JPH08315531A - Head positioning method and servo information writing method on disk-shaped recording medium, magnetic disk device, servo information writing device for magnetic disk device, displacement detection mirror - Google Patents

Head positioning method and servo information writing method on disk-shaped recording medium, magnetic disk device, servo information writing device for magnetic disk device, displacement detection mirror

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JPH08315531A
JPH08315531A JP7116006A JP11600695A JPH08315531A JP H08315531 A JPH08315531 A JP H08315531A JP 7116006 A JP7116006 A JP 7116006A JP 11600695 A JP11600695 A JP 11600695A JP H08315531 A JPH08315531 A JP H08315531A
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slider
head
servo information
magnetic disk
optical head
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JP7116006A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukio Yamamoto
幸生 山本
Takashi Yoshida
吉田  隆
Akio Takatsuka
章郎 高塚
Marutomo Gotou
丸朋 後藤
Shozo Saegusa
省三 三枝
Hidehiko Shindo
英彦 神藤
Masaru Muranishi
勝 村西
Katsuhiko Kimura
勝彦 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリッジに振動が加わってもヘッドを高精
度で位置決めして高品質なサーボ情報の書き込みを可能
とするサーボ情報書き込み方法などを提供する。 【構成】 光ヘッド位置決め装置13によって磁気ディ
スク装置のディスク1の上方に正確に位置決めされる光
ヘッド12と、サーボ情報書き込むヘッドを搭載したス
ライダ2との変位を、スライダ2上に取り付けられた円
筒状ミラーからなるターゲット16により増幅して変位
検出回路14で検出し、VCM制御回路6では、検出し
た変位Xdの値に応じてVCM5を駆動制御し、キャリ
ッジ4を動かしてスライダ2を光ヘッド12に追従さ
せ、スライダ2上のヘッドを位置決めする。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a servo information writing method and the like that enables high-quality servo information writing by positioning a head with high accuracy even when vibration is applied to a carriage. A cylinder mounted on a slider 2 for displacement between an optical head 12 accurately positioned above a disk 1 of a magnetic disk device by an optical head positioning device 13 and a slider 2 having a head for writing servo information. It is amplified by a target 16 composed of a circular mirror and detected by a displacement detection circuit 14, and a VCM control circuit 6 drives and controls a VCM 5 according to the value of the detected displacement Xd and moves a carriage 4 to move a slider 2 to an optical head 12. And the head on the slider 2 is positioned.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置など
におけるディスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法
とサーボ情報書き込み方法、並びに、かかる方法を利用
した磁気ディスク装置と磁気ディスク装置用サーボ情報
書き込み装置、及び、かかる装置のための変位検出用ミ
ラーに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for positioning a head on a disk-shaped recording medium and a servo information writing method in a magnetic disk apparatus and the like, and a magnetic disk apparatus and servo information writing for a magnetic disk apparatus using the method. The present invention relates to a device and a displacement detecting mirror for the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置において、ディスク状
記録媒体である磁気ディスクのトラックからの半径方向
のずれをなくすためのマークであるサーボ情報は、ヘッ
ドを目的のトラックに位置決めするために使用される。
かかるサーボ情報は、一般に、サーボトラックライタと
呼ばれる装置のヘッドを用いて外部から書き込むか、あ
るいは、磁気ディスク装置自体のヘッドを用いて書き込
むことが行われる。近年、磁気ディスク装置の記録密度
の高密度化に伴い、サーボ情報専用のディスク面を持つ
サーボ面サーボ方式よりも、データ面の一部にサーボ情
報を書き込むデータ面サーボ方式が主流となってきてお
り、これにより、かかるサーボ情報は、通常、後者の方
法で書き込まれるようになっている。
2. Description of the Related Art In a magnetic disk apparatus, servo information, which is a mark for eliminating a radial deviation from a track of a magnetic disk, which is a disk-shaped recording medium, is used to position a head on a target track. .
Such servo information is generally written from the outside using a head of a device called a servo track writer, or is written using the head of the magnetic disk device itself. In recent years, with the increase in recording density of magnetic disk devices, the data surface servo method in which servo information is written on a part of the data surface has become mainstream, rather than the servo surface servo method having a disk surface dedicated to servo information. Therefore, the servo information is normally written by the latter method.

【0003】また、特に小型磁気ディスクでは、スペー
スや耐衝撃性の問題から、ヘッド及び当該ヘッドを備え
たスライダを任意の位置に運ぶためのキャリッジの駆動
には、キャリッジを回転軸を中心に回転させるロータリ
型アクチュエータが使用されている。上記のサーボ情報
書き込み時におけるヘッドの位置決めは、高分解能のレ
ーザ測長計によってキャリッジの一点の位置を検出し、
これを目標位置と一致させるようにアクチュエータを駆
動することにより行っている。
Further, particularly in the case of a small magnetic disk, due to the problems of space and impact resistance, when driving the carriage for carrying the head and the slider equipped with the head to an arbitrary position, the carriage is rotated around a rotation axis. A rotary type actuator is used. Positioning of the head at the time of writing the servo information, the position of one point of the carriage is detected by a high-resolution laser length meter,
This is done by driving the actuator so that it coincides with the target position.

【0004】ところで、かかるレーザ測長計で位置を測
定するには、測定点にレーザ光を反射させるためのミラ
ーを設置することとなる。そして、このミラーの設置に
より、アクチュエータの機構共振周波数が低下してしま
い、さらには、ミラー取付部で発生する機構共振が加わ
るため、位置決めサーボ系のゼロクロス周波数を下げる
必要が生じてしまい、このことがヘッドの位置決め精度
を低下させていた。これに対し、位置決めサーボ系の帯
域幅は、これが広い方がより高い周波数の振動までコン
トロールすることが出来ることとなる。
By the way, in order to measure the position with such a laser length meter, a mirror for reflecting the laser beam is installed at the measuring point. The installation of this mirror lowers the mechanical resonance frequency of the actuator, and further adds the mechanical resonance generated at the mirror mounting portion, which necessitates lowering the zero-cross frequency of the positioning servo system. Deteriorated the positioning accuracy of the head. On the other hand, if the band width of the positioning servo system is wider, it is possible to control vibration of a higher frequency.

【0005】さらに、外部に他のアクチュエータとレー
ザ測長計を備え、この外部アクチュエータと内部のアク
チュエータとを連結し、もって、この外部アクチュエー
タをレーザ測長計で位置決めすることによってヘッドを
所定の位置に移動させる外部駆動方式によるヘッドの位
置決めにおいては、この外部アクチュエータ及びその連
結による機構共振特性の大幅な劣化は、より重大な問題
となっている。
Furthermore, another actuator and a laser length measuring device are provided outside, and the external actuator and the internal actuator are connected to each other. By positioning the external actuator with the laser length measuring device, the head is moved to a predetermined position. In the positioning of the head by the external driving method, the significant deterioration of the mechanical resonance characteristic due to the external actuator and its connection is a more serious problem.

【0006】このようなアクチュエータの機構共振特性
の劣化に対しては、例えば特開平5−274833号公
報に記載のように、ヘッド回転支持機構上に形成した光
ディスク板とロータリエンコーダに取り付けた光ヘッド
により、ヘッド回転支持機構とロータリエンコーダの相
対変位を検出し、その相対変位の値を一定に保つように
ヘッド回転支持機構を位置決めする方法などが提案され
ている。
As to the deterioration of the mechanical resonance characteristic of such an actuator, for example, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 5-274833, an optical head mounted on a rotary encoder and an optical disk plate formed on a head rotation support mechanism. A method of detecting the relative displacement between the head rotation support mechanism and the rotary encoder and positioning the head rotation support mechanism so as to keep the value of the relative displacement constant is proposed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ディス
クを回転させるためのスピンドルモータ等に起因する振
動は、キャリッジの回転軸に伝達されてキャリッジ及び
ヘッドを備えたスライダをも振動させる。従来のヘッド
位置決め方式では、しかしながら、このような振動に対
してもキャリッジの位置測定点を目標位置に静止させる
ように制御する。従って、キャリッジの回転軸から伝わ
る振動は、静止させられたキャリッジの位置測定点を支
点として伝達され、ヘッドは静止せずに振動する。ヘッ
ドが振動すると、書き込むサーボ情報の位置がずれてし
まう。すなわち、このようなサーボ情報でトラックの位
置決めを行うと、隣接トラック間の間隔が一定せず、隣
接トラックのデータの干渉によってデータの再生エラー
が発生する恐れが生じることとなる。さらに、磁気ディ
スク装置における今後の高記録密度化に伴い、トラック
間隔が狭くなることが予想され、上記問題点の解決は、
より重要な課題になる。
The vibration caused by the spindle motor for rotating the magnetic disk is transmitted to the rotary shaft of the carriage and vibrates the slider including the carriage and the head. In the conventional head positioning method, however, the position measurement point of the carriage is controlled to stand still at the target position even with such vibration. Therefore, the vibration transmitted from the rotary shaft of the carriage is transmitted with the position measurement point of the carriage that is stationary as a fulcrum, and the head vibrates without stopping. When the head vibrates, the position of the servo information to be written shifts. That is, if the track is positioned by such servo information, the interval between the adjacent tracks is not constant, and there is a possibility that a data reproduction error occurs due to the interference of the data on the adjacent tracks. Further, it is expected that the track interval will become narrower with the future increase in recording density in the magnetic disk device.
It becomes a more important issue.

【0008】ところで、このヘッドに伝達される振動
は、キャリッジの位置測定点の場所によって、逆相にな
ったり増幅されたりし、測定点をヘッドに近付けるほど
小さくなる。そのため、前記の従来技術のように光ディ
スク板を取り付ける方式では、機構共振特性が低下して
しまい、そのために、光ディスク板をヘッドの近くに設
置することが困難となる。また、機構共振特性の低下を
防ぐために光ディスク板を小型軽量化すると、光ディス
ク板の加工や取り付け方法、取り付け精度等が問題にな
る。加えて、光ディスク板と光ヘッドの組み合わせで高
精度に変位を検出するためには、光ヘッドと光ディスク
板の間隔を短くする必要があるが、しかしながら、実際
に光ヘッドを配置するのは困難である。
By the way, the vibrations transmitted to the head have opposite phases or are amplified depending on the position of the position measurement point of the carriage, and become smaller as the measurement point is closer to the head. Therefore, in the method of attaching the optical disc plate as in the above-mentioned conventional technique, the mechanical resonance characteristic is deteriorated, which makes it difficult to install the optical disc plate near the head. Further, if the optical disc plate is made smaller and lighter in order to prevent the mechanical resonance characteristic from deteriorating, processing of the optical disc plate, a mounting method, a mounting accuracy, etc. become problems. In addition, in order to detect the displacement with high accuracy by combining the optical disc plate and the optical head, it is necessary to shorten the distance between the optical head and the optical disc plate, however, it is difficult to actually arrange the optical head. is there.

【0009】本発明の目的は、上記の従来技術における
問題点に鑑み、アクチュエータの機構共振特性を低下さ
せることなく、さらに、外部からキャリッジに振動が加
わってもヘッドを一定の位置に位置決めし、高品質なサ
ーボ情報を書き込むことを可能にするディスク状記録媒
体上のヘッドの位置決め方法とサーボ情報書き込み方
法、並びに、かかる方法を利用した磁気ディスク装置と
磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置、及び、か
かる装置のための変位検出用ミラーを提供することにあ
る。
In view of the above problems in the prior art, an object of the present invention is to position the head at a fixed position without deteriorating the mechanical resonance characteristics of the actuator, and even when vibration is applied to the carriage from the outside. A head positioning method and a servo information writing method on a disk-shaped recording medium capable of writing high-quality servo information, a magnetic disk device and a servo information writing device for a magnetic disk device using the method, and It is to provide a displacement detecting mirror for such a device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、まず、高精度で位置決めが可能な
光ヘッドを回転するディスク状記録媒体の上方に位置決
めし、当該光ヘッドに対する相対位置を検出しながら、
少なくとも前記ディスク状記録媒体への情報の書き込み
が可能なヘッドを備えたスライダを、前記ディスク状記
録媒体表面に移動しながらヘッドの位置決めを行うヘッ
ドの位置決め方法であって、前記スライダと前記光ヘッ
ドとの間を光学的に結合し、当該光学的な結合により生
じる前記光ヘッドと前記スライダとの増幅された変位を
検出し、そして、当該検出され増幅された変位により前
記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上に位置決めするデ
ィスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法が提案され
る。
In order to achieve the above object, according to the present invention, first, an optical head which can be positioned with high accuracy is positioned above a rotating disk-shaped recording medium, and the optical head with respect to the optical head is positioned. While detecting the relative position,
A head positioning method for positioning a slider having at least a head capable of writing information to the disk-shaped recording medium while moving the slider to the surface of the disk-shaped recording medium, the slider and the optical head Is optically coupled, the amplified displacement between the optical head and the slider caused by the optical coupling is detected, and the detected and amplified displacement causes the head to perform the disk-shaped recording. A method of positioning a head on a disk-shaped recording medium for positioning on the medium is proposed.

【0011】また、本発明によれば、回転するディスク
状記録媒体上をキャリッジによって移動可能に支持され
たヘッドを搭載したスライダをキャリッジ駆動手段によ
り位置決めし、前記ヘッドによって前記回転するディス
ク状記録媒体に少なくともサーボ情報を書き込むサーボ
情報書き込み方法において、前記スライダもしくは前記
キャリッジに反射面を有する反射手段を設け、光ヘッド
を前記ディスク状記録媒体に対して正確に位置決めし、
前記光ヘッドからの光を前記反射手段により反射し、こ
の反射光の角度変化により前記光ヘッドと前記ヘッドと
の増幅された変位を検出し、そして、この検出した前記
光ヘッドとヘッドとの増幅された変位により前記ヘッド
の位置決めを行って前記回転するディスク状記録媒体に
サーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み方法が提案さ
れる。
According to the present invention, a slider equipped with a head movably supported by a carriage on a rotating disk-shaped recording medium is positioned by a carriage driving means, and the head rotates to rotate the disk-shaped recording medium. In at least the servo information writing method for writing servo information, the slider or the carriage is provided with a reflecting means having a reflecting surface, and the optical head is accurately positioned with respect to the disk-shaped recording medium.
The light from the optical head is reflected by the reflecting means, the amplified displacement between the optical head and the head is detected by the angle change of the reflected light, and the detected amplification between the optical head and the head is detected. There is proposed a servo information writing method in which the head is positioned by the applied displacement and servo information is written in the rotating disk-shaped recording medium.

【0012】さらに、やはり上記の目的を達成するた
め、前記に記載のサーボ情報書き込み方法によりヘッド
の位置決めを行って回転するディスク状記録媒体にサー
ボ情報を書き込む磁気ディスク装置であって、回転する
ディスク状記録媒体と、前記ディスク状記録媒体へ情報
の書き込みが可能なヘッドを備えたスライダと、前記ス
ライダを前記ディスク状記録媒体表面に移動するキャリ
ッジを駆動しながらヘッドの位置決めを行うキャリッジ
駆動手段とを備え、前記スライダあるいは前記キャリッ
ジ駆動手段の一部に、前記磁気ディスク装置の外部に配
置され、かつ、前記磁気ディスク装置の回転するディス
ク状記録媒体に対して高精度で位置決めが可能な光ヘッ
ドとの間の光学的に結合するための手段を設けた磁気デ
ィスク装置が提案される。
Further, in order to achieve the above object, a magnetic disk device for writing servo information on a rotating disk-shaped recording medium by positioning a head by the above-described servo information writing method, which is a rotating disk. Recording medium, a slider provided with a head capable of writing information on the disc-shaped recording medium, and a carriage driving means for positioning the head while driving a carriage that moves the slider to the surface of the disc-shaped recording medium. An optical head that is provided outside of the magnetic disk device and that can be positioned with high precision with respect to a rotating disk-shaped recording medium of the magnetic disk device, at a part of the slider or the carriage driving means. A magnetic disk device provided with means for optically coupling between That.

【0013】また、本発明によれば、回転するディスク
状記録媒体と、高精度で位置決めが可能な光ヘッドと、
前記光ヘッドを前記ディスク状記録媒体の上方に位置決
めする光ヘッド位置決め装置と、少なくとも前記ディス
ク状記録媒体へ情報の書き込みが可能なヘッドを備えた
スライダと、前記スライダを前記ディスク状記録媒体表
面に移動するキャリッジを駆動しながらヘッドの位置決
めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、前記光ヘッドと
前記スライダとの相対位置を検出することにより前記ヘ
ッドを前記ディスク状記録媒体上に位置決めする磁気デ
ィスク装置において、前記光ヘッドあるいは前記光ヘッ
ド位置決め装置の一部、及び、前記スライダあるいは前
記キャリッジ駆動手段の一部の少なくとも一方に、湾曲
した反射面を有するターゲットを配置し、さらに、当該
ターゲットの反射面により反射される反射光により前記
光ヘッドと前記スライダとの相対位置誤差を検出する手
段を備えた磁気ディスク装置が提案される。
Further, according to the present invention, a rotating disk-shaped recording medium, an optical head capable of highly accurate positioning,
An optical head positioning device for positioning the optical head above the disc-shaped recording medium, a slider having at least a head capable of writing information on the disc-shaped recording medium, and the slider on the surface of the disc-shaped recording medium. A magnetic disk drive comprising: a carriage drive unit for positioning a head while driving a moving carriage, and detecting the relative position between the optical head and the slider to position the head on the disk-shaped recording medium. At least one of the optical head or the optical head positioning device, and at least one of the slider or the carriage drive means is provided with a target having a curved reflective surface, and the target has a reflective surface. The optical head and the scan are reflected by the reflected light. Magnetic disk device provided with a means for detecting the relative position error between Ida is proposed.

【0014】さらに、本発明によれば、前記のサーボ情
報書き込み方法によりヘッドの位置決めを行って磁気デ
ィスク装置の回転するディスク状記録媒体にサーボ情報
を書き込む磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置
であって、前記磁気ディスク装置の回転するディスク状
記録媒体に対して正確に位置決めが可能で、かつ、前記
磁気ディスク装置のスライダもしくはキャリッジの反射
手段を介して前記ヘッドとの増幅された変位を光学的に
検出する変位検出手段を備えた光ヘッドと、前記光ヘッ
ドの変位検出手段からの検出変位を前記磁気ディスク装
置のヘッドの位置を制御する手段へ出力する手段とを備
えた磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置が提案
されている。
Furthermore, according to the present invention, there is provided a servo information writing device for a magnetic disk device, which positions the head by the above-mentioned servo information writing method and writes servo information on a rotating disk-shaped recording medium of the magnetic disk device. Accurately positioning the rotating disk-shaped recording medium of the magnetic disk device, and optically amplifying the amplified displacement from the head via a slider of the magnetic disk device or a reflecting means of a carriage. Servo information for a magnetic disk device, including an optical head having a displacement detecting means for detecting and a means for outputting the detected displacement from the displacement detecting means of the optical head to a means for controlling the position of the head of the magnetic disk device. Writing devices have been proposed.

【0015】加えて、本発明によれば、上記の本発明の
磁気ディスク装置の光結合手段、磁気ディスク装置のタ
ーゲット、あるいは、磁気ディスク装置用サーボ情報書
き込み装置の湾曲した反射面として使用するための変位
検出用ミラーであって、ガラス管もしくはガラス棒の表
面に反射膜を加工して形成してなる変位検出用ミラーが
提案されている。
In addition, according to the present invention, for use as the optical coupling means of the magnetic disk device of the present invention, the target of the magnetic disk device, or the curved reflecting surface of the servo information writing device for the magnetic disk device. Of the displacement detecting mirror, which is formed by processing a reflecting film on the surface of a glass tube or a glass rod.

【0016】[0016]

【作用】上記の本発明によれば、磁気ディスク装置のヘ
ッドを搭載したスライダとディスク状記録媒体の上方に
正確に位置決めする光ヘッドとの間に光学的な結合手
段、より具体的には、これらの間に形成される光路中に
曲面の反射面を持つターゲットなどを設け、これにより
光ヘッドから入射した光の反射光の増幅された角度変化
からスライダの変位を検出するので、アクチュエータの
機構共振特性を劣化させることなく、かつ、離れた位置
から前記ヘッドの変位を高精度に検出でき、キャリッジ
に伝わる外乱変位による位置検出誤差がなく、ヘッドの
正確な位置決めが可能となる。
According to the present invention described above, an optical coupling means, more specifically, between the slider on which the head of the magnetic disk device is mounted and the optical head for accurately positioning the head above the disk-shaped recording medium, A target having a curved reflecting surface is provided in the optical path formed between them, and the displacement of the slider is detected from the amplified angle change of the reflected light of the light incident from the optical head. The displacement of the head can be detected with high accuracy from a distant position without deteriorating the resonance characteristics, and the head can be accurately positioned without a position detection error due to the disturbance displacement transmitted to the carriage.

【0017】また、上記の本発明によれば、前記光ヘッ
ドから前記光結合手段であるターゲットに入射する光と
前記スライダの移動面との角度の傾きあるいはその移動
面に対する傾きをも検出することが出来ることから、こ
れを補正するように前記光ヘッドの傾斜を制御すること
により、前記光ヘッドの光軸の傾きによる検出変位の誤
差を防ぎ、ヘッドを正確に位置決めできる。
Further, according to the present invention, the inclination of the angle between the light incident on the target, which is the optical coupling means, from the optical head and the moving surface of the slider or the inclination with respect to the moving surface can be detected. Therefore, by controlling the inclination of the optical head so as to correct this, an error in the detected displacement due to the inclination of the optical axis of the optical head can be prevented, and the head can be accurately positioned.

【0018】さらに、光ヘッドもしくはディスク状記録
媒体の移動情報をキャリッジ駆動手段にフィードフォワ
ード情報として入力することにより、安定してキャリッ
ジを光ヘッドに追従させることができる。
Further, by inputting the movement information of the optical head or the disk-shaped recording medium to the carriage driving means as feedforward information, the carriage can be made to follow the optical head in a stable manner.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明の実施例の詳細について、添付
の図面を参照しながら説明する。まず、図1は、本発明
の一実施例になる磁気ディスク装置おけるサーボ情報書
き込み装置である、いわゆるサーボトラックライタの構
成を示すものであり、この図において、符号1は、デー
タ情報及びサーボ情報が書き込まれる記録媒体である、
複数枚の磁気記録ディスクを積層して保持してなるディ
スクを、符号2は、上記ディスク1に少なくともサーボ
情報を書き込むための書込ヘッドを登載したスライダ
を、符号3は、上記スライダ2をディスク1に押し付け
るロードアームを、符号4は、上記ロードアーム3を介
してスライダ2を支持し、上記ディスク1の任意の位置
に位置付けるキャリッジを、符号5は、上記キャリッジ
4を駆動するVCM(ボイスコイルモータ)を、符号6
は、後述する変位検出回路により検出される変位Xdの
値に応じて上記VCM5の駆動電流iを制御するVCM
制御回路を、符号7は、上記スライダ2上のヘッドを用
いて上記ディスク1にサーボ情報を書き込むサーボ情報
書き込み回路を、符号8は、上記複数枚のディスク1を
積層して保持するスピンドルを、符号9は、上記スピン
ドル8を回転させるスピンドルモータを、符号10は、
上記スピンドルモータ9を一定回転で駆動させるスピン
ドルモータ駆動回路を、符号11は、全体の動作を制御
するMPU(マイクロプロセッサ)を、符号12は、上
記スライダ2の変位を検出する光ヘッドを、符号13
は、上記光ヘッド12を移動させて正確に位置決めする
光ヘッド位置決め装置を、符号14は、上記光ヘッド1
2の出力から変位Xdを検出する変位検出回路を、そし
て、符号15は、サーボ情報を書き込むときの基準とな
るクロックを発生するクロックヘッドを示している。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. First, FIG. 1 shows the structure of a so-called servo track writer which is a servo information writing device in a magnetic disk device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 is data information and servo information. Is a recording medium in which is written,
Reference numeral 2 denotes a disk in which a plurality of magnetic recording disks are stacked and held, reference numeral 2 denotes a slider on which a write head for writing at least servo information is mounted on the disk 1, and reference numeral 3 denotes the slider 2 as a disk. Reference numeral 4 denotes a load arm to be pressed against the carriage 1, reference numeral 4 denotes a carriage for supporting the slider 2 via the load arm 3, and reference numeral 5 denotes a carriage for driving the carriage 4 and VCM (voice coil). Motor), code 6
Is a VCM for controlling the drive current i of the VCM 5 according to the value of the displacement Xd detected by the displacement detection circuit described later.
A control circuit, reference numeral 7 is a servo information writing circuit for writing servo information on the disk 1 using the head on the slider 2, and reference numeral 8 is a spindle for stacking and holding the plurality of disks 1. Reference numeral 9 is a spindle motor for rotating the spindle 8, and reference numeral 10 is
Reference numeral 11 denotes a spindle motor drive circuit for driving the spindle motor 9 at a constant rotation, reference numeral 11 denotes an MPU (microprocessor) for controlling the entire operation, reference numeral 12 denotes an optical head for detecting the displacement of the slider 2. Thirteen
Is an optical head positioning device for moving and accurately positioning the optical head 12, and reference numeral 14 is the optical head 1
Reference numeral 15 denotes a displacement detection circuit for detecting the displacement Xd from the output of 2, and reference numeral 15 denotes a clock head for generating a clock serving as a reference when writing servo information.

【0020】なお、上記の構成において、上記の複数枚
のディスク1は、積層されてスピンドル8に保持されて
おり、このスピンドル8はスピンドルモータ9によって
回転されている。このスピンドルモータ9は、スピンド
ルモータ駆動回路10によって駆動され、これによっ
て、一定の回転数に保たれている。また、スライダ2
は、上記ロードアーム3を介してキャリッジ4に支持さ
れており、VCM5によってキャリッジ4が駆動される
ことによりディスク1上を移動する。さらに、サーボ情
報は、上記の複数枚のディスクを積層保持してなるディ
スク1において、サーボ面サーボ方式による場合には、
最上位置のディスク上に、他方、データ面サーボ方式に
よる場合には、それら全てのディスク上に書き込まれ
る。加えて、上記の書込ヘッドを備えたスライダ2は、
上記サーボ情報を含むデータ情報を書き込むと共に、こ
れらを読み出しあるいは消去することも可能であっても
よいことは当然である。
In the above structure, the plurality of disks 1 are stacked and held by the spindle 8, and the spindle 8 is rotated by the spindle motor 9. The spindle motor 9 is driven by a spindle motor drive circuit 10 and is thus kept at a constant rotation speed. In addition, the slider 2
Are supported by the carriage 4 via the load arm 3 and move on the disk 1 by driving the carriage 4 by the VCM 5. Further, the servo information is as follows:
On the topmost disc, on the other hand, in case of the data surface servo system, it is written on all of them. In addition, the slider 2 provided with the above-mentioned write head is
Of course, it may be possible to read or erase these while writing the data information including the servo information.

【0021】また、光ヘッド位置決め装置13は、いわ
ゆるレーザ測長計等を用いた高精度な位置決めが可能で
あり、光ヘッド12を、スライダ2と同一の回転軸上
で、かつ、同一の半径上を移動させ、これにより、所定
位置に正確に位置決めする。
Further, the optical head positioning device 13 is capable of highly accurate positioning using a so-called laser length measuring device or the like, and the optical head 12 is on the same rotation axis as the slider 2 and on the same radius. Is moved so that it is accurately positioned at a predetermined position.

【0022】次に、上記のスライダ2の背面には、図2
にその詳細が示されるように、いわゆるターゲット16
が取り付けられており、このターゲット16の位置は、
上記の光ヘッド12によって検出される。そして、図1
の変位検出回路14では、上記光ヘッド12の出力か
ら、光ヘッド12とスライダ2との相対的な変位Xdを
検出する。また、図1に示したVCM制御回路6は、こ
の変位Xdの値に応じてVCM5の駆動電流iを制御
し、すなわち、この変位Xdが零(0)、つまりスライ
ダ2が上記光ヘッド12の真下に来るようにキャリッジ
4を駆動しながら、スライダ2上の書込ヘッドを位置決
めする。
Next, as shown in FIG.
The so-called target 16
Is attached, and the position of this target 16 is
It is detected by the optical head 12 described above. And FIG.
The displacement detection circuit 14 detects the relative displacement Xd between the optical head 12 and the slider 2 from the output of the optical head 12. Further, the VCM control circuit 6 shown in FIG. 1 controls the drive current i of the VCM 5 in accordance with the value of the displacement Xd, that is, the displacement Xd is zero (0), that is, the slider 2 moves to the optical head 12 described above. The write head on the slider 2 is positioned while driving the carriage 4 so that it is right below.

【0023】一方、クロックヘッド15は、上記ディス
ク1の記録領域外に、最初に、一定周波数のクロック信
号を1回転分書き込み、サーボ情報を書き込む時に、そ
のクロック信号を再生する。すなわち、サーボ情報の書
き込みは、スライダ2が目標位置に位置決めされた状態
で、このスライダ2上の書込ヘッドを用いて行われる
が、この時、図1のサーボ情報書き込み回路7は、上記
クロックヘッド15で再生されたクロック信号に同期し
ながらサーボ情報を書き込む。なお、MPU11は、サ
ーボトラックライタ全体の制御を行う。
On the other hand, the clock head 15 first writes a clock signal of a constant frequency for one rotation outside the recording area of the disk 1 and reproduces the clock signal when writing servo information. That is, the servo information is written using the write head on the slider 2 with the slider 2 positioned at the target position. At this time, the servo information writing circuit 7 of FIG. The servo information is written in synchronization with the clock signal reproduced by the head 15. The MPU 11 controls the entire servo track writer.

【0024】図3には、サーボ情報の書き込み手順の流
れ図が示されており、ここで、各ステップはイニシャル
「S」により略称する。最初に、図1に示したサーボト
ラックライタにHDA(ヘッド・ディスク・アセンブ
リ)を設置する(S1)。次に、スピンドルモータ駆動
回路10に指令を送ってスピンドルモータ9を起動さ
せ、回転数が安定するのを待ち(S2)、クロックヘッ
ド15でクロック信号を1回転分書き込む(S3)。そ
の後、スライダ2を図示しない最外周のストッパに押し
付けて固定し(S4)、光ヘッド12をスライダ2上ま
で移動させる(S5)。その後、その状態でキャリッジ
4のサーボ引き込みを行い(S6)、これによりスライ
ダ2を光ヘッド12に追従した状態にする。そして、ス
ライダ2が追従状態になった時、追従が外れないような
速度及び加速度で、光ヘッド12を所定のサーボ情報書
き込み位置に移動させる(S7)。その後、スライダ2
を位置決めし、サーボ情報書き込み回路7に指令を送っ
て、光ヘッド12及びキャリッジ4の位置整定を繰り返
し(S71で「N」の場合)、これらの位置整定が行わ
れた後(S71で「Y」の場合)、クロックヘッド15
で再生されるクロック信号に同期しながらディスク1に
サーボ情報を書き込み(S8)、1トラック分のサーボ
情報の書き込みが終了したら、前サーボ情報の書き込み
の終了を判定する(S81)。こうしてスライダ2の位
置決めとサーボ情報の書き込みを繰り返し(S81で
「N」の場合)、全てのトラックにサーボ情報を書き込
んだ状態で(S81で「Y」の場合)、スピンドルモー
タ9を停止し(S9)、サーボ情報の書き込みを終了す
る。
FIG. 3 shows a flow chart of a procedure for writing servo information, where each step is abbreviated by an initial "S". First, an HDA (head disk assembly) is installed on the servo track writer shown in FIG. 1 (S1). Next, a command is sent to the spindle motor drive circuit 10 to activate the spindle motor 9, wait until the number of revolutions stabilizes (S2), and the clock signal is written by the clock head 15 for one revolution (S3). Then, the slider 2 is pressed against an outermost stopper (not shown) to be fixed (S4), and the optical head 12 is moved to above the slider 2 (S5). Then, in that state, the servo pull-in of the carriage 4 is performed (S6), whereby the slider 2 follows the optical head 12. Then, when the slider 2 enters the follow-up state, the optical head 12 is moved to a predetermined servo information writing position at a speed and an acceleration so that the follow-up is not lost (S7). Then slider 2
Is positioned and a command is sent to the servo information writing circuit 7 to repeat the position settling of the optical head 12 and the carriage 4 (in the case of “N” in S71), and after these position settling is performed (“Y” in S71). In the case of), clock head 15
The servo information is written to the disk 1 in synchronization with the clock signal reproduced in step S8 (S8), and when the writing of the servo information for one track is completed, the completion of the writing of the previous servo information is determined (S81). In this way, the positioning of the slider 2 and the writing of servo information are repeated (in the case of "N" in S81), and the spindle motor 9 is stopped (in the case of "Y" in S81) with the servo information written in all the tracks (in the case of "Y" in S81). S9), the writing of servo information is completed.

【0025】この様な本発明になる図1のようなサーボ
情報書き込み装置の構成によれば、光ヘッド12を正確
に位置決めし、キャリッジ4を駆動してスライダ2を光
ヘッド12に追従させるように位置決めをすることによ
り、アクチュエータの機構共振特性を低下させず、キャ
リッジ4に振動が加わっても、スライダ2上の書込ヘッ
ドを一定の位置に位置決めでき、これにより、高品質な
サーボ情報の書き込みが可能になる。このことについ
て、以下、具体的に説明を行う。
According to the structure of the servo information writing apparatus as shown in FIG. 1 according to the present invention, the optical head 12 is accurately positioned and the carriage 4 is driven so that the slider 2 follows the optical head 12. By positioning the drive head on the slider 2, the mechanical resonance characteristic of the actuator is not deteriorated, and the write head on the slider 2 can be positioned at a fixed position even if vibration is applied to the carriage 4, and thus high quality servo information can be obtained. Writing is possible. This will be specifically described below.

【0026】ここで再び図2を参照しながら説明する
と、上記図2は、スライダ2上に取り付けたターゲット
16と光ヘッド12の関係の一例を示す図であり、この
図において、光ヘッド12はターゲット16に向けてレ
ーザ光を放射し、その反射光を受光してターゲット16
と光ヘッド12の相対的な変位Xdを検出する。このタ
ーゲット16としては、例えば円筒状のミラーを、上記
スライダ2の回転移動の半径方向に、その円筒の軸方向
を合わせて取り付けており、これにより、いわゆる光梃
子変位検出方式によって変位Xdを検出するものであ
る。
Referring again to FIG. 2, FIG. 2 is a diagram showing an example of the relationship between the target 16 mounted on the slider 2 and the optical head 12. In this figure, the optical head 12 is Laser light is emitted toward the target 16 and the reflected light is received to receive the target 16
And the relative displacement Xd of the optical head 12 is detected. As this target 16, for example, a cylindrical mirror is attached with the axial direction of the cylinder aligned with the radial direction of the rotational movement of the slider 2 so as to detect the displacement Xd by the so-called optical leverage displacement detection method. To do.

【0027】上記の光梃子変位検出方式による変位検出
の原理を図4に示す。図において、ターゲットである円
筒状ミラー16の水平方向の移動Ptによって、垂直方
向から入射するレーザ光の反射角度が変化し、センサ位
置における反射光の変位Pbが生じる。この円筒状ミラ
ー16には、例えば、表面が平滑な円筒や円柱の表面に
ミラー加工を行ったものを採用している。この円筒状ミ
ラー16の半径をr、レーザ光の反射面とセンサまでの
距離(梃子長さ)をLとすると、円筒状ミラー16の変
位Ptが微少な範囲では、以下の関係が成り立つ。
FIG. 4 shows the principle of displacement detection by the optical lever displacement detection method described above. In the figure, the horizontal movement Pt of the cylindrical mirror 16, which is the target, changes the reflection angle of the laser light incident from the vertical direction, causing a displacement Pb of the reflected light at the sensor position. As the cylindrical mirror 16, for example, a cylindrical or cylindrical surface having a smooth surface, which is mirror-processed, is used. Assuming that the radius of the cylindrical mirror 16 is r and the distance (lever length) from the reflecting surface of the laser light to the sensor is L, the following relationship is established in a range where the displacement Pt of the cylindrical mirror 16 is very small.

【数1】 [Equation 1]

【0028】つまり、円筒状ミラー16の半径rと梃子
長さLの値の選び方によって、上記円筒状ミラー16の
変位Ptを増幅して検出できる。例えばr=1mm、L
=50mmの場合、変位Pbは約100倍に拡大される
ので、センサの変位分解能が0.1μmであれば円筒状
ミラー16の変位検出分解能は1nmとなり、高精度な
変位検出が可能になる。本変位検出方式では、一般的な
光ディスクの変位検出方式のようにレーザ光を絞り込む
必要はないので、焦点距離の長いレンズを使用でき、光
ヘッド12と上記の円筒状ミラーからなるターゲット1
6の間隔(ワークディスタンス)を長くできるので、操
作性が向上する。
That is, the displacement Pt of the cylindrical mirror 16 can be amplified and detected by selecting the values of the radius r of the cylindrical mirror 16 and the lever length L. For example, r = 1 mm, L
= 50 mm, the displacement Pb is magnified about 100 times. Therefore, if the displacement resolution of the sensor is 0.1 μm, the displacement detection resolution of the cylindrical mirror 16 is 1 nm, and highly accurate displacement detection is possible. In this displacement detection method, it is not necessary to narrow down the laser beam unlike the displacement detection method for general optical discs, so a lens with a long focal length can be used, and the target 1 including the optical head 12 and the cylindrical mirror described above can be used.
Since the interval (work distance) of 6 can be lengthened, operability is improved.

【0029】このような光梃子変位検出方式は、例え
ば、走査型トンネル顕微鏡(STM)で用いられてい
る。STMでは、ターゲットとして半球状のミラーを用
いて、2次元の変位検出を行っている。本実施例では、
1次元の変位の検出ができればよく、ターゲットの半径
方向の取り付け位置誤差を許容する目的からも、ターゲ
ット16として円筒状ミラーを用いている。かかる円筒
状ミラーは、サーボトラックライタにHDAを設置した
ときに、HDAの部品精度や組立精度、円筒状ミラーの
取り付け精度等に起因する円筒状ミラー16と光ヘッド
12の位置ずれを許容するだけ長さが必要である。ただ
し、一般にHDAは高精度に作られており、例えば円筒
状ミラー16の長さは1mm程度でよい。また、この円
筒状ミラー16をガラスで構成した場合には、r=1m
mとすれば、その質量は取り付けるための接着剤等を含
めても0.05g以下になり、アクチュエータの機構共
振特性をほとんど劣化させることはない。
Such an optical lever displacement detection method is used, for example, in a scanning tunneling microscope (STM). In STM, a two-dimensional displacement is detected by using a hemispherical mirror as a target. In this embodiment,
A cylindrical mirror is used as the target 16 for the purpose of allowing a one-dimensional displacement detection and allowing an error in the mounting position of the target in the radial direction. Such a cylindrical mirror only allows positional deviation between the cylindrical mirror 16 and the optical head 12 due to HDA component accuracy, assembly accuracy, cylindrical mirror mounting accuracy, etc. when the HDA is installed on a servo track writer. Length is required. However, the HDA is generally made with high precision, and the length of the cylindrical mirror 16 may be about 1 mm, for example. When the cylindrical mirror 16 is made of glass, r = 1 m
If m, the mass will be 0.05 g or less, including the adhesive for mounting, and the mechanical resonance characteristics of the actuator will hardly be deteriorated.

【0030】図5は、上記の円筒状ミラーからなるター
ゲット16を、上記のスライダ2に代えて、上記スライ
ダ2を保持するロードアーム3上に取り付けた例を示す
図である。近年、スライダ2の低浮上化等に対応して、
スライダ2の形状は小形化する傾向にあり、ターゲット
16を取り付けるスペースを確保できなくなることが考
えられる。そのような場合には、この図5に示すよう
に、ロードアーム3等のスライダ2を支持する部材の上
のヘッドに近い位置にこのターゲット16を取り付けれ
ばよい。また、上記の構造に代え、図6に示すように、
キャリッジ4等のような、スライダ2と連動して動作す
る部分にターゲット16を取り付けることも可能であ
る。
FIG. 5 is a view showing an example in which the target 16 composed of the cylindrical mirror is mounted on the load arm 3 holding the slider 2 instead of the slider 2. In recent years, in response to lower flying height of the slider 2,
The shape of the slider 2 tends to be small, and it may be impossible to secure a space for mounting the target 16. In such a case, as shown in FIG. 5, the target 16 may be attached at a position close to the head above a member supporting the slider 2 such as the load arm 3. Further, instead of the above structure, as shown in FIG.
The target 16 can be attached to a portion such as the carriage 4 that operates in conjunction with the slider 2.

【0031】このようなターゲット16として、例え
ば、ガラス製の管や棒のような表面の平滑なものに金属
膜等のミラーコーティングを施したもの用いればよい。
また、スライダ2の位置は、ターゲット16の特定の位
置にレーザ光が入射するように制御するので、その反射
表面の曲率(半径)の精度は数%以内でよく、一般的な
安価なガラス管を使用することも可能である。従って、
ターゲット16は上述のように非常に軽量かつ安価であ
り、取り外して再利用する必要はなく、取り付けたまま
でよいので作業性が向上する。
As such a target 16, for example, a glass tube or rod having a smooth surface and having a mirror coating such as a metal film may be used.
Further, since the position of the slider 2 is controlled so that the laser light is incident on a specific position of the target 16, the accuracy of the curvature (radius) of the reflecting surface thereof may be within several%, and a general inexpensive glass tube. It is also possible to use Therefore,
As described above, the target 16 is extremely lightweight and inexpensive, does not need to be removed and reused, and can be attached as it is, which improves workability.

【0032】さらに、図7には、上記で説明したターゲ
ット16のその他の形状例を示す。この図にも示される
ように、ターゲット16は、円筒(図7(a))もしく
は円柱(図7(b))の一部を使用してもよく、その場
合には、さらに軽量化できる。例えば、ガラス管の一部
を用いてもよく、樹脂をプレスして円柱の一部を構成し
てもよい。反射面としては、上述の凸面だけではなく、
凹面を用いてもよい(図7(c)及び(d))。また、
反射表面の曲率は一定である必要はなく、例えば、断面
が楕円のような曲率が変化するもの(図7(e))であ
ってもよい。さらに、ターゲット16の取り付け精度が
十分確保される場合には、球もしくはその一部(図7
(f))をターゲットとして用いてもよく、その場合、
曲率は一定である必要はない。また、反射面は表面であ
る必要はなく、ターゲット16の内部で反射するもので
あってもよい。つまり、ターゲット16は、水平方向の
変位をレーザ光の反射角度に変換するものであればよ
く、スライダ2やロードアーム3、キャリッジ4等に、
直接曲面加工、ミラー加工を行い、反射面を構成しても
よい。
Further, FIG. 7 shows another example of the shape of the target 16 described above. As also shown in this figure, the target 16 may use a part of a cylinder (FIG. 7A) or a cylinder (FIG. 7B), and in that case, the weight can be further reduced. For example, a part of the glass tube may be used, or a resin may be pressed to form a part of the cylinder. As the reflective surface, not only the above convex surface,
A concave surface may be used (FIGS. 7 (c) and (d)). Also,
The curvature of the reflecting surface does not have to be constant, and for example, the cross-section may have an elliptic curvature changing shape (FIG. 7E). Furthermore, when the mounting accuracy of the target 16 is sufficiently secured, the sphere or a part thereof (see FIG.
(F)) may be used as the target, in which case
The curvature does not have to be constant. Further, the reflecting surface does not have to be a surface, and may be one that reflects inside the target 16. That is, the target 16 may be any target as long as it can convert the displacement in the horizontal direction into the reflection angle of the laser beam, and the slider 2, the load arm 3, the carriage 4, etc.
The curved surface or the mirror may be directly processed to form the reflecting surface.

【0033】次に、図8には、上記の光ヘッド12に採
用されている光学系の一例を示す。この実施例では、レ
ーザダイオード(LD)18から放射されるレーザ光は
対物レンズ19によって集光されて、ターゲットである
円筒状ミラー16に入射される。この円筒状ミラー16
による上記レーザ光の反射光は、ビームスプリッタ20
によって分光され、フォトディテクタ(PD)21に入
射され、これにより変位が検出される。
Next, FIG. 8 shows an example of an optical system adopted in the optical head 12 described above. In this embodiment, the laser light emitted from the laser diode (LD) 18 is condensed by the objective lens 19 and is incident on the cylindrical mirror 16 which is the target. This cylindrical mirror 16
The reflected light of the laser light by the beam splitter 20
The light is dispersed by and is incident on the photodetector (PD) 21, whereby the displacement is detected.

【0034】このPD21は、2分割されて構成されて
おり、各PDの出力の差によって変位を検出するもので
あり、図9(a)には、この2分割されたPDの構成
が、そして、図9(b)には、入射されるレーザスポッ
ト(図9(a)中の斜線部)22の変位Pbと変位出力
Xdとの関係が示されている。ここで、図の変位検出回
路14からの変位出力Xdは、以下のように表される。
The PD 21 is divided into two parts, and detects the displacement by the difference between the outputs of the PDs. FIG. 9A shows the structure of the divided PD. 9B shows the relationship between the displacement Pb and the displacement output Xd of the incident laser spot 22 (the hatched portion in FIG. 9A). Here, the displacement output Xd from the displacement detection circuit 14 in the figure is expressed as follows.

【数2】 なお、この数式において、AとBは、上記2分割された
PD21からのそれぞれの出力を表している。
[Equation 2] In this mathematical expression, A and B represent respective outputs from the PD 21 divided into two.

【0035】なお、HDAの部品精度や組立精度、ある
いは、ターゲット16の取り付け精度等により、反射面
が焦点位置から上下にずれる(フォーカスオフセット)
場合、上記PD21でのビームスポット22の径が変化
するので、光ヘッド12の変位検出感度が変化する。そ
して、この変位検出感度が±15%以上変化すると、正
常にフォローイングが行われない可能性がある。そこ
で、そのような可能性がある場合には、一旦、上記のス
ライダ2を外周もしくは内周位置に固定した状態で、光
ヘッド12をターゲット16上を移動させ、変位検出感
度を検出して補正することにより、かかる問題を解消す
ることが出来る。
The reflecting surface is vertically displaced from the focal position (focus offset) due to the precision of HDA components, the precision of assembly, the precision of mounting the target 16, and the like.
In this case, since the diameter of the beam spot 22 on the PD 21 changes, the displacement detection sensitivity of the optical head 12 changes. If the displacement detection sensitivity changes by ± 15% or more, the following may not be performed normally. Therefore, if there is such a possibility, the optical head 12 is once moved on the target 16 while the slider 2 is fixed at the outer or inner position, and the displacement detection sensitivity is detected and corrected. By doing so, such a problem can be solved.

【0036】ただし、変位検出感度の大幅な変動は、変
位検出精度を低下させる可能性がある。また、動的な変
位検出感度の変動は、変位検出信号の外乱となるので好
ましくない。このような場合には、光ヘッドにフォーカ
ス制御機構を持たせ、オートフォーカス制御を行ってセ
ンサ位置におけるビームスポット22の径を一定に保
ち、センサ検出感度を一定にする必要がある。
However, a large change in the displacement detection sensitivity may reduce the displacement detection accuracy. Further, dynamic fluctuation of the displacement detection sensitivity is not preferable because it causes disturbance of the displacement detection signal. In such a case, it is necessary to provide the optical head with a focus control mechanism, perform autofocus control to keep the diameter of the beam spot 22 at the sensor position constant, and make the sensor detection sensitivity constant.

【0037】続いて、図10(a)及び(b)には、上
記の変位出力Xdと同時に、さらに、オートフォーカス
制御を行うためのAf信号を出力するための4分割構造
のPDの構成、及び、反射レーザ光であるビームスポッ
ト22の変位Pbと変位出力Xdの関係が示される。この
場合、検出変位Xd及びオートフォーカス信号Afは以下
のようになる。
Next, in FIGS. 10A and 10B, a structure of a PD having a four-division structure for outputting the Af signal for performing the autofocus control at the same time as the displacement output Xd, Also, the relationship between the displacement Pb of the beam spot 22 which is the reflected laser light and the displacement output Xd is shown. In this case, the detected displacement Xd and the autofocus signal Af are as follows.

【数3】 (Equation 3)

【数4】 なお、これらの数式において、A、B、C、Dは、上記
4分割されたPD21からのそれぞれの出力を表してい
る。
[Equation 4] In these equations, A, B, C and D represent the respective outputs from the PD 21 divided into four.

【0038】また、図11には、光ヘッド12の光学系
の他の実施例を示す。この他の実施例になる光学系で
は、LD18から放射されるレーザ光はコリメータレン
ズ24によって一旦平行光にされ、対物レンズ19によ
って集光されて、ターゲットである円筒状ミラー16に
入射される。このレーザ光の円筒状ミラー16による反
射光は、対物レンズ19によって再び平行光に戻され、
ビームスプリッタ20によって分光されて位置検出素子
(PSD)23に入射される。このPSD23に入射す
るビームスポット22の径を絞って小さくするために、
コリメータレンズ24とビームスプリッタ20の間に
は、絞り25が配置されている。このような構成では、
光梃子の長さLは、円筒状ミラー16の反射面から対物
レンズ19までの距離となる。
FIG. 11 shows another embodiment of the optical system of the optical head 12. In the optical system according to the other embodiment, the laser light emitted from the LD 18 is once collimated by the collimator lens 24, condensed by the objective lens 19, and incident on the cylindrical mirror 16 as a target. The reflected light of the laser light from the cylindrical mirror 16 is returned to parallel light by the objective lens 19,
The light is split by the beam splitter 20 and is incident on the position detection element (PSD) 23. In order to reduce the diameter of the beam spot 22 incident on the PSD 23,
A diaphragm 25 is arranged between the collimator lens 24 and the beam splitter 20. In such a configuration,
The length L of the optical lever is the distance from the reflecting surface of the cylindrical mirror 16 to the objective lens 19.

【0039】図12(a)、(b)及び(c)には、上
述のPDに代えてビームスポット22を検出するセンサ
として使用される位置検出素子(PSD)23の構成、
このPSD23のセンサ出力、及び、ビームスポットの
変位Pbと変位出力Xdとの関係が示されている。このP
SD23は、ビーム22の強度や径に関わらず、ビーム
22の中心位置を検出することが可能なセンサであり、
1個のセンサで1次元の位置を検出するタイプと、2次
元の位置を検出するタイプのものがある。本実施例では
1次元の変位検出で十分なので、以下の説明では1次元
PSDを用いたものについてのみ説明を行うが、しかし
ながら、これに代えて2次元PSDを用いることも可能
であることは言うまでもない。
12 (a), (b) and (c), the structure of a position detecting element (PSD) 23 used as a sensor for detecting the beam spot 22 in place of the above-mentioned PD,
The sensor output of the PSD 23 and the relationship between the displacement Pb of the beam spot and the displacement output Xd are shown. This P
The SD 23 is a sensor capable of detecting the center position of the beam 22 regardless of the intensity or diameter of the beam 22,
There are a type that detects a one-dimensional position with a single sensor and a type that detects a two-dimensional position. Since the one-dimensional displacement detection is sufficient in the present embodiment, only the one-dimensional PSD is used in the following description, but it is needless to say that the two-dimensional PSD can be used instead. Yes.

【0040】このPSD23は、基本的には上記のPD
(フォトディテクタ)と同じ材質でできており、1個の
素子に2個の出力端子が出ている。各出力端子からの出
力の光電変換感度は、その出力端子からの位置に対して
線形であり、図12(b)からも明らかなように、出力
端子に一番遠い位置で零(0)、一番近い位置で最大
値、中央で最大値の1/2となる。従って、これら2個
の出力端子からの出力I1及びI2から、以下の数式で示
す演算を行うことにより、ビームスポット22の強度や
ビーム径に関わらず、常に、検出感度が一定な変位出力
Xdを得ることができる。
This PSD 23 is basically the above PD.
It is made of the same material as the (photodetector), and one element has two output terminals. The photoelectric conversion sensitivity of the output from each output terminal is linear with respect to the position from the output terminal, and as is clear from FIG. 12B, zero (0) at the position farthest from the output terminal, The maximum value is at the closest position, and is 1/2 the maximum value at the center. Therefore, the displacement output Xd with a constant detection sensitivity is always obtained from the outputs I1 and I2 from these two output terminals, regardless of the intensity and the beam diameter of the beam spot 22 by performing the calculation represented by the following formula. Obtainable.

【数5】 この様に、上記PDの代わりにPSDをセンサに用いる
ことで、フォーカス制御を行わなくても変位検出感度を
一定に保つことができ、もって、簡単な構成で安定した
変位検出が可能になる。
(Equation 5) As described above, by using the PSD instead of the PD as the sensor, the displacement detection sensitivity can be kept constant without performing focus control, and thus stable displacement detection can be performed with a simple configuration.

【0041】図13には、光ヘッド12の光学系のさら
に他の実施例を示す。この実施例では、LD18から放
射されるレーザ光は対物レンズ19によって一旦集光さ
れた後、コリメータレンズ24によって非常に細い平行
光にされ、ターゲットである円筒状ミラー16に入射さ
れる。このレーザ光の円筒状ミラー16による反射光
は、ビームスプリッタ20によって分光されて、やは
り、PSD23に入射される。さらに、ビームを絞るた
めに、上記の図11に示した例のように、途中に絞り2
5を配置してもよい。なお、本構成では、円筒状ミラー
16による反射位置が上下に変動しても、センサである
PSD23の位置でのビームスポット22の径はほとん
ど変化しないので、センサとしてPD21を用いても変
位検出感度の変動は発生しない。ここでも、光梃子の長
さLは、円筒状ミラー16の反射面からPSD23まで
の光路に沿った距離になる。
FIG. 13 shows still another embodiment of the optical system of the optical head 12. In this embodiment, the laser light emitted from the LD 18 is once condensed by the objective lens 19 and then made into a very thin parallel light by the collimator lens 24, and is incident on the cylindrical mirror 16 which is a target. The reflected light of the laser light from the cylindrical mirror 16 is split by the beam splitter 20 and is incident on the PSD 23 as well. Further, in order to narrow the beam, as in the example shown in FIG.
5 may be arranged. In this configuration, even if the reflection position of the cylindrical mirror 16 fluctuates up and down, the diameter of the beam spot 22 at the position of the PSD 23, which is a sensor, hardly changes. Therefore, even if the PD 21 is used as the sensor, the displacement detection sensitivity is increased. Does not fluctuate. Here again, the length L of the optical lever is the distance along the optical path from the reflecting surface of the cylindrical mirror 16 to the PSD 23.

【0042】さらに、図14には、傾き補正機構を備え
た光ヘッド12の構成の例を示す。すなわち、この傾き
補正機構26は、光ヘッド12と光ヘッド位置決め装置
13との間に挿入して配置され、光ヘッド12からのビ
ームの傾き及びターゲット16の傾きの補正を行うもの
である。
Further, FIG. 14 shows an example of the configuration of the optical head 12 having a tilt correction mechanism. That is, the tilt correction mechanism 26 is inserted and arranged between the optical head 12 and the optical head positioning device 13, and corrects the tilt of the beam from the optical head 12 and the tilt of the target 16.

【0043】かかる構成において、ターゲット16の移
動面に対して光ヘッド12のビームが垂直に入射されな
い場合には、ターゲット16の上下動(フォーカスオフ
セット方向の動き)が、変位信号Xdに漏れ込む。すな
わち、ビームの傾きをθ、ターゲット16の上下方向の
変位をXhとすると、このターゲット16の上下動によ
って発生する変位検出誤差Edは、以下の数式のように
なる。
In such a structure, when the beam of the optical head 12 is not vertically incident on the moving surface of the target 16, the vertical movement of the target 16 (movement in the focus offset direction) leaks into the displacement signal Xd. That is, when the beam inclination is θ and the vertical displacement of the target 16 is Xh, the displacement detection error Ed generated by the vertical movement of the target 16 is given by the following mathematical expression.

【数6】 (Equation 6)

【0044】このように、検出される変位検出誤差Ed
の静的な成分は、全体的なオフセットとなるため、サー
ボ信号の書き込み精度には影響しない。しかしながら、
その動的な成分はそのままサーボ信号に振動成分として
書き込まれる。具体的には、スライダ2は、ディスク1
の面の変動によって、上下に±10μm程度、動的に振
動するので、スライダ2もしくはロードアーム3にター
ゲット16を取り付けた場合には、上記変位検出誤差E
dの動的成分が発生する。そのため、ビームの傾きθを
十分小さく押さえることができない場合には、ビームの
傾きを補正するために、上記の傾き補正機構26が必要
になる。
In this way, the detected displacement detection error Ed
Since the static component of is an overall offset, it does not affect the servo signal writing accuracy. However,
The dynamic component is directly written as a vibration component in the servo signal. Specifically, the slider 2 is the disk 1
When the target 16 is attached to the slider 2 or the load arm 3, the above displacement detection error E
The dynamic component of d is generated. Therefore, when the beam inclination θ cannot be suppressed to be sufficiently small, the inclination correction mechanism 26 described above is necessary to correct the beam inclination.

【0045】図15には、上記の傾き補正機構26によ
るビームの傾きを補正する方法を示す。例えば、スライ
ダ2上のターゲット16の近傍に、このターゲット16
の移動方向(図中の矢印を参照)と平行な平面の反射面
Pを構成しておく。ディスク1を回転するスピンドル8
が静止した状態で、前記反射面Pに光ヘッド12からの
レーザ光を入射し、その反射光がPSD23の中心に入
射してその変位信号Xdが零になるように、傾き調整機
構26によって光ヘッド12を傾ける。また、ビームの
傾きθとターゲット16の変位Xh(図中の矢印Xhを参
照)が測定可能な場合には、演算によって変位検出誤差
Edの補正を行ってもよい。
FIG. 15 shows a method of correcting the tilt of the beam by the above tilt correcting mechanism 26. For example, in the vicinity of the target 16 on the slider 2, the target 16
The reflecting surface P of a plane parallel to the moving direction (see the arrow in the figure) is configured. Spindle 8 that rotates the disk 1
With the stationary state, the laser beam from the optical head 12 is incident on the reflecting surface P, and the reflected light is incident on the center of the PSD 23 so that the displacement signal Xd becomes zero. Tilt the head 12. When the beam inclination θ and the displacement Xh of the target 16 (see the arrow Xh in the figure) can be measured, the displacement detection error Ed may be corrected by calculation.

【0046】さらに、図16には、ターゲット16のα
方向の傾きを補正する構成及び方法を示す。図におい
て、ターゲット16が傾いて取り付けられていると、レ
ーザ光の反射光が光ヘッド12のセンサ(例えば、上記
のPD21あるいはPSD23)から外れてしまう可能
性がある。ところで、ターゲット16の傾きのうち、タ
ーゲット16の移動面内での傾きについては比較的影響
が小さいので、補正をする必要性は少ない。しかしなが
ら、ターゲット16の移動面に対して、ターゲット16
がα方向に傾いて取り付けられている場合には、その傾
きを補正する必要がある。そこで、上記同様に光ヘッド
12と光ヘッド位置決め装置13との間に挿入して配置
された傾き調整機構26によって、光ヘッド12を図の
矢印方向に回動させてターゲット16に対する傾きαを
変化させ、これにより、光ヘッド12のPSD23の出
力の値が最大になるように光ヘッド12の傾きを調整す
ることにより補正が可能になる。
Further, in FIG. 16, α of the target 16 is
The structure and method of correcting the inclination of a direction are shown. In the figure, if the target 16 is mounted so as to be tilted, the reflected light of the laser light may be dislocated from the sensor (for example, the PD 21 or PSD 23) of the optical head 12. By the way, of the inclinations of the target 16, the inclination of the target 16 within the moving plane has a relatively small effect, and therefore the necessity of correction is small. However, with respect to the moving surface of the target 16, the target 16
When the is attached with being inclined in the α direction, the inclination needs to be corrected. Therefore, similarly to the above, the tilt adjusting mechanism 26 inserted and arranged between the optical head 12 and the optical head positioning device 13 rotates the optical head 12 in the direction of the arrow in the figure to change the tilt α with respect to the target 16. Thus, the correction can be performed by adjusting the inclination of the optical head 12 so that the output value of the PSD 23 of the optical head 12 becomes maximum.

【0047】また、図17に示すように、光ヘッド12
のビームスポット22を、ターゲット16の軸方向に長
くすることによって、ある程度、ターゲット16が傾い
ていても、ターゲット16により反射されてPSD23
上に入射するビームスポット22を長くして、その一部
をPSD23に確実に入射させるようにすることも可能
である。従って、かかる構成によれば、ターゲット16
の傾きを補正することなく、ターゲット16の取り付け
角度の許容範囲を広げることが可能になる。上記のよう
な縦長のビームは、例えば絞り25の形状を縦長にする
ことにより、容易に形成することが可能である。
Further, as shown in FIG. 17, the optical head 12
By lengthening the beam spot 22 of the target 16 in the axial direction of the target 16, even if the target 16 is tilted to some extent, it is reflected by the target 16 and the PSD 23
It is also possible to lengthen the beam spot 22 incident on the top so that a part of the beam spot 22 is surely incident on the PSD 23. Therefore, according to such a configuration, the target 16
It is possible to widen the allowable range of the attachment angle of the target 16 without correcting the inclination of the target 16. The vertically long beam as described above can be easily formed, for example, by making the shape of the diaphragm 25 vertically long.

【0048】次に、図18は、上記の光ヘッドの構造と
は異なり、光ヘッドの内部に光梃子である円筒状ミラー
からなるターゲット16を配置し、もって、変位増幅機
構を備えた光ヘッド12’の実施例を示すものである。
また、この実施例では、スライダ2には、上記の円筒状
ミラーに代わって、平面ミラー27を45゜傾けて取り
付け、これにより水平方向から入射するレーザ光を垂直
方向に反射させる。
Next, in FIG. 18, unlike the structure of the optical head described above, a target 16 composed of a cylindrical mirror, which is an optical lever, is arranged inside the optical head, so that an optical head equipped with a displacement amplification mechanism is provided. 12 'shows an example of 12'.
Further, in this embodiment, instead of the above-mentioned cylindrical mirror, a plane mirror 27 is attached to the slider 2 at an angle of 45 ° so that the laser light incident from the horizontal direction is reflected in the vertical direction.

【0049】かかる構成によれば、スライダ2が水平方
向に変位すると、上記平面ミラー27によるLD18か
らのレーザ光の反射位置が変化するため、その反射光は
スライダ2の変位と同じ距離だけ平行移動する。そこ
で、この反射光の変位を光ヘッド12の内部に設けた光
梃子あるいは円筒状ミラー16によって増幅し、これに
よって、PSD23による変位検出感度を向上させるも
のである。この時、ロータリ型アクチュエータによる場
合には、上記のスライダ2が、つまり、その上に搭載さ
れた平面ミラー27が回転するため、レーザ光の入射部
も光ヘッド12と一体で移動させることとなる。なお、
本方式の場合、スライダ2の垂直方向の変位に対して
も、水平方向と同程度の感度を有するので、同様の補正
等が必要になる。
According to this structure, when the slider 2 is displaced in the horizontal direction, the reflection position of the laser light from the LD 18 by the plane mirror 27 changes, so that the reflected light moves in parallel by the same distance as the displacement of the slider 2. To do. Therefore, the displacement of the reflected light is amplified by the optical lever or the cylindrical mirror 16 provided inside the optical head 12, thereby improving the displacement detection sensitivity of the PSD 23. At this time, when the rotary actuator is used, the slider 2 described above, that is, the plane mirror 27 mounted thereon rotates, so that the laser light incident part is also moved integrally with the optical head 12. . In addition,
In the case of this method, the same degree of sensitivity as that in the horizontal direction is required even with respect to the displacement of the slider 2 in the vertical direction.

【0050】さらに、図19には、その内部に光梃子で
あるターゲット16を配置した光ヘッド12’におい
て、上記の平面ミラー27の代わりに直角ミラー28を
使用し、垂直方向から入射したビームを直角ミラー28
の2つの反射面で反射させ、反射ビームを再び垂直方向
に戻すように構成した変形例が示されている。このよう
な変形例の場合、反射光の変位は、スライダ2の変位の
2倍に増幅されることとなる。また、上記の直角ミラー
28の反射面がスライダ2の移動面に対して45゜の角
度で取り付けられており、かつ、レーザ光がスライダ2
の移動面に対して垂直に入射する場合には、上記スライ
ダ2の垂直方向の変位に対しては感度が発生しないこと
となる。それ以外の場合には、直角ミラー28の取り付
け誤差や入射レーザ光の傾きの程度に対応し、スライダ
2の垂直方向の変位に対して感度が発生することとなる
ので、場合によってはその補正等が必要になる。
Further, in FIG. 19, in the optical head 12 'in which the target 16 which is an optical lever is arranged, a rectangular mirror 28 is used instead of the above-mentioned plane mirror 27, and the beam incident from the vertical direction is used. Right angle mirror 28
A modified example in which the two reflected surfaces are reflected and the reflected beam is returned to the vertical direction again is shown. In the case of such a modified example, the displacement of the reflected light is amplified to twice the displacement of the slider 2. The reflecting surface of the right-angled mirror 28 is attached to the moving surface of the slider 2 at an angle of 45 °, and the laser light is applied to the slider 2.
When incident perpendicularly to the moving surface of the slider 2, the sensitivity does not occur with respect to the displacement of the slider 2 in the vertical direction. In other cases, the sensitivity to the displacement of the slider 2 in the vertical direction is generated depending on the mounting error of the right-angled mirror 28 and the degree of inclination of the incident laser light. Will be required.

【0051】また、上記の図18及び図19に示したそ
の内部に光梃子であるターゲット16を配置した光ヘッ
ド12’においては、スライダ2の表面に取り付けられ
た上記の平面ミラー27や直角ミラー28の代わりに、
例えば直角プリズム等を用いてもよく、または、上記ス
ライダ2、スライダ2を保持するロードアーム3、ある
いは、これを移動するキャリッジ4等の一部を加工し、
これらの一部に、直接、上記の反射面を構成してもよ
い。さらに、上記の平面ミラー27や直角ミラー28の
反射面と、スライダ2の移動面とのなす角度は45゜で
はなくてもよく、また、直角ミラー28の代わりに2つ
の反射面が90゜以外の角度をなすミラーを用いてもよ
い。その場合には、レーザ光の反射方向やスライダ変位
に対する反射光変位の比が変化することとなる。
In the optical head 12 'shown in FIGS. 18 and 19 in which the target 16 which is an optical lever is arranged, the plane mirror 27 or the right angle mirror mounted on the surface of the slider 2 is used. Instead of 28
For example, a right-angle prism or the like may be used, or a part of the slider 2, the load arm 3 holding the slider 2 or the carriage 4 for moving the slider 2 may be processed,
The reflecting surface may be directly formed on a part of them. Further, the angle formed by the reflecting surface of the plane mirror 27 or the right-angled mirror 28 and the moving surface of the slider 2 may not be 45 °, and instead of the right-angled mirror 28, the two reflecting surfaces may be other than 90 °. You may use the mirror which makes the angle of. In that case, the reflection direction of the laser light and the ratio of the displacement of the reflected light to the displacement of the slider change.

【0052】ところで、上記に述べた本発明の種々の実
施例においては、スライダ2の在るトラックから次のト
ラックへの移動は、スライダ2が光ヘッド12の移動に
追従することによって行われる。そのため、光ヘッド1
2に対してスライダ2の動きに遅れが発生してしまい、
場合によっては、その動作が不安定になる恐れがある。
そこで、図1にも示すように、光ヘッド位置決め装置1
3からの光ヘッド12の速度や加速度等の移動情報Sf
を、VCM制御回路6にフィードフォワード情報として
入力し、これによってキャリッジ4を駆動しながらスラ
イダ2を移動させることが行われる。従って、このよう
な光ヘッドの移動情報Sfをフィードフォワードする構
成によれば、予め光ヘッド12の動きが判るため、スラ
イダ2を安定して追従させることが出来ることとなる。
In the various embodiments of the present invention described above, the movement of the slider 2 from the track in which the slider 2 is present to the next track is performed by the slider 2 following the movement of the optical head 12. Therefore, the optical head 1
2, the movement of the slider 2 is delayed,
In some cases, the operation may become unstable.
Therefore, as shown in FIG. 1, the optical head positioning device 1
Movement information Sf such as speed and acceleration of the optical head 12 from 3
Is input to the VCM control circuit 6 as feedforward information, whereby the slider 2 is moved while driving the carriage 4. Therefore, according to such a configuration in which the movement information Sf of the optical head is feedforward, the movement of the optical head 12 is known in advance, so that the slider 2 can be made to follow stably.

【0053】最後に、図20には、本発明になる磁気デ
ィスク装置のケ−スの一部に透明な窓を設けた変形例が
示されている。一般に、磁気ディスク装置は塵埃を非常
に嫌うため、通常の使用時にはケ−ス29内に密閉され
ている。また、磁気ディスク装置の製造やサ−ボ情報の
書き込みなどの作業は、作業コストの高いクリ−ンル−
ム内で行われている。そこで、この変形例になる磁気デ
ィスク装置では、そのケ−ス29において、スライダ2
上に搭載されたタ−ゲット16を検出するのに必要な範
囲の部分を、例えばガラス等の透明な窓30にすること
により、磁気ディスク装置をケース29内に密閉した状
態のままで上記実施例によるヘッド位置決めが可能にな
り、これにより、クリ−ンル−ムの外でも上記サ−ボ情
報の書き込みが可能になる。その場合、例えば磁気ディ
スク装置の内部に固定ヘッドを設置し、その固定ヘッド
をクロックヘッド(図1の符号15を参照)とし、クロ
ック信号を発生させることとなる。
Finally, FIG. 20 shows a modification in which a transparent window is provided in a part of the case of the magnetic disk device according to the present invention. In general, the magnetic disk device is extremely disliked by dust, and therefore, it is sealed in the case 29 during normal use. In addition, operations such as manufacturing a magnetic disk device and writing servo information are performed at a high cleaning cost.
It is being done inside the house. Therefore, in the magnetic disk device according to this modified example, the slider 2 is provided in the case 29.
By implementing a transparent window 30 made of, for example, glass in a range necessary to detect the target 16 mounted on the magnetic disk device, the magnetic disk device is sealed in the case 29. It becomes possible to position the head as in the example, which enables the writing of the servo information outside the clean room. In that case, for example, a fixed head is installed inside the magnetic disk device, and the fixed head is used as a clock head (see reference numeral 15 in FIG. 1) to generate a clock signal.

【0054】なお、上記実施例では、光ヘッド12に光
源としてレーザダイオード(LD)を用いているが、し
かしながら、この光源としてはレーザビーム等のコヒー
レント光である必要はなく、これに代えて、例えば発光
ダイオード(LED)等でもよく、また、この光源とし
ては可視光に限らず、赤外光や紫外光によるものであっ
てもよい。さらに、使用する光の波長に合わせた干渉フ
ィルタを光電変換センサ(上記のPD21やPSD23
など)の手前に配置することにより、外乱光による影響
を低下させることができる。
Although a laser diode (LD) is used as a light source in the optical head 12 in the above embodiment, however, this light source does not need to be a coherent light such as a laser beam, and instead of this, For example, a light emitting diode (LED) or the like may be used, and the light source is not limited to visible light, but may be infrared light or ultraviolet light. Further, an interference filter matched to the wavelength of the light used is provided with a photoelectric conversion sensor (the PD21 or PSD23 described above).
, Etc.), the influence of ambient light can be reduced.

【0055】また、上記の実施例においては、光ヘッド
12を移動させてディスク1との相対位置を変化させて
いるが、これとは逆に、光ヘッド12を固定し、ディス
ク1の側を動かすようにしてもよい。さらに、上記の実
施例においては、接着剤等によってターゲットである円
筒状ミラー16を取り付けたままにする例について記述
しているが、これに代え、円筒状ミラー16を着脱可能
にする機構を設け、サ−ボ情報書き込み後には、これを
取り外すようにしてもよい。
In the above embodiment, the optical head 12 is moved to change the relative position with respect to the disc 1. On the contrary, the optical head 12 is fixed and the disc 1 side is moved. You may move it. Further, in the above embodiment, an example in which the cylindrical mirror 16 which is the target is left attached by an adhesive agent or the like is described. However, instead of this, a mechanism for attaching and detaching the cylindrical mirror 16 is provided. After writing the servo information, this may be removed.

【0056】加えて、上記の本発明の実施例によれば、
光電変換センサとして、特に、上述のPSD23を用い
ることにより、フォーカス機構を必要とせずにその変位
検出感度を一定に保つことが可能となり、もって、光ヘ
ッドの構成を簡素化することができる。また、上記の図
17にも示すように、ビームスポットをターゲットの軸
方向に長くすることにより、ターゲットの取り付け角度
誤差の許容範囲を広げることが可能になる。
In addition, according to the embodiment of the present invention described above,
In particular, by using the above-described PSD 23 as the photoelectric conversion sensor, the displacement detection sensitivity can be kept constant without the need for a focus mechanism, and thus the configuration of the optical head can be simplified. Further, as shown in FIG. 17 described above, by lengthening the beam spot in the axial direction of the target, it becomes possible to widen the allowable range of the mounting angle error of the target.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上の詳細な説明からも明らかなよう
に、本発明によれば、サーボ情報を書き込もうとする磁
気ディスクに対して正確な位置決めが可能な光ヘッド
と、サーボ情報を書き込むヘッドを備えたスライダの増
幅された変位を検出することにより、ヘッドの変位を高
精度に検出でき、キャリッジに伝わる外乱変位による位
置検出誤差がなく、ヘッドの正確な位置決めが可能とな
り、また、光ヘッドから入射する光とスライダの移動面
との角度の傾きやスライダの移動面に対するミラーの傾
きを検出して補正することにより、光ヘッドの光軸の傾
きによる検出変位の誤差を防ぎ、ヘッドを正確に位置決
めでき、さらには、光ヘッドもしくはディスク状記録媒
体の移動情報をキャリッジ駆動手段にフィードフォワー
ド情報として入力することにより、安定してキャリッジ
を光ヘッドに追従させることができるという、技術的に
も優れた効果を発揮する。
As is apparent from the above detailed description, according to the present invention, an optical head capable of accurately positioning with respect to a magnetic disk on which servo information is written and a head for writing servo information are provided. By detecting the amplified displacement of the slider provided, it is possible to detect the displacement of the head with high accuracy, there is no position detection error due to the disturbance displacement transmitted to the carriage, and the accurate positioning of the head becomes possible. By detecting and correcting the inclination of the angle between the incident light and the moving surface of the slider and the inclination of the mirror with respect to the moving surface of the slider, errors in detection displacement due to the inclination of the optical axis of the optical head can be prevented and the head can be accurately measured. Positioning is possible, and further, movement information of the optical head or the disk-shaped recording medium is input to the carriage driving means as feedforward information. And by, that it is possible to stably follow the carriage in the optical head, it exhibits excellent effect also in the art.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例になるヘッドの位置決め方法
によりサーボ情報書き込むサーボトラックライタの構成
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a servo track writer for writing servo information by a head positioning method according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記サーボトラックライタにおけるスライダ上
に取り付けたターゲットと光ヘッドとの関係を示す一部
拡大斜視図である。
FIG. 2 is a partially enlarged perspective view showing a relationship between a target mounted on a slider and an optical head in the servo track writer.

【図3】上記図1に示した実施例におけるサーボ情報書
き込み手順の例を示すフローチャート図である。
3 is a flowchart showing an example of a servo information writing procedure in the embodiment shown in FIG.

【図4】上記実施例において、ターゲットによる変位検
出方法の原理を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the principle of a displacement detection method using a target in the above embodiment.

【図5】上記ターゲットを磁気ディスク装置のロードア
ーム上に取り付けた例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example in which the target is mounted on a load arm of a magnetic disk device.

【図6】上記ターゲットを磁気ディスク装置のキャリッ
ジ上に取り付けた例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an example in which the target is mounted on a carriage of a magnetic disk device.

【図7】上記ターゲットのその他の形状の例を示す斜視
図である。
FIG. 7 is a perspective view showing an example of another shape of the target.

【図8】上記実施例のサーボトラックライタにおける光
ヘッドの光学系の構成を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of an optical system of an optical head in the servo track writer of the above embodiment.

【図9】上記実施例においてターゲットで反射されたビ
ームスポットを受光して変位を出力する2分割フォトデ
ィテクタの構成とその変位出力関係を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a two-divided photodetector that receives a beam spot reflected by a target and outputs a displacement and a displacement output relationship thereof in the above embodiment.

【図10】上記実施例においてターゲットで反射された
ビームスポットを受光して変位を出力する4分割フォト
ディテクタの構成とその変位出力関係を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a four-division photodetector that receives a beam spot reflected by a target and outputs a displacement and a displacement output relationship thereof in the above embodiment.

【図11】上記実施例のサーボトラックライタにおける
光ヘッドの光学系の他の構成を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing another configuration of the optical system of the optical head in the servo track writer of the above embodiment.

【図12】上記実施例においてターゲットで反射された
ビームスポットを受光して変位を出力する位置検出素子
の構成とその変位出力関係を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a position detection element that receives a beam spot reflected by a target and outputs a displacement and a displacement output relationship thereof in the above embodiment.

【図13】上記実施例のサーボトラックライタにおける
光ヘッドの光学系のさらに他の構成を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing still another configuration of the optical system of the optical head in the servo track writer of the above embodiment.

【図14】さらに傾き補正機構を備えた光ヘッドの構成
の例を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing an example of the configuration of an optical head further including an inclination correction mechanism.

【図15】上記傾き補正機構を備えた光ヘッドの構成例
において、ビームの傾きを補正する方法の原理を説明す
る図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating the principle of a method for correcting the tilt of a beam in the configuration example of the optical head including the tilt correction mechanism.

【図16】さらにターゲットの傾きを補正する補正機構
を備えた光ヘッドの構成の例を示す図である。
FIG. 16 is a diagram showing an example of the configuration of an optical head including a correction mechanism for correcting the inclination of the target.

【図17】上記位置検出素子に照射するビームスポット
を縦長にした他の光ヘッドの例を示す図である。
FIG. 17 is a diagram showing an example of another optical head in which the beam spot with which the position detecting element is irradiated is elongated vertically.

【図18】光ヘッドの内部に光梃子による変位増幅機構
を備えた他の構成例を示す図である。
FIG. 18 is a diagram showing another configuration example in which a displacement amplification mechanism by an optical lever is provided inside the optical head.

【図19】光ヘッドの内部に光梃子による変位増幅機構
を備えたさらに他の構成例を示す図である。
FIG. 19 is a diagram showing still another configuration example in which a displacement amplification mechanism using an optical lever is provided inside the optical head.

【図20】ケ−スの一部に透明な窓を設けた磁気ディス
ク装置の実施例を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing an embodiment of a magnetic disk device in which a transparent window is provided in a part of the case.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスク 2 スライダ 4 キャリッジ 5 VCM 12 光ヘッド 13 光ヘッド位置決め装置 14 変位検出回路 16 ターゲット 18 レーザダイオード 19 対物レンズ 20 ビームスプリッタ 21 フォトディテクタ 22 ビームスポット 23 位置検出素子 24 コリメータレンズ 25 絞り 26 傾き補正機構 1 Disk 2 Slider 4 Carriage 5 VCM 12 Optical Head 13 Optical Head Positioning Device 14 Displacement Detection Circuit 16 Target 18 Laser Diode 19 Objective Lens 20 Beam Splitter 21 Photodetector 22 Beam Spot 23 Position Detection Element 24 Collimator Lens 25 Aperture 26 Tilt Correction Mechanism

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 後藤 丸朋 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 三枝 省三 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 神藤 英彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 村西 勝 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 木村 勝彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Maruho Goto 2880 Kozu, Odawara City, Kanagawa Prefecture Storage Systems Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Hidehiko Kando, 502 Jinritsucho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Hiritsu Seisakusho Co., Ltd. In-house (72) Inventor Katsuhiko Kimura 502 Jinritsucho, Tsuchiura City, Ibaraki Prefecture

Claims (29)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高精度で位置決めが可能な光ヘッドを回
転するディスク状記録媒体の上方に位置決めし、当該光
ヘッドに対する相対位置を検出しながら、少なくとも前
記ディスク状記録媒体への情報の書き込みが可能なヘッ
ドを備えたスライダを、前記ディスク状記録媒体表面に
移動しながらヘッドの位置決めを行うヘッドの位置決め
方法であって、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材と前記光ヘッドとの間を光学的に結合し、当該光学
的な結合により生じる前記光ヘッドと前記スライダもし
くは前記スライダに連動して移動する部材との増幅され
た変位を検出し、そして、当該検出された増幅された変
位により前記ヘッドを前記ディスク状記録媒体上に位置
決めすることを特徴とするディスク状記録媒体上のヘッ
ドの位置決め方法。
1. An optical head that can be positioned with high accuracy is positioned above a rotating disk-shaped recording medium, and at least information is written to the disk-shaped recording medium while detecting a relative position to the optical head. A head positioning method of positioning a head while moving a slider having a movable head to the surface of the disk-shaped recording medium, comprising: the slider or a member that moves in conjunction with the slider; and the optical head. The optical displacement between the optical head and the slider or the member that moves in conjunction with the slider, which is generated by the optical coupling, is detected, and the detected amplified signal is amplified. A head on a disk-shaped recording medium, characterized in that the head is positioned on the disk-shaped recording medium by displacement. Positioning method.
【請求項2】 前記請求項1に記載のディスク状記録媒
体上のヘッドの位置決め方法において、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材と前記光ヘッドとの間の光学的な結合は、光反射面
による光の反射を利用することを特徴とするディスク状
記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
2. The method for positioning a head on a disk-shaped recording medium according to claim 1, wherein the optical coupling between the slider or a member that moves in conjunction with the slider and the optical head comprises: A method for positioning a head on a disk-shaped recording medium, which utilizes reflection of light by a light reflecting surface.
【請求項3】 前記請求項2に記載のディスク状記録媒
体上のヘッドの位置決め方法において、 前記光反射面を湾曲面とすることにより、前記光ヘッド
と前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動す
る部材との間の増幅された変位を検出することを特徴と
するディスク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
3. The method of positioning a head on a disk-shaped recording medium according to claim 2, wherein the light reflection surface is a curved surface so that the optical head and the slider or the slider is moved in association with each other. A method for positioning a head on a disk-shaped recording medium, characterized by detecting an amplified displacement between the member and the member.
【請求項4】 前記請求項1に記載のディスク状記録媒
体上のヘッドの位置決め方法において、 前記光ヘッドと前記スライダもしくは前記スライダに連
動して移動する部材との間の当該増幅された変位の検出
は、光学的に結合された前記スライダもしくは前記スラ
イダに連動して移動する部材と前記光ヘッドとの間の光
の変位を検出することにより行うことを特徴とするディ
スク状記録媒体上のヘッドの位置決め方法。
4. The method for positioning a head on a disk-shaped recording medium according to claim 1, wherein the amplified displacement between the optical head and the slider or a member that moves in association with the slider is increased. The detection is performed by detecting the displacement of light between the optical head and the optically coupled slider or a member that moves in conjunction with the slider and the optical head. Positioning method.
【請求項5】 回転するディスク状記録媒体上をキャリ
ッジによって移動可能に支持されたヘッドを搭載したス
ライダをキャリッジ駆動手段により位置決めし、前記ヘ
ッドによって前記回転するディスク状記録媒体に少なく
ともサーボ情報を書き込むサーボ情報書き込み方法にお
いて、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材に反射面を有する反射手段を設け、光ヘッドを前記
ディスク状記録媒体に対して正確に位置決めし、前記光
ヘッドからの光を前記反射手段により反射し、この反射
光の角度変化により前記光ヘッドと前記ヘッドとの増幅
された変位を検出し、そして、この検出した前記光ヘッ
ドとヘッドとの増幅された変位により前記ヘッドの位置
決めを行って前記回転するディスク状記録媒体にサーボ
情報を書き込むことを特徴とするサーボ情報書き込み方
法。
5. A slider equipped with a head movably supported by a carriage on a rotating disk-shaped recording medium is positioned by a carriage driving means, and at least servo information is written on the rotating disk-shaped recording medium by the head. In the servo information writing method, a reflecting means having a reflecting surface is provided on the slider or a member that moves in conjunction with the slider, the optical head is accurately positioned with respect to the disk-shaped recording medium, and the light from the optical head Is reflected by the reflecting means, an amplified displacement between the optical head and the head is detected by an angle change of the reflected light, and the head is detected by the detected displacement between the optical head and the head. Position and write servo information on the rotating disk-shaped recording medium. Servo information writing method comprising Mukoto.
【請求項6】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き込
み方法において、 前記キャリッジ駆動手段による前記スライダの位置決め
は、前記検出した光ヘッドとヘッドとの変位を所定の目
標値に保つことにより行うことを特徴とするサーボ情報
書き込み方法。
6. The servo information writing method according to claim 5, wherein the carriage driving means positions the slider by maintaining the detected displacement between the optical head and the head at a predetermined target value. And a servo information writing method.
【請求項7】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き込
み方法において、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材に設けられた前記反射手段の反射面は湾曲面を有し
ており、これにより反射光の角度変化による前記光ヘッ
ドと前記ヘッドとの変位を増幅することを特徴とするサ
ーボ情報書き込み方法。
7. The servo information writing method according to claim 5, wherein a reflecting surface of the reflecting means provided on the slider or a member that moves in association with the slider has a curved surface. The servo information writing method is characterized by amplifying the displacement between the optical head and the head due to the change in the angle of the reflected light.
【請求項8】 前記請求項7に記載のサーボ情報書き込
み方法において、 前記反射手段の湾曲面は、円筒形もしくはその一部から
なる反射面であることを特徴とするサーボ情報書き込み
方法。
8. The servo information writing method according to claim 7, wherein the curved surface of the reflecting means is a cylindrical surface or a reflecting surface formed of a part thereof.
【請求項9】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き込
み方法において、 前記光ヘッドから前記反射手段に入射される光のスポッ
トの形状を、変位検出方向に直交する方向に長くするこ
とを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
9. The servo information writing method according to claim 5, wherein the shape of the spot of the light incident on the reflecting means from the optical head is elongated in a direction orthogonal to the displacement detection direction. How to write servo information.
【請求項10】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き
込み方法において、 前記光ヘッドもしくは前記ディスク状記録媒体の移動情
報を、前記キャリッジ駆動手段にフィードフォワード情
報として入力して前記キャリッジの移動を制御すること
を特徴とするサーボ情報書き込み方法。
10. The servo information writing method according to claim 5, wherein movement information of the optical head or the disk-shaped recording medium is input to the carriage driving means as feedforward information to control movement of the carriage. A method for writing servo information, comprising:
【請求項11】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き
込み方法において、 前記光ヘッドの内部に設けた湾曲した反射面における反
射光角度の変化から変位を増幅して検出することを特徴
とするサーボ情報書き込み方法。
11. The servo information writing method according to claim 5, wherein a displacement is amplified and detected from a change in a reflected light angle on a curved reflecting surface provided inside the optical head. Information writing method.
【請求項12】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き
込み方法において、 前記反射手段の反射面は、前記スライダもしくは前記ス
ライダに連動して移動する部材の一部を加工して形成す
ることを特徴とするサーボ情報書き込み方法。
12. The servo information writing method according to claim 5, wherein the reflecting surface of the reflecting means is formed by processing a part of the slider or a member that moves in association with the slider. And servo information writing method.
【請求項13】 前記請求項5に記載のサーボ情報書き
込み方法において、 前記反射手段は反射面を形成した別部材からなり、前記
スライダもしくは前記スライダに連動して移動する部材
に取り付けることを特徴とするサーボ情報書き込み方
法。
13. The servo information writing method according to claim 5, wherein the reflecting means is formed of a separate member having a reflecting surface, and is attached to the slider or a member that moves in conjunction with the slider. How to write servo information.
【請求項14】 請求項13に記載のサーボ情報書き込
み方法において、 前記反射手段は前記スライダもしくは前記スライダに連
動して移動する部材に着脱可能とすることを特徴とする
サーボ情報書き込み方法。
14. The servo information writing method according to claim 13, wherein the reflecting means is attachable to and detachable from the slider or a member that moves in association with the slider.
【請求項15】 回転するディスク状記録媒体と、前記
ディスク状記録媒体への情報の書き込みが可能なヘッド
を備えたスライダと、前記スライダを前記ディスク状記
録媒体表面に移動するキャリッジを駆動しながら前記ヘ
ッドの位置決めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材に、湾曲した反射面からなる光の反射手段を設けた
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
15. A disk-shaped recording medium that rotates, a slider having a head capable of writing information on the disk-shaped recording medium, and a carriage that moves the slider to the surface of the disk-shaped recording medium while driving the carriage. A magnetic disk drive comprising: a carriage drive unit for positioning the head; and a slider or a member that moves in conjunction with the slider, provided with a light reflecting unit having a curved reflecting surface.
【請求項16】 回転するディスク状記録媒体と、前記
ディスク状記録媒体へ情報の書き込みが可能なヘッドを
備えたスライダと、前記スライダを前記ディスク状記録
媒体表面に移動するキャリッジを駆動しながら前記ヘッ
ドの位置決めを行うキャリッジ駆動手段とを備え、 前記スライダあるいは前記スライダに連動して移動する
部材に、前記磁気ディスク装置の外部に配置され、か
つ、前記磁気ディスク装置の回転するディスク状記録媒
体に対して高精度で位置決めが可能な光ヘッドからの光
を反射させるための反射手段を設けたことを特徴とする
磁気ディスク装置。
16. A rotating disk-shaped recording medium, a slider provided with a head capable of writing information on the disk-shaped recording medium, and a carriage for moving the slider to the surface of the disk-shaped recording medium while driving the carriage. A carriage drive unit for positioning the head, and a slider or a member that moves in association with the slider, which is disposed outside the magnetic disk device and which is a rotating disk-shaped recording medium of the magnetic disk device. On the other hand, a magnetic disk device is provided with a reflecting means for reflecting light from an optical head that can be positioned with high accuracy.
【請求項17】 前記請求項16に記載の磁気ディスク
装置であって、 前記反射手段の反射面は湾曲面であることを特徴とする
磁気ディスク装置。
17. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the reflecting surface of the reflecting means is a curved surface.
【請求項18】 前記請求項17に記載の磁気ディスク
装置であって、 前記湾曲面である反射手段は、円筒形もしくはその一部
からなる反射面を有していることを特徴とする磁気ディ
スク装置。
18. The magnetic disk device according to claim 17, wherein the reflecting means that is the curved surface has a cylindrical or a reflecting surface that is a part thereof. apparatus.
【請求項19】 前記請求項16に記載の磁気ディスク
装置であって、 前記磁気ディスク装置は筺体内に設けられており、当該
筺体の一部に、前記磁気ディスク装置の外部に配置され
た前記光ヘッドと前記反射手段との間の入射光及び反射
光を通過させるための、光が透過可能な窓を設けたこと
を特徴とする磁気ディスク装置。
19. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the magnetic disk device is provided in a housing, and a part of the housing is provided outside the magnetic disk device. A magnetic disk device characterized in that a window through which light can pass is provided for passing incident light and reflected light between an optical head and the reflection means.
【請求項20】 前記請求項16に記載の磁気ディスク
装置であって、 前記反射手段の反射面は平坦面であることを特徴とする
磁気ディスク装置。
20. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the reflecting surface of the reflecting means is a flat surface.
【請求項21】 前記請求項16に記載の磁気ディスク
装置であって、 前記反射手段は着脱可能であることを特徴とする磁気デ
ィスク装置。
21. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the reflecting means is removable.
【請求項22】 磁気ディスク装置の回転するディスク
状記録媒体にサーボ情報を書き込むためのヘッドを備え
たスライダと、 前記スライダもしくは前記スライダに連動して移動する
部材に設けられた反射手段と、 前記磁気ディスク装置の回転するディスク状記録媒体に
対して正確に位置決めが可能で、かつ、前記反射手段か
らの反射光により前記ヘッドとの増幅された変位を光学
的に検出する変位検出手段を備えた光ヘッドと、 前記光ヘッドの変位検出手段からの検出変位を前記磁気
ディスク装置のヘッドの位置を制御する手段へ出力する
手段と、 を備えたことを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情
報書き込み装置。
22. A slider provided with a head for writing servo information on a rotating disk-shaped recording medium of a magnetic disk device; a reflection means provided on the slider or a member that moves in conjunction with the slider; The magnetic disk device is equipped with a displacement detecting means capable of being accurately positioned with respect to the rotating disk-shaped recording medium and optically detecting an amplified displacement with the head by the reflected light from the reflecting means. A servo information writing device for a magnetic disk device, comprising: an optical head; and means for outputting the detected displacement from the displacement detecting means of the optical head to a means for controlling the position of the head of the magnetic disk device. .
【請求項23】 前記請求項22に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記反射手段は、湾曲した反射面を有するものであるこ
とを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み
装置。
23. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 22, wherein the reflecting means has a curved reflecting surface. apparatus.
【請求項24】 前記請求項22に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記反射手段は平坦な反射面を有し、一方、前記光ヘッ
ドは湾曲した反射面を有する別の反射手段を備えたこと
を特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装
置。
24. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 22, wherein the reflecting means has a flat reflecting surface, while the optical head has a curved reflecting surface. A servo information writing device for a magnetic disk device, which is provided with a reflecting means.
【請求項25】 前記請求項22に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、少なくとも前記反射手段の反射面
により反射される反射光を受光する位置に配置されてい
ることを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き
込み装置。
25. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 22, wherein the displacement detecting means is arranged at a position for receiving at least reflected light reflected by a reflecting surface of the reflecting means. A servo information writing device for a magnetic disk device.
【請求項26】 前記請求項25に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、反射光を受光する少なくとも2個
のフォトディテクタから構成されていることを特徴とす
る磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置。
26. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 25, wherein the displacement detecting means is composed of at least two photodetectors that receive reflected light. Servo information writing device for magnetic disk device.
【請求項27】 前記請求項25に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置であって、 前記変位検出手段は、反射光を受光する位置により出力
を変化させる位置検出素子から構成されていることを特
徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置。
27. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 25, wherein the displacement detecting means is composed of a position detecting element that changes an output depending on a position where the reflected light is received. A servo information writing device for a magnetic disk device.
【請求項28】 前記請求項22に記載の磁気ディスク
装置用サーボ情報書き込み装置において、 さらに、前記光ヘッドの傾きを補正する傾き補正手段を
備えたことを特徴とする磁気ディスク装置用サーボ情報
書き込み装置。
28. The servo information writing device for a magnetic disk device according to claim 22, further comprising a tilt correction means for correcting the tilt of the optical head. apparatus.
【請求項29】 前記請求項17に記載の磁気ディスク
装置の反射手段、あるいは、前記請求項23および24
に記載の磁気ディスク装置用サーボ情報書き込み装置の
湾曲した反射面として使用するための変位検出用ミラー
であって、ガラス管もしくはガラス棒の表面に反射膜を
加工して形成してなることを特徴とする変位検出用ミラ
ー。
29. The reflection means of the magnetic disk drive according to claim 17, or the reflection means according to claim 23 or 24.
A displacement detecting mirror for use as a curved reflecting surface of the servo information writing device for a magnetic disk device according to, characterized by being formed by processing a reflecting film on the surface of a glass tube or a glass rod. Displacement detection mirror.
JP7116006A 1995-05-15 1995-05-15 Head positioning method and servo information writing method on disk-shaped recording medium, magnetic disk device, servo information writing device for magnetic disk device, displacement detection mirror Pending JPH08315531A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6307702B1 (en) 1998-07-03 2001-10-23 Fujitsu Limited Method of writing servo tracks on magnetic disc and device for the same
CN109238181A (en) * 2018-09-29 2019-01-18 昆明理工大学 A kind of elevator rail planeness detection system and method based on multistage optical lever

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548872A (en) * 1978-10-02 1980-04-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Write-in unit for servo signal
JPH02118807U (en) * 1989-03-09 1990-09-25
JPH04351767A (en) * 1991-05-29 1992-12-07 Sony Magnescale Inc Servo signal write device
JPH06137846A (en) * 1992-09-08 1994-05-20 Mitsubishi Electric Corp Interatomic force microscope device
JPH06302135A (en) * 1993-04-13 1994-10-28 Hitachi Ltd Head positioning method and apparatus for information storage disk apparatus, and servo information writing method and writing apparatus using the same, slider, slider support member, magnetic disk apparatus
JPH076405A (en) * 1993-04-23 1995-01-10 Canon Inc Optical information recording / reproducing device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5548872A (en) * 1978-10-02 1980-04-08 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Write-in unit for servo signal
JPH02118807U (en) * 1989-03-09 1990-09-25
JPH04351767A (en) * 1991-05-29 1992-12-07 Sony Magnescale Inc Servo signal write device
JPH06137846A (en) * 1992-09-08 1994-05-20 Mitsubishi Electric Corp Interatomic force microscope device
JPH06302135A (en) * 1993-04-13 1994-10-28 Hitachi Ltd Head positioning method and apparatus for information storage disk apparatus, and servo information writing method and writing apparatus using the same, slider, slider support member, magnetic disk apparatus
JPH076405A (en) * 1993-04-23 1995-01-10 Canon Inc Optical information recording / reproducing device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6307702B1 (en) 1998-07-03 2001-10-23 Fujitsu Limited Method of writing servo tracks on magnetic disc and device for the same
CN109238181A (en) * 2018-09-29 2019-01-18 昆明理工大学 A kind of elevator rail planeness detection system and method based on multistage optical lever
CN109238181B (en) * 2018-09-29 2023-09-26 昆明理工大学 An elevator track flatness detection system and method based on multi-level light levers

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