JPH08309979A

JPH08309979A - インク噴射装置及びその製造方法

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Publication number: JPH08309979A
Application number: JP7118364A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Takahashi; 高橋　　義和
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1995-05-17
Filing date: 1995-05-17
Publication date: 1996-11-26
Anticipated expiration: 2015-12-25
Also published as: JP3120694B2

Abstract

(57)【要約】【目的】大量生産性、信頼性に優れ、容易に電気的接
続が行えるインク噴射装置を提供すること。【構成】キュリー温度Ｔ１を有する圧電材料からなる下
部圧電セラミックス層４と、前記キュリー温度よりも低
いキュリー温度Ｔ２を有する圧電材料からなる上部圧電
セラミックス層５とを積層一体焼結して圧電積層体２０
とする。続いて、前記Ｔ１よりも低く、かつ前記Ｔ２よ
りも高い温度Ｔ３のオイル中にて、各層の積層方法に電
界を印加する。続いて、前記Ｔ２よりも低い温度Ｔ４の
オイル中にて、積層方向に前分極工程とは逆向きの電界
を印加する。これにより、下部圧電セラミックス層４と
上部圧電セラミックス層５とが逆向きの分極方向を有す
る圧電積層体２０となる。この積層体２０からなる圧電
セラミックスプレート２と、カバープレート３と、ノズ
ルプレートとからインク噴射装置１が構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置および
その製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が挙げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような問題点を同時に解決する新た
な方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５
１号公報に開示されている圧電セラミックスを利用した
せん断モード型である。

【０００５】図１１に示すように、上記せん断モード型
のインク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及
びその間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５からなっている。アクチュエータ壁
６０３は一対となって、その間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９，６２１が
金属層として設けられている。各電極６１９，６２１は
インクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われて
いる。そして、空間６１５に面している電極６２１はア
ース６２３に接続され、インク流路６１３内に設けられ
ている電極６１９はアクチュエータ駆動回路を与えるシ
リコン・チップ６２５に接続されている。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６１
９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を設ける。
同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１を形成し、
その上に前記絶縁層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が形成されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、インク流路６１３及び空間６１５の一端
に接着し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシ
リコン・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置６００では、空間６１５に面し
ている電極６１９、６２１はアース６２３に接続され、
インク流路６１３内に設けられている電極６１９、６２
１は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコン・チッ
プ６２５に接続されているが、その電気接続の具体的構
成および方法が開示されていない。そこで、例えば、、
上部壁６０５と下部壁６０７とを接着した後に、電極６
１９と６２１とを電気的に接続するか、または電極６１
９、６２１を別々にアクチュエータ駆動回路を与えるシ
リコン・チップ６２５に接続する必要があるが、どちら
の場合も工程に時間がかかり、大量生産性に劣るといっ
た問題点があった。

【００１１】また、上部壁６０５と下部壁６０７とを接
着する際には、高精度な位置合わせとする必要があり、
これも大量生産性に劣る要因となる。また、現実には位
置合わせを行なっても、どうしても接合部で桁ズレが生
じてしまう。よって、作製されるインク噴射装置におい
て、耐久性及びインク噴射特性のばらつきが生じ易く、
歩留まりがよくなかった。

【００１２】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、電極の取り出しが簡易で、且つ
信頼性の高い電気的接続が行えるインク噴射装置を提供
すると共に、前記インク噴射装置を容易に製造する、大
量生産性に優れたインク噴射装置の製造方法を提示する
ことを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインク噴射装置は、インクが充填されたイン
ク液室と、前記インク液室を構成し、且つ分極された圧
電部で少なくとも一部が構成された側壁と、前記分極方
向と略直交する電界を前記圧電部に印加するために前記
側壁に形成された駆動電極とを有し、前記駆動電極より
印加される電界を受けて、圧電厚みすべり効果により前
記側壁が変形し、前記インク液室内のインクに圧力を与
えてインクを噴射するものであり、更に、前記側壁を構
成する圧電部が、キュリー温度の異なる２種類の圧電材
料を前記側壁の起立方向に積層してなり、前記２種類の
圧電材料が、その積層方向に平行な方向であって且つ互
いに相反する方向に分極されている。

【００１４】尚、前記２種類の圧電材料は、焼結により
一体化されていてもよい。

【００１５】上記目的を達成するために本発明のインク
噴射装置の製造方法は、インクが充填されたインク液室
と、前記インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で
少なくとも一部が構成された側壁と、前記分極方向と略
直交する電界を前記圧電部に印加するために前記側壁に
形成された駆動電極とを有し、前記駆動電極より印加さ
れる電界を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁
が変形し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてイ
ンクを噴射するインク噴射装置を作製する方法であっ
て、キュリー温度Ｔａを呈する第１の圧電材料と、それ
よりも値の大きいキュリー温度Ｔｂを呈する第２の圧電
材料とを前記側壁の起立方向となる方向に積層して一体
化させた積層体を形成する工程と、前記積層体における
積層方向の両端面にそれぞれ電極板を密着させ、前記第
１の圧電材料のキュリー温度Ｔａ以上で、且つ前記第２
の圧電材料のキュリー温度Ｔｂ未満の環境下において、
前記電極板間に電界をかけて前記第２の圧電材料を分極
させる工程と、前記第１の圧電材料のキュリー温度Ｔａ
未満の環境下において、前記電極板間に前工程とは逆極
性の電界をかけて、前記第１の圧電材料を前記第２の圧
電材料の分極方向と相反する方向に分極させる工程と、
前記積層体に、積層方向を深さとし、下層に位置する圧
電材料にまでおよぶ溝部を形成する工程と、前記溝部の
少なくとも側壁面に導電性膜を形成する工程と、前記溝
部の開口部を覆うように、前記積層体の上層にカバープ
レートを接着する工程とを有する。

【００１６】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンク噴射装置おいては、側壁に隔てられた複数のインク
液室が形成されており、前記側壁を構成する圧電部が、
キュリー温度の異なる、２種類の圧電材料を前記側壁の
起立方向に積層して構成されている。尚、前記圧電部
は、２種類の圧電材料のキュリー温度の差を利用し、２
回の分極処理を行うことで、積層された層が積層方向に
平行で、かつ互いに相反する方向に分極されている。前
記分極方向と略直交する電界を発生するように前記圧電
部に形成された一対の駆動電極に電圧が印加されると、
前記圧電部の圧電厚みすべり効果により、前記側壁が変
形して、前記インク液室内のインクに圧力を与えてイン
クを噴射する。

【００１７】請求項２に記載のインク噴射装置において
は、焼結により２種類の圧電素子が一体化されており、
両者は強固に結合される。よって、耐久性及び駆動精度
の高いアクチュエータとなり、このアクチュエータを備
えたインク噴射装置は高い印字品質を呈する。

【００１８】上記構成を有する本発明の請求項３に記載
のインク噴射装置の製造方法においては、キュリー温度
Ｔａを呈する第１の圧電材料と、それよりも値の大きい
キュリー温度Ｔｂを呈する第２の圧電材料とを前記側壁
の起立方向となる方向に積層して一体化させた積層体を
形成し、前記積層体における積層方向の両端面にそれぞ
れ電極板を密着させ、前記第１の圧電材料のキュリー温
度Ｔａ以上で、且つ前記第２の圧電材料のキュリー温度
Ｔｂ未満の環境下において、前記電極板間に電界をかけ
て前記第２の圧電材料を分極させる。加えて、前記第１
の圧電材料のキュリー温度Ｔａ未満の環境下において、
前記電極板間に前工程とは逆極性の電界をかけて、前記
第１の圧電材料を前記第２の圧電材料の分極方向と相反
する方向に分極させる。その後、前記積層体に、積層方
向を深さとし、下層に位置する圧電材料にまでおよぶ溝
部を形成し、前記溝部の少なくとも側壁面に導電性膜を
形成する。そして、前記溝部の開口部を覆うように、前
記積層体の上層にカバープレートを接着することにより
インク噴射装置が作製される。

【００１９】この手法では、２種類の圧電シートに対し
て、キュリー温度の差を利用し、２回の分極処理を行う
ことで、積層された層が積層方向に平行で且つ互いに相
反する方向に分極を容易に行なうことができる。また、
一体化した積層体にインク室となる溝の加工を行なうた
め、各層にて桁ズレが生じない。また、桁ズレが無いた
め駆動電極の形成が容易であると共に、電気的接続が上
下の圧電層で確実なものとなる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。

【００２１】図１に示すように、インク噴射装置１は圧
電セラミックスプレート２とカバープレート３と図示し
ないノズルを有するノズルプレート（図示せず）とから
構成されている。

【００２２】その圧電セラミックスプレート２は、下部
圧電セラミックス層４と上部圧電セラミックス層５とを
積層してなり、その圧電セラミックプレート２の積層方
向を深さとし、図中上方より下部圧電セラミックスプレ
ート４にまでおよぶ複数の溝が形成されて、複数の側壁
１１にが設けられている。

【００２３】下部圧電セラミックス層４及び上部圧電セ
ラミックス層５は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン
酸鉛系（ＰＺＴ）の圧電セラミックス材料で形成されて
おり、それぞれ図中矢印６、７で示すように、積層方向
で且つ互いに相反する方向に分極されている。

【００２４】また、側壁１１に隔てられた溝は、複数の
噴射溝１２と、非噴射溝１３とに交互に分類される。噴
射溝１２の内表面には接地電極１０が、また、非噴射溝
１３の内表面には駆動電極９が形成されている。尚、前
記駆動電極９を噴射溝１２毎に電気的に分離するため
に、非噴射溝１３の底部に分離溝１４が形成されてい
る。

【００２５】上記圧電セラミックスプレート２の製造方
法を図２乃至図８を用いて以下に説明する。

【００２６】まず、下部圧電セラミックス層４を構成す
る圧電材料として、キュリー温度Ｔ１、例えば２５０℃
を有するチタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）の圧電材料
と、上部圧電セラミックス層５を構成する圧電材料とし
て、前記キュリー温度Ｔ１よりも低いキュリー温度Ｔ
２、例えば１００℃を有するＰＺＴの圧電材料とを用意
し、それらをそれぞれドクターブレード法、スクリーン
印刷法などの手法を用いて、所定の厚さのシート状に成
形する。そして、図２に示すように、成形された圧電材
料からなる２枚の圧電シートを積層し、加圧圧着、脱
脂、および焼結工程を経て一体焼結体である圧電積層体
２０とする。尚、この段階では下部圧電セラミックス層
４と上部圧電セラミックス層５との自発分極方向はラン
ダムであり、圧電特性を有さない。尚、ここでいうキュ
リー温度とは、圧電セラミックスがその温度以上では強
誘電性を失う温度のことである。

【００２７】次に、得られた圧電積層体２０の上下両面
に、図３に示すように、分極用電極１５を焼付法、スパ
ッタ法、蒸着法等の既知の方法にて形成する。続いて、
図４に示すように前記キュリー温度Ｔ１よりも低く、且
つ前記キュリー温度Ｔ２よりも高い温度Ｔ３、例えば１
５０℃である図示しないシリコンオイルなどの絶縁オイ
ル中にて分極処理を行なう。分極処理は、前記分極用電
極１５を介して上部圧電セラミックス層５、および下部
圧電セラミックス層４に１０〜３５ｋＶ／ｃｍ程度の電
界を印加する。このとき、上部圧電セラミックス層５
は、キュリー温度Ｔ２以上であるため、電界の印加によ
り分極されることはなく、下部圧電セラミックス層４だ
けが図中矢印６方向に分極される。

【００２８】続いて、図５に示すように、前記キュリー
温度Ｔ２よりも低い温度Ｔ４、例えば５０℃である図示
しない絶縁オイル中にて、前記分極用電極１５を介して
上部圧電セラミックス層５、および下部圧電セラミック
ス層４に前記分極工程とは逆向きの１０〜３５ｋＶ／ｃ
ｍ程度の電界を印加する。このとき、上部圧電セラミッ
クス層５は、電界の印加により矢印７の方向に分極され
るが、下部圧電セラミックス層４は抗電界が高いため低
温では分極反転がほとんど起こらず矢印６の方向の分極
が残る。

【００２９】以上に示した温度設定の異なる２回の分極
処理により、下部圧電セラミックス層４と上部圧電セラ
ミックス層５とが逆向きの分極方向を有する圧電積層体
２０となる。尚、分極処理完了後には分極用電極１４を
研削加工により除去する。

【００３０】次に、前記積層体２０は、ダイヤモンドブ
レード等により切削加工され、例えば深さ３００μｍ、
幅５０μｍの複数の溝２２が形成され、図６に示す圧電
セラミックスプレート２となる。また、その溝１１の側
面となる側壁１１は、例えば幅６０μｍである。溝２２
の内面には、図６に示すように、電極２３が、スパッタ
リング、蒸着、メッキ等によって形成される。そして、
図８に示すように、溝２２は、交互に並ぶ噴射溝１２と
非噴射溝１３とに分類され、また、電極２３も、噴射溝
１２内部の電極２３は接地電極１０となり、非噴射溝１
３内部の電極２３は駆動電極９となる。また、非噴射溝
１３の底部に、前記非噴射溝１３よりも幅が狭い、例え
ば３０μｍの分離溝１４をダイヤモンドブレード等によ
り切削加工し、前記駆動電極９を対応する噴射チャンネ
ル（噴射溝）毎に電気的に分離する。

【００３１】そして、カバープレート３をエポキシ系接
着剤等を用いて前記圧電アクチュエータ２の溝の開口部
に接合し、図示しないノズルを有する図示しないノズル
プレートを前記噴射溝１２長手方向の一端面に接合する
ことで、図１に示したインク噴射装置１が得られる。

【００３２】次に、制御部のブロック図を示す図９によ
って、本実施例の制御部の構成を説明する。同図に示す
ように、前記インク噴射装置１の駆動電極９と接地電極
１０は、各々個々にＬＳＩチップ５１に接続され、クロ
ックライン５２、データライン５３、電圧ライン５４及
びアースライン５５もＬＳＩチップ５１に接続されてい
る。尚、全ての接地電極１０はアースライン５５に接続
されている。ＬＳＩチップ５１は、クロックライン５２
から供給された連続するクロックパルスに基づいて、デ
ータライン５３上に現れるデータから、どの噴射溝１２
からインク液滴の噴射を行うべきかを判断する。そし
て、ＬＳＩチップ５１は、駆動する噴射溝１２に対応す
るの駆動電極９に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加し、
前記噴射溝１２以外の噴射溝１２に対応する駆動電極９
にアースライン５５を接続して接地する。

【００３３】次に、本実施例によるインク噴射装置１の
動作を図１０を用いて説明する。図１０に示す噴射溝１
２ｂからインク液滴を噴射するために、当噴射溝１２ｂ
に対応する駆動電極９ｃ、９ｄに対し電圧を印加する
（ここで、ある駆動電極９に対して電圧を印加すること
は、その駆動電極９に電圧を印加し、指示しない駆動電
極９を接地することを言う）。すると、側壁１１ｃ、１
１ｄには矢印２４、２５方向の電界が発生し、側壁１１
ｃ、１１ｄが圧電厚みすべり効果により、噴射溝１２ｂ
の容積が増大する方向にに動く。すると、噴射溝１２ｂ
内の圧力が減少する。これにより、噴射溝１２ｂ内に図
示しないインク供給源から図示しないマニホールドを介
してインクが供給される。

【００３４】次に、前記駆動電圧９への電圧の印加が除
去されると噴射溝１２ｂの容積を前記増加状態から自然
状態へと減少させ、噴射溝１２ｂ内の圧力が増加する。
これにより噴射溝１２ｂ内のインクがインク液滴となり
図示しないノズルから噴射される。

【００３５】また、前記実施例においては、まず、駆動
電圧を噴射溝１２の容積が増加する方向に印加しインク
を供給し、次に駆動電圧の印加を停止し噴射溝１２の容
積を自然状態に減少して噴射溝１２からインク液滴を噴
射していたが、まず駆動電圧を噴射溝１２の容積が減少
するように印加して噴射溝１２からインク液滴を噴射し
てから、駆動電圧の印加を停止して、噴射溝１２の容積
を前記減少状態から自然状態へと増加させ、噴射溝１２
内にインクを供給してもよい。

【００３６】上述したように、本実施例の製造方法によ
るインク噴射装置１においては、圧電厚みすべり効果の
変形をする側壁１１が、キュリー温度の異なる、２種類
の圧電材料を前記側壁１１の起立方向に積層し、焼結し
て一体化された構成をとっている。よって、耐久性及び
駆動精度の高いアクチュエータとなり、このアクチュエ
ータを備えたインク噴射装置は高い印字品質を呈する。

【００３７】更に、本実施例では、それぞれの圧電セラ
ミックス層を、キュリー温度の差を利用し、２回の分極
処理を行うことで、その２種類の圧電材料が互いに相反
する方向に分極している。よって、最小限の工程で、各
層の分極特性を侵すことなく、確実な分極が成される。

【００３８】また、本実施例では、焼結一体化された圧
電積層体２０に対して溝加工を行なうことで、インク液
室となる噴射溝１２及び空気室となる非噴射溝１３とを
形成する。よって、側壁１１は、各層の接合面で桁ズレ
を起こすことなく、高い寸法精度を形成できる。

【００３９】更に、本実施例では、その寸法精度の高い
側壁１１に電極２３を形成するため、上部圧電セラミッ
クス層５と下部圧電セラミックス層４とで電極が分離す
ることなく、従来例に比べて電極の取り出しが簡易で、
且つ電気的接続の信頼性が高い圧電セラミックスプレー
ト２を容易に作製できる。

【００４０】即ち、本実施例の製造方法は、従来あった
圧電材料の位置合わせや、内部電極の形成、その電極の
取り出し等の問題を解消するものであり、大量生産性に
優れている。

【００４１】また、上記実施例においては、噴射溝１２
内に形成された全ての電極が常に接地されており、各噴
射溝１２との間に電圧差が生じることが無い。よって、
インクに電界がかからず、電気的効果による噴射溝１２
内のインクの変質や接地電極１０の劣化を引き起こすこ
とが無い。ひいては、接地電極１０に従来設けていた絶
縁層を形成する必要もなくなる。尚、上記駆動方法を取
らなくとも、本発明の主旨には影響しない。例えば、従
来例のように、常に全ての非噴射溝１３に形成した電極
を接地し、平常は全ての噴射溝１２内に形成した電極１
２５を接地し、印刷時には所望の噴射溝１２の電極に電
圧Ｖをかけるものでもよい。

【００４２】

【発明の効果】上述したように、本発明によるインク噴
射装置の製造方法では、２層の圧電シートに対して、容
易に確実な分極を行なうことができる。また、一体化し
た積層体にインク室となる溝の加工を行なうため、各層
にて桁ズレが生じない。また、桁ズレが無いため駆動電
極の形成が容易であると共に、電気的接続が上下の圧電
層で確実なものとなる。よって、大量生産性に優れる。

【００４３】また、作製されたインク噴射装置は、電気
的接続の信頼性が向上すると共に、耐久性に優れ、噴射
特性のばらつき等の不具合を生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例のインク噴射装置の構成を示す
断面図である。

【図２】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図３】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図４】同インク噴射装置の分極工程を示す断面図であ
る。

【図５】同インク噴射装置の分極工程を示す断面図であ
る。

【図６】同インク噴射装置の製造工程を示す断面図であ
る。

【図７】同インク噴射装置の製造工程を示す断面図であ
る。

【図８】同インク噴射装置の製造工程を示す断面図であ
る。

【図９】本発明の実施例のインク噴射装置の制御部を示
すブロック図である。

【図１０】同インク噴射装置の動作を示す説明図であ
る。

【図１１】従来例のインク噴射装置を示す図である。

【符号の説明】

１インク噴射装置２圧電セラミックスプレート３カバープレート４下部圧電セラミックス層５上部圧電セラミックス層６分極方向７分極方向９駆動電極１０接地電極１１側壁１２噴射溝（インク液室）１３非噴射溝２４電界方向２５電界方向

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクが充填されたインク液室と、前
記インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で少なく
とも一部が構成された側壁と、前記分極方向と略直交す
る電界を前記圧電部に印加するために前記側壁に形成さ
れた駆動電極とを有し、前記駆動電極より印加される電
界を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁が変形
し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてインクを
噴射するインク噴射装置において、前記側壁を構成する圧電部が、キュリー温度の異なる２
種類の圧電材料を前記側壁の起立方向に積層してなり、前記２種類の圧電材料が、その積層方向に平行な方向で
あって且つ互いに相反する方向に分極されていることを
特徴とするインク噴射装置。
【請求項２】前記２種類の圧電材料は、焼結により一
体化されていることを特徴とする請求項１に記載のイン
ク噴射装置。
【請求項３】インクが充填されたインク液室と、前記
インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で少なくと
も一部が構成された側壁と、前記分極方向と略直交する
電界を前記圧電部に印加するために前記側壁に形成され
た駆動電極とを有し、前記駆動電極より印加される電界
を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁が変形
し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてインクを
噴射するインク噴射装置の製造方法において、キュリー温度Ｔａを呈する第１の圧電材料と、それより
も値の大きいキュリー温度Ｔｂを呈する第２の圧電材料
とを前記側壁の起立方向となる方向に積層して一体化さ
せた積層体を形成する工程と、前記積層体における積層方向の両端面にそれぞれ電極板
を密着させ、前記第１の圧電材料のキュリー温度Ｔａ以
上で、且つ前記第２の圧電材料のキュリー温度Ｔｂ未満
の環境下において、前記電極板間に電界をかけて前記第
２の圧電材料を分極させる工程と、前記第１の圧電材料のキュリー温度Ｔａ未満の環境下に
おいて、前記電極板間に前工程とは逆極性の電界をかけ
て、前記第１の圧電材料を前記第２の圧電材料の分極方
向と相反する方向に分極させる工程と、前記積層体に、積層方向を深さとし、下層に位置する圧
電材料にまでおよぶ溝部を形成する工程と、前記溝部の少なくとも側壁面に導電性膜を形成する工程
と、前記溝部の開口部を覆うように、前記積層体の上層にカ
バープレートを接着する工程とを有することを特徴とす
るインク噴射装置の製造方法。