開閉弁4とパル
ス管側高圧開閉弁10の開タイミングをそれぞれの弁制
御装置でわずかにズラすことにより、作動ガスの圧縮と
移動に位相差を生じさせる。蓄冷器15が高圧状態とな
った後に、パルス管側弁制御装置13によりパルス管側
高圧開閉弁10が閉となり、パルス管側低圧開閉弁12
が開となると、パルス管18内の高圧の作動ガスがパル
ス管側導管16を経てコンプレッサ1の吸入側5に帰還
する。また蓄冷器側弁制御装置8により蓄冷器側高圧開
閉弁4が閉となり、蓄冷器側低圧開閉弁7が開となる
と、蓄冷器15内の高圧の作動ガスが蓄冷器側導管14
を経てコンプレッサ1の吸入側4に帰還する。蓄冷器側
低圧開閉弁7とパルス管側低圧開閉弁12の開タイミン
グをそれぞれの弁制御装置でわずかにズラすことによ
り、作動ガスの膨張と移動に位相差を生じさせる。
【0008】このように、蓄冷器側を出入りする作動ガ
ス及びパルス管を出入りする作動ガスに変位変動と圧力
変動の位相差を生じさせることにより、コールドヘッド
20において冷凍を発生する。
ス及びパルス管を出入りする作動ガスに変位変動と圧力
変動の位相差を生じさせることにより、コールドヘッド
20において冷凍を発生する。
【0009】図4は、パルス管冷凍機における別の第2
従来例であるが、前述の第1従来例と同一部分には同一
符号で示し、その説明を省略する。
従来例であるが、前述の第1従来例と同一部分には同一
符号で示し、その説明を省略する。
【0010】図4において、21は高低圧切替え機構で
あり、入力ポートとして高圧側ポート22及び低圧側ポ
ート23を、出力ポートとして蓄冷器側ポート24とパ
ルス管側ポート25を備える。高圧側ポート22は高圧
連通路3と、低圧側ポート23は低圧連通路6と連結さ
れる。また蓄冷器側ポート24は蓄冷器側導管14と、
パルス管側ポート25はパルス管側導管16と連結され
る。高低圧切替え機構21は内部にロータリ弁を有し、
該ロータリ弁には連絡路が形成されている。またロータ
リ弁はモータ26の出力軸に固定されており、モータ2
6の駆動によりロータリ弁は高低圧切替え機構の内部で
回転する。ロータリ弁が回転することにより、高低圧切
替え機構21の各入力ポートと各出力ポートが連結、遮
断し、これにより出力ポートにおいて高圧を出力したり
低圧を出力したりする。
あり、入力ポートとして高圧側ポート22及び低圧側ポ
ート23を、出力ポートとして蓄冷器側ポート24とパ
ルス管側ポート25を備える。高圧側ポート22は高圧
連通路3と、低圧側ポート23は低圧連通路6と連結さ
れる。また蓄冷器側ポート24は蓄冷器側導管14と、
パルス管側ポート25はパルス管側導管16と連結され
る。高低圧切替え機構21は内部にロータリ弁を有し、
該ロータリ弁には連絡路が形成されている。またロータ
リ弁はモータ26の出力軸に固定されており、モータ2
6の駆動によりロータリ弁は高低圧切替え機構の内部で
回転する。ロータリ弁が回転することにより、高低圧切
替え機構21の各入力ポートと各出力ポートが連結、遮
断し、これにより出力ポートにおいて高圧を出力したり
低圧を出力したりする。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のパルス
管冷凍機の内、第1従来例においては蓄冷器側の開閉弁
の制御とパルス管側の開閉弁の制御とは独立してされな
ければならず、制御が複雑となるばかりでなく、弁制御
装置が2つ必要なため、コストアップにつながる。また
第2実施例においては作動ガスの変位変動と圧力変動と
の位相差が固定されているために位相差を変化させたい
とき、例えば位相差を逆転させてコールドヘッドを昇温
させる場合、またはそのときの運転条件に見合った最適
の位相差を調査するために位相差を変化させたい場合等
には運転を停止させて分解しなければならなかった。故
に、本発明は、高低圧の切替えに供する駆動制御手段が
1つの簡単な構成で、且つ装置を分解せずに作動ガスの
位相差を変化させ得る高低圧切替え機構を提供すること
を技術的課題とするものである。
管冷凍機の内、第1従来例においては蓄冷器側の開閉弁
の制御とパルス管側の開閉弁の制御とは独立してされな
ければならず、制御が複雑となるばかりでなく、弁制御
装置が2つ必要なため、コストアップにつながる。また
第2実施例においては作動ガスの変位変動と圧力変動と
の位相差が固定されているために位相差を変化させたい
とき、例えば位相差を逆転させてコールドヘッドを昇温
させる場合、またはそのときの運転条件に見合った最適
の位相差を調査するために位相差を変化させたい場合等
には運転を停止させて分解しなければならなかった。故
に、本発明は、高低圧の切替えに供する駆動制御手段が
1つの簡単な構成で、且つ装置を分解せずに作動ガスの
位相差を変化させ得る高低圧切替え機構を提供すること
を技術的課題とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために、本発明の請求項1において講じた技術的手段
(以下、第1の技術的手段と称する。)は、駆動源と、
該駆動源に連結され前記駆動源からの出力を回転力とし
て伝達する駆動回転軸と、前記駆動回転軸と連結され常
に高圧状態である高圧連通孔と常に低圧状態である低圧
連通孔を有する複数のロータリ弁と、該ロータリ弁と対
面的に固定され、切替え通路孔を有する前記ロータリ弁
と同数の弁座と、からなり、前記回転駆動軸の回転によ
り前記複数のロータリ弁が回転し、前記複数の弁座の前
記切替え通路孔と前記複数のロータリ弁の前記高圧連通
孔が一致したときに高圧を出力し、前記複数の弁座の前
記切替え通路孔と前記複数のロータリ弁の前記低圧連通
孔が一致したときに低圧を出力する高低圧切替え機構に
おいて、前記複数の弁座の外側に前記弁座と同数のハウ
ジングを設け、該複数のハウジングはそれぞれ対応する
前記弁座と連結固定されており、前記ハウジングに設け
られた出力孔と前記弁座の前記切替え孔とは常に連通状
態にあり、前記複数のハウジングのそれぞれは連結手段
により連結されると共に相対的に前記駆動回転軸の回転
方向に回動可能であることを特徴とする、高低圧切替え
機構としたことである。
るために、本発明の請求項1において講じた技術的手段
(以下、第1の技術的手段と称する。)は、駆動源と、
該駆動源に連結され前記駆動源からの出力を回転力とし
て伝達する駆動回転軸と、前記駆動回転軸と連結され常
に高圧状態である高圧連通孔と常に低圧状態である低圧
連通孔を有する複数のロータリ弁と、該ロータリ弁と対
面的に固定され、切替え通路孔を有する前記ロータリ弁
と同数の弁座と、からなり、前記回転駆動軸の回転によ
り前記複数のロータリ弁が回転し、前記複数の弁座の前
記切替え通路孔と前記複数のロータリ弁の前記高圧連通
孔が一致したときに高圧を出力し、前記複数の弁座の前
記切替え通路孔と前記複数のロータリ弁の前記低圧連通
孔が一致したときに低圧を出力する高低圧切替え機構に
おいて、前記複数の弁座の外側に前記弁座と同数のハウ
ジングを設け、該複数のハウジングはそれぞれ対応する
前記弁座と連結固定されており、前記ハウジングに設け
られた出力孔と前記弁座の前記切替え孔とは常に連通状
態にあり、前記複数のハウジングのそれぞれは連結手段
により連結されると共に相対的に前記駆動回転軸の回転
方向に回動可能であることを特徴とする、高低圧切替え
機構としたことである。
【0013】上記技術的課題を解決するために、本発明
の請求項2において講じた技術的手段(以下、第2の技
術的手段と称する。)は、前記連結手段は、連結される
べき一方のハウジングの内周面に雌螺子部を設け、連結
されるべき他方のハウジングの外周面に雄螺子部を設
け、前記雌螺子部と前記雄螺子部とで螺合することによ
り回動可能に連結する連結手段であることを特徴とす
る、請求項1に記載の高低圧切替え機構としたことであ
る。
の請求項2において講じた技術的手段(以下、第2の技
術的手段と称する。)は、前記連結手段は、連結される
べき一方のハウジングの内周面に雌螺子部を設け、連結
されるべき他方のハウジングの外周面に雄螺子部を設
け、前記雌螺子部と前記雄螺子部とで螺合することによ
り回動可能に連結する連結手段であることを特徴とす
る、請求項1に記載の高低圧切替え機構としたことであ
る。
【0014】
【作用】上記第1の技術的手段によれば、弁座に対応す
る数のハウジングを設け、各ハウジングは弁座の外側を
覆う様に弁座と連結固定し、且つ各ハウジング同志は回
動可能に連結される構成とした。各ハウジング同志は回
動可能であるので、ハウジングに連結固定されている弁
座も他のハウジングに連結固定されている弁座と相対的
に回動可能である。従って、各ハウジングを回動させる
ことにより弁座が相対的に回動し、弁座に形成される切
替え孔の位置がズレ、この切替え孔とロータリ弁の高圧
連通孔及び低圧連通孔との連通タイミングにズレを生じ
させ、これにより位相差を変化させることができる。
る数のハウジングを設け、各ハウジングは弁座の外側を
覆う様に弁座と連結固定し、且つ各ハウジング同志は回
動可能に連結される構成とした。各ハウジング同志は回
動可能であるので、ハウジングに連結固定されている弁
座も他のハウジングに連結固定されている弁座と相対的
に回動可能である。従って、各ハウジングを回動させる
ことにより弁座が相対的に回動し、弁座に形成される切
替え孔の位置がズレ、この切替え孔とロータリ弁の高圧
連通孔及び低圧連通孔との連通タイミングにズレを生じ
させ、これにより位相差を変化させることができる。
【0015】上記第2の技術的手段によれば、上記第1
の技術的手段における連結手段として、各ハウジングに
雌螺子部と雄螺子部とを設け、この雌螺子部と雄螺子部
とを螺合させることにより回動可能に連結する構成とし
た。このような構成とすると、高低圧切替え機構の動作
中においても、一方のハウジングを他方のハウジングに
対して螺子部によるハウジング同志の締めつけ具合を変
えるのみで高低圧の切替えタイミングを変更することが
できる。
の技術的手段における連結手段として、各ハウジングに
雌螺子部と雄螺子部とを設け、この雌螺子部と雄螺子部
とを螺合させることにより回動可能に連結する構成とし
た。このような構成とすると、高低圧切替え機構の動作
中においても、一方のハウジングを他方のハウジングに
対して螺子部によるハウジング同志の締めつけ具合を変
えるのみで高低圧の切替えタイミングを変更することが
できる。
【0016】
【実施例】図1に、本発明の第1実施例を示すが、従来
例と同一部分については同一符号で示す。
例と同一部分については同一符号で示す。
【0017】図1は、第1実施例における高低圧切替え
機構の概略断面図である。図において、高低圧切替え機
構21は、モータ26を備える。モータ26には、その
出力を回転力として伝達する回転駆動軸27が連結して
いる。さらに回転駆動軸27にはそのほぼ両端に、蓄冷
器側ロータリ弁28とパルス管側ロータリ弁29とが同
心状に連結固定されている。蓄冷器側弁座30は図にお
いて水平方向に中心軸をもつ円筒形状に形成されてお
り、一方の平面では蓄冷器側ロータリ弁28と対面して
おり、他方の面及び円筒側面で蓄冷器側ハウジング32
と接している。またパルス管側弁座31も同様に円筒形
状に形成され、一方の平面でパルス管側ロータリ弁29
と対面し、他方の面及び円筒側面でパルス管側ハウジン
グ33と接している。蓄冷器側及びパルス管側ロータリ
弁28、29には、それぞれ高圧連通孔34、34及び
低圧連通孔35、35が設けられている。高圧連通孔3
4、34は、弁座との対向面からその反対側の面に向け
て穿設された貫通孔により形成される。低圧連通孔3
5、35は、それぞれ弁座との対向面であり且つロータ
リ弁の回転中心と同心状に形成された第1開口部35a
と、弁座との対向面であり、前記第1開口部35aとは
異なった位置に中心を持つ第2開口部35bとを連結す
べく構成されている。またロータリ弁の弁座との対向面
において、低圧連通孔35の第1開口部35aの中心か
ら高圧連通孔34の中心までの距離Aと、第1開口部3
5aの中心から第2開口部35bの中心までの距離Bは
等しくなるように構成される。また蓄冷器側及びパルス
管側弁座30及び31には、連絡路36、36及び切替
え通路孔37、37が設けられる。連絡路36、36は
ロータリ弁との対向面であり且つロータリ弁における低
圧連通孔35の第1開口部35aと一致した位置からそ
の反対側のハウジングとの対向面に向けて穿設される貫
通孔により構成される。切替え通路孔34は同じくロー
タリ弁との対向面から弁座の円筒側面に向かって穿設し
た孔により構成される。ここで、連絡路36、36と切
替え通路孔37、37は、ロータリ弁との対向面におい
て、連絡路36の中心と切替え通路孔37の中心との距
離Cが前述の距離A、Bと等しくなるように構成され
る。蓄冷器側及びパルス管側ハウジング32及び33に
は、蓄冷器側及びパルス管側弁座30及び31の連絡路
36、36と一致する部分から外側へ低圧入力孔38、
38が設けられ、その開口部は低圧側ポート23、23
となる。また蓄冷器側ハウジング32には蓄冷器側弁座
30の切替え通路孔37と一致する部分に蓄冷器側出力
孔39が設けられており、その開口部である蓄冷器側ポ
ート24が蓄冷器と連通状態にある。パルス管側ハウジ
ング33にはパルス管側弁座31の切替え通路孔37と
一致する部分にパルス管側出力孔40が設けられてお
り、その開口部であるパルス管側ポート25がパルス管
と連通状態にある。蓄冷器側ハウジング32にはその内
周面の一部に雌螺子部32aが設けられ、パルス管側ハ
ウジング33にはその外周面の一部に雄螺子部33aが
設けられる。この雌螺子部32aと雄螺子部33aとを
螺合させることにより蓄冷器側ハウジング32とパルス
管側ハウジング33を連結させる。また蓄冷器側ハウジ
ング32の円筒側面の一部に高圧入力孔41が設けら
れ、その開口部は高圧側ポート22となっている。尚、
高圧入力孔41は、パルス管側ハウジング33側に設け
てもよい。
機構の概略断面図である。図において、高低圧切替え機
構21は、モータ26を備える。モータ26には、その
出力を回転力として伝達する回転駆動軸27が連結して
いる。さらに回転駆動軸27にはそのほぼ両端に、蓄冷
器側ロータリ弁28とパルス管側ロータリ弁29とが同
心状に連結固定されている。蓄冷器側弁座30は図にお
いて水平方向に中心軸をもつ円筒形状に形成されてお
り、一方の平面では蓄冷器側ロータリ弁28と対面して
おり、他方の面及び円筒側面で蓄冷器側ハウジング32
と接している。またパルス管側弁座31も同様に円筒形
状に形成され、一方の平面でパルス管側ロータリ弁29
と対面し、他方の面及び円筒側面でパルス管側ハウジン
グ33と接している。蓄冷器側及びパルス管側ロータリ
弁28、29には、それぞれ高圧連通孔34、34及び
低圧連通孔35、35が設けられている。高圧連通孔3
4、34は、弁座との対向面からその反対側の面に向け
て穿設された貫通孔により形成される。低圧連通孔3
5、35は、それぞれ弁座との対向面であり且つロータ
リ弁の回転中心と同心状に形成された第1開口部35a
と、弁座との対向面であり、前記第1開口部35aとは
異なった位置に中心を持つ第2開口部35bとを連結す
べく構成されている。またロータリ弁の弁座との対向面
において、低圧連通孔35の第1開口部35aの中心か
ら高圧連通孔34の中心までの距離Aと、第1開口部3
5aの中心から第2開口部35bの中心までの距離Bは
等しくなるように構成される。また蓄冷器側及びパルス
管側弁座30及び31には、連絡路36、36及び切替
え通路孔37、37が設けられる。連絡路36、36は
ロータリ弁との対向面であり且つロータリ弁における低
圧連通孔35の第1開口部35aと一致した位置からそ
の反対側のハウジングとの対向面に向けて穿設される貫
通孔により構成される。切替え通路孔34は同じくロー
タリ弁との対向面から弁座の円筒側面に向かって穿設し
た孔により構成される。ここで、連絡路36、36と切
替え通路孔37、37は、ロータリ弁との対向面におい
て、連絡路36の中心と切替え通路孔37の中心との距
離Cが前述の距離A、Bと等しくなるように構成され
る。蓄冷器側及びパルス管側ハウジング32及び33に
は、蓄冷器側及びパルス管側弁座30及び31の連絡路
36、36と一致する部分から外側へ低圧入力孔38、
38が設けられ、その開口部は低圧側ポート23、23
となる。また蓄冷器側ハウジング32には蓄冷器側弁座
30の切替え通路孔37と一致する部分に蓄冷器側出力
孔39が設けられており、その開口部である蓄冷器側ポ
ート24が蓄冷器と連通状態にある。パルス管側ハウジ
ング33にはパルス管側弁座31の切替え通路孔37と
一致する部分にパルス管側出力孔40が設けられてお
り、その開口部であるパルス管側ポート25がパルス管
と連通状態にある。蓄冷器側ハウジング32にはその内
周面の一部に雌螺子部32aが設けられ、パルス管側ハ
ウジング33にはその外周面の一部に雄螺子部33aが
設けられる。この雌螺子部32aと雄螺子部33aとを
螺合させることにより蓄冷器側ハウジング32とパルス
管側ハウジング33を連結させる。また蓄冷器側ハウジ
ング32の円筒側面の一部に高圧入力孔41が設けら
れ、その開口部は高圧側ポート22となっている。尚、
高圧入力孔41は、パルス管側ハウジング33側に設け
てもよい。
【0018】上記構成の高低圧切替え機構において、次
に、その動作について説明する。
に、その動作について説明する。
【0019】図1における高低圧切替え機構について、
高圧側ポート22には例えばコンプレッサの吐出側等に
連結されて高圧が供給され、ハウジング内部及び蓄冷器
側及びパルス管側ロータリ弁の高圧連通路34、34を
高圧状態とする。また一方、低圧側ポート23、23に
はコンプレッサの吸入側等が連結されて低圧が供給さ
れ、蓄冷器側及びパルス管側弁座30及び31の連絡路
36、36、蓄冷器側及びパルス管側ロータリ弁28及
び29の低圧連通路35、35を低圧状態とする。この
状態において、モータ26の駆動により駆動回転軸2
7、蓄冷器側及びパルス管側ロータリ弁28及び29が
回転する。蓄冷器側ロータリ弁28が回転して高圧連通
孔34が蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37と一致し
た位置にきたとき、ハウジング内部の高圧空間と蓄冷器
側ハウジング32の蓄冷器出力孔39とが連通状態とな
り、蓄冷器側ポート24から高圧を供給する。またパル
ス管側ロータリ弁29が回転して高圧連通孔34がパル
ス管側弁座31の切替え通路孔37と一致した位置にき
たとき、ハウジング内部の高圧空間とパルス管側ハウジ
ング33のパルス管出力孔40とが連通状態となり、パ
ルス管側ポート25から高圧を供給する。蓄冷器側ロー
タリ弁28がさらに回転して低圧連通孔35が蓄冷器側
弁座30の切替え通路37と一致した位置にきたとき、
蓄冷器側ハウジング32に設けられた低圧入力孔38と
蓄冷器出力孔39とが蓄冷器側弁座27の連絡路36、
蓄冷器側ロータリ弁28の低圧連通孔35、さらに蓄冷
器側弁座30の切替え通路孔37を介して連通状態とな
り、蓄冷器側ポート24から低圧を供給する。またパル
ス管側ロータリ弁29が回転して低圧連通孔35がパル
ス管側弁座31の切替え通路孔37と一致した位置にき
たとき、パルス管側ハウジング33に設けられた低圧入
力孔38とパルス管出力孔40とがパルス管側弁座31
の連絡路36、パルス管側ロータリ弁29の低圧連通孔
35、さらにパルス管側弁座31の切替え通路孔37を
介して連通状態となり、パルス管側ポート25から低圧
を供給する。
高圧側ポート22には例えばコンプレッサの吐出側等に
連結されて高圧が供給され、ハウジング内部及び蓄冷器
側及びパルス管側ロータリ弁の高圧連通路34、34を
高圧状態とする。また一方、低圧側ポート23、23に
はコンプレッサの吸入側等が連結されて低圧が供給さ
れ、蓄冷器側及びパルス管側弁座30及び31の連絡路
36、36、蓄冷器側及びパルス管側ロータリ弁28及
び29の低圧連通路35、35を低圧状態とする。この
状態において、モータ26の駆動により駆動回転軸2
7、蓄冷器側及びパルス管側ロータリ弁28及び29が
回転する。蓄冷器側ロータリ弁28が回転して高圧連通
孔34が蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37と一致し
た位置にきたとき、ハウジング内部の高圧空間と蓄冷器
側ハウジング32の蓄冷器出力孔39とが連通状態とな
り、蓄冷器側ポート24から高圧を供給する。またパル
ス管側ロータリ弁29が回転して高圧連通孔34がパル
ス管側弁座31の切替え通路孔37と一致した位置にき
たとき、ハウジング内部の高圧空間とパルス管側ハウジ
ング33のパルス管出力孔40とが連通状態となり、パ
ルス管側ポート25から高圧を供給する。蓄冷器側ロー
タリ弁28がさらに回転して低圧連通孔35が蓄冷器側
弁座30の切替え通路37と一致した位置にきたとき、
蓄冷器側ハウジング32に設けられた低圧入力孔38と
蓄冷器出力孔39とが蓄冷器側弁座27の連絡路36、
蓄冷器側ロータリ弁28の低圧連通孔35、さらに蓄冷
器側弁座30の切替え通路孔37を介して連通状態とな
り、蓄冷器側ポート24から低圧を供給する。またパル
ス管側ロータリ弁29が回転して低圧連通孔35がパル
ス管側弁座31の切替え通路孔37と一致した位置にき
たとき、パルス管側ハウジング33に設けられた低圧入
力孔38とパルス管出力孔40とがパルス管側弁座31
の連絡路36、パルス管側ロータリ弁29の低圧連通孔
35、さらにパルス管側弁座31の切替え通路孔37を
介して連通状態となり、パルス管側ポート25から低圧
を供給する。
【0020】上記動作から明らかなように、ロータリ弁
の回転によって蓄冷器側出力孔36及びパルス管側出力
孔37からの出力状態を高圧、低圧に切り換える動作を
実現できる。
の回転によって蓄冷器側出力孔36及びパルス管側出力
孔37からの出力状態を高圧、低圧に切り換える動作を
実現できる。
【0021】上記構成の高低圧切替え機構21をパルス
管冷凍機に使用する場合、作動ガスの位相差を生じさせ
るために、蓄冷器側ロータリ弁28の高圧連通孔34と
蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37との連通タイミン
グと、パルス管側ロータリ弁29の高圧連通孔34とパ
ルス管側弁座31の切替え通路孔37との連通タイミン
グをズラす必要がある。また蓄冷器側ロータリ弁28の
低圧連通孔35と蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37
との連通タイミングと、パルス管側ロータリ弁29の低
圧連通孔35とパルス管側弁座31の切替え通路孔路3
7との連通タイミングもズラす必要がある。この切替え
タイミングのズレが常に一定量である場合には、ロータ
リ弁の設置時に最初からズラしておくのみでよい。しか
し、パルス管冷凍機の運転中に作動ガスの位相差を変化
させたい場合や、逆にコールドヘッドを昇温させたい場
合等には従来のものでは一旦パルス管冷凍機自体を停止
させ、分解しなければならない。この点本発明において
は、蓄冷器側ハウジング32とパルス管側ハウジング3
3とは雌螺子部32aと雄螺子部33aで螺合して連結
している構成であるために、この連結部分である螺子部
の締めつけ量を調整すればよい。螺子部の締めつけ量を
変化させると、蓄冷器側ハウジング32とパルス管側ハ
ウジング33とが相対的に回動し、それに固定されてい
る蓄冷器側弁座30とパルス管側弁座31も相対的に回
動する。弁座が回動することにより、切替え通路孔37
の位置はロータリ弁の回転方向に変化する。一方、ロー
タリ弁は回転駆動軸27と同期回転している。従って、
蓄冷器側ロータリ弁28とパルス管側ロータリ弁29で
は弁座の切替え通路孔37、37との連通タイミングが
ズレることになる。これにより簡単な構成でパルス管冷
凍機の運転中にも位相差を変化させることが実現でき
る。
管冷凍機に使用する場合、作動ガスの位相差を生じさせ
るために、蓄冷器側ロータリ弁28の高圧連通孔34と
蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37との連通タイミン
グと、パルス管側ロータリ弁29の高圧連通孔34とパ
ルス管側弁座31の切替え通路孔37との連通タイミン
グをズラす必要がある。また蓄冷器側ロータリ弁28の
低圧連通孔35と蓄冷器側弁座30の切替え通路孔37
との連通タイミングと、パルス管側ロータリ弁29の低
圧連通孔35とパルス管側弁座31の切替え通路孔路3
7との連通タイミングもズラす必要がある。この切替え
タイミングのズレが常に一定量である場合には、ロータ
リ弁の設置時に最初からズラしておくのみでよい。しか
し、パルス管冷凍機の運転中に作動ガスの位相差を変化
させたい場合や、逆にコールドヘッドを昇温させたい場
合等には従来のものでは一旦パルス管冷凍機自体を停止
させ、分解しなければならない。この点本発明において
は、蓄冷器側ハウジング32とパルス管側ハウジング3
3とは雌螺子部32aと雄螺子部33aで螺合して連結
している構成であるために、この連結部分である螺子部
の締めつけ量を調整すればよい。螺子部の締めつけ量を
変化させると、蓄冷器側ハウジング32とパルス管側ハ
ウジング33とが相対的に回動し、それに固定されてい
る蓄冷器側弁座30とパルス管側弁座31も相対的に回
動する。弁座が回動することにより、切替え通路孔37
の位置はロータリ弁の回転方向に変化する。一方、ロー
タリ弁は回転駆動軸27と同期回転している。従って、
蓄冷器側ロータリ弁28とパルス管側ロータリ弁29で
は弁座の切替え通路孔37、37との連通タイミングが
ズレることになる。これにより簡単な構成でパルス管冷
凍機の運転中にも位相差を変化させることが実現でき
る。
【0022】図2は、本発明の第2実施例を示す図であ
る。これは、出力ポートを3つもつもので、パルス管冷
凍機の分野においてはパルス管を2つ備える2ステージ
型パルス管冷凍機に適用されるものである。尚、図2に
おいて、第1実施例と同一部分については同一符号で示
し、また図1におけるパルス管側を構成する部品につい
て、図2における第1パルス管側を構成する部品に対応
させて同一符号で示してその説明を省略する。
る。これは、出力ポートを3つもつもので、パルス管冷
凍機の分野においてはパルス管を2つ備える2ステージ
型パルス管冷凍機に適用されるものである。尚、図2に
おいて、第1実施例と同一部分については同一符号で示
し、また図1におけるパルス管側を構成する部品につい
て、図2における第1パルス管側を構成する部品に対応
させて同一符号で示してその説明を省略する。
【0023】図2における高低圧切替え機構21は、図
1におけるものに、第2パルス管側ハウジング、第2パ
ルス管側ロータリ弁、第2パルス管側弁座を増やし、3
ロータリ式の高低圧切替え機構としたものである。即
ち、回転駆動軸27のほぼ中央に第2パルス管側ロータ
リ弁42を連結し、該第2パルス管側ロータリ弁42の
一方面に対向する形で円筒状の第2パルス管側弁座43
を配置する。第2ロータリ弁42は、他のロータリ弁同
様に高圧連通孔34、低圧連通孔35、第1開口部35
a、第2開口部35bを備える。第2パルス管側弁座
は、他の弁座同様に連絡路36、切替え通路孔37を備
えるが、連絡路36は、図示するように第2パルス管側
ロータリ弁の第1開口部35aと一致する位置から円筒
側面側に向けて孔が穿設されているところが他の弁座と
異なる部分である。第2パルス管側弁座43の円筒側面
に接する形で第2パルス管側ハウジング44が連結され
ている。第2パルス管側ハウジング44は、第2パルス
管側弁座43の円筒側面に形成された切替え通路孔37
の開口部と一致した位置から外側に向かって第2パルス
管側出力孔45が設けられ、また第2パルス管側弁座4
3の円筒側面に形成された連絡路36の開口部と一致す
る位置から外側に向けて低圧入力孔38が設けられてい
る。さらに第2パルス管側ハウジング44には、一方の
円筒内周端面部分に雌螺子部44aを、他方の円筒外周
端面部分に雄螺子部44bが設けられている。そして、
第1パルス管側ハウジング33とは、その雄螺子部33
aと第2パルス管側ハウジング44のメス螺子部44a
と、また蓄冷器側ハウジング32とはその雌螺子部32
aと第2パルス管側ハウジング44の雄螺子部44bと
螺合することにより、回動可能に連結される。
1におけるものに、第2パルス管側ハウジング、第2パ
ルス管側ロータリ弁、第2パルス管側弁座を増やし、3
ロータリ式の高低圧切替え機構としたものである。即
ち、回転駆動軸27のほぼ中央に第2パルス管側ロータ
リ弁42を連結し、該第2パルス管側ロータリ弁42の
一方面に対向する形で円筒状の第2パルス管側弁座43
を配置する。第2ロータリ弁42は、他のロータリ弁同
様に高圧連通孔34、低圧連通孔35、第1開口部35
a、第2開口部35bを備える。第2パルス管側弁座
は、他の弁座同様に連絡路36、切替え通路孔37を備
えるが、連絡路36は、図示するように第2パルス管側
ロータリ弁の第1開口部35aと一致する位置から円筒
側面側に向けて孔が穿設されているところが他の弁座と
異なる部分である。第2パルス管側弁座43の円筒側面
に接する形で第2パルス管側ハウジング44が連結され
ている。第2パルス管側ハウジング44は、第2パルス
管側弁座43の円筒側面に形成された切替え通路孔37
の開口部と一致した位置から外側に向かって第2パルス
管側出力孔45が設けられ、また第2パルス管側弁座4
3の円筒側面に形成された連絡路36の開口部と一致す
る位置から外側に向けて低圧入力孔38が設けられてい
る。さらに第2パルス管側ハウジング44には、一方の
円筒内周端面部分に雌螺子部44aを、他方の円筒外周
端面部分に雄螺子部44bが設けられている。そして、
第1パルス管側ハウジング33とは、その雄螺子部33
aと第2パルス管側ハウジング44のメス螺子部44a
と、また蓄冷器側ハウジング32とはその雌螺子部32
aと第2パルス管側ハウジング44の雄螺子部44bと
螺合することにより、回動可能に連結される。
【0024】上記構成の高低圧切替え機構においても、
各ロータリ弁の位相をズラすためには、各螺合部での締
めつけ量を調節することにより、弁座が駆動回転軸の回
転方向に移動するために、位相差を変化させることを実
現できる。
各ロータリ弁の位相をズラすためには、各螺合部での締
めつけ量を調節することにより、弁座が駆動回転軸の回
転方向に移動するために、位相差を変化させることを実
現できる。
【0025】以上本発明について2つの実施例を挙げて
説明したが、第2実施例のようにロータリ弁、弁座、ハ
ウジングをどんどん増やしていくことにより出力ポート
をさらに多くすることは当然に可能であり、本発明の趣
旨を逸脱しない限りにおいて、様々な実施態様に適用で
きる。
説明したが、第2実施例のようにロータリ弁、弁座、ハ
ウジングをどんどん増やしていくことにより出力ポート
をさらに多くすることは当然に可能であり、本発明の趣
旨を逸脱しない限りにおいて、様々な実施態様に適用で
きる。
【0026】
【発明の効果】請求項1の発明は、以下の如く効果を有
する。
する。
【0027】2系統の出力ポートをもつロータリ式の高
低圧切替え機構において、弁座外周に設けられるハウジ
ングを各系統毎に分割し、回動可能に連結し、各ハウジ
ングに弁座を固定した。これにより、パルス管冷凍機の
運転中においても自由に作動ガスの位相差を変更でき、
それぞれの運転条件に見合った最適の位相差を設定する
ことができるため、パルス管冷凍機の冷凍能力のアップ
につながる。
低圧切替え機構において、弁座外周に設けられるハウジ
ングを各系統毎に分割し、回動可能に連結し、各ハウジ
ングに弁座を固定した。これにより、パルス管冷凍機の
運転中においても自由に作動ガスの位相差を変更でき、
それぞれの運転条件に見合った最適の位相差を設定する
ことができるため、パルス管冷凍機の冷凍能力のアップ
につながる。
【0028】請求項2の発明は、以下の如く効果を有す
る。
る。
【0029】請求項1の発明において、各ハウジングの
連結方法として、ハウジングに螺子部を形成し、各螺子
部を螺合させて連結する構成とした。これにより、螺合
による締めつけ量を調節するのみで各出力ポートの位相
差を変化させることができるので、非常に簡単に位相を
変えることができる。
連結方法として、ハウジングに螺子部を形成し、各螺子
部を螺合させて連結する構成とした。これにより、螺合
による締めつけ量を調節するのみで各出力ポートの位相
差を変化させることができるので、非常に簡単に位相を
変えることができる。
【図1】本発明の第1実施例における高低圧切替え機構
の部分断面図である。
の部分断面図である。
【図2】本発明の第2実施例における高低圧切替え機構
の部分断面図である。
の部分断面図である。
【図3】第1従来例の高低圧切替え機構をパルス管冷凍
機に適用したものである。
機に適用したものである。
【図4】第2従来例の高低圧切替え機構をパルス管冷凍
機に適用したものである。
機に適用したものである。
21 高低圧切替え機構 22 高圧側ポート 23 低圧側ポート 24 蓄冷器側ポート 25 パルス管側ポート 26 モータ(駆動源) 27 回転駆動軸 28 蓄冷器側ロータリ弁 29 パルス管側ロータリ弁 30 蓄冷器側弁座 31 パルス管側弁座 32 蓄冷器側ハウジング 32a 雌螺子部(連結手段) 33 パルス管側ハウジング 33a 雄螺子部(連結手段) 34 高圧連通孔 35 低圧連通孔 35a 第1開口部 35b 第2開口部 36 連絡路 37 切替え通路孔 38 低圧入力孔 39 蓄冷器側出力孔 40 パルス管側出力孔 41 高圧入力孔 42 第2パルス管側ロータリ弁 43 第2パルス管側弁座 44 第2パルス管側ハウジング 44a 雌螺子部(連結手段) 44b 雄螺子部(連結手段) 45 第2パルス管側出力孔
Claims (2)
- 【請求項1】 駆動源と、該駆動源に連結され前記駆動
源からの出力を回転力として伝達する駆動回転軸と、前
記駆動回転軸と連結され常に高圧状態である高圧連通孔
と常に低圧状態である低圧連通孔を有する複数のロータ
リ弁と、該ロータリ弁と対面的に固定され、切替え通路
孔を有する前記ロータリ弁と同数の弁座と、からなり、
前記回転駆動軸の回転により前記複数のロータリ弁が回
転し、前記複数の弁座の前記切替え通路孔と前記複数の
ロータリ弁の前記高圧連通孔が一致したときに高圧を出
力し、前記複数の弁座の前記切替え通路孔と前記複数の
ロータリ弁の前記低圧連通孔が一致したときに低圧を出
力する高低圧切替え機構において、 前記複数の弁座の外側に前記弁座と同数のハウジングを
設け、該複数のハウジングはそれぞれ対応する前記弁座
と連結固定されており、前記ハウジングに設けられた出
力孔と前記弁座の前記切替え孔とは常に連通状態にあ
り、前記複数のハウジングのそれぞれは連結手段により
連結されると共に相対的に前記駆動回転軸の回転方向に
回動可能であることを特徴とする、パルス管冷凍機の高
低圧切替え機構。 - 【請求項2】 前記連結手段は、連結されるべき一方の
ハウジングの内周面に雌螺子部を設け、連結されるべき
他方のハウジングの外周面に雄螺子部を設け、前記雌螺
子部と前記雄螺子部とで螺合することにより回動可能に
連結する連結手段であることを特徴とする、請求項1に
記載のパルス管冷凍機の高低圧切替え機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11488795A JPH08303887A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | パルス管冷凍機の高低圧切替え機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11488795A JPH08303887A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | パルス管冷凍機の高低圧切替え機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08303887A true JPH08303887A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14649152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11488795A Pending JPH08303887A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | パルス管冷凍機の高低圧切替え機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08303887A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100647965B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2006-11-17 | 에아.워타 가부시키가이샤 | 극저온가스 분리장치 |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP11488795A patent/JPH08303887A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100647965B1 (ko) * | 1999-09-24 | 2006-11-17 | 에아.워타 가부시키가이샤 | 극저온가스 분리장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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