JPH0831022A - ロール状スタンパー - Google Patents

ロール状スタンパー

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JPH0831022A
JPH0831022A JP6183097A JP18309794A JPH0831022A JP H0831022 A JPH0831022 A JP H0831022A JP 6183097 A JP6183097 A JP 6183097A JP 18309794 A JP18309794 A JP 18309794A JP H0831022 A JPH0831022 A JP H0831022A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roll
stamper
pattern
shaped
anisotropy
Prior art date
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Pending
Application number
JP6183097A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Imataki
寛之 今滝
Mitsuo Hiraoka
美津穂 平岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to JP6183097A priority Critical patent/JPH0831022A/ja
Publication of JPH0831022A publication Critical patent/JPH0831022A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ロール上に巻きつけたスタンパーのパターン
の寸法および異方性を補正した精度の高いロール状スタ
ンパーを提供する。 【構成】 表面の微細な凹凸状パターンを転写するスタ
ンパー2をロール1に固定したロール状スタンパーに於
て、該スタンパー2のパターン3の配列方向がロールの
円周方向に対し0〜90°の角度を持って構成されてい
るロール状スタンパー。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体用の基板に微
細な凹凸パターンのプリフォーマットを連続的に転写す
るロール状スタンパーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、微細な凹凸パターンを有する情報
記録媒体を製造する方法としては、例えば特開昭56−
86721号公報や特開昭56−87203号公報等に
おいて、微細な凹凸パターンを転写するスタンパーをロ
ールに固定し、押出し成形法により連続して樹脂基板等
に凹凸パターンを転写成形する方法が報告されいる。
【0003】これらに使用されるロール状スタンパーと
しては、(1)電鋳によって作成された板状のスタンパ
ーをロールに接着剤や粘着テープを介して、又は直接ネ
ジ止めによって固定する方法と、(2)ロール上に直接
微細な凹凸パターンを刻設する方法によって得られるの
が一般的である。本発明は、前者の板状のスタンパーを
ロール上に固定するロール状スタンパーに関するもので
ある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の(1)に示す様
に、従来のあらかじめ作製した板状のスタンパーをロー
ルに固定する方法では、該スタンパーをロール上に巻き
つける際に、図4に示される様に、そのパターン表面は
延伸され、パターン寸法が変化するという問題があっ
た。
【0005】即ち、図4に示される様に、ロール1(半
径;r)にスタンパー2(厚み;d)を巻きつけて固定
すると、スタンパーの微細凹凸パターンを有する外側の
面は延伸され、ロールに接する内側の面は圧縮されて、
スタンパーの外側と内側の面では、
【0006】
【数1】〔2π(r+d)〕−〔2πr〕=2πd の差が生じる結果となる。
【0007】しかも、この寸法変化がロールの円周方向
にのみ生じるという異方性を示す。例えば、情報記録媒
体として光カードの場合、図5に示すようにクレジット
サイズ(54×85×0.76mm)の基板に、4Mバ
イトの情報を収容する事が出来る。その光カード6の光
記録領域7は、図5(B)に示す様に、幅9μmの記録
トラック8の両サイドに、幅3μmのAT用プリグルー
ブ9を有するトラックが、12μmピッチで約2600
本形成され、該トラックには3μmのピットが3μm間
隔で記録されている。
【0008】又、このトラックには、各トラック間のi
D番号やデータ管理上の精度として、3×3μm,3×
6μmのピットが3μmや6μmのピッチでプリフォー
マットピット9aとして形成されている。これらの情報
ピットの位置寸法は迅速なシークを行う為に厳しい精度
が要求される。光ディスクの場合には、その記録ピット
は0.6μmで、トラック幅は1.6μmと更に厳しい
精度である。
【0009】従来、この種のスタンパーとしては、その
厚みを小さく、例えば20〜80μmにする事によって
ロール上に巻きつけた時のパターン寸法の変化を小さく
押えようとしているが、その異方性は解決されない。
又、スタンパーのパターン自身を予じめ補正する方法も
提案されているが、その補正が微小すぎて従来の方法で
は充分に対応しきれないのが現状である。
【0010】本発明は、この様な従来技術の欠点を改善
するためになされたものであり、ロール上に巻きつけた
スタンパーのパターンの寸法および異方性を補正した精
度の高いロール状スタンパーを提供することを目的とす
るものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、表面の
微細な凹凸状パターンを転写するスタンパーをロールに
固定したロール状スタンパーに於て、該スタンパーのパ
ターンの配置方向がロールの円周方向に対し0〜90°
の角度を持って構成されている事を特徴とするロール状
スタンパーである。
【0012】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
ロール状スタンパーは、ロール上に巻きつけたスタンパ
ーのパターンが、矩形、正方形等の四角形のピットが一
方向に配列してなり、そのパターンの配置方向をロール
の円周方向に対し0〜90°の角度に傾けて配列してな
るものである。
【0013】図2はスタンパーを傾斜角を持たないでロ
ールに固定する方法を示す説明図、図3はスタンパーを
傾斜角を持ってロールに固定する方法を示す説明図であ
る。同図3に示す様に、本発明は、ロール状スタンパー
上の矩形のピット4のパターンが固定するロールの円周
方向Cに対し、0<θ<90°の角度を持って傾斜して
配置するように構成する事により、ロール上に巻きつけ
たスタンパーのパターンの寸法および異方性の大きさを
任意に制御可能にしたものである。例えば、矩形のピッ
ト4のパターンをθ=45°の角度でロール上に固定す
る事によって、図3に示される様に、ピット4のA方向
とB方向の伸びは
【0014】
【数2】 となり、パターンの異方性を補正する事ができる。
【0015】もし、この角度をθ=30°(図3に示す
角度)と変化させた場合は、
【0016】
【数3】 となる。即ち、そのパターンの異方性は、パターンの傾
斜角θによって、(A方向の伸び)/(B方向の伸び)
=cosθ/sinθと任意に制御することができる。
【0017】この事は、パターンを作成する際に高価な
マスクを使わずに、スタンパーの厚みと傾斜角を組合せ
る事によって、簡便で廉価に微細な寸法精度の転写パタ
ーンを得る事を可能とする。
【0018】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。
【0019】実施例1 図1は本発明の特徴を最もよく表わすロール状スタンパ
ーの説明図であり、情報記録媒体用基板に微細な凹凸パ
ターンから成るプリフォーマットパターンを転写成形す
るロール状スタンパーを示したものである。
【0020】同図1に示す様に、本発明のロール状スタ
ンパーは、ロール1上に巻きつけたスタンパー2のパタ
ーン3を固定するロールの円周方向に対し、0<θ<9
0°の角度を持って傾斜して配置してなるものである。
【0021】ロール1は回転運動により基板に連続的に
凹凸パターンの成形を可能にするものである。ロールは
その基板の成形方法により種々の形態がある。例えば、
図6に示す様な押し出し成形の場合には、ロールにはロ
ール温度を制御する熱媒を循環出来る様に加工が為され
ている。2P法による成形の場合には、紫外線の照射に
よる硬化がしやすい構造となっている。
【0022】又、図6に示す様に、ロール状スタンパー
12は、その表面の凹凸パターンを樹脂基板に転写する
ものであるが、その転写性は加圧状態に依存するので、
加圧機構を有する複数のロールと組合わされて使用され
る。この加圧成形するロール状スタンパー12上に微細
な凹凸パターンを有するスタンパー2が固定される。
【0023】一般に、従来例では、成形された基板の寸
法はスタンパーの寸法と、その樹脂が固化する際の収
縮率;ΔVと、スタンパーを取付ける為の引張り(t
ension)による伸び;ΔL、ロールに巻きつけ
る事によって起る固定伸びの3項目の要因によって取付
け前のスタンパーの平面での寸法と異なる。
【0024】このうち、は異方性とは関係なく、と
が異方性の原因となる。今、ロールの径をr、スタン
パーの厚みをdとすると、異方性の量[C]は
【0025】
【数4】 の範囲である。
【0026】本実施例では、図6に示す様な溶融押し出
し成形によるロール状スタンパーについて検討した。ロ
ール半径は300mmで、スタンパーは光カード用のプ
リフォーマットパターンで傾斜角45°で配置されてい
る。スタンパーはNi電鋳膜の厚み200mμのものを
使用した。
【0027】スタンパーをロールに巻きつけ、そのロー
ル形状を再現する様にテンションをかけて固定した。
【0028】この状態で光カード用の基板を成形する
と、記録領域30×80mmは、30.015×80.
040mmとなり、従来例の30.021×80mmと
30×80.056と較べると光カードの短辺方向で6
μm、長辺方向で16μm小さくする事が出来、しか
も、その異方性が
【0029】
【数5】 となり異方性を補正する事が出来た。
【0030】同様に傾斜角θを変化させた時の寸法と異
方性を表1にまとめて示す。
【0031】
【表1】
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロール上にスタンパーを固定してロール状スタンパーを
形成する際に、スタンパーのパターンをロールの円周方
向と0〜90°の角度を持って構成する事によって、ス
タンパーのパターンの寸法及び異方性を補正することに
より、 (1)微細な寸法で高い精度のロール状スタンパーを作
成する事を可能にした。 (2)高価な補正マスクを使用することなく、簡便で廉
価に精度の高いロール状スタンパーを作成する事を可能
にした。 (3)高い精度の微細なパターンを有する情報記録媒体
用基板を低コストで量産可能なロール状スタンパーを作
成する事を可能にした。等の効果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の特徴を最もよく表わすロール状スタン
パーの説明図である。
【図2】スタンパーを傾斜角を持たないでロールに固定
する方法を示す説明図である。
【図3】スタンパーを傾斜角を持ってロールに固定する
方法を示す説明図である。
【図4】従来のロールにスタンパーを固定した状態を示
す説明図である。
【図5】図5(A)は情報記録媒体の光カードの概略
図、図5(B)はその記録領域のプリフォーマットを示
す概略図である。
【図6】ロール状スタンパーを使用した押出し成形法の
説明図である。
【符号の説明】
1 ロール 2 スタンパー 3 パターン 4 ピット 6 光カード 7 光記録領域 8 記録トラック 9 プリグルーブ 9a プリフォーマットピット 10 押出し機 11 Tダイ 12 ロール状スタンパー 13 成形基板 14 加圧ロール C ロールの円周方向

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面の微細な凹凸状パターンを転写する
    スタンパーをロールに固定したロール状スタンパーに於
    て、該スタンパーのパターンの配置方向がロールの円周
    方向に対し0〜90°の角度を持って構成されている事
    を特徴とするロール状スタンパー。
  2. 【請求項2】 前記スタンパーのパターンが四角形のピ
    ットが一方向に配列してなる請求項1記載のロール状ス
    タンパー。
JP6183097A 1994-07-13 1994-07-13 ロール状スタンパー Pending JPH0831022A (ja)

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JP6183097A JPH0831022A (ja) 1994-07-13 1994-07-13 ロール状スタンパー

Applications Claiming Priority (1)

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JP6183097A JPH0831022A (ja) 1994-07-13 1994-07-13 ロール状スタンパー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0831022A true JPH0831022A (ja) 1996-02-02

Family

ID=16129718

Family Applications (1)

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JP6183097A Pending JPH0831022A (ja) 1994-07-13 1994-07-13 ロール状スタンパー

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JP (1) JPH0831022A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013097286A (ja) * 2011-11-04 2013-05-20 Asahi Kasei E-Materials Corp 円筒状モールド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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