JPH0831025A - 光学的情報記録媒体用基板の製造方法及びその製造装置 - Google Patents

光学的情報記録媒体用基板の製造方法及びその製造装置

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JPH0831025A
JPH0831025A JP18680994A JP18680994A JPH0831025A JP H0831025 A JPH0831025 A JP H0831025A JP 18680994 A JP18680994 A JP 18680994A JP 18680994 A JP18680994 A JP 18680994A JP H0831025 A JPH0831025 A JP H0831025A
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substrate
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roll
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JP18680994A
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Yoshi Toshida
嘉 土志田
Osamu Shikame
修 鹿目
Hirofumi Kamitakahara
弘文 上高原
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Canon Inc
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/22Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of indefinite length
    • B29C43/222Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of indefinite length characterised by the shape of the surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/44Compression means for making articles of indefinite length
    • B29C43/46Rollers
    • B29C2043/461Rollers the rollers having specific surface features
    • B29C2043/463Rollers the rollers having specific surface features corrugated, patterned or embossed surface
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29LINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2011/00Optical elements, e.g. lenses, prisms
    • B29L2011/0016Lenses

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プリフォーマットパターンの転写性を向上さ
せ、複屈折を低く抑えた光学的情報記録媒体用基板の製
造方法及びその装置を提供する。 【構成】 樹脂を溶融して押出して樹脂シート3に成形
し、実質的に溶融状態にある該樹脂シート3をスタンパ
ーロール5及び該スタンパーロール5に対向配置されて
なる鏡面ロール4とで挟圧して該樹脂シート表面にプリ
フォーマットパターンを転写した後、スタンパーロール
5から剥離して光学的情報記録媒体用基板を連続的に製
造する方法において、挟圧された樹脂シート3をスタン
パーロール5から剥離するまでの間に冷却手段8からの
冷却ガスで冷却する光学的情報記録媒体用基板の製造方
法及びその装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂シート表面にプリ
フォーマットパターンを連続的に転写して光ディスク、
光カード等の高密度な光学的情報記録媒体用基板シート
を製造するための改善された方法及びその製造装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】光学的情報記録媒体用基板を高速かつ大
量に成形する方法として、連続押し出し成形によるロー
ラーグルービング法がある。
【0003】この方法は、熱可塑性樹脂を押し出し機に
より加熱、溶融してTダイより押し出し、該押し出され
た熱可塑性樹脂を鏡面ロールとスタンパーロールとの間
を通すことにより、シート化すると同時に、トラッキン
グ溝やアドレス等のプリフォーマット凹凸パターンを樹
脂表面に転写して、光ディスク、光カード、光テープ等
の光学的情報記録媒体用基板を連続的に成形する方法で
ある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したローラーグル
ービング法により光学的情報記録媒体用基板を連続的に
成形する場合、鏡面ロールの周面とスタンパーロールの
周面との間の間隙、Tダイからの熱可塑性樹脂の押し出
し量、および成形速度の変動等の成形条件の変動によ
り、前記凹凸パターンの転写率や光学的情報記録媒体用
基板の複屈折率(値)が変化するという問題点があっ
た。
【0005】特に、成形する樹脂として、光学的異方性
のある樹脂、例えばポリカーボネート樹脂やアモルファ
スポリオレフィン樹脂等を用いる場合には、上述した成
形条件の変動により複屈折率の変化が大きくなりやす
い。
【0006】そのような基板シートの複屈折性やプリフ
ォーマットパターンの転写性を改良する方法として、成
形時の溶融樹脂シートの温度を上昇させる方法が考えら
れ、極めて有効な方法である。しかしながら、成形温度
を上昇させると、樹脂シートがスタンパーロールに貼り
付き易くなる。すなわち、樹脂シートが充分に冷却され
ない内にスタンパーロールから剥離されるため、スタン
パーロールから剥れ難く、スタンパーロールのパターン
側に樹脂シートが引張られて、樹脂シートに筋状に剥離
時の線が発生して転写されたパターンを乱してしまい、
複屈折にも悪影響を与える等の光学的性能上に問題があ
った。
【0007】さらに、成形速度を上げて成形を行う場合
にも、スタンパーロール上の樹脂シート温度が上昇し
て、上記と同様に貼り付きによる影響が発生し易かっ
た。
【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、プリフォーマットパターンの転写性を向上さ
せ、光学的情報記録媒体用基板の複屈折を低く抑え、長
時間、安定して成形できる光学的情報記録媒体用基板の
製造方法及びその製造装置を提供することを目的とする
ものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、樹脂を
溶融して押出して樹脂シートに成形し、実質的に溶融状
態にある該樹脂シートをスタンパーロール及び該スタン
パーロールに対向配置されてなる鏡面ロールとで挟圧し
て該樹脂シート表面にプリフォーマットパターンを転写
した後、スタンパーロールから剥離して光学的情報記録
媒体用基板を連続的に製造する方法において、挟圧され
た樹脂シートをスタンパーロールから剥離するまでの間
に冷却することを特徴とする光学的情報記録媒体用基板
の製造方法である。
【0010】また、本発明は、樹脂を溶融して押出し実
質的に溶融状態にある樹脂シートに成形する樹脂シート
成形手段と、該樹脂シートの表面にプリフォーマットパ
ターンを転写するフレキシブルスタンパーを周面に設け
たスタンパーロールと、該スタンパーロールに対向配置
され、樹脂シートを挟圧する鏡面ロールを具備し、前記
樹脂シートをスタンパーロールと鏡面ロールとで挟圧し
て該樹脂シートの表面にプリフォーマットパターンを転
写した後、スタンパーロールから剥離して光学的情報記
録媒体用基板を連続的に製造する装置において、スタン
パーロールの挟圧された樹脂シートを移送する周面の外
側に樹脂シートを冷却する冷却手段を設けてなることを
特徴とする光学的情報記録媒体用基板の製造装置であ
る。
【0011】以下、本発明を詳細に説明する。本発明
は、樹脂を溶融して押出して樹脂シートを成形し、実質
的に溶融状態にある該樹脂シートをスタンパーロール及
び該スタンパーロールに対向配置されてなる鏡面ロール
とで挟圧して該樹脂シート表面にプリフォーマットパタ
ーンを転写して光学的情報記録媒体用基板を連続的に製
造する方法において、押出された溶融樹脂シートが挟圧
された後、該スタンパーロールから剥離するまでの間
に、該樹脂シートの幅方向の全面を冷却手段により冷却
することを特徴とする。
【0012】また、前記の冷却する手段として冷却ガス
を使用し、その冷却ガスの温度を制御可能にしたり、冷
却ガスの供給量を増減して冷却することが好ましい。さ
らに、樹脂シートの挟圧部に於ける温度を連続的に検出
し、検出された検出値を樹脂シートの冷却条件に帰還さ
せることにより冷却することが好ましい。
【0013】次に、本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。図1は本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造装
置の一例を示す概略構成図である。同図1に於て、1は
押出し機、2は押出し機1によって溶融された樹脂をシ
ート状に賦形するためのシート用ダイス、4及び6は各
々スタンパーロール(第2ロール)5に対向配置されて
なる鏡面ロール(第1ロール4、第3ロール6)であ
る。
【0014】本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造
装置は、押出し機1から樹脂を溶融して押出し、シート
用ダイス2により実質的に溶融状態にある樹脂シート3
に成形する樹脂シート成形手段10と、該溶融状態にあ
る樹脂シート3の表面にプリフォーマットパターンを転
写するフレキシブルスタンパーを周面に設けたスタンパ
ーロール5と、該スタンパーロール5に対向配置され、
樹脂シート3を挟圧する鏡面ロール4を具備し、前記樹
脂シート3をスタンパーロール5と鏡面ロール4とで挟
圧して該樹脂シート3の表面にプリフォーマットパター
ンを転写し、その後樹脂シート3をスタンパーロール5
に対向配置された鏡面ロール6の間を通過せしめ、スタ
ンパーロール5から剥離して基板シート7を連続的に製
造する装置において、スタンパーロール5の、挟圧され
た樹脂シート3を移送する周面の外側に樹脂シート3を
冷却する冷却手段8を設けてなるものである。
【0015】本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造
方法は、上記の装置を用いて、押出し機1から樹脂を溶
融して押出してシート用ダイス2により樹脂シート3に
成形し、実質的に溶融状態にある該樹脂シート3をスタ
ンパーロール5及び鏡面ロール4とで挟圧して該樹脂シ
ート3の表面にプリフォーマットパターンを転写した
後、スタンパーロール5と鏡面ロール6の間を通過せし
め、スタンパーロール5から剥離して基板シート7を連
続的に製造する方法において、挟圧されプリフォーマッ
トパターンを転写した樹脂シート3をスタンパーロール
から剥離するまでの間に冷却手段8により冷却する方法
である。
【0016】この時、溶融樹脂の温度は、例えばポリカ
ーボネートの場合、260〜350℃に設定される。そ
して、シート用ダイス2の大きさは、成形された溶融樹
脂シート3の幅がフレキシブルスタンパーの幅よりも広
くなる様に形成され、又該シート用ダイス2から押出さ
れる溶融樹脂シート3が鏡面ロール4とスタンパーロー
ル5の間に押出される様に配置されている。
【0017】そして本発明に於ては、図1の8に示す様
に冷却手段を配置することによって樹脂シートを冷却
し、樹脂シートの溶融温度を高温にした場合に生じ易
い、前記した様なスタンパーロール5への貼り付きによ
る影響を低減させることが出来る。8′は配置位置を変
えた場合の冷却手段を示す。
【0018】図2は図1のAA線断面図である。同図2
において、冷却手段8は基板シート7の表面上に冷却ガ
ス、例えば空気、窒素、炭酸ガス、その他の不活性ガス
等を冷却して供給するノズルやホース等で構成され、ま
たは図3に示すようなダクト等で構成されており、上記
ガスが通過可能な多孔性材料も使用出来る。
【0019】本発明において、上記の冷却ガスの温度を
制御出来るようにすることが好ましく、冷却ガスを一定
温度で供給し樹脂シートを均一に冷却するだけでなく、
樹脂シートの温度に合わせて冷却ガスの供給量を増減し
たり、または冷却ガスの温度を変えて供給出来る構成に
することもできる。
【0020】また、図3に示す冷却手段8には、分割さ
れたブロックからなる冷却媒体吹出し口9が設けられて
いる。上記の各ブロックは、図4(b)に示す様に、ス
タンパーロール5の回転方向に対し順次温度勾配が付く
ように、あるいは図4(a)に示す様に、スタンパーロ
ール5の中心軸方向に温度勾配が付くように条件設定し
てもよく、基板シートの性能上最適な状態に設定すれば
良い。
【0021】図9は本発明の光学的情報記録媒体用基板
の製造装置の他の例を示す概略断面図であり、図10は
図9の樹脂シートの表面温度測定部近傍の状態を示す概
略平面図である。図9及び図10に示す様に、上記冷却
手段8の冷却ガスの温度制御方法として、基板シート7
がスタンパーロール5から剥離する剥離部にプリフォー
マットパターン転写部22の表面温度測定手段24を配
置し、該表面温度測定手段24によって検出した検出値
を該冷却ガスの温度に帰還させて、制御部25により該
冷却ガスの温度を調整することによって一層正確に冷却
ガスの温度制御を行なうことができる。
【0022】また、スタンパーロール5の表面の温度
は、用いる樹脂の熱変形温度の+20〜−20℃の範囲
に加熱されるのが好ましく、例えばポリカーボネート樹
脂を成形する場合、スタンパーロールの表面温度は10
0℃〜160℃に加熱されるのが好ましい。又、該スタ
ンパーロール5に対向配置されてなる鏡面ロールの温度
はスタンパーロールと同じか若干低めに設定されるのが
好ましい。
【0023】これらのロールの温度の調節は、例えばロ
ールに鋳込まれたヒーターにより電気的に加熱された
り、ロールの中心部に熱媒を循環させることにより制御
される。
【0024】又、シート用ダイス2及び鏡面ロール4と
スタンパーロール5は、互いに協働して該シート用ダイ
スから押出されてなる樹脂シートが鏡面ロール4とスタ
ンパーロール5とで挟圧されることによって、冷却時
に、例えば0.3〜1.5mmの厚さの基板シートが得
られる様に構成される。
【0025】又、本発明に於て成形材料としては、熱に
よって軟化されしかも成形可能にされる種々の熱可塑性
樹脂を用いることができ、例えばポリプロピレン、ポリ
エチレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリエ
ステル、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート等を
用いることができ、特に溶融状態に於るプリフォーマッ
トパターンの転写性と共に情報記録媒体用基板シートと
した時の透明性や硬さ、更には反りを防ぐ為により少な
い吸湿性を有すること等からポリカーボネートが好適に
用いられる。
【0026】更に又、本発明において、スタンパーロー
ル5を構成するフレキシブルスタンパー21の表面に形
成されるプリフォーマットパターンとしては、具体的に
は例えば幅0.5〜2μm、ピッチ1〜5μm、深さ2
00〜5000Å程度のスパイラル状や同心円状或いは
ストライプ状の、光ディスクや光カード用のトラッキン
ググルーブや、幅2〜5μm、ピッチ8〜15μm、深
さ200〜5000Å程度のスパイラル状や同心円状或
いはストライプ状の、光ディスクや光カード用のトラッ
キンググルーブに対応するパターンであったり、これら
のグルーブ内やグルーブ間に設けられてなるプリピット
に対応するパターンである。
【0027】
【作用】本発明は、樹脂を溶融して押出して樹脂シート
に成形し、実質的に溶融状態にある該樹脂シートをスタ
ンパーロール及び該スタンパーロールに対向配置されて
なる鏡面ロールとで挟圧して該樹脂シート表面にプリフ
ォーマットパターンを転写した後、スタンパーロールか
ら剥離して光学的情報記録媒体用基板を連続的に製造す
る方法において、挟圧された樹脂シートをスタンパーロ
ールから剥離するまでの間に冷却ガスにより冷却するこ
とにより、樹脂シートの温度が低下し充分に冷却される
ために、スタンパーロールとの貼り付きがなくなり、ス
タンパーロールから容易に剥難し、剥離時に基板シート
に筋状の線などの発生はなく、凹凸パターンの転写率を
向上させ、複屈折率の増加を抑えた光学的情報記録媒体
用基板を製造することができる。
【0028】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
【0029】実施例1 以下の方法で図5に示すスタンパーロール5を作製し
た。直径300mm、幅400mmの炭素鋼製ロール基
材の周面に幅150mm、厚さ0.2mmのニッケル製
フレキシブルスタンパー21を厚さ0.1mmのポリイ
ミドシートを介して機械的に固定して、図5に示す断面
形状を有し、且つ、h=0.3mmのスタンパーロール
5を作製した。
【0030】なお、該フレキシブルスタンパー5の表面
には、幅30mm、長さ85mmの長方形の領域に、長
さ85mm、幅3μm、ピッチ12μmの光カード用ト
ラッキンググルーブに対応するパターン23を形成して
なるプリフォーマットパターンが、該フレキシブルスタ
ンパーの幅方向に3個、互いに5mmの間隔を設けて配
置されている。なおロール基材へのフレキシブルスタン
パーの固定は、図5に示す様に互いの中心軸線Xが一致
する様に行った。
【0031】こうして得たスタンパーロール5、直径3
00mm、幅400mmの炭素鋼製鏡面ロール4及び6
を用いて図6に示す光カード用基板シートの製造装置を
作製した。
【0032】次に、図1に示すようにスタンパーロール
5の下部に、冷却ガスとして20℃に温度調節した空気
を内径30mmの耐圧ホースを介して基板シート7に供
給し冷却する構成とした装置を用いて、厚さ0.4mm
の光カード用基板を作製した。
【0033】即ち、直径35mmの押出し機1を用いて
シート用ダイス2の温度340℃、スタンパーロール5
の表面温度145℃の条件で押出量を14kg/hと
し、2m/minの速度で幅170mmの溶融樹脂シー
トを成形し、該樹脂シートをスタンパーロール5と鏡面
ロール4、スタンパーロール5と鏡面ロール6で挟圧し
てプリフォーマットパターンの転写を5時間行った。
【0034】又、成形開始直後及び、それから1時間
後、2時間後、3時間後、4時間後及び5時間後に得ら
れた光カード用基板シートの6つのサンプルの幅方向の
3つのプリフォーマットパターン転写部の23−A、2
3−B及び23−Cの厚み、プリフォーマットパターン
の転写率及び複屈折を測定し評価した(図10参照)。
その内、1時間後のサンプルの評価結果を表1に示す。
成形開始2時間後〜5時間後のサンプルの評価結果も同
様であった。
【0035】
【表1】 (注) 但し、上記基板シートの厚み、転写率及び複屈折
の測定方法及び評価基準は以下の通りである。
【0036】 基板シートの厚み 先ず各サンプルの各プリフォーマットパターン転写部内
の9点(図11に23−Aの転写部内の9点の測定位置
29を示す。以下、,も同様)の基板シートの厚み
をマイクロメータ(商品名:IDC−112MB;ミツ
トヨ(株)社製)で測定してその平均値を算出した。そ
の値を各プリフォーマットパターン転写部23−A、2
3−B及び23−Cの基板シートの厚みとして、その値
の光カード用基板の基準値0.4mmに対するふれ幅T
によって基板シートの厚み精度を評価した。
【0037】9点の測定値をa1〜a9[μm]とすると
【0038】
【数1】
【0039】評価基準 AA:T≦±5μm A:±5μm<T≦±10μm B:±10μm<T≦±40μm C:±40μm<T
【0040】 プリフォーマットパターンの転写率 先ず各サンプルの各プリフォーマットパターン転写部の
9ヶ所のトラッキンググルーブを横断する方向の断面を
電子線表面形態解析装置(商品名:ESA−3000;
エリオニスク(株)社製)で観測し凹部の断面積aを求
め、又、各凹部に対応するスタンパー凸部の断面積Aを
求めてa/Aの値の平均値を算出し,以下の基準により
評価した。図12はスタンパー凸部の断面積A、グルー
ブ部分の凹部の断面積aを示す説明図であり、図12
(a)はスタンパー表面のグルーブに対応する部分拡大
図、図12は(b)基板表面のグルーブ部分の拡大図を
示す。
【0041】評価基準 AA:0.99以上 A:0.95以上0.99より小 B:0.90以上0.95より小 C:0.90より小 (注)AA(転写性良好)←→C(転写性不良)
【0042】 基板シートの複屈折 先ず各サンプルの各プリフォーマットパターン転写部内
の9点の複屈折を測定してその平均値を算出した。その
値を各プリフォーマットパターン転写部23−A、23
−B及び23−Cの複屈折値として以下の基準により評
価した。なお本発明に於る複屈折値は、波長830mm
の半導体レーザー(スポット径1mm)を用いた時のシ
ングルパスの値である。複屈折値が小さいほど良い。
【0043】評価基準 AA:20nm以下 A:20nmより大きく30nm以下 B:30nmより大
【0044】比較例1 実施例1に於て、冷却ガスを供給しない以外は実施例1
と同様にして光カード用基板シートの製造を行ったとこ
ろ、成形開始直後は表1と同様の評価結果であったが、
1時間後にはスタンパーへのシートの貼り付きによる筋
状の線が発生した。シートの評価結果を表2に示す。
【0045】
【表2】
【0046】実施例2 実施例1に於て、スタンパーロールを図7に示す断面形
状のものに変え、冷却手段として図8に示すように幅3
0mm×2列、長さ170mmのダクトからなる冷却媒
体吹出し口9より、シートの挟圧部側25℃、反対側2
0℃各1列づつの冷却空気を基板シート7に供給する構
成とし、さらに押出量を28kg/hとし、4m/mi
nの速度で成形した以外は実施例1と同様にして光カー
ド用基板シートの製造を行った。成形開始直後、1,
2,3,4,5時間後のシートを評価したところ表3の
結果が得られた。
【0047】
【表3】
【0048】比較例2 実施例2に於て、冷却ガスを供給しない以外は実施例2
と同様にして光カード用基板シートの製造を行ったとこ
ろ、成形開始直後は表3と同様の評価結果であったが、
1時間後には貼り付きによる横筋が発生し始め、以降の
シートの評価結果は表4のようになった。
【0049】
【表4】
【0050】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、樹
脂シートの溶融温度を高温にしたり、成形速度を上げた
場合にも樹脂シートを確実に冷却できる為、複屈折を低
く抑えることが出来、またプリフォーマットパターンの
転写性がより一層向上した光学的情報記録媒体用基板を
長時間、安定して製造することができる効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造装置
の一例を示す概略構成図である。
【図2】図1のAA線断面図である。
【図3】冷却手段の他の例を示す説明図である。
【図4】図3の冷却ガスの温度分布を示す説明図であ
る。
【図5】フレキシブルスタンパーを周面に固定したスタ
ンパーロールの一例を示す断面図である。
【図6】本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造方法
の一実施態様を示す概略図である。
【図7】フレキシブルスタンパーを周面に固定したスタ
ンパーロールの他の例を示す断面図である。
【図8】冷却手段の他の例を示す説明図である。
【図9】本発明の光学的情報記録媒体用基板の製造装置
の他の例を示す概略断面図である。
【図10】図9の樹脂シートの表面温度測定部近傍の状
態を示す概略平面図である。
【図11】プリフォーマットパターン転写部内の厚み、
転写率、複屈折、測定位置の9点を示す図である。
【図12】スタンパー凸部の断面積A、グルーブ部分の
凹部の断面積aを示す説明図である。
【符号の説明】
1 押出し機 2 シート用ダイス 3 樹脂シート 4 鏡面ロール 5 スタンパーロール 6 鏡面ロール 7 基板シート 8 冷却手段 9 冷却媒体吹出し口 10 樹脂シート成形手段 21 フレキシブルスタンパー 23 プリフォーマットパターン 22 プリフォーマットパターン転写部 24 表面温度測定手段 25 制御部 26 スタンパー 27 グルーブ 28 基板 29 測定位置 A、a 断面積

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂を溶融して押出して樹脂シートに成
    形し、実質的に溶融状態にある該樹脂シートをスタンパ
    ーロール及び該スタンパーロールに対向配置されてなる
    鏡面ロールとで挟圧して該樹脂シート表面にプリフォー
    マットパターンを転写した後、スタンパーロールから剥
    離して光学的情報記録媒体用基板を連続的に製造する方
    法において、挟圧された樹脂シートをスタンパーロール
    から剥離するまでの間に冷却することを特徴とする光学
    的情報記録媒体用基板の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記樹脂シートの幅方向の全面を冷却す
    る請求項1記載の光学的情報記録媒体用基板の製造方
    法。
  3. 【請求項3】 前記樹脂シートを冷却ガスを使用して冷
    却する請求項1または2記載の光学的情報記録媒体用基
    板の製造方法。
  4. 【請求項4】 冷却ガスの温度を制御して冷却する請求
    項3記載の光学的情報記録媒体用基板の製造方法。
  5. 【請求項5】 冷却ガスの供給量を増減して冷却する請
    求項3または4記載の光学的情報記録媒体用基板の製造
    方法。
  6. 【請求項6】 前記樹脂シートの挟圧部に於ける温度を
    連続的に検出し、検出された検出値を樹脂シートの冷却
    条件に帰還させることにより冷却する請求項1乃至5の
    いずれかの項に記載の光学的情報記録媒体用基板の製造
    方法。
  7. 【請求項7】 樹脂を溶融して押出し実質的に溶融状態
    にある樹脂シートに成形する樹脂シート成形手段と、該
    樹脂シートの表面にプリフォーマットパターンを転写す
    るフレキシブルスタンパーを周面に設けたスタンパーロ
    ールと、該スタンパーロールに対向配置され、樹脂シー
    トを挟圧する鏡面ロールを具備し、前記樹脂シートをス
    タンパーロールと鏡面ロールとで挟圧して該樹脂シート
    の表面にプリフォーマットパターンを転写した後、スタ
    ンパーロールから剥離して光学的情報記録媒体用基板を
    連続的に製造する装置において、スタンパーロールの挟
    圧された樹脂シートを移送する周面の外側に樹脂シート
    を冷却する冷却手段を設けてなることを特徴とする光学
    的情報記録媒体用基板の製造装置。
  8. 【請求項8】 前記冷却手段により樹脂シートの幅方向
    の全面を冷却する請求項7記載の光学的情報記録媒体用
    基板の製造装置。
  9. 【請求項9】 前記冷却手段が冷却ガスを使用して冷却
    する請求項7記載の光学的情報記録媒体用基板の製造装
    置。
  10. 【請求項10】 前記冷却手段が冷却ガスの温度を制御
    可能に構成されている請求項7記載の光学的情報記録媒
    体用基板の製造装置。
  11. 【請求項11】 前記冷却手段が冷却ガスの供給量を増
    減可能に構成されている請求項7記載の光学的情報記録
    媒体用基板の製造装置。
  12. 【請求項12】 前記冷却手段が、前記樹脂シートの挟
    圧部に於ける温度を連続的に検出し、検出された検出値
    を該樹脂シートの冷却条件に帰還させることにより冷却
    する請求項7乃至11のいずれかの項に記載の光学的情
    報記録媒体用基板の製造装置。
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