JPH08304657A - 二次元光アレイ及びその製造方法 - Google Patents
二次元光アレイ及びその製造方法Info
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- JPH08304657A JPH08304657A JP13574595A JP13574595A JPH08304657A JP H08304657 A JPH08304657 A JP H08304657A JP 13574595 A JP13574595 A JP 13574595A JP 13574595 A JP13574595 A JP 13574595A JP H08304657 A JPH08304657 A JP H08304657A
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Landscapes
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔
からなる２こ以上の平行格子窓を夫々異なる光アレイ基
板に互いに略直交して配置させ、両孔の交差部で二次元
に配列された角穴部材が形成され、更に角穴部に光ファ
イバが挿入され、光ファイバが二次元に精密配列固定さ
れた二次元光アレイ。 【効果】 複数個の光アレイ基板に備えた平行格子窓
（角穴部材）を互いに略直交して配置し、両孔の交差部
で二次元配列した角穴部材を形成したので、配列精度を
向上させることができ、二次元光アレイの低コスト量産
化に効果がある。
からなる２こ以上の平行格子窓を夫々異なる光アレイ基
板に互いに略直交して配置させ、両孔の交差部で二次元
に配列された角穴部材が形成され、更に角穴部に光ファ
イバが挿入され、光ファイバが二次元に精密配列固定さ
れた二次元光アレイ。 【効果】 複数個の光アレイ基板に備えた平行格子窓
（角穴部材）を互いに略直交して配置し、両孔の交差部
で二次元配列した角穴部材を形成したので、配列精度を
向上させることができ、二次元光アレイの低コスト量産
化に効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光並列伝送に用いる二
次元配列ＬＤ（ＰＤ）アレイ等から構成される光モジュ
ールと結合する、光ファイバを精度良く配置した二次元
光アレイ及びその製造方法に関する。
次元配列ＬＤ（ＰＤ）アレイ等から構成される光モジュ
ールと結合する、光ファイバを精度良く配置した二次元
光アレイ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光並列伝送においては、ＬＤ（ＰＤ）を
アレイ化して送受信の集積密度を大きくすることが行な
われる。これらを用いたアレイ化ＬＤ（ＰＤ）モジュー
ルではＬＤ（ＰＤ）アレイに光信号を入出力するため
に、精密に光ファイバを配列固定した光アレイが必要と
される。アレイ配列としては一次元配列（直線状配列）
が一般的であるが、面発光レーザを用いた場合には更に
高集積化した二次元配列モジュールが可能であり、二次
元アレイが必要となる。
アレイ化して送受信の集積密度を大きくすることが行な
われる。これらを用いたアレイ化ＬＤ（ＰＤ）モジュー
ルではＬＤ（ＰＤ）アレイに光信号を入出力するため
に、精密に光ファイバを配列固定した光アレイが必要と
される。アレイ配列としては一次元配列（直線状配列）
が一般的であるが、面発光レーザを用いた場合には更に
高集積化した二次元配列モジュールが可能であり、二次
元アレイが必要となる。
【０００３】例えば、精度良く外径を揃えたマイクロフ
ェルールに光ファイバを結線し、マイクロフェルールを
二次元に積層することにより、二次元光アレイ化する方
法がしられている（１９９３年電子情報通信学会春期大
会、Ｃ−３０７）。また、微細超精密放電加工により、
金属基板等に光ファイバ挿入穴を二次元配列精度良く加
工することも技術的には可能である。
ェルールに光ファイバを結線し、マイクロフェルールを
二次元に積層することにより、二次元光アレイ化する方
法がしられている（１９９３年電子情報通信学会春期大
会、Ｃ−３０７）。また、微細超精密放電加工により、
金属基板等に光ファイバ挿入穴を二次元配列精度良く加
工することも技術的には可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
方法では個々のマイクロフェルールにそれぞれ十分な外
径精度及び、光ファイバ挿入穴との偏心精度を必要と
し、更にアレイの心数分必要であるため、非常にコスト
のかかるものとなる上に、心数が増える程、積層誤差も
大きくなるという問題がある。又、後者の方法では、加
工配列精度は十分であるが、多大な加工時間が必要であ
り、量産には向かず、コストも安くならない。
方法では個々のマイクロフェルールにそれぞれ十分な外
径精度及び、光ファイバ挿入穴との偏心精度を必要と
し、更にアレイの心数分必要であるため、非常にコスト
のかかるものとなる上に、心数が増える程、積層誤差も
大きくなるという問題がある。又、後者の方法では、加
工配列精度は十分であるが、多大な加工時間が必要であ
り、量産には向かず、コストも安くならない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
種々検討した結果、夫々異なる光アレイ基板に複数個の
長孔からなる複数の平行格子窓（角穴部材）を互いに略
直交して配置し、両孔の交差部で二次元配列した角穴部
材を形成することにより、低コスト且つ量産に適した二
次元光アレイ及びその製法が提供できることを見出し、
本発明を完成するに至った。
種々検討した結果、夫々異なる光アレイ基板に複数個の
長孔からなる複数の平行格子窓（角穴部材）を互いに略
直交して配置し、両孔の交差部で二次元配列した角穴部
材を形成することにより、低コスト且つ量産に適した二
次元光アレイ及びその製法が提供できることを見出し、
本発明を完成するに至った。
【０００６】すなわち、本発明は： 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔からな
る２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ基板に互い
に略直交して配置することによって、両孔の交差部にて
二次元に配列された角穴部材が形成されており、更に前
記角穴部に光ファイバが挿入され、その光ファイバが二
次元に精密配列固定されている二次元光アレイを提供す
る。また、 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔からな
る３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光アレイ基板に
設けられており、且つ相接する平行格子窓同士は互いに
略直交に配置され、それにより形成される二次元に配列
された角穴位置は、どの相接する平行格子窓においても
同軸位置にあり、更に前記角穴部に光ファイバが挿入さ
れ、その光ファイバが二次元に精密配列固定されている
二次元光アレイを提供する。また、
る２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ基板に互い
に略直交して配置することによって、両孔の交差部にて
二次元に配列された角穴部材が形成されており、更に前
記角穴部に光ファイバが挿入され、その光ファイバが二
次元に精密配列固定されている二次元光アレイを提供す
る。また、 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔からな
る３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光アレイ基板に
設けられており、且つ相接する平行格子窓同士は互いに
略直交に配置され、それにより形成される二次元に配列
された角穴位置は、どの相接する平行格子窓においても
同軸位置にあり、更に前記角穴部に光ファイバが挿入さ
れ、その光ファイバが二次元に精密配列固定されている
二次元光アレイを提供する。また、
【０００７】 前記平行格子窓の何れかの重ね合わせ
部近傍まで端面が研磨してある点にも特徴を有する。ま
た、 前記平行格子窓は無機材料を材質とする点にも特徴
を有する。また、 前記基板はシリコンを材質とする点にも特徴を有す
る。また、 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔からな
る２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ基板に互い
に略直交して配置して、両孔の交差部で二次元に配列し
た角穴部材を形成し、次いで前記角穴部に光ファイバを
挿入して、光ファイバを二次元に精密配列固定する二次
元光アレイの製造方法を提供する。また、
部近傍まで端面が研磨してある点にも特徴を有する。ま
た、 前記平行格子窓は無機材料を材質とする点にも特徴
を有する。また、 前記基板はシリコンを材質とする点にも特徴を有す
る。また、 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の長孔からな
る２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ基板に互い
に略直交して配置して、両孔の交差部で二次元に配列し
た角穴部材を形成し、次いで前記角穴部に光ファイバを
挿入して、光ファイバを二次元に精密配列固定する二次
元光アレイの製造方法を提供する。また、
【０００８】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個
の長孔からなる３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光
アレイ基板に設けられ、かつ相接する平行格子窓同士は
互いに略直交して配置し、更に、それにより形成される
二次元に配列された角穴位置がどの相接する平行格子窓
においても同軸位置になるようにし、次いで前記角穴部
に光ファイバを挿入して、光ファイバを二次元に精密配
列固定する二次元光アレイの製造方法を提供する。ま
た、
の長孔からなる３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光
アレイ基板に設けられ、かつ相接する平行格子窓同士は
互いに略直交して配置し、更に、それにより形成される
二次元に配列された角穴位置がどの相接する平行格子窓
においても同軸位置になるようにし、次いで前記角穴部
に光ファイバを挿入して、光ファイバを二次元に精密配
列固定する二次元光アレイの製造方法を提供する。ま
た、
【０００９】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個
の長孔からなる２つ以上の平行格子窓が夫々異なる光ア
レイ基板に設けられたものを用い、初めに、第一の平行
格子窓の各長孔に各々所定の本数の光ファイバを挿入
し、次に第二の平行格子窓を、第一の平行格子窓と略直
交する方向にて、第一の平行格子窓の同一長孔を通った
光ファイバは第二の平行格子窓では各々異なった長孔を
通るように各光ファイバを挿入するという操作を所定の
平行格子窓数だけ繰返し、更に、相隣接する平行格子窓
同士はほぼ密着するようにして、光ファイバを二次元に
精密配列固定した二次元光アレイの製造方法を提供す
る。また、 光ファイバを角穴部材に固定後、前記平行格子窓の
何れかの重ね合わせ部から０．５ｍｍ以内まで端面を研
磨する点にも特徴を有する。また、 (10) 前記平行格子窓の加工は研削加工による点にも
特徴を有する。また、 (11) 前記角穴又は長孔に挿入する光ファイバの先端
は予めテーパ処理しておく点にも特徴を有する。また、 (12) 前記テーパ処理は溶融延伸による点にも特徴を
有する。
の長孔からなる２つ以上の平行格子窓が夫々異なる光ア
レイ基板に設けられたものを用い、初めに、第一の平行
格子窓の各長孔に各々所定の本数の光ファイバを挿入
し、次に第二の平行格子窓を、第一の平行格子窓と略直
交する方向にて、第一の平行格子窓の同一長孔を通った
光ファイバは第二の平行格子窓では各々異なった長孔を
通るように各光ファイバを挿入するという操作を所定の
平行格子窓数だけ繰返し、更に、相隣接する平行格子窓
同士はほぼ密着するようにして、光ファイバを二次元に
精密配列固定した二次元光アレイの製造方法を提供す
る。また、 光ファイバを角穴部材に固定後、前記平行格子窓の
何れかの重ね合わせ部から０．５ｍｍ以内まで端面を研
磨する点にも特徴を有する。また、 (10) 前記平行格子窓の加工は研削加工による点にも
特徴を有する。また、 (11) 前記角穴又は長孔に挿入する光ファイバの先端
は予めテーパ処理しておく点にも特徴を有する。また、 (12) 前記テーパ処理は溶融延伸による点にも特徴を
有する。
【００１０】以下、本発明を図面を参考して具体的に説
明する。下記に図示される平行格子窓は光アレイ基板と
同じでも或いは光アレイ基板に一部でも良い。図１−
（ａ）〜（ｃ）は２つの平行格子窓を夫々異なる光アレ
イ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図で
ある（請求項１の発明に対応する）。特に、図１−
（ａ）は夫々異なる２つの平板状光アレイ基板に備えた
角穴部材（平行格子窓）の場合の分解斜視図である、
明する。下記に図示される平行格子窓は光アレイ基板と
同じでも或いは光アレイ基板に一部でも良い。図１−
（ａ）〜（ｃ）は２つの平行格子窓を夫々異なる光アレ
イ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図で
ある（請求項１の発明に対応する）。特に、図１−
（ａ）は夫々異なる２つの平板状光アレイ基板に備えた
角穴部材（平行格子窓）の場合の分解斜視図である、
【００１１】図１−（ｂ）は夫々異なる２つの凹部状光
アレイ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を該凹部が
背中合わせとなるように組み合わせた分解斜視図であ
る。図１−（ｃ）は夫々異なる２つの凹部状光アレイ基
板に備えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ
基板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部が嵌合するよう
に組み合わせた分解斜視図である。図１において、１は
上方光アレイ基板、２は下方光アレイ基板、３は上方格
子窓、４は下方格子窓、５は上方凹部、６は下方凹部で
ある。
アレイ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を該凹部が
背中合わせとなるように組み合わせた分解斜視図であ
る。図１−（ｃ）は夫々異なる２つの凹部状光アレイ基
板に備えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ
基板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部が嵌合するよう
に組み合わせた分解斜視図である。図１において、１は
上方光アレイ基板、２は下方光アレイ基板、３は上方格
子窓、４は下方格子窓、５は上方凹部、６は下方凹部で
ある。
【００１２】光アレイ基板に設ける平行格子窓は、図１
−（ｃ）に示されるように互いに嵌合し易くするように
下方凹部６内に上方凹部５を配置させても、又は図１−
（ｂ）に示されるように角穴部材（平行格子窓）３、４
に挿入される光ファイバが整列固定し易くするために、
凹部５、６が互いに背中合わせになるように配置させて
もよい。しかし、図１−（ａ）に示されるように光アレ
イ基板自体を凹部等に加工せずにそのまま平行格子窓を
光アレイ基板内に設けてもよい。要するに、２つの角穴
部材（平行格子窓）が夫々異なる光アレイ基板に互いに
略直交して配置できれば、角穴部材（平行格子窓）の形
状やその向きは特に制限されない。
−（ｃ）に示されるように互いに嵌合し易くするように
下方凹部６内に上方凹部５を配置させても、又は図１−
（ｂ）に示されるように角穴部材（平行格子窓）３、４
に挿入される光ファイバが整列固定し易くするために、
凹部５、６が互いに背中合わせになるように配置させて
もよい。しかし、図１−（ａ）に示されるように光アレ
イ基板自体を凹部等に加工せずにそのまま平行格子窓を
光アレイ基板内に設けてもよい。要するに、２つの角穴
部材（平行格子窓）が夫々異なる光アレイ基板に互いに
略直交して配置できれば、角穴部材（平行格子窓）の形
状やその向きは特に制限されない。
【００１３】図２−（ａ）〜（ｂ）は３つの角穴部材
（平行格子窓）を夫々異なる光アレイ板に備えた角穴部
材（平行格子窓）の分解斜視図である（請求項２の発明
に対応する）。図２−（ａ）は光アレイ基板自体を凹部
等に加工せずにそのまま角穴部材（平行格子窓）を光ア
レイ基板内に設けた、３つの平板状光アレイ基板に備え
た角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図である。
（平行格子窓）を夫々異なる光アレイ板に備えた角穴部
材（平行格子窓）の分解斜視図である（請求項２の発明
に対応する）。図２−（ａ）は光アレイ基板自体を凹部
等に加工せずにそのまま角穴部材（平行格子窓）を光ア
レイ基板内に設けた、３つの平板状光アレイ基板に備え
た角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図である。
【００１４】図２−（ｂ）は３つの凹部状光アレイ基板
に備えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ基
板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部が嵌合するように
互いに組み合わせた分解斜視図である。図２において、
１１は上方光アレイ基板、１２は中央光アレイ基板、１
３は下方光アレイ基板、１４は上方格子窓、１５は中央
格子窓、１６は下方格子窓、１７は上板凹部、１８は中
板凹部、１９は下板凹部である。
に備えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ基
板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部が嵌合するように
互いに組み合わせた分解斜視図である。図２において、
１１は上方光アレイ基板、１２は中央光アレイ基板、１
３は下方光アレイ基板、１４は上方格子窓、１５は中央
格子窓、１６は下方格子窓、１７は上板凹部、１８は中
板凹部、１９は下板凹部である。
【００１５】この場合、光アレイ基板に設ける角穴部材
（平行格子窓）は、図１の場合と同様に取り扱うことが
できる。そして、該角穴部材（平行格子窓）を設けた光
アレイ基板の個数は図示に限定されず、使用される用途
に応じて増減できる。上記図１−（ｂ）、（ｃ）及び図
２−（ｂ）は研削加工にて加工可能な例を示すものであ
る。図３は角穴部材（平行格子窓）を備えた複合光アレ
イ基板において、その角穴部材（平行格子窓）が略直交
して配置された状態を示す説明図である。
（平行格子窓）は、図１の場合と同様に取り扱うことが
できる。そして、該角穴部材（平行格子窓）を設けた光
アレイ基板の個数は図示に限定されず、使用される用途
に応じて増減できる。上記図１−（ｂ）、（ｃ）及び図
２−（ｂ）は研削加工にて加工可能な例を示すものであ
る。図３は角穴部材（平行格子窓）を備えた複合光アレ
イ基板において、その角穴部材（平行格子窓）が略直交
して配置された状態を示す説明図である。
【００１６】図３−（イ）は上方光アレイ基板１の下側
に下方光アレイ基板２を重ね合わせた場合の平行格子窓
の状態を示す説明図である。図３−（ロ）は上方平行格
子窓３が設けられた上板光アレイ基板１の状態を示す。
図３−（ハ）は下方平行格子窓４が設けられた下方光ア
レイ基板２の状態を示す。
に下方光アレイ基板２を重ね合わせた場合の平行格子窓
の状態を示す説明図である。図３−（ロ）は上方平行格
子窓３が設けられた上板光アレイ基板１の状態を示す。
図３−（ハ）は下方平行格子窓４が設けられた下方光ア
レイ基板２の状態を示す。
【００１７】図４は、本発明の複合二次元光アレイ基板
を用いて光ファイバを二次元に精密配列固定する方法を
示す説明図である（請求項８の発明に対応する）。図４
−（イ）は、第一、及び第二の平行格子窓と挿入される
光ファイバＡの関係を示す状態図である。図４−（ロ）
は、第一、及び第二の平行格子窓の各長孔に所定の本数
の光ファイバＡを挿入し状態を示す状態図である。図４
−（ハ）は、第一、及び第二のの平行格子窓に光ファイ
バを挿入後の、相隣接する平行格子窓同士がほぼ密着し
て配置され、光ファイバが二次元に精密配列固定した状
態を示す状態図である。また、予め各平行格子窓同士を
組み合わせた後に光ファイバを挿入してももちろん良
い。
を用いて光ファイバを二次元に精密配列固定する方法を
示す説明図である（請求項８の発明に対応する）。図４
−（イ）は、第一、及び第二の平行格子窓と挿入される
光ファイバＡの関係を示す状態図である。図４−（ロ）
は、第一、及び第二の平行格子窓の各長孔に所定の本数
の光ファイバＡを挿入し状態を示す状態図である。図４
−（ハ）は、第一、及び第二のの平行格子窓に光ファイ
バを挿入後の、相隣接する平行格子窓同士がほぼ密着し
て配置され、光ファイバが二次元に精密配列固定した状
態を示す状態図である。また、予め各平行格子窓同士を
組み合わせた後に光ファイバを挿入してももちろん良
い。
【００１８】従って、図４−（ロ）に示されるように、
第一の平行格子窓４の各長孔に各々所定の本数の光ファ
イバＡを挿入した後に、次に第二の平行格子窓３を、第
一の平行格子窓４と略直交する方向にて、第一の平行格
子窓４の同一長孔を通った光ファイバが第二の平行格子
窓３では各々異なった長孔を通るように各光ファイバを
挿入させる。
第一の平行格子窓４の各長孔に各々所定の本数の光ファ
イバＡを挿入した後に、次に第二の平行格子窓３を、第
一の平行格子窓４と略直交する方向にて、第一の平行格
子窓４の同一長孔を通った光ファイバが第二の平行格子
窓３では各々異なった長孔を通るように各光ファイバを
挿入させる。
【００１９】次に、図４−（ハ）に示されるように、そ
の結果、第一の平行格子窓４、第二の平行格子窓３に光
ファイバＡが挿入された後には、相隣接する平行格子窓
３、４同士はほぼ密着して配置されて、光ファイバＡが
二次元に精密配列固定した状態となる。図５は、角穴又
は長孔に挿入する光ファイバＡの先端が予め加工処理さ
れてテーパＣを設けた状態を示す斜視図である。
の結果、第一の平行格子窓４、第二の平行格子窓３に光
ファイバＡが挿入された後には、相隣接する平行格子窓
３、４同士はほぼ密着して配置されて、光ファイバＡが
二次元に精密配列固定した状態となる。図５は、角穴又
は長孔に挿入する光ファイバＡの先端が予め加工処理さ
れてテーパＣを設けた状態を示す斜視図である。
【００２０】図６はメタルフランジＤに本発明の角穴部
材（平行格子窓）Ｅを組み込み、光ファイバＡを挿入し
た状態を示し、図６−（イ）はその側面図、図６−
（ロ）はその下方断面図であり、光ファイバＡの端面の
状態を示すものである。本発明による複合二次元光アレ
イの製造における光ファイバ配列の基準となる長孔加工
は、市販されている高精度ダイサ等を用いればサブミク
ロンの配列精度は容易に達成できる。
材（平行格子窓）Ｅを組み込み、光ファイバＡを挿入し
た状態を示し、図６−（イ）はその側面図、図６−
（ロ）はその下方断面図であり、光ファイバＡの端面の
状態を示すものである。本発明による複合二次元光アレ
イの製造における光ファイバ配列の基準となる長孔加工
は、市販されている高精度ダイサ等を用いればサブミク
ロンの配列精度は容易に達成できる。
【００２１】また、溝幅についても、磨耗の少ないブレ
ード及び基板材質、例えばシリコンを選択することによ
り１μｍ程度の研削加工の制御は可能である。角穴に挿
入された状態の光ファイバは、１ヶ所の長孔内では、上
下又は左右の一方向しか規制しない。このため、長孔の
長手方向内では光ファイバの剛性の範囲内での曲がりが
生じ、結果として配列精度の劣化を生じる可能性があ
る。光アレイの端面研磨を重ね合わせ部近傍まで行なう
ことは、曲がりの影響を小さくするうえで有効であり、
特に０．５ｍｍ以内、好ましくは０．２ｍｍ以下まで研
磨するのがよい。
ード及び基板材質、例えばシリコンを選択することによ
り１μｍ程度の研削加工の制御は可能である。角穴に挿
入された状態の光ファイバは、１ヶ所の長孔内では、上
下又は左右の一方向しか規制しない。このため、長孔の
長手方向内では光ファイバの剛性の範囲内での曲がりが
生じ、結果として配列精度の劣化を生じる可能性があ
る。光アレイの端面研磨を重ね合わせ部近傍まで行なう
ことは、曲がりの影響を小さくするうえで有効であり、
特に０．５ｍｍ以内、好ましくは０．２ｍｍ以下まで研
磨するのがよい。
【００２２】また、平行格子窓の積層数枚、即ち光アレ
イ基板の枚数を多くすることも、曲がり自体を小さくす
るうえで有効である。また、光ファイバ先端を、例えば
溶融延伸等により予めテーパ加工しておくと、組立作業
性は一層よくなる。なお、光アレイ基板材質としては、
ＬＤ（ＰＤ）の信頼性上、ガス発生の恐れのない無機材
料を用いるのが望ましく、更に加工性のよいシリコンを
材質とするとよい。
イ基板の枚数を多くすることも、曲がり自体を小さくす
るうえで有効である。また、光ファイバ先端を、例えば
溶融延伸等により予めテーパ加工しておくと、組立作業
性は一層よくなる。なお、光アレイ基板材質としては、
ＬＤ（ＰＤ）の信頼性上、ガス発生の恐れのない無機材
料を用いるのが望ましく、更に加工性のよいシリコンを
材質とするとよい。
【００２３】
【作用】本発明によると、複数個の光アレイ基板に備え
た平行格子窓（角穴部材）を互いに略直交して配置し、
両孔の交差部で二次元配列した角穴部材を形成したの
で、配列精度を向上させた複合二次元光アレイを提供で
きる。各平行格子窓を光ファイバに順次通しながら組み
立てる本発明の方法によると、位置の自由度がきくため
に、作業性がよい利点がある。また、本発明では、１枚
の光アレイ基板上に高密度に加工し、後で切断チップ化
できるため、量産性に富み、低コスト化に有利である。
た平行格子窓（角穴部材）を互いに略直交して配置し、
両孔の交差部で二次元配列した角穴部材を形成したの
で、配列精度を向上させた複合二次元光アレイを提供で
きる。各平行格子窓を光ファイバに順次通しながら組み
立てる本発明の方法によると、位置の自由度がきくため
に、作業性がよい利点がある。また、本発明では、１枚
の光アレイ基板上に高密度に加工し、後で切断チップ化
できるため、量産性に富み、低コスト化に有利である。
【００２４】
【実施例】実施例により本発明を詳細に説明するが、そ
れらは本発明の望ましい範囲を制限しない。図６は本発
明による８×８二次元光アレイの実施例を説明するもの
である。基板にはシリコンを用い、まずダイサによる研
削加工により、図１（ｂ）の例に示す溝加工を行なっ
た。光ファイバ外径１２５μｍに対し、溝幅は１２７±
１μｍ、溝ピッチは２５０±０．５μｍとした。又、光
ファイバを固定後、両平行格子窓の重ね合わせ部から
０．１ｍｍ以内迄端面研磨を行なった。
れらは本発明の望ましい範囲を制限しない。図６は本発
明による８×８二次元光アレイの実施例を説明するもの
である。基板にはシリコンを用い、まずダイサによる研
削加工により、図１（ｂ）の例に示す溝加工を行なっ
た。光ファイバ外径１２５μｍに対し、溝幅は１２７±
１μｍ、溝ピッチは２５０±０．５μｍとした。又、光
ファイバを固定後、両平行格子窓の重ね合わせ部から
０．１ｍｍ以内迄端面研磨を行なった。
【００２５】この結果、各光ファイバの配列精度は全て
設計値に対して３μｍ以下にすることができた。この値
はＧＩ型光ファイバ（コア径５０μｍ）に対しては十分
なものである。８枚の８心光ファイバテープは先端のみ
上記角穴部材にて位置決めを行ない、後部はメタルフラ
ンジ内にてエポキシ樹脂のような接着剤にて固定した。
また、平行格子窓は１枚のシリコンウエハから１００チ
ップ以上がとれ、量産化にも有効であることが確認され
た。
設計値に対して３μｍ以下にすることができた。この値
はＧＩ型光ファイバ（コア径５０μｍ）に対しては十分
なものである。８枚の８心光ファイバテープは先端のみ
上記角穴部材にて位置決めを行ない、後部はメタルフラ
ンジ内にてエポキシ樹脂のような接着剤にて固定した。
また、平行格子窓は１枚のシリコンウエハから１００チ
ップ以上がとれ、量産化にも有効であることが確認され
た。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の複合二次
元光アレイによると、複数個の光アレイ基板に備えた平
行格子窓（角穴部材）を互いに略直交して配置し、両孔
の交差部で二次元配列した角穴部材を形成したので、配
列精度を向上させることができ、二次元光アレイの低コ
スト量産化に効果がある。
元光アレイによると、複数個の光アレイ基板に備えた平
行格子窓（角穴部材）を互いに略直交して配置し、両孔
の交差部で二次元配列した角穴部材を形成したので、配
列精度を向上させることができ、二次元光アレイの低コ
スト量産化に効果がある。
【図１】２つの平行格子窓を夫々異なる光アレイ基板に
備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図である。特
に、図１−（ａ）は夫々異なる２つの平板状光アレイ基
板に備えた角穴部材（平行格子窓）の場合の分解斜視図
である、図１−（ｂ）は夫々異なる２つの凹部状光アレ
イ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を該凹部が背中
合わせとなるように組み合わせた分解斜視図である。図
１−（ｃ）は夫々異なる２つの凹部状光アレイ基板に備
えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ基板の
凹部に他方の光アレイ基板板の凹部が嵌合するように組
み合わせた分解斜視図である。
備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図である。特
に、図１−（ａ）は夫々異なる２つの平板状光アレイ基
板に備えた角穴部材（平行格子窓）の場合の分解斜視図
である、図１−（ｂ）は夫々異なる２つの凹部状光アレ
イ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を該凹部が背中
合わせとなるように組み合わせた分解斜視図である。図
１−（ｃ）は夫々異なる２つの凹部状光アレイ基板に備
えた角穴部材（平行格子窓）を、一方の光アレイ基板の
凹部に他方の光アレイ基板板の凹部が嵌合するように組
み合わせた分解斜視図である。
【図２】３つの角穴部材（平行格子窓）を夫々異なる光
アレイ板に備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図
である。図２−（ａ）は光アレイ基板自体を凹部等に加
工せずにそのまま平行格子窓を光アレイ基板内に設け
た、３つの平板状光アレイ基板に備えた角穴部材（平行
格子窓）の分解斜視図である。図２−（ｂ）は３つの凹
部状光アレイ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を、
一方の光アレイ基板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部
が嵌合するように互いに組み合わせた分解斜視図であ
る。
アレイ板に備えた角穴部材（平行格子窓）の分解斜視図
である。図２−（ａ）は光アレイ基板自体を凹部等に加
工せずにそのまま平行格子窓を光アレイ基板内に設け
た、３つの平板状光アレイ基板に備えた角穴部材（平行
格子窓）の分解斜視図である。図２−（ｂ）は３つの凹
部状光アレイ基板に備えた角穴部材（平行格子窓）を、
一方の光アレイ基板の凹部に他方の光アレイ基板の凹部
が嵌合するように互いに組み合わせた分解斜視図であ
る。
【図３】角穴部材（平行格子窓）を備えた複合光アレイ
基板において、その角穴部材（平行格子窓）が略直交し
て配置された状態を示す説明図である。図３−（イ）は
上方光アレイ基板１の下側に下方光アレイ基板２を重ね
合わせた場合の平行格子窓の状態を示す説明図である。
図３−（ロ）は上方平行格子窓３が設けられた上板光ア
レイ基板１の状態を示す。図３−（ハ）は下方平行格子
窓４が設けられた下方光アレイ基板２の状態を示す。
基板において、その角穴部材（平行格子窓）が略直交し
て配置された状態を示す説明図である。図３−（イ）は
上方光アレイ基板１の下側に下方光アレイ基板２を重ね
合わせた場合の平行格子窓の状態を示す説明図である。
図３−（ロ）は上方平行格子窓３が設けられた上板光ア
レイ基板１の状態を示す。図３−（ハ）は下方平行格子
窓４が設けられた下方光アレイ基板２の状態を示す。
【図４】本発明の複合二次元光アレイ基板を用いて光フ
ァイバを二次元に精密配列固定する方法を示す説明図で
ある。図４−（イ）は、第一、及び第二の平行格子窓と
挿入される光ファイバＡの関係を示す状態図である。図
４−（ロ）は、第一、及び第二の平行格子窓の各長孔に
所定の本数の光ファイバＡを挿入し状態を示す状態図で
ある。図４−（ハ）は、第一、及び第二のの平行格子窓
に光ファイバを挿入後の、相隣接する平行格子窓同士が
ほぼ密着して配置され、光ファイバが二次元に精密配列
固定した状態を示す状態図である。
ァイバを二次元に精密配列固定する方法を示す説明図で
ある。図４−（イ）は、第一、及び第二の平行格子窓と
挿入される光ファイバＡの関係を示す状態図である。図
４−（ロ）は、第一、及び第二の平行格子窓の各長孔に
所定の本数の光ファイバＡを挿入し状態を示す状態図で
ある。図４−（ハ）は、第一、及び第二のの平行格子窓
に光ファイバを挿入後の、相隣接する平行格子窓同士が
ほぼ密着して配置され、光ファイバが二次元に精密配列
固定した状態を示す状態図である。
【図５】角穴又は長孔に挿入する光ファイバＡの先端が
予め加工処理されてテーパＣを設けた状態を示す斜視図
である。
予め加工処理されてテーパＣを設けた状態を示す斜視図
である。
【図６】メタルフランジＤに本発明の角穴部材（平行格
子窓）Ｅを組み込み、光ファイバＡを挿入した状態を示
し、図６−（イ）はその側面図、図６−（ロ）はその下
方断面図であり、光ファイバＡの端面の状態を示すもの
である。
子窓）Ｅを組み込み、光ファイバＡを挿入した状態を示
し、図６−（イ）はその側面図、図６−（ロ）はその下
方断面図であり、光ファイバＡの端面の状態を示すもの
である。
１ 上板光アレイ基板 ２ 下板光アレイ基板 ３ 上方平行格子窓（角穴部材） ４ 下方平行格子窓（角穴部材） ５ 上方凹部 ６ 下方凹部 １１ 上方光アレイ基板 １２ 中央光アレイ基板 １３ 下方光アレイ基板 １４ 上方平行格子窓（角穴部材） １５ 中央平行格子窓（角穴部材） １６ 下方平行格子窓（角穴部材） １７ 上板凹部 １８ 中板凹部 １９ 下板凹部 Ａ 光ファイバ Ｂ 被覆部 Ｃ テーパ部 Ｄ メタルフランジ Ｅ 角穴部材（平行格子窓） Ｆ 光ファイバ端面
Claims (12)
- 【請求項１】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の
長孔からなる２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ
基板に互いに略直交して配置することによって、両孔の
交差部にて二次元に配列された角穴部材が形成されてお
り、更に前記角穴部に光ファイバが挿入され、その光フ
ァイバが二次元に精密配列固定されていることを特徴と
する、二次元光アレイ。 - 【請求項２】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の
長孔からなる３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光ア
レイ基板に設けられており、且つ相接する平行格子窓同
士は互いに略直交に配置され、それにより形成される二
次元に配列された角穴位置は、どの相接する平行格子窓
においても同軸位置にあり、更に前記角穴部に光ファイ
バが挿入され、その光ファイバが二次元に精密配列固定
されていることを特徴とする、二次元光アレイ。 - 【請求項３】 前記平行格子窓の何れかの重ね合わせ部
近傍まで端面が研磨してあることを特徴とする、請求項
１又は２記載の二次元光アレイ。 - 【請求項４】 前記平行格子窓は無機材料を材質とする
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の二次元光アレ
イ。 - 【請求項５】 前記基板はシリコンを材質とすることを
特徴とする、請求項４記載の二次元光アレイ。 - 【請求項６】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の
長孔からなる２つの平行格子窓を、夫々異なる光アレイ
基板に互いに略直交して配置して、両孔の交差部で二次
元に配列した角穴部材を形成し、次いで前記角穴部に光
ファイバを挿入して、光ファイバを二次元に精密配列固
定することを特徴とする、二次元光アレイの製造方法。 - 【請求項７】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の
長孔からなる３つ以上の平行格子窓が夫々相異なる光ア
レイ基板に設けられ、かつ相接する平行格子窓同士は互
いに略直交して配置し、更に、それにより形成される二
次元に配列された角穴位置がどの相接する平行格子窓に
おいても同軸位置になるようにし、次いで前記角穴部に
光ファイバを挿入して、光ファイバを二次元に精密配列
固定することを特徴とする、二次元光アレイの製造方
法。 - 【請求項８】 光ファイバ外径に略等しい幅の複数個の
長孔からなる２つ以上の平行格子窓が夫々異なる光アレ
イ基板に設けられたものを用い、初めに、第一の平行格
子窓の各長孔に各々所定の本数の光ファイバを挿入し、
次に第二の平行格子窓を、第一の平行格子窓と略直交す
る方向にて、第一の平行格子窓の同一長孔を通った光フ
ァイバは第二の平行格子窓では各々異なった長孔を通る
ように各光ファイバを挿入するという操作を所定の平行
格子窓数だけ繰返し、更に、相隣接する平行格子窓同士
はほぼ密着するようにして、光ファイバを二次元に精密
配列固定したことを特徴とする、二次元光アレイの製造
方法。 - 【請求項９】 光ファイバを角穴部材に固定後、前記平
行格子窓の何れかの重ね合わせ部から０．５ｍｍ以内ま
で端面を研磨することを特徴とする、請求項６〜８のい
ずれかに記載の二次元光アレイの製造方法。 - 【請求項１０】 前記平行格子窓の加工は研削加工によ
ることを特徴とする、請求項６〜８のいずかに記載の二
次元光アレイの製造方法。 - 【請求項１１】 前記角穴又は長孔に挿入する光ファイ
バの先端は予めテーパ処理しておくことを特徴とする、
請求項６〜８のいずれかに記載の二次元光アレイの製造
方法。 - 【請求項１２】 前記テーパ処理は溶融延伸によること
を特徴とする、請求項１１記載の二次元光アレイの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13574595A JP3482736B2 (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 二次元光アレイ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13574595A JP3482736B2 (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 二次元光アレイ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304657A true JPH08304657A (ja) | 1996-11-22 |
| JP3482736B2 JP3482736B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=15158889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13574595A Expired - Fee Related JP3482736B2 (ja) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | 二次元光アレイ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3482736B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002005001A1 (fr) * | 2000-07-10 | 2002-01-17 | Hikari Tech Co., Ltd. | Procede de fabrication d'une ferrule a plusieurs corps |
| CN111142184A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-05-12 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种二维光纤阵列 |
-
1995
- 1995-05-10 JP JP13574595A patent/JP3482736B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002005001A1 (fr) * | 2000-07-10 | 2002-01-17 | Hikari Tech Co., Ltd. | Procede de fabrication d'une ferrule a plusieurs corps |
| US6711802B2 (en) | 2000-07-10 | 2004-03-30 | Hikari Tech Co., Ltd. | Method of manufacturing multi-core ferrule |
| CN111142184A (zh) * | 2020-01-22 | 2020-05-12 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种二维光纤阵列 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3482736B2 (ja) | 2004-01-06 |
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