JPH08310862A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
- Publication number
- JPH08310862A JPH08310862A JP7138562A JP13856295A JPH08310862A JP H08310862 A JPH08310862 A JP H08310862A JP 7138562 A JP7138562 A JP 7138562A JP 13856295 A JP13856295 A JP 13856295A JP H08310862 A JPH08310862 A JP H08310862A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- wave resonator
- piezoelectric
- composition
- added
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 28
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title abstract 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 23
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 101100513612 Microdochium nivale MnCO gene Proteins 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＭＰＢ近傍の組成領域で高い圧電性を維持
し、かつ、優れた熱安定性を有する圧電磁器組成物を提
供する。 【構成】 ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒ
Ｏ3−ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成とし、一般記号ＡＢＯ3
で表されるペロブスカイト型の酸化物圧電磁器組成物
の、Ｘ，Ｙ，Ｚをそれぞれ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、
０．３０≦Ｙ≦０．６０、０．２０≦Ｚ≦０．６９、の
範囲にするとともに、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１．０とし、かつ、
添加物として、ＣｏをＣｏＯに換算して０．１〜２．０
重量％、ＭｇをＭｇＯに換算して０．１〜０．５重量
％、の割合で添加する。
し、かつ、優れた熱安定性を有する圧電磁器組成物を提
供する。 【構成】 ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒ
Ｏ3−ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成とし、一般記号ＡＢＯ3
で表されるペロブスカイト型の酸化物圧電磁器組成物
の、Ｘ，Ｙ，Ｚをそれぞれ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、
０．３０≦Ｙ≦０．６０、０．２０≦Ｚ≦０．６９、の
範囲にするとともに、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１．０とし、かつ、
添加物として、ＣｏをＣｏＯに換算して０．１〜２．０
重量％、ＭｇをＭｇＯに換算して０．１〜０．５重量
％、の割合で添加する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電磁器組成物に関
し、詳しくは、ＢＧＳ波のように、表面波の伝搬方向と
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した弾性表面波素子用の圧電磁器組成物に関する。
し、詳しくは、ＢＧＳ波のように、表面波の伝搬方向と
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した弾性表面波素子用の圧電磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板（弾性表面波基板）を伝搬する
表面波のうち、表面波の伝搬方向に対して垂直な方向へ
の変位を主体とするＳＨタイプの表面波としては、ＢＧ
Ｓ波やラブ波などが知られている。
表面波のうち、表面波の伝搬方向に対して垂直な方向へ
の変位を主体とするＳＨタイプの表面波としては、ＢＧ
Ｓ波やラブ波などが知られている。
【０００３】このうちＢＧＳ波は、圧電セラミックスな
どの材料を用いて、例えば、図３に示すような表面波共
振子１４を構成した場合に励振される。
どの材料を用いて、例えば、図３に示すような表面波共
振子１４を構成した場合に励振される。
【０００４】この表面波共振子１４は、矢印Ｐで示され
る分極軸方向に分極された圧電基板１１上に、くし歯電
極１２，１３を配設することにより形成されており、く
し歯電極１２，１３は互に間挿し合う複数の電極指１２
ａ，１３ａを有している。
る分極軸方向に分極された圧電基板１１上に、くし歯電
極１２，１３を配設することにより形成されており、く
し歯電極１２，１３は互に間挿し合う複数の電極指１２
ａ，１３ａを有している。
【０００５】そして、このように構成された表面波共振
子１４において、くし歯電極１２，１３から交流電界が
印加されると、矢印Ａで示される表面波伝搬方向と垂直
な方向の変位のみ、すなわち横波成分のみを有するＢＧ
Ｓ波が励振される。
子１４において、くし歯電極１２，１３から交流電界が
印加されると、矢印Ａで示される表面波伝搬方向と垂直
な方向の変位のみ、すなわち横波成分のみを有するＢＧ
Ｓ波が励振される。
【０００６】このような表面波共振子１４では、ＢＧＳ
波が圧電基板１１の自由端１１ａ，１１ｂで完全に反射
され、振動の閉じ込めが実現される。したがって、この
表面波共振子１４は、端面反射型の表面波共振子として
動作する。
波が圧電基板１１の自由端１１ａ，１１ｂで完全に反射
され、振動の閉じ込めが実現される。したがって、この
表面波共振子１４は、端面反射型の表面波共振子として
動作する。
【０００７】また、レーリー波を利用した従来の表面波
共振子では、くし歯電極の側方に反射器を形成すること
が必要であったが、ＢＧＳ波を利用した上記表面波共振
子１４では、このような反射器を省略することが可能
で、チップサイズを１／１０程度に小型化することが可
能になる。
共振子では、くし歯電極の側方に反射器を形成すること
が必要であったが、ＢＧＳ波を利用した上記表面波共振
子１４では、このような反射器を省略することが可能
で、チップサイズを１／１０程度に小型化することが可
能になる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＢＧＳ波を
利用した表面波共振子のなかでもＶＣＯ（電圧制御発振
回路）などのような広い帯域を必要とする用途に用いら
れる表面波共振子の場合、圧電磁器自体が大きな電気機
械結合係数（ｋBGS）を有していることが要求される。
利用した表面波共振子のなかでもＶＣＯ（電圧制御発振
回路）などのような広い帯域を必要とする用途に用いら
れる表面波共振子の場合、圧電磁器自体が大きな電気機
械結合係数（ｋBGS）を有していることが要求される。
【０００９】そこで、この要求を満たすため、ＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）などの大きな電気機械結合係
数を有する圧電磁器を用い、さらにＭＰＢ（Morphotrop
ic Phase boundary）付近の組成領域を用いることが行
われている。
（チタン酸ジルコン酸鉛）などの大きな電気機械結合係
数を有する圧電磁器を用い、さらにＭＰＢ（Morphotrop
ic Phase boundary）付近の組成領域を用いることが行
われている。
【００１０】しかし、大きな電気機械結合係数を有する
ＰＺＴなどの圧電磁器は、ＭＰＢ付近の組成領域では熱
安定性が悪く、高い信頼性が要求される用途や、幅広い
温度領域で性能を保証することが必要な用途に適用する
ことが困難であるという問題点がある。
ＰＺＴなどの圧電磁器は、ＭＰＢ付近の組成領域では熱
安定性が悪く、高い信頼性が要求される用途や、幅広い
温度領域で性能を保証することが必要な用途に適用する
ことが困難であるという問題点がある。
【００１１】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、ＭＰＢ近傍の組成領域で高い圧電性を維持し、か
つ、優れた熱安定性を有する、弾性表面波素子に用いた
場合に特に有意義な圧電磁器組成物を提供することを目
的とする。
あり、ＭＰＢ近傍の組成領域で高い圧電性を維持し、か
つ、優れた熱安定性を有する、弾性表面波素子に用いた
場合に特に有意義な圧電磁器組成物を提供することを目
的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の圧電磁器組成物は、ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎ
ｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒＯ3−ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成
とし、一般記号ＡＢＯ 3で表されるペロブスカイト型の
酸化物圧電磁器組成物であって、Ｘ，Ｙ，Ｚがそれぞ
れ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、０．３０≦Ｙ≦０．６
０、０．２０≦Ｚ≦０．６９の範囲にあるとともに、Ｘ
＋Ｙ＋Ｚ＝１．０であり、かつ、添加物として、Ｃｏを
ＣｏＯに換算して０．１〜２．０重量％、ＭｇをＭｇＯ
に換算して０．１〜０．５重量％の割合で添加してなる
ことを特徴とする。
に、この発明の圧電磁器組成物は、ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎ
ｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒＯ3−ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成
とし、一般記号ＡＢＯ 3で表されるペロブスカイト型の
酸化物圧電磁器組成物であって、Ｘ，Ｙ，Ｚがそれぞ
れ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、０．３０≦Ｙ≦０．６
０、０．２０≦Ｚ≦０．６９の範囲にあるとともに、Ｘ
＋Ｙ＋Ｚ＝１．０であり、かつ、添加物として、Ｃｏを
ＣｏＯに換算して０．１〜２．０重量％、ＭｇをＭｇＯ
に換算して０．１〜０．５重量％の割合で添加してなる
ことを特徴とする。
【００１３】
【作用】この発明の圧電磁器組成物において、熱安定性
がもたらされる詳細なメカニズムは必ずしも明らかでは
ないが、添加物として加えられたＣｏとＭｇが、セラミ
ックスの焼結工程において、ペロブスカイト相とは異な
るスピネル相を形成し、これが、ペロブスカイト単独相
での相転移にともなう結晶構造の不安定さをなんらかの
かたちで打ち消すため、ＭＰＢ近傍の組成領域で高い圧
電性が維持されるとともに優れた熱安定性が実現される
ものと考えられる。
がもたらされる詳細なメカニズムは必ずしも明らかでは
ないが、添加物として加えられたＣｏとＭｇが、セラミ
ックスの焼結工程において、ペロブスカイト相とは異な
るスピネル相を形成し、これが、ペロブスカイト単独相
での相転移にともなう結晶構造の不安定さをなんらかの
かたちで打ち消すため、ＭＰＢ近傍の組成領域で高い圧
電性が維持されるとともに優れた熱安定性が実現される
ものと考えられる。
【００１４】
【実施例】以下に、この発明の実施例を示して、その特
徴とするところをさらに具体的に説明する。
徴とするところをさらに具体的に説明する。
【００１５】まず、出発原料として、Ｐｂ3Ｏ4，ＴｉＯ
2，ＺｒＯ2，ＭｎＣＯ3，Ｎｂ2Ｏ5、ＣｏＯ，ＭｇＯの
粉末を用意し、これらの出発原料（粉末）を表１に示す
ような組成となるように秤取し、ボールミルを用いて湿
式混合した後、７００〜９００℃で２時間仮焼し、粉砕
して仮焼粉末を得た。それから、この仮焼粉末に酢酸ビ
ニル系のバインダーを加えてさらに湿式混合を行い、乾
燥、造粒後に１０００〜２０００kg／cm2の圧力で所定
の形状に成形し、これを１２００〜１３００℃で焼成し
て焼結体（圧電磁器）を得た。
2，ＺｒＯ2，ＭｎＣＯ3，Ｎｂ2Ｏ5、ＣｏＯ，ＭｇＯの
粉末を用意し、これらの出発原料（粉末）を表１に示す
ような組成となるように秤取し、ボールミルを用いて湿
式混合した後、７００〜９００℃で２時間仮焼し、粉砕
して仮焼粉末を得た。それから、この仮焼粉末に酢酸ビ
ニル系のバインダーを加えてさらに湿式混合を行い、乾
燥、造粒後に１０００〜２０００kg／cm2の圧力で所定
の形状に成形し、これを１２００〜１３００℃で焼成し
て焼結体（圧電磁器）を得た。
【００１６】そして、この焼結体を用い、一般的な表面
波共振子の製造方法にしたがって、図１(ａ)，(ｂ)に示
すような表面波共振子４を製造した。この表面波共振子
４は、矢印Ｐで示される分極軸方向に分極された圧電基
板１上に、くし歯電極２，３を配設することにより形成
されており、くし歯電極２，３は、互に間挿し合う複数
の電極指２ａ，３ａを有している。なお、このように構
成された表面波共振子４において、くし歯電極２，３か
ら交流電界が印加されると、矢印Ａで示される表面波伝
搬方向と垂直な方向の変位のみ（すなわち横波成分の
み）を有するＢＧＳ波が励振される。また、このような
表面波共振子４では、ＢＧＳ波が圧電基板１の自由端１
ａ，１ｂで完全に反射され、振動の閉じ込めが実現され
る結果、端面反射型の表面波共振子として動作する。
波共振子の製造方法にしたがって、図１(ａ)，(ｂ)に示
すような表面波共振子４を製造した。この表面波共振子
４は、矢印Ｐで示される分極軸方向に分極された圧電基
板１上に、くし歯電極２，３を配設することにより形成
されており、くし歯電極２，３は、互に間挿し合う複数
の電極指２ａ，３ａを有している。なお、このように構
成された表面波共振子４において、くし歯電極２，３か
ら交流電界が印加されると、矢印Ａで示される表面波伝
搬方向と垂直な方向の変位のみ（すなわち横波成分の
み）を有するＢＧＳ波が励振される。また、このような
表面波共振子４では、ＢＧＳ波が圧電基板１の自由端１
ａ，１ｂで完全に反射され、振動の閉じ込めが実現され
る結果、端面反射型の表面波共振子として動作する。
【００１７】そして、この表面波共振子４について、Ｂ
ＧＳ波における特性を評価した。その結果を表１に示
す。
ＧＳ波における特性を評価した。その結果を表１に示
す。
【００１８】
【表１】
【００１９】なお、表１において、試料No.に*印を付し
たものは、この発明の範囲外の組成を有する試料を示
す。
たものは、この発明の範囲外の組成を有する試料を示
す。
【００２０】また、表１において、Δｆは、加熱処理
（２５０℃，３分間）を行った後、２４時間を経過した
後の、ＢＧＳ波共振子における共振周波数（ｆｒ）の変
化率を示している。なお、Δｆの値は下記の式により求
めた。
（２５０℃，３分間）を行った後、２４時間を経過した
後の、ＢＧＳ波共振子における共振周波数（ｆｒ）の変
化率を示している。なお、Δｆの値は下記の式により求
めた。
【００２１】 Δｆ（％）＝｛（ｆ−ｆ0）／ｆ0｝×１００ ｆ ：加熱処理前の共振周波数 ｆ0：加熱処理後、２４時間を経過した後の共振周波数
【００２２】表１に示すように、この発明の範囲内の組
成を有する各試料においては、比誘電率（ε11／
ε0）、電気機械結合係数（ｋBGS）、及び周波数の安定
性（Δｆ）に関し、ほぼ良好な結果が得られていること
がわかる。
成を有する各試料においては、比誘電率（ε11／
ε0）、電気機械結合係数（ｋBGS）、及び周波数の安定
性（Δｆ）に関し、ほぼ良好な結果が得られていること
がわかる。
【００２３】次に、この発明の圧電磁器組成物の組成限
定理由について説明する。
定理由について説明する。
【００２４】Ｘ（すなわちＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3
の割合）が０．０１mol未満の場合、焼結時のＰｂＯの
蒸発が激しく、３成分系圧電磁器特有の安定した焼結体
を得ることが困難になる。なお、図２は、Ｐｂ（Ｍｎ
1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3を０．１０molの割合で含む場合と、Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3を含まない場合の、焼成時に
おけるＰｂＯの蒸発量の違いを示す線図である。また、
Ｘが０．２０molを越えるとキュリー点（Ｔｃ）が２５
０℃以下となり、室温付近での共振周波数の温度安定性
が低下する。したがって、Ｘは０．０１≦Ｘ≦０．２０
の範囲にあることが好ましく、また、０．０３≦Ｘ≦
０．１０の範囲にあることがより好ましい。
の割合）が０．０１mol未満の場合、焼結時のＰｂＯの
蒸発が激しく、３成分系圧電磁器特有の安定した焼結体
を得ることが困難になる。なお、図２は、Ｐｂ（Ｍｎ
1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3を０．１０molの割合で含む場合と、Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3を含まない場合の、焼成時に
おけるＰｂＯの蒸発量の違いを示す線図である。また、
Ｘが０．２０molを越えるとキュリー点（Ｔｃ）が２５
０℃以下となり、室温付近での共振周波数の温度安定性
が低下する。したがって、Ｘは０．０１≦Ｘ≦０．２０
の範囲にあることが好ましく、また、０．０３≦Ｘ≦
０．１０の範囲にあることがより好ましい。
【００２５】また、Ｙ（すなわちがＰｂＺｒＯ3の割
合）が、ＭＰＢから離れる０．３０mol未満の場合や
０．６０molを越える場合には、圧電性が小さくなり、
高い電気機械結合係数（ＫBGS）を必要とするＶＣＯな
どの用途には適用できなくなる。したがって、Ｙは、
０．３０≦Ｙ≦０．６０の範囲にあることが好ましく、
また、０．３５≦Ｙ≦０．５０の範囲にあることがより
好ましい。
合）が、ＭＰＢから離れる０．３０mol未満の場合や
０．６０molを越える場合には、圧電性が小さくなり、
高い電気機械結合係数（ＫBGS）を必要とするＶＣＯな
どの用途には適用できなくなる。したがって、Ｙは、
０．３０≦Ｙ≦０．６０の範囲にあることが好ましく、
また、０．３５≦Ｙ≦０．５０の範囲にあることがより
好ましい。
【００２６】また、Ｚは、Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１．０の関係を
満たすために、０．２０≦Ｚ≦０．６９の範囲に規定さ
れる。
満たすために、０．２０≦Ｚ≦０．６９の範囲に規定さ
れる。
【００２７】さらに、Ｃｏの添加量については、試料N
o.３と試料No.４の比較にみられるように、Ｃｏの添加
量がＣｏＯに換算して０．１重量％未満の場合（試料N
o.３はＣｏＯ無添加）には、加熱処理後の共振周波数の
安定性（Δｆ）が悪く、また、試料No.８にみられるよ
うに、Ｃｏの添加量がＣｏＯに換算して２．０重量％を
越えると電気機械結合係数ＫBGSが小さくなり過ぎてし
まうという問題点がある。したがって、Ｃｏの添加量
は、ＣｏＯに換算して０．１〜２．０重量％の範囲にあ
ることが好ましく、さらには、０．３〜１．０重量％の
範囲にあることがより好ましい。
o.３と試料No.４の比較にみられるように、Ｃｏの添加
量がＣｏＯに換算して０．１重量％未満の場合（試料N
o.３はＣｏＯ無添加）には、加熱処理後の共振周波数の
安定性（Δｆ）が悪く、また、試料No.８にみられるよ
うに、Ｃｏの添加量がＣｏＯに換算して２．０重量％を
越えると電気機械結合係数ＫBGSが小さくなり過ぎてし
まうという問題点がある。したがって、Ｃｏの添加量
は、ＣｏＯに換算して０．１〜２．０重量％の範囲にあ
ることが好ましく、さらには、０．３〜１．０重量％の
範囲にあることがより好ましい。
【００２８】また、Ｍｇの添加量については、試料No.
１と試料No.２の比較にみられるように、Ｍｇの添加量
がＭｇＯに換算して０．１重量％未満の場合（試料No.
１，２はＭｇＯ無添加）、Ｃｏがこの発明の範囲内で添
加されていても加熱処理後の共振周波数の安定性（Δ
ｆ）は改善されない。また、Ｍｇの添加量がＭｇＯに換
算して０．５重量％を越えると、ＭｇＯが焼結体表面に
析出しはじめ、分極工程における耐圧劣化の問題を生じ
る。したがって、Ｍｇの添加量は、ＭｇＯに換算して
０．１〜０．５重量％の範囲にあることが好ましく、さ
らには、０．２〜０．４重量％の範囲にあることがより
好ましい。
１と試料No.２の比較にみられるように、Ｍｇの添加量
がＭｇＯに換算して０．１重量％未満の場合（試料No.
１，２はＭｇＯ無添加）、Ｃｏがこの発明の範囲内で添
加されていても加熱処理後の共振周波数の安定性（Δ
ｆ）は改善されない。また、Ｍｇの添加量がＭｇＯに換
算して０．５重量％を越えると、ＭｇＯが焼結体表面に
析出しはじめ、分極工程における耐圧劣化の問題を生じ
る。したがって、Ｍｇの添加量は、ＭｇＯに換算して
０．１〜０．５重量％の範囲にあることが好ましく、さ
らには、０．２〜０．４重量％の範囲にあることがより
好ましい。
【００２９】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、発明の要旨の範囲内において、その組
成や製造方法などに関し、種々の応用、変形を加えるこ
とが可能である。
るものではなく、発明の要旨の範囲内において、その組
成や製造方法などに関し、種々の応用、変形を加えるこ
とが可能である。
【００３０】
【発明の効果】上述のように、この発明の圧電磁器組成
物は、ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒＯ3−
ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成とし、一般記号ＡＢＯ3で表さ
れるペロブスカイト型の酸化物圧電磁器組成物のＸ，
Ｙ，Ｚをそれぞれ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、０．３０
≦Ｙ≦０．６０、０．２０≦Ｚ≦０．６９、の範囲と
し、かつ添加物として、ＣｏをＣｏＯに換算して０．１
〜２．０重量％、ＭｇをＭｇＯに換算して０．１〜０．
５重量％の割合で添加しているので、ＭＰＢ付近の組成
領域を使用する圧電磁器において、高い熱安定性を維持
しながら大きな電気機械結合係数（ＫBGS）を確保する
ことが可能になる。
物は、ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂＺｒＯ3−
ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成とし、一般記号ＡＢＯ3で表さ
れるペロブスカイト型の酸化物圧電磁器組成物のＸ，
Ｙ，Ｚをそれぞれ、０．０１≦Ｘ≦０．２０、０．３０
≦Ｙ≦０．６０、０．２０≦Ｚ≦０．６９、の範囲と
し、かつ添加物として、ＣｏをＣｏＯに換算して０．１
〜２．０重量％、ＭｇをＭｇＯに換算して０．１〜０．
５重量％の割合で添加しているので、ＭＰＢ付近の組成
領域を使用する圧電磁器において、高い熱安定性を維持
しながら大きな電気機械結合係数（ＫBGS）を確保する
ことが可能になる。
【００３１】したがって、例えば、５ＭＨｚ〜７０ＭＨ
ｚの高周波帯域において、ＶＣＯなどの大きな電気機械
結合係数を必要とする用途にＢＧＳ波共振子を使用する
ことが可能になる。
ｚの高周波帯域において、ＶＣＯなどの大きな電気機械
結合係数を必要とする用途にＢＧＳ波共振子を使用する
ことが可能になる。
【００３２】なお、この発明の圧電磁器組成物の用途
は、ＳＨタイプの表面波を用いた弾性表面波素子用の圧
電磁器に限られるものではなく、従来からのレーリー波
を用いた弾性表面波素子用の圧電磁器にも適用すること
が可能である。
は、ＳＨタイプの表面波を用いた弾性表面波素子用の圧
電磁器に限られるものではなく、従来からのレーリー波
を用いた弾性表面波素子用の圧電磁器にも適用すること
が可能である。
【図１】この発明の一実施例にかかる圧電磁器組成物を
用いて形成した表面波共振子を示す図であり、(ａ)は斜
視図、(ｂ)は断面図である。
用いて形成した表面波共振子を示す図であり、(ａ)は斜
視図、(ｂ)は断面図である。
【図２】Ｐｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）を含む場合と含まない
場合の、焼成時におけるＰｂＯの蒸発量の違いを示す線
図である。
場合の、焼成時におけるＰｂＯの蒸発量の違いを示す線
図である。
【図３】従来の表面波共振子を示す斜視図である。
１ 圧電基板 １ａ，１ｂ 圧電基板の自由端 ２，３ くし歯電極 ２ａ，３ａ 電極指 ４ 表面波共振子
Claims (1)
- 【請求項１】 ＸＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＹＰｂ
ＺｒＯ3−ＺＰｂＴｉＯ3を基本組成とし、一般記号ＡＢ
Ｏ3で表されるペロブスカイト型の酸化物圧電磁器組成
物であって、Ｘ，Ｙ，Ｚがそれぞれ、 ０．０１≦Ｘ≦０．２０、 ０．３０≦Ｙ≦０．６０、 ０．２０≦Ｚ≦０．６９、 の範囲にあるとともに、 Ｘ＋Ｙ＋Ｚ＝１．０ であり、かつ、添加物として、 ＣｏをＣｏＯに換算して０．１〜２．０重量％、 ＭｇをＭｇＯに換算して０．１〜０．５重量％、 の割合で添加してなることを特徴とする圧電磁器組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138562A JPH08310862A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138562A JPH08310862A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 圧電磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08310862A true JPH08310862A (ja) | 1996-11-26 |
Family
ID=15225052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7138562A Pending JPH08310862A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08310862A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2798925A1 (fr) | 1999-09-29 | 2001-03-30 | Murata Manufacturing Co | Ceramique piezoelectrique et dispositif a ondes de surface l'utilisant |
| KR20030053250A (ko) * | 2001-12-22 | 2003-06-28 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 압전 트랜스포머용 압전 세라믹스 조성물 |
| KR20040049383A (ko) * | 2002-12-05 | 2004-06-12 | 주식회사 스마텍 | 압전 세라믹 조성물 |
| JP2016108194A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP7138562A patent/JPH08310862A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2798925A1 (fr) | 1999-09-29 | 2001-03-30 | Murata Manufacturing Co | Ceramique piezoelectrique et dispositif a ondes de surface l'utilisant |
| DE10048373C2 (de) * | 1999-09-29 | 2003-02-06 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrische Keramiken und Verwendung derselben als Oberflächenwellenbauelemente |
| KR100515557B1 (ko) * | 1999-09-29 | 2005-09-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전세라믹 및 이것을 이용한 표면파 장치 |
| KR20030053250A (ko) * | 2001-12-22 | 2003-06-28 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 압전 트랜스포머용 압전 세라믹스 조성물 |
| KR20040049383A (ko) * | 2002-12-05 | 2004-06-12 | 주식회사 스마텍 | 압전 세라믹 조성물 |
| JP2016108194A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-20 | Fdk株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器組成物の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3482394B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| KR100282598B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| JP2002060269A (ja) | 圧電磁器材料、圧電磁器焼結体および圧電磁器素子 | |
| KR100282599B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| CN101291889B (zh) | 压电陶瓷组成物和压电陶瓷 | |
| KR100305167B1 (ko) | 압전자기조성물및이를이용한압전소자 | |
| JP4684089B2 (ja) | 圧電磁器組成物および圧電磁器 | |
| JPH08310862A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| CN100408508C (zh) | 压电元件 | |
| JPH08310861A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3125624B2 (ja) | 圧電磁器 | |
| JP4361990B2 (ja) | 圧電体磁器組成物 | |
| US3536625A (en) | Piezoelectric ceramic composition | |
| KR100380109B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 및 이를 사용하는 압전 세라믹 소자 | |
| JP2841911B2 (ja) | Ｐｚｔ系セラミックス組成物 | |
| JP2910338B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3097217B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPS6167283A (ja) | 圧電セラミツクス | |
| JPH0993078A (ja) | 圧電装置 | |
| JP2737451B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JP2004210616A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP2004067437A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH11209176A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP3106507B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2910339B2 (ja) | 圧電磁器組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051220 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060220 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060905 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070327 |